JP2590404C - - Google Patents

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【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】 本発明は産業ロボットの関節装置、詳しくはロボットの駆動系が所定範囲の固
有振動数を生じて駆動源としての電動モータが所定の最高回転数で使用される産
業ロボットの関節装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】 産業ロボットにおいては、ロボットの駆動系が所定範囲の固有振動数を生じる
と共に、駆動源としての電動モータが所定の最高回転数で使用される場合が多い
。 このような産業ロボットにおいては、一般に、作業に適した出力トルクを得るた
め、アーム等の関節部の駆動系には、高速低トルクの電動サーボモータまたは電
動パルスモータと、この出力を低速高トルクに変換する減速装置とを用いている
。 また、そのような減速装置は、例えば、減速比１／１２０程度の大減速比を有
していること、また、歯車間のガタ、すなわち、いわゆるバックラッシュが小さ
いこと、さらに、慣性を小さくするため軽量であること等が要求される。 【０００３】 このような要求を満たす従来の減速装置としては、例えば、特開昭５９−１７
５９８６号公報に開示されているような調和歯車装置（撓み噛合い式の遊星歯車
装置）および特開昭５９−１０６７４４号公報に開示されているような偏心揺動
型の遊星歯車装置がある。前者の減速比は一般に１／８０〜１／３２０程度であ
り、後者の減速比は一般に１／６〜１／２００程度である。また、前者は後者に
比し減速比当たりの外径、 重量が小さく、かつ、ほとんどのロボットアームの関節部の駆動用減速装置とし
て必要な減速比および機械的強度を満足している。したがって、ロボットアーム
の関節部駆動用減速装置のほとんどは調和歯車装置単体が適用され、まれに、調
和歯車装置でも得られないほどの大減速比を必要とするもの、すなわち、小容量
高速回転（例えば、出力が１０００ワット以下で回転数が５０００ｒｐｍ）型の
モータをロボットアームの駆動に用いる場合のように１／６２５程度の減速比を
必要とするもの、については特開昭５６−１５２５９４号公報に開示されている
ように調和歯車装置に前段減速装置を結合したものが用いられている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】 しかしながら、上述した各減速装置をロボットの関節装置に用いた場合、減速
装置に入力する電動モータ回転数が低い領域で減速装置とロボットアーム等とが
ねじり共振を起こすという問題点があった。共振現象としては、ロボットアーム
の関節部近傍にねじり振動が現われることが多く、その結果、ロボットアームの
先端位置が定まらなくなり、ロボットによる作業のうち溶接、シーリング、組立
等、、一般に電動モータの低回転数領域で行われる作業において、正確な作業軌
跡を得られない等の問題が生じる。 【０００５】 このような問題に対し、特開昭５８−２１１８８１号公報には、発生した振動
を打ち消すように電動モータの速度指令信号を変化させる電気的制御方式が提案
されている。しかしながら、このような方式においてはフィードバックゲインを
大きくすると系が不安定となり、特に剛性の低いロボット駆動系においては、逆
に発振し易くなるという問題を生じるため、ゲインを大きくできず、したがって
、充分な振動打ち消し効果を得られない。また、特開昭５９−１７５９８６号公
報には高張力を与えたタイミングベルトで減速機を駆動し、該ベルトで振動を吸
収する方式のものが提案されている。しかしながら、この方式においてはタイミ ングベルトが破断するという危険がある。また、特開昭５９−１１５１８９号公
報には減速機の主軸にばねとおもりから成る吸振器を取付ける方式が提案されて
いる。しかし、この方式においては遠心力により吸振器が破損したり、ロボット
の負荷荷重に対応しておもり等を調整しなければならないという問題点がある。 【０００６】 そこで、本発明は、ロボットの駆動系が所定範囲の固有振動数を生じて駆動源
としての電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボットの関節装置に
おけるロボット作業効率を向上すること、詳しくは最も大きな振動がロボットに
生じる時のポイントをロボットによる作業のうち溶接作業等のように正確な作業
軌跡を要する作業の領域外にシフトし実用域での過大な振動を生じずに、ロボッ
ト作業効率が向上できる産業ロボットの関節装置を提供することを目的とする。 【０００７】 【課題を解決するための手段】 特許請求の範囲第１項記載の発明は、ロボットの第１部材と、第１部材に回動
自在に支持されたロボットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電
動モータの回転を減速して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ
、該減速装置および該第２部材を含んで構成される駆動系が所定範囲の固有振動
数を生じると共に、該電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボット
の関節装置において、前記所定範囲の固有振動数が５ヘルツ乃至９ヘルツであり
、前記電動モータの所定の最高回転数が１０００回転／分（ｒｐｍ）であって、
前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段および前段
回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、前記電動モータが
、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内に有し、前記後段回
転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段回転伝導手段
の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯車、および外
歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、 前記カム軸の一回転当たりに一定回数の実質トルク変動を生じ前記駆動系を実質
的に加振する特性を有する偏心揺動型遊星歯車装置によって構成され、前記前段
回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられたピニオンと
、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝導手段のカム軸に結合された歯車
とからなる平行軸型歯車装置によって構成され、 該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域におけ
る毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯車
装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となるよ
うに、１／１．９乃至１／６に設定され、前記減速装置の総減速比が、前記前後
段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて、１／６０乃至１／３２０に設定され
たことを特徴としている。 【０００８】 特許請求の範囲第２項記載の発明は、ロボットの第１部材と、第１部材に回動
自在に支持されたロボットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電
動モータの回転を減速して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ
、該減速装置および該第２部材を含んで構成される駆動系が所定範囲の固有振動
数を生じると共に、該電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボット
の関節装置において、前記所定の範囲の固有振動数が５ヘルツ乃至９ヘルツであ
り、前記電動モータの所定の最高回転数が２０００回転／分（ｒｐｍ）であって
、前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段および前
段回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、前記電動モータ
が、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内に有し、前記後段
回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段回転伝導手
段の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯車、および
外歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一定回数の実
質トルク変動を生じ前記駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心揺動型遊星
歯車装置によって構 成され、前記前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設け
られたピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝導手段のカム軸
に結合された歯車とからなる平行軸型歯車装置によって構成され、 該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域におけ
る毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯車
装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となるよ
うに、１／３．７乃至１／６．７に設定され、前記減速装置の総減速比が、前記
前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて、１／１１０乃至１／３２０に設
定されたことを特徴としている。 【０００９】 特許請求の範囲第３項記載の発明は、ロボットの第１部材と、第１部材に回動
自在に支持されたロボットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電
動モータの回転を減速して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ
、該減速装置および該第２部材を含んで構成される駆動系が所定の範囲の固有振
動数を生じると共に、該電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボッ
トの関節装置において、前記所定範囲の固有振動数が１０ヘルツ乃至１５ヘルツ
であり、前記電動モータの所定の最高回転数が１０００回転／分（ｒｐｍ）であ
って、前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段およ
び前段回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、前記電動モ
ータが、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内に有し、前記
後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段回転伝
導手段の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯車、お
よび外歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一定回数
の実質トルク変動を生じ前記駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心揺動型
遊星歯車装置によって構成され、前記前段回転伝導手段が、前記電動モータの回
転軸線上 に位置して設けられたピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝
導手段のカム軸に結合された歯車とからなる平行軸型歯車装置によって構成され
、該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域にお
ける毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯
車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となる
ように、１／１．５乃至１／４に設定され、前記減速装置の総減速比が、前記前
後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて、１／８０乃至１／２４０に設定さ
れたことを特徴としている。 【００１０】 【実施例】 発明者らは、ロボットアームの関節装置に用いる減速機のばね定数、固有ねじ
り振動数、トルク変動等と共振現象との関係につき種々研究を行った。 【００１１】 先ず、回転ばね定数の高い減速機をロボットアームの関節装置に用いることに
