JP2558562Y2 - Transport container for substrates - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【０００１】[0001]

【考案の技術分野】本考案はガラス基板あるいはウエハ
等を数十枚程収容して運搬するための基板用運搬容器に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate transport container for accommodating several tens of glass substrates or wafers and transporting them.

【０００２】[0002]

【考案の技術的背景】一般に、液晶用ガラス基板などを
製造工程等の都合で他の場所に移す場合には、基板同士
を互いに接触させないように、また、汚染を防止し安全
に運搬できるように、収容した状態で蓋が密に被冠され
る基板用運搬容器が使用される。[Technical background of the invention] Generally, when a glass substrate for a liquid crystal is moved to another place due to a manufacturing process or the like, it is necessary to prevent the substrates from contacting each other and to prevent contamination and to transport the glass safely. Then, a transporting container for a substrate whose cover is densely covered in a housed state is used.

【０００３】このような基板用運搬容器は、通常、軽量
で型成形が容易な合成樹脂により形成され、基板は水平
方向あるいは垂直方向に並べて収容される。図１１はこ
のように水平方向に開口が向く横置きタイプの従来の基
板用運搬容器１０を示したものである。このような、基
板を水平方向に配置する横置きタイプの運搬容器を成形
する場合には、中空本体１の開口部２が水平方向に形成
され、この開口部２から棚状に水平に形成された基板係
止部３に一枚づつ基板が挿入され、その後、蓋５が嵌合
される。[0003] Such a substrate transport container is usually formed of a lightweight and easily moldable synthetic resin, and the substrates are housed side by side in a horizontal or vertical direction. FIG. 11 shows a conventional substrate transport container 10 of a horizontal type whose opening faces in the horizontal direction. When such a horizontal type transport container in which the substrates are arranged in a horizontal direction is formed, the opening 2 of the hollow body 1 is formed in the horizontal direction, and the opening 2 is formed horizontally in a shelf shape from the opening 2. The substrates are inserted one by one into the substrate locking portions 3, and then the lid 5 is fitted.

【０００４】このようにして運搬容器内に収められた多
数の基板は、製造工程等のために汚染環境から保護され
て運搬され、水平状態で保管される。また、基板を運搬
容器１０から取り出す場合には、真空吸着治具などで吸
いつけて自動あるいは手動で取り出される。[0004] A large number of substrates housed in the transport container as described above are transported while being protected from a contaminated environment for a manufacturing process or the like, and stored in a horizontal state. When the substrate is taken out of the transport container 10, the substrate is sucked by a vacuum suction jig or the like and is taken out automatically or manually.

【０００５】ところで、このような運搬容器１０では、
基板を出し入れする際に、基板を水平状態で操作しない
と、基板の端面が基板係止部３に接触してしまい、基板
係止部３を削ってしまう虞がある。特に、ガラス基板等
を出し入れする場合には、若干の平行度がずれても、そ
の端面により容易にチッピングが発生し、削り粉により
基板表面が汚染される問題がある。このような不具合を
考慮して、基板用運搬容器１０では基板係止部３が可及
的に水平に形成されていることが好ましい。By the way, in such a transport container 10,
If the substrate is not operated in a horizontal state when the substrate is taken in and out, the end face of the substrate may come into contact with the substrate locking portion 3 and the substrate locking portion 3 may be scraped. In particular, when a glass substrate or the like is taken in and out, even if the degree of parallelism is slightly shifted, chipping easily occurs at the end face, and the substrate surface is contaminated by shavings. In consideration of such inconveniences, it is preferable that the substrate locking portion 3 is formed as horizontally as possible in the substrate transport container 10.

【０００６】しかしその一方で、このような運搬容器１
０の中空本体１を型で成形する場合には、成型上の都合
から、開口部２から壁部４に近づく程、幅寸法を小さく
し、ここに抜き勾配Ｐを設ける必要がある。しかしなが
ら、このように抜き勾配Ｐを底面に設けると、基板係止
部３の水平度に若干の誤差が生じていまう。すると、、
基板の出し入れの際にチッピングを発生したり、基板の
端面に割れ欠けが発生し易く、品質に重大な影響を及ぼ
すことになる。この傾向は特に自動で出し入れする場合
に著しい。However, on the other hand, such a transport container 1
When the hollow body 1 having a zero shape is formed by a mold, it is necessary to reduce the width dimension from the opening 2 to the wall 4 and provide a draft P here, for convenience in molding. However, when the draft P is provided on the bottom surface in this way, a slight error occurs in the horizontality of the board locking portion 3. Then,
Chipping occurs when the substrate is taken in and out, and cracks and chips are easily generated on the end surface of the substrate, which has a significant effect on quality. This tendency is remarkable especially when automatically taking in and out.

【０００７】こうした、型成型時の抜き勾配Ｐを考慮し
て基板係止部３の平行度を確保するには、基板係止部３
を予め若干ずらして作成することも考えられるが、この
ようにすると、さらに高度な加工精度が求められ、達成
が困難である。In order to ensure the parallelism of the board locking portion 3 in consideration of the draft P at the time of molding, the board locking portion 3 is required.
May be slightly shifted in advance, but in this case, higher processing accuracy is required and it is difficult to achieve.

【０００８】[0008]

【考案の目的】本考案は、このような実情に鑑みてなさ
れたもので、開口が横を向いた中空容器内に基板を自動
で出し入れする際のチッピング、あるいは基板端面の割
れ等の発生を容易な構造で確実に防止することのできる
基板運搬容器を提供することを目的としている。[Purpose of the Invention] The present invention has been made in view of such circumstances, and is intended to prevent occurrence of chipping when the substrate is automatically taken in and out of a hollow container having an opening facing sideways, or cracking of the end face of the substrate. It is an object of the present invention to provide a substrate transport container that can be reliably prevented with an easy structure.

【０００９】[0009]

【考案の概要】以上の目的を達成するための本考案は、
抜き勾配を設けて型成形した合成樹脂からなる中空本体
内の対向する両側壁部に基板を係止するための複数の基
板係止部を棚状に有し、基板を出し入れする際には一端
に設けた開口部を横に向けた姿勢に配置して前記抜き勾
配が形成された中空本体の側壁面を載置台に当接させる
とともに、前記開口部から前記基板を挿入して該基板を
前記基板係止部に掛け渡して収容するようにした基板用
運搬容器において、 前記中空本体の側壁面を前記載置台
に当接した状態で、前記載置台の載置基準面と前記中空
本体に形成された基板係止部とが平行となるように、前
記中空本体の前記側壁面に、前記中空本体の成形のため
に形成される抜き勾配を補正するための脚部を一体成形
したことを特徴としている。[Outline of the invention] The invention to achieve the above object
Hollow body made of synthetic resin molded with draft angle
Multiple substrates for locking the substrate to opposing side walls
It has a plate locking part in the shape of a shelf, and one end
The opening provided in
The side wall surface of the hollow body with the arrangement is brought into contact with the mounting table
At the same time, insert the substrate from the opening and remove the substrate
For a substrate that is accommodated by being hung over the substrate locking portion
In the transport container, the side wall surface of the hollow body may be placed on the mounting table.
In the state of contact with the mounting table, the mounting reference surface of the mounting table and the hollow
Adjust the front so that the board locking part formed on the main body is parallel.
For forming the hollow body on the side wall surface of the hollow body.
The leg portion for correcting the draft formed in the rim is integrally formed.

【００１０】このような本考案による基板運搬容器によ
れば、中空本体の最も平行度を必要とする基板係止部を
設計変更せずとも、基板を水平に載置することができ
る。したがって、自動挿入を行なう時にもチッピングの
発生あるいは割れ等の発生を可及的に防止でき、その構
造も容易である。According to such a substrate transport container according to the present invention, the substrate can be placed horizontally without changing the design of the substrate locking portion of the hollow body that requires the most parallelism. Therefore, even when automatic insertion is performed, occurrence of chipping or cracking can be prevented as much as possible, and the structure is easy.

