JP2583924Y2 - クリーンポンプ - Google Patents
クリーンポンプInfo
- Publication number
- JP2583924Y2 JP2583924Y2 JP8894492U JP8894492U JP2583924Y2 JP 2583924 Y2 JP2583924 Y2 JP 2583924Y2 JP 8894492 U JP8894492 U JP 8894492U JP 8894492 U JP8894492 U JP 8894492U JP 2583924 Y2 JP2583924 Y2 JP 2583924Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- impeller
- dynamic pressure
- magnetic bearing
- casing
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D13/00—Pumping installations or systems
- F04D13/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D13/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
- F04D13/0666—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven the motor being of the plane gap type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/04—Shafts or bearings, or assemblies thereof
- F04D29/046—Bearings
- F04D29/048—Bearings magnetic; electromagnetic
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Electromagnetism (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案はクリーンポンプに関
し、半導体製造工場や医療機器などに適用され、ケーシ
ング外からの磁気的作用によってインペラ自体をケーシ
ング内の所定位置に保持して回転させるようにしたクリ
ーンポンプに関する。
し、半導体製造工場や医療機器などに適用され、ケーシ
ング外からの磁気的作用によってインペラ自体をケーシ
ング内の所定位置に保持して回転させるようにしたクリ
ーンポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場などにおいて使用される
クリーンポンプとして、特開平３−２２９９８７号にお
いて知られたものがある。
クリーンポンプとして、特開平３−２２９９８７号にお
いて知られたものがある。
【０００３】図５はそのようなクリーンポンプの縦断面
図である。図５において、ポンプ１のケーシング２内に
はインペラ３が設けられ、インペラ３は非制御式磁気軸
受を構成する永久磁石４を有する非磁性部材５と、制御
式磁気軸受のロータに相当する軟鉄部材６が結合されて
いる。永久磁石４はインペラ３の円周方向に分割されて
いて、お互いに隣接する部分が互いに反対方向に着磁さ
れている。インペラ３の永久磁石４に対向するように、
ケーシング２外部には軸７に軸支されたロータ８が設け
られる。ロータ８は図示しないモータにより駆動されて
回転する。ロータ８には、インペラ３の永久磁石４に対
向し、かつ吸引力が作用するようにインペラ側と同数の
永久磁石９が取付けられている。
図である。図５において、ポンプ１のケーシング２内に
はインペラ３が設けられ、インペラ３は非制御式磁気軸
受を構成する永久磁石４を有する非磁性部材５と、制御
式磁気軸受のロータに相当する軟鉄部材６が結合されて
いる。永久磁石４はインペラ３の円周方向に分割されて
いて、お互いに隣接する部分が互いに反対方向に着磁さ
れている。インペラ３の永久磁石４に対向するように、
ケーシング２外部には軸７に軸支されたロータ８が設け
られる。ロータ８は図示しないモータにより駆動されて
回転する。ロータ８には、インペラ３の永久磁石４に対
向し、かつ吸引力が作用するようにインペラ側と同数の
永久磁石９が取付けられている。
【０００４】一方、インペラ３の軟鉄部材６を有する側
に対向するようにして、ケーシング２には、永久磁石
４，９の吸引力に打勝ってインペラ３をケーシング２の
中心に保持するように作用する電磁石１０が設けられて
いる。
に対向するようにして、ケーシング２には、永久磁石
４，９の吸引力に打勝ってインペラ３をケーシング２の
中心に保持するように作用する電磁石１０が設けられて
いる。
【０００５】電磁石１０と軟鉄部材６との隙間の間隔が
図示しない位置センサによって検知され、この検知出力
に応じて図示しない制御部により電磁石が制御され、イ
ンペラ３がケーシング２の中心に保持される。インペラ
３に重力などにより半径方向の力が作用しても、永久磁
石４と９との間の磁束のせん断力および電磁石１０と軟
鉄部材６との間の磁束のせん断力が作用するため、イン
ペラ３はケーシング２の中心に保持される。
図示しない位置センサによって検知され、この検知出力
に応じて図示しない制御部により電磁石が制御され、イ
ンペラ３がケーシング２の中心に保持される。インペラ
３に重力などにより半径方向の力が作用しても、永久磁
石４と９との間の磁束のせん断力および電磁石１０と軟
