JP2590158Y2 - Shutter structure of X-ray fluorescence analyzer - Google Patents
Shutter structure of X-ray fluorescence analyzerInfo
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- JP2590158Y2 JP2590158Y2 JP1992077233U JP7723392U JP2590158Y2 JP 2590158 Y2 JP2590158 Y2 JP 2590158Y2 JP 1992077233 U JP1992077233 U JP 1992077233U JP 7723392 U JP7723392 U JP 7723392U JP 2590158 Y2 JP2590158 Y2 JP 2590158Y2
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は螢光X線分析装置のシャ
ッター構造の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement in a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来の螢光X線分析装置のシャッター構
造では、例えば図4に示すように、試料台2の直下の位
置に平板状のシャッター7が水平方向に移動自在に設け
られ、X線管9からX線コリメータ11およびX線フィ
ルタ12を介して試料台2上の試料6に向けて照射され
る一次X線Xと、その試料6からX線フィルタ14およ
び検出器コリメータ13を介して検出器10に向けて放
射される螢光X線FXとを共に遮断する閉位置と、その
遮断を解除する開位置とに切り換え自在となるように構
成されていた。2. Description of the Related Art In a conventional shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer, for example, as shown in FIG. 4, a flat shutter 7 is provided at a position directly below a sample table 2 so as to be movable in the horizontal direction. Primary X-rays X are emitted from the tube 9 to the sample 6 on the sample stage 2 via the X-ray collimator 11 and the X-ray filter 12, and from the sample 6 via the X-ray filter 14 and the detector collimator 13. Thus, it is possible to switch between a closed position where both the fluorescent X-rays FX emitted toward the detector 10 are blocked and an open position where the blocking is released.
【0003】一方、その試料台2を含めて装置本体3の
上部がシールドカバー15で開閉自在に覆われ、そのシ
ールドカバー15を閉じるとロックされ、かつ連動機構
を介してシャッター7が開位置に移動し、試料台2上の
試料6に一次X線Xを照射させてその試料6から放射さ
れる螢光X線FXを検出器10で検出することにより成
分分析をおこなうことができるようになっていた。On the other hand, the upper part of the apparatus main body 3 including the sample table 2 is covered with a shield cover 15 so as to be openable and closable. By moving, the sample 6 on the sample table 2 is irradiated with the primary X-ray X, and the fluorescent X-ray FX emitted from the sample 6 is detected by the detector 10, so that the component analysis can be performed. I was
【0004】そして、試料6を取り替えるとき等には、
レバー(図示省略)を操作することによりシールドカバ
ー15を開き、そのときには、シャッター7が、機械的
な連動機構を介して連動し、閉位置に移動して閉じら
れ、これにより、外部にX線が漏洩することがないよう
になっていた。When the sample 6 is replaced, etc.,
By operating a lever (not shown), the shield cover 15 is opened, and at that time, the shutter 7 is interlocked via a mechanical interlocking mechanism, moves to a closed position and is closed, and thereby the X-ray is externally transmitted. Was not leaked.
【0005】[0005]
【考案が解決しようとする課題】ところで、X線フィル
タ12,14およびX線コリメータ11、検出器コリメ
ータ13は図4に示すように、共にシャッター7の裏側
(下方)に取り付けられている。The X-ray filters 12, 14, the X-ray collimator 11, and the detector collimator 13 are all mounted on the back (lower) side of the shutter 7, as shown in FIG.
【0006】従って、X線フィルタ12,14やX線コ
リメータ11、検出器コリメータ13が取り替えを要す
る際には、その都度、メインの電源をオフにしてシャッ
ター7を開位置に移動させる必要があり、かつその位置
にシャッター7を移動させても、これらはそのシャッタ
ー7よりも下方の狭い個所に配置されているため、着脱
作業は容易ではなかった。とりわけ、X線フィルタ1
2,14は試料6に応じて比較的頻繁に取り替えを要す
るため、着脱容易なシャッター構造の提案が望まれてい
た。Therefore, whenever the X-ray filters 12, 14 or the X-ray collimator 11 and the detector collimator 13 need to be replaced, the main power must be turned off and the shutter 7 must be moved to the open position. And even if the shutter 7 is moved to that position, since these are arranged in a narrow place below the shutter 7, the attachment / detachment work is not easy. In particular, X-ray filter 1
Since the components 2 and 14 need to be replaced relatively frequently in accordance with the sample 6, a proposal for a shutter structure that is easy to attach and detach has been desired.
【0007】また、シャッター7が閉じられているとき
に、X線管9から一次X線Xが発生していると、そのX
線がそのシャッター7に反射されて検出器10に入射さ
れるため、検出器10の消耗劣化が促進されるという弊
害もあった。When the primary X-ray X is generated from the X-ray tube 9 when the shutter 7 is closed, the X-ray
Since the line is reflected by the shutter 7 and is incident on the detector 10, there is also a problem that the deterioration of the detector 10 is accelerated.
【0008】本考案はこのような実情に鑑みてなされ、
X線フィルタやX線コリメータ、検出器コリメータ等の
着脱が容易で検出器を充分保護できる螢光X線分析装置
のシャッター構造を提供することを目的としている。The present invention has been made in view of such circumstances.
It is an object of the present invention to provide a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer in which an X-ray filter, an X-ray collimator, a detector collimator and the like can be easily attached and detached and the detector can be sufficiently protected.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本考案は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。According to the present invention, the means for solving the above-mentioned problems are constituted as follows.
【0010】すなわち、第1の考案では、装置本体上部
に載設された試料台上の試料に対してX線管から照射さ
れる一次X線を遮断するための螢光X線分析装置のシャ
ッター構造であって、前記試料台を含めて装置本体の上
部を開閉自在に覆うシールドカバーを設け、前記シャッ
ターが、前記試料台に対応するX線コリメータと前記X
線管との間に配置され、かつ、前記一次X線を遮断する
閉位置と、その遮断を解除する開位置とに切り換え自在
に設定されており、更に、前記シールドカバーが開かれ
る際には、前記シャッターが閉じられているように前記
シールドカバーとシャッターを連動させ、前記シールド
カバーが開かれることで装置本体の上方側からX線コリ
メータ等の着脱交換作業がおこなえるように構成されて
いることを特徴としている。 That is, in the first invention, the sample on the sample table placed on the upper part of the apparatus main body is irradiated from the X-ray tube.
A shutter structure of the fluorescent X-ray analysis apparatus for blocking the primary X-rays, a shield cover for covering the upper portion of the apparatus main body, including the sample table openably provided, wherein the shutter, the sample stage Corresponding X-ray collimator and X
It is arranged between the X- ray tube and a closed position for blocking the primary X-ray, and is set to be freely switchable between an open position for releasing the blocking and further, when the shield cover is opened, , The shield cover and the shutter are linked so that the shutter is closed , and the shield
When the cover is opened, X-ray
It is characterized in that it is configured so that the work of attaching and detaching a meter and the like can be performed .
【0011】第2の考案では、装置本体上部に載設され
た試料台上の試料に対してX線管から照射される一次X
線と、前記試料から放射されて検出器に収束される螢光
X線とを遮断するための螢光X線分析装置のシャッター
構造であって、前記シャッターが、一側部と他側部とを
一体に有してなり、その一側部が前記試料台に対応する
X線コリメータと前記X線管との間に配置される一方、
その他側部が前記試料台と対応する検出器コリメータと
検出器との間に配置され、かつ、その一側部で前記一次
X線を、他側部で前記螢光X線をそれぞれ遮断する閉位
置と、その遮断を解除する開位置とに切り換え自在に設
定されていることを特徴としている。In the second invention, a primary X-ray radiated from an X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper portion of the apparatus main body is provided.
A shutter structure of an X-ray fluorescence spectrometer for cutting off X-rays and X-rays emitted from the sample and converged on a detector, wherein the shutter has one side and another side. While one side is arranged between the X-ray collimator and the X-ray tube corresponding to the sample stage,
The other side is disposed between the detector and the corresponding detector collimator and the detector, and the primary X-ray is blocked on one side and the fluorescent X-ray is blocked on the other side. It is characterized in that it is set so as to be freely switchable between a position and an open position for releasing the interruption.
【0012】[0012]
【作用】第1の考案では、X線コリメータはシャッター
の表側に設けられていることから、シャッターを閉じた
ままで、メインの電源をオフしないで、きわめて容易に
X線コリメータの着脱作業をおこなうことができる。つ
まり、シールドカバーが開かれる際には、シャッターが
閉じられているように相互を連動させれば、そのシール
ドカバーを開いて、そのままの状態でX線コリメータの
着脱交換作業をきわめて容易かつ迅速におこなうことが
できる。 According to the first invention, since the X-ray collimator is provided on the front side of the shutter, the X-ray collimator can be easily attached and detached without turning off the main power while the shutter is closed. Can be. In other words, when the shield cover is opened, if the shutters are closed so that they are linked to each other, the shield cover can be opened and the X-ray collimator can be attached and detached and replaced very easily and quickly. it is Ru can <br/> carried out.
【0013】また、シャッターが閉じられているとき
に、たとえX線管から一次X線が発生してもシャッター
で遮断されるため、検出器に入射されることがなく、そ
の消耗劣化を防ぐことができる。When the shutter is closed, even if primary X-rays are generated from the X-ray tube, the shutter
Therefore, the light is not incident on the detector, so that its consumption can be prevented from deteriorating.
【0014】第2の考案では、X線コリメータ、検出器
コリメータは、いずれもシャッターの表側に設けられて
いることから、シャッターを閉じたままで、メインの電
源をオフしないで、きわめて容易にこれらの着脱作業を
おこなうことができる。In the second invention , since the X-ray collimator and the detector collimator are both provided on the front side of the shutter, they can be very easily maintained without closing the shutter and turning off the main power supply. Attaching and detaching work can be performed.
【0015】[0015]
【実施例】以下に本考案の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1は螢光X線分析装置のシャッター構造
1の要部断面を示し、符号2は試料台で、装置本体3上
部の台板3aに着脱自在に嵌装され、その中央部には円
形の窓5が開設され、その上に試料6を載せるようにな
っている。符号7は断面が略V字状に形成されたシャッ
ターで、試料台2の下方に形成されたV溝8に沿って紙
面に垂直方向に摺動自在に嵌装されており、そのシャッ
ター7が、その一側部7aでX線管9から試料6に向け
て照射される一次X線Xを、また、その他側部7bで試
料6から検出器10に向けて放射される螢光X線FXを
それぞれ遮断する閉位置(図2の二点鎖線参照)と、そ
の遮断を解除する開位置(図2の実線参照)とに切り換
え自在となるように設定されている。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a cross section of a main part of a shutter structure 1 of a fluorescent X-ray analyzer. Reference numeral 2 denotes a sample table, which is detachably fitted to a base plate 3a on an upper part of the apparatus main body 3, and has a circular shape at the center thereof. A window 5 is opened, on which a sample 6 is placed. Reference numeral 7 denotes a shutter having a substantially V-shaped cross section. The shutter 7 is slidably fitted in a vertical direction on a paper surface along a V groove 8 formed below the sample table 2. The primary X-ray X radiated from the X-ray tube 9 toward the sample 6 at one side 7a thereof, and the fluorescent X-ray FX radiated from the sample 6 toward the detector 10 at the other side 7b. Are set to be freely switchable between a closed position (see a two-dot chain line in FIG. 2) for shutting off each of them and an open position (see a solid line in FIG. 2) for releasing the cutoff.
【0016】このシャッター7の一側部7aの表側には
X線コリメータ11が取り付けられ、その表側にはX線
フィルタ12が着脱自在に装着されている。一方、その
シャッター7の他側部7bの表側には検出器コリメータ
13が取り付けられ、その表側にはX線フィルタ14が
着脱自在に装着されている。An X-ray collimator 11 is mounted on the front side of one side 7a of the shutter 7, and an X-ray filter 12 is detachably mounted on the front side. On the other hand, a detector collimator 13 is mounted on the front side of the other side portion 7b of the shutter 7, and an X-ray filter 14 is detachably mounted on the front side.
【0017】他方、試料台2を含めて装置本体3の上部
はシールドカバー15(図3参照)によって開閉自在に
覆われ、その開閉操作と連動して上述のシャッター7が
閉位置と開位置とに移動するようになっている。On the other hand, the upper portion of the apparatus main body 3 including the sample stage 2 is covered with a shield cover 15 (see FIG. 3) so as to be openable and closable. To move to.
【0018】このような構成により、シールドカバー1
5を閉じるとシャッター7が開いてX線管9から試料6
に向けて一次X線Xを照射させてその試料6から放射さ
れる螢光X線FXを検出器10で検出することにより、
外部にX線を漏洩することなく成分分析をおこなうこと
ができる。With such a configuration, the shield cover 1
When the shutter 5 is closed, the shutter 7 opens and the sample 6
By irradiating primary X-rays X toward the detector and detecting fluorescent X-rays FX emitted from the sample 6 by the detector 10,
Component analysis can be performed without leaking X-rays to the outside.
【0019】そして、分析作業終了後に、シールドカバ
ー15を開くために装置本体3の前部に設けられたロッ
クレバー27を解除位置に移動させると、シャッター7
が直ちに閉位置に移動してX線管9からの一次X線Xを
遮断するとともに試料6からの螢光X線FXの線路をも
遮断する。これにより、シールドカバー15が開かれた
時点では、シャッター7によってX線の外部への漏洩が
完全に防止される。When the lock lever 27 provided at the front of the apparatus main body 3 is moved to the release position to open the shield cover 15 after the analysis work, the shutter 7 is opened.
Immediately moves to the closed position to cut off the primary X-rays X from the X-ray tube 9 and also cut off the line of the fluorescent X-rays FX from the sample 6. Thus, when the shield cover 15 is opened, the shutter 7 completely prevents the X-ray from leaking to the outside.
【0020】このようなシールドカバー15が開、シャ
ッター7が閉の状態では、X線フィルタ12,14と、
X線コリメータ11、検出器コリメータ13は、シャッ
ター7の表側に露出しており、従って、これらをそのま
まの状態で容易に着脱換装することができる。その際メ
インの電源はオフするには及ばず、取り替え終了後、X
線管9の出力が安定化するまでの待ち時間を全く要する
ことなく、直ちに再度の分析作業を再開始することがで
きる。When the shield cover 15 is open and the shutter 7 is closed, the X-ray filters 12, 14
The X-ray collimator 11 and the detector collimator 13 are exposed on the front side of the shutter 7, so that they can be easily attached and detached as they are. At that time, the main power was too short to turn off.
The analysis can be restarted immediately without any waiting time until the output of the tube 9 is stabilized.
【0021】より詳しく説明すると、シールドカバー1
5は、図3に示すように、外被部材16の内部に、上底
を有する円筒容器状のシールドカバー本体15aを有
し、ガスシリンダ17で開閉自在に俯仰操作され、閉状
態ではシールドカバー本体15aの下部周縁に取り付け
られたOリング18を介して装置本体3上部の台板3a
に密接してそのシールドカバー本体15aの内部に気密
な試料室19を形成し、その試料室19にホース20を
介して接続されたポンプ21によってその試料室19内
を真空に調圧できるようになっている。More specifically, the shield cover 1
As shown in FIG. 3, reference numeral 5 denotes a cylindrically-shaped shield cover body 15a having an upper bottom inside a jacket member 16, which is opened and closed by a gas cylinder 17 to be opened and closed. The base plate 3a on the upper part of the apparatus main body 3 via the O-ring 18 attached to the lower peripheral edge of the main body 15a
An airtight sample chamber 19 is formed in the shield cover main body 15a in close contact with the sample chamber 19, and the inside of the sample chamber 19 can be adjusted to a vacuum by a pump 21 connected to the sample chamber 19 via a hose 20. Has become.
【0022】一方、そのシールドカバー15は、閉状態
で、装置本体3の前部に設けられたロック手段22でロ
ックされ、ロックレバー27を解除位置(図2参照)に
移動させると、リミットスイッチ29で検知され、その
検知信号によりロータリソレノイド34が作動し、リン
ク機構35を介してシャッター7が図2の実線で示され
る開位置から二点鎖線で示される閉状態に移動される。On the other hand, when the shield cover 15 is closed and locked by the lock means 22 provided at the front part of the apparatus main body 3 and the lock lever 27 is moved to the release position (see FIG. 2), the limit switch is turned on. At 29, the detection signal activates the rotary solenoid 34, and the shutter 7 is moved via the link mechanism 35 from the open position shown by the solid line in FIG.
【0023】ロック手段22について説明すると、図2
に示すように、シールドカバー15の前部には被掛止部
材23が固定されており、シールドカバー15を閉じた
ときには、装置本体3の前部に設けられた掛止部材24
によってその被掛止部材23がロック掛止されるように
なっている。詳しくは、その掛止部材24はスプリング
25によってロック方向(左方向)に付勢され、シール
ドカバー15の開放下では、ストッパー26に当接して
ロック解除の位置に設定されており、シールドカバー1
5と閉じると、被掛止部材23によってそのストッパー
26が押し下げられて掛止部材24がスプリング25の
付勢でロック方向に移動し、被掛止部材23が掛止され
シールドカバー15がロックされ、試料室19内が気密
状態とされる。なお、ロックを解除するにはその掛止部
材24に取り付けられたレバー27を右方向に移動させ
ればよく、そのレバー27の動作がリミットスイッチ2
9で検知されると、ロータリーソレノイド34が作動し
てシャッター7が閉位置に移動され、しかる後に、シー
ルドカバー15に対するロックが解除されて試料室19
が開放される。図2中、符号28は掛止部材24のロッ
ク解除位置を検知するためのリミットスイッチである。The locking means 22 will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 2, a hooked member 23 is fixed to the front of the shield cover 15. When the shield cover 15 is closed, a hook member 24 provided on the front of the apparatus body 3 is provided.
Thereby, the hooked member 23 is locked. More specifically, the locking member 24 is urged in the locking direction (left direction) by a spring 25, and is set at the unlocked position by contacting the stopper 26 when the shield cover 15 is opened.
5, the stopper 26 is pushed down by the hooked member 23, and the hooking member 24 is moved in the lock direction by the bias of the spring 25, and the hooked member 23 is hooked and the shield cover 15 is locked. , The inside of the sample chamber 19 is made airtight. In order to release the lock, the lever 27 attached to the latch member 24 may be moved to the right, and the operation of the lever 27 is controlled by the limit switch 2.
9, the rotary solenoid 34 operates to move the shutter 7 to the closed position, and then the lock on the shield cover 15 is released and the sample chamber 19 is released.
Is released. In FIG. 2, reference numeral 28 denotes a limit switch for detecting the unlocked position of the locking member 24.
【0024】このように、シールドカバー15が、ロッ
ク手段22のロック解除動作によって開かれたときに
は、すでにシャッター7が閉じられており、これによ
り、X線の外部への漏洩は完全に防止される。なお、シ
ャッター7が閉じられているときに、たとえX線管9か
ら一次X線が発生していても、検出器10に螢光X線F
Xが入射することはなく、その消耗劣化を防ぐことがで
きるのはいうまでもない。As described above, when the shield cover 15 is opened by the unlocking operation of the lock means 22, the shutter 7 is already closed, whereby leakage of X-rays to the outside is completely prevented. . When the shutter 7 is closed, even if primary X-rays are generated from the X-ray tube 9, the fluorescent X-ray F
It is needless to say that X does not enter and its consumption deterioration can be prevented.
【0025】そして、上述のように、シールドカバー1
5を開いた状態では、前述のように、その表側に設けら
れているX線フィルタ12,14およびX線コリメータ
11、検出器コリメータ13等を、メインの電源をオフ
することなく、容易かつ安全に着脱交換することができ
るのである。Then, as described above, the shield cover 1
In the state in which the X-ray filter 5 is opened, the X-ray filters 12, 14 and the X-ray collimator 11, the detector collimator 13 and the like provided on the front side can be easily and safely turned off without turning off the main power supply. It is possible to replace it with a new one.
【0026】[0026]
【考案の効果】以上説明したように、第1の考案の螢光
X線分析装置のシャッター構造によれば、シールドカバ
ーが開かれる際には、シャッターが閉じるよう構成され
ているので、メインの電源をオフすることなく、また、
シャッターを取り外す必要もなく、きわめて容易に、X
線コリメータ等を装置本体の上方側から着脱交換するこ
とができる。従って、X線コリメータ等の着脱交換作業
後に、X線管からの出力か安定化するのを待つことな
く、直ちに測定を再開始することかできる利点もある。
特に第1の考案では、シールドカバーが開かれる際に
は、シャッターが閉じていることから、X線コリメータ
等の前記着脱交換作業をシールドカバーを開いたままの
状態でおこなる。このため、X線コリメータ等の前記着
脱交換がきわめて容易かつ迅速におこなうことができ
る。また、シャッターが閉じられているときに、たとえ
X線管から一次X線が発生してもシャッターで遮断され
るため、検出器に入射されることがなく、その消耗劣化
が防止される。 As described above, according to the shutter structure of the X-ray fluorescence analyzer of the first invention, the shutter is closed when the shield cover is opened. Without turning off the power,
It is very easy to remove the shutter without having to remove the shutter.
The line collimator and the like can be detached and replaced from the upper side of the apparatus main body. Therefore, there is also an advantage that the measurement can be restarted immediately without waiting for the output from the X-ray tube to stabilize after the attachment / detachment replacement work of the X-ray collimator or the like.
Particularly, in the first invention, when the shield cover is opened, since the shutter is closed, the work of attaching and detaching the X-ray collimator and the like is performed with the shield cover kept open. Therefore, the attachment / detachment / replacement of the X-ray collimator or the like can be performed extremely easily and quickly. Further, when the shutter is closed, even for the primary X-rays from the X-ray tube is blocked by the shutter even if it occurs, without being incident on the detector, the consumable deterioration Ru is prevented.
【0027】また、第2の考案によれば、シャッター
が、一側部と他側部とを一体に有してなり、その一側部
が前記試料台に対応するX線コリメータと前記X線管と
の間に配置される一方、その他側部が前記試料台と対応
する検出器コリメータと検出器との間に配置されている
ので、メインの電源をオフすることなく、また、シャッ
ターを取り外す必要もなく、きわめて容易に、X線コリ
メータや検出器コリメータ等を着脱交換することができ
る。従って、第1の考案と同様に、着脱交換作業後に、
X線管からの出力が安定化するのを待つことなく、直ち
に測定を再開始することができる利点もある。また、検
出器の消耗劣化を防ぐこともできる。 Further, according to the second invention, the shutter is comprised and a one side and the other side integrally, the X-ray and X-ray collimator one side thereof corresponding to the sample stage Since the other side is disposed between the sample stage and the corresponding detector collimator and detector, the main power is not turned off, and the shutter is removed. It is not necessary and the X-ray collimator, detector collimator and the like can be attached and detached very easily. Therefore, like the first invention, after the attachment / detachment replacement work,
There is also an advantage that the measurement can be immediately restarted without waiting for the output from the X-ray tube to stabilize. Further, it is possible to prevent the detector from being worn and deteriorated.
【図1】本考案の螢光X線分析装置のシャッター構造の
一例を示す要部断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a main part showing an example of a shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer of the present invention.
【図2】同シャッター構造の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the shutter structure.
【図3】同装置本体の縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of the apparatus main body.
【図4】従来のシャッター構造の要部断面図である。FIG. 4 is a sectional view of a main part of a conventional shutter structure.
2…試料台、3…装置本体、6…試料、7…シャッタ
ー、7a…一側部、7b…他側部、9…X線管、10…
検出器、11…X線コリメータ、12,14…X線フィ
ルタ、13…検出器コリメータ、15…シールドカバ
ー。2 ... Sample stand, 3 ... Device body, 6 ... Sample, 7 ... Shutter, 7a ... One side, 7b ... Other side, 9 ... X-ray tube, 10 ...
Detector, 11: X-ray collimator, 12, 14: X-ray filter, 13: Detector collimator, 15: Shield cover.
Claims (2)
料に対してX線管から照射される一次X線を遮断するた
めの螢光X線分析装置のシャッター構造であって、前記
試料台を含めて装置本体の上部を開閉自在に覆うシール
ドカバーを設け、前記シャッターが、前記試料台に対応
するX線コリメータと前記X線管との間に配置され、か
つ、前記一次X線を遮断する閉位置と、その遮断を解除
する開位置とに切り換え自在に設定されており、更に、
前記シールドカバーが開かれる際には、前記シャッター
が閉じられているように前記シールドカバーとシャッタ
ーを連動させ、前記シールドカバーが開かれることで装
置本体の上方側からX線コリメータ等の着脱交換作業が
おこなえるように構成されていることを特徴とする螢光
X線分析装置のシャッター構造。1. A shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer for blocking primary X-rays emitted from an X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper part of an apparatus main body, A shield cover is provided to openably and closably cover an upper part of the apparatus main body including the sample stage, wherein the shutter is disposed between an X-ray collimator corresponding to the sample stage and the X-ray tube, and the primary X-ray It is set to be freely switchable between a closed position for shutting off and an open position for releasing the shutoff.
When the shield cover is opened, the shield cover and the shutter are linked so that the shutter is closed, and when the shield cover is opened, attachment / detachment replacement work of an X-ray collimator or the like from the upper side of the apparatus main body. A shutter structure of the X-ray fluorescence analyzer.
料に対してX線管から照射される一次X線と、前記試料
から放射されて検出器に収束される螢光X線とを遮断す
るための螢光X線分析装置のシャッター構造であって、
前記シャッターが、一側部と他側部とを一体に有してな
り、その一側部が前記試料台に対応するX線コリメータ
と前記X線管との間に配置される一方、その他側部が前
記試料台と対応する検出器コリメータと検出器との間に
配置され、かつ、その一側部で前記一次X線を、他側部
で前記螢光X線をそれぞれ遮断する閉位置と、その遮断
を解除する開位置とに切り換え自在に設定されているこ
とを特徴とする螢光X線分析装置のシャッター構造。2. A primary X-ray radiated from a X-ray tube to a sample on a sample table mounted on an upper portion of an apparatus main body, and fluorescent light emitted from the sample and converged on a detector. A shutter structure of a fluorescent X-ray analyzer for blocking light X-rays ,
The shutter has one side and the other side integrally.
And an X-ray collimator whose one side corresponds to the sample stage.
And the X-ray tube, while the other side is disposed between the sample stage and the corresponding detector collimator and the detector, and one side thereof is provided with the above-mentioned one side. Primary X-rays on the other side
In a closed position for blocking the X-ray fluorescence, respectively, the shutter structure of the fluorescent X-ray analysis apparatus according to claim freely set Tei Rukoto switchable between an open position for releasing the cutoff.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992077233U JP2590158Y2 (en) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | Shutter structure of X-ray fluorescence analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992077233U JP2590158Y2 (en) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | Shutter structure of X-ray fluorescence analyzer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0635955U JPH0635955U (en) | 1994-05-13 |
JP2590158Y2 true JP2590158Y2 (en) | 1999-02-10 |
Family
ID=13628153
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992077233U Expired - Lifetime JP2590158Y2 (en) | 1992-10-11 | 1992-10-11 | Shutter structure of X-ray fluorescence analyzer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2590158Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6642372B2 (en) * | 2016-10-14 | 2020-02-05 | 株式会社島津製作所 | X-ray analyzer |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0485599U (en) * | 1990-11-29 | 1992-07-24 |
-
1992
- 1992-10-11 JP JP1992077233U patent/JP2590158Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0635955U (en) | 1994-05-13 |
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