JP2600868B2 - Optical products and their manufacturing method - Google Patents
Optical products and their manufacturing methodInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 〔目次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術（第５図〜第８図および第18図） 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段（第１図〜第４図） 作用 実施例 ・光ヘッド部品への適用例（第９図〜第10図および第14
図） ・光スイッチ、分波器、合波器への適用例（第11図〜第
12図） ・複合機能膜の適用例（第13図） ・光学部品用基材と複合光学部品の製造方法（第15図〜
第16図） ・本発明の複合光学部品を使用した光磁気ディスク用光
ヘッド（第17図） 発明の効果 〔概要〕 光学部品用基材と複合光学部品およびその製造方法に
関し、 小型、高精度、高機能の複合光学部品を実用化するこ
とを目的とし、 複数の透明な平行平板と光学的機能を有する膜または
薄板を積み重ねて光学部品用基材を形成し、その光学部
品用基材から切り出された積層ブロックの４つの側面と
両端面の合計６つの面が所要の機能を持つように加工さ
れており、その６つの面のうちの２つ以上の面が光学的
に加工されて光の入出斜面となるように複合光学部品を
構成する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Table of Contents] Outline Industrial application field Conventional technology (FIGS. 5 to 8 and FIG. 18) Problems to be Solved by the Invention Means for Solving the Problems (FIG. 1) To FIG. 4) Action Embodiment ・ Example of application to optical head parts (FIGS. 9 to 10 and 14)
・ Examples of application to optical switches, demultiplexers, and multiplexers (Fig. 11 to Fig. 11)
(Fig. 12)-Application example of composite functional film (Fig. 13)-Base material for optical component and manufacturing method of composite optical component (Fig. 15-
(FIG. 16) ・ Optical head for magneto-optical disk using composite optical component of the present invention (FIG. 17) Effect of the Invention [Overview] Optical component base material, composite optical component, and method of manufacturing the same are small and highly accurate With the aim of commercializing high-performance composite optical components, a plurality of transparent parallel plates and a film or thin plate having an optical function are stacked to form an optical component base material, and the optical component base material is formed. A total of six surfaces including the four side surfaces and both end surfaces of the cut laminated block are processed so as to have a required function, and two or more of the six surfaces are optically processed to obtain light. The composite optical component is configured so as to have an entrance / exit slope.
また、各複合光学部品を一括多量生産するための製造
工程として、所要の機能を複合光学部品に合わせて作製
された大きな積層物である光学部品用基材から、４つの
側面を切り出し研磨する工程と、両端面を加工する工程
と、光の入出射面を光学的に精密加工する工程とから構
成する。In addition, as a manufacturing process for mass production of each composite optical component, a step of cutting and polishing four side surfaces from an optical component base material, which is a large laminate manufactured with a required function according to the composite optical component. And a step of processing both end faces, and a step of optically precisely processing the light input / output surface.
本発明は、複合光学部品の改良に関する。 The present invention relates to improvements in composite optical components.
海底通信ケーブルを中心とした基幹電送線路に光が使
用されるようになったことは良く知られている。It is well known that light has come to be used for backbone transmission lines centered on submarine communication cables.
さらに、光ファイバ、レーザ光源、光データリンクそ
の他の光学部品の改良に伴い、LAN（Local Area Networ
k）などへの導入も盛んになり、最近の新しいインテリ
ジェントビルには光フアイバによる情報ネットワークシ
ステムが使用されるようになってきた。Furthermore, with the improvement of optical fibers, laser light sources, optical data links and other optical components, LAN (Local Area Network)
In recent years, new intelligent buildings have been using optical fiber-based information network systems.
一方、コンピュータ関係でも情報の処理速度、転送速
度の高速化やEMI（電波障害）対策などの要請から光フ
ァイバや光データリンクとして光技術が採用され始めて
いる。今後、ますます情報処理関連機器への光技術の導
入が増加してくるものと思わられる。On the other hand, in the field of computers, optical technology has begun to be used for optical fibers and optical data links due to demands for faster information processing speeds, higher transfer speeds, and measures against EMI (radio interference). In the future, it is expected that optical technology will be increasingly introduced into information processing-related equipment.
例えば、書替え可能な大容量記憶装置としての光磁気
ディスク装置やレーザプリンタなどは代表的な例であ
る。For example, a magneto-optical disk device or a laser printer as a rewritable large-capacity storage device is a typical example.
また、民生エレクトロニクス分野てもオーディオディ
スク（CD:コンパクトディスク）など光技術を使用した
機器が大きく伸びてきている。In the consumer electronics field, devices using optical technology, such as audio discs (CDs: compact discs), are increasing significantly.
これらの機器にはレンズ、プリズム、ビームスプリッ
タ、波長板その他多くの光学部品が使用されているが、
殆どの場合個々の光学部品を組合せて使用しているのが
現状である。These devices use lenses, prisms, beam splitters, wave plates and many other optical components,
In most cases, individual optical components are used in combination in most cases.
従来の光学部品、例えば偏光ビームスプリッタ、 その他のビームスプリッタ、ハーフミラーなどは第５
図に示したように、二個のプリズムの間に光学的機能を
有する膜または薄板を挟んで構成している。Conventional optical components such as polarizing beam splitters, other beam splitters, half mirrors, etc.
As shown in the drawing, a film or a thin plate having an optical function is sandwiched between two prisms.
図中１は光学的機能を有する膜または薄板、９はプリ
ズムである。In the figure, 1 is a film or a thin plate having an optical function, and 9 is a prism.
また、二分の一波長板、四分の一波長板、その他の波
長板、波長フィルタ、全反射ミラーなどは第６図に例を
示したように、透明な平板２の間に光学的機能を有する
膜または薄板１を挟んで構成している。Further, a half-wave plate, a quarter-wave plate, other wave plates, a wavelength filter, a total reflection mirror and the like have an optical function between the transparent flat plates 2 as shown in FIG. It has a film or a thin plate 1 interposed therebetween.
従来、これらは何れも個別部品として製造されてお
り、熟練作業者の手作業による精密加工に頼っているの
が一般的で、従って小型、軽量化にも限界が有り取扱に
も注意を必要とした。Conventionally, all of these have been manufactured as individual parts, and generally rely on the precision machining by a skilled worker by hand.Therefore, there are limits to miniaturization and weight reduction, and care must be taken in handling. did.
一般に複雑な光学デバイスでは、これらの個別光学部
品をいくつか組合せて光学系を構成し所望の性能を得て
いる。Generally, in a complicated optical device, an optical system is configured by combining some of these individual optical components to obtain desired performance.
第７図にその一例として、光磁気ディスク用光ヘッド
のよく知られた代表的構成例を示す（光ディスク技術ハ
ンドブック,P78,日経マクグローヒル社，昭和62年９月1
0日発行）。FIG. 7 shows an example of a well-known typical configuration of an optical head for a magneto-optical disk as an example (Optical Disk Technology Handbook, P78, Nikkei McGraw-Hill, September 1, 1987).
0 day issue).
図中111は二分の一波長板（λ/2板）、106はビーム成
形プリズム、102から105まではレンズで４個使用されて
いる。In the figure, 111 is a half-wave plate (λ / 2 plate), 106 is a beam shaping prism, and 102 to 105 are four lenses.
また、107から110までは偏光ビームスプリッタで４つ
の個別光学部品が使用されている。Further, from 107 to 110, four individual optical components are used in a polarizing beam splitter.
半導体レーザ101から出たＰ偏光は、レンズ102で平行
ビームとなり、ビーム整形プリズム106で整形されて第
１の偏光ビームスプリッタ107を透過して集光レンズ103
で集光され光磁気ディスク10に入射する。The P-polarized light emitted from the semiconductor laser 101 is converted into a parallel beam by a lens 102, shaped by a beam shaping prism 106, transmitted through a first polarizing beam splitter 107, and condensed by a condensing lens 103.
And enters the magneto-optical disk 10.
光磁気ディスク10からの反射光はカー回転をうけて第
２の偏光ビームスプリッタ108で透過光と反射光とに分
離する。透過光径路に沿ってフォトディテクタ113まで
がナイフエッジ112によるフォーカスエラー検出系、フ
ォトディテクタ114までがトラッキングエラー検出系で
あり、一方、反射光径路に沿ってフォトディテクタ11
5、116までが信号検出系である。The reflected light from the magneto-optical disk 10 undergoes Kerr rotation and is split into transmitted light and reflected light by the second polarizing beam splitter 108. A focus error detection system using a knife edge 112 up to the photodetector 113 along the transmitted light path is a tracking error detection system up to the photodetector 114, while a photodetector 11 along the reflected light path is used.
5 and 116 are signal detection systems.
λ/2板111を回転させることにより、信号光の偏光方
向を回転させて信号振幅が最大になるようにセットす
る。By rotating the λ / 2 plate 111, the polarization direction of the signal light is rotated so that the signal amplitude is set to the maximum.
２個のフォトディテクタ115,116で検出される信号
は、信号検出系の偏光ビームスプリッタ110での透過と
反射の関係、すなわちＰ波とＳ波の関係にあるので逆相
の信号になっており、差動検出により同相のノイズを除
去してS/Nを大きくすることが出来るようにしている。The signals detected by the two photodetectors 115 and 116 are in opposite phases because of the relationship between transmission and reflection in the polarization beam splitter 110 of the signal detection system, that is, the relationship between the P wave and the S wave. In-phase noise can be removed by detection to increase S / N.
第18図は立ち上げプリズム119によって、光路を直角
に曲げて実用的に使い易く構成した光ヘッドの従来例で
ある。なお、トラッキングエラー検出系を付加して性能
を上げうることは前記の例と全く同様である。FIG. 18 shows a conventional example of an optical head in which the optical path is bent at a right angle by the rising prism 119 so as to be practically easy to use. It should be noted that the performance can be improved by adding a tracking error detection system, which is exactly the same as in the above example.
以上述べたような光ヘッドデバイスに使用されている
個別光学部品は、小さいものでも数mm以上の大きさがあ
り、それらを組合せたデバイスは前記光ヘッドのように
コンパクトにまとめたものであっても大きさは数十mm、
重さ数百グラムにもなる。The individual optical components used in the optical head device as described above have a size of several millimeters or more even if they are small, and a device obtained by combining them is a compact device like the optical head. Is several tens of mm,
It weighs several hundred grams.
最近の光学装置は、ますます高機能化、高性能化、高
精度化の方向にむかっており、例えば、光磁気ディスク
装置の場合、大記憶容量化、高速アクセスへの要求を満
たすための重要な要素の一つとして光ヘッドの高速度駆
動が強く求められている。Recent optical devices are moving toward higher functions, higher performance, and higher precision.For example, in the case of a magneto-optical disk device, it is important to meet the demand for large storage capacity and high-speed access. High speed driving of the optical head is strongly demanded as one of the important elements.
このためには、光ヘッドの小型、軽量化、高機能化、
ひいては使用される各種光学部品の小型、軽量化、高機
能化が是非必要となる。To achieve this, the optical head is made smaller, lighter, more sophisticated,
As a result, it is absolutely necessary to reduce the size, weight, and functionality of various optical components used.
光技術を応用した前記のような光学装置は、極めて高
精度を要することは良く知られている。It is well known that such an optical device to which optical technology is applied requires extremely high precision.
従って、使用される光学部品も高精度に加工され、部
品相互の位置制度もきびしく、対振動性を充分配慮した
部品保持機構が必要となる。Therefore, the optical components to be used are processed with high precision, the positional accuracy between the components is strict, and a component holding mechanism that sufficiently considers vibration resistance is required.
個別光学部品として扱う限り小型、軽量化にも限界が
あり、それらを使用した光学系では今後の光学装置の高
密度化への要求を満たし得ないことば前記の通りであ
る。As long as it is handled as an individual optical component, there is a limit in miniaturization and weight reduction, and as described above, an optical system using them cannot satisfy the demand for higher density of an optical device in the future.
種々の個別光学部品からなる光学系を小型化し、取扱
い易くするために、これらの個別の光学部品を集めて複
合部品化しようとする場合、従来、夫々の部品の光軸合
わせ等の調整を行った後で光学用接着剤で接着していた
例がある。In order to reduce the size of the optical system made up of various individual optical components and to make them easier to handle, if these individual optical components are to be assembled into a composite component, the adjustment of the optical axis of each component has conventionally been performed. After that, there is an example of bonding with an optical adhesive.
第８図にその一例を示した。図中11は偏光ビームスプ
リッタ、12は全反射ミラー、13は光学接着剤の層であ
る。従って、複合部品とは言っても寸法、重量とも大き
く複合部品数も少ないので、従来の光学部品のイメージ
を変えるような新規なものではなかった。FIG. 8 shows an example. In the figure, 11 is a polarization beam splitter, 12 is a total reflection mirror, and 13 is a layer of an optical adhesive. Therefore, although the composite component is large in size and weight and small in the number of composite components, it is not a new one that changes the image of conventional optical components.
さらに、複合化に伴う位置合わせ、光軸合わせ、接着
などに高精度の精密加工技術を要し非常に高価なものに
なるという問題があった。Furthermore, there has been a problem that high-precision precision processing technology is required for alignment, optical axis alignment, bonding, and the like associated with the compounding, which is extremely expensive.
本発明は、透明な平行平板と光学的機能を有する膜ま
たは薄板を交互に複数層積み重ねた積層ブロックから所
要の面が面加工された、言わば集積化された小型、軽量
の複合光学部品とその製造方法を提供することを目的と
する。The present invention relates to an integrated small, lightweight composite optical component, in which a required surface is surface-processed from a laminated block in which a transparent parallel plate and a film or a thin plate having an optical function are alternately stacked in a plurality of layers. It is intended to provide a manufacturing method.
上記の課題は、以下の如き本発明になる光学製品を構
成する光学部品用基材と複合光学部品、およびその製造
方法により解決することができる。The above-mentioned problems can be solved by the following optical component base and composite optical component constituting the optical product according to the present invention, and a method for producing the same.
第１図は本発明の光学部品用基材77の原理構成を示し
た図で、図中１は光学的機能を有する膜または薄板、２
は透明な平行平板で、透明な平行平板が両端の最外層の
２面をなすように交互に積層されている。FIG. 1 is a view showing the principle structure of an optical component substrate 77 according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a film or thin plate having an optical function.
Is a transparent parallel plate, and the transparent parallel plates are alternately laminated so as to form two surfaces of outermost layers at both ends.
こゝで、光学的機能を有する膜または薄板１は、偏光
ビームスプリッタ、またはハーフミラー、またはその他
のビームスプリッタ、または全反射ミラー、または二分
の一波長板（λ/2板）、または四分の一波長板（λ/4
板）、またはその他の偏光素子（位相子、施光子、偏光
子、ファラデー回転素子、カー回転素子など）、または
波長フィルタの何れかの機能を有するものであるか、ま
たはそれらの光学的機能を有する膜または薄板を２層以
上重ねた複数の機能を有する複合膜または複合薄板であ
る。Here, the film or thin plate 1 having an optical function is a polarizing beam splitter, or a half mirror, or another beam splitter, or a total reflection mirror, or a half-wave plate (λ / 2 plate), or a quarter. Wavelength plate (λ / 4
Plate), or other polarizing element (a phaser, a photon, a polarizer, a Faraday rotator, a Kerr rotator, etc.), or a wavelength filter, or has an optical function thereof. A composite membrane or a composite thin plate having a plurality of functions in which two or more layers of a film or a thin plate are laminated.
第２図は前記光学部品用基材77から積層面の全てと交
わる４つの平面に沿って切断して得られる４つの面（A,
B,C,D）を側面とする積層ブロック７の斜視図で、α，
β，γ，δは夫々A,B,C,Dの各面が積層面となす角度で
ある。FIG. 2 shows four surfaces (A, A) obtained by cutting the optical component substrate 77 along four planes intersecting all of the lamination surfaces.
B, C, D) is a perspective view of the laminated block 7 having the side surfaces α,
β, γ, and δ are angles formed by the respective planes of A, B, C, and D with the stacking plane.
第３図（イ）〜（ニ）は本発明の複合光学部品を実現
するための最外層の両端部の形状を示したもので、積み
重ねられた最外層の２枚の透明平板の少なくとも一方の
外表面が、（ロ）の如く積層面に対して平行な平面
（４）、（イ），（ロ），（ハ）の如く積層面に対して
平行でない平面（３または５）、（ニ）の如く曲面また
はグレーティングに形状加工あるいは機能加工された非
平面（６または８）のうちの何れかの面に加工された端
面から構成される。FIGS. 3A to 3D show the shapes of both ends of the outermost layer for realizing the composite optical component of the present invention. At least one of the two transparent flat plates of the outermost layer is stacked. A plane (4) whose outer surface is parallel to the lamination plane as shown in (b), a plane (3 or 5) not parallel to the lamination plane as shown in (a), (b) and (c), (d) ) Is formed from an end face which is processed into any one of non-planar surfaces (6 or 8) which are formed into a curved surface or a grating or processed into a function.
なお、最外層の２枚の透明平板は加工のための余裕
（加工しろ）を見て中間層の透明平板より若干厚めのも
のを使用してもよい。The two outermost transparent flat plates may be slightly thicker than the intermediate layer transparent flat plate in view of a margin for processing (processing margin).
さらに、４つの側面と、積み重ねられた最外層の２枚
の透明平板を加工して得られる２つの外表面の合計６面
のうちの２つ以上の面は、光の入出射面として機能する
ように光学的に平面加工、または形状加工、または機能
加工されている。Further, two or more of the four side surfaces and two outer surfaces obtained by processing the two transparent flat plates of the stacked outermost layers function as light input / output surfaces. As described above, the surface is optically flat-processed, shaped, or functionally processed.
第４図は本発明の複合光学部品の積層ブロック７の製
造方法を示した断面図で、以下の如く引き続く数工程を
経て本発明の複合光学部品を製造することができる。FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a method for manufacturing the laminated block 7 of the composite optical component of the present invention. The composite optical component of the present invention can be manufactured through the following several steps as follows.
即ち、前記光学部品用基材77の積層面の全てと交わる
４つの平面に沿って切断して得られる４つの面を側面と
する多数の積層ブロック７を形成する工程と、第３図
（イ）〜（ニ）の如く各積層ブロック７の２つの最外層
平板の少なくとも一方の外表面を、積層面に対して平行
な平面（４）、積層面に対して平行でない平面（３また
は５）、曲面またはグレーティングに形状加工あるいは
機能加工された非平面（６または８）のうちの何れかの
面に加工する工程と、前記４つの側面と両端面の合計６
つの面のうちの２つ以上の面を、光の入出射面として機
能するように光学的に加工する工程とから構成すること
により本発明の光学製品を製造することができる。That is, a step of forming a large number of laminated blocks 7 having four surfaces as side surfaces obtained by cutting along four planes intersecting all of the laminated surfaces of the optical component substrate 77, and FIG. As described in (4) to (4), at least one of the outer surfaces of the two outermost flat plates of each of the laminated blocks 7 has a plane parallel to the laminating plane (4) and a plane not parallel to the laminating plane (3 or 5). Processing on any one of the non-planar surfaces (6 or 8) that have been shaped or functionally processed into a curved surface or a grating, and a total of 6 of the four side surfaces and both end surfaces.
Optically processing two or more of the three surfaces so as to function as a light incident / exit surface, whereby the optical product of the present invention can be manufactured.
本発明では、第２図の積層ブロックの各積層部分の一
つ一つが個々の光学部品としての働きをし、積層数に応
じて多数の光学素子の組合せができる。In the present invention, each of the laminated portions of the laminated block in FIG. 2 functions as an individual optical component, and a large number of optical elements can be combined according to the number of laminated layers.
また、第３図に示した如く両端面を種々の形状に面加
工することによってレンズ、プリズム、その他の機能を
付与することができる。Further, as shown in FIG. 3, by processing the both end surfaces into various shapes, a lens, a prism, and other functions can be provided.
さらに、光学機能を有する膜または薄板の選定と組合
せを含めると極めて多数の機能を持った光学系として本
複合光学部品を使用することが可能となる。Further, when the selection and combination of a film or a thin plate having an optical function is included, the composite optical component can be used as an optical system having an extremely large number of functions.
しかも、第４図の如く、積層物から多数の個別積層ブ
ロックを自動機による精密加工で一括生産することによ
って、極めて小型に、且つ高精度、安価に製造すること
が可能となる。In addition, as shown in FIG. 4, a large number of individual laminated blocks are collectively produced from the laminate by precision processing by an automatic machine, thereby making it possible to produce an extremely small, highly accurate, and inexpensive production.
実施例１から実施例５までにおいては、光学部分用基
材77から４つの平面で切り出された積層ブロック７の４
つの側面、即ちA,B,C,Dがそれぞれ積層面となす角度
α，β，γ，δは何れもα＝γ＝45゜，β＝δ＝90゜の
場合を示した。In the first to fifth embodiments, four of the laminated blocks 7 cut out from the optical component base material 77 by four planes are used.
The angles α, β, γ, and δ formed by the four side surfaces, ie, A, B, C, and D, and the lamination surface are all shown as α = γ = 45 ° and β = δ = 90 °.
一方、実施例６および実施例９ではα＝γ≠45゜，β
≠δ≠90゜の場合の例である。On the other hand, in the sixth and ninth embodiments, α = γ {45}, β
This is an example in the case of {δ ≠ 90}.
実施例1:第９図は各種光デイスク装置用光ヘッドの光学
系の一部に適用した本発明複合光学部品の例である。Embodiment 1: FIG. 9 shows an example of the composite optical component of the present invention applied to a part of the optical system of an optical head for various optical disk devices.
同図（イ）はCD用で読出し専用のため単純な構造であ
り、入射光ｉは半分はハーフミラー15を透過し半分は反
射する。反射光はここには記載していない光源の制御用
モニタ光として利用する。FIG. 2A has a simple structure because it is read only for a CD, and half of the incident light i is transmitted through the half mirror 15 and half is reflected. The reflected light is used as monitor light for controlling a light source not described here.
透過光はミラー14で反射したのちディスク10に入射す
る。ディスク10からの戻り光は再びミラー14で反射、ハ
ーフミラー15で半分が反射され、最初の約25％の光が出
射光ｏとして図には記載していないフォトディテクタに
入射して信号処理される。The transmitted light is reflected by the mirror 14 and then enters the disk 10. The return light from the disk 10 is reflected again by the mirror 14 and half of the light is reflected by the half mirror 15, and about 25% of the first light enters the photodetector (not shown) as output light o and is signal-processed. .
同図（ロ）は追記型光ディスク用の例で、入射光ｉは
偏光ビームスプリッタ18に対しＰ偏光であり、ほゞ100
％が透過する。透過光はディスク10への入射と反射とを
経過して往路と復路でλ/4板16を二度通過し、偏光面は
90゜回転するのでＳ偏光となり、偏光ビームスプリッタ
18でほゞ100％反射されて出射光ｏとなり信号処理され
る。FIG. 2B shows an example for a write-once optical disc, in which the incident light i is P-polarized light with respect to the polarization beam splitter 18 and is approximately 100.
% Is transmitted. The transmitted light passes through the λ / 4 plate 16 twice on the outward path and the return path after passing through the incidence and reflection on the disk 10, and the polarization plane is
Rotates 90 ° to become S-polarized light, polarizing beam splitter
At 18, almost 100% is reflected and becomes outgoing light o for signal processing.
同図（ハ）は光磁気ディスク用光ヘッドの一部に適用
した例である。FIG. 3C shows an example in which the present invention is applied to a part of an optical head for a magneto-optical disk.
同図（ハ）は19はビームスプリッタとして機能する
膜、17は二分の一波長板として機能する薄板、18は偏光
ビームスプリッタとして機能する膜、ｉは入射光、ｏは
出射光である。In FIG. 3C, 19 is a film functioning as a beam splitter, 17 is a thin plate functioning as a half-wave plate, 18 is a film functioning as a polarizing beam splitter, i is incident light, and o is outgoing light.
透明な平行平板には、通常よく使用される光学ガラ
ス、例えばBK7などを使用する。For the transparent parallel plate, an optical glass commonly used, for example, BK7 is used.
λ/2板17には複屈折結晶、例えば水晶の薄板、ビーム
スプリッタ19または偏光ビームスプリッタ18には誘電体
多層膜、例えばTiO2やSiO2などをスパッタリングその他
の通常行われる方法で生成した多層膜を使用する。The λ / 2 plate 17 has a birefringent crystal, for example, a thin plate of quartz, and the beam splitter 19 or the polarizing beam splitter 18 has a dielectric multilayer film, such as TiO 2 or SiO 2 , formed by sputtering or other commonly used methods. Use a membrane.
ここに記載していない半導体レーザからの入射光はＰ
偏光で、大部分がビームスプリッタ19を透過し、残りの
反射光はレーザダイオードの制御用モニタ光として利用
される。The incident light from the semiconductor laser not described here is P
Most of the polarized light passes through the beam splitter 19, and the remaining reflected light is used as monitor light for controlling the laser diode.
透過光は光磁気ディスク10で反射され、カー回転を受
けるとＳ偏光を含んだ状態でビームスプリッタ19で反射
されて、λ/2板17を透過した後、偏光ビームスプリッタ
18でＰ偏光の透過光とＳ偏光の反射光とにわかれる。The transmitted light is reflected by the magneto-optical disk 10, and when subjected to Kerr rotation, is reflected by the beam splitter 19 in a state containing S-polarized light, passes through the λ / 2 plate 17, and then passes through the polarization beam splitter.
At 18, the light is separated into transmitted light of P polarization and reflected light of S polarization.
この両光を２つのホトディテクタに受けて検出される
電気信号は逆相なので差動検出することによって高いS/
N比を得ることができる。Since the electric signals detected by receiving these two lights by the two photodetectors are in opposite phases, a high S /
N ratio can be obtained.
なお、λ/2板17は回転することによって戻り光の偏光
方向を回転させ偏光ビームスプリッタ18に対して信号振
幅が最大になるようにする。The rotation of the λ / 2 plate 17 rotates the direction of polarization of the return light so that the signal amplitude becomes maximum with respect to the polarization beam splitter 18.
以上の実施例の図では対物レンズその他は概略化のた
め省略してある。In the drawings of the above embodiments, the objective lens and others are omitted for simplification.
実施例2:第10図は光磁気ディスク装置用光ヘッドの光学
系の一部に本発明を適用した複合光学部品の実施例であ
る。Embodiment 2: FIG. 10 shows an embodiment of a composite optical component in which the present invention is applied to a part of an optical system of an optical head for a magneto-optical disk device.
本実施例では両端面部を加工して種々の機能を持たせ
た本発明の複合光学部品を示してあり、積層面に平行で
ない平面、または曲面、またはグレーティングに端面加
工した例である。This embodiment shows a composite optical component of the present invention in which both end portions are processed to have various functions, and is an example in which a flat surface, a curved surface, or a grating that is not parallel to the lamination surface is processed.
同図（イ）は光の入射面をブリュウスタ角θに加工し
たブリュウスタプリズム、同、（ロ）は光の出射面を臨
界角θ′に加工した臨界角プリズム、 同図（ハ）は臨界角プリズムと凸レンズ、同図（ニ）
は臨界角プリズムとグレーティング（フレネルレンズの
例）の実施例を示したが、その他の組合せの複合光学部
品も作り得ることは勿論である。(A) is a Brewster prism whose light incident surface is processed to a Brewster angle θ, (b) is a critical angle prism whose light exit surface is processed to a critical angle θ ', and (c) is a critical angle prism Square prism and convex lens, same figure (d)
Has shown the embodiment of the critical angle prism and the grating (an example of a Fresnel lens), but it is a matter of course that a composite optical component of another combination can be produced.
曲面加工としては、ほかに凹レンズや円筒レンズその
他の機能を持たせることが可能であり、グレーティング
としてもフルネルレンズ以外に波長フィルタや光の偏光
または反射などの機能をもたせることができる。In addition to the concave lens, the cylindrical lens, and other functions, the curved surface processing can be provided. The grating can also have a function such as a wavelength filter and light polarization or reflection in addition to the Fresnel lens.
グレーティングの作り方は、よく知られているような
厚さ変調あるいは屈折率変調を光リソグラフィ、電子ビ
ームリソグラフィ、イオン注入、イオン拡散などの方法
を採用することによって可能である。The grating can be formed by employing well-known methods such as thickness modulation or refractive index modulation by using a method such as optical lithography, electron beam lithography, ion implantation, or ion diffusion.
実施例3:第11図は光スイッチへの応用の実施例（2x2）
を示したもので、同図（イ）中のとは光の入射ポー
ト、とは光の出射ポートである。Embodiment 3: FIG. 11 shows an embodiment of application to an optical switch (2x2).
In the figure, (a) indicates a light input port, and (a) indicates a light output port.
同図（ロ）および（ハ）はスイッチとしての動作を示
しており、図中22は磁気光学効果などを用いたＳ波/P波
変換素子で、同図（ロ）の場合で説明するとに入射し
た光は22でＰ偏光またはＳ偏光に変換され、Ｐ偏光なら
ば偏光ビームスプリッタ18を透過してのポートに出射
し、Ｓ偏光ならば偏光ビームスプリッタ18で反射され、
さらに全反射ミラー14で反射されてポートに出射す
る。(B) and (c) show the operation as a switch. In the figure, reference numeral 22 denotes an S-wave / P-wave conversion element using a magneto-optical effect or the like, which will be described with reference to FIG. The incident light is converted into P-polarized light or S-polarized light at 22, and if it is P-polarized light, it exits through the port through the polarizing beam splitter 18; if it is S-polarized light, it is reflected by the polarizing beam splitter 18;
Further, the light is reflected by the total reflection mirror 14 and emitted to a port.
他方、同図（ハ）の場合にはに入射した光は同様の
経過をたどつて、同図（ロ）の場合とは反対にポート
にＳ偏光を、ポートにＰ偏光を取り出すことができ
る。従って、チャンネル選択器として使用することがで
きる。On the other hand, in the case of FIG. 3C, the incident light follows the same course, and S-polarized light can be extracted from the port and P-polarized light can be extracted from the port, contrary to the case of FIG. . Therefore, it can be used as a channel selector.
実施例4:第12図は光の分波器あるいは合波器へ適用した
実施例を示したもので、光学的機能を有する膜１は波長
フィルタ（BPF）として機能する膜23で、それぞれの膜
は特定の波長の光を反射するように設計されている。Embodiment 4: FIG. 12 shows an embodiment in which the present invention is applied to a light splitter or a multiplexer. The film 1 having an optical function is a film 23 functioning as a wavelength filter (BPF). The membrane is designed to reflect a specific wavelength of light.
機能膜としては誘電体多層膜あるいはグレーティング
などを使用することができる。As the functional film, a dielectric multilayer film or a grating can be used.
波長フィルタとしての機能膜23は、特定の波長（λ１
〜λ７）の光を選択的に反射させるので図に示したよう
に、光分波機能あるいは光合波機能を持たせることが可
能となる。The functional film 23 as a wavelength filter has a specific wavelength (λ 1
To λ 7 ) is selectively reflected, so that it is possible to have an optical demultiplexing function or an optical multiplexing function as shown in the figure.
いずれもその働きは、極めて容易に理解できるので詳
細は省略するが、光多重通信用の入出力器あるいは分光
用計測器などに使用することができる。Since the operation of each of them can be understood very easily, the details are omitted, but they can be used for an input / output unit for optical multiplex communication or a measuring instrument for spectroscopy.
なお、本発明は本実施例のように、積層数が多い場合
に時に有効なことは容易に理解できる。It can be easily understood that the present invention is sometimes effective when the number of layers is large as in this embodiment.
実施例5:第13図の（イ）は機能膜であるビームスプリッ
タ19と、機能薄板であるλ/2板17を組み合わせた複合機
能薄板を用いた光ヘッド用複合光学部品の一実施例で、
第９図の（ハ）に対応するものである。Embodiment 5: FIG. 13A shows an embodiment of a composite optical component for an optical head using a composite functional thin plate in which a beam splitter 19 as a functional film and a λ / 2 plate 17 as a functional thin plate are combined. ,
This corresponds to (c) in FIG.
両図を比較してわかるように、複合機能薄板の使用に
より、よりコンパクトに複合光学部品を構成することが
できる。As can be seen from a comparison between the two figures, the use of the composite functional thin plate allows the composite optical component to be configured more compactly.
同図（ロ）は複合機能薄板の部分を拡大したもので、
ビームスプリッタ19およびλ/2板17は、前に述べた実施
例１と同様の方法で作製すればよい。The same figure (b) is an enlarged view of the composite function thin plate.
The beam splitter 19 and the λ / 2 plate 17 may be manufactured in the same manner as in the first embodiment.
同図（ハ）の矢印はディスク10面への入出射光の方向
から見たλ/2板17の光軸の方向を示したものでｙ軸に対
して22.5゜の角度に傾けてあり、従って、よく知られて
いるようにλ/2板を通過した戻り光の偏光面は45゜回転
し信号振幅を大きくすることができ、実施例１で述べた
如く偏光ビームスプリッタ18の透過光と反射光をホトデ
ィテクタに受けた時の逆相の両出力信号光を差動検出で
きるようにしている。The arrow in FIG. 4C indicates the direction of the optical axis of the λ / 2 plate 17 as viewed from the direction of the light entering and exiting the disk 10 and is inclined at an angle of 22.5 ° with respect to the y axis. As is well known, the polarization plane of the return light passing through the λ / 2 plate can be rotated by 45 ° to increase the signal amplitude, and the transmitted light and the reflected light of the polarization beam splitter 18 can be increased as described in the first embodiment. When the light is received by the photodetector, both output signal lights of opposite phases can be differentially detected.
本実施例以外の組合せの複合膜あるいは複合薄板を用
いて、本実施例と異なる機能の複合光学部品を構成でき
ることは勿論である。It is a matter of course that a composite optical component having a function different from that of the present embodiment can be configured by using a composite film or a composite thin plate in a combination other than the present embodiment.
実施例6:第14図は積層面に対する４つの側面のなす角度
α，β，γ，δが、より一般的で複雑な、α＝γ≠45
゜，β≠δ≠90゜の場合の例である。Embodiment 6: FIG. 14 shows that the angles α, β, γ, δ formed by the four side surfaces with respect to the lamination surface are more general and complicated, α = γ ≠ 45.
゜, β ≠ δ ≠ 90 ゜.
光学的機能層としては、ビームスプリッタ膜19と1/2
波長板17を合わせた複合機能薄板、偏光ビームスプリッ
タ膜18およびミラー14とから構成されている。As the optical functional layer, the beam splitter film 19 and 1/2
It is composed of a composite function thin plate combined with a wavelength plate 17, a polarizing beam splitter film 18, and a mirror 14.
こゝで注目すべき点は、本実施例では部品の上面を光
の入出射面とており、その角度をビーム整形プリズム10
6として機能するように加工した。Here, it should be noted that in this embodiment, the upper surface of the component is used as the light input / output surface, and the angle is set to the beam shaping prism 10.
Processed to function as 6.
同図（イ）は反射ターゲット、たとえば光磁気ディス
ク１への入出射光が複合光学部品の中の光路と平行な場
合を示した。FIG. 2A shows a case where the light entering and exiting the reflection target, for example, the magneto-optical disk 1, is parallel to the optical path in the composite optical component.
一方、同図（ロ）は更に機能を付加して、端面が立ち
上げプリズム26として機能するように加工した場合の例
を示したものである。On the other hand, FIG. 2B shows an example in which a function is further added and the end face is processed so as to function as the rising prism 26.
したがって、ディスク10へ入出射する光は、複合光学
部品の中の光路と垂直にすることができる。Thus, light entering and exiting the disk 10 can be perpendicular to the optical path in the composite optical component.
実施例7:第15図は本発明の複合光学部品の製造方法のう
ち、光学部品用基材77の構成と積層ブロック７の切り出
し方法の一実施例を示したもので、同図（イ）は透明な
平行平板２、例えば光学研磨した光学ガラス（BK7）の
表面に、光学的機能膜１、例えば実施例１に示したよう
な誘電体多層膜を形成して積層する場合の概念図を、同
図（ロ）は同じく光学的機能薄板１、例えば水晶を光学
研磨した薄板を使用して積層する場合の概念図である。Embodiment 7: FIG. 15 shows an embodiment of the structure of the optical component substrate 77 and the method of cutting out the laminated block 7 in the method of manufacturing a composite optical component according to the present invention. Is a conceptual diagram in the case where an optically functional film 1, for example, a dielectric multilayer film as shown in Example 1 is formed and laminated on the surface of a transparent parallel plate 2, for example, optically polished optical glass (BK7). FIG. 2B is a conceptual diagram in the case where the optically functional thin plate 1 is laminated using, for example, a thin plate obtained by optically polishing quartz.
いずれの場合も、通常使用されている光学接着剤、例
えば光学用のエポキシ系樹脂などを用いて接着し一体と
なった積層物である光学用部品基材77を構成する。In any case, the optical component base material 77, which is a laminated body integrally bonded by using a commonly used optical adhesive, for example, an epoxy resin for optics, is formed.
なお、両端の２枚の光学ガラスは中間のものより厚く
して、後で行う端面加工に必要な余裕（加工しろ）をと
っておくのがよい。例えば中間の光学ガラスの厚さが1m
mの場合、両端の光学ガラスの厚さを1.5mm程度の必要な
厚さとする。It is preferable that the two optical glasses at both ends are thicker than the intermediate glass, so that a margin (processing margin) necessary for the end face processing performed later is preferably provided. For example, the thickness of the middle optical glass is 1m
In the case of m, the thickness of the optical glass at both ends is set to a required thickness of about 1.5 mm.
同図（ハ）は上に述べた光学部品用基材77から個別積
層ブロック７を切り出す方法を示したもので、積層面の
全て交わり積層面と角度αをなす面と、同じく角度βを
なす面に沿って図に示したように縦横に自動切断機で切
断することによって多数の個別積層ブロック７を一括作
製する一実施例を示したものである。FIG. 13C shows a method of cutting the individual laminated blocks 7 from the optical component base material 77 described above, and the same angle β as the plane at which all the laminated surfaces intersect and forms an angle α with the laminated surface. FIG. 1 shows an embodiment in which a large number of individual laminated blocks 7 are collectively produced by cutting along a surface in a vertical and horizontal manner by an automatic cutting machine.
実施例8:第16図は上に述べた個別積層ブロック７の積層
面と角度αをなすＡ面と相対する面、すなわちＣ面を積
層面と角度γをなすように研磨加工する一実施例を示し
たものである。Embodiment 8: FIG. 16 shows an embodiment in which a surface opposite to the surface A forming an angle α with the lamination surface of the individual laminated block 7 described above, that is, the surface C is polished so as to form an angle γ with the lamination surface. It is shown.
まず、研磨用光学定盤24の定盤面に、角度γ−αを頂
角とするくさび型研磨用定盤25を接着し、その上に図に
示したように多数の個別積層ブロック７を並べて接着し
て、研磨用光学定盤24の定盤面に平行に研磨することに
よって多数の相対する両側面を研磨仕上げした個別積層
ブロック７を一括作製することができる。First, a wedge-shaped polishing table 25 having an apex angle of γ-α is bonded to the surface of a polishing optical table 24, and a large number of individual laminated blocks 7 are arranged thereon as shown in the figure. By bonding and polishing in parallel to the surface of the surface plate of the polishing optical surface plate 24, it is possible to collectively produce a large number of individual laminated blocks 7 whose opposite side surfaces are polished.
なお、図において点線で示したのは同様のくさび型定
盤を複数個置いてより量産効果を上げるための例であ
る。Note that the dotted line in the drawing is an example for increasing the mass production effect by placing a plurality of similar wedge-shaped surface plates.