鉄部材６との間の磁束のせん断力が作用するため、イン
ペラ３はケーシング２の中心に保持される。
【０００６】このようにして磁気的にインペラ３が支持
された状態で、ロータ８が回転すると、永久磁石４と９
とが磁気カップリングを構成し、インペラ３が回転し、
液体は吐出口（図示せず）に送られる。
された状態で、ロータ８が回転すると、永久磁石４と９
とが磁気カップリングを構成し、インペラ３が回転し、
液体は吐出口（図示せず）に送られる。
【０００７】
【考案が解決しようとする課題】上述の図５に示したク
リーンポンプにおいて、図５に示す矢印Ｆの向きにイン
ペラ３が力を受け、電磁石１０と軟鉄部材６とによる制
御式磁気軸受の負荷容量を越えると、インペラ３の浮上
制御が不能になり、インペラ３がケーシング２の内壁に
接触するおそれがある。また、制御式磁気軸受の負荷容
量を越えない場合であっても、電磁石１０の自己発熱が
増大し、ケーシング２内の液体の温度を上昇させるおそ
れがある。
リーンポンプにおいて、図５に示す矢印Ｆの向きにイン
ペラ３が力を受け、電磁石１０と軟鉄部材６とによる制
御式磁気軸受の負荷容量を越えると、インペラ３の浮上
制御が不能になり、インペラ３がケーシング２の内壁に
接触するおそれがある。また、制御式磁気軸受の負荷容
量を越えない場合であっても、電磁石１０の自己発熱が
増大し、ケーシング２内の液体の温度を上昇させるおそ
れがある。
【０００８】それゆえに、この考案の主たる目的は、イ
ンペラが回転中に制御式磁気軸受の制御が不能になった
り、制御式磁気軸受の自己発熱が増大するのを防止でき
るようなクリーンポンプを提供することである。
ンペラが回転中に制御式磁気軸受の制御が不能になった
り、制御式磁気軸受の自己発熱が増大するのを防止でき
るようなクリーンポンプを提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この考案はインペラの一
方面に設けられた第１の永久磁石と、ケーシングを介し
てインペラの一方面に対向するようにロータの外面に設
けられた第２の永久磁石とによって非制御式磁気軸受を
構成し、インペラの他方面に設けられた磁性部材とイン
ペラの他方面に対向するように設けられた電磁石とによ
って制御式磁気軸受を構成したクリーンポンプにおい
て、インペラの一方面に動圧を発生するための複数の動
圧溝を形成し、インペラが予め定める回転数になったこ
とに応じて、制御式磁気軸受の制御を停止し、非制御式
磁気軸受の吸引力に釣合う強さの動圧によってインペラ
を浮上，回転させるように構成したものである。
方面に設けられた第１の永久磁石と、ケーシングを介し
てインペラの一方面に対向するようにロータの外面に設
けられた第２の永久磁石とによって非制御式磁気軸受を
構成し、インペラの他方面に設けられた磁性部材とイン
ペラの他方面に対向するように設けられた電磁石とによ
って制御式磁気軸受を構成したクリーンポンプにおい
て、インペラの一方面に動圧を発生するための複数の動
圧溝を形成し、インペラが予め定める回転数になったこ
とに応じて、制御式磁気軸受の制御を停止し、非制御式
磁気軸受の吸引力に釣合う強さの動圧によってインペラ
を浮上，回転させるように構成したものである。
【００１０】
【作用】この考案に係るクリーンポンプは、インペラの
一方面に動圧溝を形成したことによって、インペラを永
久磁石カップリングの吸引力に釣合う強さの動圧により
浮上，回転させることができるので、インペラの回転中
に制御式磁気軸受の制御が不能になったり、制御式磁気
軸受の自己発熱が増大するおそれをなくすことができ
る。
一方面に動圧溝を形成したことによって、インペラを永
久磁石カップリングの吸引力に釣合う強さの動圧により
浮上，回転させることができるので、インペラの回転中
に制御式磁気軸受の制御が不能になったり、制御式磁気
軸受の自己発熱が増大するおそれをなくすことができ
る。
【００１１】
【実施例】図１はこの考案の一実施例の縦断面図であ
り、図２は図１に示したインペラの一方面を示す図であ
り、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図であり、
図４は図２のＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
り、図２は図１に示したインペラの一方面を示す図であ
り、図３は図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図であり、
図４は図２のＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【００１２】図１に示したクリーンポンプは、以下の点
を除いて前述の図５と同様にして構成される。すなわ
ち、インペラ３の一端にロータ８からの回転力を伝達す
るための永久磁石４が図２に示すように同一円周上に等
分割された角度ごとにかつ隣接する永久磁石同士が互い
に異極に着磁されるとともに、同じ端面において図２に
示すような動圧溝１１が形成されている。この動圧溝１
１はインペラ３の回転に伴ってケーシング２との間に一
定の動圧を発生させる。この動圧溝１１は図２に示した
例では、ヘリングボーン（くの字状）に形成されている
が、これに限ることなく動圧を発生させるためであれば
どのような形状の溝であってもよい。
を除いて前述の図５と同様にして構成される。すなわ
ち、インペラ３の一端にロータ８からの回転力を伝達す
るための永久磁石４が図２に示すように同一円周上に等
分割された角度ごとにかつ隣接する永久磁石同士が互い
に異極に着磁されるとともに、同じ端面において図２に
示すような動圧溝１１が形成されている。この動圧溝１
１はインペラ３の回転に伴ってケーシング２との間に一
定の動圧を発生させる。この動圧溝１１は図２に示した
例では、ヘリングボーン（くの字状）に形成されている
が、これに限ることなく動圧を発生させるためであれば
どのような形状の溝であってもよい。
【００１３】上述のごとく構成されたクリーンポンプに
おいて、インペラ３は永久磁石４と９との磁気カップリ
ング吸引力に釣合う強さの吸引力を電磁石１０と軟鉄部
材６とからなる制御式磁気軸受から受け、ケーシング２
内で接触することなく、磁気浮上して回転する。インペ
ラ３はその動圧溝１１により、回転とともにケーシング
２の内面との間に動圧を発生する。この動圧が発生した
後、インペラ３の回転数を図示しない検出器により検出
し、予め設定した回転数に到達すると、電磁石１０の制
御を停止させる。このときインペラ３は永久磁石４と９
との吸引力に釣合う強さの動圧を発生し、ケーシング２
内で接触することなく浮上し、回転する。
おいて、インペラ３は永久磁石４と９との磁気カップリ
ング吸引力に釣合う強さの吸引力を電磁石１０と軟鉄部
材６とからなる制御式磁気軸受から受け、ケーシング２
内で接触することなく、磁気浮上して回転する。インペ
ラ３はその動圧溝１１により、回転とともにケーシング
２の内面との間に動圧を発生する。この動圧が発生した
後、インペラ３の回転数を図示しない検出器により検出
し、予め設定した回転数に到達すると、電磁石１０の制
御を停止させる。このときインペラ３は永久磁石４と９
との吸引力に釣合う強さの動圧を発生し、ケーシング２
内で接触することなく浮上し、回転する。
【００１４】
【考案の効果】以上のように、この考案によれば、イン
ペラのケーシングに対向する一方面に動圧を発生するた
めの複数の動圧溝を形成し、インペラが予め定める回転
数になったことに応じて、制御式磁気軸受の制御を停止
し、非制御式磁気軸受の吸引力に釣合う強さの動圧を発
生させ、インペラを浮上，回転させるようにしたので、
インペラが回転中に制御式磁気軸受の制御が不能になっ
たり、制御式磁気軸受の自己発熱が増大するのを防止す
ることができる。
ペラのケーシングに対向する一方面に動圧を発生するた
めの複数の動圧溝を形成し、インペラが予め定める回転
数になったことに応じて、制御式磁気軸受の制御を停止
し、非制御式磁気軸受の吸引力に釣合う強さの動圧を発
生させ、インペラを浮上，回転させるようにしたので、
インペラが回転中に制御式磁気軸受の制御が不能になっ
たり、制御式磁気軸受の自己発熱が増大するのを防止す
ることができる。
【図１】この考案の一実施例の縦断面図である。
【図２】図１に示したインペラの一方面を示す図であ
る。
る。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿う断面図である。
【図４】図２のＩＶ−ＩＶに沿う断面図である。
【図５】従来のクリーンポンプの縦断面図である。
１ ポンプ ２ ケーシング ３ インペラ ４，９ 永久磁石 ５ 非磁性部材 ６ 軟鉄部材 ８ ロータ １０ 電磁石 １１ 動圧溝
Claims (1)
- 【請求項１】 インペラの一方面に設けられた第１の永
久磁石と、ケーシングを介して前記インペラの一方面に
対向するようにロータの外面に設けられた第２の永久磁
石とによって非制御式磁気軸受を構成し、前記インペラ
の他方面に設けられた磁性部材と、前記インペラの他方
面に対向するように設けられた電磁石とによって制御式
磁気軸受を構成したクリーンポンプにおいて、 前記インペラの一方面に動圧を発生するめの複数の動圧
溝を形成し、 前記インペラが予め定める回転数になったことに応じ
て、前記制御式磁気軸受の制御を停止し、前記非制御式
磁気軸受の吸引力に釣合う強さの動圧によって前記イン
ペラを浮上，回転させることを特徴とする、クリーンポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8894492U JP2583924Y2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | クリーンポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8894492U JP2583924Y2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | クリーンポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653790U JPH0653790U (ja) | 1994-07-22 |
| JP2583924Y2 true JP2583924Y2 (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=13956994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8894492U Expired - Lifetime JP2583924Y2 (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | クリーンポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2583924Y2 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2292282B1 (en) | 2008-06-23 | 2017-11-15 | Thoratec Corporation | Blood pump apparatus |
| EP2372160B1 (en) | 2008-12-08 | 2014-07-30 | Thoratec Corporation | Centrifugal pump device |
| JP5378010B2 (ja) | 2009-03-05 | 2013-12-25 | ソラテック コーポレーション | 遠心式ポンプ装置 |
| EP2405140B1 (en) | 2009-03-06 | 2016-10-19 | Thoratec Corporation | Centrifugal pump device |
| EP3490122B1 (en) | 2009-07-29 | 2021-01-27 | Thoratec Corporation | Rotation drive device and centrifugal pump device |
| JP5443197B2 (ja) | 2010-02-16 | 2014-03-19 | ソラテック コーポレーション | 遠心式ポンプ装置 |
| EP2554191B1 (en) | 2010-03-26 | 2019-05-08 | Thoratec Corporation | Centrifugal blood pump device |
| JP5681403B2 (ja) | 2010-07-12 | 2015-03-11 | ソーラテック コーポレイション | 遠心式ポンプ装置 |
| JP5577506B2 (ja) | 2010-09-14 | 2014-08-27 | ソーラテック コーポレイション | 遠心式ポンプ装置 |
| JP5969979B2 (ja) | 2011-03-28 | 2016-08-17 | ソーラテック コーポレイション | 回転駆動装置およびそれを用いた遠心式ポンプ装置 |
| JP6083929B2 (ja) | 2012-01-18 | 2017-02-22 | ソーラテック コーポレイション | 遠心式ポンプ装置 |
| US9371826B2 (en) | 2013-01-24 | 2016-06-21 | Thoratec Corporation | Impeller position compensation using field oriented control |
| US9556873B2 (en) | 2013-02-27 | 2017-01-31 | Tc1 Llc | Startup sequence for centrifugal pump with levitated impeller |
| US10052420B2 (en) | 2013-04-30 | 2018-08-21 | Tc1 Llc | Heart beat identification and pump speed synchronization |
| US9713663B2 (en) | 2013-04-30 | 2017-07-25 | Tc1 Llc | Cardiac pump with speed adapted for ventricle unloading |
| US9623161B2 (en) | 2014-08-26 | 2017-04-18 | Tc1 Llc | Blood pump and method of suction detection |
| WO2016130846A1 (en) | 2015-02-11 | 2016-08-18 | Thoratec Corporation | Heart beat identification and pump speed synchronization |
| US10166318B2 (en) | 2015-02-12 | 2019-01-01 | Tc1 Llc | System and method for controlling the position of a levitated rotor |
| US10371152B2 (en) | 2015-02-12 | 2019-08-06 | Tc1 Llc | Alternating pump gaps |
| WO2016130989A1 (en) | 2015-02-13 | 2016-08-18 | Thoratec Corporation | Impeller suspension mechanism for heart pump |
| US10117983B2 (en) | 2015-11-16 | 2018-11-06 | Tc1 Llc | Pressure/flow characteristic modification of a centrifugal pump in a ventricular assist device |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP8894492U patent/JP2583924Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0653790U (ja) | 1994-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980707 |
|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080821 Year of fee payment: 10 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080821 Year of fee payment: 10 |