【００１１】[0011]

【考案の具体的説明】以下、本考案を図面を参照しなが
ら説明する。図１は本考案の一実施例による基板用運搬
容器２０を示すものである。基板用運搬容器２０は中空
本体４０とこれに嵌合される蓋体３０とからなり、断面
略矩形状に形成され、中空本体４０及び蓋体３０は、各
々合成樹脂により一体成型される。図２に示したよう
に、中空本体４０における一方の端部には開口２１が形
成され、この端部には蓋体３０を弾性的に係合するため
の爪２２が形成されている。また、中空本体４０内に
は、図示しない基板を係止するための複数の基板係止部
２３が両側部に棚状に形成されている。これら基板係止
部２３は両側部にわたり連続的に形成されていてもよ
く、両側に部分的に形成されていてもよい。また、これ
ら各基板係止部２３の開口２１に臨む部位は面取りが形
成され、これにより基板を挿入しやすくなっている。更
に、中空本体４０の外側面には補強用のリブ２６が複数
箇所に形成されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a substrate transport container 20 according to an embodiment of the present invention. The substrate carrying container 20 includes a hollow main body 40 and a lid 30 fitted into the hollow main body 40, and is formed to have a substantially rectangular cross section. The hollow main body 40 and the lid 30 are integrally formed of synthetic resin. As shown in FIG. 2, an opening 21 is formed at one end of the hollow body 40, and a claw 22 for elastically engaging the lid 30 is formed at this end. In the hollow main body 40, a plurality of substrate locking portions 23 for locking a substrate (not shown) are formed in a shelf shape on both sides. These board locking portions 23 may be formed continuously on both sides, or may be formed partially on both sides. In addition, a portion of each of the board locking portions 23 facing the opening 21 is chamfered to facilitate insertion of the board. Further, reinforcing ribs 26 are formed at a plurality of locations on the outer surface of the hollow body 40.

【００１２】運搬容器２０は図１のように横置き状態で
水平面に載置されるが、その底側部２４には、型抜きの
ための抜き勾配Ｐが形成されている。また、この底側部
２４には、図２に明示したように、階段状に肉が厚く形
成されている。The transport container 20 is placed on a horizontal surface in a horizontal state as shown in FIG. 1, and a draft 24 is formed on a bottom side portion 24 of the transport container 20 for punching. In addition, as shown in FIG. 2, the bottom side portion 24 is thickly formed in a step shape.

【００１３】更に、中空本体４０の底側部２４には、基
板係止部２３と平行な基準面Ａを水平面に載置できるよ
うに、断面三角形状の脚部２７が両端部に各々１個づつ
形成されている。このような脚部２７を型成形する場合
にはスライドコアが用いられ、このコアを抜く場合に
は、上型と下型の分割面に対し、垂直方向に型抜きを行
えば良い。Further, on the bottom side 24 of the hollow body 40, one leg 27 having a triangular cross section is provided at each end so that a reference plane A parallel to the substrate locking part 23 can be placed on a horizontal plane. It is formed one by one. A slide core is used to form such a leg 27, and when the core is removed, the die may be removed in a direction perpendicular to the divided surfaces of the upper die and the lower die.

【００１４】このようにして形成された中空本体４０
は、図示しない載置台に、爪２２の部分を外した状態で
セットされる。したがって、脚部２７を備えた基板係止
部２３は、水平面と平行な基準面Ａに対し平行に配置す
ることができる。The hollow body 40 thus formed
Is set on a mounting table (not shown) with the claw 22 removed. Therefore, the board locking portion 23 having the leg portion 27 can be arranged parallel to the reference plane A parallel to the horizontal plane.

【００１５】このようにして水平に配置された中空本体
４０内に基板を収納する際には、開口２１にテーパ状の
面取りが形成されているので、基板との接触を小とし、
出し入れ時のチッピング及び割れ欠けの発生を防止でき
る。When the substrate is accommodated in the horizontally arranged hollow main body 40, the opening 21 is formed with a tapered chamfer, so that the contact with the substrate is reduced.
It is possible to prevent chipping and cracking at the time of taking in and out.

【００１６】こうして基板を収納した中空本体４０に
は、図１に示したように蓋体３０が嵌合され、これによ
り、基板は汚染環境から保護され運搬される。あるいは
その後に、所定場所に保管される。これにより、基板の
汚染が防止される。As shown in FIG. 1, the lid 30 is fitted into the hollow main body 40 in which the substrate is stored, whereby the substrate is protected from the contaminated environment and transported. Alternatively, thereafter, it is stored in a predetermined place. This prevents contamination of the substrate.

