JP2559511Y2 - 長さ基準装置 - Google Patents
長さ基準装置Info
- Publication number
- JP2559511Y2 JP2559511Y2 JP10639191U JP10639191U JP2559511Y2 JP 2559511 Y2 JP2559511 Y2 JP 2559511Y2 JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP 10639191 U JP10639191 U JP 10639191U JP 2559511 Y2 JP2559511 Y2 JP 2559511Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- beam splitter
- splitter surface
- length
- optical crystal
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、物体までの絶対距離を
測定するアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装
置に関し、詳しくは固体素子化による小型化およびアラ
イメントを容易とした長さ基準装置に関するものであ
る。
測定するアブソリュート測長器に用いられる長さ基準装
置に関し、詳しくは固体素子化による小型化およびアラ
イメントを容易とした長さ基準装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来のアブソリュート測長器に用いられ
る長さ基準装置は、図2に示すようなハーフミラー31
と2つのコーナーキューブ32,33からなるマイケル
ソン型の干渉計で構成されたものである。図2におい
て、レーザ光源1からの出射光は、ハーフミラー2で2
つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー2を透過し
て、測長光学系へと導かれる。他方の光は、ハーフミラ
ー2で反射されて、長さ基準装置3へ導かれる。長さ基
準装置3へ入射された光は、ハーフミラー31で2つに
分岐される。一方の光は、ハーフミラー31を透過し
て、コーナーキューブ32に入射され、反射された後、
再びハーフミラー31に入射される。他方の光は、ハー
フミラー31で反射されて、コーナーキューブ33に入
射され、反射された後、再びハーフミラー31に入射さ
れ、コーナーキューブ32からの光と合波されて、両光
路長の差である基準長さに応じた干渉光(参照信号)と
なって出射される。
る長さ基準装置は、図2に示すようなハーフミラー31
と2つのコーナーキューブ32,33からなるマイケル
ソン型の干渉計で構成されたものである。図2におい
て、レーザ光源1からの出射光は、ハーフミラー2で2
つに分岐される。一方の光は、ハーフミラー2を透過し
て、測長光学系へと導かれる。他方の光は、ハーフミラ
ー2で反射されて、長さ基準装置3へ導かれる。長さ基
準装置3へ入射された光は、ハーフミラー31で2つに
分岐される。一方の光は、ハーフミラー31を透過し
て、コーナーキューブ32に入射され、反射された後、
再びハーフミラー31に入射される。他方の光は、ハー
フミラー31で反射されて、コーナーキューブ33に入
射され、反射された後、再びハーフミラー31に入射さ
れ、コーナーキューブ32からの光と合波されて、両光
路長の差である基準長さに応じた干渉光(参照信号)と
なって出射される。
【0003】しかしながら、上記従来技術に示す長さ基
準装置では、複数の光学部品を使用しているため、その
アライメントに手間が掛かり、また、ある程度の空間が
必要となるため、小型化にも限界があった。
準装置では、複数の光学部品を使用しているため、その
アライメントに手間が掛かり、また、ある程度の空間が
必要となるため、小型化にも限界があった。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】本考案は、上記従来技
術の課題を踏まえて成されたものであり、複数の光学部
品からなる長さ基準装置を1つに固体素子化することに
より、小型でアライメントの容易な長さ基準装置を提供
することを目的としたものである。
術の課題を踏まえて成されたものであり、複数の光学部
品からなる長さ基準装置を1つに固体素子化することに
より、小型でアライメントの容易な長さ基準装置を提供
することを目的としたものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本考案の構成は、物体までの絶対距離を測定するアブ
ソリュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、
その側面は対向面が少なくとも2組は平行である多面体
の光学結晶であり、この2組の平行対向面には、入射光
を光学結晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分
岐する偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリ
ッタ面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部へ
の透過光の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面と
このビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して
