JP2542471B2 - イメ―ジ管 - Google Patents
イメ―ジ管Info
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- conductive film
- fop
- fluorescent layer
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/50—Image-conversion or image-amplification tubes, i.e. having optical, X-ray, or analogous input, and optical output
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
- H01J2231/50057—Imaging and conversion tubes characterised by form of output stage
- H01J2231/50063—Optical
-
- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2231/00—Cathode ray tubes or electron beam tubes
- H01J2231/50—Imaging and conversion tubes
- H01J2231/501—Imaging and conversion tubes including multiplication stage
- H01J2231/5013—Imaging and conversion tubes including multiplication stage with secondary emission electrodes
- H01J2231/5016—Michrochannel plates [MCP]
Landscapes
- Image-Pickup Tubes, Image-Amplification Tubes, And Storage Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Description
で、例えばイメージ・インテンシファイヤ管(I.I
管)、フレーミング管、ストリーク管として用いられ
る。
して、例えば特開昭53−67347号のX線螢光増倍
管が知られている。この電子管では、螢光面は電気泳動
法で形成され、ガラス板(出力面板)の内面に透明導電
膜、螢光層および金属薄膜を順次に堆積して構成されて
いる。
光出力部における光学的カップリングを向上させるため
に、出力面板としてファイバ光学プレート(FOP)が
用いられる。この場合には、FOPの内面に直接に螢光
層が形成され、この上に金属薄膜が堆積される。この金
属薄膜は、螢光層からの生成光が光電面側にフィードバ
ックするのを防止するもので、メタルバック薄膜とも呼
ばれる。
用いたイメージ管では、出力面板に固体撮像素子を直接
にマウントしたりする必要から、これをアース電位とす
るために、透明導電膜を出力面板の外面に形成して接地
することが行われる。すると、螢光層側は一般に正の高
電位とされるため、FOPの両面間には高い電界が印加
される。
的な電荷のチャージをリーク電流によって引き起こし、
部分的な「シミ」を生起させる。また、メタルバック薄
膜とFOPの間で放電が生じ、あるいはFOPからの電
子照射により、螢光面に輝点が生じる。したがって、画
質不良を生じやすかった。
54号公報に開示されたように2枚にすることで、耐圧
対策としては有効ではあるが、このようなFOPは一般
に高価であり、また高耐圧のFOPを選別して使用する
ことは、結果的にイメージ管の高コスト化を招く。ま
た、高耐圧のFOPを使用しても、FOPを薄くすれば
上記の欠点は生じやすくなり、印加電圧を高くしたとき
も生じやすくなる。本発明は、以上のような課題を解決
するためになされたもので、特に、薄型で高性能なイメ
ージ管を低コストで提供することをその目的としてい
る。
このような問題点を解決したものであって、真空容器
と、この真空容器を構成する受光面板の内面に形成され
た光電面と、真空容器に取り付けられて内部を密封する
出力面板としてのファイバ光学プレートとを備えたイメ
ージ管において、ファイバ光学プレートの内面に形成さ
れた第1の透明導電膜と、ファイバ光学プレートの外面
に形成された第2の透明導電膜と、第1の透明導電膜上
に設けられた螢光層と、第1の透明導電膜に電気的に接
続されると共に螢光層上に形成された導電性反射膜とを
備えたことを特徴とする。
が電気的に接続されると共に正の高電圧が印加され、第
2の透明導電膜は接地されるようにすることが望まし
く、真空容器の内部には、光電面からの放出光電子を増
倍して螢光層に入射する電子増倍部を更に備えてもよ
い。
OP(ファイバ光学プレート)で構成すると共に、この
FOPを第1の透明導電膜と第2の透明導電膜とで挟み
込んでいる。そして、第1の透明導電膜上に螢光層を直
付けし、第1の透明導電膜に導電性反射膜を接続させる
ことにより、第1の透明導電膜と螢光層と導電性反射膜
とを同電位にすることができる。更に、透明導電膜間に
電圧をかけた場合、FOPの製造過程で発生する部分的
な抵抗ムラに起因して、FOP内部に部分的なリーク電
流が発生しても、螢光層に部分的な電荷のチャージを発
生させることがない。従って、イメージ管に電圧を印加
してイメージングを開始した直後においても、輝点やシ
ミを発生させることはなく、画質の向上(特に撮影開始
直後から数秒ないし数十秒の間の画質の向上)をなし得
る。
明する。なお、同一符号を同一要素に付することとし
て、重複した説明は省略する。
の断面図であり、同図(a)は全体構成、同図(b)は
要部構成を示している。同図(a)に示す通り、真空容
器は円筒容器1の一方の開口に出力面板としてのガラス
製の受光面板2を取り付けることで構成され、他方の開
口にはFOP3が保持具4によって取り付けられてい
る。また、受光面板2の内面にはアルカリ金属などの光
電面5が形成され、FOP3の内面には螢光面6が形成
されている。
FOP3上には第1の透明導電膜61がITOなどで形
成され、その上には絶縁性の高い螢光層62が堆積さ
れ、さらに螢光層62上には、Alなどからなる導電性
反射膜(メタルバック電極)63が第1の透明導電膜6
1と電気的に接続するように被着されている。そして、
FOP3の外面にはITOなどで第2の透明導電膜7が
形成されている。
比べて正の高電位とされている。このため、入射光(h
ν)によって光電面5で光電子が生成されると、螢光面
6に入射されて発光する。ここで、FOP3の外面に設
けられた第2の透明導電膜7は、アースされるためFO
P3には高電界が生じ、したがってリーク電流が生じ得
るが、これらは第1の透明導電膜61を介して外部に放
出されるので、放電が生じたり、螢光層62に部分的に
チャージアップを生じたりすることはない。
後、イメージングを開始した直後においても、輝点や
「シミ」などを生じることはない。このため、画質の向
上(特に撮像開始の直後から数秒ないし数十秒の間の画
質の向上)をなし得る。
電膜61はITOに限られるものではないが、画質の低
下を生じない程度の膜厚(例えばITOでは、1000
〜数1000オングストローム程度)であることが望ま
しい。
の全体構成を示し、出力部については図1(b)と同様
になっている。この実施例では、受光面板2はガラスバ
ルブの一部として構成され、光電面5と螢光面6の間に
は、電子像を結像するための電子レンズ8と、電子像を
増強するための電子増倍部としてのマイクロチャンネル
プレート(MCP)9とが設けられている。
透明導電膜7の電位差が一般により大きくなるので、本
発明を採用する効果は大きい。
FOP(ファイバ光学プレート)の内面には、第1の透
明導電膜が形成され、この上に螢光層および導電性反射
膜が形成されるので、これらは同一の正の高電位とされ
得る。したがって、FOPの外面に第2の透明導電膜を
形成し、これを接地したときに、FOP内部で部分的に
リーク電流が生じても、螢光層に部分的な電荷のチャー
ジを生じることはない。このため、高耐圧用のFOPを
選別して利用することが不要となるので、高性能のイメ
ージ管を低コストで供給することが可能になる。また、
FOPを薄くすることも可能になる。
および要部構成を示す断面図。
図。
具、5…光電面、6…螢光面、61…第1の透明導電
膜、62…螢光層、63…メタルバック電極、7…第2
の透明導電膜、8…電子レンズ、9…マイクロチャンネ
ルプレート。
Claims (3)
- 【請求項1】 真空容器と、この真空容器を構成する受
光面板の内面に形成された光電面と、前記真空容器に取
り付けられて内部を密封する出力面板としてのファイバ
光学プレートとを備えたイメージ管において、 前記ファイバ光学プレートの内面に形成された第1の透
明導電膜と、前記ファイバ光学プレートの外面に形成さ
れた第2の透明導電膜と、前記第1の透明導電膜上に設
けられた螢光層と、前記第1の透明導電膜に電気的に接
続されると共に前記螢光層上に形成された導電性反射膜
とを備えたことを特徴とするイメージ管。 - 【請求項2】 前記第1の透明導電膜と前記導電性反射
膜が電気的に接続されると共に正の高電圧が印加され、 前記第2の透明導電膜は接地されている請求項1記載の
イメージ管。 - 【請求項3】 前記真空容器の内部には、前記光電面か
らの放出光電子を増倍して前記螢光層に入射する電子増
倍部を更に備える請求項1記載のイメージ管。
Priority Applications (4)
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Publications (2)
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Family Applications (1)
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