【００１７】以上、本考案の一実施例を説明したが、本
考案は上記実施例に限定されず、種々の変形が可能であ
る。例えば、以上の実施例では、脚部２７を２つ基板の
挿入方向と平行に設けたが、これに代え、図３のＡ、Ｂ
に示したように、基板挿入方向と平行に３本の直線状の
脚部２７を設けてもよい。Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible. For example, in the above embodiment, the two leg portions 27 are provided in parallel to the insertion direction of the board.
As shown in (3), three linear legs 27 may be provided in parallel with the board insertion direction.

【００１８】また、図４のＡ，Ｂに示したように、底側
部２４に基板挿入方向と直交する方向に、２つの脚部２
８、２８を設けてもよい。この場合、中空本体４０の開
口２１側に形成される脚部２８は、他方の脚部２８に対
し高さを小とし、これにより、基準面Ａが構成される。As shown in FIGS. 4A and 4B, the two leg portions 2 are provided on the bottom side portion 24 in a direction perpendicular to the board insertion direction.
8, 28 may be provided. In this case, the height of the leg 28 formed on the opening 21 side of the hollow main body 40 is smaller than that of the other leg 28, thereby forming the reference plane A.

【００１９】また、図５のＡ、Ｂに示したように、底側
部２４に基板挿入方向と直行する方向に、３つの脚部２
８を設けてもよい。また、図６のＡ、Ｂに示したよう
に、底側部２４の四隅に２本一組の脚部２９を設けても
よい。As shown in FIGS. 5A and 5B, the three leg portions 2 are provided on the bottom side portion 24 in a direction perpendicular to the board insertion direction.
8 may be provided. Further, as shown in FIGS. 6A and 6B, a pair of legs 29 may be provided at four corners of the bottom side portion 24.

【００２０】また、図７のＡ、Ｂに示したように、２本
一組の脚部２９の中央部に基板挿入方向と平行に直線状
の脚部２８を更に設けてもよい。また、図８のＡ、Ｂに
示したように、図７に示した直線状の脚部２８を基板挿
入方向と直行する方向に設けてもよい。As shown in FIGS. 7A and 7B, a linear leg 28 may be further provided at the center of the pair of legs 29 in parallel with the board insertion direction. Further, as shown in FIGS. 8A and 8B, the linear leg 28 shown in FIG. 7 may be provided in a direction perpendicular to the board insertion direction.

【００２１】また、図９に示したように、底側部２４に
矩形状の脚部３１を設けてもよい。この場合にも、開口
２１に近い程、脚部の高さを小とし、これにより、基準
面Ａが構成される。As shown in FIG. 9, a rectangular leg 31 may be provided on the bottom side 24. Also in this case, the closer to the opening 21 the smaller the height of the leg portion is, thereby forming the reference plane A.

【００２２】また、図１０に示したように、図９に示し
た矩形状の脚部３１内に基板挿入方向と直行方向にリブ
３２を差し渡した形状としてもよい。以上のような、各
形状の脚部であっても図１に示した脚部２７と同様の作
用効果を奏することができる。すなわち、抜き勾配Ｐが
形成された中空本体４０を水平状態にして載置すること
ができる。したがって、自動で基板を出し入れしてもチ
ッピング、あるいは割れ欠け等が発生することはない。Further, as shown in FIG. 10, a rib 32 may be formed in the rectangular leg 31 shown in FIG. 9 in the direction perpendicular to the substrate insertion direction. As described above, even with the leg portions having the respective shapes, the same operation and effect as those of the leg portion 27 shown in FIG. 1 can be obtained. That is, the hollow main body 40 in which the draft P is formed can be placed horizontally. Therefore, chipping or cracking does not occur even when the substrate is automatically taken in and out.

【００２３】[0023]

【考案の効果】以上、説明したように、本考案に係る基
板用運搬用器によれば、本体底面に脚部を一体に形成す
ることにより、最も平行度を必要とする基板係止部を設
計変更せずとも、基板を水平に載置することができる。
したがって、自動挿入を行なう時にもチッピングの発生
あるいは割れ等の発生を可及的に防止できる。しかも、
その構造も簡単である。As described above, according to the board carrier of the present invention, the legs are integrally formed on the bottom surface of the main body, so that the board locking portion requiring the most parallelism can be obtained. The substrate can be placed horizontally without changing the design.
Therefore, even when automatic insertion is performed, occurrence of chipping or cracking can be prevented as much as possible. Moreover,
Its structure is also simple.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】図１は本考案の一実施例に係る基板運搬容器の
底面図である。FIG. 1 is a bottom view of a substrate transport container according to an embodiment of the present invention.

【図２】図２は一実施例に係る基板運搬容器の中空容器
の半断面図である。FIG. 2 is a half sectional view of a hollow container of the substrate transport container according to one embodiment.

【図３】図３のＡ、Ｂは一実施例の第１の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 3A and 3B are a side view and a bottom view showing a first modification of the embodiment.

【図４】図４のＡ、Ｂは一実施例の第２の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 4A and 4B are a side view and a bottom view showing a second modification of the embodiment.

【図５】図５のＡ、Ｂは一実施例の第３の変形例を示す
側面図、及び底面図である。5A and 5B are a side view and a bottom view showing a third modification of the embodiment. FIG.

【図６】図６のＡ、Ｂは一実施例の第４の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 6A and 6B are a side view and a bottom view showing a fourth modification of the embodiment.

【図７】図７のＡ、Ｂは一実施例の第５の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 7A and 7B are a side view and a bottom view showing a fifth modification of the embodiment.

【図８】図８のＡ、Ｂは一実施例の第６の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 8A and 8B are a side view and a bottom view showing a sixth modification of the embodiment.

【図９】図９のＡ、Ｂは一実施例の第７の変形例を示す
側面図、及び底面図である。FIGS. 9A and 9B are a side view and a bottom view showing a seventh modification of the embodiment.

【図１０】図１０のＡ、Ｂは一実施例の第８の変形例を
示す側面図、及び底面図である。FIGS. 10A and 10B are a side view and a bottom view showing an eighth modification of the embodiment.

【図１１】図１１は従来の基板運搬容器の半断面図であ
る。FIG. 11 is a half sectional view of a conventional substrate transport container.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

２０…基板運搬容器 ２４…底側部 ２７、２８、２９、３１…脚部 ４０…中空本体 Reference Signs List 20: substrate transport container 24: bottom side portion 27, 28, 29, 31 leg 40: hollow body

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項１】 抜き勾配を設けて型成形した合成樹脂か
らなる中空本体内の対向する両側壁部に基板を係止する
ための複数の基板係止部を棚状に有し、基板を出し入れ
する際には一端に設けた開口部を横に向けた姿勢に配置
して前記抜き勾配が形成された中空本体の側壁面を載置
台に当接させるとともに、前記開口部から前記基板を挿
入して該基板を前記基板係止部に掛け渡して収容するよ
うにした基板用運搬容器において、 前記中空本体の側壁面を前記載置台に当接した状態で、
前記載置台の載置基準面と前記中空本体に形成された基
板係止部とが平行となるように、前記中空本体の前記側
壁面に、前記中空本体の成形のために形成される抜き勾
配を補正するための脚部を 一体成形したことを特徴とす
る基板用運搬容器。1. A synthetic resin molded with a draft angle.
Locks substrates on opposite side walls in a hollow body made of
For locking and unloading substrates
When opening, place the opening at one end in a posture facing sideways
And placing the side wall surface of the hollow body having the draft angle formed thereon
Abut the board and insert the board through the opening.
And insert the substrate into the substrate locking portion to accommodate it.
In the substrate transport container, the side wall surface of the hollow body is in contact with the mounting table,
The mounting reference surface of the mounting table and a base formed in the hollow body.
The side of the hollow body so that the plate locking portion is parallel
A draft formed for molding the hollow body is provided on a wall surface.
A transport container for substrates , wherein legs for correcting arrangement are integrally formed.