JP2552240B2 - Traveling / feeding device - Google Patents
Traveling / feeding deviceInfo
- Publication number
- JP2552240B2 JP2552240B2 JP5166154A JP16615493A JP2552240B2 JP 2552240 B2 JP2552240 B2 JP 2552240B2 JP 5166154 A JP5166154 A JP 5166154A JP 16615493 A JP16615493 A JP 16615493A JP 2552240 B2 JP2552240 B2 JP 2552240B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- traveling
- feeding device
- contact surface
- actuator
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、停止保持力の大きくと
り得る歩行タイプのアクチュエータを用いた走行・送り
装置、特に精密位置決めを適した走行・送り装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to running / feeding using a walking type actuator capable of achieving a large stop holding force.
The present invention relates to a device , particularly a traveling / feeding device suitable for precision positioning.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来から直線案内機構の駆動には、ステ
ッピングモータや,ACおよびDCサーボモータが使用
されている。これらのアクチュエータは磁界の力を利用
しているため、電磁界の発生,熱の発生等があり、ま
た、高度な位置決めをするのに高価なエンコーダと高度
な制御技術が必要となる。2. Description of the Related Art Conventionally, stepping motors and AC and DC servo motors have been used to drive linear guide mechanisms. Since these actuators utilize the force of the magnetic field, they generate electromagnetic fields, generate heat, etc., and require expensive encoders and sophisticated control techniques for advanced positioning.
【0003】また、駆動伝達装置としてボールねじやタ
イミングベルト等が必要であるために多くのスペースが
必要なことや重量が大きいこと等、回転を直線に変換す
ることは効率が悪い。これらを解消するには、ガイド一
体型つまりダイレクトドライブのアクチュエータが必要
であることはいうまでもない。Further, since a ball screw, a timing belt or the like is required as a drive transmission device, a large amount of space is required and the weight is large. Therefore, it is inefficient to convert rotation into a straight line. Needless to say, a guide-integrated type, that is, a direct drive actuator is required to solve these problems.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】現在のダイレクトドラ
イブ方式のアクチュエータとしては、直動ステッピング
モータを使用したものやリニアサーボモータがあるが、
電磁界発生,熱の発生,推力の問題点がある。Current direct drive type actuators include those using a direct drive stepping motor and linear servo motors.
There are problems with electromagnetic field generation, heat generation, and thrust.
【0005】一方、熱の発生が少なく、推力が大きくま
た低騒音のモータとして共振を利用した摩擦駆動である
超音波モータがあるが、超音波モータの駆動には高価な
高周波波電源が必要である。また、モータに接触予圧を
加えても駆動中には点接触となるため停止保持力が小さ
くなるため鉛直方向のアクチュエータとしては不向きで
ある。On the other hand, there is an ultrasonic motor which is a frictional drive utilizing resonance as a motor which generates a small amount of heat, has a large thrust and has a low noise, but an expensive high frequency wave power source is required to drive the ultrasonic motor. is there. Further, even if a contact preload is applied to the motor, point contact occurs during driving, and the stop holding force becomes small, which makes it unsuitable as a vertical actuator.
【0006】また、圧電素子を用いたアクチュエータと
して、インチワームがあるFurther, there is an inchworm as an actuator using a piezoelectric element.
【0007】しかし、インチワームは、保持力を圧電素
子の力で得ているために停止保持力の大きさには限界が
あるし、停電になると保持力が全くなくなるので、送り
位置が狂ってしまう。また、一定の隙間に介装して使用
するような場合に、隙間のばらつきで保持力が大きく変
動してしまうという問題があった。However, since the inchworm has a holding force limited by the force of the piezoelectric element, the holding force is limited, and in the event of a power failure, the holding force is completely lost. I will end up. In addition, when the device is used by interposing it in a fixed gap, there is a problem that the holding force fluctuates greatly due to variations in the gap.
【0008】さらに、押さえ→伸び→解放→押さえと、
一連の流れがあるために動きがぎこちない面がある。[0008] Further, pressing → extension → release → pressing,
The movement is awkward due to the series of flows.
【0009】本発明は上記した従来技術の問題を解決す
るためになされたもので、その目的とするところは、保
持力を大きくとることができ、しかも取付箇所に多少の
ばらつきがあっても安定した走行性能および保持力を得
ることができる走行・送り装置を提供することにある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art. The object of the present invention is to make it possible to obtain a large holding force and to stabilize even if there is some variation in the mounting location. An object of the present invention is to provide a traveling / feeding device that can obtain the required traveling performance and holding power.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明にあっては、接触面に対して所定間隔離間さ
せて配置される本体と、該本体を接触面に対して所定間
隔保持した状態で接触面に平行に相対移動自在に支持さ
れる支持機構と、前記接触面に対して接触する複数の接
触子と、該複数の接触子と前記本体との間に設けられ、
前記複数の接触子を接触面に対して押付け、押付け力を
所定の荷重に保つ押付手段と、前記複数の前記接触子の
内少なくとも一部の接触子と接触面との間に設けられ、
前記少なくとも一部の接触子を接触面に対して押付およ
び離間する方向さらに接触面に対して平行方向に変位さ
せるアクチュエータと、を備えていることを特徴とす
る。In order to achieve the above object, in the present invention, the contact surface is separated by a predetermined distance.
And the main body to be placed on the contact surface for a predetermined distance.
It is supported so that it can move relative to the contact surface in parallel while being held at a distance.
Support mechanism and a plurality of contacts that contact the contact surface.
A tentacle, provided between the plurality of contacts and the main body,
Apply the pressing force by pressing the multiple contacts onto the contact surface.
And pressing means for holding the predetermined load, provided between the plurality of at least some of the contacts and the contact surface of said contacts,
Characterized in that it comprises a, an actuator for displacing in a direction parallel to the direction further contact surface pressing and away from the contact surface at least a portion of the contact.
【0011】前記接触子としての足部を有するアクチュ
エータを複数備え、一部のアクチュエータの足部を接触
面に接しさせ、押付手段による押付力を支えながら前進
動作を行い、他のアクチュエータの足部を接触面から離
間させて前進させ、前記一部のアクチュエータと他のア
クチュエータの動作を交互に入れ換えることにより駆動
を行うことを特徴とする。A plurality of actuators having foot portions as the contactors are provided, and the foot portions of some actuators are brought into contact with each other.
Contacting a surface and performing a forward motion while supporting the pressing force of the pressing means, moving the foot part of the other actuator away from the contact surface and moving it forward, and alternating the operations of some of the actuators and other actuators. Driven by
It is characterized by performing .
【0012】接触子としてのアクチュエータと非能動体
を有し、押付手段によりそれらを全体として所定の力で
接触面に対して押付け、非能動体によって支えながらア
クチュエータの足部を移動させる動作と、足部を接触面
に接しさせ、その接点を保持したままアクチュエータを
動かし、足部に対して相対的に非能動体を移動する動作
とを交互に行うことにより駆動することを特徴とする。It has an actuator as a contactor and an inactive body, and these are pressed by the pressing means as a whole with a predetermined force.
The action of pressing the contact surface and moving the foot part of the actuator while supporting it with an inactive body, bringing the foot part into contact with the contact surface , and moving the actuator while holding the contact, It is characterized by being driven by alternately performing an operation of relatively moving an inactive body.
【0013】アクチュエータと非能動体が別体構成であ
ってもよいし、一体構成としてもよい。The actuator and the inactive body may have a separate structure or may have an integrated structure.
【0014】前記押付手段による押付力は、機械的なば
ね力,流体力,磁力の反発力あるいは吸引力を利用する
ことができる。The pressing force of the pressing means may be mechanical spring force, fluid force, repulsive force of magnetic force, or suction force.
【0015】また、接触子の変位を検出する変位検出手
段を有していることを特徴とする。Further, it is characterized in that it has a displacement detecting means for detecting the displacement of the contact .
【0016】この変位検出手段によって検出された変位
情報に基づいてアクチュエータを制御して歩行位置の制
御を行うことが好適である。It is preferable to control the walking position by controlling the actuator based on the displacement information detected by the displacement detecting means.
【0017】押付け力および推力を検出する力検出手段
を有していることを特徴とする。A force detecting means for detecting the pressing force and the thrust force is provided.
【0018】力検出手段によって検出された力情報に基
づいて押付力および推力を制御することを特徴とする。The pressing force and the thrust force are controlled based on the force information detected by the force detecting means.
【0019】アクチュエータの変位発生手段は、圧電素
子または電歪素子,熱膨張によって変位する手段,流体
力を利用したもの,ボイスコイルを利用したもの,磁歪
素子を利用したもの等を用いることができる。As the displacement generating means of the actuator, a piezoelectric element or an electrostrictive element, a means for displacing by thermal expansion, a means utilizing a fluid force, a means utilizing a voice coil, a means utilizing a magnetostrictive element and the like can be used. .
【0020】接触面に接する接触子の底面は円弧形状
で、接触面に対し転がり接触させることが効果的であ
る。 The bottom surface of the contactor in contact with the contact surface has an arc shape, and it is effective to make rolling contact with the contact surface .
【0021】また、接触子は、接触面から所定距離だけ
離れた位置を支点にして回転可能に支持することが好ま
しい。Further, it is preferable that the contactor is rotatably supported with a position separated from the contact surface by a predetermined distance as a fulcrum.
【0022】接触子はばねによるヒンジ機構によって支
持されていることが効果的である。支持機構は、接触面
としてのレールに転動体を介して移動自在に支持される
本体としてのブロックによって構成されることを特徴と
する。 It is effective that the contactor is supported by a hinge mechanism using a spring. Support mechanism is the contact surface
Is movably supported by rails as rolling elements
Characterized by being composed of a block as a main body
I do.
【0023】[0023]
【作用】本発明にあっては、押付手段によって、接触面
に対して複数の接触子が全体として所定の押付力で押し
つけられている。In the present invention, the plurality of contacts are pressed against the contact surface by the pressing means as a whole with a predetermined pressing force.
【0024】そして、歩行時には、アクチュエータによ
って接触子の内少なくとも一部の接触子を、接触面に対
して押付て他の接触子を接触面から離間させ、さらに接
触面に対して水平方向に変位させて前進し、その後この
接触子を接触面に対して離間させて他の接触子を接触面
に対して接触させる。この動きを繰り返すことによって
駆動が実現される。また、押付手段によって、接触子を
全体として押付ていることにより、強い停止保持力が得
られる。[0024] Then, at the time of walking, at least a portion of the contact of the contact by the actuator, pushing Te is separated other contacts from the contact surface to the contact surface, the displacement in the horizontal direction with respect to the further contact surface Let me move forward and then this
The contact is separated from the contact surface and another contact is brought into contact with the contact surface . Driving is realized by repeating this movement. Moreover, since the contactor is pressed as a whole by the pressing means, a strong stop holding force can be obtained.
【0025】複数の接触子としては、アクチュエータに
よって駆動される複数の足部を交互に動作させてもよい
し、アクチュエータによって駆動される足部と、アクチ
ュエータによっては駆動されないブレーキとの組み合わ
せによて駆動をさせてもよい。As the plurality of contacts, a plurality of foot portions driven by an actuator may be alternately operated, or a combination of a foot portion driven by the actuator and a brake not driven by the actuator may be used. It may be driven.
【0026】[0026]
【実施例】以下に本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to illustrated embodiments.
【0027】図1(a)〜(c)は本発明の走行・駆動
装置の第1の基本形を、図1(d)〜(f)が第2の基
本形を示している。1 (a) to 1 (c) show the traveling / driving of the present invention.
The first basic form of the device is shown in FIGS. 1 (d) to 1 (f).
【0028】まず、第1の基本形について説明すると、
この例は、接触面に接触する接触子としての足部1,2
を有する第1,第2アクチュエータ3,4を備えてい
る。これら第1,第2アクチュエータ3,4は中間体5
に取り付けられ、この中間体5は押付手段としてのばね
部材6を介して本体7に連結されている。この本体7は
直線運動案内装置等の図示しない支持機構によって、接
触面8に対して一定の隙間9を保持した状態で接触面8
に平行に相対移動自在に支持されている。 First, the first basic form will be described.
In this example, the foot portions 1 and 2 as the contactors contacting the contact surface
It has the 1st, 2nd actuators 3 and 4 which have. These first and second actuators 3 and 4 are intermediate bodies 5
The intermediate body 5 is connected to the main body 7 via a spring member 6 as a pressing means. This body 7
Connected by a support mechanism (not shown) such as a linear motion guide device.
The contact surface 8 while maintaining a constant gap 9 with respect to the contact surface 8.
It is supported so as to be relatively movable in parallel with.
【0029】第1,第2のアクチュエータ3,4の足部
1,2はばね部材6によって所定の荷重でもって接触面
8に押しつけられている。The legs 1 and 2 of the first and second actuators 3 and 4 are pressed against the contact surface 8 by a spring member 6 with a predetermined load.
【0030】そして、第1のアクチュエータ3の足部1
を接触面8に接しさせ、ばね部材6による押付力を支え
ながら前進運動を行い、他方の第2のアクチュエータ4
の足部2を接触面8から離間させて前進させる。これら
動作は同時に行ってもよいし、時間差を設けてもよい。
そして、この第1,第2アクチュエータ3,4の動作を
交互に入れ換えることにより駆動がをなされる。Then, the foot portion 1 of the first actuator 3
Are brought into contact with the contact surface 8 to perform a forward movement while supporting the pressing force of the spring member 6, and the second actuator 4 on the other side is moved.
The foot portion 2 is separated from the contact surface 8 and moved forward. These operations may be performed at the same time, or a time difference may be provided.
Then, the operation is performed by alternating the operations of the first and second actuators 3 and 4.
【0031】この第1の基本形については、足部および
アクチュエータを3個以上設けてもよい。In this first basic form, three or more legs and actuators may be provided.
【0032】次に、第2の基本形について説明すると、
この例ではアクチュエータ10と非能動体としてのブレ
ーキ手段11が中間体12に取り付けられ、この中間体
12が第1の基本形と同様にばね部材13を介して本体
14に連結されている。Next, the second basic form will be described.
In this example, an actuator 10 and a braking means 11 as an inactive body are attached to an intermediate body 12, and this intermediate body 12 is connected to a main body 14 via a spring member 13 as in the first basic form.
【0033】そして、この押付手段としてのばね部材1
3のばね力により、アクチュエータ10とブレーキ手段
11が全体として所定の力でもって接触面8に対して押
しつけられている。この押付力をブレーキ手段11によ
って支えながらアクチュエータ10を移動させる動作
と、足部15を接触面8に接しさせ、その接点を保持し
たままアクチュエータ10を動かし、足部15に対して
相対的にブレーキ手段11を移動させて移動動作とを、
交互に行うことにより駆動を行うようになっている。Then, the spring member 1 as the pressing means.
Due to the spring force of 3, the actuator 10 and the braking means 11 are pressed against the contact surface 8 with a predetermined force as a whole. An operation of moving the actuator 10 while supporting the pressing force by the braking means 11 and a step of bringing the foot portion 15 into contact with the contact surface 8 and moving the actuator 10 while holding the contact point, and brakes relative to the foot portion 15. The means 11 is moved to perform the moving operation,
The drive is performed by performing them alternately.
【0034】図2は、第1の基本形の足部およびアクチ
ュエータの構成例を示している。FIG. 2 shows an example of the structure of the foot and actuator of the first basic form.
【0035】このアクチュエータは、図2(a),
(b)に示すように、足部16と、この足部16を薄肉
の板ばね部17を介して支持する支持部18と、足部1
6を支持部18間に介装されるV字配置の第1,第2変
位発生手段19,20と、から構成されている。而し
て、足部16は、接触面8から所定距離だけ離れた位置
の前記板ばね部17を支点にして回転可能に支持されて
いる。そして、第1,第2変位発生手段19,20に対
して、図2(e),(f)に示すような波形の駆動信号
を入力することにより、足部16をその直立姿勢から進
行方向とは逆側に蹴り出すように足部16を動作させる
ようになっている。This actuator is shown in FIG.
As shown in (b), the foot portion 16, a support portion 18 that supports the foot portion 16 through a thin leaf spring portion 17, and the foot portion 1
The first and second displacement generating means 19 and 20 are arranged in a V shape and 6 is interposed between the support portions 18. Thus, the foot portion 16 is rotatably supported with the leaf spring portion 17 at a position separated from the contact surface 8 by a predetermined distance as a fulcrum. Then, by inputting a drive signal having a waveform as shown in FIGS. 2E and 2F to the first and second displacement generating means 19 and 20, the foot 16 is moved from its upright posture to the traveling direction. The foot portion 16 is operated so as to kick out to the opposite side.
【0036】このように構成されたアクチュエータA,
Bを、図2(g)に示すように2つ並列に並べ、図2
(h)に示すような信号を入力することにより、歩行運
動をさせる。The actuator A thus constructed,
2 are arranged in parallel as shown in FIG.
Walking motion is performed by inputting a signal as shown in (h).
【0037】上記図2(a),(b)は足部16が自由
状態で接触面8に常時離れている常時開タイプの構成で
あったが、図2(i),(j)に示すように、足部16
が常時接触面8に接している常時閉タイプの構成をとる
こともできる。2 (a) and 2 (b) is a normally open type structure in which the foot 16 is always separated from the contact surface 8 in a free state, but shown in FIGS. 2 (i) and 2 (j). So that the foot 16
It is also possible to adopt a configuration of a normally closed type in which is always in contact with the contact surface 8.
【0038】この走行・送り装置は、支持機構として、
図2(k)に示すような隙間が一定の直線あるいは曲線
案内装置に取り付けることが好適である。This traveling / feeding device is used as a support mechanism.
It is preferable to install the linear or curved guide device having a constant gap as shown in FIG. 2 (k).
【0039】図3(a),(b)には足部16の駆動を
示している。3A and 3B show the driving of the foot portion 16.
【0040】この実施例では、図3(a)に示すよう
に、直立姿勢から後方に蹴り出すような動作をさせる。
同図(b)のように、かかと部16aから接触面8に接
触すると、かかと部16aおよび接触面8の摩耗が早い
ために好ましくない。In this embodiment, as shown in FIG. 3 (a), an operation of kicking backward from an upright posture is performed.
It is not preferable to contact the contact surface 8 from the heel portion 16a as shown in FIG. 6B because the heel portion 16a and the contact surface 8 are rapidly worn.
【0041】さらに、足部16の接触面の形状として、
図3(d)に示すように円弧形状としておくことが好ま
しい。このようにすれば、図3(c)に示す転動体21
と同様に転がり接触させることが可能となり、摩耗が著
しく改善される。Further, as the shape of the contact surface of the foot portion 16,
It is preferable to have an arc shape as shown in FIG. By doing so, the rolling element 21 shown in FIG.
It becomes possible to make rolling contact in the same manner as, and wear is significantly improved.
【0042】図4にはアクチュエータの他の構成例を示
している。FIG. 4 shows another structural example of the actuator.
【0043】図4(a),(b)は、2つの変位発生手
段22,23を平行に並べて設けたものである。4 (a) and 4 (b), two displacement generating means 22 and 23 are arranged in parallel.
【0044】また、図4(c)は、ばね部17として平
行平板構造を用い、上下,左右に変形可能とし、それぞ
れの方向に変位を発生させる変位発生手段22,23,
24を設けたものである。In FIG. 4 (c), a parallel plate structure is used as the spring portion 17, which can be deformed vertically and horizontally, and displacement generating means 22 and 23 for generating displacement in each direction.
24 is provided.
【0045】図4(d)は、図4(a),(b)のばね
部の構成として板ばね構造を用いたものである。FIG. 4 (d) uses a leaf spring structure as the structure of the spring portion of FIGS. 4 (a) and 4 (b).
【0046】変位発生手段としては、圧電素子または電
歪素子,熱膨張を利用した手段,流体圧を利用した手
段,ボイスコイルを利用したもの、磁歪素子等、種々の
ものを利用することができる。As the displacement generating means, various elements such as a piezoelectric element or an electrostrictive element, a means utilizing thermal expansion, a means utilizing fluid pressure, a means utilizing a voice coil, a magnetostrictive element and the like can be used. .
【0047】また、図1に示すた基本形のばね部材の他
に、押付手段としては、流体圧を利用するもの、磁力の
反発力,吸引力を利用するもの等を用いることができ
る。In addition to the basic spring member shown in FIG. 1, as the pressing means, a means utilizing fluid pressure, a means utilizing repulsive force of magnetic force, a suction force or the like can be used.
【0048】図5(a)は制御構成例を示している。FIG. 5A shows a control configuration example.
【0049】すなわち、足部16の変位を検出する変位
検出手段25と、この変位検出手段25によって検出さ
れた変位情報に基づいてアクチュエータ3,4を制御す
るコントローラ26と、から構成されている。That is, it comprises a displacement detecting means 25 for detecting the displacement of the foot portion 16 and a controller 26 for controlling the actuators 3, 4 based on the displacement information detected by the displacement detecting means 25.
【0050】さらに、押付力を検出する力検出手段27
を設け、この力検出手段27からの力情報に基づいて押
付力を調整することも可能である。Further, force detecting means 27 for detecting the pressing force.
It is also possible to adjust the pressing force based on the force information from the force detecting means 27.
【0051】図5(b)は、図2に示すタイプのアクチ
ュエータにおいて、変位検出手段として歪ゲージ23を
用いた例を示している。FIG. 5B shows an example in which the strain gauge 23 is used as the displacement detecting means in the actuator of the type shown in FIG.
【0052】図5(c),(d)は変位発生手段19,
20変位量に対して歪出力を検出し、その歪出力を変位
発生手段19,20にフィードバックすることで変位量
を制御するようにしたものである。5 (c) and 5 (d) show the displacement generating means 19,
The displacement output is detected for 20 displacements, and the displacement output is fed back to the displacement generating means 19 and 20 to control the displacement.
【0053】このうち図5(c)は、歪ゲージ28のア
ナログ出力をそのままフィードバックしたもので、図5
(d)は出力をデジタル変換してCPUにフィードバッ
クしたものである。Of these, FIG. 5C shows the analog output of the strain gauge 28 that is fed back as it is.
In (d), the output is digitally converted and fed back to the CPU.
【0054】図6(a)は一枚の板を打ち抜いて構成し
たもので、基本的には足部29と、この足部2を囲むC
字形の中間体30と、さらにその外側を取り囲むC字形
の本体31と、から構成されている。そして、足部29
と中間体30とはばねヒンジ部32にて回転変形自在に
支持され、中間体30と本体31とは平行平板機構のば
ね部33によって支持されている。このばね部33材に
よって、C字形の中間体30の両端から下方に伸びるブ
レーキ部34と、足部29とを接触面8に対して押しつ
けるように構成されている。FIG. 6 (a) is constructed by punching out one plate, and basically has a foot 29 and a C surrounding the foot 2.
It is composed of a character-shaped intermediate body 30 and a C-shaped body 31 surrounding the outer side thereof. And foot 29
The intermediate body 30 is rotatably supported by the spring hinge portion 32, and the intermediate body 30 and the main body 31 are supported by the spring portion 33 of the parallel plate mechanism. The spring portion 33 is configured to press the brake portion 34 extending downward from both ends of the C-shaped intermediate body 30 and the foot portion 29 against the contact surface 8.
