JP2606376B2 - Weight detector - Google Patents
Weight detectorInfo
- Publication number
- JP2606376B2 JP2606376B2 JP14787789A JP14787789A JP2606376B2 JP 2606376 B2 JP2606376 B2 JP 2606376B2 JP 14787789 A JP14787789 A JP 14787789A JP 14787789 A JP14787789 A JP 14787789A JP 2606376 B2 JP2606376 B2 JP 2606376B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capacitance
- electrode
- detection
- capacity
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、被測定物の重量を静電容量の変化として検
出する重量検出装置に関するものである。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a weight detection device that detects the weight of an object to be measured as a change in capacitance.
従来の技術 被測定物の重量を静電容量の変化として検出する重量
検出装置は既に数多く考案されている。2. Description of the Related Art Many weight detecting devices for detecting the weight of an object to be measured as a change in capacitance have already been devised.
例えば特開昭63−220960号公報では、所定の間隔を設
けて対向し、中央部に検出電極を、その外周部に基準容
量を有する一対のアルミナ焼結体の薄板より形成した静
電容量型圧力センサを用い温度特性の影響を受けない高
精度の重量検出装置を実現している。For example, in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-220960, a capacitance type in which a detection electrode is provided at a predetermined interval, a detection electrode is formed at the center, and a pair of alumina sintered bodies having a reference capacitance is formed at the outer periphery thereof. Using a pressure sensor, a highly accurate weight detection device that is not affected by temperature characteristics is realized.
以下、第６図をもとに従来例について説明する。基板
11とダイアフラム７とは、アルミナなどの絶縁材料の薄
板で形成され、ある間隔ｄを保ちながら周囲をシール材
10で封じられる。Hereinafter, a conventional example will be described with reference to FIG. substrate
The diaphragm 11 and the diaphragm 7 are formed of a thin plate of an insulating material such as alumina, and the periphery thereof is sealed with a certain distance d.
Sealed with 10.
基板11とダイアフラム７のそれぞれの対向する表面に
は、中央に重量検出手段たる検出電極８が、周囲には温
度補正手段たる基準電極９が印刷により形成されてい
る。On the opposing surfaces of the substrate 11 and the diaphragm 7, a detecting electrode 8 as a weight detecting means is formed at the center and a reference electrode 9 as a temperature correcting means is formed around the center by printing.
ダイアフラム７に被加熱物による荷重Ｐが加われば、
ダイアフラム７は破線に示すようにたわみ、検出電極８
により形成される静電容量Cwは変化する。しかし、検出
電極の周囲に配された基準電極９は支点であるシール材
10に近接しているためたわみにくく、荷重Ｐによる静電
容量Crの変化は僅かである。このように、基準容量Crと
検出容量Cwは同一材料でしかもごく近接して形成されて
いるため、温度特性はほぼ等しくなる。ここで、CwとCr
を測定し、両者の比をとることによって温度特性をうま
く消去して荷重Ｐを測定できる。When a load P due to a heated object is applied to the diaphragm 7,
The diaphragm 7 bends as shown by the broken line, and the detection electrode 8
The capacitance Cw formed by the above changes. However, the reference electrode 9 disposed around the detection electrode is a fulcrum seal material.
Since it is close to 10, it does not bend easily, and the change in the capacitance Cr due to the load P is slight. As described above, since the reference capacitance Cr and the detection capacitance Cw are formed of the same material and in close proximity, the temperature characteristics become substantially equal. Where Cw and Cr
Is measured, and by taking the ratio between the two, the temperature characteristic can be erased well and the load P can be measured.
しかし、実際にこれらの容量を検出するためには電子
回路によって、検出可能な別の物理量へと変換しなけれ
ばならない。一般的には発振回路を用いて容量を周波数
情報へと変換し、カウンターなどにより所定時間内のパ
ルス数をカウントすることによって周波数を検出してい
る。However, in order to actually detect these capacitances, they must be converted into another detectable physical quantity by an electronic circuit. Generally, the frequency is detected by converting the capacity into frequency information using an oscillation circuit and counting the number of pulses within a predetermined time by a counter or the like.
第７図は容量検出回路の一例である。オペアンプのの
こぎり波発生回路と波形整形回路の組み合わせからなる
単一の発振回路12と、スイッチング手段13とから構成さ
れる。スイッチング手段13は検出容量Cwと基準容量Crと
を選択し、それぞれの容量で発振した矩形波信号は、緩
衝回路15を介して電圧レベルをシフトされマイコン６の
内蔵カウンターの入力端子TCに入力される。このスイッ
チング手段の切り換えを制御する信号は、切り換えゲー
ト信号E0である。FIG. 7 shows an example of the capacitance detection circuit. It comprises a single oscillating circuit 12 composed of a combination of a sawtooth wave generating circuit and a waveform shaping circuit of an operational amplifier, and switching means 13. The switching means 13 selects the detection capacity Cw and the reference capacity Cr, and the rectangular wave signal oscillated by each capacity is shifted in voltage level through the buffer circuit 15 and is input to the input terminal TC of the built-in counter of the microcomputer 6. You. Signal for controlling the switching of the switching means is a switching gate signal E 0.
さて、検出容量Cwを選択したときの周波数をFw、基準
容量Crを選択したときの周波数をFrとすると、 Fw＝Kw/Cw Ｒ Fr＝Kr/Cr Ｒ で表される。Ｒは発振回路内の合成抵抗、Kw、Krはオペ
アンプの諸特性（ゲイン、スルーレート、オフセット電
圧等）および発振回路構成によって決まる回路定数であ
る。Now, assuming that the frequency when the detection capacitance Cw is selected is Fw and the frequency when the reference capacitance Cr is selected is Fr, Fw = Kw / CwR Fr = Kr / CrR R is a combined resistance in the oscillation circuit, and Kw and Kr are circuit constants determined by various characteristics (gain, slew rate, offset voltage, etc.) of the operational amplifier and the configuration of the oscillation circuit.
この周波数Fr,Fwをマイコン６で測定し、演算をおこ
なって両周波数の比ｒを計算すると ｒ＝Fr/Fw ……（１） となり、さらに（１）式を展開すると、 となる。このように、検出容量Cwと基準容量Crの容量比
Cw/Crに比例する値が周波数比として検出できる。When the frequencies Fr and Fw are measured by the microcomputer 6 and the calculation is performed to calculate the ratio r of the two frequencies, r = Fr / Fw (1) is obtained. Becomes Thus, the capacitance ratio between the detection capacitance Cw and the reference capacitance Cr
A value proportional to Cw / Cr can be detected as a frequency ratio.
ここで、周波数比ｒを温度Ｔで微分し温度係数を求め
ると のようになる。Here, the frequency coefficient r is differentiated with respect to the temperature T to obtain a temperature coefficient. become that way.
（３）式からセンサ容量CwとCrの温度特性は両者の差
という形式でうまく演算によって消去できるが、回路定
数Kw,Krは発振周波数に依存して温度特性が異なってく
るため、Fw,Frが同一周波数付近でしかこれらを消去す
ることはできない。From the equation (3), the temperature characteristics of the sensor capacitances Cw and Cr can be eliminated by calculation in the form of a difference between the two, but the circuit constants Kw and Kr are different depending on the oscillation frequency. Can be eliminated only near the same frequency.
特開昭63−220960号公報ではこのような特性を考慮し
て、載置台のみの状態で基準容量と検出容量が一致する
ように電極の形状を設計して軽量の測定物での測定精度
を改善している。In Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-220960, considering such characteristics, the shape of the electrode is designed so that the reference capacitance and the detection capacitance match in the state of only the mounting table, and the measurement accuracy of a light measurement object is improved. Has improved.
発明が解決しようとする課題 しかし、以上に示した構成のものでは載置台の重量が
変われば、それに対応する電極形状をもったセンサを供
結しなければならない。Problems to be Solved by the Invention However, in the above-described configuration, if the weight of the mounting table changes, a sensor having an electrode shape corresponding to the weight must be provided.
例えば、重量検出装置を応用した機器として電子レン
ジなどの加熱装置がある。そこでは食品の重量を検出し
て重量に応じた最適自動加熱を実現するもので昨今は極
一般的な機能となっている。For example, as a device to which the weight detection device is applied, there is a heating device such as a microwave oven. There, it detects the weight of food and realizes optimal automatic heating according to the weight, and has become an extremely common function these days.