前記偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導
く第1および第2の反射面とが順次配置されるように形
成され、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前
記光学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプ
リッタ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とす
るものである。
の本考案の構成は、物体までの絶対距離を測定するアブ
ソリュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、
その側面は対向面が少なくとも2組は平行である多面体
の光学結晶であり、この2組の平行対向面には、入射光
を光学結晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分
岐する偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリ
ッタ面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部へ
の透過光の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面と
このビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して
前記偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導
く第1および第2の反射面とが順次配置されるように形
成され、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前
記光学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプ
リッタ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とす
るものである。
【0006】
【作用】本考案によれば、従来、長さ基準装置に必要な
複数の光学部品を1つの固体素子で構成したため、装置
が小型化でき、また、そのアライメントが容易となる。
複数の光学部品を1つの固体素子で構成したため、装置
が小型化でき、また、そのアライメントが容易となる。
【0007】
【実施例】以下、本考案を図面に基づいて説明する。図
1は本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図であ
る。図1において、4は長さ基準装置であり、六角柱形
の光学結晶である。41は光学結晶の側面の1つに形成
された偏光ビームスプリッタ面であり、この偏光ビーム
スプリッタ面41でレーザ光源1から出射された光が2
つに分岐され、透過光は光学結晶内部へ導かれる。42
は光学結晶の側面の1つに形成されたビームスプリッタ
面であり、このビームスプリッタ面42で偏光ビームス
プリッタ面41を透過した光がさらに2つに分岐され
る。43,44は光学結晶の側面の1つにそれぞれ形成
された反射面であり、ビームスプリッタ面42で反射さ
れた光を順次反射して偏光ビームスプリッタ面41に導
く第1および第2の反射面である。なお、この光学結晶
の対向面である偏光ビームスプリッタ面41と第1の反
射面43,ビームスプリッタ面42と第2の反射面44
は平行とされており、レーザ光源1から出射した光は、
偏光ビームスプリッタ面41に入射し、透過光が光学結
晶内部をビームスプリッタ面42,第1の反射面43,
第2の反射面44で順次反射して、再び偏光ビームスプ
リッタ面41に戻り、偏光ビームスプリッタ面41での
反射光と合流するように各面が配置されている。また、
光学結晶内部を反射する光が進んだ光路長が基準長さと
なるように光学結晶の寸法が設定されている。
1は本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図であ
る。図1において、4は長さ基準装置であり、六角柱形
の光学結晶である。41は光学結晶の側面の1つに形成
された偏光ビームスプリッタ面であり、この偏光ビーム
スプリッタ面41でレーザ光源1から出射された光が2
つに分岐され、透過光は光学結晶内部へ導かれる。42
は光学結晶の側面の1つに形成されたビームスプリッタ
面であり、このビームスプリッタ面42で偏光ビームス
プリッタ面41を透過した光がさらに2つに分岐され
る。43,44は光学結晶の側面の1つにそれぞれ形成
された反射面であり、ビームスプリッタ面42で反射さ
れた光を順次反射して偏光ビームスプリッタ面41に導
く第1および第2の反射面である。なお、この光学結晶
の対向面である偏光ビームスプリッタ面41と第1の反
射面43,ビームスプリッタ面42と第2の反射面44
は平行とされており、レーザ光源1から出射した光は、
偏光ビームスプリッタ面41に入射し、透過光が光学結
晶内部をビームスプリッタ面42,第1の反射面43,
第2の反射面44で順次反射して、再び偏光ビームスプ
リッタ面41に戻り、偏光ビームスプリッタ面41での
反射光と合流するように各面が配置されている。また、
光学結晶内部を反射する光が進んだ光路長が基準長さと
なるように光学結晶の寸法が設定されている。
【0008】このような構成において、レーザ光源11
から出射されるレーザ光(p偏光成分とs偏光成分に分
けられる直線偏光とする)は、長さ基準装置4の偏光ビ
ームスプリッタ面41に入射され、p偏光成分とS偏光
成分の2つに分岐される。s偏光成分の光は、偏光ビ−
ムスプリッタ面41で反射される。p偏光成分の光は、
偏光ビームスプリッタ面41を透過して、光学結晶内部
へ導かれ、ビームスプリッタ面42に入射される。入射
光は、ビームスプリッタ面42でさらに2つに分岐され
る。一方の光は、ビームスプリッタ面42を透過して、
測長光学系に導かれる。他方の光は、ビームスプリッタ
面42で反射されて、第1および第2の反射面43およ
び44で順次全反射され、偏光ビームスプリッタ面41
に入射される。入射光は、p偏光成分の光であるため、
偏光ビームスプリッタ面41を透過し、偏光ビームスプ
リッタ面41で反射されたs偏光成分の光と合波され
て、参照信号となる。この参照信号を干渉させること
で、光学結晶内部をp偏光成分が余分に進んだ効果が現
れる。
から出射されるレーザ光(p偏光成分とs偏光成分に分
けられる直線偏光とする)は、長さ基準装置4の偏光ビ
ームスプリッタ面41に入射され、p偏光成分とS偏光
成分の2つに分岐される。s偏光成分の光は、偏光ビ−
ムスプリッタ面41で反射される。p偏光成分の光は、
偏光ビームスプリッタ面41を透過して、光学結晶内部
へ導かれ、ビームスプリッタ面42に入射される。入射
光は、ビームスプリッタ面42でさらに2つに分岐され
る。一方の光は、ビームスプリッタ面42を透過して、
測長光学系に導かれる。他方の光は、ビームスプリッタ
面42で反射されて、第1および第2の反射面43およ
び44で順次全反射され、偏光ビームスプリッタ面41
に入射される。入射光は、p偏光成分の光であるため、
偏光ビームスプリッタ面41を透過し、偏光ビームスプ
リッタ面41で反射されたs偏光成分の光と合波され
て、参照信号となる。この参照信号を干渉させること
で、光学結晶内部をp偏光成分が余分に進んだ効果が現
れる。
【0009】このように、本考案の長さ基準装置では、
参照信号を得るために必要な複数の光学部品を1つの固
体素子で実現しており、装置を小型にできると共に、そ
のアライメントが容易となる。
参照信号を得るために必要な複数の光学部品を1つの固
体素子で実現しており、装置を小型にできると共に、そ
のアライメントが容易となる。
【0010】
【考案の効果】以上、実施例と共に具体的に説明したよ
うに、本考案によれば、長さ基準装置に必要な複数の光
学部品を1つの固体素子で構成したため、装置が小型化
できると共に、そのアライメントを容易とした効果を有
する長さ基準装置を実現できる。
うに、本考案によれば、長さ基準装置に必要な複数の光
学部品を1つの固体素子で構成したため、装置が小型化
できると共に、そのアライメントを容易とした効果を有
する長さ基準装置を実現できる。
【図1】本考案の長さ基準装置の一実施例を示す構成図
である。
である。
【図2】長さ基準装置の従来例である。
4 長さ基準装置 41 偏光ビームスプリッタ面 42 ビームスプリッタ面 43、44 反射面
Claims (1)
- 【請求項1】 物体までの絶対距離を測定するアブソリ
ュート測長器に用いられる長さ基準装置であって、その
側面は対向面が少なくとも2組は平行である多面体の光
学結晶であり、この2組の平行対向面には、入射光を光
学結晶内部への透過光と外部への反射光の2つに分岐す
る偏光ビームスプリッタ面とこの偏光ビームスプリッタ
面を透過した光を光学結晶内部への反射光と外部への透
過光の2つにさらに分岐するビームスプリッタ面とこの
ビームスプリッタ面で反射された光を順次反射して前記
偏光ビームスプリッタ面の前記入射光の入射面に導く第
1および第2の反射面とが順次配置されるように形成さ
れ、前記偏光ビームスプリッタ面に入射した光が前記光
学結晶内部を順次反射して再び前記偏光ビームスプリッ
タ面まで戻る光路を基準長さとしたことを特徴とする長
さ基準装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10639191U JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0555009U JPH0555009U (ja) | 1993-07-23 |
JP2559511Y2 true JP2559511Y2 (ja) | 1998-01-19 |
Family
ID=33486961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10639191U Expired - Fee Related JP2559511Y2 (ja) | 1991-12-24 | 1991-12-24 | 長さ基準装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2559511Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-24 JP JP10639191U patent/JP2559511Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0555009U (ja) | 1993-07-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323115 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |