JP2563016B2 - 有効波長を用いた蛍光x線分析方法および装置 - Google Patents
有効波長を用いた蛍光x線分析方法および装置Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、一次X線を単色化す
ることなく、有効波長を用いて、被測定試料の未知の物
理量を求める蛍光X線分析方法および装置に関するもの
である。
ることなく、有効波長を用いて、被測定試料の未知の物
理量を求める蛍光X線分析方法および装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】一般に、亜鉛めっき鋼板や、合金化溶融
亜鉛めっき鋼板を連続的に製造する製造ラインにおいて
は、めっきの厚さや合金化溶融亜鉛めっきの厚さおよび
組成比を測定している。これらの厚さや組成比などの未
知の物理量を非破壊で正確に求める方法として、蛍光X
線分析方法が採用されている。かかる蛍光X線分析で
は、連続X線を含む一次X線を亜鉛めっき鋼板などに照
射し、一次X線を受けた亜鉛めっき鋼板からの亜鉛の蛍
光X線の強度を測定し、この測定強度を理論X線強度に
換算してめっきの厚さなどを求める。
亜鉛めっき鋼板を連続的に製造する製造ラインにおいて
は、めっきの厚さや合金化溶融亜鉛めっきの厚さおよび
組成比を測定している。これらの厚さや組成比などの未
知の物理量を非破壊で正確に求める方法として、蛍光X
線分析方法が採用されている。かかる蛍光X線分析で
は、連続X線を含む一次X線を亜鉛めっき鋼板などに照
射し、一次X線を受けた亜鉛めっき鋼板からの亜鉛の蛍
光X線の強度を測定し、この測定強度を理論X線強度に
換算してめっきの厚さなどを求める。
【0003】ここで、一次X線に連続X線を含む場合に
は、蛍光X線の理論強度算出式に、波長積分が必要とな
るから、計算が非常に複雑になる。特に、亜鉛めっき鋼
板などの製造ラインにおいては、測定結果に基づいて、
めっき厚さや組成比のフィードバック制御を行ってお
り、さらに、被測定試料である鋼板が高速(数十〜数百
m/分)で移動しているため、短時間で分析する必要が
あるから不向きである。
は、蛍光X線の理論強度算出式に、波長積分が必要とな
るから、計算が非常に複雑になる。特に、亜鉛めっき鋼
板などの製造ラインにおいては、測定結果に基づいて、
めっき厚さや組成比のフィードバック制御を行ってお
り、さらに、被測定試料である鋼板が高速(数十〜数百
m/分)で移動しているため、短時間で分析する必要が
あるから不向きである。
【0004】そこで、かかる製造ラインにおいては、従
来より、有効波長を用いた蛍光X線分析方法が採用され
ている。この分析方法は、連続X線を含む一次X線を予
め設定した有効波長からなる単色X線であると仮定し
て、蛍光X線の測定強度を理論X線強度に換算して、め
っきの厚さなどを求める。したがって、この分析方法に
よれば、波長積分を必要としないので、演算時間が短く
なるという利点がある。
来より、有効波長を用いた蛍光X線分析方法が採用され
ている。この分析方法は、連続X線を含む一次X線を予
め設定した有効波長からなる単色X線であると仮定し
て、蛍光X線の測定強度を理論X線強度に換算して、め
っきの厚さなどを求める。したがって、この分析方法に
よれば、波長積分を必要としないので、演算時間が短く
なるという利点がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、有効波長を用
いた分析方法では、蛍光X線の測定強度と理論X線強度
とが線形性を保つ範囲が限られており、そのため、たと
えば亜鉛めっきの厚さが所定値を越えると、その測定精
度の誤差が大きくなるという欠点があった。また、厚さ
が一定範囲を越えると、方程式が解を持たなくなり、そ
のため、測定ができないという欠点もあった。
いた分析方法では、蛍光X線の測定強度と理論X線強度
とが線形性を保つ範囲が限られており、そのため、たと
えば亜鉛めっきの厚さが所定値を越えると、その測定精
度の誤差が大きくなるという欠点があった。また、厚さ
が一定範囲を越えると、方程式が解を持たなくなり、そ