積層面と角度βをなすＢ面と相対する面、すなわちＤ
面を積層面と角度δをなすように研磨加工するのも同様
にして行うことができる。The plane facing the plane B forming an angle β with the lamination plane, ie, D
Polishing the surface so as to form an angle δ with the lamination surface can be performed in the same manner.
上に述べたように、側面加工を終えた個別積層ブロッ
ク７は再び同様の方法で一括して、或いは必要に応じて
個別に端面の平面加工、または形状加工、または機能加
工などを行って本発明の複合光学部品を製造することが
できる。As described above, the individual laminated blocks 7 which have been subjected to the side surface processing are subjected to flat processing, shape processing, functional processing, or the like of the end faces again collectively by the same method or individually as necessary. The composite optical component of the invention can be manufactured.
なお、必要に応じて側面加工と端面加工の順序を入れ
換えて行ってもよい。Note that the order of the side surface processing and the end surface processing may be switched as needed.
実施例9:第17図は本発明の複合光学部品を使用した光磁
気ディスク用光ヘッドの構成図である。図中、100は本
発明の複合光学部品で、第14図に示した垂直光路型の実
施例６のものを使用した。Embodiment 9: FIG. 17 is a structural view of an optical head for a magneto-optical disk using the composite optical component of the present invention. In the figure, reference numeral 100 denotes a composite optical component of the present invention, which is a vertical optical path type embodiment 6 shown in FIG.
破線の枠内で示したのが光ヘッドの光学系であるが、
より機能を上げるためにトラッキングエラー検出系を付
加してもよいことは勿論である。The optical system of the optical head is shown in the frame of the broken line,
Needless to say, a tracking error detection system may be added to enhance the function.
この実施例は、第18図に示した従来の光ヘッドと機能
的に同等であることは、容易に理解されるので詳細な説
明は省略するが、従来の構成部品のうちビーム整形プリ
ズム106,ビームスプリッタ19、立ち上げプリズム119,1/
2波長板111,偏光ビームスプリッタ110,ミラー14の６個
の光学部品を、たった１個の本発明の複合光学部品100
で置き換えたことを示しており、その効果は極めて大き
いことがわかる。It is easily understood that this embodiment is functionally equivalent to the conventional optical head shown in FIG. 18, and therefore detailed description is omitted, but among the conventional components, the beam shaping prism 106, Beam splitter 19, launch prism 119,1 /
The six optical components of the two-wavelength plate 111, the polarizing beam splitter 110, and the mirror 14 are combined with only one composite optical component 100 of the present invention.
And that the effect is extremely large.
以上説明したように、本発明によれば、従来の個別光
学部品を集めた光学系と異なり、非常に小型で高精度の
集合光学部品を構成できるだけでなく、光軸合わせなど
が容易となり、また、部品間の境界面が少なくなるので
波面収差も減少させることができる。As described above, according to the present invention, unlike a conventional optical system in which individual optical components are collected, not only a very small and high-precision collective optical component can be formed, but also optical axis alignment and the like become easy, and Since the number of interfaces between the components is reduced, the wavefront aberration can be reduced.
さらに、透明な平行平板と光学的機能を有する膜また
は薄膜とを積み重ねて一体とした大きな光学部品用基材
から、小さな多数の個別積層ブロックを一括製造できる
ので多量生産の効果が大きく、複雑な光学系を有する光
学デバイスの性能、品質の向上と小型化および価格の低
下に寄与するところが極めておおきい。Furthermore, since a large number of small individual laminated blocks can be manufactured at once from a large optical component base material in which a transparent parallel plate and a film or thin film having an optical function are stacked and integrated, the effect of mass production is large and complicated. It is extremely important to contribute to the improvement of the performance and quality of an optical device having an optical system, miniaturization, and reduction in price.
第１図は本発明の光学部品用基材の構成図、 第２図は光学部品用基材から切り出された積層ブロック
の斜視図、 第３図（イ）〜（ニ）は本発明の複合光学部品の最外層
の両端面の形状を示す図、 第４図は本発明の複合光学部品の積層ブロックの製造方
法を示す図、 第５図および第６図は従来の光学部品の例、 第７図は光磁気ディスク装置用光ヘッドの光学系の従来
例を示した図、 第８図は従来の複合光学部品の例を示した図、 第９図（イ）〜（ハ）は実施例1:光ヘッド用複合光学部
品の例を示した図、 第10図（イ）〜（ニ）は実施例2:光磁気ディスク装置用
光ヘッドに適用した複合光学部品の例を示した図、 第11図（イ）〜（ハ）は実施例3:2x2の光スィッチへの
応用例を示した図、 第12図（イ），（ロ）は実施例4:分波器または合波器と
しての応用例を示した図、 第13図（イ）〜（ハ）は実施例5:複合機能薄板を用いた
光ヘッド用複合光学部品の例を示した図、 第14図（イ）および（ロ）は実施例6:α＝γ≠45゜，β
≠δ≠90゜の場合の光ヘッド用複合光学部品の例を示し
た図、 第15図（イ）〜（ハ）は実施例7:光学部品用基材の構成
と積層ブロックの切り出し方法を示した図、 第16図は実施例8:個別積層ブロックの側面の一括加工方
法の例を示した図である。 第17図は実施例9:本発明の複合光学部品を使用した光磁
気ディスク用光ヘッドの構成図、 第18図は立ち上げプリズムを有する従来の光ヘッドの構
成図である。 図において、 １は光学的機能を有する膜または薄板、 ２は透明な平行平板、 77は光学部品用基材、 ３および５は積層面に対して平行でない平面、 ４は積層面に対して平行な平面、 ６は曲面（凸レンズ）に形状加工された非平面、 ７は積層ブロック、 ８はグレーティング、 ９はプリズム、 10はディスク、 13は光学接着材の層、 14はミラーとして機能する膜、 15はハーフミラーとして機能する膜、 16はλ/4板として機能する膜、 17はλ/2板として機能する膜、 18は偏光ビームスプリッタとして機能する膜、 19ばビームスプリッタとして機能する膜、 20はブリュースタプリズム、 21は臨界角プリズム、 22は磁気光学効果を用いたＳ波/P波変換素子、 23は波長フィルタとして機能する膜、 24は研磨用光学定盤、 25はくさび型研磨用定盤、 26は立ち上げプリズムである。FIG. 1 is a structural view of a base material for an optical component of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of a laminated block cut out from the base material for an optical component, and FIGS. FIG. 4 is a diagram showing the shape of both end faces of the outermost layer of the optical component, FIG. 4 is a diagram showing a method of manufacturing a laminated block of a composite optical component of the present invention, FIG. 5 and FIG. 7 is a diagram showing a conventional example of an optical system of an optical head for a magneto-optical disk drive, FIG. 8 is a diagram showing an example of a conventional composite optical component, and FIGS. 9 (a) to 9 (c) are embodiments. 1: a diagram showing an example of a composite optical component for an optical head; FIGS. 10 (a) to 10 (d) are diagrams showing an example of a composite optical component applied to an optical head for a magneto-optical disk device according to a second embodiment; 11 (a) to 11 (c) are diagrams showing an application example of the embodiment 3: 2x2 to an optical switch, and FIGS. 12 (a) and 12 (b) are embodiments 4: a duplexer or a multiplexer. age FIGS. 13 (a) to 13 (c) are diagrams showing an example of a composite optical component for an optical head using a composite functional thin plate, FIGS. 13 (a) to 13 (c), and FIGS. B) Example 6: α = γ ≠ 45 ゜, β