よりロボットの駆動系の固有ねじり振動数ｆ0 を格段に高めることが可能か否か
について試算した。しかし、減速機の中立位置付近の回転ばね定数は大きなもの
でもロボットアーム自体の回転ばね定数の１／１０〜１／５であるため、駆動系
全体のばね定数を大して大きくできず、その結果、駆動系の固有ねじり振動数も
大して大きくできない。したがって、既存の減速機によっては固有ねじり振動数
ｆ0 を格段に高めることが不可能であるとの結論に達した。 【００１２】 そこで、発明者らは、振動発生の原因である減速機のトルク変動を無くすこと
を試みた。具体的には偏心揺動型の遊星歯車減速装置機を用い、トルク変動を阻
止ないし減ずるよう、この減速装置の内歯車と外歯歯車の歯に高精度の仕上げ加
工を施し、かつ、トルク変動が生じてもこれを吸収するよう、偏心入力軸の軸受
部やトルク取出ピンの軸支部等に環状 溝を設け、該溝にゴムリングを装着した。 しかしながら、このような対策を施しても、実用域での共振を防ぐことはでき
ず、しかも、共振が生じる時の電動モータ回転数は、そのような対策を施さない
場合とほとんど同じであることがわかった。 【００１３】 このような実験結果から、一定の機構の減速機であれば、ほぼ一定のトルク変
動特性、すなわちロボットの駆動系に対する加振周波数特性を有するとの結論が
導かれた。また、斯かる推論から、ロボット駆動系に組み込む減速装置の機構を
変更すれば、トルク変動特性が変わり、ロボットに共振が生じる時の電動モータ
回転数を精密作業領域の外に置くことができるとの仮設のもとに種々の実験を行
った。 これらの実験の内容および結果については後述するが、これらの実験結果から
仮設は実証された。 【００１４】 以下、本発明に係る産業ロボットの関節装置を図面に基づいて説明する。第１
図ないし第３図は本件発明の第１実施例を示す図である。 【００１５】 まず、構成について説明する。第１図は本発明に係る産業ロボットの関節装置
を用いたロボットの関節部の全体概略図である。１は電動モータであり、電動モ
ータ１のフランジ２は減速装置３の筒体４に固定されている。筒体４は第１部材
としての第１アーム５の先端部５ａに固定されている。電動モータ１の出力の回
転軸７は減速装置３の入力回転軸８に連結され、減速装置３の出力は軸１０に伝
達され、軸１０は円筒体１１を貫通して第２部材としての第２アーム１２に固定
されている。第２アーム１２の端部の筒状体１３と第１アーム５の先端部５ａの
下面から下方に突出する円筒型の突出体１５との間には一対のベアリング１６が
介装され第２アーム１２は第１アーム５に回転自在に支持されている。突出体１
５の内周面と円筒体１１の中央部の外周面との間には一対のベアリング１７が介
装されている。円筒体１１の上部および下部の内面と 軸１０との間にはそれぞれ一対のベアリング１８が介装されている。したがって
、減速装置３は電動モータ１の回転数を減速してロボットの被駆動部すなわち第
２アーム１２を回動させる。また、電動モータ１、減速装置３、第２アーム１２
および第２アームに接続された負荷は駆動系を構成する。 【００１６】 減速装置３は第２図および第３図に示すように、電動モータ１の回転数を減速
する前段回転伝導手段としての前段減速機２０と、前段減速機２０に連結され、
回転数をさらに減速する後段回転伝導手段としての後段減速機２１と、から構成
されている。前段減速機２０は平行軸型歯車装置である。後段減速機２１は固定
している内歯歯車２８と内歯歯車２８に噛み合う外歯歯車２９と、外歯歯車２９
に係合して外歯歯車２９を揺動回転させるカム軸としての入力クランク軸３０と
、を有する偏心揺動型の遊星歯車装置によって構成されている。また、内歯歯車
２８はピン歯３１を用いたピン歯て構成され、かつ外歯歯車２９の歯数より１つ
だけ多い歯数を有している。また、前段減速機２０は平歯歯車により構成されて
いる。 【００１７】 前段減速機２０の減速比ｉ1 と後段減速機２１の減速比ｉ2 とは、電動モータ
１の通常制御回転数（ロボットの通常作業時、例えば溶接ロボットに主作業たる
溶接作業を行わしめる時、のモータ回転数）の範囲内でロボットすなわち、第１
アーム５および第２アーム１２と、後段減速機２１との共振が起きないように選
択している。すなわち、電動モータ１の通常制御回転数領域あるいはロボットに
よる正確な作業軌跡を要する領域（溶接作業等を行う作業領域）では、前段減速
機２０の毎秒当たり最高回転数、すなわち、電動モータ１の毎秒当たり最高回転
数に前段減速機２０の減速比を乗じた値（その値に更に後述するクランク軸３０
の一回転当たりのトルク変動回数である１を乗じた値に相当する）が、電動モー
タ１、減速装置３、第２アーム１２に接続された負荷から構成 される駆動系のねじり発振周波数（固有ねじり振動数ｆ0 ）以下になるよう、前
段減速機２０の減速比ｉ1 を選択する。この実施例においては、電動モータ１の
通常制御回転数が０〜１０００ｒｐｍ、前段減速機２０の減速比ｉ1 が１／３お
よび後段減速機２１の減速比ｉ2 は１／４０であり、減速装置３の全体の減速比
ｉは１／１２０になるように選択されている。前記駆動系の固有ねじり振動数ｆ
0 は、共振ピーク点における電動モータ１の回転数、前段減速機２０の減速比ｉ
1 および減速装置３に関して後述するトルク変動特性から逆算でき、この実施例
においては約８．４Hzである。 【００１８】 前段減速機２０の減速比ｉ1 が１／５未満（分母が大きくなることを意味する
。以下同じ）または後段減速機２１の減速比ｉ2 が１／２５を超える（分母が小
さくなることを意味する。以下同じ）と、前段減速機２０に構造の簡単な平行軸
歯車装置を採用して１／１２０の総減速比ｉを得ることは困難となるので、設計
的に不利となる。また、後段減速比２１の減速比ｉ2 が１／６０未満または前段
減速機２０の減速比ｉ1 が１／２を越えて１／１２０の総減速比ｉを得る場合は
、電動モータ１の通常制御域において、前段減速機２０の毎秒当たり最高回転数
が、前記駆動系の固有ねじり振動数ｆ0 （８．４Ｈｚ）に近づきあるいはそれ以
上となるので、共振を防止できる範囲が狭くなる。 【００１９】 次に、作用について説明する。 電動モータ１を０〜１０００ｒｐｍの通常回転数で回転させると、減速比ｉ1
が１／３の前段減速機２０の出力回転数は０〜３３３ｒｐｍとなり、減速比ｉ2
が１／４０の後段減速機２１の出力回転数は０〜８．３ｒｐｍとなり、この範囲
では大きな振動は生じない。電動モータ１の出力回転数が１５００ｒｐｍ近辺（
この時の前段減速機２０の出力回転数は１５００ｒｐｍ×１／３＝５００ｒｍｐ
近辺、遊星歯車減速機２１の出力回転数は１５００ｒｐｍ×１／３×１／４０＝
１２．５ｒｐｍ近 辺）で最大共振現象が生じ、この時の振動が最も大きい。このような共振現象が