のため、測定ができないという欠点もあった。
【0006】この発明は上記従来の欠点に鑑みてなされ
たもので、有効波長を用いた蛍光X線分析方法および装
置において、被測定試料における未知の物理量の広い範
囲にわたって、未知の物理量を精度良く測定することを
目的とする。
たもので、有効波長を用いた蛍光X線分析方法および装
置において、被測定試料における未知の物理量の広い範
囲にわたって、未知の物理量を精度良く測定することを
目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明方法は、予め、未知の物理量の範囲を2つ
以上に区分するとともに、この区分した各範囲に対応す
る有効波長を設定し、この設定した複数種類の有効波長
のうちから、測定した蛍光X線の強度に応じて有効波長
を選択し、この選択した有効波長および蛍光X線の強度
に基づいて未知の物理量を演算して求める。
に、この発明方法は、予め、未知の物理量の範囲を2つ
以上に区分するとともに、この区分した各範囲に対応す
る有効波長を設定し、この設定した複数種類の有効波長
のうちから、測定した蛍光X線の強度に応じて有効波長
を選択し、この選択した有効波長および蛍光X線の強度
に基づいて未知の物理量を演算して求める。
【0008】一方、この発明装置は、連続X線を含む一
次X線を被測定試料に照射するX線源と、一次X線を受
けた被測定試料からの蛍光X線の強度を測定する測定器
と、メモリと、選択器と、演算器とを備えている。上記
メモリは、未知の物理量の範囲を2つ以上に区分した各
範囲に対応する有効波長を記憶している。上記選択器
は、記憶されている複数種類の有効波長のうちから、測
定された蛍光X線の強度に応じて有効波長を選択する。
演算器は、選択された有効波長および蛍光X線の測定強
度に基づいて上記未知の物理量を演算して求める。
次X線を被測定試料に照射するX線源と、一次X線を受
けた被測定試料からの蛍光X線の強度を測定する測定器
と、メモリと、選択器と、演算器とを備えている。上記
メモリは、未知の物理量の範囲を2つ以上に区分した各
範囲に対応する有効波長を記憶している。上記選択器
は、記憶されている複数種類の有効波長のうちから、測
定された蛍光X線の強度に応じて有効波長を選択する。
演算器は、選択された有効波長および蛍光X線の測定強
度に基づいて上記未知の物理量を演算して求める。
【0009】
【作用】この発明の実施例の説明に先だって、この発明
の原理を図2および図3を用いて説明する。
の原理を図2および図3を用いて説明する。
【0010】
【数1】
【0011】有効波長λeを用いた蛍光X線分析では、
一次X線が、たとえば上記(1)式により設定した有効
波長λeからなる単色X線であると仮定し、測定強度を
波長積分を含まない換算式によって理論X線強度に換算
して、理論X線強度から被測定試料の未知物理量を演算
する。
一次X線が、たとえば上記(1)式により設定した有効
波長λeからなる単色X線であると仮定し、測定強度を
波長積分を含まない換算式によって理論X線強度に換算
して、理論X線強度から被測定試料の未知物理量を演算
する。
【0012】ここで、図3(a),(b)に示すよう
に、1つの有効波長λeを用いた場合には、測定強度の
所定値の範囲において、つまり、被測定試料における未
知物理量の所定値の範囲において、実線で示すように、
測定強度と理論X線強度とが線形性を保つ。したがっ
て、図3(c)のように、測定強度の範囲を、つまり、
未知物理量の範囲を、予め2つ以上の範囲a1,a2に
区分するとともに、この区分した各範囲のa1,a2に
対応する有効波長λeを設定し、この設定した有効波長
λeを選択して用いることにより、測定強度と理論X線
強度とが、広い未知物理量の範囲にわたって線形性を保
つ。なお、有効波長λeは、上記(1)式により決定す
る必要はなく、後述するように、測定データから求めて
もよい。
に、1つの有効波長λeを用いた場合には、測定強度の
所定値の範囲において、つまり、被測定試料における未
知物理量の所定値の範囲において、実線で示すように、
測定強度と理論X線強度とが線形性を保つ。したがっ
て、図3(c)のように、測定強度の範囲を、つまり、
未知物理量の範囲を、予め2つ以上の範囲a1,a2に
区分するとともに、この区分した各範囲のa1,a2に
対応する有効波長λeを設定し、この設定した有効波長
λeを選択して用いることにより、測定強度と理論X線
強度とが、広い未知物理量の範囲にわたって線形性を保
つ。なお、有効波長λeは、上記(1)式により決定す
る必要はなく、後述するように、測定データから求めて
もよい。
【0013】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面にしたがって
説明する。図1は第1実施例を示す。この第1実施例
は、この発明の内容を分かり易くするために、未知の物
理量を、被測定試料10としての亜鉛めっき鋼板におけ
る皮膜(亜鉛めっき層)12の厚さTのみとした例であ
る。
説明する。図1は第1実施例を示す。この第1実施例
は、この発明の内容を分かり易くするために、未知の物
理量を、被測定試料10としての亜鉛めっき鋼板におけ
る皮膜(亜鉛めっき層)12の厚さTのみとした例であ
る。
【0014】図1において、被測定試料10は、鋼板1
1と皮膜12からなり、たとえば連続的に移動してい
る。この被測定試料10が移動している箇所の任意の一
箇所には、付着量測定装置(蛍光X線分析装置)20が
設けられている。
1と皮膜12からなり、たとえば連続的に移動してい
る。この被測定試料10が移動している箇所の任意の一
箇所には、付着量測定装置(蛍光X線分析装置)20が
設けられている。
【0015】付着量測定装置20は、X線源21と、測
定器30と、選択器22と、演算器23と、メモリ29
と、表示器24とを備えている。X線源21は、被測定
試料10の表面に、連続X線および特性X線を含む一次
X線(図2参照)B1を照射するもので、たとえば、タ
ングステンWをターゲットとするX線管が用いられる。
定器30と、選択器22と、演算器23と、メモリ29
と、表示器24とを備えている。X線源21は、被測定
試料10の表面に、連続X線および特性X線を含む一次
X線(図2参照)B1を照射するもので、たとえば、タ
ングステンWをターゲットとするX線管が用いられる。
【0016】測定器30は、平行光学系31、分光結晶
32、検出器33および計数回路部34を備えており、
上記一次X線B1を受けた被測定試料10からの亜鉛の
蛍光X線B2の強度を測定するものである。分光結晶3
2は、蛍光X線のうち亜鉛の蛍光X線B2を、所定の回
折角で回折して、検出器33に入射させる。検出器33
は、入射した亜鉛の蛍光X線B2を検出して、検出出力
e1として計数回路部34に出力する。計数回路部34
は、検出出力e1をカウントして、亜鉛の蛍光X線B2
の強度を測定信号x1として選択器22に出力する。
32、検出器33および計数回路部34を備えており、
上記一次X線B1を受けた被測定試料10からの亜鉛の
蛍光X線B2の強度を測定するものである。分光結晶3
2は、蛍光X線のうち亜鉛の蛍光X線B2を、所定の回
折角で回折して、検出器33に入射させる。検出器33
は、入射した亜鉛の蛍光X線B2を検出して、検出出力
e1として計数回路部34に出力する。計数回路部34
は、検出出力e1をカウントして、亜鉛の蛍光X線B2
の強度を測定信号x1として選択器22に出力する。
【0017】上記選択器22、演算器23およびメモリ
29は、コンピュータ50内に内蔵されている。上記メ
モリ29は、2種以上の有効波長λeを記憶している。
有効波長λeは、皮膜12の厚さ(未知の物理量)Tの
範囲を2つ以上に区分した各範囲に対応している。つま
り、メモリ29は、図3(c)の蛍光X線B2の測定強
度の範囲a1およびa2に、それぞれ対応する有効波長
λeを記憶している。
29は、コンピュータ50内に内蔵されている。上記メ
モリ29は、2種以上の有効波長λeを記憶している。
有効波長λeは、皮膜12の厚さ(未知の物理量)Tの
範囲を2つ以上に区分した各範囲に対応している。つま
り、メモリ29は、図3(c)の蛍光X線B2の測定強
