JP2529786B2 - Vibrating gyro - Google Patents
Vibrating gyroInfo
- Publication number
- JP2529786B2 JP2529786B2 JP3162330A JP16233091A JP2529786B2 JP 2529786 B2 JP2529786 B2 JP 2529786B2 JP 3162330 A JP3162330 A JP 3162330A JP 16233091 A JP16233091 A JP 16233091A JP 2529786 B2 JP2529786 B2 JP 2529786B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- vibrator
- voltage
- divided
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、振動ジャイロに関
し、とくに、多角形をなす振動体の一側面に、駆動、帰
還および検出の各機能を兼ね備える一の圧電素子を設け
ることによって、振動子の、常に安定した自励振動をも
たらし、また、角速度の、高い精度での検出を可能なら
しめるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrating gyro, and more particularly, to a vibrating body having a polygonal shape and provided on one side thereof with one piezoelectric element having a driving function, a feedback function and a detecting function. , Which always provides stable self-excited vibration, and enables detection of angular velocity with high accuracy.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の振動ジャイロとしては、例えば、
図３および図４にブロック線図で示すようなものが知ら
れている。ここで、図３に示す振動ジャイロでは、横断
面形状が四角形をなす振動体１の一側面に駆動用圧電素
子２を貼着するとともに、その側面と対向する反対側の
側面には帰還用圧電素子３を貼着し、また、これらと直
交する他の二側面には、それぞれの検出用圧電素子４,
５を貼着することによって振動子６が構成されており、
駆動装置７からの出力を駆動用圧電素子２に供給する一
方、帰還用圧電素子３の出力をその駆動装置７に帰還さ
せることにより、振動子６は、直交三次元座標系のＸ軸
方向に所定の自励振動を行うようになっている。そし
て、かかる自励振動の下で、振動子６がＺ軸の周りに回
転されると、振動子６はコリオリの力の発生によってＹ
軸方向の振動を惹起され、このＹ軸方向の振動に伴う電
圧が、それぞれの検出用圧電素子４, ５に発生するの
で、それらの電圧を、差動増幅器８, 同期検波器９およ
び直流増幅器10に順次に通過させることによって、振動
子６の角速度が直流出力として求められる。2. Description of the Related Art As a conventional vibrating gyroscope, for example,
The ones shown in block diagrams in FIGS. 3 and 4 are known. Here, in the vibrating gyroscope shown in FIG. 3, the driving piezoelectric element 2 is attached to one side surface of the vibrating body 1 having a quadrangular cross-sectional shape, and the feedback piezoelectric element 2 is provided on the opposite side surface facing the side surface. The element 3 is attached, and on the other two side surfaces orthogonal to these, the respective piezoelectric detection elements 4,
The vibrator 6 is formed by attaching 5
By supplying the output from the driving device 7 to the driving piezoelectric element 2 and returning the output of the feedback piezoelectric element 3 to the driving device 7, the vibrator 6 moves in the X-axis direction of the orthogonal three-dimensional coordinate system. A predetermined self-excited vibration is performed. When the vibrator 6 is rotated around the Z axis under such self-excited vibration, the vibrator 6 generates Y due to the Coriolis force.
Axial vibration is induced, and a voltage associated with the vibration in the Y-axis direction is generated in each of the detection piezoelectric elements 4 and 5. Therefore, these voltages are applied to the differential amplifier 8, the synchronous detector 9 and the DC amplifier. By sequentially passing through 10, the angular velocity of the vibrator 6 is obtained as a DC output.
【０００３】また、図４に示す振動ジャイロは、横断面
形状が三角形をなす振動体１の二側面のそれぞれに、駆
動用圧電素子11, 12を貼着するとともに、他の一側面に
帰還用圧電素子３を貼着し、そして、駆動装置７からの
出力を、それぞれの抵抗13,14を介して駆動用圧電素子1
1, 12に供給し、帰還用圧電素子３からの出力を駆動装
置７に帰還させることによって、Ｘ軸方向に自励振動す
る振動子６を構成したものである。ここでは、検出用圧
電素子を兼ねるそれぞれの駆動用圧電素子11,12に発生
する電圧を差動増幅し、同期検波した後に直流増幅する
ことで、振動子６がＺ軸の周りに回転されることによっ
て発生するＹ軸方向のコリオリの力、ひいては、角速度
を検出することができる。The vibrating gyro shown in FIG. 4 has driving piezoelectric elements 11 and 12 attached to each of two side surfaces of the vibrating body 1 whose cross-sectional shape is a triangle, and the other side surface for returning. The piezoelectric element 3 is attached, and the output from the driving device 7 is applied to the driving piezoelectric element 1 via the resistors 13 and 14, respectively.
The vibrator 6 that is self-oscillated in the X-axis direction is configured by supplying 1 and 12 and feeding back the output from the feedback piezoelectric element 3 to the drive device 7. Here, the oscillator 6 is rotated around the Z-axis by differentially amplifying the voltage generated in each of the driving piezoelectric elements 11 and 12 that also serve as the detecting piezoelectric element, performing synchronous detection, and then performing DC amplification. It is possible to detect the Coriolis force in the Y-axis direction, which is generated by the above, and thus the angular velocity.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、図３に示す
振動ジャイロにあっては、それぞれの圧電素子２, ３,
４, ５がともに、エポキシ樹脂その他の接着剤によって
振動体１に接着されていることから、周囲温度の変化に
起因する接着剤の強度、弾性的性質その他の変化によっ
て、たとえば、駆動用圧電素子２と帰還用圧電素子３と
の間の特性差が変化して、振動条件に変動を来し、それ
によって振動子６の自励振動が不安定なものとなる問題
があった。また、温度サイクルなどが加わった時には、
接着剤の性質が時効的に変化して駆動条件にヒステリシ
スを生じる問題もあり、さらには、検出用圧電素子４,
５の接着強度の変化がドリフトの原因ともなるという問
題もあった。By the way, in the vibration gyro shown in FIG. 3, the piezoelectric elements 2, 3,
Since both 4 and 5 are adhered to the vibrating body 1 with an epoxy resin or other adhesive, for example, the driving piezoelectric element may be changed due to changes in the adhesive strength, elastic properties, etc. due to changes in ambient temperature. There is a problem that the characteristic difference between the piezoelectric element 3 for feedback and the piezoelectric element for feedback 3 changes, and the vibration condition fluctuates, which makes the self-excited vibration of the vibrator 6 unstable. Also, when a temperature cycle is added,
There is also a problem that the properties of the adhesive change with time to cause hysteresis in the driving condition.
There was also a problem that the change in the adhesive strength of No. 5 also causes the drift.
【０００５】また、各圧電素子２, ３, ４, ５の特性の
ばらつき、振動体１の断面形状の非対称性などにより、
理想的には、振動子６の非回転時には発生しないＹ軸方
向の振動が、現実には発生していわゆる漏れ電圧を生じ
る。ところが、この漏れ電圧の大きさ等もまた、駆動電
圧その他の駆動条件に依存して変化しドリフトの原因に
なるという問題があった。さらには、この従来技術の場
合、振動体１の各側面に、各圧電素子を高い精度で接着
させる必要から、振動子６の組立作業が甚だ面倒である
という問題もあった。Further, due to variations in the characteristics of the piezoelectric elements 2, 3, 4, 5 and the asymmetry of the sectional shape of the vibrating body 1,
Ideally, the vibration in the Y-axis direction that does not occur when the vibrator 6 is not rotating actually occurs and causes a so-called leakage voltage. However, there is a problem in that the magnitude of the leakage voltage also changes depending on the driving voltage and other driving conditions and causes drift. Further, in the case of this conventional technique, there is also a problem that the assembling work of the vibrator 6 is extremely troublesome because each piezoelectric element needs to be bonded to each side surface of the vibrating body 1 with high accuracy.
【０００６】なお、図４に示す従来技術では、駆動用圧
電素子11, 12を、検出用圧電素子としても用いることか
ら、接着剤の変化に起因する漏れ電圧の変化を、図３に
示す従来技術のそれよりも低減することはできる。しか
しながら、この従来技術においてもまた、帰還用圧電素
子３を、図３に示すものと同様に別途設けているため、
振動条件に関しては、前述したと同様の問題が残ること
になる。In the prior art shown in FIG. 4, since the driving piezoelectric elements 11 and 12 are also used as the detecting piezoelectric elements, the change in leakage voltage due to the change in the adhesive is shown in FIG. It can be less than that of technology. However, in this conventional technique as well, the feedback piezoelectric element 3 is separately provided as in the case shown in FIG.
Regarding the vibration condition, the same problem as described above remains.