電動モータ１の通常制御回転数領域外で生じる理由は明らかではないが、実験結
果から推定すると、そのような共振現象の主因となるトルク変動が前段減速機２
０ではなく後段減速機２１に生じ、そのトルク変動が実施例のような偏心揺動型
の遊星歯車装置では入力軸（クランク軸３０）１回転当たり１回（一定回数）生
じ、前記駆動系に対する加振作用をなすためと考えられる。 【００２０】 調和歯車装置（撓み噛み合い式遊星歯車装置）の場合は、実験結果から推定す
ると、入力軸（ウェーブジェネレータ）の１回転当たり２回（一定回数）のトル
ク変動が生じる。したがって、これに減速比１／３の前段減速機を取り付けると
、電動モータの回転数が７５０ｒｐｍ付近で７５０×１／３×２＝５００の毎分
当たりトルク変動が生じ、駆動系の固有振動数ｆ0 が上記実施例と同様８．４Hz
（５００振動／毎分）であるならば電動モータの回転数が実用域内である７５０
ｒｍｐ付近で共振が生じるものと考えられる。この場合、毎分当たり加振数がお
およそ５００のときに共振が生じるのであるから、調和歯車減速機に減速比ｉ１
＝１／６程度の前段減速機を設けることにより共振時の電動モータの回転数を実
用域外である１５００ｒｐｍを中心とする付近にまで上げることができる。 なお、電動モータ１および前段減速機２０の振動が駆動系の発振に影響をおよ
ぼさないのは、これらの振動は小さいこと、後段減速機２１を介することにより
吸収されること等によるものと考えられる。 【００２１】 前述の実施例の減速装置の他に次表の比較例１〜３に示す減速装置について実
施した振動測定試験について説明する。前述の実施例および比較例１、２の偏心
揺動型の遊星歯車装置は、クランク軸および外歯歯車の揺動によるアンバランス
を防いで振動の振幅を小さくするため、後述する第２〜第３実施例同様に外歯歯
車を２枚とし、これらを１８０度の 位相差をもって組み付けたもので、かつ、内歯歯車が外歯歯車の歯数より１つ多
い歯数を有するものを用いた。また、調和歯車装置は内歯歯車が外歯歯車の歯数
より２つ多き歯数を有するものを用いた。それぞれ、減速装置の減速段数、減速
比ｉ1 、ｉ2 、回転ばね定数Ｋ1 （第９図参照）および慣性モーメントＪは次表
に示してある。 【００２２】 【表１】 【００２３】 実験は第５図に示す全体構成図によって実施した。すなわち、電動サーボモー
タ５１の出力軸５１ａに減速装置５２を取付け、減速装置５２に主力軸５２ａに
ロボットの被駆動部（第２アーム）の慣性モーメントＪに相当する慣性負荷とし
てフライホイール５３が取付けられた。フライホイール側面５３ａの半径上の位
置に、円周方向の加速度および振幅を測定できる圧電素子を利用した加速度ピッ
クアップ５４を取り付けた。この加速度ピックアップ５４の出力はインジケータ
５６に連結されている。モータ５１、減速装置５２およびフライホイール５３か
ら成る駆動系の固有振動数ｆ0 は約８．４Hzになるよう調整してある。電動モー
タの回転数を変化させて、その時のフライホイールの加速度の大きさを測定した
。測定結果は第４図に示す。横軸は電動サーボモータ５１の回転数であり、縦軸
は加速度ピックアップ５４で検出された円周方向の加速度（単位：Ｇ）を示す。 【００２４】 比較例１、比較例２および比較例３においては、共振のピークはそれぞれ、電
動モータ５１の回転数が、略７５０ｒｐｍ、略５００ｒｐｍおよび２５０ｒｐｍ
のときであり、電動モータ５１の通常制御回転数０〜１０００ｒｐｍの範囲で最
も大きな振動が生じている。しかしながら、本発明に係る減速装置を用いた実施
例の場合には、電動モータの通常制御領域外である１５００ｒｐｍを中心とする
近傍で共振ピークが生じ、この時の振動が最も大きい。 また、実施例、比較例１、および比較例２の対比から、共振時における電動モ
ータ５１の回転数が前段減速機の減速比ｉ1 に反比例していることが認められる
。 【００２５】 次に本発明の第２実施例として、前述した第１実施例の減速装置３を改良した
場合について第６図、第７図に基づいて説明する。なお、第１実施例と同一構成
については、第１実施例と同一の符号を用いて説明する。 第６図、第７図において、４０は第１図に示した電動モータによって駆動され
る減速装置であり、減速装置４０は電動モータ１の回転軸７に連結された平行軸
型の前段減速機２０と、この前段減速機２０に連結された後段の遊星歯車装置２
１と、から構成されている。 【００２６】 電動モータ１の回転軸７の先端部７ａはテーバ軸であり、先端にねじ７ｂを有
する。ねじ部７ｂにはモータ出力軸の一部を構成する連絡軸７ｃが螺合されてい
る。８は入力回転軸てあり、入力回転軸８は先端部８ａに前段減速機２０のピニ
オン２２を設けると共に、基部にモータ回転軸７を貫通させる孔８ｂを有し、且
つ孔８ｂに回転軸７のテーバ部と係合するテーバ孔部を有している。入力回転軸
８は電動モータ１の回転軸７の先端部７ａにナット２３によりねじ止めされる。
回転軸７の先端部７ａは入力回転軸８に半月キー２４により固定されている。こ
のような構成により、入力回転軸８の先端部８ａの軸径はモータ回転軸７の軸径
より小さくすることができ、したがって、ピニオン２２の歯数はモータ回転軸７
に歯車を直接装着させる場合に比べ、少なくすることができ、容量の割に回転軸
径の大きい市販電動モータ１を用いる場合であっても、所定の前段減速比を得る
ことができる。ピニオン２２に噛み合う３個の平歯車２５は、後述する３本の入
力クランク軸３０にそれぞれ結合している。 【００２７】 遊星歯車装置２１は筒体４に固定して設けられた内歯歯車２８と、内歯歯車２
８に噛み合う一対の外歯歯車２９と、外歯歯車２９に嵌合して外歯歯車２９を揺
動回転させるカム軸としての３本の入力クランク軸３０と、から構成されている
。また、内歯歯車２８はピン歯３１を用いたピン歯車で構成され、かつ外歯歯車
２９の歯数より１つだけ多い歯数を有している。３３は円板部であり、円板部３
３は遊星歯車装置２１の前端部を構成し、かつ、入力クランク軸３０を円周上に
等配してベアリング３４を介して軸支している。３５はブロック体であり、ブロ
ック体３５はその中心部に軸方向の円筒状孔３６を有し、入力回転軸８が遊嵌さ
れている。同様に外歯歯車２９および円板部３３の中心部にも孔が設けられてい
る。ブロック体３５はその後端部３５ａに凹みを有し、軸１０のフランジ部３９
に対向している。凹み３６とフランジ部３９とによって形成された空洞内には、
前段減速機２０が収納されている。ブロック体３５には入力クランク軸３０を円
周上に等配しベアリング４１を介して軸支している。入力クランク軸３０の延在
部３０ａは凹み３６内に突出し、平歯車２５の固定されている。 【００２８】 入力クランク軸３０は円板部３３とブロック体３５の円周上に軸支され、入力