度の範囲a1およびa2に、それぞれ対応する有効波長
λeを記憶している。
【0018】上記図1の選択器22は、上記測定信号x
1を受けて、測定された蛍光X線の強度(測定強度)に
応じて、上記メモリ29に記憶されている複数種類の有
効波長λeのうちから、所定の有効波長λeを選択す
る。この実施例では、図3(c)の測定強度IZnが閾値
I1 よりも小さい場合は、選択器22が有効波長λe=
1.0Åを選択し、一方、測定強度IZnが閾値I1 以上の
場合は、選択器22が有効波長λe= 0.8Åを選択す
る。有効波長λeは、図1のメモリ29から波長信号c
として、選択器22に出力される。選択器22は、この
波長信号cを受けて、この波長信号cと上記測定信号x
1を演算器23に出力する。
1を受けて、測定された蛍光X線の強度(測定強度)に
応じて、上記メモリ29に記憶されている複数種類の有
効波長λeのうちから、所定の有効波長λeを選択す
る。この実施例では、図3(c)の測定強度IZnが閾値
I1 よりも小さい場合は、選択器22が有効波長λe=
1.0Åを選択し、一方、測定強度IZnが閾値I1 以上の
場合は、選択器22が有効波長λe= 0.8Åを選択す
る。有効波長λeは、図1のメモリ29から波長信号c
として、選択器22に出力される。選択器22は、この
波長信号cを受けて、この波長信号cと上記測定信号x
1を演算器23に出力する。
【0019】演算器23は、上記波長信号cおよび測定
信号x1を受けて、選択された有効波長λeおよび蛍光
X線B2の強度に基づいて、以下のように、皮膜12の
厚さTを演算する。以下、この演算方法について説明す
る。
信号x1を受けて、選択された有効波長λeおよび蛍光
X線B2の強度に基づいて、以下のように、皮膜12の
厚さTを演算する。以下、この演算方法について説明す
る。
【0020】
【数2】
【0021】したがって、上記(2)式において、厚さ
Tの分かっている標準試料を用いて、亜鉛の蛍光X線B
2の強度IZnを測定し、この測定強度IZnおよび厚さT
から上記(2)式を解くことで、測定強度IZnから理論
X線強度への変換式を求めることができる。このように
して求めた変換式と、つまり、上記(2)式と、亜鉛の
蛍光X線B2の測定強度IZnとから、厚さTを求めるこ
とができる。
Tの分かっている標準試料を用いて、亜鉛の蛍光X線B
2の強度IZnを測定し、この測定強度IZnおよび厚さT
から上記(2)式を解くことで、測定強度IZnから理論
X線強度への変換式を求めることができる。このように
して求めた変換式と、つまり、上記(2)式と、亜鉛の
蛍光X線B2の測定強度IZnとから、厚さTを求めるこ
とができる。
【0022】演算器23は、演算した厚さTを厚さ信号
tとして、表示器24および厚さ制御装置25に出力す
る。表示器24は、皮膜12の厚さTを表示するととも
に、記録するものである。厚さ制御装置25は、厚さ信
号tを受けて、測定した厚さTと、設定した厚さとを比
較し、めっき装置26に厚さ制御信号Δtを出力する。
めっき装置26は、この厚さ制御信号Δtに基づいて、
鋼板11に所定のめっき厚さTの皮膜12を形成する。
tとして、表示器24および厚さ制御装置25に出力す
る。表示器24は、皮膜12の厚さTを表示するととも
に、記録するものである。厚さ制御装置25は、厚さ信
号tを受けて、測定した厚さTと、設定した厚さとを比
較し、めっき装置26に厚さ制御信号Δtを出力する。
めっき装置26は、この厚さ制御信号Δtに基づいて、
鋼板11に所定のめっき厚さTの皮膜12を形成する。
【0023】さらに、厚さTの測定方法について具体的
に説明する。予め、皮膜12の厚さTが既知で、かつ、
互いに厚さTが異なる複数種類の標準試料(亜鉛めっき
鋼板)を用意する。この標準試料に対し、一次X線B1
を出射する。照射された一次X線B1は、測定器30に
よって蛍光X線B2の強度が測定される。つづいて、演
算器23は上記(2)式に基づいて理論X線強度と厚さ
Tとの関係式、つまり、測定強度IZnから理論X線強度
への変換式を求める。この際、測定データに基づき、有
効波長λeを1Å前後を基準に、 0.1Å程度ずつ変化さ