【０００７】この発明は、従来技術のこのような問題を
有利に解決するものであり、振動子の組立作業を容易な
らしめてなお、接着剤の影響による駆動条件の変動を有
効に低減し、また、漏れ電圧の変化を十分小さく抑制す
ることができる振動ジャイロを提供するものである。The present invention advantageously solves such a problem of the prior art, facilitates the assembly work of the vibrator, and effectively reduces the fluctuation of the driving condition due to the influence of the adhesive. The present invention provides a vibration gyro that can suppress the change in leakage voltage to a sufficiently small level.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この発明の振動ジャイロ
は、横断面形状が多角形をなす振動体の一側面に一の圧
電素子を貼着するとともに、この圧電素子の少なくとも
電極を、振動体の幅方向に二分割して振動子を構成し、
この振動子の各分割電極を、インピーダンス素子を介し
て一の駆動手段に接続したところにおいて、各分割電極
とインピーダンス素子との接続部を、たとえば、加算器
および、基準交流電圧との差動増幅を行う差動増幅器を
順次に介して、または、それぞれが基準交流電圧との差
動増幅器および加算器を順次に介して、駆動装置に接続
する一方、各分割電極の出力を、それら相互の差動増幅
を行う差動増幅器を経て取り出すものであり、ここで、
より好ましくは、各基準交流電圧を、インピーダンス素
子を介して駆動手段に接続した容量素子と、そのインピ
ーダンス素子との接続部の電圧とするものである。A vibrating gyroscope according to the present invention has a piezoelectric element attached to one side surface of a vibrating body having a polygonal cross section, and at least an electrode of the piezoelectric element is attached to the vibrating body. To divide the oscillator into two in the width direction of
When each divided electrode of this vibrator is connected to one driving means via an impedance element, a connection portion between each divided electrode and the impedance element is connected to, for example, an adder and a differential amplification with a reference AC voltage. Are connected to the drive device sequentially through the differential amplifiers that perform the above, or through the differential amplifiers and the adders, each with a reference AC voltage, while the output of each divided electrode is compared with the difference between them. It is taken out through a differential amplifier that performs dynamic amplification.
More preferably, each reference AC voltage is used as a voltage at a connecting portion between the capacitive element connected to the driving means via the impedance element and the impedance element.
【０００９】[0009]
【作用】圧電素子は、それに応力を加えると、ひずみを
発生するとともに、圧電効果によって応力に比例した電
気変位を生じる一方、電界を加えると、電気変位を生じ
るとともに、逆圧電効果によって電界に比例したひずみ
を生じる。従って、圧電素子に、インピーダンス素子を
介して交流電圧を印加すると、その圧電素子とインピー
ダンス素子との接続部では、印加された交流電圧と、圧
電素子のひずみに伴って発生する電圧との合成された電
圧が観察される。When a stress is applied to the piezoelectric element, the piezoelectric element generates strain and the piezoelectric effect causes an electric displacement proportional to the stress. When an electric field is applied, the piezoelectric element causes an electric displacement and the inverse piezoelectric effect causes a proportional electric field. Strain. Therefore, when an AC voltage is applied to the piezoelectric element via the impedance element, the connection between the piezoelectric element and the impedance element combines the applied AC voltage with the voltage generated due to the distortion of the piezoelectric element. Voltage is observed.
【００１０】そこで、本発明の振動ジャイロでは、圧電
素子の、各方向のひずみに伴って発生する電圧を分離し
て取出すことによって、一の圧電素子に、駆動, 帰還お
よび検出の三つの機能をもたせることとした。Therefore, in the vibrating gyroscope of the present invention, by separating and extracting the voltage generated due to the strain in each direction of the piezoelectric element, one piezoelectric element is provided with the three functions of drive, feedback and detection. I decided to hold it.
【００１１】このことによって、本発明の振動ジャイロ
では、駆動条件に及ぼす接着剤の影響を低減して、温度
サイクルなどが加わったときにも駆動条件にヒステリシ
スが生じるのを抑制して、漏れ電圧の変化を十分小さく
抑えることができる。さらに、本発明の振動ジャイロに
よれば、一の圧電素子を貼着するだけで足りるので、振
動子の組立作業を、極めて簡易迅速に行うことができ
る。As a result, in the vibrating gyroscope of the present invention, the influence of the adhesive on the driving condition is reduced to suppress the occurrence of hysteresis in the driving condition even when a temperature cycle is applied, thereby preventing the leakage voltage. Can be suppressed sufficiently small. Furthermore, according to the vibrating gyroscope of the present invention, since it is sufficient to attach one piezoelectric element, the work of assembling the vibrator can be performed extremely simply and quickly.
【００１２】[0012]
【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、この発明の一実施例を示すブロック線
図であり、図中従来技術で述べた部分と同様の部分はそ
れらと同一の番号で示す。この具体例では、横断面形状
が四角形をなす振動体１の一側面に一の圧電素子21を貼
着するとともに、この圧電素子21の電極を、振動体１の
幅方向に二分割してそれぞれの分割電極21a, 21bとする
ことによって振動子６を構成する。なお、このような分
割は、電極のみならず、圧電素子21の全体にわたっても
行い得ることはもちろんである。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those described in the prior art are denoted by the same reference numerals. In this specific example, one piezoelectric element 21 is attached to one side surface of the vibrating body 1 having a quadrangular cross section, and the electrodes of the piezoelectric element 21 are divided into two in the width direction of the vibrating body 1. The vibrator 6 is configured by using the divided electrodes 21a and 21b. It is needless to say that such division can be performed not only on the electrodes but also on the entire piezoelectric element 21.
【００１３】またここでは、駆動装置７を、それぞれの
インピーダンス素子Z1, Z2を介してそれぞれの分割電極
21a, 21bに接続するとともに、他のインピーダンス素子
Z3を介して容量素子22にも接続して、それらの各々に、
駆動装置７からの交流電圧を印加可能にしてある。Further, here, the drive unit 7 is connected to the respective divided electrodes via the respective impedance elements Z 1 and Z 2.
21a, 21b and other impedance elements
Also connected to the capacitive element 22 via Z 3, to each of them,
The AC voltage from the driving device 7 can be applied.
【００１４】一方、前記各インピーダンス素子素子Z1,
Z2と、それぞれの分割電極21a, 21bとの接続部23, 24
を、加算器25を介して差動増幅器26に接続し、加算器25
では、それらの両接続部23, 24からの出力を加算し、そ
して、差動増幅器26では、インピーダンス素子Z3と容量
素子22との接続部27からの出力と、加算器25からの出力
とを差動増幅するとともに、そこからの出力を駆動装置
７に帰還させる。On the other hand, each of the impedance element elements Z 1 ,
Connections 23, 24 between Z 2 and the respective divided electrodes 21a, 21b
Is connected to the differential amplifier 26 via the adder 25, and the adder 25
Then, the outputs from both of the connection parts 23 and 24 are added, and in the differential amplifier 26, the output from the connection part 27 between the impedance element Z 3 and the capacitive element 22 and the output from the adder 25 are added. Is differentially amplified and the output therefrom is fed back to the driving device 7.
【００１５】ところで、前記各インピーダンス素子Z1,
Z2，Z3としては、抵抗型、容量型および誘導型のいずれ
のタイプのものをも用いることができる。 そしてさら
には、前記両接続部23, 24を他の差動増幅器８に接続
し、この差動増幅器８を、従来技術と同様に、同期検波
器９および直流増幅器10に順次に接続する。By the way, each of the impedance elements Z 1 ,
As Z 2 and Z 3 , any type of resistance type, capacitance type and induction type can be used. Further, both the connecting portions 23 and 24 are connected to another differential amplifier 8, and this differential amplifier 8 is sequentially connected to the synchronous detector 9 and the DC amplifier 10 as in the prior art.
【００１６】以上のように構成してなる振動ジャイロに
よれば、駆動装置７からそれぞれの分割電極21a, 21bへ
の交流電圧の印加によって、振動子６をＸ軸方向に自励
振動させることができる。かかる振動状態においては、
それぞれの接続部23, 24からの出力は、駆動装置７から
の供給電圧と、圧電素子21のひずみに伴って、分割電極
21a および21b を経てそれぞれ出力される電圧との合成
出力となる。従って、それらの両合成出力を、加算器25
で加算した後、差動増幅器26に通過させることにより、
Ｘ軸方向の振動に伴って発生する電圧だけを抽出し、そ
してそれを駆動装置７に帰還させると、振動子６の自励
振動を十分安定なものとすることができる。According to the vibrating gyroscope constructed as described above, the vibrator 6 can be self-oscillated in the X-axis direction by applying an AC voltage from the drive unit 7 to the respective divided electrodes 21a, 21b. it can. In such a vibration state,
The output from each of the connecting portions 23 and 24 is a divided electrode according to the voltage supplied from the driving device 7 and the strain of the piezoelectric element 21.
It is a composite output with the voltage output via 21a and 21b respectively. Therefore, the output of both of them is added by the adder 25.
After adding with, by passing it to the differential amplifier 26,
By extracting only the voltage generated along with the vibration in the X-axis direction and feeding it back to the drive device 7, the self-excited vibration of the vibrator 6 can be made sufficiently stable.
【００１７】ここで、振動子６のこのような自励振動の
下で、その振動子６がＺ軸の廻りに回転されると、振動
子６には、コリオリの力に基づくＹ軸方向の振動が発生
し、これにより、接続部23, 24の出力電圧に差を生じ
る。そこで、これらの両出力電圧を、差動増幅器８にて
差動増幅することにより、コリオリの力の発生に伴う電
圧を分離検出することができる。Under the self-excited vibration of the vibrator 6, when the vibrator 6 is rotated around the Z axis, the vibrator 6 moves in the Y axis direction based on the Coriolis force. Vibration is generated, which causes a difference in the output voltage of the connection portions 23 and 24. Therefore, by differentially amplifying both of these output voltages by the differential amplifier 8, it is possible to separately detect the voltage associated with the generation of the Coriolis force.
【００１８】図２は、この発明の他の実施例を示すブロ
ック線図である。この例は、駆動装置７を、それぞれの
インピーダンス素子Z1, Z2を介してそれぞれの分割電極
21a, 21bに接続するとともに、他のそれぞれのインピー
ダンス素子Z4, Z5を介してそれぞれの容量素子31, 32に
接続し、また、それぞれの接続部23, 24を、基準交流電
圧との差動を行うそれぞれの差動増幅器33, 34を介して
加算器25に接続する点において、図１に示す実施例と相
違する。FIG. 2 is a block diagram showing another embodiment of the present invention. In this example, the driving device 7 is divided into respective divided electrodes via respective impedance elements Z 1 and Z 2.
21a, 21b, and also connected to the respective capacitive elements 31, 32 via the other respective impedance elements Z 4 , Z 5 , and the respective connection portions 23, 24 are connected to the reference AC voltage. The present embodiment is different from the embodiment shown in FIG. 1 in that it is connected to the adder 25 via respective differential amplifiers 33 and 34 which operate.
【００１９】ここで、差動増幅器33は、インピーダンス
素子Ｚ4と容量素子31との接続部36からの出力と、接続
部23からの出力とを差動増幅し、差動増幅器34は、イン
ピーダンス素子Ｚ5 と容量素子32との接続部37からの出
力と、接続部24からの出力とを差動増幅する。また、加
算器35は、それらの両差動増幅出力を加算することによ
って、振動子６のＸ軸方向の振動によって発生する電圧
だけを分離検出し、そして、この検出電圧を駆動装置７
に帰還させて、振動子６の安定した自励振動をもたら
す。Here, the differential amplifier 33 differentially amplifies the output from the connecting portion 36 of the impedance element Z 4 and the capacitive element 31 and the output from the connecting portion 23, and the differential amplifier 34 has the impedance. The output from the connecting portion 37 between the element Z 5 and the capacitive element 32 and the output from the connecting portion 24 are differentially amplified. Further, the adder 35 separates and detects only the voltage generated by the vibration of the vibrator 6 in the X-axis direction by adding the two differential amplification outputs, and then detects the detected voltage.
To produce stable self-excited vibration of the vibrator 6.
【００２０】このような振動ジャイロでは、振動子６の
回転時におけるコリオリの力は、それぞれの接続部23,
24の出力を他の差動増幅器８に入力して差動することに
よって分離検出することができる。In such a vibrating gyro, the Coriolis force during rotation of the vibrator 6 is generated by the respective connecting portions 23,
The output of 24 can be separately detected by inputting it to another differential amplifier 8 and making it differential.
【００２１】なお、上述したところでは、接続部23, 24
の出力を、差動増幅器８に直接的に入力させることとし
ているが、それぞれの差動増幅器33, 34からの出力をそ
の差動増幅器８に入力することも可能である。また、図
１および図２のいずれの実施例においても、振動体１の
横断面形状を、四角形以外の多角形形状とすることもで
きる。Incidentally, in the above-mentioned place, the connecting portions 23, 24
Although the output of the differential amplifier is directly input to the differential amplifier 8, it is also possible to input the output from the differential amplifiers 33 and 34 to the differential amplifier 8. Further, in any of the embodiments shown in FIGS. 1 and 2, the cross-sectional shape of the vibrating body 1 may be a polygonal shape other than a quadrangle.
【００２３】[0023]
【発明の効果】以上に述べたところから明らかなよう
に、この発明によれば、振動体の一側面に一の圧電素子
を設けるだけで、帰還用圧電素子を特別に設けることな
く、安定した自励振動をもたらすことができ、また、高
い精度にて角速度を検出することができる。すなわち、
一の圧電素子に、駆動、帰還および検出の三つの機能を
発揮させることにより、駆動条件に及ぼす接着剤の影響
を十分に低減して、温度サイクル等が加わったときの、
駆動条件へのヒステリシスの発生を有効に抑制し、ま
た、漏れ電圧の変化を十分小さく抑え、この結果とし
て、常に安定した自励振動をもたらすとともに、高い検
出精度を確保することができる。As is clear from the above description, according to the present invention, only one piezoelectric element is provided on one side surface of the vibrating body and stable feedback is achieved without providing a piezoelectric element for feedback. Self-excited vibration can be brought about, and the angular velocity can be detected with high accuracy. That is,
By making one piezoelectric element perform three functions of driving, feedback and detection, the influence of the adhesive on the driving condition is sufficiently reduced, and when a temperature cycle is applied,
It is possible to effectively suppress the occurrence of hysteresis in the driving condition, and to suppress the change in the leakage voltage to a sufficiently small level. As a result, it is possible to always provide stable self-excited vibration and ensure high detection accuracy.
【００２４】そしてさらには、ここでは、振動体１に一
の圧電素子を貼着するだけで振動子を構成することがで
きるので、振動子の組立を極めて簡易迅速に行うことが
できる。Further, in this case, since the vibrator can be constructed by simply sticking one piezoelectric element to the vibrating body 1, the vibrator can be assembled very easily and quickly.
【図１】この発明の一実施例を示すブロック線図であ
る。FIG. 1 is a block diagram showing one embodiment of the present invention.
【図２】この発明の他の実施例を示すブロック線図であ
る。FIG. 2 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.
【図３】従来例を示すブロック線図である。FIG. 3 is a block diagram showing a conventional example.
【図４】他の従来例を示すブロック線図である。FIG. 4 is a block diagram showing another conventional example.
【符号の説明】 １ 振動体 ６ 振動子 ７ 駆動装置 ８, 26, 33, 34 差動増幅器 ９ 同期検波器 10 直流増幅器 21 圧電素子 21a, 21b 分割電極 22, 31, 32 容量素子 23, 24, 27, 36, 37 接続部 25, 35 加算器 Z1, Z2, Z3, Z4, Z5 インピーダンス素子[Explanation of symbols] 1 vibrator 6 oscillator 7 driver 8, 26, 33, 34 differential amplifier 9 synchronous detector 10 DC amplifier 21 piezoelectric element 21a, 21b split electrode 22, 31, 32 capacitive element 23, 24, 27, 36, 37 connecting portions 25, 35 adders Z 1, Z 2, Z 3 , Z 4, Z 5 impedance element
Claims (3)
面に一の圧電素子を貼着するとともに、この圧電素子の
少なくとも電極を、振動体の幅方向に二分割して振動子
を構成し、この振動子の各分割電極を、インピーダンス
素子を介して一の駆動手段に接続したところにおいて、
各分割電極とインピーダンス素子との接続部の各出力の
和を基準交流電圧と差動して前記駆動手段に帰還させる
一方、各分割電極の出力を相互に差動させて取出すこと
を特徴とする振動ジャイロ。1. A piezoelectric element is attached to one side surface of a vibrating body having a polygonal cross section, and at least an electrode of this piezoelectric element is divided into two in the width direction of the vibrating body to form a vibrator. And connecting each divided electrode of this vibrator to one driving means via an impedance element,
It is characterized in that the sum of the respective outputs of the connecting portions of the respective divided electrodes and the impedance element is differentiated from the reference AC voltage to be fed back to the driving means, while the outputs of the respective divided electrodes are mutually differentially extracted. Vibrating gyro.
面に一の圧電素子を貼着するとともに、この圧電素子の
少なくとも電極を、振動体の幅方向に二分割して振動子
を構成し、この振動子の各分割電極を、インピーダンス
素子を介して一の駆動手段に接続したところにおいて、
各分割電極とインピーダンス素子との接続部の各出力を
各基準交流電圧と差動させ、それらの和を前記駆動手段
に帰還させる一方、各分割電極の出力を相互に差動させ
て取出すことを特徴とする振動ジャイロ。2. A piezoelectric element is attached to one side surface of a vibrating body having a polygonal cross section, and at least an electrode of this piezoelectric element is divided into two in the width direction of the vibrating body to form a vibrator. And connecting each divided electrode of this vibrator to one driving means via an impedance element,
Each output of the connection portion between each divided electrode and the impedance element is differentiated from each reference AC voltage, and the sum of them is fed back to the drive means, while the output of each divided electrode is differentially extracted with each other. Characteristic vibration gyro.
子を介して駆動手段に接続した容量素子と該インピーダ
ンス素子との接続部の電圧とすることを特徴とする請求
項１もしくは２に記載の振動ジャイロ。3. The vibrating gyroscope according to claim 1, wherein the reference AC voltage is a voltage at a connecting portion between a capacitive element connected to a driving means via an impedance element and the impedance element. .
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162330A JP2529786B2 (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Vibrating gyro |
| DE69210679T DE69210679T2 (en) | 1991-06-07 | 1992-06-05 | Vibration control device |
| DE69225505T DE69225505T2 (en) | 1991-06-07 | 1992-06-05 | Vibration control device |
| EP92109569A EP0517259B1 (en) | 1991-06-07 | 1992-06-05 | Vibration control apparatus |
| EP95115256A EP0692698B1 (en) | 1991-06-07 | 1992-06-05 | Vibration control apparatus |
| US07/894,017 US5270607A (en) | 1991-06-07 | 1992-06-06 | Vibration control apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3162330A JP2529786B2 (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Vibrating gyro |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04361113A JPH04361113A (en) | 1992-12-14 |
| JP2529786B2 true JP2529786B2 (en) | 1996-09-04 |
Family
ID=15752496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3162330A Expired - Lifetime JP2529786B2 (en) | 1991-06-07 | 1991-06-07 | Vibrating gyro |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529786B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3409520B2 (en) * | 1995-08-01 | 2003-05-26 | 日産自動車株式会社 | Angular velocity sensor |
| JP4600031B2 (en) * | 2004-12-17 | 2010-12-15 | パナソニック電工株式会社 | Angular velocity detector |
| JP2006234411A (en) * | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Kita Nippon Denshi Kk | Oscillation gyroscope sensor |
-
1991
- 1991-06-07 JP JP3162330A patent/JP2529786B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04361113A (en) | 1992-12-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5270607A (en) | Vibration control apparatus | |
| US7779688B2 (en) | Vibration gyro sensor | |
| JP4599848B2 (en) | Angular velocity sensor | |
| US6230562B1 (en) | Detection circuit for vibratory gyro and vibratory gyro device using the same | |
| JP2004279101A (en) | Oscillatory type angular velocity sensor | |
| JP3211562B2 (en) | Piezoelectric vibrator | |
| JP2529786B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JP5187836B2 (en) | Sensor sensitivity adjusting means and sensor manufacturing method | |
| JP2583691B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JPH0618267A (en) | Oscillatory gyroscope having diagnosis function | |
| EP1098169A1 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JP2006010408A (en) | Vibratory gyro | |
| JP2975262B2 (en) | Vibrating gyroscope detection circuit | |
| JP2686209B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JPH10206166A (en) | Vibration-type gyroscope | |
| JP2547910B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JP2003166828A (en) | Physical quantity measuring device and vibrator | |
| JPH05126585A (en) | Vibration gyro | |
| JP2622331B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JPH05118853A (en) | Vibration gyro | |
| JP2571893B2 (en) | Vibrating gyro | |
| JP4441165B2 (en) | Electrode structure of angular velocity detection sensor element | |
| JPH05133754A (en) | Vlbratory gyroscope | |
| JP2620007B2 (en) | Vibrator for vibrating gyroscope | |
| JP3149712B2 (en) | Vibrating gyro |