JP2528373B2 - 板状材料の製造方法 - Google Patents

板状材料の製造方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、粉末治金による板状材料の製造方法にか
ゝり、特に圧延による板状化や塊状物から板状に切出す
ための切断が困難な材料の板状物を量産的に得る方法に
関する。
〔従来の技術〕
従来、板状に圧延または鍛圧するのが困難なセンダス
ト系合金、コバルト合金、高級高速度鋼、あるいはラー
ベス化合物や金属間化合物を主体とする合金などの円板
状または角板状の材料を得るには、鋳造により円柱形ま
たは角柱形のビレットを製作し、これをスライジングし
て円板状または角板状の材料を得、必要に応じそのスラ
イス面を研磨加工することが多かった。
例えば、最近、磁気記録の高密度化が進み、それに対
応する磁気ヘッドの製作にセンダスト合金(Fe−Al−Si
系合金)のスパッタリングが行われるようになったが、
この合金は塑性加工が極めて困難なので、スパッタリン
グの母材としてのターゲット材は、溶製鋳造によって得
たビレットから直接板状に切出していた。また、高密度
記録方式として期待されている光磁気記録方式の記録媒
体に用いるレアアース−Fe系化合物が主体の合金も、同
様に塑性加工が困難なため、溶製ビレットから直接ター
ゲットを切出していた。
また一部では、鋳造により顕著な偏析を生ずる材料の
場合は、粉末材料をホットプレス、熱間等方圧プレス、
液圧鋳造プレスなどにより、スライジング用のビレット
を製作することも試みられている。
更に、スライジング以外の製法として、粉末のホット
プレスにより、薄い粉末層を板状に圧縮焼結することも
古くから行われている。
〔発明が解決しようとする課題〕
ビレットを多数の板状材料にスライジングする方法に
あっては、ビレットの製作方法の如何に関係なく、スラ
イジングのコストが高く、かつ切り代による生産歩留の
低下によるコスト増大がこれに加わる。殊に切削性が悪
い材料の場合は、通常の工具では切断できなかったり、
超硬合金工具を用いても材料が割れたりして生産歩留が
極めて悪い。また、放電加工、電子ビーム切断、レーザ
ー切断などの特殊な加工法によってスライジングする場
合は、所要時間が長く、一層生産性が悪い。
これに加え、前述のセンダスト系合金やレアアース−
Fe系化合物は、ビレットを溶製しようとすると、往々に
して凝固の途中に偏析を生じ、ビレットの部位によって
は所定の組成から外れたり、内部に鋳巣やクラックを生
じたりして使用できなくなるため、製品歩留が大幅に低
下する。また、溶製・鋳造法によるとビレット中に1mm
を越えるような粗大結晶粒が現われることが多く、その
場合結晶粒内でへき開が起こり易いために非常に脆く、
板状のターゲットの切出しや研削が非常に難しい。
この他、粉末をホットプレスすることによりビレット
または板状材料を得る方法にあっては、プレス金型の高
温強度上の制約から、工業的に実用上1000℃、1000Kg/c
m2程度が限界であり、合金粉末の種類によっては、ホッ
トプレスによって空孔が無い完全に100%密度の焼結成
形体を得るのが困難である。空孔が残る場合は、得られ
た板状材料をターゲットとして使用する際に、空孔部分
に熱応力が集中してそこを起点に割れが発生したり、空
孔部分から不純物としてのガスが放出されて、スパッタ
リングに悪影響を与えるなどの問題が起こる。殊にホッ
トプレスによって一枚づつ板状材料を作る場合は、更に
生産性が低下する。
上記の諸問題を解決するために、出願人は先に特願昭
63−137867号の明細書及び図面に示されている技術を開
発した。これは第4図に示すように、可鍛性金属製の円
筒形カプセル31内に、板状に成形しようとする材料を粉
末32とセパレート板33とを交互に収容し、このカプセル
を密閉し、加熱して、加圧圧縮溶金型内でプレスし、こ
れを取出して冷却してから、カプセル31及びセパレート
板33に由来する部分を除去するものである。ここで、カ
プセル31及びセパレート板33の材料としては、処理粉末
との親和性が弱く、容易に分離することができるものが
用いられている。
しかし、上述の特許出願の方法では、粉末層32の厚さ
を均一にするのが難しく、そのために得られた板状材料
の厚さが、例えば直径150mmのもので7mm±2mmと各部で
大きく違っていたり、金属組織中に空隙が存在する部分
が現われたりすることがあった。
また、上述の特許出願の方法では、板状材料とセパレ
ート板との機械的結合が強い場合には、カプセル31に由
来する外皮を除いた後に、セパレート板の部分を回転砥
石切断機等で切断して個々の材料を分離しなければなら
ないが、セパレート板が斜めになっているために切断砥
石がセパレート板からはみ出して、板状材料部分に及ぶ
ことがあり、その際に切断砥石を破損させたり、板状材
料に割れを生じたりする。
この発明は、上述の特許出願の発明を更に改良して、
各部の厚さが均一で、組織中に空隙が無い良品質の板状
材料を得ようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕
この発明においては、可鍛性の金属カプセルの中に、
セパレート板と材料粉末とを交互に充填するのではな
く、材料粉末を浅い容器に収容した複数の容器を積重ね
て収容する。これらの容器は、可鍛性金属で作られ、部
厚い平坦な底とその周辺から起立する低い周壁とを有す
る。上記の容器を収容したカプセルを密閉し、加熱し
て、加圧圧縮用の金型内で圧縮する。この圧縮されたカ
プセルを、金型から取出し、冷却した後、上記容器及び
カプセルに由来する金属部分を除去して板状に焼結され
た材料を取出す。
上記粉末は、硬くて圧縮時に変形し難い場合が多いた
めに、変形が少なくても充填密度が高まるように、更に
充填が不均一であっても圧縮時に粉末粒子の移動によっ
て均一な充填密度になり易いように、ガスアトマイズ法
によって得た球形の粒子からなるものを使用するのが望
ましい。
上述の金属カプセルは、加熱圧縮時に破断せずに変形
することが必要である。また、厚肉のカプセルを用いた
場合、圧縮後の冷却時におけるカプセルの圧縮の情況
が、焼結成形体と著しく異なるときは、焼結成形体に応
力割れが起こることがあるので、これを予防するため
に、焼結成形した金属の変形抵抗や変態点や熱膨張率に
似ているものを選ぶのが望ましい。例えば、焼結温度以
下の領域で変態点を持たないセンダスト系合金粉末を処
理する場合には、同じく変態点がなく焼結温度での変形
抵抗が近似するSUS 304鋼のカプセルを用いるとよい。
なお、薄肉のカプセルを用いる場合は、このような配慮
は不要である。
粉末材料を容れる容器は、焼結後に焼結成形体から分
離を要するので、焼結成形体との親和性が弱い材料を用
い、金属カプセルの内部にほぼ一ぱいに納まる寸法であ
ることが必要である。ここで親和性が弱いという意味
は、焼結温度領域で両者が反応結合しない程度の関係を
言い、センダスト系合金粉末を処理する場合にはSUS 30
4鋼が適当である。また、個々の容器の周面の下部に、
容器を積重ねた際に下方の容器の周壁内に嵌合する嵌入
部を設けるのが望ましい。
各容器に充填する粉末材料は、見掛け比重を高めるた
めに容器ごと振とうすることが望ましく、上面が平坦
で、充填の深さは各部均一でなければならない。積上げ
た容器は、互に分離しないように、2〜3箇所で溶接し
ておくことが望ましい。
カプセルに容器を収容したら、カプセルを密封し、必
要に応じて内部を脱気する。
加熱は、高温雰囲気中においたり、抵抗加熱や誘導加
熱など、適宜の方法を採用できる。一般に粉末材料は誘
導加熱の効率が著しく悪いが、この発明においては、各
容器の発熱によって効果的に誘導加熱を行うことができ
る。加熱温度は、焼結を加圧下で行わせているため、無
圧下での焼結温度より低くてもよい。
加圧には、油圧式鍛造プレス機、押出口を閉塞した熱
間押出機などを用い、加圧の圧力は、ホットプレスの圧
力よりも充分に高い2000Kgf/cm2以上とする。その際、
カプセルの外径は金型の内径と余り差がない方がよい。
加圧の結果、金型内でカプセルは完全に充実質の金属
塊に変化するが、取出した金属塊を冷却し、周囲のカプ
セル及び溶器周壁から移行した金属層を機械加工によっ
て除去した後、内部の容器底と粉末焼結層とを分離し
て、粉末が焼結した板状材料を得る。
〔作 用〕
上述の製造方法においては、各容器に粉末材料を充填
する際に、容器周壁の高さを基準にすることによって、
容易に粉末材料の層厚を均一に規制することができる。
そして、これをカプセルに収容して加熱加圧するとき
は、カプセルごと圧縮されて、粉末材料層は均一な平板
状の充実金属層に焼結される。
上述の製法において、合金粉末は、圧縮の際の圧力が
高いために、例えば金属間化合物のような硬い粒子であ
っても、短時間内に空孔が全く無い100%密度の状態に
焼結される。そして、高圧で成形するため、焼結に要す
る時間が短かく、高温にさらされる時間が短いために粒
成長が少なく、製品中の結晶粒の大きさは、原料粉末の
粒子寸法の範囲内に抑えることができる。
加圧を終え、冷却したカプセルの外周部分を機械加工
によって除去すると、容器底と板状に成形されかつ焼結
された材料とが交互に積層された金属塊が得られる。粉
末材料と容器構成金属との親和性が乏しい場合には、焼
結成形材料層と容器底とを容易に分離することができ
る。また、上記の親和性がかなり大きく、分離が困難な
場合には、容器底部分に機械加工を加えて板状にスライ
ジングした後、スライス片の両面の不要金属層を除去し
て、焼結成形材料層のみを取出す。
このようにして得た板状の焼結成形材料は、充填時に
厚さが十分規制されていた結果、湾曲などの変形が少な
く、各部の厚さが均一で、各部の密度も均一で金属の真
密度に等しく、焼結残孔は殆ど存在していない。また、
その組織は粒径が細かく、溶製材に見られるような巨大
粒子、中心部と周辺部との組織の違い、偏析、鋳巣、割
れなどは、全く認められない。
〔実施例〕
第1図において1〜Nは浅い皿状の容器で、短円筒形
の周壁11と平板状の底12とを有し、これによって上面に
凹所13が形成されている。容器1〜Nは、周面の下部に
底12の下面と若干の段差を持った嵌入部14を有してお
り、この嵌入部14は凹所13に丁度嵌合する寸法である。
なお、最下段の容器1は、このような嵌入部14を省略し
てもよい。10は最上段の容器Nに被せられる内蓋で、容
器1〜Nの底12と同じ厚さで、容器2〜Nと同様な嵌入
部14を有する。必要に応じ、容器2〜Nの底12及び蓋10
の適所には、それぞれ微小径の通気孔15を設ける。容器
1〜N及び蓋10の材質及び寸法は次の通りである。
材質 SUS−304鋼 外径 162mm 内径 159mm 高さ 35mm 凹所13の深さ 15mm 底12及び蓋10の厚さ 20mm 嵌入部14の高さ 10mm 上記容器1〜Nの各々に、センダスト系合金(85Fe−
9Si−6A1各重量%)を真空溶解炉で溶解し、アルゴンガ
ス・アトマイズ法により平均粒径150μmの粉末にし、1
mmの目のふるいを通過させて巨大な粒子を除いた粉末材
料1110gを充填し、十分振とうして表面を平にする。こ
こで使用するセンダスト系合金の成分は次の通りであ
る。
C‥‥0.002重量% S‥‥0.001重量% Si‥‥9.40 〃 Al‥‥5.75 〃 Mn‥‥0.09重量% Ti‥‥0.03重量% P‥‥0.012 〃 Fe‥‥残部 〃 粉末材料16を充填した容器1〜Nを第1図に示すよう
に積重ね、かつ内蓋10を被せ、これらを互に2〜3箇所
で溶接17によって結合して、カプセル18に納める。
カプセル18は、円筒形の周壁19と底20とよりなり、そ
の上端の開口は、排気管21を有する蓋22によって閉塞さ
れるよう構成されている。カプセル18及び蓋22の材質及
び寸法は次の通りである。
材質 SUS−304鋼 外径 166 m 周壁19の肉厚 1.6mm 底20及び蓋22の肉厚 40 mm 長さ 480 mm 容器1〜Nを収容したカプセル18には蓋22を気密に溶
接23し、排気管21を経由して内部を脱気して、排気管21
を封止する。次いで、このカプセルを誘導加熱により12
00℃に加熱し、押出口が閉塞されている熱間押出機(内
径172mm)に装填し、2000tfの力で押圧した後取出し、
徐冷する。得られたカプセルは、長さ406mmに圧縮され
ている。
上述の圧縮されたカプセルの、周囲のSUS−304鋼部分
を旋盤加工によって除去すると、容器底12に由来するSU
S−304鋼層と、粉末層16に由来するセンダスト系合金と
が、交互に重なった柱状積層物が得られる。この積層物
の各層を、若干の力を加えて分離することにより、直径
163mmのセンダスト系合金円板が得られる。
この円板の厚さを、第2図に示す各部A、B、C‥‥
で測定した結果は、次の通りであった。
このようにして得たセンダスト系合金円板を顕微鏡観
察した結果では、組織は微細な粒子によって構成され、
空孔は皆無であった。また、その密度は、センダスト合
金の真密度6.96g/cm3に極めて近い値を示していた。
また、この円板から外径10.0mm、内径6.0mm、厚さ0.2
mmの試験片を切出し、10ミリエルステッドの磁界をかけ
て実効透磁率を測定した結果は第3図に○印で示す通り
であり、文献に示されているセンダスト合金の実効透磁
率(実線)とよく一致した。
〔発明の効果〕
以上の実施例によって明らかなように、この発明によ
るときは、偏析が無く、結晶粒が微細で、緻密で空孔が
存在しない板状材料を効率良く製造することができ、か
つ出願人が先に出願した特願昭63−137867号の発明に較
べて材料の厚さの精度を大幅に改善して、切断による分
離を必要とする場合にその切断作業を容易にし、かつ最
終的な厚さに仕上加工する場合に、その加工代を少くし
て仕上加工による材料の損失を減じ、かつ仕上加工その
ものも容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例における熱間加圧圧縮前のカ
プセルの部分切断側面図、第2図は同実施例による製品
の厚さが測定部位を示す平面図、第3図は同実施例によ
る製品の周波数特性図、第4図は従来の製法における熱
間加圧圧縮前のカプセルの部分切断側面図である。 1〜N……容器、11……周壁、12……底、16……材料粉
末、18……カプセル。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平1−306507(JP,A) 特開 昭63−93803(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】可鍛性金属で作られた平坦で部厚い底及び
    その周辺から起立する低い周壁を有する複数個の皿形の
    容器に、可鍛性に乏しい材料の粉末の適量を収容し、こ
    れらの材料粉末を収容した容器を積重ねて可鍛性金属で
    作られた円筒形カプセルに収容して密閉し、このカプセ
    ルを加熱して加圧圧縮用金型内で強圧し、次いでこのカ
    プセルを取出して冷却し、上記容器及びカプセルに由来
    する金属部分を除去して上記粉末の高密度焼結成形体を
    得ることを特徴とする板状材料の製造方法。
JP2080357A 1990-03-27 1990-03-27 板状材料の製造方法 Expired - Lifetime JP2528373B2 (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4332971A1 (de) * 1993-09-28 1995-03-30 Fischer Artur Werke Gmbh Verfahren zur Herstellung von ineinandergreifenden Teilen
US6077066A (en) * 1996-11-22 2000-06-20 Atlantic Research Corporation Tooling apparatus for composite fabrication

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3632708A (en) * 1969-03-26 1972-01-04 Union Carbide Corp Use of expanded anisotropic graphite as multi-cavity mold for hot pressing
DE3009916C2 (de) * 1980-03-14 1985-10-10 Nyby Uddeholm AB, Torshälla Strangpreßbolzen für die pulvermetallurgische Herstellung von Rohren sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US4606883A (en) * 1983-10-21 1986-08-19 J. Wizemann Gmbh & Co. Method of manufacturing a metallic composite article
JPS6393803A (ja) * 1986-10-09 1988-04-25 Nippon Steel Corp 金属粉末の成形加工法
US4810289A (en) * 1988-04-04 1989-03-07 Westinghouse Electric Corp. Hot isostatic pressing of high performance electrical components
JPH01306507A (ja) * 1988-06-03 1989-12-11 Sanyo Special Steel Co Ltd 板状材料の製造方法
US4999156A (en) * 1988-09-13 1991-03-12 University Of Tennessee Research Corporation Bi-dimensional compression method
US4906434A (en) * 1988-09-13 1990-03-06 University Of Tennessee Research Corporation Bi-dimensional compression method

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