せた値にして理論X線強度を計算し、各有効波長λeご
とに、測定強度と理論X線強度との関係を調べ、両者が
線形性を保つ閾値I1 および有効波長λeを求める。こ
の求めた閾値I1 は図1の選択器22に予め入力され、一
方、2種類の有効波長λeはメモリ29に入力される。
に説明する。予め、皮膜12の厚さTが既知で、かつ、
互いに厚さTが異なる複数種類の標準試料(亜鉛めっき
鋼板)を用意する。この標準試料に対し、一次X線B1
を出射する。照射された一次X線B1は、測定器30に
よって蛍光X線B2の強度が測定される。つづいて、演
算器23は上記(2)式に基づいて理論X線強度と厚さ
Tとの関係式、つまり、測定強度IZnから理論X線強度
への変換式を求める。この際、測定データに基づき、有
効波長λeを1Å前後を基準に、 0.1Å程度ずつ変化さ
せた値にして理論X線強度を計算し、各有効波長λeご
とに、測定強度と理論X線強度との関係を調べ、両者が
線形性を保つ閾値I1 および有効波長λeを求める。こ
の求めた閾値I1 は図1の選択器22に予め入力され、一
方、2種類の有効波長λeはメモリ29に入力される。
【0024】この後、ラインを稼動させ被測定試料10
に向かって、一次X線B1を照射し、測定器30が蛍光
X線B2の強度IZnを測定する。選択器22は、測定器
30からの測定信号x1を受けて、測定強度IZnが閾値
I1 よりも小さい場合に、メモリ29から第1の有効波
長λe= 1.0Åを選択し、一方、測定強度IZnが閾値I
1 以上の場合に、メモリ29から第2の有効波長λe=
0.8Åを選択する。この後、演算器23は、選択器22
からの測定信号x1および波長信号cを受けて、測定強
度IZnおよび有効波長λeに基づいて厚さTを演算す
る。
に向かって、一次X線B1を照射し、測定器30が蛍光
X線B2の強度IZnを測定する。選択器22は、測定器
30からの測定信号x1を受けて、測定強度IZnが閾値
I1 よりも小さい場合に、メモリ29から第1の有効波
長λe= 1.0Åを選択し、一方、測定強度IZnが閾値I
1 以上の場合に、メモリ29から第2の有効波長λe=
0.8Åを選択する。この後、演算器23は、選択器22
からの測定信号x1および波長信号cを受けて、測定強
度IZnおよび有効波長λeに基づいて厚さTを演算す
る。
【0025】このように、皮膜12の厚さTの範囲に応
じて、つまり、図3(c)の測定強度IZnの範囲に応じ
て、測定強度IZnと理論X線強度が線形性を保つ有効波
長λeを選択するから、皮膜12の厚さTの広い範囲に
わたって、厚さTを精度良く測定できる。また、有効波
長λeを固定した場合は、図3(a),(b)のよう
に、測定強度IZnが一定値を越えると、算出値が化学分
析値に対し急激にずれを生じ、遂には解を持たなくな
る。これに対し、この発明は、図3(c)のように、か
かるずれを生じ始めるまでの範囲が極めて広くなり、や
はり、皮膜12の厚さTの広い範囲にわたって、厚さT
を測定できる。また、図1の選択器22が測定強度IZn
に応じて、自動的に有効波長λeを選択するので、フィ
ードバック制御を迅速かつ自動的に行えるから、めっき
を連続的に施すことができる。
じて、つまり、図3(c)の測定強度IZnの範囲に応じ
て、測定強度IZnと理論X線強度が線形性を保つ有効波
長λeを選択するから、皮膜12の厚さTの広い範囲に
わたって、厚さTを精度良く測定できる。また、有効波
長λeを固定した場合は、図3(a),(b)のよう
に、測定強度IZnが一定値を越えると、算出値が化学分
析値に対し急激にずれを生じ、遂には解を持たなくな
る。これに対し、この発明は、図3(c)のように、か
かるずれを生じ始めるまでの範囲が極めて広くなり、や
はり、皮膜12の厚さTの広い範囲にわたって、厚さT
を測定できる。また、図1の選択器22が測定強度IZn
に応じて、自動的に有効波長λeを選択するので、フィ
ードバック制御を迅速かつ自動的に行えるから、めっき
を連続的に施すことができる。
【0026】図4は第2実施例を示す。この第2実施例
