JP2535694Y2 - 電子線源装置 - Google Patents
電子線源装置Info
- Publication number
- JP2535694Y2 JP2535694Y2 JP1992036688U JP3668892U JP2535694Y2 JP 2535694 Y2 JP2535694 Y2 JP 2535694Y2 JP 1992036688 U JP1992036688 U JP 1992036688U JP 3668892 U JP3668892 U JP 3668892U JP 2535694 Y2 JP2535694 Y2 JP 2535694Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- shield
- electron beam
- beam source
- power supply
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は質量分析計の試料イオン
化装置等に用いられる電子線源の構造に関する。
化装置等に用いられる電子線源の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】質量分析計で試料をイオン化するのに電
子衝撃法或いは化学イオン化法を用いる場合の試料イオ
ン化装置は通常図３に示すような構造になっている。図
でＡは試料イオン化室で、この室外に電子線源Ｂが配置
され、イオン化室の側面の開口Ａ１を通して電子線源Ｂ
より放射される電子ビームがイオン化室内に入射せしめ
られる。イオン化室内には試料ガスが導入されており、
電子線源のフィラメントとイオン化室との間には適当な
電子加速電圧が印加してあるので、イオン化室内では加
速された電子と試料分子とが衝突して試料のイオン化が
行われ、生成したイオンはイオン化室Ａのイオン出射開
口Ａ２より出射して質量分析部Ｍに入射せしめられる。
子衝撃法或いは化学イオン化法を用いる場合の試料イオ
ン化装置は通常図３に示すような構造になっている。図
でＡは試料イオン化室で、この室外に電子線源Ｂが配置
され、イオン化室の側面の開口Ａ１を通して電子線源Ｂ
より放射される電子ビームがイオン化室内に入射せしめ
られる。イオン化室内には試料ガスが導入されており、
電子線源のフィラメントとイオン化室との間には適当な
電子加速電圧が印加してあるので、イオン化室内では加
速された電子と試料分子とが衝突して試料のイオン化が
行われ、生成したイオンはイオン化室Ａのイオン出射開
口Ａ２より出射して質量分析部Ｍに入射せしめられる。
【０００３】上述したような試料イオン化装置におい
て、電子線源Ｂは従来図４に示すような構造となってい
た。１はフィラメント、２はフィラメントを囲む箱状の
シールドで、電子出射開口２１を有し、図３に４で示す
電源を入れてフィラメント１に対して負電位になるよう
にしてある。図３のイオン化室はフィラメント１に対し
て数１０Ｖの正電位が与えてある。３はフィラメント１
に加熱電流を流す電源であり、４はフィラメントに対し
シールド２を負電位に保つための電源、５はフィラメン
ト１とイオン化室Ａとの間に電子加速電圧を与える電源
である。図４に示すように、フィラメント１とシールド
２とはセラミック台６に取付られて一ユニットを構成
し、このユニットが質量分析計に対して取付られる。セ
ラミック台６にはフィラメント１の両端に接続される２
本のリード線Ｌ１，Ｌ２と、シールド２に接続される１
本のリード線Ｌ３の３本のリード線が取付けられてお
り、この３本のリード線は質量分析計の真空容器の器壁
を貫く３本のフィードスルーを通して真空容器外に導出
され、図３に示すように各電源と接続される。
て、電子線源Ｂは従来図４に示すような構造となってい
た。１はフィラメント、２はフィラメントを囲む箱状の
シールドで、電子出射開口２１を有し、図３に４で示す
電源を入れてフィラメント１に対して負電位になるよう
にしてある。図３のイオン化室はフィラメント１に対し
て数１０Ｖの正電位が与えてある。３はフィラメント１
に加熱電流を流す電源であり、４はフィラメントに対し
シールド２を負電位に保つための電源、５はフィラメン
ト１とイオン化室Ａとの間に電子加速電圧を与える電源
である。図４に示すように、フィラメント１とシールド
２とはセラミック台６に取付られて一ユニットを構成
し、このユニットが質量分析計に対して取付られる。セ
ラミック台６にはフィラメント１の両端に接続される２
本のリード線Ｌ１，Ｌ２と、シールド２に接続される１
本のリード線Ｌ３の３本のリード線が取付けられてお
り、この３本のリード線は質量分析計の真空容器の器壁
を貫く３本のフィードスルーを通して真空容器外に導出
され、図３に示すように各電源と接続される。
【０００４】シールド２をフィラメント１に対して負電
位にするのは、フィラメント１より４方に放出される電
子をシールド２の開口２１に向けて反撥し、正電位にあ
るイオン化室Ａの電子吸引効率を向上させ、開口２１を
通過する電子線束を細く絞って、イオン化室の開口Ａ１
よりイオン化室内への電子入射効率を高めるためであ
る。このため従来装置は上述したように電源４を用い、
３本のフィードスルーを通してフィラメントへの通電
と、シールドへの負電位印加を行っていた。
位にするのは、フィラメント１より４方に放出される電
子をシールド２の開口２１に向けて反撥し、正電位にあ
るイオン化室Ａの電子吸引効率を向上させ、開口２１を
通過する電子線束を細く絞って、イオン化室の開口Ａ１
よりイオン化室内への電子入射効率を高めるためであ
る。このため従来装置は上述したように電源４を用い、
３本のフィードスルーを通してフィラメントへの通電
と、シールドへの負電位印加を行っていた。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】上述したように従来は
シールドに負電位を与えるため一つの電源と、真空容器
壁を貫通するフィードスルーを必要としていたが、本考
案はこれらを不要として、電子線源の構造を簡単にしよ
うとするものである。
シールドに負電位を与えるため一つの電源と、真空容器
壁を貫通するフィードスルーを必要としていたが、本考
案はこれらを不要として、電子線源の構造を簡単にしよ
うとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】フィラメントの一端を抵
抗を介してシールドに接続し、シールドとフィラメント
の他端との間にシールド側を負極にしてフィラメント電
流の電源を接続した。
抗を介してシールドに接続し、シールドとフィラメント
の他端との間にシールド側を負極にしてフィラメント電
流の電源を接続した。
【０００７】
【作用】シールドはフィラメント電源の負極側より抵抗
Ｒによる電圧降下分だけ低い電位であり、フィラメント
の何れの部分もシールドより高電位にあるから、シール
ドはフィラメントに対して負電位とされ、シールド用の
電源と、シールドをシールド用電源に接続するためのフ
ィードスルー１本が不要となり、電子線源が簡単化され
る。その上、フィラメントから放出される電子を細く絞
って、しかも効率よく電子出射開口より出射させるため
には、フィラメントとシールド間に最適電位を与える必
要があるが、抵抗Ｒによってこの電位が選択可能である
ので、予めＲをその最適値に選定しておくことが可能に
なる。
Ｒによる電圧降下分だけ低い電位であり、フィラメント
の何れの部分もシールドより高電位にあるから、シール
ドはフィラメントに対して負電位とされ、シールド用の
電源と、シールドをシールド用電源に接続するためのフ
ィードスルー１本が不要となり、電子線源が簡単化され
る。その上、フィラメントから放出される電子を細く絞
って、しかも効率よく電子出射開口より出射させるため
には、フィラメントとシールド間に最適電位を与える必
要があるが、抵抗Ｒによってこの電位が選択可能である
ので、予めＲをその最適値に選定しておくことが可能に
なる。
【０００８】
【実施例】図１に本考案の一実施例を示し、図２Ａにそ
の回路を示す。１はフィラメント、２はシールドで箱状
をなして電子出射開口２１を有し、フィラメント１を囲
んでいる。６はセラミック台で２個の端子金具６１，６
２を備えており、フィラメント１の一端と、リード線Ｌ
２が端子金具６１に接続され、フィラメントの他端と端
子金具６２との間に抵抗Ｒが入って、端子金具６２にリ
ード線Ｌ１が接続される。こゝでシールド２はフィラメ
ント１の一端の端子に対応する部分が延出されて端子金
具６２に抵抗Ｒの一端とリード線Ｌ１と共に螺着され
る。リード線Ｌ１，Ｌ２は不図示フィードスルーを通し
て質量分析計の真空容器外に導出されて、フィラメント
電源３に接続される。このとき、電源３の負極がリード
線Ｌ１と接続されることにより、シールド２が電源３の
負極に接続される。
の回路を示す。１はフィラメント、２はシールドで箱状
をなして電子出射開口２１を有し、フィラメント１を囲
んでいる。６はセラミック台で２個の端子金具６１，６
２を備えており、フィラメント１の一端と、リード線Ｌ
２が端子金具６１に接続され、フィラメントの他端と端
子金具６２との間に抵抗Ｒが入って、端子金具６２にリ
ード線Ｌ１が接続される。こゝでシールド２はフィラメ
ント１の一端の端子に対応する部分が延出されて端子金
具６２に抵抗Ｒの一端とリード線Ｌ１と共に螺着され
る。リード線Ｌ１，Ｌ２は不図示フィードスルーを通し
て質量分析計の真空容器外に導出されて、フィラメント
電源３に接続される。このとき、電源３の負極がリード
線Ｌ１と接続されることにより、シールド２が電源３の
負極に接続される。
【０００９】図２Ｂは本考案の他の実施例を示す。これ
はデユアルフィラメント方式の電子線源に本考案を適用
した例で、１Ａ，１Ｂがデュアルフィラメントであり、
２Ａ，２Ｂが各フィラメントに対するシールドで、各シ
ールドは夫々のフィラメント負極側と抵抗Ｒを介して接
続されている。従来この型の場合、フィードスルーは６
本必要であったが、本考案ではこれが４本ですみ、従来
４個必要であった電源が３Ａ，３Ｂの２個だけでよくな
っている。
はデユアルフィラメント方式の電子線源に本考案を適用
した例で、１Ａ，１Ｂがデュアルフィラメントであり、
２Ａ，２Ｂが各フィラメントに対するシールドで、各シ
ールドは夫々のフィラメント負極側と抵抗Ｒを介して接
続されている。従来この型の場合、フィードスルーは６
本必要であったが、本考案ではこれが４本ですみ、従来
４個必要であった電源が３Ａ，３Ｂの２個だけでよくな
っている。
【００１０】
【考案の効果】本考案によれば、電子線源装置におい
て、フィラメントシールド用の電源とリード線が不要と
なった結果、フィードスルーの数も減り、電子線源装置
が簡単となり、フィラメント交換等の保守作業も簡単に
なった。
て、フィラメントシールド用の電源とリード線が不要と
なった結果、フィードスルーの数も減り、電子線源装置
が簡単となり、フィラメント交換等の保守作業も簡単に
なった。
【図１】本考案の一実施例装置の斜視図
【図２】上記実施例および他の実施例の回路図
【図３】質量分析計の従来のイオン化室の説明図
【図４】電子線源装置の従来例の斜視図
１ フィラメント ２ シールド ３ フィラメント電源 ６ セラミック台 Ｌ１，Ｌ２ リード線
Claims (1)
- 【請求項１】 フィラメントの一端をフィラメントを囲
むシールドに抵抗を介して接続し、シールドとフィラメ
ントの他端との間にフィラメント電流の電源を、その負
極側が上記抵抗とシールドとの接続点になるように接続
してなる電子線源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992036688U JP2535694Y2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 電子線源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992036688U JP2535694Y2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 電子線源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587798U JPH0587798U (ja) | 1993-11-26 |
| JP2535694Y2 true JP2535694Y2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=12476769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992036688U Expired - Lifetime JP2535694Y2 (ja) | 1992-04-30 | 1992-04-30 | 電子線源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535694Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6195233A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-14 | Shimadzu Corp | 二次イオン質量分析計における残留ガスイオン化装置 |
-
1992
- 1992-04-30 JP JP1992036688U patent/JP2535694Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587798U (ja) | 1993-11-26 |
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