JP2558075B2 - 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法 - Google Patents
電気絶縁型ヒートパイプの製造方法Info
- Publication number
- JP2558075B2 JP2558075B2 JP6175189A JP17518994A JP2558075B2 JP 2558075 B2 JP2558075 B2 JP 2558075B2 JP 6175189 A JP6175189 A JP 6175189A JP 17518994 A JP17518994 A JP 17518994A JP 2558075 B2 JP2558075 B2 JP 2558075B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat pipe
- joint
- base plate
- solder
- joint portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ベースプレートに載置
された半導体素子の電流がヒートパイプを伝って放熱フ
ィンにまで流れることのないようになっている電気絶縁
型ヒートパイプを製造する方法に関するものである。
された半導体素子の電流がヒートパイプを伝って放熱フ
ィンにまで流れることのないようになっている電気絶縁
型ヒートパイプを製造する方法に関するものである。
【0002】
【従来技術及びその問題点】図10に示すように、ヒー
トパイプ型の熱交換器においては、ベースプレート11
に載置された半導体素子12に流される電流がヒートパ
イプ13を伝って放熱フィン14にまで流れることによ
る不都合を防止すべく、ヒートパイプ13の途中に電気
絶縁体(例えばセラミック)10を介在させることが提
案されている。即ち電気絶縁型ヒートパイプが提案され
ている(例えば特開昭56−108098)。なお、図
10において、ヒートパイプ13は紙面の表裏方向に複
数本並んで設けられている。
トパイプ型の熱交換器においては、ベースプレート11
に載置された半導体素子12に流される電流がヒートパ
イプ13を伝って放熱フィン14にまで流れることによ
る不都合を防止すべく、ヒートパイプ13の途中に電気
絶縁体(例えばセラミック)10を介在させることが提
案されている。即ち電気絶縁型ヒートパイプが提案され
ている(例えば特開昭56−108098)。なお、図
10において、ヒートパイプ13は紙面の表裏方向に複
数本並んで設けられている。
【0003】ところで、ヒートパイプ13は、熱交換器
自体の軽量化やコストの低減を図るため、アルミニウム
部材(即ちアルミニウム又はアルミニウム合金)で形成
されることが望ましい。しかし、電気絶縁体とアルミニ
ウム部材とは熱膨脹係数が大きく異なるので、両者を直
接に接合すると、接合部分に亀裂が生じ、ヒートパイプ
13の密封状態が破れる恐れがある。そこで、電気絶縁
体10とヒートパイプ13との間に、両者の中間の熱膨
脹係数を有する金属、例えば鉄系金属を介在させて、両
者を接合することが提案されている(例えば特開平2−
217791)。
自体の軽量化やコストの低減を図るため、アルミニウム
部材(即ちアルミニウム又はアルミニウム合金)で形成
されることが望ましい。しかし、電気絶縁体とアルミニ
ウム部材とは熱膨脹係数が大きく異なるので、両者を直
接に接合すると、接合部分に亀裂が生じ、ヒートパイプ
13の密封状態が破れる恐れがある。そこで、電気絶縁
体10とヒートパイプ13との間に、両者の中間の熱膨
脹係数を有する金属、例えば鉄系金属を介在させて、両
者を接合することが提案されている(例えば特開平2−
217791)。
【0004】しかしながら、上記においては、介在させ
る金属とヒートパイプ13との接合がろう付けにより行
なわれており、比較的高い温度にて接合作業を行なわな
ければならないため、アルミニウム部材からなるヒート
パイプ13に熱変形が生じる恐れがあり、熱交換器とし
ての性能が低下してしまうという恐れがあった。
る金属とヒートパイプ13との接合がろう付けにより行
なわれており、比較的高い温度にて接合作業を行なわな
ければならないため、アルミニウム部材からなるヒート
パイプ13に熱変形が生じる恐れがあり、熱交換器とし
ての性能が低下してしまうという恐れがあった。
【0005】なお、ベースプレート11についてもヒー
トパイプ13と同様にアルミニウム部材で形成されるこ
とが望ましい。ベースプレート11をアルミニウム部材
で形成し、しかも、電気絶縁体10をヒートパイプ13
を介することなく直接にベースプレート11に取付ける
場合には、上記と同様に介在させる金属が必要であり、
上記と同様の問題、即ちベースプレート11に熱変形が
生じる恐れがあった。
トパイプ13と同様にアルミニウム部材で形成されるこ
とが望ましい。ベースプレート11をアルミニウム部材
で形成し、しかも、電気絶縁体10をヒートパイプ13
を介することなく直接にベースプレート11に取付ける
場合には、上記と同様に介在させる金属が必要であり、
上記と同様の問題、即ちベースプレート11に熱変形が
生じる恐れがあった。
【0006】
【発明の目的】本発明は、ヒートパイプやベースプレー
トに熱変形のない高性能な電気絶縁型ヒートパイプを製
造することのできる方法を提供することを目的とする。
トに熱変形のない高性能な電気絶縁型ヒートパイプを製
造することのできる方法を提供することを目的とする。
【0007】
【目的を達成するための手段】本願の第1の発明は、半
導体素子の載置面を有するベースプレートと、多数の放
熱フィンが固定されたヒートパイプとが、電気絶縁継手
を介して取付けられて構成されており、ヒートパイプ及
びベースプレートはアルミニウム部材からなり、電気絶
縁継手は、電気絶縁体からなる筒体と、筒体の両端に固
着された継手部とからなり、継手部はアルミニウム部材
とは異なる金属であって銅以外の金属からなり、電気絶
縁継手は継手部にてヒートパイプ及びベースプレートに
接合されている、電気絶縁型ヒートパイプを製造する方
法において、継手部の接合面に銅めっきを施し、その接
合面を溶融状態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸
漬し、超音波振動を加えて接合面に上記はんだを付着さ
せ、付着した上記はんだを用いて継手部をヒートパイプ
及びベースプレートにはんだ付けしたことを特徴として
いる。
導体素子の載置面を有するベースプレートと、多数の放
熱フィンが固定されたヒートパイプとが、電気絶縁継手
を介して取付けられて構成されており、ヒートパイプ及
びベースプレートはアルミニウム部材からなり、電気絶
縁継手は、電気絶縁体からなる筒体と、筒体の両端に固
着された継手部とからなり、継手部はアルミニウム部材
とは異なる金属であって銅以外の金属からなり、電気絶
縁継手は継手部にてヒートパイプ及びベースプレートに
接合されている、電気絶縁型ヒートパイプを製造する方
法において、継手部の接合面に銅めっきを施し、その接
合面を溶融状態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸
漬し、超音波振動を加えて接合面に上記はんだを付着さ
せ、付着した上記はんだを用いて継手部をヒートパイプ
及びベースプレートにはんだ付けしたことを特徴として
いる。
【0008】本願の第2の発明は、半導体素子の載置面
を有するベースプレートに、多数の放熱フィンが固定さ
れたヒートパイプが取付けられ、放熱フィンとベースプ
レートとの間のヒートパイプの途中に電気絶縁継手が介
設されて構成されており、ヒートパイプはアルミニウム
部材からなり、電気絶縁継手は、電気絶縁体からなる筒
体と、筒体の両端に固着された継手部とからなり、継手
部はアルミニウム部材とは異なる金属であって銅以外の
金属からなり、電気絶縁継手は継手部にてヒートパイプ
に接合されている、電気絶縁型ヒートパイプを製造する
方法において、継手部の接合面に銅めっきを施し、その
接合面を溶融状態にあるアルミニウム部材用はんだ中に
浸漬し、超音波振動を加えて接合面に上記はんだを付着
させ、付着した上記はんだを用いて継手部をヒートパイ
プにはんだ付けしたことを特徴としている。
を有するベースプレートに、多数の放熱フィンが固定さ
れたヒートパイプが取付けられ、放熱フィンとベースプ
レートとの間のヒートパイプの途中に電気絶縁継手が介
設されて構成されており、ヒートパイプはアルミニウム
部材からなり、電気絶縁継手は、電気絶縁体からなる筒
体と、筒体の両端に固着された継手部とからなり、継手
部はアルミニウム部材とは異なる金属であって銅以外の
金属からなり、電気絶縁継手は継手部にてヒートパイプ
に接合されている、電気絶縁型ヒートパイプを製造する
方法において、継手部の接合面に銅めっきを施し、その
接合面を溶融状態にあるアルミニウム部材用はんだ中に
浸漬し、超音波振動を加えて接合面に上記はんだを付着
させ、付着した上記はんだを用いて継手部をヒートパイ
プにはんだ付けしたことを特徴としている。
【0009】
【作用】銅めっきが施された継手部の接合面を、溶融状
態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸漬した状態
で、超音波振動を加えると、キャビテーションが生じ
て、上記はんだが銅めっき層中に侵入していって冶金学
的な反応が生じ、合金層が形成されるとともに上記はん
だからなるめっき層が形成される。即ち、はんだめっき
層が合金層を介して継手部の接合面に強固に付着する。
このため、継手部と、ヒートパイプ、ベースプレートと
は、はんだ付けによりに接合される。従って、接合作業
時においてヒートパイプ、ベースプレートが、ろう付け
の場合のような高い温度に晒されることはなく、それ
故、ヒートパイプ、ベースプレートに、熱変形は生じな
い。
態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸漬した状態
で、超音波振動を加えると、キャビテーションが生じ
て、上記はんだが銅めっき層中に侵入していって冶金学
的な反応が生じ、合金層が形成されるとともに上記はん
だからなるめっき層が形成される。即ち、はんだめっき
層が合金層を介して継手部の接合面に強固に付着する。
このため、継手部と、ヒートパイプ、ベースプレートと
は、はんだ付けによりに接合される。従って、接合作業
時においてヒートパイプ、ベースプレートが、ろう付け
の場合のような高い温度に晒されることはなく、それ
故、ヒートパイプ、ベースプレートに、熱変形は生じな
い。
【0010】
【実施例】図1は本願の第1の発明の製造方法により得
られた電気絶縁型ヒートパイプを示す側面図である。こ
の電気絶縁型ヒートパイプは、電気絶縁継手15がヒー
トパイプ13を介することなく直接にベースプレート1
1に取付けられている点で図10のものと異なってい
る。なお、図1において、図10と同一符号は同じ又は
相当するものを示す。ベースプレート11及びヒートパ
イプ13は、共にアルミニウム合金(例えばA606
3、A1050)からなっている。ベースプレート11
には、電気絶縁継手15及びヒートパイプ13に連通す
る穴11aが形成されている。
られた電気絶縁型ヒートパイプを示す側面図である。こ
の電気絶縁型ヒートパイプは、電気絶縁継手15がヒー
トパイプ13を介することなく直接にベースプレート1
1に取付けられている点で図10のものと異なってい
る。なお、図1において、図10と同一符号は同じ又は
相当するものを示す。ベースプレート11及びヒートパ
イプ13は、共にアルミニウム合金(例えばA606
3、A1050)からなっている。ベースプレート11
には、電気絶縁継手15及びヒートパイプ13に連通す
る穴11aが形成されている。
【0011】図2は図1の要部分解拡大断面図である。
電気絶縁継手15は、電気絶縁体(例えばセラミック)
からなる筒体15aと、筒体15aの両端に例えばろう
付けにより固着された継手部16とで構成されている。
継手部16はインバー合金(Fe−42%Ni合金)か
らなっている。継手部16は筒状の本体16aと外向き
のフランジ16bとからなる断面L字型のものであり、
フランジ16bにて筒体15aの端面に固着されてい
る。
電気絶縁継手15は、電気絶縁体(例えばセラミック)
からなる筒体15aと、筒体15aの両端に例えばろう
付けにより固着された継手部16とで構成されている。
継手部16はインバー合金(Fe−42%Ni合金)か
らなっている。継手部16は筒状の本体16aと外向き
のフランジ16bとからなる断面L字型のものであり、
フランジ16bにて筒体15aの端面に固着されてい
る。
【0012】そして、電気絶縁継手15は、ベースプレ
ート11の穴11aの大径部11b及びヒートパイプ1
3の大径部13aに両側の継手部16の本体16aをそ
れぞれ嵌入し、ベースプレート11と継手部16、及び
ヒートパイプ13と継手部16をそれぞれアルミニウム
部材用はんだであるZn−5%Alを用いてはんだ付け
して、ヒートパイプ13とベースプレート11との間に
介設されている。
ート11の穴11aの大径部11b及びヒートパイプ1
3の大径部13aに両側の継手部16の本体16aをそ
れぞれ嵌入し、ベースプレート11と継手部16、及び
ヒートパイプ13と継手部16をそれぞれアルミニウム
部材用はんだであるZn−5%Alを用いてはんだ付け
して、ヒートパイプ13とベースプレート11との間に
介設されている。
【0013】次に、上記構成の電気絶縁型ヒートパイプ
の製造方法について説明する。この製造方法は、ベース
プレート11と継手部16、及びヒートパイプ13と継
手部16をそれぞれはんだ付けすることを特徴としてい
る。そのはんだ付けは、次のようにして行なう。図3な
いし図7ははんだ付けの方法を工程順に示す断面図であ
る。なお、ここでは、継手部16とヒートパイプ13と
のはんだ付けについて説明しているが、継手部16とベ
ースプレート11とのはんだ付けについても同様であ
る。
の製造方法について説明する。この製造方法は、ベース
プレート11と継手部16、及びヒートパイプ13と継
手部16をそれぞれはんだ付けすることを特徴としてい
る。そのはんだ付けは、次のようにして行なう。図3な
いし図7ははんだ付けの方法を工程順に示す断面図であ
る。なお、ここでは、継手部16とヒートパイプ13と
のはんだ付けについて説明しているが、継手部16とベ
ースプレート11とのはんだ付けについても同様であ
る。
【0014】まず、図3に示すように、電気絶縁継手1
5の継手部16の本体16aの外面及びフランジ16b
の筒体15aとは反対側の面(以下、両者を併せて「継
手部16の外面」と称する)に銅めっき層20を形成す
る。このめっき処理は、通常の方法、即ち脱脂、水洗、
電解、水洗、乾燥という工程を経て行なわれる。その際
の電解条件は表1に示す通りである。電解時間を約1〜
3分とすることにより、数μmの厚さの銅めっき層20
が得られた。
5の継手部16の本体16aの外面及びフランジ16b
の筒体15aとは反対側の面(以下、両者を併せて「継
手部16の外面」と称する)に銅めっき層20を形成す
る。このめっき処理は、通常の方法、即ち脱脂、水洗、
電解、水洗、乾燥という工程を経て行なわれる。その際
の電解条件は表1に示す通りである。電解時間を約1〜
3分とすることにより、数μmの厚さの銅めっき層20
が得られた。
【0015】
【表1】
【0016】次に、図4に示すように、銅めっき層20
の形成された継手部16を、溶融状態にあるアルミニウ
ム部材用はんだ21中に浸漬し、超音波振動を適切なホ
ーンを通じて継手部16又ははんだ浴22に加える。Z
n−5%Alであるはんだ21の融点は約380℃であ
る。超音波の周波数は約17.6KHzとする。超音波
振動を加えることにより、キャビテーションが生じる。
これにより、はんだ21が銅めっき層20中に侵入して
いって冶金学的な反応が生じ、図5に示すように合金層
23が形成されるとともにはんだ21からなるめっき層
24が形成される。即ち、はんだめっき層24が合金層
23を介して継手部16の外面に強固に付着する。
の形成された継手部16を、溶融状態にあるアルミニウ
ム部材用はんだ21中に浸漬し、超音波振動を適切なホ
ーンを通じて継手部16又ははんだ浴22に加える。Z
n−5%Alであるはんだ21の融点は約380℃であ
る。超音波の周波数は約17.6KHzとする。超音波
振動を加えることにより、キャビテーションが生じる。
これにより、はんだ21が銅めっき層20中に侵入して
いって冶金学的な反応が生じ、図5に示すように合金層
23が形成されるとともにはんだ21からなるめっき層
24が形成される。即ち、はんだめっき層24が合金層
23を介して継手部16の外面に強固に付着する。
【0017】一方、図6に示すように、ヒートパイプ1
3の大径部13aの内面及び端面にもはんだ21からな
るめっき層24を形成する。このめっき処理は図4に示
す場合と同様に、大径部13aを溶融されたはんだ21
中に浸漬し、超音波振動を大径部13a又ははんだ浴2
2に加えて行なわれる。
3の大径部13aの内面及び端面にもはんだ21からな
るめっき層24を形成する。このめっき処理は図4に示
す場合と同様に、大径部13aを溶融されたはんだ21
中に浸漬し、超音波振動を大径部13a又ははんだ浴2
2に加えて行なわれる。
【0018】そして、図7に示すように、継手部16の
はんだめっき層24と大径部13aのはんだめっき層2
4とを合わせ、両めっき層24を溶融させるとともに継
手部16又は大径部13aに超音波振動を加えることに
より、継手部16と大径部13a即ちヒートパイプ13
とを接合させる。即ち、継手部16とヒートパイプ13
とをはんだ付けする。
はんだめっき層24と大径部13aのはんだめっき層2
4とを合わせ、両めっき層24を溶融させるとともに継
手部16又は大径部13aに超音波振動を加えることに
より、継手部16と大径部13a即ちヒートパイプ13
とを接合させる。即ち、継手部16とヒートパイプ13
とをはんだ付けする。
【0019】継手部16とベースプレート11とのはん
だ付けも、上記と同様に、継手部16に合金層23を介
してはんだめっき層24を形成し、一方、ベースプレー
ト11の大径部11bの壁にもはんだめっき層24を形
成し、図8に示すように両めっき層24を合わせて溶融
して行なう。
だ付けも、上記と同様に、継手部16に合金層23を介
してはんだめっき層24を形成し、一方、ベースプレー
ト11の大径部11bの壁にもはんだめっき層24を形
成し、図8に示すように両めっき層24を合わせて溶融
して行なう。
【0020】このように上記の方法では、銅めっき層2
0を形成したことにより合金層23が形成され、合金層
23を介することによってはんだめっき層24がインバ
ー合金からなる継手部16に強固に付着する。従って、
はんだめっき層24を介することによって継手部16と
ヒートパイプ13、及び継手部16とベースプレート1
1とがはんだ付けにより接合されることとなる。
0を形成したことにより合金層23が形成され、合金層
23を介することによってはんだめっき層24がインバ
ー合金からなる継手部16に強固に付着する。従って、
はんだめっき層24を介することによって継手部16と
ヒートパイプ13、及び継手部16とベースプレート1
1とがはんだ付けにより接合されることとなる。
【0021】はんだめっき層24を形成する際の温度
は、はんだ21を溶融させるための400℃程度であ
り、一般的なろう付け温度(600℃程度)よりかなり
低いものである。このためヒートパイプ13、ベースプ
レート11、継手部16には熱変形は生じない。従っ
て、得られた電気絶縁型ヒートパイプは、ベースプレー
ト11、電気絶縁継手15及びヒートパイプ13からな
る内部空間の密封状態が確実に保たれており、高性能を
有するものとなる。
は、はんだ21を溶融させるための400℃程度であ
り、一般的なろう付け温度(600℃程度)よりかなり
低いものである。このためヒートパイプ13、ベースプ
レート11、継手部16には熱変形は生じない。従っ
て、得られた電気絶縁型ヒートパイプは、ベースプレー
ト11、電気絶縁継手15及びヒートパイプ13からな
る内部空間の密封状態が確実に保たれており、高性能を
有するものとなる。
【0022】また、ろう付け作業に比して低い温度で作
業できるので、作業性も良好である。しかも、超音波振
動を加えることにより、フラックスを用いることなくは
んだめっき層24が形成される。従って、フラックスの
後処理は不要であり、また、フラックスによってヒート
パイプ13、ベースプレート11、継手部16が腐食さ
れることもない。従って、得られた電気絶縁型ヒートパ
イプは、品質も良好なものとなる。
業できるので、作業性も良好である。しかも、超音波振
動を加えることにより、フラックスを用いることなくは
んだめっき層24が形成される。従って、フラックスの
後処理は不要であり、また、フラックスによってヒート
パイプ13、ベースプレート11、継手部16が腐食さ
れることもない。従って、得られた電気絶縁型ヒートパ
イプは、品質も良好なものとなる。
【0023】図9は本願の第2の発明の製造方法により
得られた電気絶縁型ヒートパイプを示す要部分解拡大断
面図である。図9において、図2と同一符号は同じ又は
相当するものを示す。この電気絶縁型ヒートパイプで
は、電気絶縁継手15がヒートパイプ13の途中に介設
されており、両側の継手部16はそれぞれ両側のヒート
パイプ13の大径部13aにはんだ付けされている。な
お、ベースプレート11側のヒートパイプ13は閉じて
おり、穴11aに挿入されて例えばはんだ付けにより穴
11a壁面に接合されている。
得られた電気絶縁型ヒートパイプを示す要部分解拡大断
面図である。図9において、図2と同一符号は同じ又は
相当するものを示す。この電気絶縁型ヒートパイプで
は、電気絶縁継手15がヒートパイプ13の途中に介設
されており、両側の継手部16はそれぞれ両側のヒート
パイプ13の大径部13aにはんだ付けされている。な
お、ベースプレート11側のヒートパイプ13は閉じて
おり、穴11aに挿入されて例えばはんだ付けにより穴
11a壁面に接合されている。
【0024】上記構成の電気絶縁型ヒートパイプを製造
する際の、継手部16とヒートパイプ13とのはんだ付
けも、図3ないし図7と同様に行なう。従って、電気絶
縁型ヒートパイプの製造時において、両側のヒートパイ
プ13に熱変形は生じない。従って、得られた電気絶縁
型ヒートパイプは、ベースプレート11、電気絶縁継手
15及びヒートパイプ13からなる内部空間の密封状態
が確実に保たれており、高性能を有するものとなる。ま
た、図3ないし図7と同様にはんだ付けしているので、
フラックスが不要である。従って、得られた電気絶縁型
ヒートパイプは、品質も良好なものとなる。
する際の、継手部16とヒートパイプ13とのはんだ付
けも、図3ないし図7と同様に行なう。従って、電気絶
縁型ヒートパイプの製造時において、両側のヒートパイ
プ13に熱変形は生じない。従って、得られた電気絶縁
型ヒートパイプは、ベースプレート11、電気絶縁継手
15及びヒートパイプ13からなる内部空間の密封状態
が確実に保たれており、高性能を有するものとなる。ま
た、図3ないし図7と同様にはんだ付けしているので、
フラックスが不要である。従って、得られた電気絶縁型
ヒートパイプは、品質も良好なものとなる。
【0025】なお、両発明において、継手部16にはチ
タン、ステンレス等を用いることもでき、また、ヒート
パイプ13やベースプレート11のアルミニウム部材と
してはアルミニウムや他のアルミニウム合金を用いるこ
ともできる。また、継手部16とヒートパイプ13及び
ベースプレート11とを接合させる際に超音波振動を加
えることは必ずしも必要ではない。
タン、ステンレス等を用いることもでき、また、ヒート
パイプ13やベースプレート11のアルミニウム部材と
してはアルミニウムや他のアルミニウム合金を用いるこ
ともできる。また、継手部16とヒートパイプ13及び
ベースプレート11とを接合させる際に超音波振動を加
えることは必ずしも必要ではない。
【0026】
【発明の効果】請求項1記載の製造方法によれば、電気
絶縁継手15を継手部16にてはんだ付けによりヒート
パイプ13及びベースプレート11に接合できるので、
製造時にヒートパイプ13及びベースプレート11に熱
変形が生じるのを防止でき、高性能な電気絶縁型ヒート
パイプを得ることができる。
絶縁継手15を継手部16にてはんだ付けによりヒート
パイプ13及びベースプレート11に接合できるので、
製造時にヒートパイプ13及びベースプレート11に熱
変形が生じるのを防止でき、高性能な電気絶縁型ヒート
パイプを得ることができる。
【0027】請求項2記載の製造方法によれば、電気絶
縁継手15を継手部16にてはんだ付けによりヒートパ
イプ13に接合できるので、製造時にヒートパイプ13
に熱変形が生じるのを防止でき、高性能な電気絶縁型ヒ
ートパイプを得ることができる。
縁継手15を継手部16にてはんだ付けによりヒートパ
イプ13に接合できるので、製造時にヒートパイプ13
に熱変形が生じるのを防止でき、高性能な電気絶縁型ヒ
ートパイプを得ることができる。
【図1】 本願の第1の発明の製造方法により得られた
電気絶縁型ヒートパイプを示す側面図である。
電気絶縁型ヒートパイプを示す側面図である。
【図2】 図1の要部分解拡大断面図である。
【図3】 継手部とヒートパイプとのはんだ付けを行な
うための第1工程を示す断面図である。
うための第1工程を示す断面図である。
【図4】 継手部とヒートパイプとのはんだ付けを行な
うための第2工程を示す断面図である。
うための第2工程を示す断面図である。
【図5】 継手部とヒートパイプとのはんだ付けを行な
うための第3工程を示す断面図である。
うための第3工程を示す断面図である。
【図6】 継手部とヒートパイプとのはんだ付けを行な
うための第4工程を示す断面図である。
うための第4工程を示す断面図である。
【図7】 継手部とヒートパイプとのはんだ付けを行な
うための第5工程を示す断面図である。
うための第5工程を示す断面図である。
【図8】 継手部とベースプレートとのはんだ付けを行
なうための一工程を示す断面図である。
なうための一工程を示す断面図である。
【図9】 本願の第2の発明の製造方法により得られた
電気絶縁型ヒートパイプを示す要部分解拡大断面図であ
る。
電気絶縁型ヒートパイプを示す要部分解拡大断面図であ
る。
【図10】 従来一般的な電気絶縁型ヒートパイプを示
す側面図である。
す側面図である。
11 ベースプレート 12 半導体素子 13 ヒートパイプ 14 放熱フィン 15 電気絶縁継手 15a 筒体 16 継手部
Claims (2)
- 【請求項1】 半導体素子の載置面を有するベースプレ
ートと、多数の放熱フィンが固定されたヒートパイプと
が、電気絶縁継手を介して取付けられて構成されてお
り、ヒートパイプ及びベースプレートはアルミニウム部
材からなり、電気絶縁継手は、電気絶縁体からなる筒体
と、筒体の両端に固着された継手部とからなり、継手部
はアルミニウム部材とは異なる金属であって銅以外の金
属からなり、電気絶縁継手は継手部にてヒートパイプ及
びベースプレートに接合されている、電気絶縁型ヒート
パイプを製造する方法において、 継手部の接合面に銅めっきを施し、その接合面を溶融状
態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸漬し、超音波
振動を加えて接合面に上記はんだを付着させ、付着した
上記はんだを用いて継手部をヒートパイプ及びベースプ
レートにはんだ付けしたことを特徴とする電気絶縁型ヒ
ートパイプの製造方法。 - 【請求項2】 半導体素子の載置面を有するベースプレ
ートに、多数の放熱フィンが固定されたヒートパイプが
取付けられ、放熱フィンとベースプレートとの間のヒー
トパイプの途中に電気絶縁継手が介設されて構成されて
おり、ヒートパイプはアルミニウム部材からなり、電気
絶縁継手は、電気絶縁体からなる筒体と、筒体の両端に
固着された継手部とからなり、継手部はアルミニウム部
材とは異なる金属であって銅以外の金属からなり、電気
絶縁継手は継手部にてヒートパイプに接合されている、
電気絶縁型ヒートパイプを製造する方法において、 継手部の接合面に銅めっきを施し、その接合面を溶融状
態にあるアルミニウム部材用はんだ中に浸漬し、超音波
振動を加えて接合面に上記はんだを付着させ、付着した
上記はんだを用いて継手部をヒートパイプにはんだ付け
したことを特徴とする電気絶縁型ヒートパイプの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6175189A JP2558075B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6175189A JP2558075B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0749188A JPH0749188A (ja) | 1995-02-21 |
JP2558075B2 true JP2558075B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=15991848
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6175189A Expired - Lifetime JP2558075B2 (ja) | 1994-07-27 | 1994-07-27 | 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2558075B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112018004363T5 (de) * | 2017-09-29 | 2020-09-24 | Ngk Insulators, Ltd. | Heatpipe und sekundärbatterie mit heatpipe |
-
1994
- 1994-07-27 JP JP6175189A patent/JP2558075B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0749188A (ja) | 1995-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004115337A (ja) | アルミニウム−セラミックス接合体 | |
US20040101707A1 (en) | Composite structural material, and method of producing the same | |
JP2000243542A (ja) | ヒータユニット及びその製造方法 | |
US20180290224A1 (en) | Method for producing a cooling device, a cooling device and a cooling arrangement | |
JP2558075B2 (ja) | 電気絶縁型ヒートパイプの製造方法 | |
JPS626679Y2 (ja) | ||
JPH0614764U (ja) | 電気絶縁型ヒートパイプ | |
JP2003071576A (ja) | 摩擦攪拌接合方法 | |
JPH04138587U (ja) | 熱交換器 | |
JPH0594593U (ja) | 異種金属の継手構造 | |
EP0145785A1 (en) | WELDABLE METAL PLASTIC COMPONENTS. | |
JPS6238802B2 (ja) | ||
JPS6120988B2 (ja) | ||
JP2007335782A (ja) | 半導体装置モジュールの製造方法及び半導体装置モジュール | |
JPH044984A (ja) | 抵抗溶接用電極およびその製造方法 | |
CN214395739U (zh) | 一种利于铝铜焊接的预置结构 | |
JPS58151039A (ja) | 混成集積回路基板 | |
JP3888077B2 (ja) | 金属接合用電極及びその製造方法、並びに金属接合用電極を備えた溶接設備及びそれにより溶接された製品 | |
US4196309A (en) | Semiconductor device subassembly and manufacture thereof | |
JPH1190566A (ja) | 冷却装置 | |
JPS6140626B2 (ja) | ||
JP3822108B2 (ja) | ろう接用複合管および熱交換用複合管 | |
JPH08330638A (ja) | 熱電変換装置 | |
JPH0785950A (ja) | セラミックヒータのリード端子接続装置 | |
JPH09145270A (ja) | 熱交換器及びその製造方法 |