JP2574267Y2 - Inspection head for liquid crystal display - Google Patents

Inspection head for liquid crystal display

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JP2574267Y2
JP2574267Y2 JP1992000556U JP55692U JP2574267Y2 JP 2574267 Y2 JP2574267 Y2 JP 2574267Y2 JP 1992000556 U JP1992000556 U JP 1992000556U JP 55692 U JP55692 U JP 55692U JP 2574267 Y2 JP2574267 Y2 JP 2574267Y2
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、液晶表示装置用の検査
ヘッドに関し、特に、高画素密度の液晶表示装置に対処
可能な検査ヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test head for a liquid crystal display, and more particularly to a test head applicable to a liquid crystal display having a high pixel density.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、液晶表示装置はテレビ,ワープ
ロ,パーソナルコンピュータ,ワークステーション,ビ
ューファインダー等の広い表示用途に利用されており、
今後もその応用範囲はますます拡大するものと予測され
ている。これらの用途に使用される液晶表示装置は画像
のより鮮明化の要求からますます画素の高密度化,多画
素化が図られ、現在では各画素から引出される液晶電極
のピッチは100μmを切り、液晶表示装置の一辺当た
りに配置される液晶電極本数も2000本レベルに達し
ている。そして、このような液晶表示装置における画素
の高密度化,多画素化に伴い、液晶表示装置の画像検査
を行う際に液晶表示装置の液晶電極と液晶駆動回路との
接触を行うための高密度,多電極対応の検査ヘッド構造
が大きな問題となってきている。
2. Description of the Related Art In recent years, liquid crystal display devices have been used for wide display applications such as televisions, word processors, personal computers, workstations, and viewfinders.
It is anticipated that its application will continue to expand. The liquid crystal display devices used in these applications have been required to have higher pixel density and more pixels due to the demand for sharper images. At present, the pitch of the liquid crystal electrodes drawn from each pixel is less than 100 μm. Also, the number of liquid crystal electrodes arranged on one side of the liquid crystal display device has reached the level of 2,000. With the increase in the number of pixels and the number of pixels in such a liquid crystal display device, when performing image inspection of the liquid crystal display device, a high density liquid crystal display device is required to make contact between a liquid crystal electrode of the liquid crystal display device and a liquid crystal driving circuit. In addition, the structure of an inspection head compatible with multiple electrodes has become a major problem.

【0003】ところで、従来の液晶表示装置の検査に、
例えば図4に示すように、映像信号発生回路51,制御
回路52,液晶表示装置駆動回路53を有する液晶検査
装置54に接続されると共に液晶表示装置1の液晶電極
と電気的に接触して液晶検査装置54からの電気信号を
液晶表示装置1に伝送するための仲介機能を有する検査
ヘッド30が用いられてきた。
By the way, in the inspection of the conventional liquid crystal display device,
For example, as shown in FIG. 4, the liquid crystal is connected to a liquid crystal inspection device 54 having a video signal generation circuit 51, a control circuit 52, and a liquid crystal display device driving circuit 53, and is in electrical contact with a liquid crystal electrode of the liquid crystal display device 1. An inspection head 30 having an intermediary function for transmitting an electric signal from the inspection device 54 to the liquid crystal display device 1 has been used.

【0004】このような検査ヘッド30としては、図5
の(A)および(B)に示すように、液晶表示装置1の
液晶電極2に対応した位置にピン電極31と液晶検査装
置54との接続のための接続電極32とが形成されたプ
リント回路基板33のピン電極31構成部にスプリング
プローブあるいは金属製細針等から成るプローブピン3
4を植設して成るもの、あるいは、図6に示すように、
液晶表示装置1の液晶電極2に対応した位置に接触電極
41と液晶検査装置54との接続のための接続電極42
とがサブトラクティブ法等によって形成されたポリエス
テルあるいはポリイミド等のフィルム基材から成るフレ
キシブル回路基板43と、該フレキシブル回路基板43
を保持し、液晶表示装置1の液晶電極2と前記接触電極
41とを全端子均一な圧力で接触させるための弾性材料
から成る加圧保持部材44とから構成されたもの等が採
用されてきた。
[0005] As such an inspection head 30, FIG.
(A) and (B), a printed circuit in which a pin electrode 31 and a connection electrode 32 for connection to a liquid crystal inspection device 54 are formed at a position corresponding to the liquid crystal electrode 2 of the liquid crystal display device 1. A probe pin 3 made of a spring probe or a fine metal needle is provided on the pin electrode 31 constituting portion of the substrate 33.
4 or as shown in FIG.
A connection electrode 42 for connecting the contact electrode 41 and the liquid crystal inspection device 54 at a position corresponding to the liquid crystal electrode 2 of the liquid crystal display device 1.
A flexible circuit board 43 made of a film base material such as polyester or polyimide formed by a subtractive method or the like;
And a pressure holding member 44 made of an elastic material for bringing the liquid crystal electrode 2 of the liquid crystal display device 1 and the contact electrode 41 into contact with all terminals at a uniform pressure. .

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来技術による液晶表示装置用検査ヘッドにお
いては、図5に示したように、プローブピン34を用い
た検査ヘッド30の場合、直径100μmを下回るよう
な小径のプローブピン34を入手することが困難であ
り、またプリント回路基板33にプローブピン34を植
設するための微細ピッチかつ多端子の孔加工を行うため
の加工用ドリルとしては、現状100μm径以下のもの
が無いこと等からピッチ200μm以下の液晶電極2に
対応する検査ヘッド30を製作することが難しい。さら
には液晶電極2の多端子化に対応した孔加工を施すには
加工工数の増大を招く等の問題があり、今後の高密度,
多端子な液晶表示装置1に対応する検査ヘッドを構成す
る上での限界をきたしていた。
However, in the above-described conventional inspection head for a liquid crystal display device, as shown in FIG. 5, the inspection head 30 using the probe pins 34 has a diameter of 100 μm. It is difficult to obtain a probe pin 34 having a diameter as small as below, and as a drill for processing a fine pitch and multiple terminals for implanting the probe pins 34 on the printed circuit board 33, At present, it is difficult to manufacture the inspection head 30 corresponding to the liquid crystal electrode 2 having a pitch of 200 μm or less because there is no one with a diameter of 100 μm or less. Further, there is a problem that the number of processing steps is increased in performing the hole processing corresponding to the increase in the number of terminals of the liquid crystal electrode 2.
There has been a limit in configuring an inspection head corresponding to the multi-terminal liquid crystal display device 1.

【0006】また、プローブピン34が金属製であるた
めに、液晶表示装置1を検査する際に液晶電極2をキズ
つけ易く品質上の問題を生ずる虞がある等の課題を有し
ている。
Further, since the probe pins 34 are made of metal, there is another problem that the liquid crystal electrode 2 is easily damaged when the liquid crystal display device 1 is inspected, which may cause quality problems.

【0007】また、図6に示すようなフレキシブル回路
基板43を用いた検査ヘッド30の場合、ポリエステ
ル,ポリイミド等の材料を基材とし、ウェットプロセス
にて接触電極41や接続電極42等の回路パターンが形
成されるフレキシブル回路基板43では、回路パターン
を高密度かつ高精度に形成することが難しく、特に微細
かつ多電極なフレキシブル回路基板43においては、そ
の累積パターン精度を液晶表示装置1の液晶電極2に対
応できるよう高精度に管理することが困難である。さら
にはポリエステル,ポリイミド等の基材自体の持つ吸湿
性、熱膨張係数等の特性のため、湿度,温度等の環境条
件の変動により伸縮し、回路パターンの位置精度を高精
度に安定して保つことが困難であるなどの問題があっ
た。
In the case of the inspection head 30 using a flexible circuit board 43 as shown in FIG. 6, a material such as polyester or polyimide is used as a base material, and circuit patterns such as contact electrodes 41 and connection electrodes 42 are formed by a wet process. It is difficult to form a circuit pattern with high density and high precision in the flexible circuit board 43 on which the liquid crystal display device 1 is formed. It is difficult to manage with high accuracy so as to be able to cope with 2. In addition, due to the properties of the substrate itself such as polyester and polyimide, such as moisture absorption and thermal expansion coefficient, it expands and contracts due to changes in environmental conditions such as humidity and temperature, and maintains the circuit pattern position accuracy with high accuracy and stability. There was a problem that it was difficult.

【0008】また、上述したような従来技術が共通して
抱える問題点としては、液晶電極2と検査ヘッド30と
の間の接触、検査ヘッド30と液晶検査装置54との間
の接続、液晶駆動LSIの接続等、接続,接触の点数が
多いこと、液晶電極2から液晶検査装置54の駆動LS
Iに至るまでの接続経路が長く系の配線インピーダンス
が大きい上、各電極間でのインピーダンスバランスがと
りにくい等のために測定系の信頼性が低く、検査性能が
劣る等の課題を有している。
[0008] Further, the above-mentioned prior arts have common problems such as contact between the liquid crystal electrode 2 and the inspection head 30, connection between the inspection head 30 and the liquid crystal inspection device 54, and liquid crystal driving. The number of points of connection and contact, such as connection of LSI, is large.
There is a problem that the connection path leading to I is long, the wiring impedance of the system is large, the impedance balance between each electrode is difficult to maintain, the reliability of the measurement system is low, and the inspection performance is poor. I have.

【0009】以上の如く、従来技術における液晶表示装
置1の検査ヘッド30の構造においては多くの課題を有
していた。
As described above, the structure of the inspection head 30 of the liquid crystal display device 1 according to the prior art has many problems.

【0010】本考案の目的は、上記従来技術における課
題を解決するために、ピッチ100μm以下、電極数2
000端子レベルの狭ピッチ,多電極でかつ、環境の変
化が生じても液晶電極2に対して高い位置精度を保つこ
とができ、測定時の接触によって液晶電極2にキズをつ
けることの無い接触子の形成が可能であり、測定系の接
続,接触の点数が少なく、液晶電極2と駆動LSIとの
間の接続経路長を短くすることができて、低インピーダ
ンス化をはかることが可能であり、高い測定信頼性を得
ることができる液晶表示装置1用検査ヘッドを提供する
ことにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in the prior art by providing a pitch of 100 μm or less and a number of electrodes of two.
000-terminal level narrow pitch, multi-electrode, high contact accuracy with respect to the liquid crystal electrode 2 even when environmental changes occur, and contact without scratching the liquid crystal electrode 2 due to contact during measurement The number of points for connection and contact of the measurement system is small, the length of the connection path between the liquid crystal electrode 2 and the drive LSI can be shortened, and low impedance can be achieved. It is an object of the present invention to provide an inspection head for a liquid crystal display device 1 capable of obtaining high measurement reliability.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得る本
考案の液晶表示装置用検査ヘッドは、液晶表示装置の画
素から引出される液晶電極と電気的に接触し、液晶検査
装置からの電気信号を前記液晶表示装置に伝送するため
の液晶表示装置用検査ヘッドであって、少なくとも一主
面上に、前記液晶表示装置を駆動するための駆動LSI
と、前記液晶電極に対応して形成された接点パターン
と、該接点パターンと前記駆動LSIの電極とを電気的
に接続するLSI接続パターンと、前記駆動LSIへの
入力パターンとが配され、前記液晶電極を保持する前記
液晶表示装置の主構成材料と同一材料にて形成される透
明な回路基板と、該回路基板の前記接点パターン上に形
成されて前記液晶電極と接触するための導電性ゴムから
なる導電ゴム接触子とを具備したことを特徴とする。な
お、耐久性を向上させるため、前記LSI接続パターン
および前記入力パターンに接続される前記駆動LSIを
樹脂で封止することが好ましい。
The inspection head for a liquid crystal display device according to the present invention, which can achieve the above object, is in electrical contact with a liquid crystal electrode drawn from a pixel of the liquid crystal display device, and is capable of receiving electric power from the liquid crystal inspection device. An inspection head for a liquid crystal display device for transmitting a signal to the liquid crystal display device, comprising: a driving LSI for driving the liquid crystal display device on at least one main surface.
And a contact pattern formed corresponding to the liquid crystal electrode, an LSI connection pattern for electrically connecting the contact pattern and an electrode of the drive LSI, and an input pattern to the drive LSI. A transparent circuit board formed of the same material as the main constituent material of the liquid crystal display device for holding a liquid crystal electrode, and a conductive rubber formed on the contact pattern of the circuit board for contacting the liquid crystal electrode And a conductive rubber contact comprising: In order to improve durability, it is preferable that the drive LSI connected to the LSI connection pattern and the input pattern is sealed with a resin.

【0012】[0012]

【作用】本考案によれば、検査ヘッドに設けた駆動LS
IからLSI接続パターンおよび接点パターンを介し
て、導電ゴム接触子が接続され、この導電ゴム接触子を
介して、液晶表示装置の液晶電極との間の接触による電
気的接続により各画素に電気信号が送給されるもので、
有機フィルムに穿設された孔に関連して配設される導電
性ゴムの特に異方性を利用することにより導電ゴム接触
子と液晶電極との間の接触状態に対する信頼性の向上が
図られると共に、接触子と駆動LSI間の回路の短縮に
よる低インピーダンス化など、種々の有利な特色を持つ
検査ヘッドの構成が得られる。
According to the present invention, the driving LS provided on the inspection head is provided.
A conductive rubber contact is connected from I through an LSI connection pattern and a contact pattern, and an electrical signal is supplied to each pixel through the conductive rubber contact by electrical connection by contact with a liquid crystal electrode of a liquid crystal display device. Is sent,
The reliability of the contact state between the conductive rubber contact and the liquid crystal electrode can be improved by utilizing the anisotropy of the conductive rubber disposed in relation to the hole formed in the organic film. At the same time, it is possible to obtain a configuration of an inspection head having various advantageous features, such as low impedance by shortening a circuit between a contact and a drive LSI.

【0013】[0013]

【実施例】以下に、図面を参照しつつ本考案の実施例を
具体的に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the drawings.

【0014】図1は本考案による検査ヘッドを適用した
液晶表示装置検査機構の構成の概要を示す。すなわち、
本考案の検査ヘッド3は後述するように、液晶表示装置
1を駆動するための駆動LSI4を搭載しており、これ
に対して液晶検査装置24の方には、映像信号発生回路
21と制御回路22とが設けられている。かくして、本
考案の検査ヘッド3を介して、液晶検査装置24からの
電気信号が液晶表示装置1に送給されて検査が行われる
もので、以下に図2に従って本考案にかかる検査ヘッド
3の構成について詳述する。
FIG. 1 shows the outline of the configuration of a liquid crystal display device inspection mechanism to which the inspection head according to the present invention is applied. That is,
As will be described later, the inspection head 3 of the present invention has a drive LSI 4 for driving the liquid crystal display device 1, whereas the liquid crystal inspection device 24 has a video signal generation circuit 21 and a control circuit. 22 are provided. Thus, the electric signal from the liquid crystal inspection device 24 is sent to the liquid crystal display device 1 via the inspection head 3 of the present invention to perform the inspection, and the inspection head 3 according to the present invention will be described below with reference to FIG. The configuration will be described in detail.

【0015】図2において、5はガラスやセラミックな
どのように剛性があり、表面が平滑で金属薄膜法やアデ
ィティブメッキ形成法の適用に好適な絶縁性の回路基
板、6は回路基板5上の液晶表示装置1側液晶電極
((B)参照))2と対応する位置に形成された接点パ
ターン、7はこの接点パターン6と駆動LSI4との間
を電気的に接続するために形成されたLSI接続パター
ン、8は液晶検査装置24側から駆動LSI4に各信号
および電源を供給するために形成された入力パターンで
ある。なお、これらのパターン6,7および8はCr/
Cu/Au等の金属薄膜を形成した上、フォトリソ法、
エッチング法等によってパターンを形成する公知の薄膜
形成法、あるいはパターンに従ってCuメッキ等によっ
て回路パターンの形成がなされるアディティブメッキ法
等によって形成することができる。
In FIG. 2, reference numeral 5 denotes an insulative circuit board having rigidity such as glass or ceramic and having a smooth surface and suitable for application of a metal thin film method or an additive plating method. A contact pattern 7 formed at a position corresponding to the liquid crystal electrode (refer to (B)) 2 of the liquid crystal display device 1 is an LSI formed to electrically connect the contact pattern 6 and the driving LSI 4. The connection pattern 8 is an input pattern formed for supplying each signal and power from the liquid crystal inspection device 24 to the drive LSI 4. In addition, these patterns 6, 7 and 8 have Cr /
After forming a metal thin film such as Cu / Au, a photolithography method,
It can be formed by a known thin film forming method of forming a pattern by an etching method or the like, or an additive plating method of forming a circuit pattern by Cu plating or the like according to the pattern.

【0016】また、9はポリイミド,ポリエステル,ガ
ラスクロス入りエポキシ樹脂等による薄板状の有機フィ
ルム、10は導電ゴム接触子である。本例では上記の有
機フィルム9の各液晶電極2に対応した位置にあらかじ
めドリル加工、エッチング加工等によって穿設した孔に
Ni,Fe,C、あるいはNi,FeにAuメッキを施
した導電性粒子若しくは導電性短繊維をシリコーンゴム
やウレタンゴムなどのバインダ中に分散させてなる導電
性ゴムを充填させた上硬化する。そして、有機フィルム
9の厚さ方向に対して上記の導電性ゴムが十分充填され
るようになして液晶端子2側に突出させた部分により導
電ゴム接触子10を形成するもので、このようにして導
電ゴム接触子10の形成された有機フィルム9を接点パ
ターン6に対して位置決めした上、有機系接着剤11に
よって加圧接着する。
Reference numeral 9 denotes a thin organic film made of polyimide, polyester, epoxy resin containing glass cloth, or the like, and reference numeral 10 denotes a conductive rubber contact. In this example, conductive particles having Ni, Fe, C, or Ni, Fe plated with Au in a hole formed in advance in a position corresponding to each liquid crystal electrode 2 of the organic film 9 by drilling, etching, or the like. Alternatively, the conductive rubber is cured by filling a conductive rubber obtained by dispersing conductive short fibers in a binder such as silicone rubber or urethane rubber. The conductive rubber is sufficiently filled in the thickness direction of the organic film 9 and the conductive rubber contact 10 is formed by a portion protruding toward the liquid crystal terminal 2 side. After the organic film 9 on which the conductive rubber contact 10 is formed is positioned with respect to the contact pattern 6, the organic film 9 is pressure-bonded with an organic adhesive 11.

【0017】以上によって、液晶表示装置1の液晶電極
2に対する接続用接触子が得られる。そこで、さらに回
路基板5上に駆動LSI4を導電性ペースト等を用いて
ダイボンディングし、駆動LSI4の電極パッドと回路
基板5上のLSI接続パターン7および入力パターン8
とをAuワイヤー12等によるワイヤーボンディング法
によって電気的に接続し、外部環境からの保護のため少
なくとも駆動LSI4の入力パターン8と有機フィルム
9の部分を除く駆動LSI4および回路基板5の表面上
をエポキシ樹脂等の封止樹脂13によって封止して、液
晶表示装置1用の検査ヘッド3が得られる。
As described above, a contact for connection to the liquid crystal electrode 2 of the liquid crystal display device 1 is obtained. Then, the drive LSI 4 is further die-bonded on the circuit board 5 using a conductive paste or the like, and the electrode pads of the drive LSI 4 are connected to the LSI connection pattern 7 and the input pattern 8 on the circuit board 5.
Are electrically connected to each other by a wire bonding method using an Au wire 12 or the like, and the surface of the drive LSI 4 and the circuit board 5 excluding at least the input pattern 8 of the drive LSI 4 and the organic film 9 are protected by epoxy for protection from the external environment. The test head 3 for the liquid crystal display device 1 is obtained by sealing with a sealing resin 13 such as a resin.

【0018】このように構成した検査ヘッド3では、回
路基板5の材質をガラスによって構成した場合は、回路
基板5側からも液晶電極2の位置を直接見ることができ
るため、液晶電極2と導電ゴム接触子10との位置合わ
せを容易に行うことができる。また、液晶表示装置1の
主構成材料がガラスであるため環境変化に対する液晶表
示装置1の変形に対しても追従することができ、液晶電
極2と導電ゴム接触子10との間の高い位置精度を保つ
ことができる。
In the inspection head 3 constructed as described above, when the material of the circuit board 5 is made of glass, the position of the liquid crystal electrode 2 can be directly seen from the circuit board 5 side. Positioning with the rubber contact 10 can be easily performed. In addition, since the main constituent material of the liquid crystal display device 1 is glass, the liquid crystal display device 1 can follow the deformation of the liquid crystal display device 1 due to an environmental change, and has a high positional accuracy between the liquid crystal electrode 2 and the conductive rubber contact 10. Can be kept.

【0019】また、導電ゴム接触子10を形成するにあ
たって、Ni,FeあるいはNi,FeにAuメッキコ
ーティングを施した磁性導電粒子または磁性導電短繊維
をシリコーンゴムあるいはウレタンゴム等のバインダ中
に分散させた導電性ゴムを有機フィルム9の孔内に充填
すると共にフィルムの厚さ方向に磁場をかけながら硬化
させることにより、厚さ方向に導電性粒子を配列させた
厚さ方向に異方導電性を示す導電ゴム接触子10を形成
することも可能である。
When the conductive rubber contact 10 is formed, Ni, Fe or magnetic conductive particles or magnetic conductive short fibers obtained by coating Ni, Fe with Au plating are dispersed in a binder such as silicone rubber or urethane rubber. The conductive rubber is filled into the holes of the organic film 9 and cured while applying a magnetic field in the thickness direction of the film, so that the conductive particles are arranged in the thickness direction to thereby provide anisotropic conductivity in the thickness direction. It is also possible to form the conductive rubber contact 10 shown.

【0020】なお、図2に示した実施例では、駆動LS
I4の接続をワイヤーボンディングによって行ったが、
図3に示す他の実施例のように、駆動LSI4の電極パ
ッドにAuまたはCuまたはPb/Sn等による金属突
起電極14を形成しておき、このような駆動LSI4を
Agペースト等の導電性ペーストを用いた接着あるいは
はんだ付け等によって接続し、しかる後駆動LSI4と
回路基板5との間の空隙をエポキシ樹脂等の封止樹脂1
3によって封止する、いわゆるフリップチップ接続方式
によって駆動LSI4を回路基板5のLSI接続パター
ン7および入力パターン8に接続することも可能であ
る。さらにまた、駆動LSI4の接続にあたり、図示は
しないが、あらかじめ駆動LSI4をTAB(テープオ
ートメイテッドボンディング)を実装し、該TABの実
装された駆動LSI4を回路基板5のLSI接続パター
ン7上にアウターリードボンディングすることも可能で
ある外、駆動LSI4の実装にあたっては種々の採用が
可能なことはいうまでもない。
In the embodiment shown in FIG. 2, the driving LS
I4 was connected by wire bonding.
As in the other embodiment shown in FIG. 3, a metal bump electrode 14 made of Au, Cu, Pb / Sn, or the like is formed on an electrode pad of the drive LSI 4, and such a drive LSI 4 is formed of a conductive paste such as an Ag paste. Then, the gap between the driving LSI 4 and the circuit board 5 is filled with a sealing resin 1 such as an epoxy resin.
It is also possible to connect the drive LSI 4 to the LSI connection pattern 7 and the input pattern 8 of the circuit board 5 by a so-called flip-chip connection method, which is sealed by 3. Further, although not shown, the drive LSI 4 is mounted with TAB (tape automated bonding) in advance, and the drive LSI 4 on which the TAB is mounted is mounted on the LSI connection pattern 7 of the circuit board 5 by outer leads. It is needless to say that bonding can be performed, and various kinds of mounting can be adopted in mounting the driving LSI 4.

【0021】特に最近では、液晶表示装置1の高画素密
度化に対応する実装方法として駆動LSI4を液晶表示
装置1の液晶電極2上に直接実装する、いわゆるチップ
・オン・グラス実装法が採用され始めている。このよう
なチップ・オン・グラス実装法に対して従来の検査ヘッ
ド構造では液晶電極2の密度がより高いこと等から対応
することができず問題となっていたが、本考案による検
査ヘッド3の構造を採用することにより、このようなチ
ップ・オン・グラス実装法を採用した液晶表示装置1に
対してもその検査に充分適用できるものである。
In particular, recently, a so-called chip-on-glass mounting method in which the driving LSI 4 is directly mounted on the liquid crystal electrode 2 of the liquid crystal display device 1 has been adopted as a mounting method corresponding to a higher pixel density of the liquid crystal display device 1. Has begun. Although the conventional inspection head structure could not cope with such a chip-on-glass mounting method due to the higher density of the liquid crystal electrodes 2 and the like, there was a problem. By adopting the structure, the liquid crystal display device 1 employing such a chip-on-glass mounting method can be sufficiently applied to the inspection.

【0022】[0022]

【考案の効果】本考案の液晶表示装置用検査ヘッドによ
ると、液晶電極を保持する液晶表示装置の主構成材料と
同一材料にて形成される透明な回路基板に、液晶表示装
置を駆動するための駆動LSIと、液晶電極に対応して
形成された接点パターンと、この接点パターンと駆動L
SIの電極とを電気的に接続するLSI接続パターン
と、駆動LSIへの入力パターンとを配し、液晶電極と
接触するための導電性ゴムからなる導電ゴム接触子を回
路基板の接点パターン上に形成したので、回路基板上の
各パターンを精度良く形成することが可能となると共に
環境の変化に対する液晶表示装置の変形による液晶電極
の変位に対応することができ、液晶電極と導電ゴム接触
子との間の接触不良の発生を防止することができる。
According to the inspection head for a liquid crystal display device of the present invention, the liquid crystal display device is driven on a transparent circuit board formed of the same material as the main constituent material of the liquid crystal display device holding the liquid crystal electrodes. , A contact pattern formed corresponding to the liquid crystal electrode, and the contact pattern and the driving L
An LSI connection pattern for electrically connecting the SI electrode and an input pattern to the drive LSI are arranged, and a conductive rubber contact made of conductive rubber for contacting the liquid crystal electrode is provided on the contact pattern of the circuit board. Since it is formed, it is possible to form each pattern on the circuit board with high accuracy, and it is possible to cope with the displacement of the liquid crystal electrode due to the deformation of the liquid crystal display device due to the change of the environment. Can be prevented from occurring.

【0023】また、導電ゴム接触子間の接触位置精度の
低下をまねくことがない。さらにまた、液晶電極に対応
して設けられる接触子が導電性ゴムによって形成される
ため、液晶電極であるITOパターンにキズをつけるこ
とがない。
Further, the accuracy of the contact position between the conductive rubber contacts does not decrease. Furthermore, since the contact provided corresponding to the liquid crystal electrode is formed of conductive rubber, the ITO pattern serving as the liquid crystal electrode is not damaged.

【0024】また、駆動LSIを回路基板上に直接搭載
するため、液晶電極から駆動LSIまでの接触および接
続点数が液晶電極と導電ゴム接触子間の接触およびLS
I接続パターンの駆動LSI電極パッドへの接続とで済
み、最も少ない接点数を達成することができ、液晶電極
から駆動LSIまでの接続距離を小さくすることができ
ることによって、低インピーダンス化が図れ、電極間の
インピーダンスバランスをとることができる等、測定の
高信頼性化,高測定精度化等の面での効果が得られる。
Further, since the drive LSI is directly mounted on the circuit board, the number of contacts and connection points between the liquid crystal electrode and the drive LSI is limited to the number of contacts between the liquid crystal electrode and the conductive rubber contact and the number of LSIs.
Only the connection of the I connection pattern to the drive LSI electrode pad is required, the minimum number of contacts can be achieved, and the connection distance from the liquid crystal electrode to the drive LSI can be reduced, so that the impedance can be reduced, Thus, effects such as high reliability of measurement and high measurement accuracy can be obtained, for example, an impedance balance can be obtained.

【0025】特に高画素密度の液晶表示装置のように狭
ピッチ,多端子な液晶電極を有する液晶表示装置および
チップ・オン・グラス実装を行う液晶表示装置等にとっ
て好適な検査ヘッドを提供するものである。
In particular, the present invention provides an inspection head suitable for a liquid crystal display device having a liquid crystal electrode having a narrow pitch and multiple terminals, such as a liquid crystal display device having a high pixel density, and a liquid crystal display device performing chip-on-glass mounting. is there.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本考案による検査ヘッドを用いた液晶表示装置
検査機構の構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a liquid crystal display device inspection mechanism using an inspection head according to the present invention.

【図2】本考案による検査時の状態とその構成を平面図
(A)、および(A)におけるA−A断面図(B)によ
って示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a state at the time of inspection according to the present invention and its configuration by a plan view (A) and an AA sectional view (B) in (A).

【図3】本考案の他の実施例による構成を示す断面図で
ある。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration according to another embodiment of the present invention;

【図4】従来技術による検査ヘッドを用いた液晶表示装
置の検査機構の構成を示すブロック図である。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of an inspection mechanism of a liquid crystal display device using a conventional inspection head.

【図5】従来技術による検査時の状態とその構成を平面
図(A)および(A)におけるB−B断面図(B)によ
って示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory view showing a state at the time of inspection according to the conventional technique and a configuration thereof by plan views (A) and BB cross-sectional views (B) in (A).

【図6】他の従来技術による構成を示す断面図である。FIG. 6 is a sectional view showing a configuration according to another conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶表示装置 2 液晶電極 3 検査ヘッド 4 駆動LSI 5 回路基板 6 接点パターン 7 LSI接続パターン 8 入力パターン 9 有機フィルム 10 導電ゴム接触子 13 封止樹脂 14 突起電極 22 制御回路 24 液晶検査装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal display device 2 Liquid crystal electrode 3 Inspection head 4 Driving LSI 5 Circuit board 6 Contact pattern 7 LSI connection pattern 8 Input pattern 9 Organic film 10 Conductive rubber contact 13 Sealing resin 14 Projection electrode 22 Control circuit 24 Liquid crystal inspection device

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】 液晶表示装置の画素から引出される液晶
電極と電気的に接触し、液晶検査装置からの電気信号を
前記液晶表示装置に伝送するための液晶表示装置用検査
ヘッドであって、 少なくとも一主面上に、前記液晶表示装置を駆動するた
めの駆動LSIと、前記液晶電極に対応して形成された
接点パターンと、該接点パターンと前記駆動LSIの電
極とを電気的に接続するLSI接続パターンと、前記駆
動LSIへの入力パターンとが配され、前記液晶電極を
保持する前記液晶表示装置の主構成材料と同一材料にて
形成される透明な回路基板と、 該回路基板の前記接点パターン上に形成されて前記液晶
電極と接触するための導電性ゴムからなる導電ゴム接触
子とを具備したことを特徴とする液晶表示装置用検査ヘ
ッド。
1. A test head for a liquid crystal display device for electrically contacting a liquid crystal electrode drawn from a pixel of the liquid crystal display device and transmitting an electric signal from a liquid crystal test device to the liquid crystal display device, A driving LSI for driving the liquid crystal display device on at least one principal surface, a contact pattern formed corresponding to the liquid crystal electrode, and electrically connecting the contact pattern and an electrode of the driving LSI. An LSI connection pattern, an input pattern to the drive LSI, and a transparent circuit board formed of the same material as a main constituent material of the liquid crystal display device holding the liquid crystal electrode; An inspection head for a liquid crystal display device, comprising: a conductive rubber contact formed on a contact pattern and made of conductive rubber for contacting the liquid crystal electrode.
【請求項2】 前記接点パターン, LSI接続パターン
および入力パターンは、少なくとも一層以上の薄膜によ
って形成されていることを特徴とする請求項1に記載の
液晶表示装置用検査ヘッド。
2. The inspection head according to claim 1, wherein the contact pattern, the LSI connection pattern, and the input pattern are formed of at least one thin film.
【請求項3】 前記回路基板がガラスにて形成されてい
ることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の液
晶表示装置用検査ヘッド。
3. The inspection head for a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the circuit board is formed of glass.
【請求項4】 前記接点パターンと対応した孔が形成さ
れた有機フィルムをさらに具備し、前記導電ゴム接触子
は、この有機フィルムに対して前記孔を貫通した状態で
保持されていることを特徴とする請求項1から請求項3
の何れかに記載の液晶表示装置用検査ヘッド。
4. An organic film in which holes corresponding to the contact patterns are formed, wherein the conductive rubber contact is held through the holes with respect to the organic film. Claim 1 to Claim 3
The inspection head for a liquid crystal display device according to any one of the above.
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JP3010263U (en) * 1994-10-17 1995-04-25 株式会社オーエム製作所 Granulation extrusion equipment for thermoplastics

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