JP2567565B2 - 電気油圧サーボ弁およびこれを備えた温度補償機構付サーボアクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電気油圧サーボ弁およ
びこれを備えた温度補償機構付サーボアクチュエータに
関し、特に、使用温度範囲の広い電気油圧サーボ機構に
好適な電気油圧サーボ弁およびこれを備えた温度補償機
構付サーボアクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気油圧サーボ弁を用いたサーボ
アクチュエータは、その出力の大きさと応答の速さか
ら、大型の航空機や船舶の操舵機構、大出力の加振器、
大型の数値制御工作機械等に広く使用されている。ま
た、近時、広範囲な温度環境下において使用されるミサ
イルの姿勢制御系や極限作業ロボット等にも使用されて
いる。 この種のサーボアクチュエータには、例えばス
プール等の弁体と、弁体を所定方向に摺動自在に収納す
るスリーブ等の弁体収納部材と、弁体を所定方向に駆動
する駆動機構とをもっており、弁体収納部材に開口した
複数のポートのうち少なくとも１つのポートに対し中立
位置の弁体を重合させた電気油圧サーボ弁が用いられて
いる。また、弁体と弁体収納部材のポート部分は、作動
油の漏洩量を少なくするため、ディザ信号を与えて弁体
を微小振動させても負重合にならないようにするため等
の理由で、ある程度余裕をもたせた正重合としているも
のがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の電気油圧サーボ弁を用いたサーボアクチュエ
ータにあっては、使用環境温度の低下に伴い、サーボ弁
を構成する弁体と弁体収納部材との摺動抵抗、並びにア
クチュエータの摺動部の抵抗が大幅に増加し、サーボア
クチュエータとしての応答性が悪化するという欠点があ
った。

【０００４】そこで、本発明は、弁体と弁体収納部材と
の重合量を温度低下に伴って減少させて、温度低下時に
おいても高速応答性を備えた電気油圧サーボ弁を提供す
ることを第１の目的とする。また、本発明は、温度低下
に伴って電気油圧サーボ弁の重合量を減少させることに
より、アクチュエータの反応速度を向上させ、温度低下
時においても高速応答性を発揮し得る電気油圧サーボア
クチュエータを提供することを第２の目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、請
求項１記載の発明は、弁体と、該弁体を所定方向に摺動
自在に収納する弁体収納部材と、弁体を前記所定方向に
駆動する駆動機構とを有し、弁体収納部材に開口した複
数のポートのうち少なくとも１つのポートに対し中立位
置の弁体を重合させた電気油圧サーボ弁において、前記
駆動機構を、前記弁体収納部材と略同一の線膨張係数を
有する駆動部本体と、該駆動部本体の各部材より大きい
線膨張係数を有すると共に前記所定方向に延在し前記弁
体と駆動部本体とを連結する連結部材と、から構成し、
前記少なくとも１つのポートに対し重合した弁体の重合
量を温度の低下に伴って減少させるようにしたことを特
徴とするものであり、請求項２記載の発明は、請求項１
記載の発明において、前記弁体が前記少なくとも１つの
ポートに対し正重合したスプールであり、前記駆動機構
が、一端で該スプールに連結され他端で前記駆動部本体
に連結されたロッド状の連結部材を有することを特徴と
するものである。

【０００６】請求項３記載の発明は、第１および第２の
弁体と、圧力供給ポートおよび少なくとも１つの出力ポ
ートが開口し第１の弁体を所定方向に摺動自在に収納す
る第１の弁体収納部材と、前記出力ポートの何れか１つ
に連通する入力ポートおよびタンク側に連通するドレン
ポートが開口し第２の弁体を所定方向に摺動自在に収納
する第２の弁体収納部材と、第１および第２の弁体を前
記所定方向で互いに逆の向きに変位するように駆動する
駆動機構と、を有する電気油圧サーボ弁と、該電気油圧
サーボ弁の各ポートに接続する複数の油路および前記出
力ポートに接続するピストン収納室が形成され、前記電
気油圧サーボ弁が装着されたアクチュエータハウジング
と、前記ピストン収納室内に収納されたアクチュエータ
ハウジングとの間に油圧室を画成するアクチュエータピ
ストンと、を備え、前記第１および第２の弁体の駆動に
よって、前記圧力供給ポートから第１の弁体収納部材内
に供給された作動油を、前記出力ポートから前記油圧室
と前記第２の弁体収納部材の入力ポートとに供給する一
方、前記入力ポートから第２の弁体収納部材内に供給さ
れた作動油を、前記ドレンポートからリザーバタンク側
に流出させるようにしたサーボアクチュエータであっ
て、前記圧力供給ポートに対し中立位置の第１の弁体を
正重合させると共に、前記ドレンポートに対し中立位置
の第２の弁体を正重合させ、前記電気油圧サーボ弁の駆
動機構を、前記弁体収納部材と略同一の線膨張係数を有
する駆動部本体と、該駆動部本体の各部材より大きい線
膨張係数を有すると共に前記所定方向に延在し前記弁体
と駆動部本体とを連結する第１および第２の連結部材
と、から構成し、該第１および第２の弁体の重合量を温
度の低下に伴って減少させるようにしたことを特徴とす
るものである。