しかし、電子レンズに使われる食品の載置台は、オー
ブンサイズ，仕向け地，製品仕様等の種々の理由から様
々な重量のものが存在し、それに対応する静電容量型圧
力センサを新規に設計しなければならないということに
なる。しかもその種類の違いは、密封されたセンサの内
部の電極形状ということで外見ではまったく判別がつか
ず、製造管理上きわめて煩雑なものとなっていた。However, food mounting tables used for electronic lenses are of various weights for various reasons such as oven size, destination, product specifications, etc., and a new capacitive pressure sensor has been newly designed to cope with them. I have to. In addition, the difference between the types is that the shape of the electrodes inside the sealed sensor is indistinguishable from the outside, so that the production management is extremely complicated.
また、１タイプのセンサで全ての機種に対応しようと
すれば、温度特性の悪い機種が存在することはいうまで
もない。Needless to say, if one type of sensor is used for all models, some models have poor temperature characteristics.
ここで本発明は上記課題を解決し、単一タイプの静電
容量型圧力センサを用い、種々の載置台重量に対応して
温度特性を最適化できる重量検出装置を提供するもので
ある。Here, the present invention solves the above-mentioned problems, and provides a weight detection device that can optimize the temperature characteristics corresponding to various mounting table weights by using a single type of capacitance type pressure sensor.
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため、本発明の重量検知装置は平
板の共通電極基板と、共通電極基板と所定間隔をあけて
対向する荷重検出用のダイアフラムと、ダイアフラムと
共通電極基板を両者の外周部にて互いに結合するシール
部と、ダイアフラムの中央部に形成されたたわみを検出
する検出電極と、その周囲の実質的にダイアフラムがた
わまない部分に形成された基準電極および同部に孤立し
て配された複数の補助基準電極を備えた静電容量型圧力
センサとを備えたものである。Means for Solving the Problems In order to solve the above problems, a weight detecting device of the present invention includes a flat common electrode substrate, a load detection diaphragm facing the common electrode substrate at a predetermined interval, and a diaphragm and a common electrode. A seal portion for connecting the substrates to each other at the outer peripheral portions thereof, a detection electrode for detecting the deflection formed at the center of the diaphragm, and a reference electrode formed on a portion of the periphery where the diaphragm does not substantially bend. And a capacitance-type pressure sensor having a plurality of auxiliary reference electrodes disposed in isolation therefrom.
作用 上記構成により、静電容量型圧力センサの外部で複数
ある補助基準電極を基準電極と電気的に接続することに
よって基準容量値を選択でき、単一センサで容量比を可
変することができる。Operation According to the above configuration, the reference capacitance value can be selected by electrically connecting a plurality of auxiliary reference electrodes to the reference electrode outside the capacitance type pressure sensor, and the capacitance ratio can be changed by a single sensor.
実施例 以下、本発明の一実施例である重量検出装置を図面に
基づいて説明する。Embodiment Hereinafter, a weight detection device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
第５図は電子レンズの如き加熱装置の載置台に本発明
に係わる重量検出装置を装備した例を示しており、被加
熱物の初期重量や加熱中の重量変化を検出する。FIG. 5 shows an example in which a mounting table of a heating device such as an electronic lens is equipped with a weight detecting device according to the present invention, and detects an initial weight of an object to be heated and a change in weight during heating.
加熱室４には熱源５が結合され、載置台１上には被加
熱物２が載置される。３はこの載置台１を回転駆動する
モーターであり、被加熱物２が熱源５により加熱される
際、加熱ムラをおこすことを改善する。A heating source 5 is connected to the heating chamber 4, and the object 2 to be heated is placed on the mounting table 1. Reference numeral 3 denotes a motor that rotationally drives the mounting table 1, and improves uneven heating when the object to be heated 2 is heated by the heat source 5.
このモーター３の回転軸は、スラスト方向に移動自在
となっており、その下端は静電容量型重量センサ６によ
って支持され、載置台１と被加熱物２の重量は、静電容
量型重量センサ３に伝達される。The rotating shaft of the motor 3 is movable in the thrust direction, and its lower end is supported by a capacitance type weight sensor 6. The weight of the mounting table 1 and the object to be heated 2 is determined by the capacitance type weight sensor. 3 is transmitted.
第１図は本発明に係わる静電容量型重量センサ３の構
造図の一実施例である。（ａ）は断面図、（ｂ）はセン
サの展開図である。FIG. 1 is an embodiment of a structural view of a capacitance type weight sensor 3 according to the present invention. (A) is a sectional view, and (b) is a developed view of a sensor.
共通電極基板16は金属材料からなる平板、ダイアフラ
ム７はアルミナ磁器はどのセラミック材料からなる平板
の絶縁物である。両者はある間隔ｄを保ちながら周囲を
シール材10で封じられる。シール材10の材料としてエポ
キシ樹脂系の接着剤、あるいはガラスフリットなどが用
いられる。ダイアフラム７の共通電極基板16との対向面
のほぼ中央部に検出電極８が形成され検出電極端子17に
より外部に引き出されている。そして検出電極８の外部
シール材10に近接する部分に温度検出手段たる基本基準
電極18および第１の補助基準電極19−a,第２の補助基準
電極19−ｂが印刷にどにより形成され、同様に基準電極
端子20−a,20−b,20−ｃにより外部に引き出される。The common electrode substrate 16 is a flat plate made of a metal material, and the diaphragm 7 is an insulating material of a flat plate made of any ceramic material of alumina porcelain. Both are sealed with a sealant 10 around the periphery while maintaining a certain distance d. As a material of the sealing material 10, an epoxy resin-based adhesive or a glass frit is used. A detection electrode 8 is formed substantially at the center of the surface of the diaphragm 7 facing the common electrode substrate 16, and is led out to the outside by a detection electrode terminal 17. A basic reference electrode 18, a first auxiliary reference electrode 19-a, and a second auxiliary reference electrode 19-b, which are temperature detecting means, are formed in a portion of the detection electrode 8 close to the external seal member 10 by printing. Similarly, the reference electrode terminals 20-a, 20-b, and 20-c are pulled out to the outside.
このような構成において共通電極基板16と検出電極８
の間の容量Cwを検出容量21、共通電極基板16と基本基準
電極18の間の静電容量Cr0を基本基準容量22、共通電極
基板16と第１の補助基準電極19−ａの間の容量Cr1を第
１の補助基準容量23、共通電極基板16と第２の補助基準
電極19−ｂの間の容量Cr2を第２の補助基準電極24とし
て、外部に引き出された基準電極端子20−a,20−b,20−
ｃの電気的接続の組み合わせによりCr0,Cr1,Cr2の３つ
の容量を合成し３種類の基準容量を得ることができる。
第２図はその３種類の基準容量を得るための基準電極端
子20の接続例である。（ａ）は金属リード線25を基準電
極端子20−a,20−b,20−ｃにハンダづけによって接続し
た場合で、基準容量CrはCr0＋Cr1＋Cr2となる。（ｂ）
は同様に20−a,20−ｂを接続した場合で基準容量CrはCr
0＋Cr1となる。（ｃ）は20−ａのみで基準容量CrはCr0
となる。このように、基準電極端子20の接続の組み合わ
せにより３種類の基準容量Crを選択できる。In such a configuration, the common electrode substrate 16 and the detection electrode 8
Detecting capacitor 21 the capacitance Cw between the capacitance Cr 0 basic reference capacitance 22 between the common electrode substrate 16 and the base reference electrode 18, a common electrode substrate 16 between the first auxiliary reference electrode 19-a A reference electrode terminal which is drawn out to the outside, with the capacitance Cr 1 as the first auxiliary reference capacitance 23 and the capacitance Cr 2 between the common electrode substrate 16 and the second auxiliary reference electrode 19-b as the second auxiliary reference electrode 24. 20−a, 20−b, 20−
By combining the electrical connections of c, three capacitances of Cr 0 , Cr 1 , and Cr 2 can be combined to obtain three types of reference capacitances.
FIG. 2 shows a connection example of the reference electrode terminals 20 for obtaining the three types of reference capacitances. (A) is a case where the metal lead wire 25 is connected to the reference electrode terminals 20-a, 20-b and 20-c by soldering, and the reference capacitance Cr is Cr 0 + Cr 1 + Cr 2 . (B)
Is the same when 20-a and 20-b are connected, and the reference capacity Cr is Cr
0 + Cr 1 (C) is 20-a only and reference capacity Cr is Cr 0
Becomes As described above, three types of reference capacitances Cr can be selected by a combination of the connection of the reference electrode terminals 20.
さて次に第３図を用いて具体的な回路構成の一例を示
す。共通電極基板16は加熱装置本体の金属シャーシーと
接続し、かつ容量検出回路26のアース電位も同様に金属
シャーシーの電位となっているため、容量検出回路26へ
の容量の引き出しは２本の金属リード線25によって実現
できる。容量検出回路26はオペアンプによる無安定マル
チバイブレーターからなる単一の発振回路12,スイッチ
ング手段13とから構成される。スイッチング手段13は検
出容量Cwと基準容量Crとを交互に切り換え、マイコン14
の内蔵カウンターの入力端子Tcに入力する。この切り換
えを制御するのは、切り換えゲート信号E0である。Next, an example of a specific circuit configuration will be described with reference to FIG. Since the common electrode substrate 16 is connected to the metal chassis of the main body of the heating device, and the ground potential of the capacitance detection circuit 26 is also the same as the potential of the metal chassis, the extraction of the capacitance to the capacitance detection circuit 26 requires two metals. This can be realized by the lead wire 25. The capacitance detection circuit 26 includes a single oscillation circuit 12 composed of an astable multivibrator using an operational amplifier, and a switching means 13. The switching means 13 alternately switches between the detection capacity Cw and the reference capacity Cr,
To the input terminal Tc of the built-in counter. To control the switching is switching gate signal E 0.
ここで用いた発振回路12の動作を説明する。オペアン
プの端子の出力の矩形波信号が反転した時点から考
え、金属リード線25によって引き出された容量Ｃ（Cwか
Crかはスイッチング手段13によって選択される。）と抵
抗R3との時定数によって端子の電圧が変化し、抵抗R1
とR2の分圧によって決まる端子の電圧と同じになった
時点で端子の出力が反転し、以降同様の現象を繰り返
し発振が生じる。The operation of the oscillation circuit 12 used here will be described. Considering the time when the square wave signal output from the terminal of the operational amplifier is inverted, the capacitance C (Cw
Cr is selected by the switching means 13. ) And the voltage of the terminal is changed by the time constant of the resistor R 3, the resistor R 1
An output terminal when it becomes equal to the voltage of the determined terminal by the partial pressure of R 2 is inverted repeatedly oscillation occurs a similar phenomenon later.
本実施例では、第２図に示すように、基準電極端子20
−a,20−b,20−ｃの製属の組み合わせにより３種類の基
準容量を選択できることを既に述べた。そして、この３
種類の基準容量における本重量検出装置の印加重量と周
波数の関係は第４図に示すような特性となる。In this embodiment, as shown in FIG.
It has already been described that three types of reference capacitors can be selected by a combination of the types of -a, 20-b, and 20-c. And this 3
The relationship between the applied weight and the frequency of the present weight detecting device at the type of reference capacitance has characteristics as shown in FIG.
横軸は印加重量、縦軸は周波数を示す。Fwは検出容量
Cwで発振した周波数で荷重に依存して値が大きく変化す
る。Frは選択した基準容量Crで発振した周波数で重量に
ほとんど依存せず実質的にほぼ一定とみなせる。ここ
で、選択した基準容量CrによりFrは、（ａ），（ｂ），
（ｃ）の異なった特性をもち、それぞれの基準容量値は （ａ）……Cr0＋Cr1＋Cr2 （ｂ）……Cr0＋Cr1 （ｃ）……Cr0 となる。The horizontal axis indicates the applied weight, and the vertical axis indicates the frequency. Fw is the detection capacity
The value greatly changes depending on the load at the frequency oscillated by Cw. Fr is a frequency oscillated by the selected reference capacity Cr and can be regarded as substantially constant without depending on weight. Here, Fr is determined according to the selected reference capacitance Cr as (a), (b),
Have different characteristics (c), each of the reference capacitance value becomes (a) ...... Cr 0 + Cr 1 + Cr 2 (b) ...... Cr 0 + Cr 1 (c) ...... Cr 0.
このようにFrとFwが一致する重量、即ちCwとCrが一致
する重量W1,W2,W3となる。これらの重量では、発振回路
の温度特性は０となり、わずかな変動が非常に大きな誤
差となる軽負荷での測定精度が向上する。Thus, the weights where Fr and Fw match, that is, the weights W 1 , W 2 and W 3 where Cw and Cr match are obtained. With these weights, the temperature characteristic of the oscillation circuit becomes zero, and the measurement accuracy at a light load where a slight variation causes a very large error is improved.
したがって、適宜基準容量を選択することによって、
載置台の重量がW1,W2,W3と異なる複数の機種の温度特性
を最適化することが可能となる。しかもそれが、単一の
センサで実現できるため製造管理上も非常にシンプルな
ものとなる。Therefore, by appropriately selecting the reference capacity,
Weight of the table it is possible to optimize the temperature characteristic of the W 1, W 2, W 3 and different models. Moreover, since it can be realized with a single sensor, the manufacturing management is also very simple.
発明の効果 以上の実施例の説明より明らかなように本発明の重量
検出装置は、基本基準容量と複数の孤立してなる補助基
準電極を適宜接続して基準容量を可変とする構成で、単
一のセンサを用い複数の荷重条件で基準容量と検出容量
の比を１とし温度特性を最適化することができる。Effects of the Invention As is clear from the above description of the embodiment, the weight detecting device of the present invention has a configuration in which the reference capacitance is variable by appropriately connecting the basic reference capacitance and a plurality of isolated auxiliary reference electrodes. The temperature characteristic can be optimized by using one sensor and setting the ratio of the reference capacity to the detection capacity to 1 under a plurality of load conditions.
しかも、それがダイアフラムと共通電極基板をシール
材で接続密閉した後でも適宜基準電極および補助基準電
極を電気的に接続するという非常に簡単な方法で容量比
を可変できるため全く単一のセンサで複数の重さの異な
る載置台をもつ重量検出装置に対応でき、製造管理上極
めてシンプルなものとなる。In addition, even when the diaphragm and the common electrode substrate are connected and sealed with a sealing material, the capacitance ratio can be varied by a very simple method of electrically connecting the reference electrode and the auxiliary reference electrode appropriately, so that a completely single sensor can be used. It is compatible with a weight detecting device having a plurality of mounting tables having different weights, which is extremely simple in terms of manufacturing management.
第１図（ａ）は本発明の重量検出装置に係わる静電容量
型圧力センサの構造を示す断面図、同図（ｂ）は同構成
図、第２図（ａ）〜（ｃ）は同静電容量型圧力センサの
基準電極端子の接続構成図、第３図は同重量検出装置の
回路図、第４図は重量と発振周波数の関係を示す特性
図、第５図は同重量検出装置の構成図、第６図（ａ）は
従来の重量検出装置の静電容量型圧力センサの構造を示
す断面図、同図（ｂ）は同構成図、第７図は重量検出装
置の回路図である。 ６……静電容量型圧力センサ、７……ダイアフラム、８
……検出電極、10……シール材、14……マイコン、16…
…共通電極基板、18……基本基準電極、19−ａ……第１
の補助基準電極、19−ｂ……第２の補助基準電極、21…
…検出容量、22……基本基準容量、23……第１の補助基
準容量、24……第２の補助基準容量、26……容量検出回
路。1A is a cross-sectional view showing the structure of a capacitance type pressure sensor according to the weight detecting device of the present invention, FIG. 1B is the same configuration diagram, and FIGS. 2A to 2C are the same. FIG. 3 is a circuit diagram of the weight detection device, FIG. 4 is a characteristic diagram showing the relationship between weight and oscillation frequency, and FIG. 5 is a weight detection device of the capacitance type pressure sensor. FIG. 6A is a cross-sectional view showing the structure of a capacitance type pressure sensor of a conventional weight detection device, FIG. 6B is the same configuration diagram, and FIG. 7 is a circuit diagram of the weight detection device. It is. 6 ... Capacitance type pressure sensor, 7 ... Diaphragm, 8
…… Detection electrode, 10… Seal material, 14 …… Microcomputer, 16…
... common electrode substrate, 18 ... basic reference electrode, 19-a ... first
Auxiliary reference electrode, 19-b... Second auxiliary reference electrode, 21.
... Detection capacitance, 22... Basic reference capacitance, 23... First auxiliary reference capacitance, 24... Second auxiliary reference capacitance, 26.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黄地 謙三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平２−67925（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−67926（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−198739（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−160831（ＪＰ，Ｕ) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Kenzo Koji 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (56) References JP-A-2-67925 (JP, A) JP-A-2 -67926 (JP, A) JP-A-58-198739 (JP, A) JP-A-58-160831 (JP, U)
Claims (1)
イアフラムと対向する平板の共通電極基板と、前記ダイ
アフラムと共通電極基板とを両者の外周部にて互いに結
合するシール材と、前記ダイアフラムの中央部に形成さ
れた検出電極と、前記検出電極の周囲の実質的にダイア
フラムがたわまない部分に形成された基準電極および同
部にそれぞれ孤立して配された補助基準電極とからなる
静電容量型圧力センサと、前記ダイアフラムに機械的に
係合され被測定物を載置する載置台と、前記検出電極と
共通電極基板との間の検出容量および基準電極と共通電
極基板との間の基準容量を検出する容量検出手段と、前
記容量検出手段が検出した基準容量と検出容量の容量比
を演算して載置台上の重量を検出する制御部とを備え、
前記基準電極に補助基準電極を静電容量型圧力センサの
外部で適宜電気的に結合することによって基準容量を可
変できる構成とした重量検出装置。1. A non-conductive flat plate diaphragm, a flat plate common electrode substrate facing the diaphragm, a sealing material for connecting the diaphragm and the common electrode substrate to each other at their outer peripheral portions, A static electrode comprising a detection electrode formed in a central portion, a reference electrode formed in a portion around the detection electrode where the diaphragm does not substantially bend, and an auxiliary reference electrode separately disposed in the same portion. A capacitance type pressure sensor, a mounting table on which the object to be measured is mechanically engaged with the diaphragm, a detection capacitance between the detection electrode and the common electrode substrate, and a detection capacitance between the reference electrode and the common electrode substrate. A capacity detecting means for detecting a reference capacity of, and a control unit for calculating a capacity ratio between the reference capacity and the detected capacity detected by the capacity detecting means and detecting a weight on the mounting table,
A weight detecting device having a configuration in which a reference capacitance can be varied by appropriately electrically coupling an auxiliary reference electrode to the reference electrode outside the capacitance type pressure sensor.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14787789A JP2606376B2 (en) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Weight detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14787789A JP2606376B2 (en) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Weight detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0312529A JPH0312529A (en) | 1991-01-21 |
| JP2606376B2 true JP2606376B2 (en) | 1997-04-30 |
Family
ID=15440246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14787789A Expired - Lifetime JP2606376B2 (en) | 1989-06-09 | 1989-06-09 | Weight detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606376B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2674519B2 (en) * | 1994-08-31 | 1997-11-12 | 日本電気株式会社 | Injection compression molding machine |
| JP5542603B2 (en) * | 2010-09-29 | 2014-07-09 | 京セラ株式会社 | Pressure detection package and pressure detection device |
| HUE026046T2 (en) * | 2013-03-27 | 2016-05-30 | Grieshaber Vega Kg | Capacitative pressure measurement cell for detecting the pressure of a medium adjacent to the measurement cell |
| JP6841116B2 (en) * | 2017-03-24 | 2021-03-10 | 中国電力株式会社 | Strain measurement system |
-
1989
- 1989-06-09 JP JP14787789A patent/JP2606376B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312529A (en) | 1991-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2144680C1 (en) | Shielded variable-capacitance transducer | |
| US5051937A (en) | Low cost high precision sensor | |
| JP3757984B2 (en) | Stabilized pressure sensor | |
| US4227419A (en) | Capacitive pressure transducer | |
| US4517622A (en) | Capacitive pressure transducer signal conditioning circuit | |
| US4432238A (en) | Capacitive pressure transducer | |
| JPS6140529A (en) | Pressure and capacitance transducer and manufacture thereof | |
| US4628612A (en) | Tilt angle detection device | |
| JPS6034687B2 (en) | Pressure electronic conversion element | |
| US3314493A (en) | Electrical weigh scale with capacitive transducer | |
| JPH04290936A (en) | Sensor for capacity manometer | |
| US4366716A (en) | Pressure transducer | |
| JP2001033330A (en) | Sensor signal processing circuit | |
| JP3349739B2 (en) | Displacement measuring device | |
| JPS6073425A (en) | Force measuring instrument | |
| JP2606376B2 (en) | Weight detector | |
| JPH04502823A (en) | Moisture resistant meter reading device | |
| JP3399688B2 (en) | Pressure sensor | |
| JPH095191A (en) | Capacitance type pressure sensor | |
| JPS62267636A (en) | Sensor | |
| JPH0943078A (en) | Capacitance detection circuit of capacitance-type sensor | |
| US4458292A (en) | Multiple capacitor transducer | |
| US5022264A (en) | Instrument for measuring accelerations, particularly gravitation components for goniometry | |
| JPS60122336A (en) | Transducer | |
| JP2584057B2 (en) | Heat cooker with weight detection function |