JP2590158Y2 - Shutter structure of X-ray fluorescence analyzer - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は螢光Ｘ線分析装置のシャ
ッター構造の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来の螢光Ｘ線分析装置のシャッター構
造では、例えば図４に示すように、試料台２の直下の位
置に平板状のシャッター７が水平方向に移動自在に設け
られ、Ｘ線管９からＸ線コリメータ１１およびＸ線フィ
ルタ１２を介して試料台２上の試料６に向けて照射され
る一次Ｘ線Ｘと、その試料６からＸ線フィルタ１４およ
び検出器コリメータ１３を介して検出器１０に向けて放
射される螢光Ｘ線ＦＸとを共に遮断する閉位置と、その
遮断を解除する開位置とに切り換え自在となるように構
成されていた。2. Description of the Related Art In a conventional shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer, for example, as shown in FIG. 4, a flat shutter 7 is provided at a position directly below a sample table 2 so as to be movable in the horizontal direction. Primary X-rays X are emitted from the tube 9 to the sample 6 on the sample stage 2 via the X-ray collimator 11 and the X-ray filter 12, and from the sample 6 via the X-ray filter 14 and the detector collimator 13. Thus, it is possible to switch between a closed position where both the fluorescent X-rays FX emitted toward the detector 10 are blocked and an open position where the blocking is released.

【０００３】一方、その試料台２を含めて装置本体３の
上部がシールドカバー１５で開閉自在に覆われ、そのシ
ールドカバー１５を閉じるとロックされ、かつ連動機構
を介してシャッター７が開位置に移動し、試料台２上の
試料６に一次Ｘ線Ｘを照射させてその試料６から放射さ
れる螢光Ｘ線ＦＸを検出器１０で検出することにより成
分分析をおこなうことができるようになっていた。On the other hand, the upper part of the apparatus main body 3 including the sample table 2 is covered with a shield cover 15 so as to be openable and closable. By moving, the sample 6 on the sample table 2 is irradiated with the primary X-ray X, and the fluorescent X-ray FX emitted from the sample 6 is detected by the detector 10, so that the component analysis can be performed. I was

【０００４】そして、試料６を取り替えるとき等には、
レバー（図示省略）を操作することによりシールドカバ
ー１５を開き、そのときには、シャッター７が、機械的
な連動機構を介して連動し、閉位置に移動して閉じら
れ、これにより、外部にＸ線が漏洩することがないよう
になっていた。When the sample 6 is replaced, etc.,
By operating a lever (not shown), the shield cover 15 is opened, and at that time, the shutter 7 is interlocked via a mechanical interlocking mechanism, moves to a closed position and is closed, and thereby the X-ray is externally transmitted. Was not leaked.

【０００５】[0005]

【考案が解決しようとする課題】ところで、Ｘ線フィル
タ１２，１４およびＸ線コリメータ１１、検出器コリメ
ータ１３は図４に示すように、共にシャッター７の裏側
（下方）に取り付けられている。The X-ray filters 12, 14, the X-ray collimator 11, and the detector collimator 13 are all mounted on the back (lower) side of the shutter 7, as shown in FIG.

【０００６】従って、Ｘ線フィルタ１２，１４やＸ線コ
リメータ１１、検出器コリメータ１３が取り替えを要す
る際には、その都度、メインの電源をオフにしてシャッ
ター７を開位置に移動させる必要があり、かつその位置
にシャッター７を移動させても、これらはそのシャッタ
ー７よりも下方の狭い個所に配置されているため、着脱
作業は容易ではなかった。とりわけ、Ｘ線フィルタ１
２，１４は試料６に応じて比較的頻繁に取り替えを要す
るため、着脱容易なシャッター構造の提案が望まれてい
た。Therefore, whenever the X-ray filters 12, 14 or the X-ray collimator 11 and the detector collimator 13 need to be replaced, the main power must be turned off and the shutter 7 must be moved to the open position. And even if the shutter 7 is moved to that position, since these are arranged in a narrow place below the shutter 7, the attachment / detachment work is not easy. In particular, X-ray filter 1
Since the components 2 and 14 need to be replaced relatively frequently in accordance with the sample 6, a proposal for a shutter structure that is easy to attach and detach has been desired.

