JP2558202Y2 - 顕微赤外スペクトル測定装置 - Google Patents
顕微赤外スペクトル測定装置Info
- Publication number
- JP2558202Y2 JP2558202Y2 JP40558290U JP40558290U JP2558202Y2 JP 2558202 Y2 JP2558202 Y2 JP 2558202Y2 JP 40558290 U JP40558290 U JP 40558290U JP 40558290 U JP40558290 U JP 40558290U JP 2558202 Y2 JP2558202 Y2 JP 2558202Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- slit
- sample
- unit
- infrared spectrum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は顕微赤外スペクトル測定
装置、特に試料の極微小部位の観察および赤外スペクト
ルの測定が行なえる顕微赤外スペクトル測定装置に関す
る。
装置、特に試料の極微小部位の観察および赤外スペクト
ルの測定が行なえる顕微赤外スペクトル測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば固体表面に付着した有機物等の分
子構造等を調べるため、各種顕微赤外スペクトル測定装
置が用いられる。このような顕微赤外スペクトル測定装
置は、一般に顕微鏡のステージに保持された試料の測定
面に赤外光を照射し、その透過光ないし反射吸収スペク
トルを測定している。
子構造等を調べるため、各種顕微赤外スペクトル測定装
置が用いられる。このような顕微赤外スペクトル測定装
置は、一般に顕微鏡のステージに保持された試料の測定
面に赤外光を照射し、その透過光ないし反射吸収スペク
トルを測定している。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、試料上の特
定部位の赤外スペクトルを測定するためには、他の部分
の光を制限しなければならない。このため、光路上にス
リットを設け、他の部分の光をカットしていた。
定部位の赤外スペクトルを測定するためには、他の部分
の光を制限しなければならない。このため、光路上にス
リットを設け、他の部分の光をカットしていた。
【０００４】しかし、これでは試料を観察するための視
野が同様に制限されてしまう。この結果、試料の観察に
支障をきたしてしまい、また試料のある部分に焦点を定
めることが極めて困難となるという課題があった。
野が同様に制限されてしまう。この結果、試料の観察に
支障をきたしてしまい、また試料のある部分に焦点を定
めることが極めて困難となるという課題があった。
【０００５】このような課題を解決するために、試料か
らの光を二分割し、一方をスリットにより特定部分の光
のみを取り出して受光手段および目視観察手段まで導光
し、他方をスリット等により光を制限せずに目視観察手
段のみに導光する手段が採用されることがあった。これ
により、観察手段では試料の特定部分のみならず、その
周辺部分も観察可能となるのである。
らの光を二分割し、一方をスリットにより特定部分の光
のみを取り出して受光手段および目視観察手段まで導光
し、他方をスリット等により光を制限せずに目視観察手
段のみに導光する手段が採用されることがあった。これ
により、観察手段では試料の特定部分のみならず、その
周辺部分も観察可能となるのである。
【０００６】ところが、このような光学系にあっても、
構成が複雑であり、しかも受光手段に導光される光が分
割されて用いられるので、視野が暗いという課題が残さ
れていた。
構成が複雑であり、しかも受光手段に導光される光が分
割されて用いられるので、視野が暗いという課題が残さ
れていた。
【０００７】本考案は前記従来技術の課題に鑑みなされ
たものであり、その目的は試料上のある特定部位のみの
赤外スペクトル観察が可能で、しかも明るくしかも広視
野を得ることの可能な顕微赤外スペクトル測定装置を提
供することにある。
たものであり、その目的は試料上のある特定部位のみの
赤外スペクトル観察が可能で、しかも明るくしかも広視
野を得ることの可能な顕微赤外スペクトル測定装置を提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本考案にかかる顕微赤外スペクトル測定装置は、導光
手段、照明手段、合成手段を備えたことを特徴とする。
ここで、前記導光手段は、前記顕微手段とスリットとの
間に設けられ、顕微手段から得られる試料像光を観察手
段に導光する。照明手段は、スリットの受光手段側に配
置されている。合成手段は、スリットを介した前記光源
よりのスリット像光を前記導光手段の試料像光と合成
し、目視観察手段に導光する。
に本考案にかかる顕微赤外スペクトル測定装置は、導光
手段、照明手段、合成手段を備えたことを特徴とする。
ここで、前記導光手段は、前記顕微手段とスリットとの
間に設けられ、顕微手段から得られる試料像光を観察手
段に導光する。照明手段は、スリットの受光手段側に配
置されている。合成手段は、スリットを介した前記光源
よりのスリット像光を前記導光手段の試料像光と合成
し、目視観察手段に導光する。
【０００９】
【作用】本考案にかかる顕微赤外スペクトル測定装置
は、前述したように試料像光は、スリット通過前に採取
するため、広い視野を確保することができる。そして、
スリット像光を試料像光と合成するため、目視観察手段
での目視観察にあたっては、試料像の中でスリット部
分、すなわち赤外スペクトルを採取する部分が明るくな
り、広い視野の試料像の中で赤外スペクトルを採取する
部分を明瞭に認識することが可能となる。
は、前述したように試料像光は、スリット通過前に採取
するため、広い視野を確保することができる。そして、
スリット像光を試料像光と合成するため、目視観察手段
での目視観察にあたっては、試料像の中でスリット部
分、すなわち赤外スペクトルを採取する部分が明るくな
り、広い視野の試料像の中で赤外スペクトルを採取する
部分を明瞭に認識することが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、図面に基づき本考案の好適な実施例を