は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板を被測定試料10とし、
この被測定試料10における皮膜11の厚さTと組成比
W(重量%)の2つを未知の物理量としている。被測定
試料10は、めっき装置26で亜鉛めっきが施された
後、誘導加熱装置27で拡散させて、亜鉛めっき層をZ
nとFeからなる合金の皮膜12にしたものである。
は、合金化溶融亜鉛めっき鋼板を被測定試料10とし、
この被測定試料10における皮膜11の厚さTと組成比
W(重量%)の2つを未知の物理量としている。被測定
試料10は、めっき装置26で亜鉛めっきが施された
後、誘導加熱装置27で拡散させて、亜鉛めっき層をZ
nとFeからなる合金の皮膜12にしたものである。
【0027】この第2実施例では、付着量組成測定装置
(蛍光X線分析装置)20が、第1および第2測定器3
0,40を備えている。
(蛍光X線分析装置)20が、第1および第2測定器3
0,40を備えている。
【0028】第1測定器30は、平行光学系31,第1
分光結晶32,第1検出器33および第1計数回路部3
4を備えており、一次X線B1を受けた被測定試料10
に皮膜12からの亜鉛の蛍光X線B2の強度IZnを測定
するものである。第1分光結晶32は、被測定試料10
からの蛍光X線B2を、所定の回折角で回折して、第1
検出器33に入射させる。第1検出器33は、入射した
亜鉛の蛍光X線B2を検出して、検出出力e1として第
1計数回路部34に出力する。この第1計数回路部34
は検出出力e1をカウントして、亜鉛の蛍光X線B2の
測定強度を第1測定信号x1として選択器22に出力す
る。選択器22は前述の第1実施例と同様に有効波長λ
eを選択し、波長信号cおよび第1測定信号x1を出力
する。
分光結晶32,第1検出器33および第1計数回路部3
4を備えており、一次X線B1を受けた被測定試料10
に皮膜12からの亜鉛の蛍光X線B2の強度IZnを測定
するものである。第1分光結晶32は、被測定試料10
からの蛍光X線B2を、所定の回折角で回折して、第1
検出器33に入射させる。第1検出器33は、入射した
亜鉛の蛍光X線B2を検出して、検出出力e1として第
1計数回路部34に出力する。この第1計数回路部34
は検出出力e1をカウントして、亜鉛の蛍光X線B2の
測定強度を第1測定信号x1として選択器22に出力す
る。選択器22は前述の第1実施例と同様に有効波長λ
eを選択し、波長信号cおよび第1測定信号x1を出力
する。
【0029】第2測定器40は、平行光学系41、第2
分光結晶42、第2検出器43および第2計数回路部4
4を備えている。この第2測定器40は、一次X線B1
を受けた被測定試料10における皮膜12からの鉄の蛍
光X線B4の強度IFeを測定する。
分光結晶42、第2検出器43および第2計数回路部4
4を備えている。この第2測定器40は、一次X線B1
を受けた被測定試料10における皮膜12からの鉄の蛍
光X線B4の強度IFeを測定する。
【0030】被測定試料10は、一次X線B1を受けて
励起され、蛍光X線を発生する。第2分光結晶は、蛍光
X線のうち鉄の蛍光X線B4を、所定の回折角で回折し
て、第2検出器43に入射させる。第2検出器43は、
入射した鉄の蛍光X線B4を検出して、検出出力e2と
して第2計数回路部44に出力する。第2計数回路部4
4は、検出出力e2をカウントして、鉄の蛍光X線B4
の測定強度を第2測定信号x2として演算器23に出力
する。
励起され、蛍光X線を発生する。第2分光結晶は、蛍光
X線のうち鉄の蛍光X線B4を、所定の回折角で回折し
て、第2検出器43に入射させる。第2検出器43は、
入射した鉄の蛍光X線B4を検出して、検出出力e2と
して第2計数回路部44に出力する。第2計数回路部4
4は、検出出力e2をカウントして、鉄の蛍光X線B4
の測定強度を第2測定信号x2として演算器23に出力
する。
【0031】演算器23は、上記両測定信号x1,x2
および波長信号cを受けて、鉄および亜鉛の蛍光X線B
2,B4の測定強度と、選択された有効波長λeに基づ
いて、測定強度を理論X線強度に変換し、皮膜12の厚