クランク軸３０の中央には１８０°の位相差をもつ一対のクランク部４２を有し
、各クランク部４２はベアリング４３を介して外歯歯車２９を偏心揺動させるよ
うにしている。ここで、前述した円板部３３と、ブロック体３５とは支持体４４
を構成する。円板部３３、ブロック体３５およびフランジ部３９は複数のボルト
４６および固定ナット４７により互いに固定されている。 【００２９】 電動モータ１の回転は回転軸７および入力回転軸８を介して前段減速機２０の
ピニオン２２に伝達され、前段減速機２０で減速される。前段減速機２０の出力
は平歯車２５により後段減速機２１のクランク軸３０に入力される。次いで、ク
ランク軸３０の回転により偏心揺動させられ る外歯歯車２９と、この外歯歯車２９と噛み合う内歯歯車２８とによりさらに減
速され、外歯歯車２９のゆっくりした自転運動はキャリアとして作用するし自体
４４から軸１０に伝達されアーム１２が回動される。 【００３０】 本実施例においては、電動モータ１の通常制御回転数は０〜１０００ｒｐｍ、
前段減速機２０の減速比ｉ1 は１／３、遊星歯車装置２１の減速比ｉ2 は１／４
０、減速装置３の総減速比ｉは１／１２０、電動モータ１、減速装置３および第
２アーム１２を含んで構成される駆動系の固有ねじり振動数ｆ0 は約８．４Hzで
ある。したがって、電動モータ１は産業ロボット駆動系の固有ねじり振動数に対
応する回転数（８．４Hzに相当する５００ｒｐｍ）を通常制御域（０〜１０００
ｒｐｍ）内に有している。また、前段減速機２０は電動モータ１の通常制御域に
おける毎秒最高回転数（１０００ｒｐｍに相当する毎秒１６．７回転）を、駆動
系の固有ねじり振動数ｆ0 以下になるよう（毎秒５．６回転）に減速する減速比
ｉ1 （１／３）を有している。 減速装置４０の回転ばね定数Ｋ1 は約３７．５kg・m／分である。この実施例
の場合の作用および振動特性は、前述の第１実施例と同様になる。 【００３１】 次に、本発明の第３実施例を図面に基づいて説明する。 第８図において、６０は減速装置である。減速装置６０は電動モータ１、前段
減速機２０および遊星歯車装置２１が軸方向に順次配設され、電動モータ１の回
転軸７には入力回転軸８が取着されている。入力回転軸８のモータ１側端には前
段減速機２０の入力歯車２２が一体に設けられ、その中間には大歯車６１ａと小
歯車６１ｂを有する第１のアイドルギヤ６１が回転自在に支持されている。遊星
歯車装置２１のクランク軸３０の一端はモータ１側に突出した延在部３０ａを有
する。延在部３０ａのモータ１側端には第２のアイドルギヤ６２が回転自在に支
持され、その中間には前段減速機２０の出力歯車２５が固着されている。第２の アイドルギヤ６２は入力歯車２２と噛み合いこれより歯数の多い大歯部６２ａお
よび第１アイドルギヤ６１の大歯部６１ａと噛み合いこれにより歯数の少ない小
歯部６２ｂを有する。出力歯車２５は第１アイドルギヤ６１の小歯部６１ｂと噛
み合いこれより多い歯数を有する。入力回転軸８、入力歯車２２、出力歯車２５
、延在部３０ａ、および第１、第２のアイドルギヤ６１、６２は前段減速機２０
としての平行軸減速機を構成する。アイドルギヤ６１、６２を入れることにより
、容量の割に回転軸径の大きい市販電動モータ１を用いる場合であっても、所定
の減速比ｉ1 を得ることができる。他の構成および作用は前述した第１および第
２の実施例と同じであるので、該実施例の説明に用いた符号を第８図に付け、そ
の説明を省略する。 【００３２】 次に、第９図に示す産業ロボット６５に用いた本発明に係る産業ロボットに関
節装置の実施例を図面を用いて説明する。 第９図において、産業ロボット６５は第１関節６６と、第１関節６６に連結す
る第２関節６７と、第２関節６７に連結する第１アーム８３および第２アーム６
８とから構成されている。第１関節６６は支柱７１の上側の旋回盤７３を矢印Ｐ
方向に回動し、第２関節６７は旋回盤７３に固定されたブラケット８１の上側の
第１アーム８３を矢印Ｑ方向に回動し、第２アーム６８の先端部６８ａの３次元
移動を可能にする。 【００３３】 第１０図は本発明の第４実施例を示す図であり、前述の第３実施例と同一構成
については、同一符号を用いて説明する。 第１０図において、７０は減速装置であり、減速装置７０は、第９図に示す産
業ロボットの第１関節６６において、第１部材としての筒状の支柱７１の内側に
内装されている。減速装置７０は電動モータ１に連結された平行軸型の前段減速
機２０と、この前段減速機２０に連結された後段の遊星歯車装置２１とから構成
されている。 【００３４】 電動モータ１のフランジ２は、筒体４を介して支柱７１にボルト４ｂを用いて
固定されている。電動モータ１の上側のほぼ垂直な回転軸７は前段減速機２０の
ピニオン２２に固定され、ピニオン２２に噛み合う３個の平歯車２５は、後述す
る３本の入力クランク軸３０の延在部３０ａにそれぞれ固定されている。遊星歯
車装置２１は前段減速機２０の上側に配置され、筒体４に固定して設けられた内
歯歯車２８と、内歯歯車２８に噛み合う一対の外歯歯車２９ａ、２９ｂ（以下、
添字をつけない２９で代表する）と、外歯歯車２９に嵌合して外歯歯車２９を用
導回転させるカム軸としての３本の入力クランク軸３０と、から構成されている
。入力クランク軸３０は遊星歯車装置２１の下端部を構成する円板部３３にベア
リング３４を介して軸支され、遊星歯車装置２１の上端部および外歯歯車２９の
円周上に等配して設けられた貫通孔を貫通したブロック体３５にベアリング４１
を介して軸支されている。ブロック体３５と円板部３３とは円周上に等配された
３つのボルト４６により一体的となり、支持体（キャリア）４４を構成し、支柱
７１の上側に設けられた第２部材としての円筒状体の旋回盤７３の底部７３ａに
固定されている。底部７３ａと支柱７１の上部７１ａとの間にはベアリング７４
が設けられ、支持体（キャリア）４４の自転に伴い、旋回盤７３は回転する。前
述以外の構成、作用および振動特性は第３実施例と同じであり省略する。 【００３５】 第１１図は本発明の第５実施例を示す図であり、前述の第３実施例と同一構成
については、同一符号を用いて説明する。 第１１図において、８０は減速装置であり、減速装置８０は第９図に示す産業
ロボットの第２関節６７に用いたものてある。第１部材としての箱型のブラット
８１は前述の第１関節６６の旋回盤７３の上側に一体的に固定されている。減速
装置８０は電動モータ１に連結された平行軸型の前段減速機２０とこの前段減速
機２０に連結された後段の遊星歯車装置２１とから構成されている。電動モータ
１のフランジ２はブラケット８１にボルト４ｂを用いて固定され、電動モータ１
の回転軸７は前段 減速機２０のピニオン２２に固定され、ピニオン２２に噛み合う３個の平歯車２
５は後述する３本の入力クランク軸３０の延在部３０ａにそれぞれ固定されてい
る。遊星歯車装置２１の入力クランク軸３０の前端部はベアリング４１を介して
ブロック体３５に軸支され、その後端部はベアリング３４を介して円板部３３に
軸支されている。ブロック体３５と円板部３３はボルト４６で一体的に固定され
て支持体４４を構成し、さらにボルト８２によりブラケット８１に固定されてい
る。遊星歯車減速機２１の内歯歯車２８は支持体４４の外周部にベアリング８４
を介して回動自在に支持されている。内歯歯車２８は、第２部材としての第１ア
ーム８３の端部８３ａに一体的に固定されている。 【００３６】 電動モータ１の回転は回転軸７を介して前段減速機２０のピニオン２２に伝達
され、前段減速機２０で減速される。前段減速機２０の出力は平歯車２５により
遊星歯車装置２１の入力クランク軸３０に入力される。次いで、入力クランク軸
３０の回転により偏心揺動させられる一対の外歯歯車２９ａ、２９ｂ（以下、２
９で代表する。）と、この外歯歯車２９と噛み合う内歯歯車２８とによりさらに
減速され、内歯歯車２８のゆっくりした自転は第２アーム８３を回動させる。前
述以外の構成、作用および振動特性は第３実施例と同じであり、同じ符号をつけ
て説明を省略する。 【００３７】 第１２図は本発明の第６実施例を示す図であり、これは、前述の第５実施例の
構成の一部を変更したものであり、第５実施例と同一の構成には同一の符号をつ
けて説明する。 第１２図において、９０は減速装置であり、減速装置９０は、第５実施例と同
様に、第９図に示す、産業ロボットの第２関節６７に用いたものである。 【００３８】 第６実施例では、減速装置は９０は電動モータ１に連結された前段減 速機２０と前段減速機２０に連結された後段の遊星歯車装置２１とから構成され
ている。電動モータ１の出力軸の回転軸７は前段減速機２０の太陽歯車９１に連
結され、太陽歯車９１に噛み合い円周上に等配された３個の遊星歯車９２は、ブ
ロック体３５の前端部から前方に連結された円筒部３５ａの内側に設けられた内
歯歯車９３とも噛み合い遊星運動する。遊星歯車減速機２１の偏心入力軸として
の入力クランク軸３０は回転軸７の軸線と同一軸線上ブロック体３５の軸芯上に
配置され、入力クランク軸３０の延在部３０ａはベアリング９４を介してブロッ
ク体３５に軸支されている。延在部３０ａの前端部にはフランジ部９５が設けら
れ、フランジ部９５の周辺に設けられた孔９６に前段前段減速機２０の遊星歯車
９２の軸９２ａが嵌合する。入力クランク軸３０の後端部は、円板部３３にベア
リング９８を介して軸支されている。ブロック体３５および円板部３３はボルト
８２によりブラケット８１に一体的に固定されている。 【００３９】 電動モータ１の回転は回転軸７を介して太陽歯車９１に伝達され、太陽歯車９
１の自転運動に伴い、遊星歯車９２は、太陽歯車９１と内歯歯車９３との間を減
速されて遊星運動する。遊星歯車９２の遊星運動の中公転運動はフランジ部９５
を介して入力クランク軸３０に伝達される。 前述以外の構成、作用および振動特性は第５実施例と同じであり、同じ符号を
つけて説明を省略する。 【００４０】 なお、後段回転伝導手段に偏心揺動型遊星歯車装置を用いた場合においては、
前段減速機の減速比は電動モータの毎秒当たり最高回転数を駆動系の固有振動数
より若干小さな値に減じる減速比であることが好ましい。例えば駆動系の固有ね
じり振動数ｆ０が５〜９Ｈｚの場合であって、電動モータの最高回転数が１００
０ｒｐｍ、総減速比ｉが１／６０〜１／３２０のときは前段の最小減速比ｉ１を
約１／１．９〜１／６、後段の減速比ｉ２を１／２５〜１／６０とするのが好ま
しい。また駆動系の 固有ねじり振動数ｆ０が５〜９Ｈｚの場合であって、電動モータの回転数が最高
２０００ｒｐｍ、総減速比ｉが１／１１０〜１／３２０のときは、前段の最小減
速比ｉ１を約１／３．７〜１／６．７、後段の減速比ｉ２を約１／２５〜約１／
６０とするのが好ましい。同様（ｆ０＝５〜９Ｈｚ）の場合であって、電動モー
タの回転数が最高４０００ｒｐｍ、総減速比ｉが１／２１０〜１／６４０のとき
は、前段の最小減速比ｉ１を約１／７．４〜約１／１３．３、後段の減速比ｉ２
を約１／３０〜約１／６０とするのが好ましい。また、駆動系の固有ねじり振動
数ｆ０が１０〜１５Ｈｚの場合であって、電動モータの最高回転数が１０００ｒ
ｐｍ、総減速比ｉが１／８０〜１／２４０のときは、前段の最小減速比ｉ１を１
／１．５〜１／４、後段の減速比ｉ２を１／２５〜１／６０とするのが好ましい
。同様（ｆ０＝１０〜１５Ｈｚ）の場合であって、電動モータの最高回転数が４
０００ｒｐｍ、総減速比が１／１２５〜１／６００のときは、前段の減速比ｉ１
を約１／４．５〜約１／１０、後段の減速比ｉ２を約１／３０〜約１／１００と
するのが好ましい。 【００４１】 【発明の効果】 請求項１記載の発明によれば、後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の
減速比を備えて、前段回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、外歯歯車、内歯
歯車を有し、カム軸の一回転当たりに一定回転数の実質トルク変動を生じ駆動系
を実質的に加振する特性を有する偏心揺動型遊星歯車装置によって構成され、前
段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられたピニオン
と、該ピニオンに噛み合うと共に前記カム軸に結合された歯車とからなる平行軸
型歯車装置によって構成され、該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に電動
モータの通常制御域における毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当
たりにおける前記遊星歯車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系
の固有振動数以下となるように、１／１．９乃至１／６に設定され、減速装置の
総減速比が、前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づ いて、１／６０乃至１／３２０に設定されているので、ロボットの駆動系が５ヘ
ルツ乃至９ヘルツの固有振動数を生じると共に、駆動源としての電動モータが最
高１０００ｒｐｍで使用される産業ロボットの関節装置の場合に、最大共振現象
を生じるポイント、若しくは最も大きな振動の生じるポイントが電動モータの通
常制御回転数領域（０〜１０００ｒｐｍ）の外にシフトし、実用域での過大な振
動を生じることが無い。従って、電動モータの通常制御回転数領域で行われるロ
ボット作業を正確な作業軌跡により行うことができ、ロボットの作業効率が向上