説明する。図１には本考案の一実施例にかかる顕微赤外
スペクトル測定装置の概略構成図が示されている。
説明する。図１には本考案の一実施例にかかる顕微赤外
スペクトル測定装置の概略構成図が示されている。
【００１１】本実施例においては、装置を顕微赤外透過
吸収スペクトル測定装置としている。すなわち、顕微赤
外吸収スペクトル測定装置１０は、顕微手段１２と、分
光手段１４と、受光手段１６及び目視観察手段１８を含
む。そして、前記顕微手段１２はステージ２０を備え、
該ステージ２０上には試料２２が載置されている。そし
て、分光手段としてのフーリエ変換型分光光度計１４の
背面に設けられた光源２４より出光された光が、マイケ
ルソン干渉計２６により赤外干渉光とされる。該赤外干
渉光は、反射鏡２８，３０，３２を介してカセグレン副
鏡３４ａ及びカセグレン主鏡３４ｂにより試料２２上に
収束し、その透過光はカセグレン主鏡３６ａ及びカセグ
レン副鏡３６ｂを通し、図中上方に導光される。そして
スリット３８を通過し、反射鏡４０に反射された後、受
光器（受光手段）１６により光電変換される。
吸収スペクトル測定装置としている。すなわち、顕微赤
外吸収スペクトル測定装置１０は、顕微手段１２と、分
光手段１４と、受光手段１６及び目視観察手段１８を含
む。そして、前記顕微手段１２はステージ２０を備え、
該ステージ２０上には試料２２が載置されている。そし
て、分光手段としてのフーリエ変換型分光光度計１４の
背面に設けられた光源２４より出光された光が、マイケ
ルソン干渉計２６により赤外干渉光とされる。該赤外干
渉光は、反射鏡２８，３０，３２を介してカセグレン副
鏡３４ａ及びカセグレン主鏡３４ｂにより試料２２上に
収束し、その透過光はカセグレン主鏡３６ａ及びカセグ
レン副鏡３６ｂを通し、図中上方に導光される。そして
スリット３８を通過し、反射鏡４０に反射された後、受
光器（受光手段）１６により光電変換される。
【００１２】以上のようにして本実施例にかかる顕微赤
外透過スペクトル測定装置によれば、スリット３８によ
り試料２２の特定部位の赤外透過スペクトルを、正確に
測定することができる。
外透過スペクトル測定装置によれば、スリット３８によ
り試料２２の特定部位の赤外透過スペクトルを、正確に
測定することができる。
【００１３】本考案において特徴的なことは、目視観察
手段が明るく、しかも広視野の確保を可能とすることで
ある。このために本実施例においては、図２に示すよう
に、スリット３８とカセグレン鏡３６の間に、導光手段
としてのビームスプリッタ５０を配置し、カセグレン鏡
３６より得られる試料像光Ｌ1を、レンズ５２を介して
目視観察手段に導光する。
手段が明るく、しかも広視野の確保を可能とすることで
ある。このために本実施例においては、図２に示すよう
に、スリット３８とカセグレン鏡３６の間に、導光手段
としてのビームスプリッタ５０を配置し、カセグレン鏡
３６より得られる試料像光Ｌ1を、レンズ５２を介して
目視観察手段に導光する。
【００１４】一方、図中スリット３８の上方には照明手
段５４が設置され、該照明装置５４の照明光Ｌ２はレン
ズ５６、平面鏡５８を介してスリット３８に照射され
る。そして、スリット３８を通過したスリット像光Ｌ３
のみがビームスブリッタ５０により反射され、レンズ６
０、平面鏡６２を介して再度ビームスプリッタ５０を通
過し、結像点６２で前記試料像光Ｌ１と合成されてる。
段５４が設置され、該照明装置５４の照明光Ｌ２はレン
ズ５６、平面鏡５８を介してスリット３８に照射され
る。そして、スリット３８を通過したスリット像光Ｌ３
のみがビームスブリッタ５０により反射され、レンズ６
０、平面鏡６２を介して再度ビームスプリッタ５０を通
過し、結像点６２で前記試料像光Ｌ１と合成されてる。
【００１５】従って、目視観察手段では、試料像光Ｌ1
とスリット像光Ｌ3とが合成された観察視野を得ること
ができ、赤外スペクトルを得る部分はスリット像光Ｌ3
成分により明るくなる。
とスリット像光Ｌ3とが合成された観察視野を得ること
ができ、赤外スペクトルを得る部分はスリット像光Ｌ3
成分により明るくなる。
【００１６】このように本実施例にかかる赤外透過スペ
クトル測定装置によれば、従来のように目視観察手段に
至る光を分割して目視用に用いるのではなく、別途照明
光を用いてスリット像を試料像に重ね合わせるため、明
るくしかも広視野の目視観察が可能となる。
クトル測定装置によれば、従来のように目視観察手段に
至る光を分割して目視用に用いるのではなく、別途照明
光を用いてスリット像を試料像に重ね合わせるため、明
るくしかも広視野の目視観察が可能となる。
【００１７】又、同一像を分割、再合成するのではない
ため、組立て、調整も容易である。なお、本考案にかか
る機構は、赤外透過吸収スペクトル測定のみならず、赤
外反射吸収スペクトル測定にも適用することが可能であ
る。
ため、組立て、調整も容易である。なお、本考案にかか
る機構は、赤外透過吸収スペクトル測定のみならず、赤
外反射吸収スペクトル測定にも適用することが可能であ
る。
【００１８】
【考案の効果】以上説明したように本考案にかかる顕微
赤外スペクトル測定装置は、カセグレン鏡により集光さ
れた試料像光と、スリット像光を合成して目視観察手段
に導光することとしたので、明るくしかも広視野の目視
観察を可能とする。
赤外スペクトル測定装置は、カセグレン鏡により集光さ
れた試料像光と、スリット像光を合成して目視観察手段
に導光することとしたので、明るくしかも広視野の目視
観察を可能とする。
【図１】本考案の一実施例にかかる顕微赤外スペクトル
測定装置の概要図である。
測定装置の概要図である。
【図２】図１に示した目視観察用の光学系の構成説明図
である。
である。
１０ 顕微赤外スペクトル測定装置 １２ 顕微手段 １６ 受光手段 ５０ ビームスプリッタ（導光手段） ５４ 照明手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭47−37754（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−181066（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−142422（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−94518（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−20384（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−159966（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−249747（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−5367（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−78911（ＪＰ，Ｕ) 実公 平５−24203（ＪＰ，Ｙ２)
Claims (1)
- 【請求項１】カセグレン鏡を有し、ステージ上の試料よ
り光を採取する顕微手段と、 前記カセグレン鏡により採取された光から、前記試料の
特定部位の光のみを採取するスリットと、 スリットにより選択された光より赤外スペクトルを検出
する受光手段と、 前記カセグレン鏡により採取された光により、試料像を
目視観察可能とする目視観察手段と、を備えた顕微スペ
クトル測定装置において、 前記顕微手段とスリットとの間に設けられ、顕微手段か
らの試料像光を観察手段に導光する導光手段と、 前記スリットの受光手段側に配置された照明手段と、 スリットを介した前記光源よりのスリット像光を、前記
導光手段の試料像光と合成して目視観察手段に導光する
合成手段と、 を備えたことを特徴とする顕微赤外スペクトル測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40558290U JP2558202Y2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40558290U JP2558202Y2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590350U JPH0590350U (ja) | 1993-12-10 |
| JP2558202Y2 true JP2558202Y2 (ja) | 1997-12-24 |
Family
ID=18515188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40558290U Expired - Fee Related JP2558202Y2 (ja) | 1990-12-29 | 1990-12-29 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2558202Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4713391B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2011-06-29 | 日本分光株式会社 | 赤外顕微鏡 |
-
1990
- 1990-12-29 JP JP40558290U patent/JP2558202Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0590350U (ja) | 1993-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20050128476A1 (en) | Raman spectroscope | |
| JPH11132941A (ja) | 画像生成ａｔｒ分光装置及びスペクトル吸収画像を得る方法 | |
| JPH073365B2 (ja) | 顕微分光装置 | |
| US4744660A (en) | Apparatus for measuring difference in shallow level | |
| US20230280267A1 (en) | Analysis device | |
| US5241362A (en) | Microscopic spectrometer with auxiliary imaging system | |
| JP2558202Y2 (ja) | 顕微赤外スペクトル測定装置 | |
| JP2001021810A (ja) | 干渉顕微鏡 | |
| JP2528145Y2 (ja) | 顕微赤外スペクトル測定装置 | |
| JP3667397B2 (ja) | ラマン分光装置 | |
| US4181436A (en) | Microscope scanning accessory for a photometer | |
| US4673294A (en) | Film thickness measuring apparatus employing microprojector of spectral reflection measurement | |
| JP2006047780A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| JPH03148043A (ja) | 赤外線顕微分光測定装置 | |
| JP3143458U (ja) | シュバルツシルド式反射対物鏡およびシュバルツシルド式反射対物鏡を備えた赤外顕微鏡 | |
| JPH0524203Y2 (ja) | ||
| JP2575981B2 (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| JPH0618410A (ja) | 赤外顕微測定装置 | |
| JP2002357550A (ja) | プローブ及びそれを用いたラマン分光装置 | |
| JP4713391B2 (ja) | 赤外顕微鏡 | |
| JP2572767Y2 (ja) | 顕微赤外スペクトル測定装置 | |
| JP2001272326A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
| JP3447877B2 (ja) | 濃度計測光学系 | |
| JPH0432728A (ja) | コヒーレント光選択分光方法及び装置 | |
| JP3829663B2 (ja) | 分光光度計 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |