JP2564661Y2 - Adhesive plate cleaning device - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、ウエ−ハを研磨する際
に用いる貼付板の洗浄装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for cleaning an adhesive plate used for polishing a wafer.

【０００２】[0002]

【従来の技術】半導体製造工程において、ウエ−ハは表
面を極めて平滑に形成することが要求されている。一般
に、ウエ−ハは、溶媒に希釈したワックス等の接着剤に
より貼付板に貼付けられ、該貼付板を研磨機にセットし
て研磨されるが、この際ウエ−ハと貼付板の間の接着剤
が薄く均一に形成されていないと、研磨した際に微細な
凹凸が表面に発生し、高度な平坦度は得られなくなる。2. Description of the Related Art In a semiconductor manufacturing process, a wafer is required to have a very smooth surface. In general, a wafer is attached to an adhesive plate with an adhesive such as wax diluted in a solvent, and the adhesive plate is set on a polishing machine and polished. At this time, the adhesive between the wafer and the adhesive plate is removed. If it is not formed thinly and uniformly, fine irregularities occur on the surface during polishing, and a high degree of flatness cannot be obtained.

【０００３】また、上記貼付板の表面に微小なごみ等が
存在していると、上記接着剤はごみ等の部分でディンプ
ルを生じ、ウエ−ハの均一な貼付けを妨げる原因とな
る。そのため、研磨作業終了後、ウエ−ハを剥した貼付
板は、接着剤等がごみとして残存しないように、充分に
洗浄されなければならない。[0003] Further, if minute dust or the like is present on the surface of the sticking plate, the adhesive causes dimples in the portion of the dust or the like, which hinders uniform sticking of the wafer. For this reason, after the polishing operation, the adhesive plate from which the wafer has been removed must be sufficiently cleaned so that the adhesive or the like does not remain as dust.

【０００４】上記貼付板は、上述のような研磨工程に繰
り返し使用されるものであるため、化学的に安定で、経
年変化や荷重に対する変形の少ないセラミックスやガラ
ス等の材質で作られている。そして、各種サイズのウエ
−ハをそれぞれ複数枚づつ貼付けることができるようウ
エ−ハに応じて直径数１０センチメ−トル、厚さ約２０
ミリメ−トル程度の円板が各種用意され、その重さも約
２０ｋｇ〜３０ｋｇ以上となるものが多い。[0004] Since the above-mentioned sticking plate is used repeatedly in the above-mentioned polishing step, it is made of a material such as ceramics or glass which is chemically stable and has little deformation over time and load. Then, in order to be able to attach a plurality of wafers of various sizes, a diameter of several tens of centimeters and a thickness of about 20 in accordance with the wafers.
Various kinds of disks having a diameter of about millimeters are prepared, and many of them have a weight of about 20 kg to 30 kg or more.

【０００５】現在、上記貼付板を洗浄する装置として
は、例えば、ウエ−ハを貼付ける前に、貼付板を一方か
ら他方に移送しながら洗浄するようにした装置が知られ
ている。この装置は、貼付板の搬送路を横切って横長の
円筒状のブラシロ−ルを上下に設け、該ブラシロ−ル間
を通過するときに貼付板の上下面をブラッシング洗浄し
ているが、上記のように、貼付板は直径が大きく、ブラ
シロ−ルはこの貼付板の直径以上の長さに横長に形成さ
れているため、該ブラシロ−ルの一部が湾曲している
と、貼付板の表面に洗浄できない部分が生じることがあ
る。[0005] At present, as an apparatus for cleaning the adhesive plate, for example, an apparatus for transferring an adhesive plate from one side to another for cleaning before attaching a wafer is known. In this apparatus, a horizontally long cylindrical brush roll is provided up and down across the conveyance path of the sticking plate, and the upper and lower surfaces of the sticking plate are brushed and washed when passing between the brush rolls. As described above, the sticking plate has a large diameter, and the brush roll is formed to be longer than the diameter of the sticking plate, so that if a part of the brush roll is curved, the surface of the sticking plate may be curved. May not be able to be cleaned.

【０００６】また、貼付板の周側面（端面）を洗浄でき
ないので、この部分に残存した接着剤が、ウエ−ハを貼
付ける際に、粉状になって剥れ、貼付面に付着し、接着
剤塗布工程において、ディンプルを発生させる原因とな
ったりした。Further, since the peripheral side surface (end surface) of the attaching plate cannot be cleaned, the adhesive remaining on this portion peels off in a powder form when attaching the wafer, and adheres to the attaching surface. In the adhesive application step, dimples may be generated.

【０００７】その上、接着剤を洗浄するには、先ず接着
剤を除去し、次に純水で表面をブラッシングし、最後に
リンスする工程を連続して設けなければならないから、
上記のように貼付板を移送しながら洗浄する装置では装
置全体が極めて大型化し、経済的に得られない、という
欠点もあった。In addition, in order to wash the adhesive, it is necessary to continuously remove the adhesive, then brush the surface with pure water, and finally rinse the surface.
As described above, the apparatus for cleaning while transferring the adhesive plate has a disadvantage that the entire apparatus is extremely large and cannot be obtained economically.

【０００８】上記貼付板を有機溶媒槽に浸漬して洗浄す
る装置も知られている。この装置は、加熱有機溶媒槽、
常温有機溶媒槽、有機溶媒ベ−パ−槽等を連続して設
け、上記貼付板をこれらの各槽に順次浸漬して洗浄し、
乾燥するようになっているが、貼付板の表面はブラッシ
ングされないから、洗浄効果は不充分であり、その上、
ウエ−ハ等に比べて貼付板は重く、大きいので、これを
浸漬させるための上記各槽も大型になり、広い設置場所
を必要とし、また近年大気汚染や安全衛生上の問題から
有機溶剤を使用しない洗浄方法が重要視されているが、
このような観点からも従来の装置を改善する必要性があ
った。There is also known an apparatus for immersing the above-mentioned adhesive plate in an organic solvent bath for cleaning. This device is a heated organic solvent tank,
A normal-temperature organic solvent tank, an organic solvent vapor tank and the like are continuously provided, and the adhesive plate is sequentially immersed in each of these tanks and washed.
Although it is designed to dry, the surface of the adhesive plate is not brushed, so the cleaning effect is insufficient.
Since the attachment plate is heavier and larger than a wafer or the like, each of the above-mentioned tanks for immersing the attachment plate is also large, requiring a large installation space. Although emphasis is placed on cleaning methods that are not used,
From such a viewpoint, there is a need to improve the conventional apparatus.

【０００９】[0009]

【考案の解決課題】本考案は、上記のように研磨のため
ウエ−ハを貼付ける貼付板に付着した接着剤等を除去
し、純水洗浄し、乾燥するまでの工程を、広い場所をと
らずに１ヶ所で処理できるようにし、さらに自動化にす
ぐに対応できるようにした貼付板洗浄装置を提供するこ
とを目的とする。In the present invention, the process of removing the adhesive and the like attached to the attaching plate for attaching the wafer for polishing as described above, washing with pure water, and drying is performed in a wide area. It is an object of the present invention to provide an adhesive plate cleaning apparatus which can be processed at one place without taking any steps, and which can immediately respond to automation.

【００１０】[0010]

【課題解決の手段】本考案によれば、貼付板を受ローラ
上に回転可能に載置し、該貼付板をその中心軸を中心と
して回転しながら上面、下面及び周側面にそれぞれ円板
状の上面洗浄ブラシ、下面洗浄ブラシ及び円筒状の側面
洗浄ブラシを摺接し各面を同時にブラッシングし、その
際上面洗浄ブラシと下面洗浄ブラシで貼付板を挟着しな
がら洗浄し、洗浄後、後退位置でカバー内に収納されて
いた上ノズルと下ノズルを上記貼付板の上面と下面に旋
回させ、該ノズルから気体を噴出させて全面を乾燥させ
るようにしたことを特徴とする貼付板洗浄装置が提供さ
れ、上記目的が達成される。According to the present invention, a sticking plate is rotatably mounted on a receiving roller, and while the sticking plate is rotated about its central axis, disc-shaped plates are formed on the upper surface, the lower surface, and the peripheral side surface. upper surface washing brush, brushed simultaneously each surface in sliding contact with the lower surface washing brush and the cylindrical side surface washing brush, washed with clamped a patch plate at that time the upper surface washing brush and the lower surface washing brush, after washing, retracted position Stored in the cover with
Rotate the upper and lower nozzles on the upper and lower surfaces of the
And blow the gas from the nozzle to dry the entire surface.
The present invention provides an affixed plate cleaning apparatus characterized in that the above object is achieved.

【００１１】[0011]

【実施例】以下実施例と共に説明する。図１は本考案の
概略構成図、図２は平面図、図３は側面図を示してい
る。図において、本体（１）は、下部に洗浄液等を収集
排出する流し（２）を有し、全体が密封的に作られ、両
側面及び背面に形成した開口部（３）に平面略コ字状の
シャッタ（４）を設け、該シャッタ（４）をエアシリン
ダ（５），（５），（５）により上下動させて該開口部
（３）を開閉するようにしてある。Embodiments will be described below together with embodiments. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the present invention, FIG. 2 is a plan view, and FIG. 3 is a side view. In the drawing, a main body (1) has a sink (2) for collecting and discharging a cleaning liquid and the like at a lower portion, and is entirely made hermetically, and has an opening (3) formed on both side surfaces and a back surface in a substantially U-shape. The shutter (4) is provided, and the shutter (4) is moved up and down by air cylinders (5), (5) and (5) to open and close the opening (3).

【００１２】貼付板（６）は、上面にウエ−ハを貼付け
るよう上面、下面及び該上面、下面の周縁を結ぶ周側面
を有する円板状に形成され、上記開口部（３）が開いて
いるとき、適宜のロボット手段により貼付板（６）は、
上記本体（１）内に搬入され、一組の回転可能な受ロ−
ラ（７）・・・の上に、回転の間全面が露出した状態で
水平面内で回転するよう回転自在に支持される。該受ロ
−ラ上に載置された貼付板は、後記するようにその中心
軸を中心として回転する。The attaching plate (6) is formed in a disk shape having an upper surface, a lower surface, and a peripheral side surface connecting the peripheral edges of the upper surface and the lower surface so that the wafer is attached to the upper surface, and the opening (3) is open. The sticking plate (6) is moved by appropriate robot means.
A set of rotatable receiving rolls carried into the main body (1)
.. Are rotatably supported on la (7)... So as to rotate in a horizontal plane with the entire surface exposed during rotation. The attaching plate placed on the receiving roller rotates about its central axis as described later.

【００１３】該受ロ−ラ（７）は、図２に示すように貼
付板（６）の周方向に向けて配列され、また図４、図５
に示すように、架台（８）上に支柱（９）を起立し、該
支柱（９）の上部にハウジング(10)を取付け、該ハウジ
ング(10)に軸受(11)を介して回転自在に設けたシャフト
(12)の先端に取付けられている。該受ロ−ラ（７）はポ
リフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）その他の耐薬品性の大
きい合成樹脂材料で作られ、摩滅したらボルト(13)を外
すことにより簡単に交換可能にしてある。The receiving rollers (7) are arranged in the circumferential direction of the attaching plate (6) as shown in FIG. 2, and are shown in FIGS.
As shown in (1), a column (9) is erected on a gantry (8), a housing (10) is mounted on an upper portion of the column (9), and the housing (10) is rotatable via a bearing (11). Provided shaft
Installed at the tip of (12). The receiving roller (7) is made of polyvinylidene fluoride (PVDF) or other synthetic resin material having high chemical resistance, and when worn out, can be easily replaced by removing the bolt (13).

【００１４】また、図５に示すように、上記ハウジング
(10)の下端と支柱（９）の上端は、傾斜面(14)，(15)で
係合しており、上記支柱（９）に縦長の取付孔(16)を設
け、ハウジング(10)に横長の取付孔(17)を設け該取付孔
にボルト(18)を挿通して締着しているので、上記傾斜面
に沿ってハウジング(10)を左右に移動させたりすれば、
上記受ロ−ラ（７）の高さを上下に調整することができ
る。Further, as shown in FIG.
The lower end of (10) and the upper end of the column (9) are engaged by inclined surfaces (14) and (15), and the column (9) is provided with a vertically long mounting hole (16). Since a horizontally long mounting hole (17) is provided and a bolt (18) is inserted into the mounting hole and fastened, if the housing (10) is moved right and left along the inclined surface,
The height of the receiving roller (7) can be adjusted up and down.

【００１５】上記貼付板（６）は、上記受ロ−ラ上に水
平面内で回転可能に支持され、周側面を円筒状の駆動ロ
−ラで挾着することによりその中心軸を中心として回転
する。The sticking plate (6) is rotatably supported on the receiving roller in a horizontal plane, and is rotated about its central axis by clamping the peripheral side surface with a cylindrical driving roller. I do.

【００１６】図６は、駆動ロ−ラの一実施例を示し、架
台上に設けたレ−ル(19)，(19)（図７参照）上にスライ
ドベ−ス(20)を載置し、該スライドベ−ス(20)をエアシ
リンダ(21)により上記貼付板の中心方向に向けて摺動可
能に設けてある。該スライドベ−ス(20)の一端には、緩
衝部材(22)を対設してあり、また上方に起立したハウジ
ング(23)内に、モ−タ(24)に連結した駆動軸(25)を挿通
してあり、その上部に取付けた歯車(26)，(27)を介しロ
−ラ軸(28)を回転し、該ロ−ラ軸(28)に設けた駆動ロ−
ラ(29)を回転するようにしてある。FIG. 6 shows an embodiment of a driving roller, in which a slide base (20) is mounted on rails (19), (19) (see FIG. 7) provided on a gantry. The slide base (20) is slidably provided by an air cylinder (21) toward the center of the attachment plate. A buffer member (22) is opposed to one end of the slide base (20), and a drive shaft (25) connected to a motor (24) is provided in a housing (23) standing upright. And a roller shaft (28) is rotated via gears (26) and (27) mounted on the upper portion thereof, and a driving roller provided on the roller shaft (28) is rotated.
La (29) is designed to rotate.

【００１７】該駆動ロ−ラ(29)の周囲には、合成ゴム、
軟質合成樹脂材料等の有弾性材料でライニング層(30)を
設けてある。なお、該駆動ロ−ラは、貼付板の直径が変
わったときにも各サイズに対応できるように、直径が相
違するロ−ラを用意するとよく、また図２に示すよう
に、駆動ロ−ラは貼付板の周囲に３ヶ所設けてあるが、
さらに多く設けたり一部のロ−ラを従動ロ−ラとして使
用することもできる。Around the drive roller (29), synthetic rubber,
The lining layer (30) is provided with an elastic material such as a soft synthetic resin material. It is preferable to prepare rollers having different diameters so as to be able to cope with each size even when the diameter of the sticking plate changes, and as shown in FIG. There are three places around the sticker,
More or some rollers may be used as driven rollers.

【００１８】上記受ロ−ラ上に載置した貼付板の上面、
下面及び周側面にそれぞれ摺接するように円板状の上面
洗浄ブラシ(31)、下面洗浄ブラシ(32)及び円筒状の側面
洗浄ブラシ(33)が設けられている。An upper surface of the sticking plate placed on the receiving roller,
A disk-shaped upper cleaning brush (31), a lower cleaning brush (32), and a cylindrical side cleaning brush (33) are provided so as to be in sliding contact with the lower surface and the peripheral side surface, respectively.

【００１９】図８は、上面洗浄ブラシ(31)部分の一実施
例を示し、架台（８）上に起立したスタンド(34)内に
は、リンク(35)を介しエアシリンダ(36)（図１〜図３参
照）により回転される主軸(37)を挿通してあり、該主軸
(37)の先端にはフランジ(38)を介しア−ム(39)を固着
し、該ア−ムの周囲をカバ−(40)で覆ってある。FIG. 8 shows an embodiment of the upper surface cleaning brush (31), in which a stand (34) standing on a gantry (8) has an air cylinder (36) (see FIG. 8) via a link (35). 1 to 3), the main shaft (37) rotated by the main shaft is inserted therethrough.
An arm (39) is fixed to the tip of (37) via a flange (38), and the periphery of the arm is covered with a cover (40).

【００２０】上記ア−ム(39)の先部には、円板状の基板
の下面に植毛した上面洗浄ブラシ（31）の軸(41)を回転
可能に支持するリフトプレ−ト(42)を昇降するようシリ
ンダ(43)を設けてある。上記ブラシの軸(41)の一部はス
プライン軸に形成してあり、該スプライン軸に係合する
ボ−ルスプライン(44)を端部に具備するシャフトホルダ
(45)にタイミングプ−リ(46)を固着し、該タイミングプ
−リ(46)をタイミングベルト(47)を介しモ−タ(48)に取
付けたタイミングプ−リ(49)に連結してある。上記シャ
フトホルダ(45)を回転可能に支持するハウジング(50)
は、上記ア−ム（39）の下面に固着されており、周囲が
ジャバラ(51)で取り囲まれている。A lift plate (42) rotatably supporting a shaft (41) of an upper surface cleaning brush (31) planted on the lower surface of a disk-shaped substrate is provided at the tip of the arm (39). A cylinder (43) is provided to move up and down. A part of the brush shaft (41) is formed as a spline shaft, and a shaft holder having a ball spline (44) at an end thereof for engaging with the spline shaft.
A timing pulley (46) is fixed to (45), and the timing pulley (46) is connected to a timing pulley (49) attached to a motor (48) via a timing belt (47). It is. Housing (50) for rotatably supporting the shaft holder (45)
Is fixed to the lower surface of the arm (39), and is surrounded by bellows (51).

【００２１】上記構成により、上記上面洗浄ブラシ(31)
は、モ−タ(48)により回転されかつシリンダ(43)により
昇降させることができ、その上、エアシリンダ(36)を作
動することにより、上記貼付板（６）から離れた待機位
置と該貼付板を挾んで下面洗浄ブラシ(32)に対向する洗
浄位置の間で図２矢印(52)に示すように旋回させること
ができる。With the above configuration, the upper surface cleaning brush (31)
Can be rotated by a motor (48) and raised and lowered by a cylinder (43). In addition, by operating an air cylinder (36), the standby position separated from the attaching plate (6) and the As shown by an arrow (52) in FIG. 2, it can be swung between cleaning positions opposed to the lower surface cleaning brush (32) with the attachment plate therebetween.

【００２２】図９は、下面洗浄ブラシ(32)部分の一実施
例を示し、架台（８）上に設けたベ−ス(53)上には、ハ
ウジング(54)を起立してあり、該ハウジング内にスプラ
イン軸(55)が挿通している。該スプライン軸(55)とハウ
ジング(54)間には、該スプライン軸(55)に係合するボ−
ルスプライン(56)を上端に具備するシャフトホルダ（5
7）が回転可能に設けられており、該シャフトホルダ(5
7)の下端に設けたタイミングプ−リ(58)に、図示を省い
たタイミングベルト、プ−リを介しモ−タ（図示略）を
連結してある。FIG. 9 shows an embodiment of the lower surface cleaning brush (32), in which a housing (54) is erected on a base (53) provided on a gantry (8). The spline shaft (55) is inserted through the housing. A bore engaging with the spline shaft (55) is provided between the spline shaft (55) and the housing (54).
Shaft holder (5
7) is provided rotatably, and the shaft holder (5
A motor (not shown) is connected to a timing pulley (58) provided at the lower end of (7) via a timing belt and pulley (not shown).

【００２３】上記スプライン軸(55)の下端は、ベアリン
グホルダ(59)に回転可能に連結しており、該ベアリング
ホルダ(59)は、スライドブッシュ(60)、ガイド軸(61)に
案内され、エアシリンダ(62)の作用で昇降する。また、
該スプライン軸(55)の上端には円板状の基板の上面に植
毛した下面洗浄ブラシ(32)が固着されている。The lower end of the spline shaft (55) is rotatably connected to a bearing holder (59). The bearing holder (59) is guided by a slide bush (60) and a guide shaft (61), It moves up and down by the action of the air cylinder (62). Also,
A lower surface cleaning brush (32) planted on the upper surface of a disk-shaped substrate is fixed to the upper end of the spline shaft (55).

【００２４】上記構成により、下面洗浄ブラシ(32)は、
モ−タ（図示略）により回転され、かつシリンダ(62)に
より昇降させることができる。なお、該下面洗浄ブラシ
を、上記上面洗浄ブラシ(31)と同様に旋回させるように
することもできる。With the above configuration, the lower surface cleaning brush (32)
It can be rotated by a motor (not shown) and raised and lowered by a cylinder (62). Note that the lower surface cleaning brush may be turned similarly to the upper surface cleaning brush (31).

【００２５】図１０は、側面洗浄ブラシ(33)部分の一実
施例を示してあり、基本的には上記図６，図７に示す駆
動ロ−ラの機構と類似した構成である。すなわち、架台
に設けたレ−ル(63)上にスライドベ−ス(64)を載置し、
該スライドベ−ス(64)をエアシリンダ(65)により上記貼
付板の中心方向に向けて摺動可能に設け、該スライドベ
−ス(64)の移動範囲を、上記エアシリンダ(65)のロッド
(66)に設けた当て駒（67）により規制している。該スラ
イドベ−ス(64)の上方に起立したハウジング（68）内に
は、モ−タ(69)に連結した駆動軸(70)を挿通してあり、
その上部に取付けた歯車(71)，(72)を介しブラシ軸(73)
を回転し、該ブラシ軸(73)に設けた側面洗浄ブラシ(33)
を回転するようにしてある。FIG. 10 shows an embodiment of the side cleaning brush (33), which is basically similar in structure to the drive roller mechanism shown in FIGS. That is, the slide base (64) is placed on the rail (63) provided on the gantry,
The slide base (64) is slidably provided by an air cylinder (65) toward the center of the attaching plate, and the moving range of the slide base (64) is adjusted by the rod of the air cylinder (65).
It is regulated by the hit piece (67) provided in (66). A drive shaft (70) connected to a motor (69) is inserted through a housing (68) standing above the slide base (64),
Brush shaft (73) via gears (71) and (72) mounted on the top
Rotating the side cleaning brush (33) provided on the brush shaft (73).
Is rotated.

【００２６】該側面洗浄ブラシ(33)は、貼付板（６）の
厚さよりも厚い円筒状の胴部の周囲に放射状に植毛して
構成され、貼付板の直径が変わったときにも各サイズに
対応できるように、直径が相違する複数の側面洗浄ブラ
シが用意されている。The side cleaning brush (33) is formed by radially implanting hair around a cylindrical body portion thicker than the thickness of the sticking plate (6). A plurality of side cleaning brushes having different diameters are prepared so as to cope with the problem.

【００２７】上記貼付板の上面及び下面には、洗浄液を
供給するノズル(74)，(75)及び純水を供給するノズル(7
6)，(77)を設けてある。また、貼付板を乾燥するため、
窒素ガス等の気体を供給するノズル(78)，(79)も設けら
れている。空気、窒素ガス等の気体は適宜加熱してもよ
い。上記各ノズルは固定式にしたり、適宜旋回式にする
ことができるが、図に示す実施例では、窒素ガスの噴出
ノズルは旋回式にし、他のノズルは固定式に設けてあ
る。なお、本出願人らが先に出願したように、（特願平
１ー３４３８６８）、ウエーハの接着剤としてアルカリ
水溶液可溶の接着剤、例えばロジンその他のアビエチン
酸に代表される三員環化合物を主成分とする樹脂、該樹
脂の誘導体、若しくは該樹脂の二塩基酸との変成物の一
種またはこれらの二種以上を混合した接着剤を用いれ
ば、洗浄液としては、例えば水と相溶性を有する有機ア
ルカリ、無機アルカリ、若しくは無機アルカリ塩の一種
またはこれらの二種以上を混合した洗浄液の如きアルカ
リ水溶液の洗浄液を用いればよい。The nozzles (74) and (75) for supplying the cleaning liquid and the nozzles (7
6) and (77) are provided. Also, to dry the sticker,
Nozzles (78) and (79) for supplying gas such as nitrogen gas are also provided. Gases such as air and nitrogen gas may be appropriately heated. Each of the above-mentioned nozzles can be fixed or swiveled, but in the embodiment shown in the figure, the nozzle for jetting nitrogen gas is swirled and the other nozzles are fixed. As previously filed by the present applicants (Japanese Patent Application No. 1-343868), a three-membered ring compound represented by an aqueous alkali-soluble adhesive such as rosin or other abietic acid is used as a wafer adhesive. If a resin containing, as a main component, a derivative of the resin, or a modified product of the resin with a dibasic acid, or an adhesive obtained by mixing two or more of these, as a cleaning liquid, for example, water-compatible A cleaning solution of an alkaline aqueous solution such as a cleaning solution obtained by mixing one or more of organic alkali, inorganic alkali, or inorganic alkali salt having the same or a mixture of two or more thereof may be used.

【００２８】図１１，図１２は、上ノズルの一実施例を
示してある。図において、本体（１）に固着したスライ
ドブッシュ(80)内には、ベアリングホルダ(81)が昇降可
能に貫挿しており、該ベアリングホルダ(81)内には軸(8
2)が軸支され、該軸(82)の先端にはノズルホルダ(83)を
介しノズル軸(84)が固着され、該ノズル軸(84)の先部に
ノズル(78)が取付けられている。FIGS. 11 and 12 show one embodiment of the upper nozzle. In the figure, a bearing holder (81) is inserted through a slide bush (80) fixed to the main body (1) so as to be able to move up and down, and a shaft (8) is inserted into the bearing holder (81).
2) is supported, a nozzle shaft (84) is fixed to the tip of the shaft (82) via a nozzle holder (83), and a nozzle (78) is attached to the tip of the nozzle shaft (84). I have.

【００２９】上記軸(82)の上端は、モ−タ(85)に連結し
ており、該軸(82)の一部には、センサ(86)を動作させる
ためのセンサカット(87)を設けてあり、該モ−タ(86)に
より軸(82)は旋回し、その範囲をセンサにより制御する
ようにしている。The upper end of the shaft (82) is connected to a motor (85), and a part of the shaft (82) is provided with a sensor cut (87) for operating a sensor (86). The shaft (82) is turned by the motor (86), and its range is controlled by a sensor.

【００３０】上記ベアリングホルダ(81)の上端には昇降
プレ−ト(88)を固着してあり、該昇降プレ−ト(88)上に
支柱(89)を介し上記モ−タ(85)を支持するモ−タプレ−
ト（90）が固定されている。また、該昇降プレ−ト(88)
の一端には、図１２に示すように、スライドブッシュ(9
1)を設けてあり、該スライドブッシュ(91)にはガイド軸
(92)が挿通している。上記昇降プレ−ト(88)上に設けた
シリンダ(93)のロッド(94)は、その先端を、上記本体
（１）に固着してあるので、上記シリンダ(93)の操作に
より、上記昇降プレ−ト(88)、ベアリングホルダ(81)及
び上記軸(82)を介し上記ノズル(78)は昇降する。An elevating plate (88) is fixed to the upper end of the bearing holder (81), and the motor (85) is mounted on the elevating plate (88) via a column (89). Supporting motor play
(90) is fixed. The lifting plate (88)
As shown in FIG. 12, a slide bush (9
1), and the slide bush (91) has a guide shaft
(92) is inserted. The rod (94) of the cylinder (93) provided on the elevating plate (88) has its tip fixed to the main body (1). The nozzle (78) moves up and down via the plate (88), the bearing holder (81) and the shaft (82).

【００３１】上記上ノズル(78)は、上記軸(82)を降下し
た状態で旋回し、後退位置において、図１鎖線で示すよ
うに、本体に設けたカバ−部(95)内に上昇して収納され
る。そして、該カバ−部(95)内に、窒素ガス等の気体を
噴出することにより、該上ノズルは乾燥される。The upper nozzle (78) turns while the shaft (82) is lowered, and ascends into a cover portion (95) provided in the main body at a retracted position, as shown by a chain line in FIG. Stored. The upper nozzle is dried by ejecting a gas such as nitrogen gas into the cover portion (95).

【００３２】図１３は、下ノズルの一実施例を示してお
り、架台に固定したベ−ス(96)上には、ハウジング(97)
を起立してあり、該ハウジング(97)内に、モ−タ(98)に
連結した軸(99)が挿通され、該軸(99)の先端にノズルホ
ルダ(100) を介しノズル軸（101)を設け、該ノズル軸(1
01) の先端にノズル(79)を設けてある。上記モ−タ（9
8）により該ノズル軸(101) は旋回し、その旋回範囲は
センサカット(102) とセンサ(103) により制御される。
なお、上記ノズル(79)は、後退位置において本体に設け
たカバ−(104) 内に収納される。FIG. 13 shows an embodiment of the lower nozzle, in which a housing (97) is mounted on a base (96) fixed to a gantry.
The shaft (99) connected to the motor (98) is inserted into the housing (97), and the tip of the shaft (99) is inserted through the nozzle holder (100) into the nozzle shaft (101). ), And the nozzle shaft (1
01) is provided with a nozzle (79) at the tip. The above motor (9
According to 8), the nozzle shaft (101) turns, and its turning range is controlled by the sensor cut (102) and the sensor (103).
The nozzle (79) is housed in a cover (104) provided on the main body at the retracted position.

【００３３】なお、上記図４〜図６，図８〜図１０及び
図１３に示すように、流し（２）を貫通する部分には、
立上壁とカバ−を形成してあり、洗浄液等の漏洩を防止
している。As shown in FIG. 4 to FIG. 6, FIG. 8 to FIG. 10 and FIG.
A cover is formed with the rising wall to prevent leakage of the cleaning liquid and the like.

【００３４】而して、上記開口部（３）のシャッタ
（４）を開けてロボット手段により貼付板（６）を受ロ
−ラ（７）上に載置したら、周囲からシリンダ(21)によ
り駆動ロ−ラ(29)を接近させ、該貼付板（６）を挟着し
て回転する。この回転数は数１０〜１００r.p.m 程度と
するとよい。なお、貼付板搬入後、上記シャッタ（４）
は閉じられる。When the shutter (4) of the opening (3) is opened and the attaching plate (6) is placed on the receiving roller (7) by the robot means, the cylinder (21) is used from the surroundings. The drive roller (29) is approached, and the sticking plate (6) is sandwiched and rotated. This rotation speed is preferably several tens to 100 rpm. In addition, after carrying in the sticking plate, the shutter (4)
Is closed.

【００３５】そして、洗浄液をノズル(74)より供給しな
がら、上面洗浄ブラシ(31)を回転しつつ旋回し、上記貼
付板（６）の上面に降下させ、その後下面に洗浄液をノ
ズル(75)から噴出し下面洗浄ブラシ(32)及び側面洗浄ブ
ラシ(33)を回転しながらシリンダ(62)，(65)により貼付
板に接触させる。この際、上面洗浄ブラシ(31)と下面洗
浄ブラシ(32)は貼付板を挾んで対向しておりその回転方
向は逆方向としてある。Then, while supplying the cleaning liquid from the nozzle (74), the upper cleaning brush (31) is rotated while rotating, is lowered to the upper surface of the attaching plate (6), and then the cleaning liquid is supplied to the lower surface of the nozzle (75). The lower surface cleaning brush (32) and the side cleaning brush (33) are spouted from the cylinder and are brought into contact with the attachment plate by the cylinders (62) and (65) while rotating. At this time, the upper surface cleaning brush (31) and the lower surface cleaning brush (32) are opposed to each other with the attaching plate interposed therebetween, and their rotation directions are opposite.

【００３６】貼付板の表面に付着したワックス等の接着
剤やその他の付着物が除去されたら、上記洗浄液の供給
を停止し、ノズル(76)，(77)から純水を供給して純水洗
浄する。所望によりリンスを行うこともできる。When the adhesive such as wax attached to the surface of the attaching plate or other attached matter is removed, the supply of the cleaning liquid is stopped, and pure water is supplied from the nozzles (76) and (77). Wash. Rinsing can be performed if desired.

【００３７】その後、上記シリンダ(62)，(65)により下
面洗浄ブラシ、側面洗浄ブラシを後退させ、さらに上記
シリンダ(36)，(43)により上面洗浄ブラシを後退させた
後、上ノズル(78)及び下ノズル(79)を旋回させ、窒素ガ
スを貼付板に噴出することにより貼付板の全面を乾燥さ
せる。Then, the lower surface cleaning brush and the side cleaning brush are retracted by the cylinders (62) and (65), and the upper surface cleaning brush is retracted by the cylinders (36) and (43). ) And the lower nozzle (79) are swirled, and nitrogen gas is blown onto the sticking plate to dry the entire surface of the sticking plate.

【００３８】以上の工程が終了したら、開口部（３）の
シャッタ（４）を再び開放し、ロボット手段により貼付
板を本体から取り出し、次の貼付板を搬入し、上記工程
を繰り返し、次々と自動的に貼付板を洗浄する。When the above steps are completed, the shutter (4) of the opening (3) is opened again, the sticking plate is taken out of the main body by the robot means, the next sticking plate is carried in, and the above steps are repeated. Automatically cleans the sticker.

【００３９】[0039]

【考案の効果】本発明は上記のように構成され、貼付板
を受ローラ上に載せて全面が露出した状態で中心軸を中
心として回転させながらブラッシングし、上面、下面は
勿論、周側面までも全面洗浄でき、この際、上面及び下
面の洗浄ブラシを円板状に形成し、各ブラシが面接触す
る状態で貼付板を挾着して洗浄するようにしたので、強
い接触圧を作用させてワックス等の汚れを確実に落とす
ことができ、従来のように広い場所をとらず、その上、
上述の如きアルカリ水溶液の洗浄液を用いれば、有機溶
剤を使用せず安全、衛生的にでき、有機溶剤を使用する
場合の約１０分の１の低コストであり、かつ大きさも従
来のようにブラシを並べた位置に比べて約３分の１の大
きさになり、狭いスペースに設置でき、また駆動ローラ
及び側面洗浄ブラシを交換するだけで直径の違う貼付板
を洗浄することもでき、洗浄後の上記貼付板は、上面及
び下面を旋回する上ノズルと下ノズルから噴出される窒
素ガス等の気体により大きな直径の貼付板であっても全
面的に乾燥され、しかも上記上ノズルと下ノズルは後退
位置でカバー内に収納されているので、上記洗浄時に脱
落したごみ等で汚染されないようにでき、上記貼付板に
ごみ等を再付着させるおそれもない。 According to the present invention, the present invention is constructed as described above. The adhesive plate is placed on a receiving roller and brushed while rotating about a central axis in a state where the entire surface is exposed. The entire surface can be cleaned. At this time, the cleaning brushes on the upper and lower surfaces are formed in a disk shape, and the brushes are clamped and cleaned while the brushes are in surface contact. It can reliably remove dirt such as wax, and does not take up a large space as before,
The use of the cleaning solution of the alkaline aqueous solution as described above can be performed safely and sanitarily without using an organic solvent, the cost is reduced to about one tenth of that when an organic solvent is used, and the size of the brush is the same as that of the conventional brush. the position will be the size of about one-third of compared to the arranged, can be installed in a narrow space and can be cleaned only by sticking plates with different diameters exchanging driving roller and side washing brush, after washing The above attachment plate is
The nitrogen jets from the upper and lower nozzles
Due to gases such as raw gas, even large-sized
Area dried, and the upper and lower nozzles are retracted
It is stored in the cover at the
It can be prevented from being contaminated by dropped dust, etc.
There is no risk of reattaching dust and the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】本考案の一実施例を示す概略構成図。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention.

【図２】本体の上部を外した状態の平面図。FIG. 2 is a plan view showing a state in which an upper part of a main body is removed.

【図３】側面図。FIG. 3 is a side view.

【図４】受ロ−ラ部分の一部を断面して示す正面図。FIG. 4 is a front view showing a part of a receiving roller section in cross section.

【図５】受ロ−ラ部分の側面図。FIG. 5 is a side view of a receiving roller portion.

【図６】駆動ロ−ラ部分の正面図。FIG. 6 is a front view of a driving roller portion.

【図７】主としてレ−ル部分を断面して示す側面図。FIG. 7 is a side view mainly showing a cross section of a rail portion.

【図８】上面洗浄ブラシ部分の正面図。FIG. 8 is a front view of a top cleaning brush portion.

【図９】下面洗浄ブラシ部分の正面図。FIG. 9 is a front view of a lower surface cleaning brush portion.

【図10】側面洗浄ブラシ部分の正面図。FIG. 10 is a front view of a side cleaning brush portion.

【図11】上ノズル部分の正面図。FIG. 11 is a front view of an upper nozzle portion.

【図12】上ノズル部分の側面図。FIG. 12 is a side view of an upper nozzle portion.

【図13】下ノズル部分の正面図。FIG. 13 is a front view of a lower nozzle portion.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 本体 ６ 貼付板 ７ 受ロ−ラ ８ 架台 29 駆動ロ−ラ 31 上面洗浄ブラシ 32 下面洗浄ブラシ 33 側面洗浄ブラシ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body 6 Adhering plate 7 Receiving roller 8 Stand 29 Drive roller 31 Upper surface cleaning brush 32 Lower surface cleaning brush 33 Side cleaning brush

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項１】 円板状に形成されウエーハを貼付ける上
面、下面及び該上面、下面の周縁を結ぶ周側面を有する
貼付板を洗浄する装置であって、上記貼付板のすべての
表面が回転の間露出されるよう該貼付板を水平面内にお
いて回転可能に支持する受ローラを有し、該受ローラは
その上に上記貼付板を載せて該貼付板をその中心軸を中
心として回転可能に支持するよう該貼付板の周方向に向
けて配列した一組の回転可能なローラで構成され、上記
貼付板の周側面を挟着して該貼付板を回転駆動するため
の円筒状の駆動ローラと、回転の間上記貼付板の表面に
洗浄液を供給するための供給ノズルと、上記貼付板に洗
浄液を供給しながら該貼付板の上面、下面、周側面を同
時にブラッシングするよう上記貼付板の上面に摺接する
円板状の上面洗浄ブラシと、上記貼付板の下面に摺接す
る円板状の下面洗浄ブラシと、上記貼付板の周側面に摺
接する円筒状の側面洗浄ブラシを具備し、上記上面洗浄
ブラシは上記貼付板を挟んで上記下面洗浄ブラシに対向
する洗浄位置と該貼付板から離れる待機位置の間で移動
可能に設けられ、上記貼付板の上面及び下面には該貼付
板を乾燥するための気体を噴出する上ノズルと下ノズル
が旋回可能に設けられ、該上ノズルと下ノズルは後退位
置においてカバー内に収納されている貼付板洗浄装置。An apparatus for cleaning an adhesive plate formed in a disk shape and having an upper surface, a lower surface to which a wafer is to be attached, and a peripheral side surface connecting the peripheral edges of the upper surface and the lower surface, wherein all surfaces of the adhesive plate are rotated. has a receiving roller rotatably supported in a horizontal plane該貼with plate so as to be exposed between, receiving rollers rotatable to該貼with plate put the patch plate thereon about its central axis A pair of rotatable rollers arranged in the circumferential direction of the sticking plate so as to support the sticking plate, and a cylindrical drive for sandwiching the circumferential side surface of the sticking plate to rotationally drive the sticking plate. Roller, a supply nozzle for supplying a cleaning liquid to the surface of the pasting plate during rotation, and the upper surface, lower surface, and peripheral side surface of the pasting plate while simultaneously supplying the cleaning liquid to the pasting plate. Disc-shaped upper surface cleaning brush that slides on the upper surface A brush, a disc-shaped lower surface cleaning brush that slides on the lower surface of the adhesive plate, and a cylindrical side cleaning brush that slides on the peripheral side surface of the adhesive plate, and the upper surface cleaning brush sandwiches the adhesive plate. The lower surface cleaning brush is provided so as to be movable between a cleaning position opposed to the lower surface cleaning brush and a standby position separated from the adhesive plate, and the upper surface and the lower surface of the adhesive plate are provided with the adhesive.
Upper and lower nozzles that eject gas to dry the plate
Are provided so as to be pivotable, and the upper nozzle and the lower nozzle are retracted.
A sticking plate cleaning device housed in a cover in an installation.