する。 【００４２】 また、請求項２記載の発明によれば、後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／
６０の減速比を備えて、前段回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、外歯歯車
、内歯歯車を有し、カム軸の一回転当たりに一定回転数の実質トルク変動を生じ
駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心揺動型遊星歯車装置によって構成さ
れ、前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられたピ
ニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記カム軸に結合された歯車とからなる
平行軸型歯車装置によって構成され、該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比
に電動モータの通常制御域における毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一
回転当たりにおける前記遊星歯車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記
駆動系の固有振動数以下となるように、１／３．７乃至１／６．７に設定され、
減速装置の総減速比が、前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて、１／１
１０乃至１／３２０に設定されているので、ロボットの駆動系が５ヘルツ乃至９
ヘルツの固有振動数を生じると共に、駆動源としての電動モータが最高２０００
ｒｐｍで使用される産業ロボットの関節装置の場合に、最大共振現象を生じるポ
イント、若しくは最も大きな振動の生じるポイントが電動モータの通常制御回転
数領域（０〜２０００ｒｐｍ）の外にシフトし、実用域での過大な振動を生じる
ことが無い。従って、電動モータの通常制御回転数領域で行われるロボット作業
を正確な作業軌跡により行うことができ、ロボットの作業効率が 向上する。 【００４３】 さらに、請求項３記載の発明によれば、後段回転伝導手段が、１／２５乃至１
／６０の減速比を備えて、前段回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、外歯歯
車、内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一定回数の実質トルク変動を
生じ駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心揺動型遊星歯車装置によって構
成され、前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられ
たピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記カム軸に結合された歯車とから
なる平行軸型歯車装置によって構成され、該平行軸型歯車装置の減速比が、該減
速比に前記電動モータの通常制御域における毎秒当たりの最高回転数と前記カム
の軸の一回転当たりにおける前記遊星歯車装置の実質トルク変動回数とを乗じた
値が前記駆動系の固有振動数以下となるように、１／１．５乃至１／４に設定さ
れ、減速装置の総減速比が、前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて、１
／８０乃至１／２４０に設定されているので、ロボットの駆動系が１０ヘルツ乃
至１５ヘルツの固有振動数を生じると共に、駆動原としての電動モータが最高１
０００ｒｐｍで使用される産業ロボットの関節装置の場合に、最大共振現象を生
じるポイント、若しくは最も大きな振動の生じるポイントが電動モータの通常制
御回転数領域（０〜１０００ｒｐｍ）の外にシフトし、実用域での過大な振動を
生じることが無い。従って、電動モータの通常制御回転数領域で行われるロボッ
ト作業を正確な作業軌跡により行うことができ、ロボットの作業効率が向上する
。

【図面の簡単な説明】 【図１】 本発明に係る産業ロボットの関節装置の第１実施例の全体概略説明図 【図２】 第１実施例の減速装置の一部断面図 【図３】 図２のIII−III矢視断面図 【図４】 本発明に係る産業ロボットの関節装置の実施例および比較例の性能の説明図 【図５】 図４に係る実施例の全体構成図 【図６】 本発明の第２実施例の要部断面図 【図７】 図６のVII−VII矢視断面図 【図８】 本発明の第３実施例を示すその要部断面図 【図９】 本発明に係る産業ロボットの関節装置を用いた産業ロボットの全体概念図 【図１０】 図９の第１関節に用いた本発明の第４実施例の要部断面図 【図１１】 図９の第２関節に用いた本発明の第５実施例の要部断面図 【図１２】 図９の第２関節に用いた本発明の第６実施例の要部断面図 【符号の説明】 １ 電動モータ ３ 減速装置 ５ 第１アーム（第１部材） １２ 第２アーム（第２部材） ２０ 前段減速機（前段回転伝導手段） ２１ 後段減速機（後段回転伝導手段） ２８ 内歯歯車 ２９ 外歯歯車 ３０ 入力クランク軸（カム軸）４０ 減速装置 ６０ 減速装置 ７０ 減速装置 ７１ 第１アーム（第１部材） ７３ 第２アーム（第２部材） ８０ 減速装置 ８１ 第１アーム（第１部材） ８３ 第２アーム（第２部材）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 ロボットの第１部材と、第１部材に回動自在に支持されたロボ
   ットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電動モータの回転を減速
   して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ、該減速装置および該
   第２部材を含んで構成される駆動系が所定範囲の固有振動数を生じると共に、該
   電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボットの関節装置において、 前記所定範囲の固有振動数が５ヘルツ乃至９ヘルツであり、前記電動モータの
   所定の最高回転数が１０００回転／分（ｒｐｍ）であって、 前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段および前
   段回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、 前記電動モータが、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内