FIGS. 15 (a) to 15 (c) show an example of a composite optical component for an optical head in the case of {δ {90}. FIGS. FIG. 16 is a view showing an example of a collective processing method of a side surface of an individual laminated block according to an eighth embodiment. FIG. 17 is a configuration diagram of a ninth embodiment: an optical head for a magneto-optical disk using the composite optical component of the present invention, and FIG. 18 is a configuration diagram of a conventional optical head having a rising prism. In the figure, 1 is a film or a thin plate having an optical function, 2 is a transparent parallel plate, 77 is a substrate for optical components, 3 and 5 are planes not parallel to the lamination plane, and 4 is parallel to the lamination plane. 6 is a non-planar surface processed into a curved surface (convex lens), 7 is a laminated block, 8 is a grating, 9 is a prism, 10 is a disk, 13 is a layer of an optical adhesive, 14 is a film functioning as a mirror, 15 is a film functioning as a half mirror, 16 is a film functioning as a λ / 4 plate, 17 is a film functioning as a λ / 2 plate, 18 is a film functioning as a polarizing beam splitter, 19 is a film functioning as a beam splitter, 20 is a Brewster prism, 21 is a critical angle prism, 22 is an S-wave / P-wave conversion element using the magneto-optical effect, 23 is a film that functions as a wavelength filter, 24 is an optical surface plate for polishing, and 25 is a wedge-type polishing Surface plate, 26 stand up It is a prism.
フロントページの続き (72)発明者 安部 文隆 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−284740（ＪＰ，Ａ)Continuation of front page (72) Inventor Fumitaka Abe 1015 Uedanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa Prefecture Inside Fujitsu Limited (56) References JP-A-62-284740 (JP, A)
Claims (5)
以上の光学的機能を有する膜または薄板（１）とが、透
明な平行平板（２）が最外層の２面をなすように交互に
積層して一体化された光学部品用基材（77）からなり、 前記光学的機能を有する膜または薄板（１）は、入射光
の偏光、波長、強度または位相の少なくとも一つを変化
させて、該光を反射あるいは透過させるものであって、
前記平行平板（２）を介して隣接する前記膜または薄板
（１）との間で作用する光が少なくとも存在するように
配置されていることを特徴とする光学製品。1. A transparent parallel plate (2) comprising at least three transparent parallel plates (2) and two or more films or thin plates having an optical function, wherein the transparent parallel plates (2) A film or thin plate (1) having an optical function, which is formed by alternately laminating and integrating optical component base materials, wherein at least one of polarization, wavelength, intensity or phase of incident light is provided. Changing one of them to reflect or transmit the light,
An optical product characterized by being arranged such that there is at least light acting between the adjacent film or thin plate (1) via the parallel flat plate (2).
が、相異なる機能を持つ少なくとも２種の膜または薄板
同士が密接して少なくとも２層重ねて一体化した複数の
機能を有する複合膜または複合薄板であることを特徴と
する請求項１記載の光学製品。2. A film or a thin plate having an optical function.
2. The optical device according to claim 1, wherein at least two types of films or thin plates having different functions are a composite film or a composite thin plate having a plurality of functions in which at least two layers are closely stacked and integrated. Product.
と交わる四つの平面に沿って切断して得られる四つの面
を側面とし、前記最外層の２枚の透明平板の少なくとも
一方の外表面が、積層面に対して平行な平面（４）、積
層面に対して非平行な平面（３または５）、曲面または
グレーティングに形状加工あるいは機能加工された非平
面（６または８）のうちの何れかの面に加工した端面か
らなり、前記四つの側面と両端面の合計６面のうちの二
つ以上の面が、光の入出射面として機能するように光学
的に加工されてなる複合光学部品であることを特徴とす
る請求項１記載の光学製品。3. A four-sided surface obtained by cutting along four planes intersecting all of the lamination surfaces of the optical component base material (77) is a side surface, and at least one of the two outermost transparent flat plates is provided. One outer surface is a plane (4) parallel to the laminating plane, a plane (3 or 5) non-parallel to the laminating plane, a non-planar (6 or 8) shaped or functionally processed into a curved surface or a grating. ), And two or more faces out of the total of six faces of the four side faces and both end faces are optically machined so as to function as light input / output faces. The optical product according to claim 1, wherein the optical product is a composite optical component.
以上の光学的機能を有する膜または薄板（１）とが、透
明な平行平板（２）が最外層の２面をなすように交互に
積層して一体化された光学部品用基材（77）の積層面の
全てと交わる四つの平面に沿って切断して得られる四つ
の面を側面とする多数の固別積層ブロック（７）を形成
する工程と、 各積層ブロック（７）の最外層の２枚の透明平板の少な
くとも一方の外表面を、積層面に対して平行な平面
（４）、積層面に対して平行でない平面（３または
５）、形状加工あるいは機能加工によって得られた曲面
またはグレーティングの非平面（６または８）のうちの
何れかの面に加工する工程と、 前記４つの側面と両側面の合計６面のうちの二つ以上の
面が、光の入出射面として機能するように光学的に加工
する工程と を含むことを特徴とする光学製品の製造方法。4. At least three transparent parallel plates (2) and at least two films or thin plates (1) having an optical function, and the transparent parallel plates (2) form two outermost layers. Numerous solid laminations with four sides obtained by cutting along four planes intersecting all of the lamination faces of the optical component base material (77), which is alternately laminated and integrated A step of forming a block (7), and forming at least one outer surface of two transparent flat plates of the outermost layer of each laminated block (7) on a plane (4) parallel to the laminated surface, Processing any one of a non-parallel plane (3 or 5), a curved surface obtained by shape processing or functional processing, or a non-planar surface (6 or 8) of the grating; Two or more of the six surfaces function as light input / output surfaces. A process of optically processing the optical product as described above.
ドに用いられることを特徴とする請求項３記載の光学製
品。5. An optical product according to claim 3, wherein said composite optical component is used for a magneto-optical disk head.
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