【０００７】なお、請求項１、３において略同一の線膨
張係数を有するとは、連結部材の線膨張係数との差を考
えれば、駆動部本体の各部材と弁体収納部材との線膨張
係数の差はほとんど考慮する必要がない程度に小さいこ
とを意味する。

【０００８】

【作用】請求項１記載の発明では、弁体収納部材および
駆動部本体が略同一の線膨張係数を有し、弁体と駆動部
本体を連結する連結部材はそれらより大きな線膨張係数
を有する。したがって、弁体と弁体収納部材に設けられ
たポートとの重合量を温度低下に伴って減少することが
できる。

【０００９】請求項２記載の発明では、スプールと駆動
部本体とがロッド状の連結部材で連結されると共に、ス
プールと弁体収納部材に設けられたポートとが正重合さ
れる。したがって、駆動機構の構成を簡素なものにしつ
つ、スプールとポートとの正重合量を温度低下に伴って
減少させることができると共に、作動油の漏れを最小限
に防止することができる。

【００１０】請求項３記載の発明では、弁体と弁体収納
部材に設けられたポートとが正重合され、かつその重合
量が温度低下に伴って減少する電気油圧サーボ弁が用い
られる。したがって、摺動抵抗の増加によるアクチュエ
ータの応答性劣化を防止することができる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて具体
的に説明する。図１〜図４は本発明に係る電気油圧サー
ボ弁およびこれを備えた温度補償機構付サーボアクチュ
エータの一実施例を示す図であり、図１は電気油圧サー
ボ弁部の構成図、図２はその部分拡大図、図３は一実施
例の全体の機械構成図、図４は一実施例の全体構成図で
ある。

【００１２】まず、その構成を説明する。図１〜図３に
おいて、１００は電気油圧サーボ弁およびこれをこれを
備えた温度補償機構付サーボアクチュエータであり、こ
のサーボアクチュエータ１００はアクチュエータハウジ
ング１を具備している。このアクチュエータハウジング
１には、スリーブ格納部２、３と、作動油の油路４、
５、６、７、８とが設けられている。スリーブ格納部
２、３はアクチュエータハウジング１に設けられた有底
円柱状の穴で、これらにはスリーブ１０（第１の弁体収
納部材）およびスリーブ１１（第２の弁体収納部材）が
格納されるようになっている。スリーブ１０、１１は内
部に内周壁面部１０ａ、１１ａを有している。また、ス
リーブ１０は外周面から内周壁面部１０ａに貫通して開
口している圧力供給ポート１０ｂおよび出力ポート１０
ｃ、１０ｄを有しており、スリーブ１１は同様に外周面
から内周壁面部１１ａに貫通して開口している入力ポー
ト１１ｂおよびドレンポート１１ｃを有している。そし
て、油路４が圧力供給ポート１０ｂに、油路５が出力ポ
ート１０ｃに、油路６が出力ポート１０ｄにそれぞれ接
続し、油路７が入力ポート１１ｂに油路８がドレンポー
ト１１ｃに接続されている。また、スリーブ１０、１１
はスプール１２（第１の弁体）、スプール１３（第２の
弁体）を摺動自在に収納するようになっている。スプー
ル１２、１３は、スリーブ１０、１１の内周壁面部１０
ａ、１１ａより小径の小径部１２ａ、１３ａと、小径部
１２ａ、１３ａより大径で内周壁面部１０ａ、１１ａよ
りわずかに小径な直径を有するランド部１２ｂ、１２
ｃ、１３ｂ、１３ｃとを有しており、小径部１２ａと内
周壁面部１０ａの間に弁室部１２ｄを、小径部１３ａと
内周壁面部１１ａの間に弁室部１３ｄを、それぞれ形成
するようになっている。また、スプール１２、１３は、
そのランド部１２ｃ、１３ｃを内周壁面軸方向に移動す
ることにより、スリーブ１０の出力ポート１０ｄまたは
スリーブ１１のドレンポート１１ｃの開度を変化させる
ことができる。なお、作動油は図示しない供給装置から
供給されており（図１の矢印Ａ方向）、油路４、圧力供
給ポート１０ｂ、弁室部１２ｄ、出力ポート１０ｃを経
て油圧室５５に供給される。また、油圧室５４内の作動
油は油路６、油路７、入力ポート１１ｂ、弁室部１３
ｄ、ドレンポート１１ｃ、油路８を経てリザーバタンク
９に排出されるようになっている（図１の矢印Ｂ方
向）。

