JP2534842B2 - 基板分離装置および基板分離方法 - Google Patents
基板分離装置および基板分離方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板分離装置および基板
分離方法に係わり、特に積層状態の基板を１枚づつ分離
して他の基板加工装置へ運搬、投入する装置およびその
方法に関する。
分離方法に係わり、特に積層状態の基板を１枚づつ分離
して他の基板加工装置へ運搬、投入する装置およびその
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板分離装置は、波打ち
駆動装置で一部の吸着パットを昇降させ、基板に波打ち
動作させて分離の確実を図ることが行われている。
駆動装置で一部の吸着パットを昇降させ、基板に波打ち
動作させて分離の確実を図ることが行われている。
【０００３】例えば、特開平４−３５１２３７号公報に
は、２枚検出装置の２枚重なり状態の検出信号に応答し
てローダの下降、波打ち動作、及び２枚検出動作を繰り
返し行わせる再試行制御手段を設けた基板分離装置にお
いて、２枚検出の繰り返し回数の増加に応じて波打ち動
作回数を増加させる波打ち回数増加手段を設けることに
より、２枚吸着時の分離の効率向上を図る図４に示すよ
うな技術が開示されている。
は、２枚検出装置の２枚重なり状態の検出信号に応答し
てローダの下降、波打ち動作、及び２枚検出動作を繰り
返し行わせる再試行制御手段を設けた基板分離装置にお
いて、２枚検出の繰り返し回数の増加に応じて波打ち動
作回数を増加させる波打ち回数増加手段を設けることに
より、２枚吸着時の分離の効率向上を図る図４に示すよ
うな技術が開示されている。
【０００４】すなわち従来技術の図４において、パンダ
グラフ式の昇降機構２２に取り付けたローダー２１は波
打ち駆動装置２３に接続する多数の吸着パッド４を有
し、材料台車１９上に積層された多数の基板Ｗを上から
１枚ずつ多数の吸着パッド４で吸着し持ち上げてレール
８に沿って基板加工機２０上に移動して基板加工機２０
に装着させる。不所望に一番上の基板に次の基板が密着
して２枚の基板が同時に持ち上げられた際にはこれを２
枚検出装置６で検出する。搬送制御装置２４において、
１枚分離制御手段１０はシーケンス制御プログラムの一
部であり、波打ち駆動装置２３を駆動する波打ち制御手
段１２、波打ち所定の繰り返し動作を行わせる再試行制
御手段１３、所定の繰り返し動作を行っても分離できな
い場合に報知手段１４によりアラームを発生させかつ機
械全体を停止させる２枚吸着エラー検出手段１５を設け
てある。さらに、波打ち制御手段１２にはトライステッ
プごとの波打ち動作回数を所定の動作回数に増加させる
波打ち回数増加手段２５を有し、再試行制御手段１３に
はリトライ回数（繰り返し回数）をカウントするリトラ
イ回数カウンタ２６を有し、２枚吸着エラー検出手段１
５にはリトライ回数を設定するリトライ回数設定部１６
を有している。
グラフ式の昇降機構２２に取り付けたローダー２１は波
打ち駆動装置２３に接続する多数の吸着パッド４を有
し、材料台車１９上に積層された多数の基板Ｗを上から
１枚ずつ多数の吸着パッド４で吸着し持ち上げてレール
８に沿って基板加工機２０上に移動して基板加工機２０
に装着させる。不所望に一番上の基板に次の基板が密着
して２枚の基板が同時に持ち上げられた際にはこれを２
枚検出装置６で検出する。搬送制御装置２４において、
１枚分離制御手段１０はシーケンス制御プログラムの一
部であり、波打ち駆動装置２３を駆動する波打ち制御手
段１２、波打ち所定の繰り返し動作を行わせる再試行制
御手段１３、所定の繰り返し動作を行っても分離できな
い場合に報知手段１４によりアラームを発生させかつ機
械全体を停止させる２枚吸着エラー検出手段１５を設け
てある。さらに、波打ち制御手段１２にはトライステッ
プごとの波打ち動作回数を所定の動作回数に増加させる
波打ち回数増加手段２５を有し、再試行制御手段１３に
はリトライ回数（繰り返し回数）をカウントするリトラ
イ回数カウンタ２６を有し、２枚吸着エラー検出手段１
５にはリトライ回数を設定するリトライ回数設定部１６
を有している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】この従来の基板分離装
置では、繰り返し回数（リトライ回数）、及びそれぞれ
の波打ちトライにおける波打ち動作回数が増えても各繰
り返し過程における波打ち動作パターンが同じであるた
め、最初の波打ち動作で分離が不可能であった２枚重な
り状態を何度か波打ち動作を繰り返しても分離できない
という問題点がある。すなわち、２枚検出の繰り返し回
数が多い場合は、重なり状態の基板の付着性が強い場合
であるが、その場合でも同じ波打ち動作しか行わないた
め、繰り返し時の分離の成功率が低いものである。
置では、繰り返し回数（リトライ回数）、及びそれぞれ
の波打ちトライにおける波打ち動作回数が増えても各繰
り返し過程における波打ち動作パターンが同じであるた
め、最初の波打ち動作で分離が不可能であった２枚重な
り状態を何度か波打ち動作を繰り返しても分離できない
という問題点がある。すなわち、２枚検出の繰り返し回
数が多い場合は、重なり状態の基板の付着性が強い場合
であるが、その場合でも同じ波打ち動作しか行わないた
め、繰り返し時の分離の成功率が低いものである。
【０００６】したがって本発明の目的は、このような問
題を解消し、２枚吸着時の分離の効率向上を図ることの
できる基板分離装置およびその分離方法を提供すること
にある。
題を解消し、２枚吸着時の分離の効率向上を図ることの
できる基板分離装置およびその分離方法を提供すること
にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、それぞ
れ独立して上昇、下降、中間停止のできる複数のシリン
ダーを平面的に配列し、前記シリンダーの先端に吸着パ
ットを取り付け、前記吸着パットにて吸着した基板を前
記シリンダーの昇降にて波打ち動作させる機構を有する
吸着ヘッドと、前記の吸着された基板が各吸着パット上
昇位置にて２枚重なり状態であることを検出する２枚検
出装置と、この２枚検出装置の検出信号に応答して２枚
重なり状態の基板の重なり態様を自己判断する再試行制
御手段と、前記再試行制御手段にて判断された２枚重な
り状態を分離するために前記重なり態様に応じて最適な
動作パターンを選択し、各シリンダーに出力する波打ち
制御手段とを有する基板分離装置にある。
れ独立して上昇、下降、中間停止のできる複数のシリン
ダーを平面的に配列し、前記シリンダーの先端に吸着パ
ットを取り付け、前記吸着パットにて吸着した基板を前
記シリンダーの昇降にて波打ち動作させる機構を有する
吸着ヘッドと、前記の吸着された基板が各吸着パット上
昇位置にて２枚重なり状態であることを検出する２枚検
出装置と、この２枚検出装置の検出信号に応答して２枚
重なり状態の基板の重なり態様を自己判断する再試行制
御手段と、前記再試行制御手段にて判断された２枚重な
り状態を分離するために前記重なり態様に応じて最適な
動作パターンを選択し、各シリンダーに出力する波打ち
制御手段とを有する基板分離装置にある。
【０００８】本発明の他の特徴は、前記再試行制御手段
の判断により選択された前記動作パターンにより前記各
シリンダーを動作させて重なり状態の前記基板を分離す
る前記基板装置を用いた基板分離方法にある。
の判断により選択された前記動作パターンにより前記各
シリンダーを動作させて重なり状態の前記基板を分離す
る前記基板装置を用いた基板分離方法にある。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の一実施例をプリント基板の分
離を例にとって図面を用いて説明する。
離を例にとって図面を用いて説明する。
【００１０】図１は本発明の一実施例を示す構成図であ
る。
る。
【００１１】図１において、サーボモーター等により高
精度にピッチ送りが可能なエレベーター１を有する昇降
テーブル２と、昇降テーブル２上に積層状態に段積みさ
れた基板Ｗを吸着するためそれぞれ独立して上昇・下降
・中間停止が可能な複数のシリンダーの先端に吸着パッ
ト４を有する吸着ヘッド５と、吸着パット４にて吸着し
た基板Ｗの厚みを測定し確実に分離されたかどうか判定
する２枚検出装置６とを有している。この２枚検出装置
６は基板Ｗの側面の複数個所の厚みをそれぞれ測定して
２枚の基板が密着している重なり態様を認識するため
に、それぞれの個所に対向して複数個設けられている。
精度にピッチ送りが可能なエレベーター１を有する昇降
テーブル２と、昇降テーブル２上に積層状態に段積みさ
れた基板Ｗを吸着するためそれぞれ独立して上昇・下降
・中間停止が可能な複数のシリンダーの先端に吸着パッ
ト４を有する吸着ヘッド５と、吸着パット４にて吸着し
た基板Ｗの厚みを測定し確実に分離されたかどうか判定
する２枚検出装置６とを有している。この２枚検出装置
６は基板Ｗの側面の複数個所の厚みをそれぞれ測定して
２枚の基板が密着している重なり態様を認識するため
に、それぞれの個所に対向して複数個設けられている。
【００１２】又、２枚検出装置６自体は、渦電流変位セ
ンサ等を使用して挟み込み厚さを検知するものであり従
来から使用されているため図面による説明は省略する。
ンサ等を使用して挟み込み厚さを検知するものであり従
来から使用されているため図面による説明は省略する。
【００１３】吸着ヘッド５は昇降テーブル２と、吸着さ
れた基板Ｗを次工程へ搬出するための搬出コンベア７と
の上部を往復するためレール８に沿って走行する。
れた基板Ｗを次工程へ搬出するための搬出コンベア７と
の上部を往復するためレール８に沿って走行する。
【００１４】次に制御系を説明する。
【００１５】搬送・昇降制御装置９は吸着ヘッド５の他
に昇降テーブル２や搬出コンベア７等を含めた装置全体
の自動運転を行う手段であり、昇降テーブル２への基板
供給装置（図示省略）や搬出コンベア７後の基板加工装
置（図示省略）とのタイミング信号の送受を互いに行
う。
に昇降テーブル２や搬出コンベア７等を含めた装置全体
の自動運転を行う手段であり、昇降テーブル２への基板
供給装置（図示省略）や搬出コンベア７後の基板加工装
置（図示省略）とのタイミング信号の送受を互いに行
う。
【００１６】１枚分離制御手段１０は、搬送・昇降制御
装置９に設けたシーケンス制御プログラムの一部であ
り、パソコン等からの基板Ｗの大きさ・厚み・枚数等の
基板情報１１を受け、吸着ヘッド５に配列されたシリン
ダー３を昇降させて昇降テーブル２上の基板Ｗを１枚吸
着するプログラムからなる。
装置９に設けたシーケンス制御プログラムの一部であ
り、パソコン等からの基板Ｗの大きさ・厚み・枚数等の
基板情報１１を受け、吸着ヘッド５に配列されたシリン
ダー３を昇降させて昇降テーブル２上の基板Ｗを１枚吸
着するプログラムからなる。
【００１７】１枚分離制御手段１０には、吸着ヘッド５
に配列された各シリンダー３を昇降させて吸着した基板
Ｗを波打たせる波打ち制御手段１２と、２枚検出装置６
の２枚重なり状態の検出信号に応答して、基板Ｗの吸着
状態を自己判断する再試行制御手段１３と、所定の繰り
返し動作を行っても分離できない場合に報知手段１４に
アラームを発生させると共に装置全体を停止させる２枚
吸着エラー検出手段１５とが設けてある。
に配列された各シリンダー３を昇降させて吸着した基板
Ｗを波打たせる波打ち制御手段１２と、２枚検出装置６
の２枚重なり状態の検出信号に応答して、基板Ｗの吸着
状態を自己判断する再試行制御手段１３と、所定の繰り
返し動作を行っても分離できない場合に報知手段１４に
アラームを発生させると共に装置全体を停止させる２枚
吸着エラー検出手段１５とが設けてある。
【００１８】次に、図２、図３を参照して、本実施例の
動作について説明する。
動作について説明する。
【００１９】図２は、図１の１枚分離制御手段１０の全
体動作の概略を示す。まず段積みされた基板Ｗの最上段
が吸着パット４の吸着位置となるよう昇降テーブル２を
上昇させ（Ｓ１）、吸着パット４を下降し、最上段の基
板Ｗを吸着する（Ｓ２）。吸着後、各シリンダー３を波
打ち動作プログラムに沿って上昇・停止を繰り返して基
板Ｗを波打ちながら上昇させる（Ｓ３）。この波打ち動
作により、基板Ｗの重なり状態の分離性が向上する。波
打ちの後、吸着パット４にて吸着されている基板Ｗの厚
みを複数の側面個所でそれぞれの２枚検出装置６で検出
する（Ｓ４）。２枚検出装置６にて適正状態、すなわち
１枚のみの吸着状態であると判断された場合は（Ｓ
５）、後述の波打ち動作パターンクリア（Ｓ６）の後の
次工程に進み（Ｓ７）吸着ヘッド５を搬出コンベア７上
に移動して、基板Ｗを次工程へ搬出する。
体動作の概略を示す。まず段積みされた基板Ｗの最上段
が吸着パット４の吸着位置となるよう昇降テーブル２を
上昇させ（Ｓ１）、吸着パット４を下降し、最上段の基
板Ｗを吸着する（Ｓ２）。吸着後、各シリンダー３を波
打ち動作プログラムに沿って上昇・停止を繰り返して基
板Ｗを波打ちながら上昇させる（Ｓ３）。この波打ち動
作により、基板Ｗの重なり状態の分離性が向上する。波
打ちの後、吸着パット４にて吸着されている基板Ｗの厚
みを複数の側面個所でそれぞれの２枚検出装置６で検出
する（Ｓ４）。２枚検出装置６にて適正状態、すなわち
１枚のみの吸着状態であると判断された場合は（Ｓ
５）、後述の波打ち動作パターンクリア（Ｓ６）の後の
次工程に進み（Ｓ７）吸着ヘッド５を搬出コンベア７上
に移動して、基板Ｗを次工程へ搬出する。
【００２０】ステップＳ５の２枚検出の判断過程で、吸
着パットに吸着されている基板とその後の基板とが密着
（接着）して２枚同時に打ち上げられることにより、吸
着枚数が適正でないと判断された場合は、リトライ回数
の判断ステップ（Ｓ１０）に進み、リトライ回数設定部
１６により設定されたリトライ回数になったか否かを判
断する。
着パットに吸着されている基板とその後の基板とが密着
（接着）して２枚同時に打ち上げられることにより、吸
着枚数が適正でないと判断された場合は、リトライ回数
の判断ステップ（Ｓ１０）に進み、リトライ回数設定部
１６により設定されたリトライ回数になったか否かを判
断する。
【００２１】最初の時は、次の判断ステップＳ１２に進
み、２枚検出装置６の検出結果が２枚重なり状態である
か、基板無しの吸着ミス状態であるかを判断する。
み、２枚検出装置６の検出結果が２枚重なり状態である
か、基板無しの吸着ミス状態であるかを判断する。
【００２２】２枚重なり状態の場合は再試行制御手段１
３の中の吸着状態自己判断部１７に進み、それぞれの２
枚検出装置６の検出結果から基板の重なり態様を自己判
断し（Ｓ８）、波打ち制御手段１２の中の波打ちパター
ン選択部１８において次のリトライ時のシリンダー３の
波打ち動作パターンを選択する（Ｓ９）。
３の中の吸着状態自己判断部１７に進み、それぞれの２
枚検出装置６の検出結果から基板の重なり態様を自己判
断し（Ｓ８）、波打ち制御手段１２の中の波打ちパター
ン選択部１８において次のリトライ時のシリンダー３の
波打ち動作パターンを選択する（Ｓ９）。
【００２３】この後、吸着パット４を下降し、新しく選
択された波打ちパターンで分離動作と２枚検出装置６に
よる検出を繰り返す。波打ち動作パターンの変更により
２枚検出が適正と判断されると（Ｓ５）、波打ちパター
ン選択部１８で選択された動作パターンをクリアした後
（Ｓ６）、次工程に進む。
択された波打ちパターンで分離動作と２枚検出装置６に
よる検出を繰り返す。波打ち動作パターンの変更により
２枚検出が適正と判断されると（Ｓ５）、波打ちパター
ン選択部１８で選択された動作パターンをクリアした後
（Ｓ６）、次工程に進む。
【００２４】この基板分離装置は、このように２枚重な
りの状態に応じて波打ち動作による基板分離の最適パタ
ーンを選択するので、２枚重なり時の基板分離の確実性
が増す。
りの状態に応じて波打ち動作による基板分離の最適パタ
ーンを選択するので、２枚重なり時の基板分離の確実性
が増す。
【００２５】図３は２枚重なり検出時の分離動作パター
ンを例示するものである。
ンを例示するものである。
【００２６】図３（Ａ）は平面形状で３行３列に配列さ
れた吸着パット４（ａ〜ｉ）により一番上の基板Ｗで吸
着されている。
れた吸着パット４（ａ〜ｉ）により一番上の基板Ｗで吸
着されている。
【００２７】ここで図３（Ａ）の図面の左側で基板２枚
の重なりが検出されパットａ−ｄ−ｇのライン下で２枚
の基板が密着重っており、一方、図面の右側では基板２
枚の重なりが検出されないでパットｃ−ｆ−ｉのライン
下で２枚の基板を重っていない重なり態様の２枚の基板
Ｗの分離について、それぞれのシリンダーによる吸着パ
ットの上下動作パターンを説明する。
の重なりが検出されパットａ−ｄ−ｇのライン下で２枚
の基板が密着重っており、一方、図面の右側では基板２
枚の重なりが検出されないでパットｃ−ｆ−ｉのライン
下で２枚の基板を重っていない重なり態様の２枚の基板
Ｗの分離について、それぞれのシリンダーによる吸着パ
ットの上下動作パターンを説明する。
【００２８】図３（Ｂ）の「Ｙ方向より」の１−２−３
−４のステップで図示したように、ａ，ｂ，ｃどうしは
たがいに同一の高さを維持して上下動し、ｄ，ｅ，ｆど
うしもたがいに同一の高さを維持して上下動し、ｇ，
ｈ，ｉどうしもたがいに同一の高さを維持して上下動を
し、これによりＹ方向から視た基板Ｗは屈曲運動をしな
いで上下動をする。
−４のステップで図示したように、ａ，ｂ，ｃどうしは
たがいに同一の高さを維持して上下動し、ｄ，ｅ，ｆど
うしもたがいに同一の高さを維持して上下動し、ｇ，
ｈ，ｉどうしもたがいに同一の高さを維持して上下動を
し、これによりＹ方向から視た基板Ｗは屈曲運動をしな
いで上下動をする。
【００２９】一方、図３（Ｂ）の「Ｘ方向より」の１−
２−３−４のステップのうちのステップ２−３で図示し
たように、ａ，ｄ，ｇは中央のｄに対して両側のａ，ｇ
は上下の位置を異ならせて上下動し、ｂ，ｅ，ｈも中央
のｅに対して両側のｂ，ｈは上下の位置を異ならせて上
下動し、ｃ，ｆ，ｉも中央のｆに対して両側のｃ，ｉは
上下の位置を異ならせて上下動し、これによりＹ方向か
ら視た基板Ｗは波状に波打つように屈曲運動をしながら
上下動する。
２−３−４のステップのうちのステップ２−３で図示し
たように、ａ，ｄ，ｇは中央のｄに対して両側のａ，ｇ
は上下の位置を異ならせて上下動し、ｂ，ｅ，ｈも中央
のｅに対して両側のｂ，ｈは上下の位置を異ならせて上
下動し、ｃ，ｆ，ｉも中央のｆに対して両側のｃ，ｉは
上下の位置を異ならせて上下動し、これによりＹ方向か
ら視た基板Ｗは波状に波打つように屈曲運動をしながら
上下動する。
【００３０】このような動作パターンにより分離の成功
率を高めることができる。
率を高めることができる。
【００３１】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
吸着パットにて吸着した基板が２枚検出装置で２枚重な
り状態であると判断された場合、その重なり態様を自己
判断し、その都度分離に最適なシリンダー動作パターン
を選択して分離動作を行うため、繰り返し過程における
２枚分離の成功率が向上するという効果がある。
吸着パットにて吸着した基板が２枚検出装置で２枚重な
り状態であると判断された場合、その重なり態様を自己
判断し、その都度分離に最適なシリンダー動作パターン
を選択して分離動作を行うため、繰り返し過程における
２枚分離の成功率が向上するという効果がある。
【図１】本発明の一実施例による基板分離装置を示す構
成図である。
成図である。
【図２】図１の基板分離装置の動作を示す流れ図であ
る。
る。
【図３】２枚重なり検出時の分離動作のパターン例を示
す図である。
す図である。
【図４】従来の基板分離装置を示す構成図である。
１ エレベーター ２ 昇降テーブル ３ シリンダー ４ 吸着パット ５ 吸着ヘッド ６ ２枚検出装置 ７ 搬出コンベア ８ レール ９ 搬送・昇降制御装置 １０ １枚分離制御手段 １１ 基板情報 １２ 波打ち制御手段 １３ 再試行制御手段 １４ 報知手段 １５ ２枚吸着エラー検出手段 １６ リトライ回数設定部 １７ 重なり態様自己判断部 １８ 波打ちパターン選択部 Ｗ 基板 １９ 材料台車機 ２０ 基板加工機 ２１ ローダー ２２ 昇降機構機装置 ２３ 波打ち駆動装置 ２４ 搬送制御装置 ２５ 波打ち回数増加手段 ２６ リトライ回数カウンタ
Claims (2)
- 【請求項１】 それぞれ独立して上昇、下降、中間停止
のできる複数のシリンダーを平面的に配列し、前記シリ
ンダーの先端に吸着パットを取り付け、前記吸着パット
にて吸着した基板を前記シリンダーの昇降にて波打ち動
作させる機構を有する吸着ヘッドと、前記の吸着された
基板が各吸着パット上昇位置にて２枚重なり状態である
ことを検出する２枚検出装置と、この２枚検出装置の検
出信号に応答して２枚重なり状態の基板の重なり態様を
自己判断する再試行制御手段と、前記再試行制御手段に
て判断された２枚重なり状態を分離するために前記重な
り態様に応じて最適な動作パターンを選択し、各シリン
ダーに出力する波打ち制御手段とを有することを特徴と
した基板分離装置。 - 【請求項２】 前記再試行制御手段の判断により選択さ
れた前記動作パターンにより前記各シリンダーを動作さ
せて重なりの状態の前記基板を分離することを特徴とす
る請求項１記載の基板分離装置を用いた基板分離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6322681A JP2534842B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 基板分離装置および基板分離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6322681A JP2534842B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 基板分離装置および基板分離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08175701A JPH08175701A (ja) | 1996-07-09 |
| JP2534842B2 true JP2534842B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=18146434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6322681A Expired - Fee Related JP2534842B2 (ja) | 1994-12-26 | 1994-12-26 | 基板分離装置および基板分離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2534842B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI112848B (fi) * | 2002-07-12 | 2004-01-30 | Finn Power Oy | Valmistussolu sekä siirto- ja käsittelylaitteisto työkappaleita varten |
| JP5296741B2 (ja) * | 2010-05-24 | 2013-09-25 | トヤマキカイ株式会社 | 太陽電池セルの移送装置およびその移送方法 |
| JP7033303B2 (ja) * | 2018-01-31 | 2022-03-10 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板搬送装置 |
| JP7126903B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2022-08-29 | Juki株式会社 | ピックアップ装置 |
-
1994
- 1994-12-26 JP JP6322681A patent/JP2534842B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08175701A (ja) | 1996-07-09 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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