   に有し、 前記後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段
   回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯
   車、および外歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一
   定回数の実質トルク変動を生じ前記駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心
   揺動型遊星歯車装置によって構成され、 前記前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられた
   ピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝導手段のカム軸に結合
   された歯車とからなる平行軸型歯車装置によって構成され、 該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域にお
   ける毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯
   車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となる
   ように、１／１．９乃至１／６に設定され、 前記減速装置の総減速比が、前記前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて
   、１／６０乃至１／３２０に設定されたことを特徴とする産業ロボットの関節装
   置。 【請求項２】 ロボットの第１部材と、第１部材に回動自在に支持されたロボ
   ットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電動モータの回転を減速
   して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ、該減速装置および該
   第２部材を含んで構成される駆動系が所定範囲の固有振動数を生じると共に、該
   電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボットの関節装置において、 前記所定の範囲の固有振動数が５ヘルツ乃至９ヘルツであり、前記電動モータ
   の所定の最高回転数が２０００回転／分（ｒｐｍ）であって、 前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段および前
   段回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、 前記電動モータが、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内
   に有し、 前記後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段
   回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯
   車、および外歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一
   定回数の実質トルク変動を生じ前記駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心
   揺動型遊星歯車装置によって構成され、 前記前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられた
   ピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝導手段のカム軸に結合
   された歯車とからなる平行軸型歯車装置によって構成され、 該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域にお
   ける毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯
   車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となる
   ように、１／３．７乃至１／６．７に設定さ れ、前記減速装置の総減速比が、前記前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づ
   いて、１／１１０乃至１／３２０に設定されたことを特徴とする産業ロボットの
   関節装置。 【請求項３】 ロボットの第１部材と、第１部材に回動自在に支持されたロボ
   ットの第２部材と、第１部材に一体的に取り付けられた電動モータの回転を減速
   して第２部材に伝達する減速装置とを備え、該電動モータ、該減速装置および該
   第２部材を含んで構成される駆動系が所定の範囲の固有振動数を生じると共に、
   該電動モータが所定の最高回転数で使用される産業ロボットの関節装置において
   、 前記所定範囲の固有振動数が１０ヘルツ乃至１５ヘルツであり、前記電動モー
   タの所定の最高回転数が１０００回転／分（ｒｐｍ）であって、 前記減速装置が、前記電動モータの回転を減速する前段回転伝導手段および前
   段回転伝導手段の出力回転を減速する後段回転伝導手段を有し、 前記電動モータが、前記駆動系の固有振動数に対応する回転数を通常制御域内
   に有し、 前記後段回転伝導手段が、１／２５乃至１／６０の減速比を備えて、前記前段
   回転伝導手段の出力が入力されるカム軸、カム軸の回転により駆動される外歯歯
   車、および外歯歯車に噛み合う内歯歯車を有し、前記カム軸の一回転当たりに一
   定回数の実質トルク変動を生じ前記駆動系を実質的に加振する特性を有する偏心
   揺動型遊星歯車装置によって構成され、 前記前段回転伝導手段が、前記電動モータの回転軸線上に位置して設けられた
   ピニオンと、該ピニオンに噛み合うと共に前記後段回転伝導手段のカム軸に結合
   された歯車とからなる平行軸型歯車装置によって構成され、 該平行軸型歯車装置の減速比が、該減速比に前記電動モータの通常制御域にお
   ける毎秒当たりの最高回転数と前記カムの軸の一回転当たりにおける前記遊星歯
   車装置の実質トルク変動回数とを乗じた値が前記駆動系の固有振動数以下となる
   ように、１／１．５乃至１／４に設定され、 前記減速装置の総減速比が、前記前後段回転伝導手段の減速比の選択に基づいて
   、１／８０乃至１／２４０に設定されたことを特徴とする産業ロボットの関節装
   置。