JP2601294B2 - 位置計測装置 - Google Patents

位置計測装置

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JP2601294B2
JP2601294B2 JP362588A JP362588A JP2601294B2 JP 2601294 B2 JP2601294 B2 JP 2601294B2 JP 362588 A JP362588 A JP 362588A JP 362588 A JP362588 A JP 362588A JP 2601294 B2 JP2601294 B2 JP 2601294B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、位置の計測装置に関し、特に屋外土木作業
現場等路面の凹凸の激しい環境下における位置の計測に
適用して好適な装置に関する。
〔従来の技術〕 従来、2定点と被計測地点との幾何学的関係に基づい
た三角測量によって、該被計測地点の位置を計測する装
置としては、先に本出願人が出願した特願昭61-116857
「車両位置及び姿勢角の計測装置」、特願昭61-116858
「車両位置及び姿勢角の計測装置」、特願昭62-135785
「移動体の位置計測方法」、特願昭62-135832「移動体
の位置計測装置」の他に特願昭62-50616「レーザを用い
た測量方法」などがあげられる。
これらの計測装置では、上記2定点に夫々レーザ投光
器が設置され、一方被計測対象である作業車両等の移動
体には、レーザ受光器が設置される。そして、上記2台
のレーザ投光器から水平方向にレーザ光を回転投光さ
せ、それぞれの投光器から投光されたレーザ光を上記受
光器で受光して、所定の方位から当該受光器で受光され
るまでの時間を上記2台の投光器のそれぞれについて求
め、これら2台の投光器の位置と被計測移動***置との
幾何学的関係に基づく三角測量によって被計測対象の二
次元位置を求めるようにしている。
〔発明が解決しようとする課題〕
上記した従来の計測装置では、上記2台のレーザ投光
器から回転投光される光の照射方向は、水平方向に固定
である。そこで、従来はこれら投光器の設置点と被計測
地点との高低差を考慮して上記受光器の受光面の鉛直方
向長が設定されている。
ところが、屋外土木作業現場等、地面の高低差が著し
く大きい環境下では、投光された光が受光面から外れる
ことが多々あり、当の位置計測が不能になる不都合があ
る。
こうして位置計測が不能となった場合には、たとえそ
れが一時的であるにせよ、作業車両等の移動体による作
業は中断せざるを得なくなるであろうし、また当の計測
不能地点を計測すべく他の方法による対策を講じせざる
を得ないことになり、人的および時間的ロスを来たし、
作業経済性を著しく損なうことになる。
なお、こうした問題点を解決する方法として、受光器
の鉛直方向長を長く設定するなどの方法も検討されてい
る。しかし、この方法は、受光器が移動体上に設置され
ている場合には、当の移動体の安定性を損ねる虞れがあ
ろうし、また装置コストの上昇が招来することなどか
ら、いずれも採用、実施されるには至っていない。
本発明は、上記した従来の問題点を解決するためにな
されたもので、その目的とするところは、屋外土木作業
現場等、2台のレーザ投光器の設置点とこれら投光器か
ら投光された光を受光する被計測地点との高低差が著し
い環境下であっても、確実に位置計測を行なうことので
きる位置計測装置を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記した従来の問題点を解決するために、本発明の第
1発明では、2定点に設置された第1および第2の投光
手段から回転投光される光の仰角または俯角を変化させ
る角度変化手段を具えるようにする。
また、本発明の第2発明では、上記第1および第2の
投光手段から回転投光される光の仰角または俯角を変化
させる角度変化手段と、受光手段によって検出した受光
高さ位置を上記角度変化手段の出力に基づいて補正する
受光高さ位置補正手段とを具えるようにする。
〔作用〕
すなわち、本発明の第1発明では、上記第1および第
2の投光手段から回転投光された光が上記受光手段にお
いて受光されない場合に、上記角度変化手段によって、
これら第1および第2の投光手段から回転投光される光
の仰角または俯角が変化する。このため地面に激しい高
低差があった場合でも、2次元の位置計測が確実に行な
われる。
また、本発明の第2発明では、上記とともに、受光高
さ位置が上記受光高さ位置補正手段によって補正される
ので3次元の位置計測が確実に行なわれる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明す
る。
第2図は、位置計測装置の配置態様を示す概略図であ
る。
同図に示すレーザ投光器10,20は、それぞれ屋外土木
作業現場の予め設定した2定点A,Bに設置されており、
これらのレーザ投光位置は同一の高さになるように設定
されている。
これら投光器10,20は、レーザ光を全方位に一定周期
で回転しながら投光するものであり、それぞれ同一方向
にかつ互いに同期して回転する。この実施例では、同図
に矢印で示すごとく両投光器10,20は、上からみて反時
計方向に回転するものとする。
上記投光器10,20から回転投光されるレーザ光の基準
方位、すなわち同図に一転鎖線で示す方位には、それぞ
れ受光素子11,21が貼着された各プレート12,22が配設さ
れている。
受光素子11,21は、送・受信機1に接続されていて、
該送・受信機1は、これら受光素子11,21で受光された
レーザ光の受光信号およびコントローラ2の出力を後述
する送・受信機3に送信するとともに、該送・受信機3
から送信されたデータを受信する。
コントローラ2は、上記送・受信機1に接続されてい
て、該送・受信機1の出力に基づいて、後述するミラー
駆動部13,23を制御するものである。
一方、被計測地点であるCには、所定の鉛直方向長H
の受光部31を有する受光器30が配設されている。この受
光器30は、鉛直方向に所定の間隔で配設された複数の受
光素子32…で構成されている。
送・受信機3は、演算器4に接続されていて、上記送
・受信機1から送信されたデータを受信し、かつ該演算
器4から得られたデータを上記送・受信機1に送信する
ものである。
ここで、本発明に採用する位置計測(三角測量)の原
理について説明する。
第3図は、2定点A,Bと被計測地点Cとの幾何学的関
係を示す原理図である。
同図において2定点A,B間の距離をL,X軸と線分ACとの
なす角をαa、X軸と線分BCとのなす角をαbとすると
被計測地点Cのxy座標は、次の第(1)式のように表わ
される。
この位置計測方法では、上記角度αa,αbを求めるに
際し、上記投光器10,20から回転投光される光が上記基
準方位に達してから、上記受光器30によって受光される
までの回転角を2定点A,Bにおける投光器10,20のそれぞ
れについて検出することにより行なわれる。
つまり、第4図に示すごとく、上記2定点A,Bにおけ
る投光器10,20から投光される光の周期をそれぞれTa,Tb
(第4図(a),(c),ここでTa=Tb)とする。2定
点A,Bにおける投光器10,20から投光されるレーザ光が基
準方位(x軸方向)に達してから、C点における受光器
30で受光されるまでの時間をA,Bについてそれぞれta,tb
(第4図(b),(d))とすると、上記回転角αa,α
bは次の第(2)式のように表わされる。
そこで、これら角度αa,αbと2台の投光器10,20間
の距離Lを上記第(1)式に代入することにより、上記
被計測位置地点Cの2次元位置を計測することができ
る。
ところでこの場合、上記2台の投光器10,20から回転
投光された光が上記受光器30において確実に受光されて
いることが当の位置計測を行なう上で不可欠の要素とな
っている。
第5図(a)は、2定点A,Bに設置された投光器10,20
から水平方向にレーザ光が投光され、該レーザ光が、上
記A,B点と同一高さの被計測地点C1に設置された受高器3
0で受光される場合を示しており、このように2定点A,B
と被計測地点C1の高さ位置が等しいときにレーザ光が受
光部31の中心で受光されるよう受光器30の高さ方向の各
種寸法が設定されてある。
また、同図(b)および(c)は、受光器30がC1との
高低差がH/2以内の被計測地点C2またはC3に移動、設置
された場合を示しており、この場合も、該地点において
上記受光部31における受光が可能である。
ところが同図(d)および(e)に示すごとく、受光
器30がC1との高低差がH/2よりも大きい被計測地点C4
たはC5に移動、設置された際には、上記回転投光された
光が上記受光部31において受光されなくなってしまう。
そこで、この実施例では、このような場合であっても
受光が行なわれるように上記投光器10,20から回転投光
される光の仰角または俯角を変化させる手段を設けてい
る。
すなわち、第1図に示す投光器10,20のそれぞれに具
えたミラー駆動部13,23によって光の仰角または俯角を
変化させる。
ミラー駆動部13,23は、レーザ光源14,24の光軸上に配
置されたミラー15,25と、このミラー15,25を減速ギヤを
介して水平軸を中心に回動させるモータ16,26と、モー
タ16,26の回転量に対応した数のパルスを出力するパル
スエンコーダ17,27と、エンコーダ17,27の出力パルスを
カウントするカウンタ18,28と、モータ16,26を駆動する
ドライバ19,29とを備えた構成をもつ。
なお上記ミラー15,25は、同図に矢印Gで示すごと
く、投光器10,20の回転軸を中心としてこれらと同期し
て回転し、レーザ光をレーザ投光口10a,20aから受光部3
1に向けて回転投光する。
ここで、上記ミラー駆動部13,23の作用について説明
する。
ミラー15,25の傾き角は、初期状態においては、レー
ザ投光口10a,20aから受光器30に向けて投光されるレー
ザ光の光軸Dが、投光器10,20の設置面に対して平行方
向となるような基準角度に設定されている。
一方、コントローラ2からの指令がドライバ19,29に
加えられると、モータ16,26によってミラー15,25の傾き
角が上記基準角度から所定角度だけ傾動される。これに
よって上記光軸Dから仰角方向または俯角方向に+αま
たは−αだけ変化した光軸EまたはFを得ることができ
る。
このように、光軸が変化した場合には、第5図
(d),(e)のような場合においても、同図(d),
(e)にそれぞれ破線で示すごとく、投光器10,20から
投光されたレーザ光が受光器30の受光部31において受光
されるようになるので、位置計測が可能になる。
なお、ミラー15,25についての基準角度からの角度変
化量すなわちレーザ光の光軸変化角は、カウンタ18,28
で計測され、コントローラ2にフィードバックされる。
第6図は、受光器30側に備えられた演算器4の構成を
概念的に示すブロック図である。また、第7図は、演算
器4の処理手順を示す。
以下、これら図面を参照して実施例をより詳しく説明
する。
レーザ光による位置計測を行なう場合には、その測量
準備として各投光器10,20の設置誤差等の計測が行なわ
れ、ここで得られたデータは、以下に述べる位置計測で
得られた計測データを補正するものとして使用される
が、この補正演算は本願とは直接関係ないので説明を省
略する。
上記測量準備が終了すると、オペレータは各被計測地
点に受光器30を移動,設置する。
オペレータは、かかる移動,設置の際レーザ光が受光
器30において受光されるように、必要に応じてミラー1
5,25の角度調整を行なう。
すなわち、上記ミラー15,25の傾き角は、測量開始時
点である初期状態においては、第5図(a)に示すごと
く、レーザ光が水平方向に投光されるような角度に設定
されている。したがって、この状態から受光器30が、同
図(b),(c)に示す被計測地点C2,C3に移動,設置
された際は、レーザ光が受光器30において受光されるの
で上記ミラー15,25の角度調整は行なわれない。
しかし、同図(d),(e)に示すごとく、受光器30
が、被計測地点C4またはC5に移動,設置された際には、
該受光器30において受光が行なわれるように所定角度だ
けミラー15,25の傾き角を変化させるためのミラー角度
変化指令データを、ミラー角度変化指令入力部4bに入力
する(ステップ101)。
上記ミラー角度変化指令データは、送・受信機3を介
して、送・受信機1に送信される。なお、送・受信機3
から送・受信機1に送信される角度変化指令に信号に
は、いずれのミラーに対する指令であるかを特定する信
号が付加されている。
送・受信機1では、送・受信機3から送信された角度
変化指令信号が受信され、コントローラ2はこの受信デ
ータに基づき各ミラー15,25の傾き角を制御する。
この場合、コントローラ2では、カウンタ18,28のフ
ィードバック信号に基づく上記傾き角のフィードバック
制御が行なわれる。やがて、各ミラー15,25の傾き角が
目標値である上記角度変化指令データに対応する所定角
度に達した際には、このカウンタ18,28の出力、すなわ
ちミラー15,25についての基準角度からの角度変化量
は、コントローラ2を介して、送・受信機1から送・受
信機3に送信される。この角度変化量は、上記送・受信
機3から座標演算部4cに入力される。
なお、上述したレーザ投光角可変動作の後、オペレー
タは、受光器30において、受光が行なわれているか否か
を確認し、受光が行なわれていないことが判明された際
には、角度を変えたミラー角度変化指令データを再入力
することによって上記処理を繰り返し実行する。また受
光が行なわれたことが判明された際には、処理は、次の
ステップ103に移行される(ステップ102)。
このようにして、ミラー15,25の傾き角が確定する
と、投光器10,20から投光されたレーザ光がそれぞれ受
光素子11,21で受光されて、これら受光素子11,21でそれ
ぞれ受光されたレーザ光の受光信号は、送・受信機1を
介して、送・受信機3に送信される。
送・受信機3では、送・受信機1から送信されたレー
ザ光の受光信号を受信した際、投光器10の受光信号を時
間測定部4dに、投光器20の受光信号を時間測定部4eにそ
れぞれ出力する(ステップ103)。
一方、投光器10,20がさらに回転し、これら投光器10,
20から投光されるレーザ光が受光器30の受光部31で受光
されると、これら受光信号は、その受光高さ位置および
受光時間を示す信号として高さ演算部4fおよび上記時間
差測定部4d,4eにそれぞれ入力される。なお、受光高さ
位置を示す信号は、各受光素子32…のいずれの受光素子
で受光されたかを示す信号として、高さ演算部4fに入力
される。
ここで、上記受光信号がいずれの投光器からの受光信
号であるかを特定する方法を説明する。前記したごとく
投光器10,20はほぼ同期して回転される。さらに第3図
に示すごとく、この三角測量は、αa<90°,αb>90
°となるような配置で行なわれる。したがって、レーザ
光が基準方位に達してから、受光部31で受光されるまで
の各時間ta,tbの関係は、ta<tbとなり、このような受
光順序によっていずれの投光器からの受光信号であるか
を特定することができる(ステップ104)。
時間差測定部4dおよび4eでは、送・受信機3から出力
される基準方位を示す受光信号と受光部31から出力され
る受光信号に基づいて投光器10および20についての上記
時間taおよびtbがそれぞれ検出される(第4図参照、ス
テップ105)。
これら時間taおよびtbを上記第(2)式に代入するこ
とにより、投光器10,20のそれぞれの回転角αa,αbが
角度演算部4g,4hによってそれぞれ演算される(ステッ
プ106)。
さらに、これら演算された回転角αa,αbおよび両投
光器10,20間の距離Lを上記第(1)式に代入すること
により、受光器30の2次元の位置すなわち被計測地点の
位置C(x,y)が、座標演算部4cにおいて演算される
(ステップ107)。
一方、高さ演算部4fでは、受光部31の出力に基づい
て、被計測地点Cの鉛直方向の仮高さ位置Z1が演算され
る。
すなわち、この仮高さ位置Z1は、ミラー15,25の傾き
を考慮しない段階での被計測地点Cの高さ位置を示すも
のであり、この場合投光器10の設置点A(または投光器
20の設置点B)を高さ方向の原点とし、また前述したよ
うに設置点Aと被計測地点Cの高さ位置が等しいとき
(第5図(a)参照)、レーザ光が受光部31の中心で受
光されるよう設定されているため、上記仮高さ位置Z1
受光部31の中心からの変位として表わされる。
例えば、第5図(b)に示すごとく、受光位置が受光
部31の中心から下側にH/2ズレているときは、仮高さ位
となる。また同図(d)に示す被計測地点C4において
も、同図(b)の受光素子32と同じ受光素子で受光が行
なわれるので、仮高さ位置は同じく、 となる。
すなわち第5図(b)に示す場合と第5図(d)に示
す場合とでは、受光部31の受光素子32として同一の受光
素子において受光が行なわれるので、仮高さ位置Z1は同
じになるが、第5図(d)の場合は、ミラー15,25の傾
きを変化させているので、の場合の仮高さ位置Z1は真の
高さ位置を示してはいない。このようにして求められた
仮高さ位置Z1は、座標演算部4cに入力される(ステップ
108)。
つぎに座標演算部4cでは、上記送・受信機3から出力
される前記角度変化量に基づいて、上記ミラー15,25の
傾き角が基準角度から変化したか否かが判断される(ス
テップ109)。
上記ステップ109の判断結果がNOの場合、つまりミラ
ー15,25の傾き角が基準角度である場合には、上記ステ
ップ108で演算された仮高さ位置Z1を被計測地点の鉛直
方向の座標位置Zとする処理が実行される(ステップ11
0)。この場合、上記座標位置Zは上記ステップ107にお
いて演算された被計測地点の2次元座標値x,yとともに
格納され、かつ表示部4iに表示される(ステップ11
1)。
一方、上記ステップ109の判断結果がYESの場合、つま
りミラー15,25の傾き角が傾動されて基準角度から変化
した場合には、この角度変化量と上記ステップ107にお
いて演算された被計測地点の2次元位置x,yおよび上記
2定点A,Bの2次元位置A(xA,yA),B(xB,yB)に基づ
いて、上記仮高さ位置Z1を補正する処理が実行される。
すなわち、第5図(d),(e)に示すごとく、ミラ
ー15,25の傾き角が変化して、レーザ光の光軸方向が水
平方向から、仰角、俯角方向に+αおよび−αだけ変化
したとすると、被計測地点の座標位置Zを求めるために
は、上記仮高さ位置Z1に対して上記光軸の変化に伴なう
補正値Z2を加算(または減算)する必要がある。
上記補正値Z2を求めるには、上記2定点A,Bの2次元
位置A(xA,yA),B(xB,yB)および被計測地点Cの2次
元位置C(x,y)からA,C点間の距離lAcおよびB,C間の距
離lBcを下記(3)式に基づいてそれぞれ演算する。
そして、上記ミラー15,25の角度変化量から対応する
光軸の仰角または俯角方向の変化量+αまたは−αを求
め、この変化量と上記距離lAcまたはlBcを下記第(4)
式に代入することによって上記補正値Z2が演算される
(ステップ112)。
Z2=ltan α …(4) (但し、l;lAcまたはlBc′) 以上のようにして補正値Z2が演算されると、下記第
(5)式にしたがって、座標位置Zを演算する処理が実
行される。
Z=Z1+Z2 …(5) ちなみに、第5図(d)に示す被計測地点C4の仮高さ
位置Z1は、前記したごとく同図(b)の仮高さ位置Z1
同じくZ1=H/2であり、補正値Z2は、上記第(4)式か
らlActan α(またはlBctan α)となるので、被計測地
点C4の真の座標位置は、Z=H/2+lActan α(またはH/
2+lBctan α)となる(ステップ113)。
このようにして、座標位置Zが演算されると、該座標
位置Zは、上記ステップ107において演算された被計測
地点の2次元座標x,yとともに格納され、かつ表示部4i
に表示される(ステップ111)。
以上説明したようにこの実施例によれば、レーザ光の
光軸が仰角または俯角方向に変化するようにしたので、
受光器における受光が確実に行なわれる。
これとともに、この光軸の変化量に基づいて受光器の
受光高さ位置を補正して、被計測地点の真の鉛直位置座
標を求めることができる。
なお、実施例では、ミラー駆動部13,23に対する角度
変化指令として、オペレータによるデータ入力によって
与えるようにしているが、これに限定されることはな
い。
すなわち、演算器4に受光部31において受光が行なわ
れたか否かを判断する手段と、該手段において受光が行
なわれていないと判断された際に、ミラー15,25の傾き
角を適宜変化させる角度変化指令を発生する角度変化指
令発生手段を具えるようにして、ミラーの角度変化制御
を自動化する実施も当然可能である。
なおまた、実施例では、ミラー駆動部13,23に対する
角度変化指令を2台の送・受信機による無線で与えるよ
うにしているが、これに限定されることなく当然有線に
て実施可能である。また、この場合の指令は、被計測地
点からの遠隔操作による指令に限定されることなく、投
光器の設置地点においてコントローラ2に直接指令を与
えるようにしてもよい。
また、実施例では、作業現場における各点をスポット
測量する場合を想定して説明したが、移動体に受光器を
搭載して、該移動体の位置を計測するようにしてもよ
い。もちろんこの移動体の位置計測としては、車両に限
らず港湾等における船舶の測位等あらゆる移動体の位置
計測に適用可能である。
また、実施例では、2台から投光器からそれぞれ得ら
れる基準方位信号を一台の送・受信機で送受信するよう
にしているが、上記基準方位信号を各別の送・受信機で
送受信するようにしてもよいことは勿論である。
また、実施例では、2台の投光器の回転方向が同方向
になるようにしているが、もちろん互い逆方向に回転さ
せるようにしてもよい。
また、実施例では、2台の投光器から投光されたレー
ザ光を共通の受光部31で受光するようにしているが、2
台の投光器からそれぞれ投光されるレーザ光を各別に受
光するために互いに高さを異にした受光部を設けるよう
にしてもよい。
また、実施例では、2台の投光器の各基準方位にこれ
ら2台の投光器から投光されたレーザ光を識別受光する
受光素子11,21をそれぞれ設けるようにしているが、必
ずしもこれら受光素子11,21を設けることなく、各投光
器を同期して定速回転させて、各投光器から投光される
レーザ光の被計測地点における受光タイミングのみで、
位置計測を行なうようにしてもよい。
要は、レーザ光を用いた三角測量を行なう装置であれ
ば、それ自体の構成は任意である。
なお、この実施例ではレーザ光を投光して三角測量を
行なう例を示したが、勿論レーザ光に限らず直進性に優
れた光であれば、これを使用する実施も当然可能であ
る。
なお、また実施例では、ミラ15,25の角度を変化させ
て、レーザ光の光軸方向を変えているが、これに限定さ
れることなく、投光器自身を傾動変化させて、上記光軸
方向を変えるようにしてもよい。
要は、レーザ光の光軸方向を変化させることができる
のであれば、その方法は任意である。
さらに、高さ方向の受光位置を検出するために、受光
部31にポジションセンサ(PSD)を用いるようにしても
よい。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、投光器から投
光されたレーザ光の光軸が仰角または俯角方向に変化す
るので、凹凸の激しい環境下であって受光が確実に行な
われる。これによって、位置計測が不能になるという不
都合が除去され、作業経済性が著しく向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、実施例におけるミラ駆動部の構成を概念的に
示す斜視図、第2図は、本発明の一実施例の装置の配置
態様を示す概略斜視図、第3図は、本発明で採用する位
置計測の原理を説明するために用いる図、第4図
(a),(b),(c),(d)は、それぞれ実施例に
おけるレーザ光の受光信号を示すタイムチャート、第5
図(a),(b),(c),(d),(e)は、それぞ
れ実施例における被計測地点の変化態様を示した図、第
6図は、実施例の演算器の構成を概念的に示すブロック
図、第7図は、第6図に示す演算器における処理手順を
示すフローチャートである。 1,3……送・受信機、2……コントローラ、4……演算
器、10,20……レーザ投光器、11,21,32……受光素子、1
3,23……ミラ駆動部、15,25……ミラ、16,26……モー
タ、19,29……ドライバ、30……受光器、31……受光
部。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】離間した2定点に設置され、各設置点にお
    ける鉛直軸を回転軸として回転しつつ、光を投光する第
    1および第2の投光手段と、被計測地点に配置され、上
    記第1および第2の投光手段からそれぞれ回転投光され
    る光を受光する受光手段とを具え、該受光手段の出力に
    基づく三角測量によって上記被計測地点の位置を計測す
    る位置計測装置において、 上記第1および第2の投光手段から回転投光される光の
    仰角または俯角を変化させる角度変化手段を具えたこと
    を特徴とする位置計測装置。
  2. 【請求項2】離間した2定点に設置され、各設置点にお
    ける鉛直軸を回転軸として回転しつつ、光を投光する第
    1および第2の投光手段と、被計測地点に配置され、上
    記第1および第2の投光手段からそれぞれ回転投光され
    る光を受光する受光手段とを具え、該受光手段の出力に
    基づく三角測量によって上記被計測地点の3次元位置を
    計測する位置計測装置において、 上記第1および第2の投光手段から回転投光される光の
    仰角または俯角を変化させる角度変化手段と、 上記受光手段によって検出した受光高さ位置を上記角度
    変化手段の出力に基づいて補正する受光高さ位置補正手
    段と、 を具えたことを特徴とする位置計測装置。
JP362588A 1987-09-30 1988-01-11 位置計測装置 Expired - Lifetime JP2601294B2 (ja)

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DE19883890813 DE3890813T1 (de) 1987-09-30 1988-09-30 Positionsmessvorrichtung, welche laserstrahlen verwendet
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