【０００７】また、シャッター７が閉じられているとき
に、Ｘ線管９から一次Ｘ線Ｘが発生していると、そのＸ
線がそのシャッター７に反射されて検出器１０に入射さ
れるため、検出器１０の消耗劣化が促進されるという弊
害もあった。When the primary X-ray X is generated from the X-ray tube 9 when the shutter 7 is closed, the X-ray
Since the line is reflected by the shutter 7 and is incident on the detector 10, there is also a problem that the deterioration of the detector 10 is accelerated.

【０００８】本考案はこのような実情に鑑みてなされ、
Ｘ線フィルタやＸ線コリメータ、検出器コリメータ等の
着脱が容易で検出器を充分保護できる螢光Ｘ線分析装置
のシャッター構造を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of such circumstances.
It is an object of the present invention to provide a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer in which an X-ray filter, an X-ray collimator, a detector collimator and the like can be easily attached and detached and the detector can be sufficiently protected.

【０００９】[0009]

【課題を解決するための手段】本考案は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。According to the present invention, the means for solving the above-mentioned problems are constituted as follows.

【００１０】すなわち、第１の考案では、装置本体上部
に載設された試料台上の試料に対してＸ線管から照射さ
れる一次Ｘ線を遮断するための螢光Ｘ線分析装置のシャ
ッター構造であって、前記試料台を含めて装置本体の上
部を開閉自在に覆うシールドカバーを設け、前記シャッ
ターが、前記試料台に対応するＸ線コリメータと前記Ｘ
線管との間に配置され、かつ、前記一次Ｘ線を遮断する
閉位置と、その遮断を解除する開位置とに切り換え自在
に設定されており、更に、前記シールドカバーが開かれ
る際には、前記シャッターが閉じられているように前記
シールドカバーとシャッターを連動させ、前記シールド
カバーが開かれることで装置本体の上方側からＸ線コリ
メータ等の着脱交換作業がおこなえるように構成されて
いることを特徴としている。 That is, in the first invention, the sample on the sample table placed on the upper part of the apparatus main body is irradiated from the X-ray tube.
A shutter structure of the fluorescent X-ray analysis apparatus for blocking the primary X-rays, a shield cover for covering the upper portion of the apparatus main body, including the sample table openably provided, wherein the shutter, the sample stage Corresponding X-ray collimator and X
It is arranged between the X- ray tube and a closed position for blocking the primary X-ray, and is set to be freely switchable between an open position for releasing the blocking and further, when the shield cover is opened, , The shield cover and the shutter are linked so that the shutter is closed , and the shield
When the cover is opened, X-ray
It is characterized in that it is configured so that the work of attaching and detaching a meter and the like can be performed .

【００１１】第２の考案では、装置本体上部に載設され
た試料台上の試料に対してＸ線管から照射される一次Ｘ
線と、前記試料から放射されて検出器に収束される螢光
Ｘ線とを遮断するための螢光Ｘ線分析装置のシャッター
構造であって、前記シャッターが、一側部と他側部とを
一体に有してなり、その一側部が前記試料台に対応する
Ｘ線コリメータと前記Ｘ線管との間に配置される一方、
その他側部が前記試料台と対応する検出器コリメータと
検出器との間に配置され、かつ、その一側部で前記一次
Ｘ線を、他側部で前記螢光Ｘ線をそれぞれ遮断する閉位
置と、その遮断を解除する開位置とに切り換え自在に設
定されていることを特徴としている。In the second invention, a primary X-ray radiated from an X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper portion of the apparatus main body is provided.
A shutter structure of an X-ray fluorescence spectrometer for cutting off X-rays and X-rays emitted from the sample and converged on a detector, wherein the shutter has one side and another side. While one side is arranged between the X-ray collimator and the X-ray tube corresponding to the sample stage,
The other side is disposed between the detector and the corresponding detector collimator and the detector, and the primary X-ray is blocked on one side and the fluorescent X-ray is blocked on the other side. It is characterized in that it is set so as to be freely switchable between a position and an open position for releasing the interruption.

【００１２】[0012]

【作用】第１の考案では、Ｘ線コリメータはシャッター
の表側に設けられていることから、シャッターを閉じた
ままで、メインの電源をオフしないで、きわめて容易に
Ｘ線コリメータの着脱作業をおこなうことができる。つ
まり、シールドカバーが開かれる際には、シャッターが
閉じられているように相互を連動させれば、そのシール
ドカバーを開いて、そのままの状態でＸ線コリメータの
着脱交換作業をきわめて容易かつ迅速におこなうことが
できる。 According to the first invention, since the X-ray collimator is provided on the front side of the shutter, the X-ray collimator can be easily attached and detached without turning off the main power while the shutter is closed. Can be. In other words, when the shield cover is opened, if the shutters are closed so that they are linked to each other, the shield cover can be opened and the X-ray collimator can be attached and detached and replaced very easily and quickly. it is Ru can <br/> carried out.

【００１３】また、シャッターが閉じられているとき
に、たとえＸ線管から一次Ｘ線が発生してもシャッター
で遮断されるため、検出器に入射されることがなく、そ
の消耗劣化を防ぐことができる。When the shutter is closed, even if primary X-rays are generated from the X-ray tube, the shutter
Therefore, the light is not incident on the detector, so that its consumption can be prevented from deteriorating.

【００１４】第２の考案では、Ｘ線コリメータ、検出器
コリメータは、いずれもシャッターの表側に設けられて
いることから、シャッターを閉じたままで、メインの電
源をオフしないで、きわめて容易にこれらの着脱作業を
おこなうことができる。In the second invention , since the X-ray collimator and the detector collimator are both provided on the front side of the shutter, they can be very easily maintained without closing the shutter and turning off the main power supply. Attaching and detaching work can be performed.

【００１５】[0015]

【実施例】以下に本考案の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は螢光Ｘ線分析装置のシャッター構造
１の要部断面を示し、符号２は試料台で、装置本体３上
部の台板３ａに着脱自在に嵌装され、その中央部には円
形の窓５が開設され、その上に試料６を載せるようにな
っている。符号７は断面が略Ｖ字状に形成されたシャッ
ターで、試料台２の下方に形成されたＶ溝８に沿って紙
面に垂直方向に摺動自在に嵌装されており、そのシャッ
ター７が、その一側部７ａでＸ線管９から試料６に向け
て照射される一次Ｘ線Ｘを、また、その他側部７ｂで試
料６から検出器１０に向けて放射される螢光Ｘ線ＦＸを
それぞれ遮断する閉位置（図２の二点鎖線参照）と、そ
の遮断を解除する開位置（図２の実線参照）とに切り換
え自在となるように設定されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a cross section of a main part of a shutter structure 1 of a fluorescent X-ray analyzer. Reference numeral 2 denotes a sample table, which is detachably fitted to a base plate 3a on an upper part of the apparatus main body 3, and has a circular shape at the center thereof. A window 5 is opened, on which a sample 6 is placed. Reference numeral 7 denotes a shutter having a substantially V-shaped cross section. The shutter 7 is slidably fitted in a vertical direction on a paper surface along a V groove 8 formed below the sample table 2. The primary X-ray X radiated from the X-ray tube 9 toward the sample 6 at one side 7a thereof, and the fluorescent X-ray FX radiated from the sample 6 toward the detector 10 at the other side 7b. Are set to be freely switchable between a closed position (see a two-dot chain line in FIG. 2) for shutting off each of them and an open position (see a solid line in FIG. 2) for releasing the cutoff.

【００１６】このシャッター７の一側部７ａの表側には
Ｘ線コリメータ１１が取り付けられ、その表側にはＸ線
フィルタ１２が着脱自在に装着されている。一方、その
シャッター７の他側部７ｂの表側には検出器コリメータ
１３が取り付けられ、その表側にはＸ線フィルタ１４が
着脱自在に装着されている。An X-ray collimator 11 is mounted on the front side of one side 7a of the shutter 7, and an X-ray filter 12 is detachably mounted on the front side. On the other hand, a detector collimator 13 is mounted on the front side of the other side portion 7b of the shutter 7, and an X-ray filter 14 is detachably mounted on the front side.

