JP2561015Y2 - 多結晶シリコンの収容容器 - Google Patents
多結晶シリコンの収容容器Info
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- JP2561015Y2 JP2561015Y2 JP1992041796U JP4179692U JP2561015Y2 JP 2561015 Y2 JP2561015 Y2 JP 2561015Y2 JP 1992041796 U JP1992041796 U JP 1992041796U JP 4179692 U JP4179692 U JP 4179692U JP 2561015 Y2 JP2561015 Y2 JP 2561015Y2
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- Japan
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- polycrystalline silicon
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- basket
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、製品として出荷される
多結晶シリコンを収容する容器であって、洗浄工程から
袋詰め工程に至る一連の作業能率を高め、かつ内部に収
容した多結晶シリコンによって袋が破損するなどの問題
がなく、取扱いが便利であり、搬送や保存の信頼性の高
い収容容器に関する。
多結晶シリコンを収容する容器であって、洗浄工程から
袋詰め工程に至る一連の作業能率を高め、かつ内部に収
容した多結晶シリコンによって袋が破損するなどの問題
がなく、取扱いが便利であり、搬送や保存の信頼性の高
い収容容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】多結晶シリコンの製造においては、通
常、１〜２ｍ程度の棒状に成長させた多結晶シリコンを
２００ｍｍ程度の長さのチャンクと称する塊に切断し、
このチャンクを更に小さなランプと呼ばれる塊に破砕
し、エッチング洗浄して表面の酸化被膜などを除去した
後、これを製品として出荷する。この場合、半導体用材
料として用いられる多結晶シリコンは極めて高純度の品
質を有することが必要とされる。そこで、製品として出
荷する多結晶シリコンは外部から汚染されないように、
ポリエチレン製などの高分子材料の袋に詰めて出荷され
ている。
常、１〜２ｍ程度の棒状に成長させた多結晶シリコンを
２００ｍｍ程度の長さのチャンクと称する塊に切断し、
このチャンクを更に小さなランプと呼ばれる塊に破砕
し、エッチング洗浄して表面の酸化被膜などを除去した
後、これを製品として出荷する。この場合、半導体用材
料として用いられる多結晶シリコンは極めて高純度の品
質を有することが必要とされる。そこで、製品として出
荷する多結晶シリコンは外部から汚染されないように、
ポリエチレン製などの高分子材料の袋に詰めて出荷され
ている。
【０００３】従来は洗浄したランプ状の多結晶シリコン
を直接に袋詰めして出荷しているが、この多結晶シリコ
ンの外表面には鋭利な破砕端が突出していることが多
く、この突起が直接に収容袋に触れて袋が破損し、外部
から汚染物質が侵入し、また袋の微細な破損屑が付着し
て製品を汚染する問題がある。また、従来の製造工程で
は、ランプ状の多結晶シリコンを洗浄した後に手作業で
袋詰めしているために再汚染されたり、また人手を多く
必要とし、作業能率も低い。
を直接に袋詰めして出荷しているが、この多結晶シリコ
ンの外表面には鋭利な破砕端が突出していることが多
く、この突起が直接に収容袋に触れて袋が破損し、外部
から汚染物質が侵入し、また袋の微細な破損屑が付着し
て製品を汚染する問題がある。また、従来の製造工程で
は、ランプ状の多結晶シリコンを洗浄した後に手作業で
袋詰めしているために再汚染されたり、また人手を多く
必要とし、作業能率も低い。
【０００４】
【考案の解決課題】本考案は従来の袋詰め作業における
上記問題を解消するものであって、鋭利な破砕端を有す
る多結晶シリコンを収容しても破損し難く、かつ洗浄工
程から袋詰め工程に至る一連の作業工程での再汚染を防
ぎ、かつ作業能率を高める収容容器を提供することを目
的とする。
上記問題を解消するものであって、鋭利な破砕端を有す
る多結晶シリコンを収容しても破損し難く、かつ洗浄工
程から袋詰め工程に至る一連の作業工程での再汚染を防
ぎ、かつ作業能率を高める収容容器を提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題の解決手段】本考案によれば以下の構成からなる
多結晶シリコンの収容容器が提供される。 （１）塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴと、該内
カゴを収容する外袋とを有し、該内カゴは上記多結晶シ
リコンの破砕端の突起の平均外径よりも小さい孔径の多
数の通液孔を有する洗浄カゴを兼用し、一方、上記外袋
は洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを内カゴに収納
した状態で封止されることを特徴とする多結晶シリコン
の収容容器。本考案の上記収容容器は以下の態様を含
む。 （２）上記多結晶シリコンの破砕端の突起の平均外径よ
りも小さい孔径からなる網状部材によって内カゴが形成
されている上記（１）の収容容器。 （３）内カゴと外袋との間に空間を形成するリブが内カ
ゴの外表面に形成されている上記（１）または（２）に
記載の収容容器。 （４）内カゴに収容した状態で多結晶シリコンを洗浄す
るように該内カゴは開口部を上側にして吊下げ自在に形
成され、かつ該内カゴは洗浄した多結晶シリコンを収容
した状態で外袋に収容され、該外袋の上端が熱溶着さ
れ、または外袋の開口部が蓋材により密閉される上記
（１），（２）または（３）に記載の収容容器。
多結晶シリコンの収容容器が提供される。 （１）塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴと、該内
カゴを収容する外袋とを有し、該内カゴは上記多結晶シ
リコンの破砕端の突起の平均外径よりも小さい孔径の多
数の通液孔を有する洗浄カゴを兼用し、一方、上記外袋
は洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを内カゴに収納
した状態で封止されることを特徴とする多結晶シリコン
の収容容器。本考案の上記収容容器は以下の態様を含
む。 （２）上記多結晶シリコンの破砕端の突起の平均外径よ
りも小さい孔径からなる網状部材によって内カゴが形成
されている上記（１）の収容容器。 （３）内カゴと外袋との間に空間を形成するリブが内カ
ゴの外表面に形成されている上記（１）または（２）に
記載の収容容器。 （４）内カゴに収容した状態で多結晶シリコンを洗浄す
るように該内カゴは開口部を上側にして吊下げ自在に形
成され、かつ該内カゴは洗浄した多結晶シリコンを収容
した状態で外袋に収容され、該外袋の上端が熱溶着さ
れ、または外袋の開口部が蓋材により密閉される上記
（１），（２）または（３）に記載の収容容器。
【０００６】一般に、出荷用の収容容器は収容物を外部
から遮断して保護するために用いられるものであり、一
方、洗浄工程で用いる洗浄カゴは内部の多結晶シリコン
が洗浄液に接触し易いように保持するために用いられる
ものであって、両者はその使用目的が異なる。またその
構造も前者は外部に対して閉鎖型であるが後者は開放型
であり共通性がないため従来は出荷用の収容容器と洗浄
カゴを兼用することは全く行なわれていない。本考案は
出荷用の収容容器を外袋と内カゴによって形成すること
により、内カゴを洗浄カゴとして兼用できるようにし
た。
から遮断して保護するために用いられるものであり、一
方、洗浄工程で用いる洗浄カゴは内部の多結晶シリコン
が洗浄液に接触し易いように保持するために用いられる
ものであって、両者はその使用目的が異なる。またその
構造も前者は外部に対して閉鎖型であるが後者は開放型
であり共通性がないため従来は出荷用の収容容器と洗浄
カゴを兼用することは全く行なわれていない。本考案は
出荷用の収容容器を外袋と内カゴによって形成すること
により、内カゴを洗浄カゴとして兼用できるようにし
た。
【０００７】上記内カゴの形状は、上部が開放した箱状
のものでもよく、また筒状のものでもよい。なお取扱い
易さの点から、開口部を上側にして静置できる形状が好
ましい。外形寸法は収容する多結晶シリコン塊の量およ
び大きさによって適宜定められる。また該内カゴはその
形状および大きさに応じて十分な強度を有し、かつ洗浄
液に対して耐蝕性を持つ材質が選択される。なお金属材
料は多結晶シリコンの汚染源となるので好ましくない。
のものでもよく、また筒状のものでもよい。なお取扱い
易さの点から、開口部を上側にして静置できる形状が好
ましい。外形寸法は収容する多結晶シリコン塊の量およ
び大きさによって適宜定められる。また該内カゴはその
形状および大きさに応じて十分な強度を有し、かつ洗浄
液に対して耐蝕性を持つ材質が選択される。なお金属材
料は多結晶シリコンの汚染源となるので好ましくない。
【０００８】上記内カゴの一例として、５Kgのシリコン
ランプを収容する、ポリプロピレン製の内寸、１７０mm
×１７０mm×２００mmの角型内カゴが提示される。ポリ
プロピレンは洗浄液（弗酸と硝酸の混酸）に対して耐蝕
性を有し、洗浄後の乾燥工程での高温に耐え、かつシリ
コンへの汚染が少ない材質であり、上記内カゴの材質と
して好ましい。また容積効率の点から一般に角型の荷姿
が採用され、その大きさも作業性の点から５Kg程度の収
容容積が適当である。
ランプを収容する、ポリプロピレン製の内寸、１７０mm
×１７０mm×２００mmの角型内カゴが提示される。ポリ
プロピレンは洗浄液（弗酸と硝酸の混酸）に対して耐蝕
性を有し、洗浄後の乾燥工程での高温に耐え、かつシリ
コンへの汚染が少ない材質であり、上記内カゴの材質と
して好ましい。また容積効率の点から一般に角型の荷姿
が採用され、その大きさも作業性の点から５Kg程度の収
容容積が適当である。
【０００９】 上記内カゴは洗浄カゴとしても用いられ
るので、洗浄液に浸漬した際に洗浄液の出入りが良好
で、かつ液切れの良いことが求められる。このためには
側壁および底面に孔径の大きな通液孔を多数設ければよ
いが、既に述べたように、収容した多結晶シリコンの表
面には鋭利な破砕端が突出している場合が多いので、通
液孔が大きいと、破砕端が外部に突出して外袋を破損す
る懸念があるので、破砕端が外部に突出して外袋を破損
しない程度の口径、一般的には破砕端の突起の平均外径
よりも小さい孔径の通液孔が設けられる。通常、破砕端
の端面角度は４５°〜６０°であるので、３Ｋｇ容量の
内カゴの場合、３ｍｍ〜４ｍｍ径の丸孔、または短辺３
ｍｍ〜４ｍｍの長方形ないし正方形の通液孔であれば良
い。なお通液孔を大きくする場合には、内カゴの外表面
にリブ等を突設して内カゴと外袋との間に空間を形成す
るとよい。なお、該通液孔に適する孔径を有する網状部
材によって上記内カゴを形成してもよく、または板状部
材に上記通液孔を適宜の個数穿設して内カゴを形成して
も良い。洗浄液の出入りを良くするためには、内カゴの
底面に設けた通液孔の面積を底面全体の面積比で１５％
程度にすると良い。通液孔の面積が大き過ぎると、多結
晶シリコンの小さい破片が洗浄工程で流出し、また底面
の強度が不足するので好ましくない。
るので、洗浄液に浸漬した際に洗浄液の出入りが良好
で、かつ液切れの良いことが求められる。このためには
側壁および底面に孔径の大きな通液孔を多数設ければよ
いが、既に述べたように、収容した多結晶シリコンの表
面には鋭利な破砕端が突出している場合が多いので、通
液孔が大きいと、破砕端が外部に突出して外袋を破損す
る懸念があるので、破砕端が外部に突出して外袋を破損
しない程度の口径、一般的には破砕端の突起の平均外径
よりも小さい孔径の通液孔が設けられる。通常、破砕端
の端面角度は４５°〜６０°であるので、３Ｋｇ容量の
内カゴの場合、３ｍｍ〜４ｍｍ径の丸孔、または短辺３
ｍｍ〜４ｍｍの長方形ないし正方形の通液孔であれば良
い。なお通液孔を大きくする場合には、内カゴの外表面
にリブ等を突設して内カゴと外袋との間に空間を形成す
るとよい。なお、該通液孔に適する孔径を有する網状部
材によって上記内カゴを形成してもよく、または板状部
材に上記通液孔を適宜の個数穿設して内カゴを形成して
も良い。洗浄液の出入りを良くするためには、内カゴの
底面に設けた通液孔の面積を底面全体の面積比で１５％
程度にすると良い。通液孔の面積が大き過ぎると、多結
晶シリコンの小さい破片が洗浄工程で流出し、また底面
の強度が不足するので好ましくない。
【００１０】上記内カゴは、好適な実施態様として、そ
の開口部を上側にして吊下げ自在に形成される。例え
ば、内カゴの両側面にフックを設け、またはフックを係
合する突起部が設けられる。また、吊り下げ自在に形成
された外カゴの中に内カゴを入れる構造とし、この状態
で洗浄工程に付した後に外カゴから内カゴを取り出して
内カゴのままシリコンランプを外袋に収容しても良い。
洗浄工程および洗浄後の外袋への装入に至る一連の作業
を内カゴを吊下げた状態で行なうことにより、連続して
効率よく行なうことができる。また自動化にも適する。
の開口部を上側にして吊下げ自在に形成される。例え
ば、内カゴの両側面にフックを設け、またはフックを係
合する突起部が設けられる。また、吊り下げ自在に形成
された外カゴの中に内カゴを入れる構造とし、この状態
で洗浄工程に付した後に外カゴから内カゴを取り出して
内カゴのままシリコンランプを外袋に収容しても良い。
洗浄工程および洗浄後の外袋への装入に至る一連の作業
を内カゴを吊下げた状態で行なうことにより、連続して
効率よく行なうことができる。また自動化にも適する。
【００１１】上記外袋は、多結晶シリコンを収容した内
カゴを内部に装入した状態で封止される。封止方法は制
限されない。例えば、外袋の上端を熱溶着して密閉して
もよく、または開口部を蓋材によって覆い、その周縁全
体を熱溶着し、または接着剤を用いて密閉しても良い。
該外袋の材質は、シリコンへの汚染の影響が少なく、熱
溶着が容易なポリエチレンが一般に用いられる。
カゴを内部に装入した状態で封止される。封止方法は制
限されない。例えば、外袋の上端を熱溶着して密閉して
もよく、または開口部を蓋材によって覆い、その周縁全
体を熱溶着し、または接着剤を用いて密閉しても良い。
該外袋の材質は、シリコンへの汚染の影響が少なく、熱
溶着が容易なポリエチレンが一般に用いられる。
【００１２】
【実施例】本考案に係る収容容器の具体例を図１〜図３
に示す。図１において、ポリプロピレン製の内カゴ１０
はやや長方形の底面を持つ角型の形状を有する。該内カ
ゴ１０の両側面には口径３mm〜４mmの通液孔１１が縦横
各々８列ずつ設けられており、底面には口径３〜４mmの
通液孔が３６個設けられている。この内カゴ１０はポリ
エチレン製の外袋１２に装入されており、該外袋１２の
上端開口１３はその中央を寄合わせた状態に閉じられて
いる。
に示す。図１において、ポリプロピレン製の内カゴ１０
はやや長方形の底面を持つ角型の形状を有する。該内カ
ゴ１０の両側面には口径３mm〜４mmの通液孔１１が縦横
各々８列ずつ設けられており、底面には口径３〜４mmの
通液孔が３６個設けられている。この内カゴ１０はポリ
エチレン製の外袋１２に装入されており、該外袋１２の
上端開口１３はその中央を寄合わせた状態に閉じられて
いる。
【００１３】図２の収容容器は、図１と同様の内カゴ１
０をポリエチレン製の外袋１２に装入し、その上端開口
をポリエチレン製の蓋材１４によって覆い、該蓋材１４
の周縁１５を外袋１２の開口縁部に熱溶着して封止した
ものである。なお、内カゴ１０には図１の場合と同様に
通液孔１１が穿設されている。
０をポリエチレン製の外袋１２に装入し、その上端開口
をポリエチレン製の蓋材１４によって覆い、該蓋材１４
の周縁１５を外袋１２の開口縁部に熱溶着して封止した
ものである。なお、内カゴ１０には図１の場合と同様に
通液孔１１が穿設されている。
【００１４】図３の収容容器は、円筒形のポリプロピレ
ン製の内カゴ１６と同形の外袋１７によって形成されて
おり、該内カゴ１６の周面には図１の内カゴ１０のもの
と同様の通液孔１１が縦６列、横２１列穿設されてい
る。また底面には口径４mmの丸形の通液孔が２５個設け
られている。外袋１７の上端開口は円形の蓋材１８によ
って覆われており、該蓋材１８の周縁は外袋１７に接着
されている。
ン製の内カゴ１６と同形の外袋１７によって形成されて
おり、該内カゴ１６の周面には図１の内カゴ１０のもの
と同様の通液孔１１が縦６列、横２１列穿設されてい
る。また底面には口径４mmの丸形の通液孔が２５個設け
られている。外袋１７の上端開口は円形の蓋材１８によ
って覆われており、該蓋材１８の周縁は外袋１７に接着
されている。
【００１５】
【考案の効果】本考案の収容容器は、外袋と内カゴによ
って形成されており、この内カゴが洗浄カゴを兼用して
いるので、破砕した多結晶シリコンを内カゴに収容した
状態で洗浄し、そのまま乾燥して外袋に詰めることがで
きるので、洗浄後の再汚染の問題がなく、しかも洗浄か
ら出荷用の袋詰め作業に至る一連の作業を連続して行な
うことができるので作業能率が大幅に向上する。また、
破砕した多結晶シリコンは内カゴに収容されて袋詰めさ
れているので、その鋭利な破砕端が直接に外袋に接触し
てこれを破損するなどの虞がなく信頼性が高い。
って形成されており、この内カゴが洗浄カゴを兼用して
いるので、破砕した多結晶シリコンを内カゴに収容した
状態で洗浄し、そのまま乾燥して外袋に詰めることがで
きるので、洗浄後の再汚染の問題がなく、しかも洗浄か
ら出荷用の袋詰め作業に至る一連の作業を連続して行な
うことができるので作業能率が大幅に向上する。また、
破砕した多結晶シリコンは内カゴに収容されて袋詰めさ
れているので、その鋭利な破砕端が直接に外袋に接触し
てこれを破損するなどの虞がなく信頼性が高い。
【図１】 本考案に係る収容容器の斜視図
【図２】 本考案に係る収容容器の斜視図
【図３】 本考案に係る収容容器の斜視図
１０、１６−内カゴ １１−通液孔 １２、１７−外袋 １４、１８−蓋材 １３−上端開口 １５−周縁
Claims (4)
- 【請求項１】 塊状の多結晶シリコンを収容する内カゴ
と、該内カゴを収容する外袋とを有し、該内カゴは上記
多結晶シリコンの破砕端の突起の平均外径よりも小さい
孔径の多数の通液孔を有する洗浄カゴを兼用し、一方、
上記外袋は洗浄工程を経た塊状の多結晶シリコンを内カ
ゴに収納した状態で封止されることを特徴とする多結晶
シリコンの収容容器。 - 【請求項２】 上記多結晶シリコンの破砕端の突起の平
均外径よりも小さい孔径からなる網状部材によって内カ
ゴが形成されている請求項１の収容容器。 - 【請求項３】 内カゴと外袋との間に空間を形成するリ
ブが内カゴの外表面に形成されている請求項１または２
に記載の収容容器。 - 【請求項４】 内カゴに収容した状態で多結晶シリコン
を洗浄するように該内カゴは開口部を上側にして吊下げ
自在に形成され、かつ該内カゴは洗浄した多結晶シリコ
ンを収容した状態で外袋に収容され、該外袋の上端が熱
溶着され、または外袋の開口部が蓋材により密閉される
請求項１，２または３に記載の収容容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992041796U JP2561015Y2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 多結晶シリコンの収容容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992041796U JP2561015Y2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 多結晶シリコンの収容容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0594187U JPH0594187U (ja) | 1993-12-21 |
| JP2561015Y2 true JP2561015Y2 (ja) | 1998-01-28 |
Family
ID=12618303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992041796U Expired - Lifetime JP2561015Y2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 多結晶シリコンの収容容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2561015Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101578805B1 (ko) | 2013-12-27 | 2015-12-18 | 주식회사 진성플라스틱 | 저장용기용 내피 융착기 |
| KR20170063536A (ko) | 2014-09-26 | 2017-06-08 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 폴리실리콘 패키지 |
| US20220089341A1 (en) * | 2019-01-25 | 2022-03-24 | Tokuyama Corporation | Polycrystalline Silicon Lump, Packaging Body Thereof, and Method for Producing Same |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102007027110A1 (de) * | 2007-06-13 | 2008-12-18 | Wacker Chemie Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Verpacken von polykristallinem Siliciumbruch |
| JP5239624B2 (ja) * | 2007-08-27 | 2013-07-17 | 三菱マテリアル株式会社 | シリコンの梱包方法及び梱包体 |
| JP5194654B2 (ja) * | 2007-09-04 | 2013-05-08 | 三菱マテリアル株式会社 | シリコン材料用洗浄籠 |
| DE102013214099A1 (de) * | 2013-07-18 | 2015-01-22 | Wacker Chemie Ag | Verpackung von polykristallinem Silicium |
| DE102015207466A1 (de) * | 2015-04-23 | 2016-10-27 | Wacker Chemie Ag | Verpackung von Polysilicium |
| DE102015209629A1 (de) * | 2015-05-26 | 2016-12-01 | Wacker Chemie Ag | Verpackung von Polysilicium |
| JP7211154B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2023-01-24 | 三菱マテリアル株式会社 | シリコン用包装袋、シリコン包装体及びシリコンの包装方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60178761A (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-12 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 試験波形発生器接続回路 |
-
1992
- 1992-05-26 JP JP1992041796U patent/JP2561015Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101578805B1 (ko) | 2013-12-27 | 2015-12-18 | 주식회사 진성플라스틱 | 저장용기용 내피 융착기 |
| KR20170063536A (ko) | 2014-09-26 | 2017-06-08 | 가부시끼가이샤 도꾸야마 | 폴리실리콘 패키지 |
| US10518964B2 (en) | 2014-09-26 | 2019-12-31 | Tokuyama Corporation | Polysilicon package |
| US20220089341A1 (en) * | 2019-01-25 | 2022-03-24 | Tokuyama Corporation | Polycrystalline Silicon Lump, Packaging Body Thereof, and Method for Producing Same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0594187U (ja) | 1993-12-21 |
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