【0055】図6(b),(c)は、非能動体としての
ブレーキ部34とアクチュエータ35を模式的に表した
もので、並列に配置するのが最も単純な構成である。こ
の点、上記した図6(a)に示した構成は、一平面にブ
レーキ部34とアクチュエータ35を製作可能としたも
のである。FIGS. 6B and 6C schematically show the brake unit 34 and the actuator 35 as inactive bodies, and the simplest arrangement is to arrange them in parallel. In this regard, the configuration shown in FIG. 6A described above allows the brake portion 34 and the actuator 35 to be manufactured on one plane.
【0056】ブレーキ部34および足部29の接触面8
との接触面は、摩擦係数が大きいことが望ましい。摩擦
係数を大きくすることで、保持力が大きくなる。したが
って、接触面には摩擦係数の大きい物質(たとえばカー
ボンメタル等)をコーテイングしておくことが効果的で
ある。 Contact surface 8 of brake portion 34 and foot portion 29
It is desirable that the contact surface with has a large friction coefficient. By increasing the friction coefficient, the holding force increases. Therefore, it is effective to coat the contact surface with a substance having a large friction coefficient (for example, carbon metal).
【0057】一方、足部29の角部については摩耗しや
すいので丸みを付け、さらに摩擦係数の小さい物質(た
とえばPTFE等)でコーテイングすることが効果的で
ある。On the other hand, since the corners of the foot 29 are easily worn, it is effective to make them round and to coat them with a substance having a small friction coefficient (such as PTFE).
【0058】図6(d)は、図6(a)と変位発生手段
36,37の向きを異ならせたもので、ハの字形に配置
されている。この例では、中央がブレーキ部34で、両
側が足部29,29となる。FIG. 6 (d) shows the displacement generating means 36, 37 in a different direction from that of FIG. 6 (a), and is arranged in a V shape. In this example, the center is the brake portion 34, and the both sides are the foot portions 29, 29.
【0059】図7は、図6(a)のアクチュエータのば
ね部を別体として、アクチュエータ35とブレーキ部3
4のみを一枚の平板で構成したものである。ばね部材3
8は、ブレーキ部34およびアクチュエータ35の両側
面を挟み付けるようにして組み付けられるコ字方のブロ
ック体で、左右の挟持片39,39と、これらを連結す
る連結片40とから構成される。この挟持片39,39
にそれぞれ平行平板構造のばね部41,41が設けられ
ている。そして、連結片40がアクチュエータ35およ
びブレーキ部34の上端面に当接し、挟持片39,39
の下端部がブレーキ部34,34の下端部に結合する。FIG. 7 shows the actuator 35 and the brake unit 3 with the spring portion of the actuator of FIG. 6A as a separate body.
Only 4 is composed of one flat plate. Spring member 3
Reference numeral 8 is a U-shaped block body that is assembled by sandwiching both side surfaces of the brake portion 34 and the actuator 35, and is composed of left and right holding pieces 39, 39 and a connecting piece 40 connecting these. This sandwiching piece 39, 39
Are provided with spring portions 41, 41 having a parallel plate structure, respectively. Then, the connecting piece 40 comes into contact with the upper end surfaces of the actuator 35 and the brake portion 34, and the holding pieces 39, 39
The lower ends of the brake parts are connected to the lower ends of the brake parts 34, 34.
【0060】図8(a)は、図6(a)のアクチュエー
タの概念図であり、アクチュエータ35およびブレーキ
部34の押付力はばね部材33のばね定数kを変えるこ
とによって自由に変えられる。図6(a)の平行平板構
造をとったものでは、ばね部33の肉厚を変えること
で、ばね定数を変化させることができる。また、ばねと
しては、コイルばね,皿ばね等種々のばねを適用でき
る。FIG. 8A is a conceptual diagram of the actuator of FIG. 6A, and the pressing force of the actuator 35 and the braking portion 34 can be freely changed by changing the spring constant k of the spring member 33. In the parallel plate structure of FIG. 6A, the spring constant can be changed by changing the thickness of the spring portion 33. As the spring, various springs such as a coil spring and a disc spring can be applied.
【0061】ここで、歩行運動する際に、ばね部33が
縮まったり伸びたりするが、どちらにしても押付力は大
して変化しない。歩行時の変位量は、たとえば数[μ
m]程度と考えると、もともとのばねの自然長からする
と、通常圧縮量が2〜3[mm]程度に押さえている状
態になっているから、10[μm]動いたとしても力の
変動分は千分の一程度しか変わらない。したがって、非
常に安定した保持力を確保できる。Here, when walking, the spring portion 33 contracts or extends, but the pressing force does not change much in either case. The amount of displacement during walking is, for example, several [μ
Considering about m], from the viewpoint of the natural length of the original spring, the compression amount is normally kept to about 2 to 3 [mm]. Changes only about one thousandth. Therefore, a very stable holding force can be secured.
【0062】図8(b)に示す例は、走行・送り装置を
並列に並べて推力および保持力を高めたものである。In the example shown in FIG. 8B, the traveling / feeding devices are arranged in parallel to increase the thrust and the holding force.
【0063】図9(a),(b)は中心にばね部43が
ある状態にして上下一体化したものである。このように
すれば、筒体内部またはコ字状体内周を移動可能とな
る。走行・送り装置は筒体直径よりも短くすることで押
付力をかける。9 (a) and 9 (b) are integrated vertically with the spring portion 43 at the center. By doing so, it becomes possible to move inside the tubular body or inside the U-shaped body. The traveling / feeding device applies pressing force by making it shorter than the cylinder diameter.
【0064】図10(a),(b)は片側の軸受を組み
付けたもので、走行・送り装置のブレーキ部34および
アクチュエータ35の逆側に直道ころがり案内機構装4
4を設けたものである。走行・送り装置にばね部33が
あるためミスアライメントを吸収でき、また転動体45
に対して所定の予圧をかけることができる。FIGS. 10 (a) and 10 (b) show a bearing on one side assembled, and a straight road rolling guide mechanism 4 is provided on the opposite side of the brake portion 34 and the actuator 35 of the traveling / feeding device.
4 is provided. Since the traveling / feeding device has the spring portion 33, misalignment can be absorbed, and the rolling element 45
A predetermined preload can be applied to the.
【0065】図11は走行・送り装置46の取付方法を
示している。FIG. 11 shows a method of mounting the traveling / feeding device 46.
【0066】走行・送り装置46は、保持力を得るため
に押付力としての予圧をかけなければならない。予圧を
かける方法として、図11(a)〜(c)に示すような
方法がある。The traveling / feeding device 46 must apply a preload as a pressing force in order to obtain a holding force. As a method for applying a preload, there is a method as shown in FIGS.
【0067】図11(a)に示す例は、調整ボルト47
を使用したもので、案内部48と走行・送り装置46を
接合ボルト49で接合すると共に、調整ボルト47によ
って走行・送り装置46を押さえる。The example shown in FIG. 11A is an adjustment bolt 47.
The guide portion 48 and the traveling / feeding device 46 are joined by the joining bolts 49, and the traveling / feeding device 46 is pressed by the adjusting bolt 47.
【0068】図11(b)は、図11(a)の調整ボル
ト47の代わりにテーパギブ50を用いたものであり、
11(c)は、偏心ピン51を用いた例である。FIG. 11B shows a taper gib 50 used in place of the adjusting bolt 47 of FIG. 11A.
11 (c) is an example using the eccentric pin 51.
【0069】図12は、直線または曲線案内内のブロッ
ク54側に走行・送り装置46を取り付けた例を示して
いる。FIG. 12 shows an example in which the traveling / feeding device 46 is attached to the block 54 side in the straight or curved guide.
【0070】図12(a)はレール52の側面を押さえ
て歩行する例である。FIG. 12A shows an example of walking while holding the side surface of the rail 52.
【0071】図12(b)は走行・送り装置46を2個
用い、レール52の左右側面を押さえて歩行する例であ
る。FIG. 12B shows an example in which two traveling / feeding devices 46 are used and the left and right side surfaces of the rail 52 are pressed to walk.
【0072】図12(c)はレール52の取付面を押さ
えて歩行する例である。FIG. 12C shows an example of walking while pressing the mounting surface of the rail 52.