さTおよび組成比Wを未知数とする周知の連立方程式を
解き、厚さTおよび組成比Wを演算する。
および波長信号cを受けて、鉄および亜鉛の蛍光X線B
2,B4の測定強度と、選択された有効波長λeに基づ
いて、測定強度を理論X線強度に変換し、皮膜12の厚
さTおよび組成比Wを未知数とする周知の連立方程式を
解き、厚さTおよび組成比Wを演算する。
【0032】演算器23は、演算した厚さTおよび組成
比Wを、それぞれ、厚さ信号tおよび組成比信号wとし
て、厚さ制御装置25および組成比制御装置28に出力
する。組成比制御装置28は、組成比信号wを受けて、
組成比制御信号Δwを誘導加熱装置27に出力し、組成
比Wが所定値になるように制御する。その他の構成は、
前述の第1実施例と同様であり、同一部分または相当部
分に同一符号を付してその詳しい説明を省略する。
比Wを、それぞれ、厚さ信号tおよび組成比信号wとし
て、厚さ制御装置25および組成比制御装置28に出力
する。組成比制御装置28は、組成比信号wを受けて、
組成比制御信号Δwを誘導加熱装置27に出力し、組成
比Wが所定値になるように制御する。その他の構成は、
前述の第1実施例と同様であり、同一部分または相当部
分に同一符号を付してその詳しい説明を省略する。
【0033】ここで、鉄については、元々、測定強度I
Feの広い範囲にわたって、測定強度IFeと理論X線強度
との線形性が大きいことから、有効波長λeは、亜鉛の
測定強度IZnに基づいて選択した有効波長λeを用い
る。なお、理論X線強度と測定強度が必ずしも完全な線
形性を保つように有効波長λeを設定する必要はなく、
測定誤差が小さい範囲で線形性を保てればよい。
Feの広い範囲にわたって、測定強度IFeと理論X線強度
との線形性が大きいことから、有効波長λeは、亜鉛の
測定強度IZnに基づいて選択した有効波長λeを用い
る。なお、理論X線強度と測定強度が必ずしも完全な線
形性を保つように有効波長λeを設定する必要はなく、
測定誤差が小さい範囲で線形性を保てればよい。
【0034】また、上記実施例では皮膜12の厚さTお
よび組成比Wを未知物理量としたが、未知物理量は必ず
しもこれらに限定されない。さらに、上記各実施例で
は、未知物理量の範囲、つまり、測定強度の範囲を2つ
に区分したが、3つ以上に区分するとともに、3つ以上
に区分した各範囲に対応する有効波長を設定してもよ
い。
よび組成比Wを未知物理量としたが、未知物理量は必ず
しもこれらに限定されない。さらに、上記各実施例で
は、未知物理量の範囲、つまり、測定強度の範囲を2つ
に区分したが、3つ以上に区分するとともに、3つ以上
に区分した各範囲に対応する有効波長を設定してもよ
い。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、測定強度の範囲を、つまり、未知物理量の範囲を、
予め2つ以上の範囲に区分するとともに、この区分した
各範囲に対応する有効波長を設定し、この設定した有効
波長を選択して用いることにより、測定強度と理論X線
強度とが、広い未知物理量の範囲にわたって線形性を保
つので、未知物理量の広い範囲にわたって、未知物理量
を比較的精度良く測定できる。また、測定強度つまり、
付着量の大小に応じて、自動的に有効波長を選択するの
で、品種が変化するような連続的な生産を行う生産ライ
ンに対応することができる。
ば、測定強度の範囲を、つまり、未知物理量の範囲を、
予め2つ以上の範囲に区分するとともに、この区分した
各範囲に対応する有効波長を設定し、この設定した有効
波長を選択して用いることにより、測定強度と理論X線
強度とが、広い未知物理量の範囲にわたって線形性を保
つので、未知物理量の広い範囲にわたって、未知物理量
を比較的精度良く測定できる。また、測定強度つまり、
付着量の大小に応じて、自動的に有効波長を選択するの
で、品種が変化するような連続的な生産を行う生産ライ
ンに対応することができる。
【図1】この発明の第1実施例を示す蛍光X線分析装置
を含むめっきラインの概略構成図である。
を含むめっきラインの概略構成図である。
【図2】一次X線の特性図である。