【００１７】他方、試料台２を含めて装置本体３の上部
はシールドカバー１５（図３参照）によって開閉自在に
覆われ、その開閉操作と連動して上述のシャッター７が
閉位置と開位置とに移動するようになっている。On the other hand, the upper portion of the apparatus main body 3 including the sample stage 2 is covered with a shield cover 15 (see FIG. 3) so as to be openable and closable. To move to.

【００１８】このような構成により、シールドカバー１
５を閉じるとシャッター７が開いてＸ線管９から試料６
に向けて一次Ｘ線Ｘを照射させてその試料６から放射さ
れる螢光Ｘ線ＦＸを検出器１０で検出することにより、
外部にＸ線を漏洩することなく成分分析をおこなうこと
ができる。With such a configuration, the shield cover 1
When the shutter 5 is closed, the shutter 7 opens and the sample 6
By irradiating primary X-rays X toward the detector and detecting fluorescent X-rays FX emitted from the sample 6 by the detector 10,
Component analysis can be performed without leaking X-rays to the outside.

【００１９】そして、分析作業終了後に、シールドカバ
ー１５を開くために装置本体３の前部に設けられたロッ
クレバー２７を解除位置に移動させると、シャッター７
が直ちに閉位置に移動してＸ線管９からの一次Ｘ線Ｘを
遮断するとともに試料６からの螢光Ｘ線ＦＸの線路をも
遮断する。これにより、シールドカバー１５が開かれた
時点では、シャッター７によってＸ線の外部への漏洩が
完全に防止される。When the lock lever 27 provided at the front of the apparatus main body 3 is moved to the release position to open the shield cover 15 after the analysis work, the shutter 7 is opened.
Immediately moves to the closed position to cut off the primary X-rays X from the X-ray tube 9 and also cut off the line of the fluorescent X-rays FX from the sample 6. Thus, when the shield cover 15 is opened, the shutter 7 completely prevents the X-ray from leaking to the outside.

【００２０】このようなシールドカバー１５が開、シャ
ッター７が閉の状態では、Ｘ線フィルタ１２，１４と、
Ｘ線コリメータ１１、検出器コリメータ１３は、シャッ
ター７の表側に露出しており、従って、これらをそのま
まの状態で容易に着脱換装することができる。その際メ
インの電源はオフするには及ばず、取り替え終了後、Ｘ
線管９の出力が安定化するまでの待ち時間を全く要する
ことなく、直ちに再度の分析作業を再開始することがで
きる。When the shield cover 15 is open and the shutter 7 is closed, the X-ray filters 12, 14
The X-ray collimator 11 and the detector collimator 13 are exposed on the front side of the shutter 7, so that they can be easily attached and detached as they are. At that time, the main power was too short to turn off.
The analysis can be restarted immediately without any waiting time until the output of the tube 9 is stabilized.

【００２１】より詳しく説明すると、シールドカバー１
５は、図３に示すように、外被部材１６の内部に、上底
を有する円筒容器状のシールドカバー本体１５ａを有
し、ガスシリンダ１７で開閉自在に俯仰操作され、閉状
態ではシールドカバー本体１５ａの下部周縁に取り付け
られたＯリング１８を介して装置本体３上部の台板３ａ
に密接してそのシールドカバー本体１５ａの内部に気密
な試料室１９を形成し、その試料室１９にホース２０を
介して接続されたポンプ２１によってその試料室１９内
を真空に調圧できるようになっている。More specifically, the shield cover 1
As shown in FIG. 3, reference numeral 5 denotes a cylindrically-shaped shield cover body 15a having an upper bottom inside a jacket member 16, which is opened and closed by a gas cylinder 17 to be opened and closed. The base plate 3a on the upper part of the apparatus main body 3 via the O-ring 18 attached to the lower peripheral edge of the main body 15a
An airtight sample chamber 19 is formed in the shield cover main body 15a in close contact with the sample chamber 19, and the inside of the sample chamber 19 can be adjusted to a vacuum by a pump 21 connected to the sample chamber 19 via a hose 20. Has become.

【００２２】一方、そのシールドカバー１５は、閉状態
で、装置本体３の前部に設けられたロック手段２２でロ
ックされ、ロックレバー２７を解除位置（図２参照）に
移動させると、リミットスイッチ２９で検知され、その
検知信号によりロータリソレノイド３４が作動し、リン
ク機構３５を介してシャッター７が図２の実線で示され
る開位置から二点鎖線で示される閉状態に移動される。On the other hand, when the shield cover 15 is closed and locked by the lock means 22 provided at the front part of the apparatus main body 3 and the lock lever 27 is moved to the release position (see FIG. 2), the limit switch is turned on. At 29, the detection signal activates the rotary solenoid 34, and the shutter 7 is moved via the link mechanism 35 from the open position shown by the solid line in FIG.

【００２３】ロック手段２２について説明すると、図２
に示すように、シールドカバー１５の前部には被掛止部
材２３が固定されており、シールドカバー１５を閉じた
ときには、装置本体３の前部に設けられた掛止部材２４
によってその被掛止部材２３がロック掛止されるように
なっている。詳しくは、その掛止部材２４はスプリング
２５によってロック方向（左方向）に付勢され、シール
ドカバー１５の開放下では、ストッパー２６に当接して
ロック解除の位置に設定されており、シールドカバー１
５と閉じると、被掛止部材２３によってそのストッパー
２６が押し下げられて掛止部材２４がスプリング２５の
付勢でロック方向に移動し、被掛止部材２３が掛止され
シールドカバー１５がロックされ、試料室１９内が気密
状態とされる。なお、ロックを解除するにはその掛止部
材２４に取り付けられたレバー２７を右方向に移動させ
ればよく、そのレバー２７の動作がリミットスイッチ２
９で検知されると、ロータリーソレノイド３４が作動し
てシャッター７が閉位置に移動され、しかる後に、シー
ルドカバー１５に対するロックが解除されて試料室１９
が開放される。図２中、符号２８は掛止部材２４のロッ
ク解除位置を検知するためのリミットスイッチである。The locking means 22 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, a hooked member 23 is fixed to the front of the shield cover 15. When the shield cover 15 is closed, a hook member 24 provided on the front of the apparatus body 3 is provided.
Thereby, the hooked member 23 is locked. More specifically, the locking member 24 is urged in the locking direction (left direction) by a spring 25, and is set at the unlocked position by contacting the stopper 26 when the shield cover 15 is opened.
5, the stopper 26 is pushed down by the hooked member 23, and the hooking member 24 is moved in the lock direction by the bias of the spring 25, and the hooked member 23 is hooked and the shield cover 15 is locked. , The inside of the sample chamber 19 is made airtight. In order to release the lock, the lever 27 attached to the latch member 24 may be moved to the right, and the operation of the lever 27 is controlled by the limit switch 2.
9, the rotary solenoid 34 operates to move the shutter 7 to the closed position, and then the lock on the shield cover 15 is released and the sample chamber 19 is released.
Is released. In FIG. 2, reference numeral 28 denotes a limit switch for detecting the unlocked position of the locking member 24.

【００２４】このように、シールドカバー１５が、ロッ
ク手段２２のロック解除動作によって開かれたときに
は、すでにシャッター７が閉じられており、これによ
り、Ｘ線の外部への漏洩は完全に防止される。なお、シ
ャッター７が閉じられているときに、たとえＸ線管９か
ら一次Ｘ線が発生していても、検出器１０に螢光Ｘ線Ｆ
Ｘが入射することはなく、その消耗劣化を防ぐことがで
きるのはいうまでもない。As described above, when the shield cover 15 is opened by the unlocking operation of the lock means 22, the shutter 7 is already closed, whereby leakage of X-rays to the outside is completely prevented. . When the shutter 7 is closed, even if primary X-rays are generated from the X-ray tube 9, the fluorescent X-ray F
It is needless to say that X does not enter and its consumption deterioration can be prevented.

【００２５】そして、上述のように、シールドカバー１
５を開いた状態では、前述のように、その表側に設けら
れているＸ線フィルタ１２，１４およびＸ線コリメータ
１１、検出器コリメータ１３等を、メインの電源をオフ
することなく、容易かつ安全に着脱交換することができ
るのである。Then, as described above, the shield cover 1
In the state in which the X-ray filter 5 is opened, the X-ray filters 12, 14 and the X-ray collimator 11, the detector collimator 13 and the like provided on the front side can be easily and safely turned off without turning off the main power supply. It is possible to replace it with a new one.

【００２６】[0026]

【考案の効果】以上説明したように、第１の考案の螢光
Ｘ線分析装置のシャッター構造によれば、シールドカバ
ーが開かれる際には、シャッターが閉じるよう構成され
ているので、メインの電源をオフすることなく、また、
シャッターを取り外す必要もなく、きわめて容易に、Ｘ
線コリメータ等を装置本体の上方側から着脱交換するこ
とができる。従って、Ｘ線コリメータ等の着脱交換作業
後に、Ｘ線管からの出力か安定化するのを待つことな
く、直ちに測定を再開始することかできる利点もある。
特に第１の考案では、シールドカバーが開かれる際に
は、シャッターが閉じていることから、Ｘ線コリメータ
等の前記着脱交換作業をシールドカバーを開いたままの
状態でおこなる。このため、Ｘ線コリメータ等の前記着
脱交換がきわめて容易かつ迅速におこなうことができ
る。また、シャッターが閉じられているときに、たとえ
Ｘ線管から一次Ｘ線が発生してもシャッターで遮断され
るため、検出器に入射されることがなく、その消耗劣化
が防止される。 As described above, according to the shutter structure of the X-ray fluorescence analyzer of the first invention, the shutter is closed when the shield cover is opened. Without turning off the power,
It is very easy to remove the shutter without having to remove the shutter.
The line collimator and the like can be detached and replaced from the upper side of the apparatus main body. Therefore, there is also an advantage that the measurement can be restarted immediately without waiting for the output from the X-ray tube to stabilize after the attachment / detachment replacement work of the X-ray collimator or the like.
Particularly, in the first invention, when the shield cover is opened, since the shutter is closed, the work of attaching and detaching the X-ray collimator and the like is performed with the shield cover kept open. Therefore, the attachment / detachment / replacement of the X-ray collimator or the like can be performed extremely easily and quickly. Further, when the shutter is closed, even for the primary X-rays from the X-ray tube is blocked by the shutter even if it occurs, without being incident on the detector, the consumable deterioration Ru is prevented.

【００２７】また、第２の考案によれば、シャッター
が、一側部と他側部とを一体に有してなり、その一側部
が前記試料台に対応するＸ線コリメータと前記Ｘ線管と
の間に配置される一方、その他側部が前記試料台と対応
する検出器コリメータと検出器との間に配置されている
ので、メインの電源をオフすることなく、また、シャッ
ターを取り外す必要もなく、きわめて容易に、Ｘ線コリ
メータや検出器コリメータ等を着脱交換することができ
る。従って、第１の考案と同様に、着脱交換作業後に、
Ｘ線管からの出力が安定化するのを待つことなく、直ち
に測定を再開始することができる利点もある。また、検
出器の消耗劣化を防ぐこともできる。 Further, according to the second invention, the shutter is comprised and a one side and the other side integrally, the X-ray and X-ray collimator one side thereof corresponding to the sample stage Since the other side is disposed between the sample stage and the corresponding detector collimator and detector, the main power is not turned off, and the shutter is removed. It is not necessary and the X-ray collimator, detector collimator and the like can be attached and detached very easily. Therefore, like the first invention, after the attachment / detachment replacement work,
There is also an advantage that the measurement can be immediately restarted without waiting for the output from the X-ray tube to stabilize. Further, it is possible to prevent the detector from being worn and deteriorated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本考案の螢光Ｘ線分析装置のシャッター構造の
一例を示す要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part showing an example of a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer of the present invention.

【図２】同シャッター構造の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the shutter structure.

【図３】同装置本体の縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the apparatus main body.

【図４】従来のシャッター構造の要部断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of a conventional shutter structure.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２…試料台、３…装置本体、６…試料、７…シャッタ
ー、７ａ…一側部、７ｂ…他側部、９…Ｘ線管、１０…
検出器、１１…Ｘ線コリメータ、１２，１４…Ｘ線フィ
ルタ、１３…検出器コリメータ、１５…シールドカバ
ー。2 ... Sample stand, 3 ... Device body, 6 ... Sample, 7 ... Shutter, 7a ... One side, 7b ... Other side, 9 ... X-ray tube, 10 ...
Detector, 11: X-ray collimator, 12, 14: X-ray filter, 13: Detector collimator, 15: Shield cover.

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項１】 装置本体上部に載設された試料台上の試
料に対してＸ線管から照射される一次Ｘ線を遮断するた
めの螢光Ｘ線分析装置のシャッター構造であって、前記
試料台を含めて装置本体の上部を開閉自在に覆うシール
ドカバーを設け、前記シャッターが、前記試料台に対応
するＸ線コリメータと前記Ｘ線管との間に配置され、か
つ、前記一次Ｘ線を遮断する閉位置と、その遮断を解除
する開位置とに切り換え自在に設定されており、更に、
前記シールドカバーが開かれる際には、前記シャッター
が閉じられているように前記シールドカバーとシャッタ
ーを連動させ、前記シールドカバーが開かれることで装
置本体の上方側からＸ線コリメータ等の着脱交換作業が
おこなえるように構成されていることを特徴とする螢光
Ｘ線分析装置のシャッター構造。1. A shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer for blocking primary X-rays emitted from an X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper part of an apparatus main body, A shield cover is provided to openably and closably cover an upper part of the apparatus main body including the sample stage, wherein the shutter is disposed between an X-ray collimator corresponding to the sample stage and the X-ray tube, and the primary X-ray It is set to be freely switchable between a closed position for shutting off and an open position for releasing the shutoff.
When the shield cover is opened, the shield cover and the shutter are linked so that the shutter is closed, and when the shield cover is opened, attachment / detachment replacement work of an X-ray collimator or the like from the upper side of the apparatus main body. A shutter structure of the X-ray fluorescence analyzer. 【請求項２】 装置本体上部に載設された試料台上の試
料に対してＸ線管から照射される一次Ｘ線と、前記試料
から放射されて検出器に収束される螢光Ｘ線とを遮断す
るための螢光Ｘ線分析装置のシャッター構造であって、
前記シャッターが、一側部と他側部とを一体に有してな
り、その一側部が前記試料台に対応するＸ線コリメータ
と前記Ｘ線管との間に配置される一方、その他側部が前
記試料台と対応する検出器コリメータと検出器との間に
配置され、かつ、その一側部で前記一次Ｘ線を、他側部
で前記螢光Ｘ線をそれぞれ遮断する閉位置と、その遮断
を解除する開位置とに切り換え自在に設定されているこ
とを特徴とする螢光Ｘ線分析装置のシャッター構造。2. A primary X-ray radiated from a X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper portion of an apparatus main body, and fluorescent light emitted from the sample and converged on a detector. A shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer for blocking light X-rays ,
The shutter has one side and the other side integrally.
And an X-ray collimator whose one side corresponds to the sample stage.
And the X-ray tube, while the other side is disposed between the sample stage and the corresponding detector collimator and the detector, and one side thereof is provided with the above-mentioned one side. Primary X-rays on the other side
In a closed position for blocking the X-ray fluorescence, respectively, the shutter structure of the fluorescent X-ray analysis apparatus according to claim freely set Tei Rukoto switchable between an open position for releasing the cutoff.