【0073】図12(d)は、左右2個の走行・送り装
置46で、レール52の取付面53を押さえて歩行する
例である。FIG. 12 (d) shows two left and right running / feeding devices.
This is an example of holding the mounting surface 53 of the rail 52 and walking on the table 46.
【0074】図12(e)は、一つもしくは2つ以上の
走行・送り装置46を用い、レール52の上面を押さえ
て歩行する例である。FIG. 12E shows one or two or more
This is an example in which the traveling / feeding device 46 is used to hold the upper surface of the rail 52 and walk.
【0075】図12(f)は、走行・送り装置46を2
個のブロック54,54の間に介装した例である。FIG. 12 (f) shows the traveling / feeding device 46 in two positions.
This is an example of interposing between the individual blocks 54, 54.
【0076】図13は直線または曲線案内装置のブロッ
ク54に、走行・送り装置46を埋め込んだ例を示して
いる。FIG. 13 shows an example in which the traveling / feeding device 46 is embedded in the block 54 of the linear or curved guide device.
【0077】同図(a),(b)は、ブロック54の中
心に入れる場合、同図(b)は端に入れる場合、同図
(c)は2つもしくは3つ以上入れる場合を、それぞれ
示している。FIGS. 7A and 7B show the case where the block 54 is inserted at the center, FIG. 7B shows the case where the block 54 is inserted at the end, and FIG. 7C shows the case where two or more blocks are inserted. Shows.
【0078】図14はレール52を分割して、その間に
走行・送り装置46を配置した例で、ブロック高さを低
く抑えることができる。In FIG. 14, the rail 52 is divided into
In the example in which the traveling / feeding device 46 is arranged, the block height can be kept low.
【0079】図15はアウタレール52にブロック54
を挟さみ込んだタイプの直道案内装置に走行・送り装置
46を組み付けた例である。FIG. 15 shows a block 54 on the outer rail 52.
This is an example in which the traveling / feeding device 46 is assembled to a straight road guide device of a type that sandwiches the.
【0080】図16はボールスプラインに走行・送り装
置46を取り付けた例である。ボールスプラインは6条
で2条づつ120°の角度で等配されている。そこで、
走行・送り装置46をボールスプラインナットに120
°の角度で等配することにより、3つを同期して片寄り
のない移動が可能となる。FIG. 16 shows a ball spline running / feeding device.
This is an example in which the device 46 is attached. The ball splines are 6 rows and 2 rows are equally distributed at an angle of 120 °. Therefore,
Attach the traveling / feeding device 46 to the ball spline nut 120.
By arranging them equally at an angle of °, it is possible to move the three synchronously without any offset.
【0081】図17はXYテーブルの駆動機構に適用し
たものである。FIG. 17 is applied to the drive mechanism of the XY table.
【0082】テーブル55に走行・送り装置46を1つ
またはそれ以上平行に固定して足部29を別の面に押し
当てることにより移動する。2つのテーブル55,56
を組み合わせることにより、非常に薄型のXYテーブル
を実現できる。One or more traveling / feeding devices 46 are fixed to the table 55 in parallel, and the foot portions 29 are moved by pressing them against another surface. Two tables 55, 56
By combining, it is possible to realize a very thin XY table.
【0083】X軸の走行・送り装置46が停止している
ときは、Y軸にもブレーキがかかる。X軸の走行・送り
装置46が動作するときは、Y軸の走行・送り装置46
のブレーキは持ち上がり解放されX軸方向に動作する。When the X-axis traveling / feeding device 46 is stopped, the Y-axis is also braked. X axis travel / feed
When the device 46 operates, the Y-axis traveling / feeding device 46
The brake is lifted and released to operate in the X-axis direction.
【0084】図示例ではXY各軸方向2個使いである
が、各軸4個使いでもよい。In the illustrated example, two XY axes are used, but four axes may be used.
【0085】図18は通常のテーブルに取り付けた例で
ある。FIG. 18 shows an example of attachment to a normal table.
【0086】走行・送り装置46は、テーブル57に固
定してベース58に対して走行させてもよいし、また、
ベース58に固定してテーブル57を駆動しても、どち
らでもテーブル57を動かすことができる。The running / feeding device 46 may be fixed to the table 57 and run on the base 58.
Even if the table 57 is driven while being fixed to the base 58, the table 57 can be moved by either of them.
【0087】図18(a)は1つもしくは2つ以上の走
行・送り装置46をテーブル57に付けた場合、図18
(b)は一つもしくは2つ以上の走行・送り装置46を
中心および中心以外につけた場合を、それぞれ示してい
る。FIG. 18 (a) shows one or more runs.
When the line / feed device 46 is attached to the table 57, FIG.
(B) shows the case where one or more traveling / feeding devices 46 are attached to the center and other than the center, respectively.
【0088】図19は走行・送り装置46を用いた自走
テーブルの他の実施例である。FIG. 19 shows another embodiment of the self-propelled table using the traveling / feeding device 46.
【0089】凹状のベース59を用い、ベース59の両
側のエッジ部60,60に走行・送り装置46の足部2
8上およびブレーキ部34を押し当てることによって予
圧および剛性をもたせて移動することができる。The concave base 59 is used, and the foot portions 2 of the traveling / feeding device 46 are attached to the edge portions 60, 60 on both sides of the base 59.
It is possible to move with preload and rigidity by pressing the upper part 8 and the brake part 34 against each other.
【0090】図20はリニアスケール61を用いたフィ
ードバック制御の構成例を示している。FIG. 20 shows a configuration example of feedback control using the linear scale 61.
【0091】これはレール52と平行にリニアスケール
61を取付け、そのリニアスケール52の出力を読みと
り、変位発生手段36,37にフィードバックすること
で、微小変位させるものである。This is to mount a linear scale 61 in parallel with the rail 52, read the output of the linear scale 52, and feed it back to the displacement generating means 36, 37 to make a minute displacement.
【0092】図20(b)は、リニアスケール61の出
力をCPUに直接入力し、ソフトウエアによって位置制
御するものである。In FIG. 20B, the output of the linear scale 61 is directly input to the CPU and the position is controlled by software.
【0093】図20(c)は、リニアスケール61の出
力をF/V変換して速度ループに使用し、リニアスケー
ル61の出力を偏差カウンタに入力して位置サーボとす
る。また、速度ループと位置サーボを同時に使用するも
のである。In FIG. 20 (c), the output of the linear scale 61 is F / V converted and used in the velocity loop, and the output of the linear scale 61 is input to the deviation counter for position servo. Moreover, the velocity loop and the position servo are used at the same time.
【0094】図21は、走行・送り装置46を把持具と
して用いる例である。FIG. 21 shows an example in which the traveling / feeding device 46 is used as a gripping tool.
【0095】レール62をV字状に配置し、それぞれ走
行・送り装置46,46を設けた2つ以上のブロック6
3,63に指64,64を付けることにより、互いの指
64,64で対象物を挟むことができる。走行・送り装
置46はばねになっているため、指先に滑らかな動作を
与えることができる。Two or more blocks 6 in which the rails 62 are arranged in a V shape and are provided with traveling / feeding devices 46, 46, respectively.
By attaching fingers 64, 64 to 3, 63, the object can be sandwiched between the fingers 64, 64. Running / feeding equipment
Since the mount 46 is a spring, it is possible to give a smooth motion to the fingertip.
【0096】図22は、走行・送り装置46を用いた回
転筒63である。FIG. 22 shows a rotary cylinder 63 using the traveling / feeding device 46.
【0097】中心にある円柱軸64を回転しないように
固定し、回転ベアリング65を介して回転筒63を回転
自在に組み付ける。この回転筒63内部に、一つまたは
それ以上の走行・送り装置46を円柱軸64に固定し、
回転筒63の内側をに歩かせることにより回転筒63が
回転する。The cylindrical shaft 64 at the center is fixed so as not to rotate, and the rotary cylinder 63 is rotatably assembled through the rotary bearing 65. Inside this rotary cylinder 63, one or more traveling / feeding devices 46 are fixed to the cylindrical shaft 64,
By rotating the inside of the rotary cylinder 63, the rotary cylinder 63 rotates.
【0098】図23は走行・送り装置46により円盤6
6を回転させる例である。FIG. 23 shows the disk 6 by the traveling / feeding device 46.
In this example, 6 is rotated.
【0099】回転軸67付きの円盤66に走行・送り装
置46を付けることで円盤6と回転軸67を回転運動さ
せることが可能である。また、円盤66を円柱にして走
行・送り装置46を2つ以上つけて回転させることも可
能である。A disc 66 with a rotating shaft 67 is provided with a traveling / feeding device.
The disk 6 and the rotary shaft 67 can be rotated by attaching the table 46. Also, make the disk 66 a cylinder and run
It is also possible to attach two or more line / feed devices 46 and rotate them.
【0100】図24は自動調心タイプの走行・送り装置
ダイレクトドライブモータの例である。FIG. 24 shows an example of a direct drive motor of a self-centering type traveling / feeding device .
【0101】図24(a)は、2−走行・送り装置ダイ
レクトドライブモータ、図24(b)が3−走行・送り
装置ダイレクトドライブモータを示している。FIG. 24 (a) is a 2- drive / feed device direct drive motor, and FIG. 24 (b) is 3- drive / feed.
The device direct drive motor is shown.
【0102】基本的には円筒状の外壁部68を走行・送
り装置46が歩行することで回転する。圧縮ばね68は
剛性を上げるために使用する。Basically, traveling / sending on the cylindrical outer wall portion 68
The rotation device 46 rotates by walking. The compression spring 68 is used to increase the rigidity.
【0103】図25は走行・送り装置46がロータ70
の回りを歩くことにより回転する自動調心タイプのアク
チュエータモータの例である。走行・送り装置46にば
ね部33があるので、自動調心される。In FIG. 25, the traveling / feeding device 46 has a rotor 70.
It is an example of a self-centering type actuator motor that rotates by walking around. Since the traveling / feeding device 46 has the spring portion 33, it is automatically aligned.
【0104】同図(a)は2−走行・送り装置のタイプ
で、回転させるために必要な相は2相または4相であ
り、同図(b)は3−走行・送り装置モータのタイプ
で、回転に必要な相は2相または6相である。(A) of the figure is a type of 2- traveling / feeding device , the phase required for rotation is 2 phase or 4 phase, and (b) of the same figure is type of 3- running / feeding device motor. The phase required for rotation is 2 or 6 phases.
【0105】図26は走行・送り装置46をステッピン
グモータ,サーボモータ72に適用したものである。In FIG. 26, the traveling / feeding device 46 is applied to a stepping motor and a servomotor 72.
【0106】現在のステッピングモータおよびサーボモ
ータはエンコーダ75の分能能の範囲までしか位置決め
ができない。しかし、走行・送り装置46を組み合わせ
ることで、エンコーダ75の分解能を越えて位置決めで
きる。走行・送り装置72はステータ部73とロータ部
74の間に設けられる。Current stepping motors and servomotors can perform positioning only within the range of the capability of the encoder 75. However, by combining the traveling / feeding device 46, it is possible to perform positioning beyond the resolution of the encoder 75. The traveling / feeding device 72 is provided between the stator portion 73 and the rotor portion 74.
【0107】図27はナット回転型のボールねじ駆動に
適用した例である。FIG. 27 shows an example applied to a nut rotation type ball screw drive.
【0108】ボールねじナット76の周りに回転ベアリ
ング77をつける。回転ベアリング77の外輪を治具で
テーブル78に固定する。走行・送り装置46を回転ベ
アリング77,77の間に装着し、ボールねじ軸79固
定の下で、ナット76回転によってテーブル78を移動
させる。A rotary bearing 77 is attached around the ball screw nut 76. The outer ring of the rotary bearing 77 is fixed to the table 78 with a jig. The traveling / feeding device 46 is mounted between the rotary bearings 77, 77, and the table 78 is moved by the rotation of the nut 76 while fixing the ball screw shaft 79.
【0109】図28は走行・送り装置46のによりボー
ルねじ軸79を駆動する例である。FIG. 28 shows an example in which the ball screw shaft 79 is driven by the traveling / feeding device 46.
【0110】ボールねじナット76に取り付けられる走
行・送り装置46のブレーキと足部がねじの山に当たる
ようにする。走行・送り装置46は、図中矢印方向に歩
くことでナット76が回転する。 Running attached to ball screw nut 76
Make sure that the brake and foot of the line and feed device 46 hit the threads of the screw. In the traveling / feeding device 46, the nut 76 rotates by walking in the direction of the arrow in the figure.
【0111】図28(c)は走行・送り装置46をナッ
ト76に埋め込んだ例である。FIG. 28C shows an example in which the traveling / feeding device 46 is embedded in the nut 76.
【0112】図29は、現在地より360°いずれの方
向にも3つの変位発生手段80,81,82によって、
変位可能な円周内であれば自由に動くため、360°自
由に変位させることができる。In FIG. 29, three displacement generating means 80, 81, 82 are provided in any direction of 360 ° from the present position.
Since it moves freely within a displaceable circumference, it can be freely displaced by 360 °.
【0113】変位発生手段80,81,82の配置は、
上から見て120゜,横から見たとき3つとも水平より
45゜の角度である。The displacement generating means 80, 81, 82 are arranged as follows.
The angles are 120 ° when viewed from above and 45 ° when viewed from the side.
【0114】装置構成は、下方が開いた円筒状のケース
83内に小サイズの皿ばね84,大サイズの皿ばね85
を介してハット形の円筒86を挿入する。このハット型
円筒86の端面にブレーキ足86が設けられ、さらにハ
ット型円筒86内に上記した変位発生手段80,81,
82および足部29が組み込まれる。The apparatus is constructed such that a small-sized disc spring 84 and a large-sized disc spring 85 are provided in a cylindrical case 83 whose lower side is opened.
The hat-shaped cylinder 86 is inserted through. Brake feet 86 are provided on the end surface of the hat-shaped cylinder 86, and the displacement generating means 80, 81,
82 and foot 29 are incorporated.
【0115】図30は、図29の逆構成で、変位発生手
段80,81,82を上から見て120゜等配、水平方
向から45°にすることで足部29はいずれの方向にも
変位可能な円周内で自由に動く。よって、変位発生手段
80,81,82と球88は摩擦によっていずれの方向
にも回転する。この球88の上に板を水平にのせると、
板はいずれの方向にも動くことになる。FIG. 30 shows an arrangement reverse to that of FIG. 29, in which the displacement generating means 80, 81, 82 are arranged at equal intervals of 120 ° when viewed from above and are arranged at 45 ° from the horizontal direction so that the foot portion 29 can be moved in any direction. Move freely within a displaceable circumference. Therefore, the displacement generating means 80, 81, 82 and the ball 88 rotate in either direction due to friction. When a plate is placed horizontally on this ball 88,
The board will move in either direction.
【0116】図31は走行・送り装置を使用した球体8
9による360゜移動させる例である。FIG. 31 shows a sphere 8 using a traveling / feeding device .
This is an example of moving 360 ° by 9.
【0117】球体89に4つ走行・送り装置46を図の
ように配置して加圧することにより、360°いずれの
方向にも移動するようになる。The four traveling / feeding devices 46 are arranged on the sphere 89 as shown in the figure, and by applying pressure, they can move in any direction of 360 °.
【0118】図32の走行・送り装置において、微動ま
たは保持力の必要の場合には静的に走行・送り装置46
の原理を利用する。In the traveling / feeding device of FIG. 32, the traveling / feeding device 46 is statically operated when slight movement or holding force is required.
Use the principle of.
【0119】一方、粗動または保持力が必要ない場合に
は、動的に超音波モータの原理を採用する。On the other hand, when the coarse movement or the holding force is not required, the principle of the ultrasonic motor is dynamically adopted.
【0120】超音波モータ使用の時は、足部34が持ち
上がる電圧を予めかけておき、変位発生手段36,37
に高周波電圧をかける。このとき、ばね33による初期
押付力を変化させることにより固有振動数が変化し、高
速走行も可能である。When the ultrasonic motor is used, a voltage for lifting the foot portion 34 is applied in advance, and the displacement generating means 36, 37 are used.
Apply high frequency voltage to. At this time, the natural frequency is changed by changing the initial pressing force of the spring 33, and high-speed traveling is also possible.
【0121】[0121]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の走行・送
り装置にあっては、電源が切れても押付手段によって接
触面に押し付けられているので接触面に自己保持され
る。As described above, the traveling / sending of the present invention is performed.
In the device , even if the power is turned off, the device is pressed against the contact surface by the pressing means, so that the device is self-held on the contact surface.
【0122】また、取付箇所に多少の寸法ばらつきがあ
っても保持力の変動をほとんどなくすことが可能であ
り、安定した運動性能を得ることができる。Further, even if there is some dimensional variation in the mounting location, it is possible to almost eliminate the fluctuation of the holding force, and it is possible to obtain stable exercise performance.
【0123】さらに、非常に簡単な構造でありながら応
用範囲が極めて広い。Further, although it has a very simple structure, its application range is extremely wide.
【図1】図1は本発明の走行・送り装置の基本概念の説
明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a basic concept of a traveling / feeding device of the present invention.
【図2】図2は本発明の第1のタイプの走行・送り装置
の足部のアクチュエータ部分の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram of an actuator portion of a foot portion of the traveling / feeding device of the first type of the present invention.
【図3】図3は足部の動作説明図である。FIG. 3 is a diagram for explaining an operation of a foot portion.
【図4】図4はアクチュエータ部分の他の構成例を示す
図である。FIG. 4 is a diagram showing another configuration example of an actuator portion.
【図5】図5は走行・送り装置の制御構成を示す図であ
る。FIG. 5 is a diagram showing a control configuration of a traveling / feeding device .
【図6】図6は本発明の第2のタイプの走行・送り装置
の変形例の説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a modified example of the traveling / feeding device of the second type of the present invention.
【図7】図7は図6の変形例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a modification of FIG. 6.
【図8】図8は図6の変形例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a modification of FIG. 6.
【図9】図9は図6の変形例を示す図である。9 is a diagram showing a modification of FIG.
【図10】図10は片側転がり案内型の走行・送り装置
を示す図である。FIG. 10 is a view showing a one-sided rolling guide type traveling / feeding device .
【図11】図11は走行・送り装置の取付方法を示す図
である。FIG. 11 is a diagram showing a method of mounting the traveling / feeding device .
【図12】図12は転がり案内装置に取り付けた例を示
す図である。FIG. 12 is a diagram showing an example of attachment to a rolling guide device.
【図13】図13も転がり案内装置に取付た例を示す図
である。FIG. 13 is also a diagram showing an example in which FIG. 13 is attached to a rolling guide device.
【図14】図14は転がり案内装置に取り付けた例を示
す図である。FIG. 14 is a diagram showing an example of attachment to a rolling guide device.
【図15】図15は他の形式の転がり案内装置に取り付
けた例を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing an example of attachment to another type of rolling guide device.
【図16】図16はボールスプラインに取り付けた例を
示す図である。FIG. 16 is a diagram showing an example of attachment to a ball spline.
【図17】図17はXYテーブルに適用した図である。FIG. 17 is a diagram applied to an XY table.
【図18】図18はテーブル移送装置に適用した図であ
る。FIG. 18 is a diagram applied to a table transfer device.
【図19】図19はXYテーブルの他の構成例を示す図
である。FIG. 19 is a diagram showing another configuration example of an XY table.
【図20】図20はリニアスケールを用いた制御構成例
を示す図である。FIG. 20 is a diagram showing a control configuration example using a linear scale.
【図21】図21は把持具に適用した図である。うr.FIG. 21 is a diagram applied to a gripping tool. Ur.
【図22】図22は回転筒を構成した図である。FIG. 22 is a view showing a rotary cylinder.
【図23】図23は回転円盤を構成した図である。FIG. 23 is a diagram showing a configuration of a rotating disk.
【図24】図24はダイレクトドライブモータの構成例
を示す図である。FIG. 24 is a diagram showing a configuration example of a direct drive motor.
【図25】図25は他の形式のダイレクトドライブモー
タの構成例を示す図である。FIG. 25 is a diagram showing a configuration example of another type of direct drive motor.
【図26】図26はステッピングモータ等の分解能を高
めるための構成例を示す図である。FIG. 26 is a diagram showing a configuration example for increasing the resolution of a stepping motor or the like.
【図27】図27はボールねじ駆動の構成例を示す図で
ある。FIG. 27 is a diagram showing a configuration example of driving a ball screw.
【図28】図28は他のボールねじ駆動の構成例を示す
図である。FIG. 28 is a diagram showing another example of the structure of driving a ball screw.
【図29】図29は360°の方向に変位可能な走行・
送り装置の構成例を示す図である。[Fig. 29] Fig. 29 is a view showing traveling / displacement in a 360 ° direction.
It is a figure which shows the structural example of a feeder .
【図30】図30は図29のアクチュエータを用いて球
を360゜の方向に回転可能とする構成例を示す図であ
る。30 is a diagram showing a configuration example in which a sphere can be rotated in a direction of 360 ° by using the actuator of FIG.
【図31】図31は、走行・送り装置を用いて球体を回
転させる他の方式を示す図である。FIG. 31 is a diagram showing another method of rotating a sphere using a traveling / feeding device .
【図32】図32は走行・送り装置を超音波モータとし
て用いる場合を説明するための図である。FIG. 32 is a diagram for explaining a case where the traveling / feeding device is used as an ultrasonic motor.
1,2 足部 3,4 第1,第2アクチュエータ 5 中間体 6 ばね部材 7 本体 8 接触面 9 隙間 10 アクチュエータ 11 ブレーキ手段 12 中間体 13 ばね部材 14 本体 15 足部 16 足部 17 板ばね部 18 支持部 19,20 第1,第2変位発生部 25 変位検出手段 26 コントローラ 27 力検出手段 28 歪ゲージ 29 足部 30 中間体 31 本体 32 ばねヒンジ部 33 ばね部 34 ブレーキ部 35 アクチュエータ 36,37 変位発生手段 38 ばね部材 46 走行・送り装置 1, 2 Foot part 3, 4 1st, 2nd actuator 5 Intermediate body 6 Spring member 7 Main body 8 Contact surface 9 Gap 10 Actuator 11 Brake means 12 Intermediate body 13 Spring member 14 Main body 15 Foot part 16 Foot part 17 Leaf spring part 18 Support portion 19, 20 First and second displacement generating portion 25 Displacement detecting means 26 Controller 27 Force detecting means 28 Strain gauge 29 Foot portion 30 Intermediate body 31 Main body 32 Spring hinge portion 33 Spring portion 34 Brake portion 35 Actuator 36, 37 Displacement generating means 38 Spring member 46 Traveling / feeding device
Claims (15)
れる本体と、 該本体を接触面に対して所定間隔保持した状態で接触面
に平行に相対移動自在に支持される支持機構と、 前記接触面に対して接触する複数の接触子と、 該複数の接触子と前記本体との間に設けられ、前記複数
の接触子を接触面に対して押付け、押付け力を所定の荷
重に保つ押付手段と、 前記複数の前記接触子の内少なくとも一部の接触子と接
触面との間に設けられ、 前記少なくとも一部の接触子を接触面に対して押付およ
び離間する方向さらに接触面に対して平行方向に変位さ
せるアクチュエータと、 を備えている ことを特徴とする走行・送り装置。 1. Arranged at a predetermined distance from the contact surface.
And the contact surface with the main body being held at a predetermined distance from the contact surface.
A support mechanism that is supported so as to be relatively movable in parallel with the plurality of contact elements ; a plurality of contact elements that contact the contact surface; and a plurality of contact elements that are provided between the plurality of contact elements and the main body.