【図3】理論X線強度と測定強度との関係を示す特性図
である。
である。
【図4】第2実施例を示す蛍光X線分析装置を含む合金
化溶融亜鉛めっきラインの概略構成図である。
化溶融亜鉛めっきラインの概略構成図である。
10…被測定試料、21…X線源、22…選択器、23
…演算器、29…メモリ、30,40…測定器、B1…
一次X線、B2,B4…蛍光X線、T…厚さ(未知の物
理量)、λe…有効波長。
…演算器、29…メモリ、30,40…測定器、B1…
一次X線、B2,B4…蛍光X線、T…厚さ(未知の物
理量)、λe…有効波長。
Claims (2)
- 【請求項1】 連続X線を含む一次X線を被測定試料に
照射し、上記一次X線を受けた被測定試料からの蛍光X
線の強度を測定し、上記一次X線を予め設定した有効波
長からなる単色X線であると仮定して上記蛍光X線の測
定強度から被測定試料における未知の物理量を演算して
求める有効波長を用いた蛍光X線分析方法であって、 予め、上記未知の物理量の範囲を2つ以上に区分すると
ともに、この区分した各範囲に対応する有効波長を設定
し、この設定した複数種類の有効波長のうちから、測定
した蛍光X線の測定強度に応じて有効波長を選択し、こ
の選択した有効波長および蛍光X線の測定強度に基づい
て上記未知の物理量を演算して求める有効波長を用いた
蛍光X線分析方法。 - 【請求項2】 連続X線を含む一次X線を予め設定した
有効波長からなる単色X線であると仮定して蛍光X線の
測定強度から被測定試料における未知の物理量を演算し
て求める有効波長を用いた蛍光X線分析装置であって、 連続X線を含む一次X線を被測定試料に照射するX線源
と、上記一次X線を受けた被測定試料からの蛍光X線の
強度を測定する測定器と、上記未知の物理量の範囲を2
つ以上に区分した各範囲に対応する有効波長を記憶して
いるメモリと、この記憶されている複数種類の有効波長
のうちから上記測定された蛍光X線の測定強度に応じて
有効波長を選択する選択器と、この選択された有効波長
および蛍光X線の測定強度に基づいて上記未知の物理量
を演算して求める演算器とを備えた有効波長を用いた蛍
光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3254505A JP2563016B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 有効波長を用いた蛍光x線分析方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3254505A JP2563016B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 有効波長を用いた蛍光x線分析方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0566122A JPH0566122A (ja) | 1993-03-19 |
JP2563016B2 true JP2563016B2 (ja) | 1996-12-11 |
Family
ID=17265990
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3254505A Expired - Fee Related JP2563016B2 (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 有効波長を用いた蛍光x線分析方法および装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2563016B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP3254505A patent/JP2563016B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0566122A (ja) | 1993-03-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |