JP2606249Y2 - Ultrasonic probe - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、超音波探触子に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic probe.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図８は従来の超音波探触子の構成図であ
る。図において、超音波を励起し、圧電効果により超音
波に対応する電気信号を発生する圧電振動子(PZT)１の
一方の面には、接地電極層２が、他方の面には、正電極
層３がそれぞれ形成されている。接地電極層２は、図８
に示すように、圧電振動子１の一方の面より、側面を経
由して他方の面の一部へ延出する延出部２ａが形成され
ている。2. Description of the Related Art FIG. 8 is a block diagram of a conventional ultrasonic probe. In the figure, a ground electrode layer 2 is provided on one surface of a piezoelectric vibrator (PZT) 1 for exciting an ultrasonic wave and generating an electric signal corresponding to the ultrasonic wave by a piezoelectric effect, and a positive electrode is provided on the other surface. Layers 3 are each formed. The ground electrode layer 2 is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, an extension 2a is formed to extend from one surface of the piezoelectric vibrator 1 to a part of the other surface via the side surface.
【０００３】圧電振動子１の正電極層３側には、圧電振
動子１より幅が狭く設定され、圧電振動子１を機械的に
支え、圧電振動子１を音響的に制動をかけ、超音波パル
ス波形を短くする背面負荷材４が設けられている。そし
て、背面負荷材４の一方の側面には、接地電極層２の延
出部２ａに導電性の接着剤５を用いてGND６が、背面負
荷材４の他方の側面には導電性の接着剤７を用いてFPC
８がそれぞれ設けられている。On the positive electrode layer 3 side of the piezoelectric vibrator 1, the width is set smaller than that of the piezoelectric vibrator 1, the piezoelectric vibrator 1 is mechanically supported, and the piezoelectric vibrator 1 is acoustically braked. A back load member 4 for shortening the sound pulse waveform is provided. On one side surface of the back load member 4, a GND 6 is formed on the extension 2 a of the ground electrode layer 2 using a conductive adhesive 5, and on the other side surface of the back load member 4, a conductive adhesive FPC using 7
8 are provided.
【０００４】次に、上記構成の動作を説明する。圧電振
動子１は、FPC８を介して圧電振動子１に加えられた電
気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送波)し、
又、圧電効果により生体より戻って来た超音波に対応す
る電気信号を発生(受波)する。Next, the operation of the above configuration will be described. The piezoelectric vibrator 1 excites (transmits) an ultrasonic wave (mechanical vibration) in response to an electric signal applied to the piezoelectric vibrator 1 via the FPC 8,
Also, it generates (receives) an electric signal corresponding to the ultrasonic wave returned from the living body by the piezoelectric effect.
【０００５】[0005]
【考案が解決しようとする課題】しかし、上記構成の超
音波探触子の構成において、圧電振動子の１の接地電極
層１とGND６との接続、又、圧電振動子１の正電極層３
とFPC８との接続は、導電性の接着剤５,７のみに頼って
いるので、これらの接続強度が弱いという問題点があ
る。However, in the configuration of the ultrasonic probe having the above configuration, the connection between the ground electrode layer 1 of the piezoelectric vibrator 1 and GND 6 and the positive electrode layer 3 of the piezoelectric vibrator 1
The connection between the FPC 8 and the FPC 8 depends only on the conductive adhesives 5 and 7, and therefore, there is a problem that the connection strength between them is weak.
【０００６】本考案は上記課題に鑑みてなされたもの
で、その目的は、電極の接続強度が強い超音波探触子を
提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic probe having a high electrode connection strength.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する請求
項１記載の考案は、圧電振動子と、該圧電振動子の一方
の面側に形成された電極層と、該電極層上に、接着層を
介して積層された１又は２以上の層からなり、各エレメ
ント毎に少なくとも１ヵ所以上の貫通穴を有する不導体
の整合層と、該整合層上に、接着層を介して積層された
第１電極と、前記整合層の貫通穴内に設けられ、前記電
極層,前記第１電極間の導通を取る導電体と、前記圧電
振動子の他方の面側に形成された第２電極とを備えるも
のである。According to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrator, an electrode layer formed on one side of the piezoelectric vibrator, and A non-conductive matching layer composed of one or more layers laminated via an adhesive layer and having at least one through hole for each element, and laminated on the matching layer via an adhesive layer A first electrode, a conductor provided in a through hole of the matching layer, and a conductor for conducting between the electrode layer and the first electrode; and a second electrode formed on the other surface side of the piezoelectric vibrator. It is provided with.
【０００８】請求項２記載の考案は、圧電振動子と、該
圧電振動子の一方の面上に形成された第１電極層と、前
記圧電振動子の他方の面上に形成された第２電極層と、
前記第１電極層上に、接着層を介して積層された１又は
２以上の層からなり、各エレメント毎に少なくとも１ヵ
所以上の貫通穴を有する不導体の整合層と、該整合層上
に、接着層を介して積層された可撓性を有する第１電極
と、前記整合層の貫通穴内に設けられ、前記第１電極
層,前記第１電極間の導通を取る導電体と、前記第２電
極層上に、接着層を介して積層された可撓性を有する第
２電極と、該第１電極上に、前記不導体の整合層の面形
状と略等しい面形状を有する音響整合層を介して、又は
介さずに音響レンズとを設け、前記第１電極及び前記第
２電極は、前記圧電振動子との積層部分より延出して電
極取出し部が形成されているものである。According to a second aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric vibrator, a first electrode layer formed on one surface of the piezoelectric vibrator, and a second electrode layer formed on the other surface of the piezoelectric vibrator. An electrode layer;
A non-conductive matching layer comprising one or more layers laminated on the first electrode layer via an adhesive layer, and having at least one through hole for each element; A first electrode having flexibility, laminated via an adhesive layer, a conductor provided in a through-hole of the matching layer, and conducting the first electrode layer and the first electrode; A flexible second electrode laminated on the two electrode layers via an adhesive layer, and a surface shape of the non- conductive matching layer on the first electrode;
An acoustic lens is provided with or without an acoustic matching layer having a surface shape substantially equal to the shape , and the first electrode and the second electrode extend from a laminated portion with the piezoelectric vibrator to take out an electrode. Part is formed.
【０００９】請求項３記載の考案は、請求項１または２
記載の考案における接着層は、加圧された絶縁性接着剤
で形成されているものである。[0009] The invention according to claim 3 is based on claim 1 or 2.
The adhesive layer in the described invention is formed of a pressurized insulating adhesive.
【００１０】[0010]
【作用】請求項１から請求項３記載の考案において、電
極を圧電振動子に対して積層構造としたことにより、電
極の接続強度が強く、電極の組付けが容易で歩留りの向
上を図れる。According to the first to third aspects of the present invention, since the electrodes have a laminated structure with respect to the piezoelectric vibrator, the connection strength of the electrodes is strong, the electrodes can be easily assembled, and the yield can be improved.
【００１１】[0011]
【実施例】次に図面を用いて本考案の一実施例を説明す
る。図１は本考案の一実施例の超音波探触子の要部断面
図、図２は図１に示す超音波探触子の要部斜視図、図３
は図１における圧電振動子の斜視図、図４は図１におけ
るFPCの展開図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. FIG. 1 is a sectional view of an essential part of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view of an essential part of the ultrasonic probe shown in FIG.
Is a perspective view of the piezoelectric vibrator in FIG. 1, and FIG. 4 is a development view of the FPC in FIG.
【００１２】先ず、図１から図３を用いて本実施例の超
音波探触子の構成を説明する。図において、複数の圧電
振動子(PZT)１１の一方の面上には、図３に示すよう
に、第１の電極層として、接地電極層１２が、他方の面
側には、第２の電極層として正電極層１３が、前もって
それぞれ形成されている。尚、本実施例では、電極層１
２,１３は、高周波化に有効な厚さ1000Å程度の金スパ
ッタ電極層としたが、材質は限定しない。First, the configuration of the ultrasonic probe according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3, a ground electrode layer 12 is provided on one surface of a plurality of piezoelectric vibrators (PZT) 11 as a first electrode layer, and a second electrode A positive electrode layer 13 is formed beforehand as an electrode layer. In this embodiment, the electrode layer 1
Reference numerals 2 and 13 denote gold sputter electrode layers having a thickness of about 1000 mm which are effective for increasing the frequency, but the material is not limited.
【００１３】圧電振動子１１の接地電極層１２側には、
加圧硬化された絶縁性接着剤層１４を介して、１又は２
以上の層からなる不導体の音響整合層１５が積層されて
いる。この音響整合層１５には、エッチング,レーザー
加工等の手法により貫通穴１５ａ(本実施例では、貫通
穴１５ａの径は100μm以下に設定した)が形成されてい
る。尚、音響整合層１５及び圧電振動子１１は、後述の
サブダイスによって、独立した複数のアレイに分割さ
れ、貫通穴１５ａは各アレイに少なくとも１ヵ所以上存
在するように設けられている。On the ground electrode layer 12 side of the piezoelectric vibrator 11,
1 or 2 via the pressure-cured insulating adhesive layer 14
A non-conductor acoustic matching layer 15 composed of the above layers is laminated. The acoustic matching layer 15 is formed with a through hole 15a (in this embodiment, the diameter of the through hole 15a is set to 100 μm or less) by a method such as etching or laser processing. In addition, the acoustic matching layer 15 and the piezoelectric vibrator 11 are divided into a plurality of independent arrays by a sub die, which will be described later, and the through holes 15a are provided so as to exist at at least one location in each array.
【００１４】更に、音響整合層１５上には、加圧硬化さ
れた絶縁性接着剤１６を介して、高分子フィルム１７が
積層されている。高分子フィルム１７は、音響整合層と
してのフィルム本体１８と、このフィルム本体１８の絶
縁性接着剤層１４側に蒸着によって形成された銅層１９
との２層からなる。そして、この高分子フィルム１７の
一部は、圧電振動子１１との積層部分より延出し、延出
部分の先端は電極取出し部１７ａが形成されている。Further, a polymer film 17 is laminated on the acoustic matching layer 15 via an insulating adhesive 16 cured by pressure. The polymer film 17 includes a film main body 18 as an acoustic matching layer, and a copper layer 19 formed on the insulating adhesive layer 14 side of the film main body 18 by vapor deposition.
And two layers. A part of the polymer film 17 extends from a portion where the piezoelectric vibrator 11 is laminated, and an electrode extracting portion 17a is formed at the tip of the extending portion.
【００１５】また、音響整合層１５の貫通穴１５ａに
は、接地電極層１２と高分子フィルム１７の銅層１９と
の導通を取る導電体３０が設けられている。具体的に
は、 貫通穴１５ａ内に銀フィラーを含有した導電性
の接着剤を充填する。In the through hole 15 a of the acoustic matching layer 15, there is provided a conductor 30 for conducting the ground electrode layer 12 and the copper layer 19 of the polymer film 17. Specifically, a conductive adhesive containing a silver filler is filled in the through hole 15a.
【００１６】 金,銅等のスパッタリングを音響整合層
１５の表面に行い、スパッタリング物質を貫通穴１５ａ
の壁面まで付着させる。等の方法がある。A sputtering of gold, copper, or the like is performed on the surface of the acoustic matching layer 15, and a sputtering material is passed through the through-hole 15 a
To the wall. And so on.
【００１７】圧電振動子１１の正電極層１３側には、加
圧硬化された絶縁性接着剤層２０を介してFPC２１が積
層されている。このFPC２１は図４に示すように、ポリ
イミドのベース部２２と、このベース部２２上の圧電振
動子１１側には、3μm厚の銅の蒸着により圧電振動子１
１に対応した導電パターン２３が形成されている。図４
における導電パターン２３のうち、ハッチング箇所は圧
電振動子１１の正電極層１３と接触し、電気的導通があ
る箇所であり、導電パターン２３のハッチング以外の箇
所は、表面に施されたレジストによって、絶縁されてい
る。又、FPC２１の両サイドは、圧電振動子１１との積
層部分より延出し、延出部分の先端は電極取出し部２１
ａが形成されている。On the positive electrode layer 13 side of the piezoelectric vibrator 11, an FPC 21 is laminated via a pressure-cured insulating adhesive layer 20. As shown in FIG. 4, the FPC 21 has a piezoelectric vibrator 1 on a polyimide base 22 and a piezoelectric vibrator 11 on the base 22 by vapor deposition of copper having a thickness of 3 μm.
The conductive pattern 23 corresponding to No. 1 is formed. FIG.
In the conductive pattern 23 in the above, a hatched portion is a portion that comes into contact with the positive electrode layer 13 of the piezoelectric vibrator 11 and has electrical continuity, and a portion other than the hatched portion of the conductive pattern 23 is formed by a resist applied to the surface. Insulated. Also, both sides of the FPC 21 extend from the layered portion with the piezoelectric vibrator 11, and the tip of the extended portion is
a is formed.
【００１８】２４はFPC２１のベース部２２側に取り付
けられ、圧電振動子１１を機械的に支え、圧電振動子１
１を音響的に制動をかけ、超音波パルス波形を短くする
背面負荷材である。Reference numeral 24 is attached to the base portion 22 side of the FPC 21 to mechanically support the piezoelectric vibrator 11 and
1 is a back load material that acoustically brakes 1 to shorten the ultrasonic pulse waveform.
【００１９】更に、銅層１９上には、音響整合層２５と
音響レンズ２６が積層されている。次に、上記構成の超
音波探触子の製造方法を説明する。図３に示すように、
圧電振動子１１の両面に金スパッタにより接地電極層１
２及び正電極層１３を形成する(ステップ１)。Further, on the copper layer 19, an acoustic matching layer 25 and an acoustic lens 26 are laminated. Next, a method of manufacturing the ultrasonic probe having the above configuration will be described. As shown in FIG.
The ground electrode layer 1 is formed on both surfaces of the piezoelectric vibrator 11 by gold sputtering.
2 and the positive electrode layer 13 are formed (Step 1).
【００２０】音響整合層１５に貫通穴１５ａをエッチン
グ,レーザー加工等の手法により形成する(ステップ
２)。貫通穴１５ａ内に、導電性接着剤の充填やスパッ
タリング等の手法により導電性物質を設ける(ステップ
３)。A through hole 15a is formed in the acoustic matching layer 15 by a technique such as etching or laser processing (step 2). A conductive substance is provided in the through hole 15a by a method such as filling with a conductive adhesive or sputtering (step 3).
【００２１】図５に示すように、圧電振動子１１の接地
電極層１２に絶縁性のエポキシ樹脂接着剤を用いて、音
響整合層１５と高分子フィルム１７を、正電極層１３に
絶縁性のエポキシ樹脂接着剤を用いてFPC２１をそれぞ
れ積層し、少なくとも、3Kgf/cm2以上の圧力Pを印加
し、これらを固着する(ステップ４)。As shown in FIG. 5, the acoustic matching layer 15 and the polymer film 17 are attached to the ground electrode layer 12 of the piezoelectric vibrator 11 using an insulating epoxy resin adhesive, and the insulating layer is attached to the positive electrode layer 13. The FPCs 21 are laminated using an epoxy resin adhesive, and a pressure P of at least 3 kgf / cm 2 is applied to fix them (Step 4).
【００２２】FPC２１側よりサブダイスを行う。具体的
には、図６に示す二点鎖線の部分にダイシングソーを用
いて切込み溝を入れることにより、圧電振動子１１を電
気的に独立した複数のアレイに分割する(ステップ５)。
尚、この時の切込み溝の幅tは、約40μm〜50μmであ
る。Sub dicing is performed from the FPC 21 side. More specifically, the piezoelectric vibrator 11 is divided into a plurality of electrically independent arrays by making incisions in a portion indicated by a two-dot chain line shown in FIG. 6 using a dicing saw (step 5).
At this time, the width t of the cut groove is about 40 μm to 50 μm.
【００２３】次に、背面負荷材２４,音響整合層２５及
び音響レンズ２６を取り付ける(ステップ６)。最後に、
FPC２１の両サイド、高分子フィルム１７の一方のサイ
ドを折り曲げ、図１に示すような形状とする(ステップ
７)。Next, the back load member 24, the acoustic matching layer 25, and the acoustic lens 26 are attached (Step 6). Finally,
Both sides of the FPC 21 and one side of the polymer film 17 are bent to have a shape as shown in FIG. 1 (step 7).
【００２４】次に、上記構成の動作を説明する。圧電振
動子１１は、FPC２１を介して圧電振動子１１に加えら
れた電気信号に対応して、超音波(機械振動)を励起(送
波)する。励起された超音波は、音響整合層１５,フィル
ム本体１８,音響整合層２５及び音響レンズ２６によっ
て生体との音響的な整合が図られ、音響レンズ２６で収
束されて生体内へ送波される。Next, the operation of the above configuration will be described. The piezoelectric vibrator 11 excites (transmits) an ultrasonic wave (mechanical vibration) in response to an electric signal applied to the piezoelectric vibrator 11 via the FPC 21. The excited ultrasonic waves are acoustically matched with the living body by the acoustic matching layer 15, the film body 18, the acoustic matching layer 25, and the acoustic lens 26, converged by the acoustic lens 26, and transmitted into the living body. .
【００２５】又、圧電振動子１１は、圧電効果により、
生体より戻って来た超音波に対応して電気信号を発生
(受波)する。ところで、圧電振動子１１の接地電極層１
２と音響整合層１５との間には、絶縁性の接着剤層１４
が、音響整合層１５と高分子フィルム１７の銅層１９と
の間には、絶縁性の接着剤層１６が、又、圧電振動子１
１の正電極層１３とFPC２１の導電パターン２３との間
には、絶縁性の接着剤層２０がそれぞれ介在している。
一方、高分子フィルム１７,音響整合層１５,圧電振動子
１１及びFPC２１は、それぞれ絶縁性のエポキシ樹脂接
着剤を用い、3Kgf/cm2以上の圧力Pが印加された状態
で、一体化されている。The piezoelectric vibrator 11 has a piezoelectric effect.
Generates electrical signals in response to ultrasonic waves returning from the living body
(Wave reception). By the way, the ground electrode layer 1 of the piezoelectric vibrator 11
2 and the acoustic matching layer 15, an insulating adhesive layer 14
However, an insulating adhesive layer 16 is provided between the acoustic matching layer 15 and the copper layer 19 of the polymer film 17.
An insulating adhesive layer 20 is interposed between the positive electrode layer 13 and the conductive pattern 23 of the FPC 21.
On the other hand, the polymer film 17, the acoustic matching layer 15, the piezoelectric vibrator 11 and the FPC 21 are integrated using an insulating epoxy resin adhesive while a pressure P of 3 kgf / cm 2 or more is applied. I have.
【００２６】よって、これらの絶縁性の接着剤層１４,
１６及び２０の厚さは薄く、各導体部材は充分近接した
状態にある。このような薄い絶縁性の層があっても、ト
ンネル効果,ショットキー導電、不純物導電等により、
電荷の移動が起こる。又、絶縁性の接着剤層１４,１６
及び２０の厚さは一定ではなく、対向する導体部材の表
面粗さによりある確率的に存在するものであり、場所に
よっては、厚さが極めて0に近くなっている、つまり、
圧電振動子１１の接地電極層１２と音響整合層１５の貫
通穴１５ａの導電体３０、音響整合層１５の貫通穴１５
ａの導電体３０と高分子フィルム１７の銅層１９、圧電
振動子１１の正電極層１３とFPC２１の導電パターン２
３が、接触している箇所もあり、この接触箇所では電荷
の移動が起こる。Therefore, these insulating adhesive layers 14,
The thickness of the conductors 16 and 20 is small, and the conductor members are sufficiently close to each other. Even with such a thin insulating layer, due to tunnel effect, Schottky conduction, impurity conduction, etc.
Charge transfer occurs. Also, the insulating adhesive layers 14, 16
And 20 are not constant and exist at a certain probability due to the surface roughness of the opposing conductor member, and in some places, the thickness is extremely close to zero, that is,
Conductor 30 in through-hole 15 a in ground electrode layer 12 and acoustic matching layer 15 of piezoelectric vibrator 11, through-hole 15 in acoustic matching layer 15
a conductor 30 and the copper layer 19 of the polymer film 17, the positive electrode layer 13 of the piezoelectric vibrator 11, and the conductive pattern 2 of the FPC 21
3 is in contact with some parts, at which charge transfer occurs.
【００２７】上記構成によれば、圧電振動子１１の接地
電極層１２と高分子フィルム１７の銅層１９との接続、
及び圧電振動子１１の正電極層１３とFPC２１の導電パ
ターン２３との接続は、これら圧電振動子１１,高分子
フィルム１７及びFPC２１を積層にすることによって行
われ、電極の接続強度が強い。According to the above configuration, the connection between the ground electrode layer 12 of the piezoelectric vibrator 11 and the copper layer 19 of the polymer film 17 is achieved.
The connection between the positive electrode layer 13 of the piezoelectric vibrator 11 and the conductive pattern 23 of the FPC 21 is performed by laminating the piezoelectric vibrator 11, the polymer film 17 and the FPC 21, and the connection strength of the electrodes is high.
【００２８】又、音響整合層１５を介在させることによ
って、音響的整合が向上し、従って超音波送受波時の効
率が向上する。更に、圧電振動子１１と同じ大きさの背
面負荷材２４を積層することが可能となるので、圧電振
動子１１の非機能領域がなくなり、圧電振動子１１の厚
み方向の開口全体が機能領域として利用でき、小型化が
容易で、送波時に不要な振動の発生がなく、受波信号の
品質(S/N比)が良好となる。Further, by interposing the acoustic matching layer 15, the acoustic matching is improved, and the efficiency at the time of transmitting and receiving ultrasonic waves is improved. Further, since the back load member 24 having the same size as the piezoelectric vibrator 11 can be stacked, the non-functional area of the piezoelectric vibrator 11 is eliminated, and the entire opening in the thickness direction of the piezoelectric vibrator 11 is used as a functional area. It can be used, can be easily miniaturized, does not generate unnecessary vibration during transmission, and has good quality (S / N ratio) of the received signal.
【００２９】又、圧電振動子１１の一方の面に対して、
絶縁性接着剤を介して音響整合層１５及び高分子フィル
ム１７を積層し、他方の面に絶縁性接着剤を介してFPC
２１を積層し、これらを加圧すれば電極の接続が完了す
るので、製造方法が簡単であり、電極の接続強度が強
く、組付けが容易で歩留りの向上を図れる。Further, with respect to one surface of the piezoelectric vibrator 11,
The acoustic matching layer 15 and the polymer film 17 are laminated via an insulating adhesive, and the other surface is covered with an FPC via an insulating adhesive.
When the electrodes 21 are laminated and pressurized, the connection of the electrodes is completed. Therefore, the manufacturing method is simple, the connection strength of the electrodes is strong, the assembly is easy, and the yield can be improved.
【００３０】尚、本考案は、上記実施例に限定するもの
ではない。上記実施例では、圧電振動子１１と高分子フ
ィルム１７間の音響整合層は音響整合層１５のみであっ
たが、図７に示すように、第１の音響整合層４０及び第
２の音響整合層４１よりなる２層構造とし、各音響整合
層４０,４１に貫通穴４０ａ,４０ｂを設け、これら貫通
穴４０ａ,４１ａ内に導電体４２を設けるようにしても
よい。The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, the acoustic matching layer between the piezoelectric vibrator 11 and the polymer film 17 is only the acoustic matching layer 15, but as shown in FIG. 7, the first acoustic matching layer 40 and the second acoustic matching layer The acoustic matching layers 40, 41 may be provided with through holes 40a, 40b, and the conductors 42 may be provided in the through holes 40a, 41a.
【００３１】又、１６,１４,２０は絶縁接着剤層とした
が、導電性接着剤を用いて十分薄い接着剤層が形成する
ことが可能であるならば、導電性の接着剤の使用も可能
である。Although the insulating adhesive layers 16, 14, and 20 are used, if a sufficiently thin adhesive layer can be formed using a conductive adhesive, the use of a conductive adhesive is also possible. It is possible.
【００３２】更に、圧電振動子１１の正電極側の取出し
に、FPC２１を用いたが、圧電振動子１１に対応した金
属箔であってもよい。又、上記実施例では、リニア型の
超音波探触子で説明を行ったが、他に、カーブドリニア
アレイ型や、マトリックスアレー型や、アニュラーアレ
ー型の超音波探触子にも適用できる。Further, although the FPC 21 is used to take out the piezoelectric vibrator 11 on the positive electrode side, a metal foil corresponding to the piezoelectric vibrator 11 may be used. Further, in the above-described embodiment, the description has been given of the linear type ultrasonic probe. However, the present invention is also applicable to a curved linear array type, a matrix array type, and an annular array type ultrasonic probe.
【００３３】更に、又、上記絶縁性接着剤層の導通は、
必ずしも直流的導通状態にある必要はない。探触子その
ものを動作させる場合には、絶縁性接着剤層がコンデン
サー的になっており、交流で圧電振動子を駆動するよう
にしてもよい。Further, conduction of the insulating adhesive layer is as follows.
It is not necessary to be in a DC conduction state. When the probe itself is operated, the insulating adhesive layer may serve as a capacitor, and the piezoelectric vibrator may be driven by alternating current.
【００３４】[0034]
【考案の効果】以上述べたように本考案によれば、電極
を圧電振動子に対して積層構造としたことにより、電極
の接続強度を強くすることができる。As described above, according to the present invention, since the electrodes have a laminated structure with respect to the piezoelectric vibrator, the connection strength of the electrodes can be increased.
【図１】本考案の一実施例の超音波探触子の要部断面図
である。FIG. 1 is a sectional view of a main part of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention.
【図２】図１に示す超音波探触子の要部斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a main part of the ultrasonic probe shown in FIG.
【図３】図１における圧電振動子の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of the piezoelectric vibrator shown in FIG. 1;
【図４】図１におけるFPCの展開図である。FIG. 4 is a development view of the FPC in FIG. 1;
【図５】図１に示す超音波探触子の製造方法を説明する
図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a method of manufacturing the ultrasonic probe shown in FIG.
【図６】図１に示す超音波探触子の製造方法を説明する
図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a method for manufacturing the ultrasonic probe shown in FIG.
【図７】他の実施例の要部断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a main part of another embodiment.
【図８】従来の超音波探触子の構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram of a conventional ultrasonic probe.
１１ 圧電振動子 １２ 接地電極層 １３ 正電極層 １４,１６,２０ 絶縁性接着剤層 １５ 音響整合層 １５ａ 貫通穴 １７ 高分子フィルム １７ａ,２１ａ 電極取出し部 １８ フィルム本体 １９ 銅層 ２１ FPC ２２ ベース部 ２３ 導電パターン ３０ 導電体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Piezoelectric vibrator 12 Ground electrode layer 13 Positive electrode layer 14, 16, 20 Insulating adhesive layer 15 Acoustic matching layer 15a Through hole 17 Polymer film 17a, 21a Electrode extraction part 18 Film main body 19 Copper layer 21 FPC 22 Base part 23 Conductive pattern 30 Conductor
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−114947（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−211599（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−251798（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−235600（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) A61B 8/00 A61B 8/15 G01N 29/00 G01N 29/28 Continuation of front page (56) References JP-A-2-114947 (JP, A) JP-A-4-211599 (JP, A) JP-A-60-251798 (JP, A) JP-A-60-235600 (JP, A) , A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) A61B 8/00 A61B 8/15 G01N 29/00 G01N 29/28
Claims (3)
の層からなり、各エレメント毎に少なくとも１ヵ所以上
の貫通穴を有する不導体の整合層と、 該整合層上に、接着層を介して積層された第１電極と、 前記整合層の貫通穴内に設けられ、前記電極層,前記第
１電極間の導通を取る導電体と、 前記圧電振動子の他方の面側に形成された第２電極と、 を備えることを特徴とする超音波探触子。A piezoelectric vibrator, an electrode layer formed on one surface side of the piezoelectric vibrator, and one or more layers laminated on the electrode layer via an adhesive layer; A nonconductive matching layer having at least one through hole for each element, a first electrode laminated on the matching layer via an adhesive layer, and provided in the through hole of the matching layer; An ultrasonic probe comprising: an electrode layer; a conductor that establishes electrical continuity between the first electrode; and a second electrode formed on the other surface of the piezoelectric vibrator.
と、 前記第１電極層上に、接着層を介して積層された１又は
２以上の層からなり、各エレメント毎に少なくとも１ヵ
所以上の貫通穴を有する不導体の整合層と、 該整合層上に、接着層を介して積層された可撓性を有す
る第１電極と、 前記整合層の貫通穴内に設けられ、前記第１電極層,前
記第１電極間の導通を取る導電体と、 前記第２電極層上に、接着層を介して積層された可撓性
を有する第２電極と、 該第１電極上に、前記不導体の整合層の面形状と略等し
い面形状を有する音響整合層を介して、又は介さずに音
響レンズとを設け、 前記第１電極及び前記第２電極は、前記圧電振動子との
積層部分より延出して電極取出し部が形成されているこ
とを特徴とする超音波探触子。2. A piezoelectric vibrator; a first electrode layer formed on one surface of the piezoelectric vibrator; a second electrode layer formed on the other surface of the piezoelectric vibrator; A non-conductive matching layer comprising one or more layers laminated on one electrode layer via an adhesive layer and having at least one through hole for each element; A first electrode having flexibility, laminated via a layer, a conductor provided in a through hole of the matching layer, and conducting between the first electrode layer and the first electrode, and a second electrode A flexible second electrode laminated on a layer with an adhesive layer interposed therebetween, and a surface shape of the non-conductive matching layer on the first electrode substantially equal to that of the second electrode.
An acoustic lens is provided with or without an acoustic matching layer having a flat surface shape , and the first electrode and the second electrode extend from a laminated portion with the piezoelectric vibrator to form an electrode extraction portion. An ultrasonic probe, which is characterized in that:
で形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項
２に記載の超音波探触子。3. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the adhesive layer is formed of a pressurized insulating adhesive.
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