【００１３】図２に示すように、スプール１２、１３が
中立位置にあるとき、スプール１２のランド部１２ｃと
スリーブ１０の出力ポート１０ｄとは、重合量Ｄ１で正
重合（オーバーラップ）し、スプール１３のランド部１
３ｃとスリーブ１１のドレンポート１１ｃとは、重合量
Ｄ２で正重合するようになっている。この正重合の量Ｄ
１、Ｄ２は、後述する温度低下に伴う重合量の減少分
と、ディザ信号等による微小振動分（必要に応じて設定
される）とを合わせた量よりも大きく設定されている。

【００１４】一方、スプール１２、１３にはロッド１
４、１５（連結部材）がそれぞれ螺合されており、両ス
プール１２、１３は両端部にそれぞれ雄ネジ部を有する
ロッド１４、１５と緩み止めナット１６、１７、１９、
２０とを介してアーマチュア１８の両端部に連結されて
いる。アーマチュア１８は、ロッド１４、１５のストロ
ークが例えば０．１〜０．３mmとなる程度の微小角度範
囲で揺動するように、その中央部でセンタリングスプリ
ング２１を介してベース板２２に取り付けられており、
ベース板２２には電磁石２３、２４が取り付けられてい
る。これらアーマチュア１８、ナット１９、２０、セン
タリングスプリング２１およびベース板２２は駆動部本
体３１を構成し、ロッド１４、１５および電磁石２３、
２４と共に駆動機構３０を構成している。なお、アーマ
チュア１８は鉄等の強磁性物質から形成されていると共
に、その両端部は電磁石２３、２４の軸上に位置するよ
うになっている。センタリングスプリング２１は略Ｔ字
形状をなしており、その弾性によりスプール１２、１３
を常時中立に保持している。駆動部本体３１を構成して
いるアーマチュア１８、ナット１９、２０、センタリン
グスプリング２１、ベース板２２は、スプール１２、１
３およびスリーブ１０、１１と略同一の線膨張係数を有
しており、ロッド１４、１５はこれらより大きな線膨張
係数を有する素材から形成されている。具体的にはスプ
ール１２、１３、スリーブ１０、１１および駆動部本体
３１には、スチール系材料、例えばＳＵＳ３０４等のス
テンレス鋼（線膨張係数約１１．７×１０^-6／℃）、窒
化鋼（線膨張係数１２．４×１０ ^-6／℃）あるいはＳ４
５Ｃ等の鋼材（線膨張係数約１１．７×１０^-6／℃）を
用い、連結部材であるロッド１４、１５には、例えばＡ
２０２４等のアルミニウム（線膨張係数約２３．２×１
０^-6／℃）やその合金（例えばジュラルミン）を用いる
のが好ましい。勿論、アーマチュア１８の揺動に対応し
てわずかに撓み得る素材であって、スチール系材料より
十分に大きい線膨張係数を有するものであれば良い。ロ
ッド１４、１５の材質は特に限定されない。本実施例で
はスリーブ１０、１１、スプール１２、１３を窒化鋼、
ベース板２２またはその突出部２２ａを軟鉄、センタリ
ングスプリング２１をりん青銅、アーマチュア１８を軟
鉄から形成し、ロッド１４、１５をステンレス鋼から形
成している。

【００１５】また、アクチュエータハウジング１は、円
形断面の大小のシリンダ部５０、５１（ピストン収納
部）を有しており、その内部には大ピストン５２（アク
チュエータピストン）と小ピストン５３（アクチュエー
タピストン）とが摺動自在に収納されている。シリンダ
部５０には油路６が、シリンダ部５１には油路５が接続
しており、それぞれ油圧室５４、５５が画成されるよう
になっている。シリンダ室５５には絶えず供給圧力が与
えられている。シリンダ室５４の受圧面積はシリンダ室
５５の受圧面積の２倍となっており、シリンダ室５４の
流出入の流量を、２組のスリーブ１０、１１、スプール
１２、１３によって制御することで、ピストン５２、５
３をシリンダ部５０、５１の軸方向に移動させることが
できる。両ピストン５２、５３には両端部が球状形状を
有する連接棒５６、５７がそれぞれ連結されており、連
接棒５６、５７の他端部はスウィングアーム５８の両腕
部にそれぞれ揺動自在に連結されている。また、スウィ
ングアーム５８はその揺動によって出力軸５９を回動さ
せ、図示しない制御対象物を制御するようになってい
る。

【００１６】図４において、７０は信号発生手段で、出
力軸５９の目標動作状態に対応した目標値信号を出力す
るようになっている。７１は出力軸５９の回動角度を検
出してその検出角度に対応した電気信号を出力する検出
手段で、例えばポテンショメータ等からなる。７２は加
算手段で信号発生手段７０からの目標値信号と検出手段
７１からの帰還信号との偏差を増幅手段７３に出力する
ようになっている。増幅手段７３は加算手段７２からの
出力を増幅して電磁石２３、２４を励磁させるようにな
っている。

【００１７】次に、その作用を説明する。まず、電磁石
２３、２４の励磁電流が等しいとき、スプール１２、１
３及びロッド１４、１５はそれぞれセンタリングスプリ
ング２１により、中立位置に保持される。このとき、ス
プール１２はランド部１２ｃで出力ポート１０ｄを閉止
し、スプール１３はランド部１３ｃでドレンポート１１
ｃを閉止しているから、油路５を経て油圧室５５に作動
油が供給されるが、油圧室５４への作動油の出入りはな
い。したがって、油圧を受けた小ピストン５３がスウィ
ングアーム５８を揺動させようとするが、大ピストン５
２を押し下げることはできず、スウィングアーム５８は
出力軸５９を回動させない。したがって、この場合に
は、サーボアクチュエータ１００はほぼ静止状態とな
る。

【００１８】次に、電磁石２３の励磁電流が電磁石２４
の励磁電流より大きくなると、強磁性材料で形成された
アーマチュア１８の左端部が電磁石２３の磁力により、
図１の矢印Ｐ方向に引き寄せられる。アーマチュア１８
の左端部がＰ方向に引き寄せられると、センタリングス
プリング２１により中心部を支持されたアーマチュア１
８の右端部はＳ方向に移動する。このとき、アーマチュ
ア１８に螺合されたロッド１４と、このロッド１４に螺
合しているスプール１２とがＰ方向に移動するが、スリ
ーブ１０の出力ポート１０ｄは閉止されたままである。
しかし、アーマチュア１８の右端部がＳ方向に移動する
から、アーマチュア１８に螺合されたロッド１５と、こ
れに螺合するスプール１３とがＳ方向に移動し、ドレン
ポート１１ｃが開口する。一方、シリンダ室５５には絶
えず供給圧力が加わっているため、サーボアクチュエー
タ１００の油圧室５４に貯留されていた作動油が、油路
６、７、ドレンポート１１ｃおよび油路８を経てリザー
バタンク９側に排出される。したがって、スウィングア
ーム５８が出力軸５９を図３中反時計方向に回動させ
る。

【００１９】次に、電磁石２４の励磁電流が電磁石２３
の励磁電流より大きくなると、この電磁石２４の磁力に
より、アーマチュア１８の右端部がＲ方向に引き寄せら
れ、アーマチュア１８の左端部がＱ方向に移動する。こ
のとき、アーマチュア１８の右端部に螺合したロッド１
５とそれに螺合しているスプール１１がＲ方向に移動す
るから、スリーブ１１のドレンポート１１ｃが閉止され
る。さらに、アーマチュア１８の左端部がＱ方向に移動
することで、ロッド１４とそれに螺合されたスプール１
２がＱ方向に移動し、出力ポート１０ｄが開く。したが
って、圧力供給ポート１０ｂから弁室部１２ｄに供給さ
れている作動油は、出力ポート１０ｃから油路５を経て
油圧室５５に供給される、と共に出力ポート１０ｄから
油路６を経て油圧室５４にも供給される。そして小ピス
トン５３と大ピストン５２との受圧面積の差によって、
スウィングアーム５８が出力軸５９を図３中時計方向に
回動させるよう揺動する。このように電磁石２３、２４
の励磁状態を変化させることでサーボアクチュエータ１
００の作動状態が制御される。

【００２０】一方、サーボアクチュエータ１００の使用
環境温度が低下すると、スプール１２、１３、スリーブ
１０、１１および駆動部本体３１は（以下、全部を指し
てスプール１２、１３等という）、略同一の線膨張係数
を有するので、環境温度の低下に伴って全体的に均一に
収縮するが、スプール１２、１３と駆動部本体３１とを
連結するロッド１４、１５は、スプール１２、１３等よ
りも大きな線膨張係数を有しているので、スプール１
２、１３等よりも大きく収縮し、その結果、ロッド１
４、１５はスリーブ１０、１１に対してそれぞれＱ方
向、Ｓ方向に相対的に移動する。したがって、スリーブ
１０の出力ポート１０ｄとスプール１２のランド部１２
ｃとの重合量Ｄ１、スリーブ１１のドレンポート１１ｃ
とスプール１３のランド部１３ｃとの重合量Ｄ２が共に
減少する。したがって、環境温度の低下に伴ってスプー
ル１２とスリーブ１０およびスプール１３とスリーブ１
１の摺動抵抗は増加するが、重合量Ｄ１、Ｄ２の減少に
よってポート開閉に際してのスプール１２、１３の必要
移動量（ストローク）を減少させることができ、応答性
の劣化を補うことができる。

【００２１】このように本実施例においては、電気油圧
サーボ弁の構成部材のうち、スプール１２、１３、スリ
ーブ１０、１１および駆動部本体（アーマチュア１８、
センタリングスプリング２１、ベース板２２）に略同一
の線膨張係数を有する素材を用い、スプール１２、１３
と駆動部本体とを連結するロッドには、これらより大き
な線膨張係数を有する素材を使用するので、スプール１
２、１３のランド部１２ｃ、１３ｃの端部とスリーブ１
０、１１の出力ポート１０ｄ、ドレンポート１１ｃの端
部との重合量を温度低下に伴って減少させることがで
き、温度低下に伴うスプール１２、１３とスリーブ１
０、１１との摺動抵抗の増加による応答性の劣化を緩和
することができる。

【００２２】また、スプール１２と出力ポート１０ｄの
重合量Ｄ１、スプール１３とドレンポート１１ｃの重合
量Ｄ２を、ロッド状の連結部材であるロッド１４、１５
により温度低下に伴って減少させるので、駆動機構３０
の構成を簡素なものにしつつ、作動油の漏れを最小限に
することができる。さらに、電気油圧サーボアクチュエ
ータに、スプール１２と出力ポート１０ｄとおよびスプ
ール１３とドレンポート１１ｃとを正重合させ、その重
合量が温度低下に伴って減少する電気油圧サーボ弁を用
いたので、温度低下に伴う大ピストン５２とシリンダ５
０および小ピストン５３とシリンダ５１の摺動抵抗の増
加を、電気油圧サーボ弁の応答性向上により緩和して、
低温時におけるサーボアクチュエータの応答性劣化を緩
和することができると共に、低温時においても誤動作す
ることのない安全確実なサーボアクチュエータを提供す
ることができる。

【００２３】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、弁体収納
部材および駆動部本体には略同一の線膨張係数を有する
素材を用い、弁体と駆動部本体を連結する連結部材には
それらより大きな線膨張係数を有する素材を用いている
ので、弁体と弁体収納部材に設けられたポートとの重合
量を温度低下に伴って減少させることができ、温度低下
に伴う摺動抵抗の増加によって応答性が劣化するのを緩
和することができる。その結果、低温時においても応答
性の良い電気油圧サーボ弁を提供することができる。

【００２４】請求項２記載の発明によれば、スプールと
駆動部本体とをロッド状の連結部材で連結すると共に、
スプールと弁体収納部材のポートとを正重合させるの
で、スプールとポートとの重合量を温度低下に伴って減
少させることができるとともに、作動油の漏れを最小限
に抑えることができる。したがって、低温時においても
応答性が良く、安定性に優れた電気油圧サーボ弁を提供
することができる。

【００２５】請求項３記載の発明によれば、弁体と弁体
収納部材に設けられたポートとを正重合させ、その重合
量が温度低下に伴って減少する電気油圧サーボ弁を用い
るので、低温時においても応答性が良く、安定性に優れ
た電気油圧サーボアクチュエータを提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電気油圧サーボ弁およびこれを備
えた温度補償機構付サーボアクチュエータの一実施例を
示すその電気油圧サーボ弁部の正面断面図である。

【図２】その弁体とポートの重合部分の拡大図である。

【図３】一実施例のサーボアクチュエータの構成を示す
断面図である。

【図４】一実施例の全体構成図である。

【符号の説明】

１ アクチュエータハウジング ４、５、６、７、８ 油路 ９ リザーバタンク １０ スリーブ（第１の弁体収納部材） １０ｂ 圧力供給ポート １０ｃ、１０ｄ 出力ポート １１ スリーブ（第２の弁体収納部材） １１ｂ 入力ポート １１ｃ ドレンポート １２ スプール（第１の弁体） １３ スプール（第２の弁体） １４、１５ ロッド（連結部材） １８ アーマチュア ２１ センタリングスプリング ２２ ベース板 ２３、２４ 電磁石 ３０ 駆動機構 ３１ 駆動部本体 ５０、５１ シリンダ部（ピストン収納部） ５２ 大ピストン（アクチュエータピストン） ５３ 小ピストン（アクチュエータピストン） １００ サーボアクチュエータ

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弁体と、該弁体を所定方向に摺動自在に収
   納する弁体収納部材と、弁体を前記所定方向に駆動する
   駆動機構とを有し、弁体収納部材に開口した複数のポー
   トのうち少なくとも１つのポートに対し中立位置の弁体
   を重合させた電気油圧サーボ弁において、 前記駆動機構を、前記弁体収納部材と略同一の線膨張係
   数を有する駆動部本体と、該駆動部本体の各部材より大
   きい線膨張係数を有すると共に前記所定方向に延在し前
   記弁体と駆動部本体とを連結する連結部材と、から構成
   し、 前記少なくとも１つのポートに対し重合した弁体の重合
   量を温度の低下に伴って減少させるようにしたことを特
   徴とする電気油圧サーボ弁。
2. 【請求項２】前記弁体が前記少なくとも１つのポートに
   対し正重合したスプールであり、 前記駆動機構が、一端で該スプールに連結され他端で前
   記駆動部本体に連結されたロッド状の連結部材を有する
   ことを特徴とする請求項１記載の電気油圧サーボ弁。
3. 【請求項３】第１および第２の弁体と、圧力供給ポート
   および少なくとも１つの出力ポートが開口し第１の弁体
   を所定方向に摺動自在に収納する第１の弁体収納部材
   と、前記出力ポートの何れか１つに連通する入力ポート
   およびタンク側に連通するドレンポートが開口し第２の
   弁体を所定方向に摺動自在に収納する第２の弁体収納部
   材と、第１および第２の弁体を前記所定方向で互いに逆
   の向きに変位するように駆動する駆動機構と、を有する
   電気油圧サーボ弁と、 該電気油圧サーボ弁の各ポートに接続する複数の油路お
   よび前記出力ポートに接続するピストン収納室が形成さ
   れ、前記電気油圧サーボ弁が装着されたアクチュエータ
   ハウジングと、 前記ピストン収納室内に収納されたアクチュエータハウ
   ジングとの間に油圧室を画成するアクチュエータピスト
   ンと、を備え、 前記第１および第２の弁体の駆動によって、前記圧力供
   給ポートから第１の弁体収納部材内に供給された作動油
   を、前記出力ポートから前記油圧室と前記第２の弁体収
   納部材の入力ポートとに供給する一方、前記入力ポート
   から第２の弁体収納部材内に供給された作動油を、前記
   ドレンポートからリザーバタンク側に流出させるように
   したサーボアクチュエータであって、 前記圧力供給ポートに対し中立位置の第１の弁体を正重
   合させると共に、前記ドレンポートに対し中立位置の第
   ２の弁体を正重合させ、 前記電気油圧サーボ弁の駆動機構を、前記弁体収納部材
   と略同一の線膨張係数を有する駆動部本体と、該駆動部
   本体の各部材より大きい線膨張係数を有すると共に前記
   所定方向に延在し前記弁体と駆動部本体とを連結する第
   １および第２の連結部材と、から構成し、 該第１および第２の弁体の重合量を温度の低下に伴って
   減少させるようにしたことを特徴とする温度補償機構付
   サーボアクチュエータ。