Of the contact element against the contact surface and apply the pressing force to the specified load.
A pressing means for maintaining a heavy weight, and contacting at least a part of the contactors of the plurality of contactors.
Provided between Sawamen, characterized in that it comprises a, an actuator for displacing in a direction parallel to the direction further contact surface pressing and away from the contact surface at least part of the contact Traveling / feeding device.
ータを複数備え、一部のアクチュエータの足部を接触面
に接しさせ、押付手段による押付力を支えながら前進動
作を行い、他のアクチュエータの足部を接触面から離間
させて前進させ、前記一部のアクチュエータと他のアク
チュエータの動作を交互に入れ換えることにより駆動を
行う請求項1に記載の走行・送り装置。 2. A plurality of actuators having a foot portion as a contactor are provided, a foot portion of a part of the actuator is brought into contact with a contact surface , and a forward movement is performed while supporting a pressing force by a pressing means, The actuator is driven by moving the legs of the actuator away from the contact surface and moving forward, and by alternating the operations of some of the actuators and other actuators.
The traveling / feeding device according to claim 1, which is performed .
タと非能動体を有し、押付手段によりそれらを全体とし
て所定の力で接触面に対して押付け、非能動体によって
支えながらアクチュエータの足部を移動させる動作と、
足部を接触面に接しさせその接点を保持したままアクチ
ュエータを動かし、足部に対して相対的に非能動体を移
動させて移動する動作とを交互に行うことにより駆動を
行うことを特徴とする請求項1に記載の走行・送り装
置。 3. An actuator having a foot as a contactor and an inactive body, the pressing means pressing them against the contact surface as a whole with a predetermined force, and supporting the inactive body to support the foot of the actuator. To move the
Driving is performed by alternately contacting the foot with the contact surface and moving the actuator while holding the contact, and moving the inactive body relatively to the foot to move.
Running and feeding instrumentation according to claim 1, characterized in that
Place.
ある請求項3に記載の走行・送り装置。 4. The traveling / feeding device according to claim 3, wherein the actuator and the inactive body are separate components .
ある請求項3に記載の走行・送り装置。 5. The traveling / feeding device according to claim 3, wherein the actuator and the inactive body are integrally configured .
力,流体圧,磁力の反発力あるいは吸引力の群から選ば
れる一つである請求項1,2または3に記載の走行・送
り装置。 6. The traveling / feeding device according to claim 1, wherein the pressing force by the pressing means is one selected from the group consisting of mechanical spring force, fluid pressure, repulsive force of magnetic force, and attractive force.
Equipment.
有している請求項1,2または3に記載の走行・送り装
置。 7. The traveling / feeding device according to claim 1, further comprising displacement detecting means for detecting displacement of the contact.
Place.
報に基づいてアクチュエータを制御する請求項7に記載
の走行・送り装置。8. The traveling / feeding device according to claim 7 , wherein the actuator is controlled based on the displacement information detected by the displacement detecting means.
段を有している請求項1,2または3に記載の走行・送
り装置。 9. The traveling / feeding device according to claim 1, further comprising force detection means for detecting a pressing force and a thrust force.
Equipment.
に基づいて押付力および推力を制御する請求項9に記載
の走行・送り装置。 10. The traveling / feeding device according to claim 9 , wherein the pressing force and the thrust force are controlled based on the force information detected by the force detecting means .
電素子または電歪素子,熱膨張によって変位する手段,
流体圧を利用した手段,ボイスコイル,磁歪素子を利用
した手段の群から選ばれる一つである請求項1,2また
は3に記載の走行・送り装置。 11. The displacement generating means of the actuator is a piezoelectric element or an electrostrictive element, means for displacing by thermal expansion,
4. The traveling / feeding device according to claim 1, wherein the traveling / feeding device is one selected from the group consisting of means utilizing fluid pressure, voice coil, and means utilizing magnetostrictive element .
状で、接触面に対し転がり接触する請求項1,2または
3に記載の走行・送り装置。 12. The traveling / feeding device according to claim 1, wherein the bottom surface of the contactor which is in contact with the contact surface has an arc shape and is in rolling contact with the contact surface .
れた位置を支点にして回転可能に支持されている請求項
1,2または3に記載の走行・送り装置。 13. contactor is running and feeding apparatus according to claim 1, 2 or 3 is rotatably supported in the fulcrum position apart a predetermined distance from the contact surface.
て支持されている請求項13に記載の走行・送り装置。 14. The traveling / feeding device according to claim 13 , wherein the contactor is supported by a hinge mechanism including a spring .
転動体を介して移動自在に支持される本体としてのブロ
ックによって構成される請求項1,2または3に記載の
走行・送り装置。 15. The support mechanism comprises a rail as a contact surface.
As a main body, which is movably supported via rolling elements,
According to claim 1, 2 or 3, wherein
Traveling / feeding device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5166154A JP2552240B2 (en) | 1993-06-12 | 1993-06-12 | Traveling / feeding device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5166154A JP2552240B2 (en) | 1993-06-12 | 1993-06-12 | Traveling / feeding device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH071367A JPH071367A (en) | 1995-01-06 |
JP2552240B2 true JP2552240B2 (en) | 1996-11-06 |
Family
ID=15826070
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5166154A Expired - Lifetime JP2552240B2 (en) | 1993-06-12 | 1993-06-12 | Traveling / feeding device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2552240B2 (en) |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62187671A (en) * | 1986-02-14 | 1987-08-17 | Hitachi Ltd | Walking stability controlling system of multi-articulated walking robot |
JPS63199185A (en) * | 1987-02-12 | 1988-08-17 | Agency Of Ind Science & Technol | Leg mechanism of leg type shifting machine |
JPS6447686A (en) * | 1987-08-15 | 1989-02-22 | Agency Ind Science Techn | Walking machine |
EP0453826B1 (en) * | 1990-04-27 | 1995-02-08 | Rockwell International Corporation | Robotic articulation |
-
1993
- 1993-06-12 JP JP5166154A patent/JP2552240B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH071367A (en) | 1995-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2706534B2 (en) | Piezoelectric drive and method | |
EP0419778A1 (en) | Piezoelectric actuator | |
US5068565A (en) | Motor conversion mechanism utilizing elastic action | |
US20080238247A1 (en) | Piezo-Electric Motor | |
JP2016533159A (en) | Compact general-purpose stick-slip piezoelectric motor | |
EP0823738A3 (en) | Inertial positioner | |
WO1993009911A1 (en) | Feed screw device and precisely positioning micromotion feed system | |
AU755504B2 (en) | Linear motion brake | |
US7528527B2 (en) | Driving device | |
US5180941A (en) | Vibration driven motor apparatus | |
EP0297574A2 (en) | Actuator which drives a driven member by using piezo-electric elements | |
US5596241A (en) | Vibration wave driven linear-motor or printer | |
CN1295058C (en) | Applied friction driving device and flexible hinge apparatus for precision movement working platform | |
JP2552240B2 (en) | Traveling / feeding device | |
JP2886452B2 (en) | Linear motion device with deformation detection means | |
KR20010086905A (en) | Biaxial press molding system | |
JP3687362B2 (en) | 2-axis moving device | |
CN105932901A (en) | Slanted-slot type diamond amplification mechanism piezoelectric stick-slip linear motor and excitation method thereof | |
JPH01303361A (en) | Feeding device for moving body | |
JPH0746444Y2 (en) | Moving table and ball screw connection mechanism | |
JP4153199B2 (en) | Precision positioning device and precision linear motion mechanism | |
JP5273270B2 (en) | Axial fine movement mechanism with rotation mechanism and positioning device using the same | |
JPH01210288A (en) | Wrist device for robot | |
KR100534140B1 (en) | Stage apparatus | |
TWI300733B (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960514 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070822 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090822 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090822 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100822 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110822 Year of fee payment: 15 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120822 Year of fee payment: 16 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130822 Year of fee payment: 17 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |