JP2526171Y2 - Fine powder recovery unit in fine powder injection device - Google Patents
Fine powder recovery unit in fine powder injection deviceInfo
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Description
【考案の詳細な説明】 本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部を以下の
項目に従って詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The fine powder recovery unit in the fine powder injection device of the present invention will be described in detail according to the following items.
A.産業上の利用分野 B.考案の概要 C.従来技術［第５図］ D.考案が解決しようとする課題［第５図］ E.課題を解決するための手段 F.実施例［第１図乃至第４図］ a.微粉体噴射装置の概要［第１図］ b.微粉体回収部［第１図乃至第４図］ ｂ−1.回収室、回収ホース［第１図］ ｂ−2.気体渦流発生機［第１図乃至第４図］ ｂ−２−a.構造 ｂ−２−b.渦流及び負圧の発生 ｂ−3.微粉体の回収［第１図］ G.考案の効果 （A.産業上の利用分野） 本考案は新規な微粉体噴射装置における微粉体回収部
に関する。詳しくは、処理室内に置かれたワークに微粉
体を噴射することにより当該ワークに対する表面のエッ
チングや研磨や穿孔等の処理（以下、「ブラスト処理」
と言う。）を行なう微粉体噴射装置における微粉体回収
部、特に、ワークの処理に供された微粉体を搬送手段に
より回収する微粉体回収部に関するものであり、上記搬
送手段に工夫を施すことにより、搬送される微粉体が塊
を形成すること無く、かつ、効率良く回収することがで
きる新規な微粉体噴射装置における微粉体回収部を提供
しようとするものである。A. Industrial application fields B. Overview of the invention C. Conventional technology [Fig. 5] D. Issues to be solved by the invention [Fig. 5] E. Means for solving the issues F. Embodiment [ 1 to 4] a. Outline of fine powder injection device [Fig. 1] b. Fine powder collection unit [Figs. 1 to 4] b-1. Collection chamber and collection hose [Fig. 1] b -2. Gas vortex generator [Figs. 1 to 4] b-2-a. Structure b-2-b. Generation of vortex and negative pressure b-3. Recovery of fine powder [Fig. 1] G. Effect of the present invention (A. Industrial application field) The present invention relates to a fine powder recovery unit in a novel fine powder injection device. Specifically, processing such as etching, polishing, or perforation of the surface of the work by spraying fine powder onto the work placed in the processing chamber (hereinafter referred to as “blast processing”)
Say The present invention relates to a fine powder collecting unit in a fine powder spraying apparatus for performing fine work, particularly to a fine powder collecting unit for collecting fine powder used for processing of a workpiece by a conveying means. It is an object of the present invention to provide a fine powder collecting unit in a novel fine powder ejecting apparatus capable of efficiently collecting fine powder without forming a lump.
（B.考案の概要） 本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部は、処理
室と微粉体回収室との間を接続した回収流路の処理室寄
りの箇所に、高圧空気の気体流路の軸心から外れた方向
への噴射による気体渦流とそれに伴なう負圧を発生する
気体渦流発生機を介挿し、処理室内の微粉体を上記負圧
によって回収流路内に吸引し、かつ、渦流に乗って微粉
体回収室へ搬送するようにし、これにより、処理室内の
微粉体を効率良く、かつ、微粉体同士が塊を形成するこ
と無く回収することができるようにしたものである。(B. Outline of the Invention) The fine powder recovery section of the fine powder injection device of the present invention is a gas flow path for high-pressure air at a position near the processing chamber in a recovery flow path connected between the processing chamber and the fine powder recovery chamber. A gas vortex generated by injection in a direction off the axis of the gas and a gas vortex generator that generates a negative pressure accompanying the gas vortex, is inserted, and the fine powder in the processing chamber is sucked into the recovery channel by the negative pressure, and In this case, the fine powder in the processing chamber can be efficiently collected and collected without forming clumps by transporting the fine powder to the fine powder collection chamber on a vortex. .
（C.従来技術）［第５図］ 処理対象物（以下、「ワーク」と言う。）に金属や無
機物等から成る微粉体を高圧空気の圧力で噴射すること
により当該ワークに対するブラスト処理を行なう装置と
して微粉体噴射装置があり、例えば、半導体ウェハの表
面パターンの形成や回路基板の微小なブラインドホール
又はスルーホールの形成等に使用されている。(C. Prior Art) [FIG. 5] A blast process is performed on a workpiece (hereinafter, referred to as a “work”) by injecting a fine powder made of a metal, an inorganic substance, or the like with high pressure air. As an apparatus, there is a fine powder injection apparatus, which is used, for example, for forming a surface pattern of a semiconductor wafer or forming minute blind holes or through holes of a circuit board.
そして、このような微粉体噴射装置は、微粉体が貯留
された微粉体供給部と、当該ワークに対して微粉体を噴
射する噴射ノズルを備えた処理室と、エアコンプレッサ
等の高圧空気発生源と、該高圧空気発生源から供給され
る高圧空気によって微粉体供給部から微粉体を取り出し
て噴射ノズルに搬送する微粉体取出手段と、ワークに噴
射された微粉体を処理室から回収する微粉体回収部等か
ら成り、その微粉体の回収は搬送手段によって行なうも
のが多い。Such a fine powder spraying device includes a fine powder supply unit in which the fine powder is stored, a processing chamber having a spray nozzle for spraying the fine powder to the workpiece, and a high-pressure air source such as an air compressor. A fine powder extracting means for extracting fine powder from a fine powder supply unit by high-pressure air supplied from the high-pressure air source and conveying the fine powder to an injection nozzle; and a fine powder for collecting fine powder injected to a work from a processing chamber. It is composed of a collection unit and the like, and the collection of the fine powder is often performed by a conveying means.
第５図は従来の微粉体噴射装置における微粉体回収部
の一例ａを示すものである。FIG. 5 shows an example a of a fine powder recovery section in a conventional fine powder injection device.
同図において、ｂは噴射ノズルｃを備えた処理室、ｄ
は図示しない微粉体供給部と噴射ノズルｃとの間を接続
した微粉体送給パイプ、ｅは処理室ｂの外壁上端部に形
成された回収口である。In the figure, b is a processing chamber provided with an injection nozzle c, d
Reference numeral denotes a fine powder supply pipe connected between a fine powder supply unit (not shown) and the injection nozzle c, and reference numeral e denotes a recovery port formed at the upper end of the outer wall of the processing chamber b.
ｆは吸気機能を備えた集塵機であり、その吸気口から
延びた吸気ホースｇの先端は上記回収口ｅに接続されて
おり、集塵機ｆの吸気作用によって処理室ｂの回収口ｅ
付近が負圧にされる。従って、噴射ノズルｃからワーク
ｈに噴射されて処理室ｂ内に飛散した微粉体ｉは上記負
圧により、吸気ホースｇを通って集塵機ｆに吸引され
る。このようにして、ワークｈのブラスト処理に供され
た微粉体ｉが集塵機ｆに回収される。f denotes a dust collector having an intake function, and a tip of an intake hose g extending from the intake port is connected to the collection port e. The collection port e of the processing chamber b is operated by the suction action of the dust collector f.
A neighborhood is made negative pressure. Therefore, the fine powder i sprayed from the spray nozzle c to the work h and scattered into the processing chamber b is sucked into the dust collector f through the suction hose g by the negative pressure. In this way, the fine powder i subjected to the blast processing of the work h is collected by the dust collector f.
尚、微粉体ｉの回収は、分級しながら、即ち、粒径の
大きさによって分けながら行なうこともある。The fine powder i may be collected while being classified, that is, while being separated according to the size of the particle size.
（D.考案が解決しようとする課題）［第５図］ 上記した従来の微粉体回収部ａには、次のような問題
がある。(D. Problems to be Solved by the Invention) [FIG. 5] The above-mentioned conventional fine powder collecting section a has the following problems.
即ち、微粉体ｉは高い凝集性や吸湿性を有しており、
また、集塵機ｆの吸気作用によって吸気ホースｇ内に生
ずる空気流は乱流になるので、この乱流に乗って搬送さ
れて行く微粉体ｉは互いに衝突して塊を形成したり、吸
気ホースｇの内面に衝突してそこに付着堆積されて所謂
粉だまりを形成してしまうことが多く、このため、回収
効率が悪く、しかも、回収されるものの多くは団塊状を
為して見かけ上の粒径が大きくなってしまうという問題
があった。That is, the fine powder i has high cohesiveness and hygroscopicity,
Further, since the air flow generated in the suction hose g by the suction action of the dust collector f becomes turbulent, the fine powders i conveyed on the turbulence collide with each other to form a lump, or the suction hose g Often, they collide with and accumulate on the inner surface of the surface, forming a so-called dust pool, which makes the collection efficiency inferior, and many of the collected matter are in the form of lumps and apparent particles. There is a problem that the diameter becomes large.
そして、このような問題の発生をできるだけ抑えるた
めには、回収流路を短くしたり、吸気能力の大きい吸気
手段を使用することを余儀無くされ、それによって、コ
ストが高くなったり、システムのレイアウトに制約を受
けるという問題も生じていた。In order to minimize the occurrence of such a problem, it is necessary to shorten the recovery passage and use an intake unit having a large intake capacity, thereby increasing the cost and the layout of the system. There was also a problem of being restricted.
（E.課題を解決するための手段） そこで、本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部
は、上記課題を解決するために処理室と微粉体回収室と
の間を接続した回収流路の処理室寄りの箇所に、高圧空
気を気体流路の軸心から外れた方向へ噴射して処理室内
を負圧にするとともに回収流路内に渦流を発生させる気
体渦流発生機を配設したものである。(E. Means for Solving the Problems) In order to solve the above problems, the fine powder recovery unit of the fine powder injection device of the present invention is provided with a recovery flow path connecting the processing chamber and the fine powder recovery chamber. A gas vortex generator is provided near the processing chamber to generate high-pressure air in a direction deviating from the axis of the gas flow path to create a negative pressure in the processing chamber and generate a vortex in the recovery flow path. It is.
従って、本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部
にあっては、処理室内の微粉体は気体渦流発生機により
生じた負圧によって回収流路内に吸引されると共に渦流
に乗って回収室へ搬送されて行くので、搬送される微粉
体が互いに衝突して団塊状を為したり回収流路の内面に
衝突して粉だまりを形成することが少なく、微粉体を効
率良く、しかも、互いに分離された状態のまま回収する
ことができ、その上、渦流による搬送は微粉体の長距離
移送を可能にするので、その分システム設計の自由度を
拡大することができる。Therefore, in the fine powder recovery section of the fine powder injection device of the present invention, the fine powder in the processing chamber is sucked into the recovery flow path by the negative pressure generated by the gas vortex generator and rides on the vortex to the recovery chamber. Since the conveyed fine powder is less likely to collide with each other to form a nodule or collide with the inner surface of the recovery flow path, the fine powder is efficiently separated from each other. In addition, since the fine powder can be transported over a long distance, the degree of freedom in system design can be increased.
（F.実施例）［第１図乃至第４図］ 以下に、本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部
の詳細を図示した実施例に従って説明する。(F. Embodiment) [FIGS. 1 to 4] The details of the fine powder recovery unit in the fine powder injection device of the present invention will be described below according to the illustrated embodiment.
（a.微粉体噴射装置の概要）［第１図］ １は微粉体噴射装置であり、ワーク２に対するブラス
ト処理を行なう処理室３と、微粉体４を供給する微粉体
供給タンク５と、該微粉体供給タンク５へ微粉体４を随
時補給する微粉体補給部６と、微粉体供給タンク５の通
風部７へ高圧空気を供給するエアコンプレッサ８と、処
理室３から微粉体４を回収する微粉体回収部９等から成
る。(A. Outline of Fine Powder Injection Apparatus) [FIG. 1] Reference numeral 1 denotes a fine powder injection apparatus, which includes a processing chamber 3 for performing blast processing on a work 2, a fine powder supply tank 5 for supplying fine powder 4, A fine powder replenishing section 6 for replenishing the fine powder supply tank 5 with the fine powder 4 as needed, an air compressor 8 for supplying high-pressure air to the ventilation section 7 of the fine powder supply tank 5, and collecting the fine powder 4 from the processing chamber 3. It comprises a fine powder recovery section 9 and the like.
処理室３は略密閉状の空間3aを為し、該空間3aの内部
に噴射ノズル10が配置され、該噴射ノズル10の噴射口と
対向する位置にワーク２が配置されるようになってい
る。The processing chamber 3 forms a substantially closed space 3a. An injection nozzle 10 is disposed inside the space 3a, and the work 2 is disposed at a position facing the injection port of the injection nozzle 10. .
11は処理室３の上面壁に形成された筒状をした回収口
である。Reference numeral 11 denotes a cylindrical recovery port formed on the upper wall of the processing chamber 3.
微粉体供給タンク５は、その底部を為す通風部７から
上の部分12が微粉体４が貯留される貯留室になってお
り、該貯留室12の底面の中央部には高圧空気噴出凹部13
が形成され、該高圧空気噴出凹部13の上面に多孔質のフ
ィルター14が配設され、また、貯留室12の略中央部には
その下方に適宜な空間を形成する空間形成部材15が配置
されており、該空間形成部材15の底面には縦断面形状が
横長な台形状をした凹部が形成されている。そして、通
風部７の下端部にはここを水平方向へ貫通した微粉体取
出流路16が形成され、該微粉体取出流路16の略中央部に
は下流側に行くに従い口径が狭まるノズル部16aが配置
されている。In the fine powder supply tank 5, a portion 12 above the ventilation section 7 serving as a bottom is a storage chamber for storing the fine powder 4, and a high-pressure air ejection recess 13 is provided at the center of the bottom surface of the storage chamber 12.
Is formed, a porous filter 14 is disposed on the upper surface of the high-pressure air ejection recess 13, and a space forming member 15 that forms an appropriate space below the storage chamber 12 is disposed substantially in the center of the storage chamber 12. On the bottom surface of the space forming member 15, a trapezoidal concave portion having a horizontally long vertical cross-sectional shape is formed. At the lower end of the ventilation section 7, there is formed a fine powder discharge passage 16 penetrating in a horizontal direction, and at a substantially central portion of the fine powder discharge passage 16, a nozzle portion whose diameter decreases toward the downstream side. 16a is arranged.
17は吸引ノズルであり、その上部は上記フィルター14
の中心部を貫通して貯留室12の底部内に突出され、その
上端の吸引口17aは空間形成部材15の凹部と近接対向さ
れており、また、該吸引ノズル17の下端は微粉体取出流
路16の上記ノズル部16aの稍上流側の内周面に開口され
ている。17 is a suction nozzle, the upper part of which is the filter 14
Is projected into the bottom of the storage chamber 12 through the center of the nozzle, the suction port 17a at the upper end thereof is in close proximity to the recess of the space forming member 15, and the lower end of the suction nozzle 17 is the fine powder discharge flow. The passage 16 is opened on the inner peripheral surface slightly upstream of the nozzle portion 16a.
微粉体補給部６は、微粉体４が貯留され下端が貯留室
12の上面に開口されたホッパ18と、該ホッパ18の下端開
口18aを開閉する弁体19等から成り、上記開口18aが開放
されることによってホッパ18内の微粉体４が貯留室12に
落下補給され、それにより、常に、貯留室12にはある程
度の量の微粉体４が貯留される。The fine powder supply section 6 stores fine powder 4 and has a lower end in a storage chamber.
The hopper 18 has an opening on the upper surface of the hopper 12, a valve element 19 for opening and closing the lower end opening 18a of the hopper 18, and the fine powder 4 in the hopper 18 falls into the storage chamber 12 when the opening 18a is opened. The replenishment is performed, so that a certain amount of the fine powder 4 is always stored in the storage chamber 12.
20は微粉体取出流路16の下流側の端部と噴射ノズル10
との間を接続した送給パイプ、21はエアコンプレッサ８
の吐出口から延びた送風パイプであり、該送風パイプ21
は途中から２つの分岐パイプ21a、21bに分岐され、一方
の分岐パイプ21aの先端は微粉体取出流路16の上流側の
端部に接続され、他方の分岐パイプ21bの先端は高圧空
気噴出凹部13から延びた流入路13aと接続されている。Reference numeral 20 denotes the downstream end of the fine powder discharge passage 16 and the injection nozzle 10
, A supply pipe connected to the air compressor 21
Blower pipe extending from the discharge port of
Is branched from the middle into two branch pipes 21a and 21b, the tip of one branch pipe 21a is connected to the upstream end of the fine powder extraction passage 16, and the tip of the other branch pipe 21b is a high pressure air ejection recess. It is connected to the inflow path 13a extending from the port 13.
22、22、・・・は送風パイプ21の所定の箇所に介挿さ
れた調節バルブであり、これら調節バルブ22、22、・・
・により、エアコンプレッサ８から吐出されて送風パイ
プ21内を流れて行く高圧空気の流量が制御される。Are adjustment valves inserted at predetermined positions of the blower pipe 21, and these adjustment valves 22, 22,...
Thus, the flow rate of the high-pressure air discharged from the air compressor 8 and flowing through the blower pipe 21 is controlled.
エアコンプレッサ８から吐出された高圧空気は送風パ
イプ21を通って通風部７へ供給され、その一部は流入部
13aを経て高圧空気噴出凹部13内に流入した後フィルタ
ー14を通って貯留室12内に噴出され、それにより、貯留
室12内の微粉体４が攪拌されてその一部が空間形成部材
15の下方に形成された空間内を浮遊するようになってい
る。また、エアコンプレッサ８から吐出した高圧空気の
他の一部は微粉体取出流路16内に流入し、そのノズル部
16aから噴出されることで圧力を高められると共に流速
を速めて送給パイプ20を経て噴射ノズル10へ流れ、該噴
射ノズル10から噴射される。The high-pressure air discharged from the air compressor 8 is supplied to the ventilation section 7 through the ventilation pipe 21, and a part of the high-pressure air is supplied to the inflow section.
After flowing into the high-pressure air ejection recess 13 through 13a, it is ejected through the filter 14 into the storage chamber 12, whereby the fine powder 4 in the storage chamber 12 is agitated and a part thereof is formed into a space forming member.
It floats in the space formed below 15. Another part of the high-pressure air discharged from the air compressor 8 flows into the fine powder take-out channel 16, and the nozzle portion thereof
By being ejected from the nozzle 16a, the pressure is increased and the flow velocity is increased to flow through the feed pipe 20 to the ejection nozzle 10, where the gas is ejected.
そして、微粉体取出流路16に高圧空気が流れることに
よって、それと連通している吸引ノズル17の内部が負圧
にされ、この負圧により、吸引ノズル17の上方に形成さ
れた空間に浮遊している微粉体４が吸引ノズル17に吸引
されて微粉体取出流路16内に取り出され、そこから高圧
空気に乗って搬送されて行き、噴射ノズル10からワーク
２へ向けて噴射される。Then, when the high-pressure air flows through the fine-powder discharge channel 16, the inside of the suction nozzle 17 communicating therewith is made negative pressure, and the negative pressure causes the air to float in the space formed above the suction nozzle 17. The fine powder 4 is sucked by the suction nozzle 17 to be taken out into the fine powder take-out channel 16, conveyed there by high-pressure air, and jetted from the jet nozzle 10 toward the work 2.
これにより、当該ワーク２に対する所要のブラスト処
理が為される。Thereby, the required blast processing for the work 2 is performed.
そして、上記処理に供されて処理室３内に飛散された
微粉体４は微粉体回収部９へ回収されて行く。Then, the fine powder 4 scattered in the processing chamber 3 by the above processing is collected by the fine powder collecting unit 9.
尚、微粉体４としては、当該ワーク２の硬度より高い
硬度を有するものが望ましく、例えば、ワーク２が回路
基板等である場合はアルミナやガラス、二酸化ケイ素、
炭化ケイ素、炭化ボロン等のセラミックス材料や銅、ニ
ッケル、クロム等の金属材料から成る微粉体を使用すれ
ば良い。It is desirable that the fine powder 4 has a hardness higher than the hardness of the work 2. For example, when the work 2 is a circuit board or the like, alumina, glass, silicon dioxide,
Fine powder made of a ceramic material such as silicon carbide or boron carbide or a metal material such as copper, nickel or chromium may be used.
（b.微粉体回収部）［第１図乃至第４図］ 微粉体回収部９は、回収室と、該回収室と処理室３と
を接続した回収ホースと、該回収ホースの処理室３寄り
の箇所に介挿された気体渦流発生機等から成る。(B. Fine Powder Collection Unit) [FIGS. 1 to 4] The fine powder collection unit 9 includes a collection chamber, a collection hose connecting the collection chamber and the processing chamber 3, and a processing chamber 3 of the collection hose. It is composed of a gas vortex generator or the like inserted at a close position.
（ｂ−1.回収室、回収ホース）［第１図］ 23は回収室である。(B-1. Collection room and collection hose) [Fig. 1] Reference numeral 23 denotes a collection room.
24は回収室23内に水平方向へ延びるように配置された
搬送パイプ、25は該搬送パイプ24の一端が接続された除
塵機である。Reference numeral 24 denotes a transport pipe arranged in the collection chamber 23 so as to extend in the horizontal direction, and reference numeral 25 denotes a dust remover to which one end of the transport pipe 24 is connected.
26、26、・・・は上下方向に延びる分級パイプであ
り、その略漏斗状をした上端部26a、26a、・・・が搬送
パイプ24の軸方向に互いに離間した位置に分岐状に連接
されており、これら分級パイプ26、26、・・・の下方に
回収槽27、27、・・・が各別に配置されている。Are classifying pipes extending in the vertical direction, and their generally funnel-shaped upper ends 26a, 26a, ... are connected in a branched manner at positions separated from each other in the axial direction of the transport pipe 24. Are disposed separately below the classification pipes 26, 26,....
28は回収ホースであり、その両端部が処理室３の前記
回収口11と回収室23内の搬送パイプ24の他端部と各別に
接続されている。Reference numeral 28 denotes a collecting hose, both ends of which are connected to the collecting port 11 of the processing chamber 3 and the other end of the transport pipe 24 in the collecting chamber 23, respectively.
（ｂ−2.気体渦流発生機）［第１図乃至第４図］ 29は気体渦流発生機であり、軸方向で２分された２つ
のノズルハーフと、該２つのノズルハーフを互いに連結
するカップリング等から成る。(B-2. Gas vortex generator) [FIGS. 1 to 4] Reference numeral 29 denotes a gas vortex generator, which connects two nozzle halves divided into two in the axial direction and connects the two nozzle halves to each other. It consists of a coupling and the like.
（ｂ−２−a.構造） 30及び31はノズルハーフ（以下、一方のノズルハーフ
30を「後側ノズルハーフ」と言い、他方のノズルハーフ
31を「前側ノズルハーフ」と言う。）である。(B-2-a. Structure) 30 and 31 are nozzle halves (hereinafter, one nozzle half)
30 is called "rear nozzle half" and the other nozzle half
31 is referred to as “front nozzle half”. ).
尚、第２図における右斜め下方へ向う方向を前側と
し、左斜め上方へ向う方向を後側とする。また、同図に
おける上方へ向う方向を上側とし、下方へ向う方向を下
側とする。以下の気体渦流発生機29の説明において向き
を示すときはこの方向によるものとする。In FIG. 2, the direction toward obliquely downward right is the front side, and the direction toward obliquely upward left is the rear side. Also, the upward direction in the figure is defined as the upper side, and the downward direction is defined as the lower side. In the following description of the gas vortex generator 29, the direction will be used when indicating the direction.
後側ノズルハーフ30は、略円筒状をした管部32と、該
管部32の軸方向における中間の位置より稍前方の位置か
ら前端より稍後端寄りの位置に至る部分に外方に突出さ
れた螺合部33とが一体に形成されている。管部32の外周
面34のうち螺合部33より前端側の部分34a（以下、「円
錐状凸面」と言う。）はその前端が管部32の孔35の内周
面35aに達する円錐状斜面を為すように形成され、ま
た、螺合部33の外周面にはネジ山33aが形成され，更
に、螺合部33の前端面33bは後側ノズルハーフ30の軸心
と直交する平坦な面をしている。The rear nozzle half 30 projects outward from a substantially cylindrical tube portion 32 to a portion extending from a position slightly forward from an intermediate position in the axial direction of the tube portion 32 to a position slightly closer to the rear end than the front end. The formed screw portion 33 is integrally formed. A portion 34a of the outer peripheral surface 34 of the tube portion 32 which is closer to the front end than the threaded portion 33 (hereinafter referred to as a "conical convex surface") has a conical shape whose front end reaches the inner peripheral surface 35a of the hole 35 of the tube portion 32. It is formed so as to form a slope, and a screw thread 33a is formed on the outer peripheral surface of the screwing portion 33. Further, a front end surface 33b of the screwing portion 33 is flat and orthogonal to the axis of the rear nozzle half 30. Faces.
尚、上記円錐状凸面34aの管部32の軸心に対する傾き
角は略30°にされている。The inclination angle of the conical convex surface 34a with respect to the axis of the tube 32 is set to approximately 30 °.
36、36は円錐状凸面34aから螺合部33にかけて形成さ
れた凹溝であり、該凹溝36、36は上下方向から見て管部
32の軸心ｏ−ｏに対して平行に延び、また、その軸心ｏ
−ｏから外れた位置、即ち、軸心ｏ−ｏと該軸心ｏ−ｏ
から水平方向に離間した孔35の内周面35aとの間の位置
を指向するように、その溝底面が円錐状凸面34aに対し
て平行になるように形成されていて、その前端は孔35の
内周面35aに達し、後端は螺合部33の前後方向における
略中間の位置まで達している。従って、凹溝36、36は螺
合部33の外周面とその前端面33b及び円錐状凸面34aに開
口されている。また、２つの凹溝36、36は後方から見て
軸心ｏ−ｏを挟んで互いに点対称を為す位置関係で配列
されている。36, 36 are concave grooves formed from the conical convex surface 34a to the screw portion 33, and the concave grooves 36, 36
32 extends parallel to the axis o-o, and its axis o
-O, that is, the axis oo and the axis oo
The groove bottom is formed so as to be parallel to the conical convex surface 34a so as to direct the position between the inner peripheral surface 35a of the hole 35 horizontally separated from the hole 35, and the front end thereof is the hole 35. , The rear end of which reaches a substantially middle position in the front-rear direction of the screwing portion 33. Therefore, the concave grooves 36, 36 are opened in the outer peripheral surface of the screw portion 33, the front end surface 33b thereof, and the conical convex surface 34a. The two concave grooves 36, 36 are arranged in a point-symmetric relationship with each other with respect to the axis oo when viewed from behind.
前側ノズルハーフ31はその全体が略円筒状を為し、そ
の外径は後端部37において最も大きく、該後端部37と略
中間の位置との間の部分38（以下、「中間部」と言
う。）においては後端部37より稍小さく、中間部38より
も前側の部分39（以下、「連結部」と言う。）において
は中間部38より小さくなっており、連結部39と中間部38
との間には前方を向いた段差面40が形成されている。The front nozzle half 31 has a substantially cylindrical shape as a whole, and its outer diameter is the largest at the rear end 37, and a portion 38 between the rear end 37 and a substantially intermediate position (hereinafter, “intermediate portion”) ) Is slightly smaller than the rear end 37, and the portion 39 (hereinafter, referred to as “connection portion”) on the front side of the intermediate portion 38 is smaller than the intermediate portion 38, and Part 38
A step surface 40 facing forward is formed between and.
また、前側ノズルハーフ31の後端部37の外径は後側ノ
ズルハーフ30の螺合部33の外径より小さくされている。The outer diameter of the rear end portion 37 of the front nozzle half 31 is smaller than the outer diameter of the screw portion 33 of the rear nozzle half 30.
41は前側ノズルハーフ31の孔であり、該孔41はその後
端部の内周面41a（以下、「円錐状凹面」と言う。）が
後側ノズルハーフ30の円錐状凸面34aと相補関係を有す
る円錐状斜面を為すように形成され、この円錐状凹面41
aの前端から前側ノズルハーフ31の前端側へ寄った位置
までの間の部分41b（以下、「テーパ部」と言う。）は
その前端へ行くに従って径が小さくなるように形成さ
れ、更に、テーパ部41bより前方の部分41cはテーパ部41
bの前端の径と同じ径を有している。Reference numeral 41 denotes a hole of the front nozzle half 31, and the hole 41 has a rear end having an inner peripheral surface 41 a (hereinafter referred to as a “conical concave surface”) complementary to the conical convex surface 34 a of the rear nozzle half 30. The conical concave surface 41 is formed to have a conical slope having
A portion 41b (hereinafter, referred to as a “tapered portion”) between the front end of a and the position closer to the front end of the front nozzle half 31 is formed so that the diameter becomes smaller toward the front end. The portion 41c ahead of the portion 41b is a tapered portion 41
It has the same diameter as the diameter of the front end of b.
また、前側ノズルハーフ31の内孔41の後端は後側ノズ
ルハーフ30の孔35の前端と同じ内径に形成されている。The rear end of the inner hole 41 of the front nozzle half 31 is formed to have the same inner diameter as the front end of the hole 35 of the rear nozzle half 30.
42はカップリングである。該カップリング42は前端縁
に内方へ突出した内向きフランジ43が形成された円筒状
を為し、その内向きフランジ43の内周縁43aが円形をし
た挿通孔となっており、また、その内周面44の軸方向に
おける略中央から後端までの部分に螺溝44aが形成され
ている。42 is a coupling. The coupling 42 has a cylindrical shape with an inward flange 43 protruding inward at the front end edge, and an inner peripheral edge 43a of the inward flange 43 is a circular insertion hole. A thread groove 44a is formed in a portion of the inner peripheral surface 44 substantially from the center to the rear end in the axial direction.
45はカップリング42の上記螺溝44aが形成されていな
い周壁にこれを貫通するように形成された螺孔である。Reference numeral 45 denotes a screw hole formed in a peripheral wall of the coupling 42 where the screw groove 44a is not formed so as to penetrate the same.
そして、前側ノズルハーフ31はその連結部39がカップ
リング42の上記挿入孔43aにカップリング42の内側から
挿入されることでその中間部38及び後端部37がカップリ
ング42の内部に配置され、後側ノズルハーフ30はその円
錐状凸面34aが円錐状凹面41aと対向する向きでカップリ
ング42内に挿入され、かつ、そのネジ山33aにカップリ
ング42の螺溝44aが螺合される。これにより、カップリ
ング42の内向きフランジ43の後面と前側ノズルハーフ31
の段差面40とが、また、後側ノズルハーフ30の円錐状凸
面34aと前側ノズルハーフ31の円錐状凹面41aとがそれぞ
れ互いに圧接され、かつ、後側ノズルハーフ30の管部32
の孔35と前側ノズルハーフ31の孔41とが互いに連通され
た状態で後側ノズルハーフ30と前側ノズルハーフ31とが
結合される。The front nozzle half 31 has its intermediate portion 38 and rear end 37 disposed inside the coupling 42 by inserting the connecting portion 39 into the insertion hole 43a of the coupling 42 from the inside of the coupling 42. The rear nozzle half 30 is inserted into the coupling 42 with the conical convex surface 34a facing the conical concave surface 41a, and the screw groove 44a of the coupling 42 is screwed into the screw thread 33a. Thereby, the rear surface of the inward flange 43 of the coupling 42 and the front nozzle half 31
And the conical convex surface 34a of the rear nozzle half 30 and the conical concave surface 41a of the front nozzle half 31 are pressed against each other, and the tube portion 32 of the rear nozzle half 30.
The rear nozzle half 30 and the front nozzle half 31 are connected in a state where the hole 35 and the hole 41 of the front nozzle half 31 communicate with each other.
しかして、上記孔35及び41によって気体流路46が形成
されると共に、凹溝36、36と円錐状凹面41aとにより上
記気体流路46の軸心ｏ−ｏに対して傾斜した方向に延
び、かつ、上記軸心ｏ−ｏを外れた位置を指向する２つ
の細長い孔47、47（以下、「高圧空気流入路」と言
う。）が形成される。また、前側ノズルハーフ31の中間
部38及び後端部37の各外周面とカップリング42の内周面
44及び内向きフランジ43と後側ノズルハーフ30の螺合部
33の前端面33bとによって環状をした高圧空気供給室48
が形成され、該高圧空気供給室48は上記高圧空気流入路
47、47の螺合部33の前端面33bに開口した部分において
高圧空気流入路47、47と連通される。Thus, the gas passage 46 is formed by the holes 35 and 41, and extends in the direction inclined with respect to the axis oo of the gas passage 46 by the concave grooves 36, 36 and the conical concave surface 41a. Further, two elongated holes 47, 47 (hereinafter, referred to as "high-pressure air inflow passages") are formed, which are directed to positions off the axis oo. Also, the outer peripheral surfaces of the intermediate portion 38 and the rear end portion 37 of the front nozzle half 31 and the inner peripheral surface of the coupling 42
44 and the threaded part of the inward flange 43 and the rear nozzle half 30
High-pressure air supply chamber 48 having an annular shape with the front end face 33b of 33
Is formed, and the high-pressure air supply chamber 48 is provided with the high-pressure air inflow passage.
Portions of the threaded portions 33 of the 47, 47, which are open to the front end face 33b, communicate with the high-pressure air inflow passages 47, 47.
49は高圧空気供給パイプであり、その一端部のニップ
ル49aがカップリング42に形成された螺孔45に螺合さ
れ、その他端はエアコンプレッサ50の吐出口と接続され
ている。A high-pressure air supply pipe 49 has a nipple 49a at one end screwed into a screw hole 45 formed in the coupling 42, and the other end connected to a discharge port of the air compressor 50.
（ｂ−２−b.渦流及び負圧の発生） エアコンプレッサ50から吐出された高圧空気51は高圧
空気供給パイプ49を経て高圧空気供給室48に噴入され、
該高圧空気供給室48に噴入された高圧空気51は高圧空気
流入路47、47を通って気体流路46中に噴出されて行く。(B-2-b. Generation of Vortex and Negative Pressure) The high-pressure air 51 discharged from the air compressor 50 is injected into the high-pressure air supply chamber 48 through the high-pressure air supply pipe 49,
The high-pressure air 51 injected into the high-pressure air supply chamber 48 is jetted into the gas flow path 46 through the high-pressure air inflow paths 47, 47.
そして、そのように気体流路46中に噴出された高圧空
気51は渦流51′となって気体流路46内を流れて行く。即
ち、高圧空気流入路47、47を通される高圧空気51は気体
流路46の軸心ｏ−ｏに対して略30°傾き、かつ、軸心ｏ
−ｏを外れた位置を指向する方向から気体流路46中に噴
出されて行くので、軸心ｏ−ｏに沿う方向へのベクトル
成分と気体流路46に交差する方向へのベクトル成分を有
しており、従って、孔41の内周面に当ったところから第
３図に幅のある矢印で示す旋回性が与えられ、このよう
な旋回性を有して気体流路46中を流れて行くこととな
り、それにより、気体流路46を流れる高圧空気51′は渦
流となる。Then, the high-pressure air 51 thus jetted into the gas flow channel 46 flows in the gas flow channel 46 as a vortex 51 ′. That is, the high-pressure air 51 passed through the high-pressure air inflow paths 47, 47 is inclined by approximately 30 ° with respect to the axis oo of the gas flow path 46, and
Since the gas is ejected into the gas flow path 46 from a direction pointing away from −o, it has a vector component in a direction along the axis oo and a vector component in a direction intersecting the gas flow path 46. Accordingly, the swirlability indicated by the wide arrow in FIG. 3 is given from the position where the inner circumferential surface of the hole 41 is hit, and the swirlability causes the gas to flow through the gas passage 46. As a result, the high-pressure air 51 'flowing through the gas flow path 46 becomes a vortex.
しかして、気体流路46のうち高圧空気流入路47、47か
ら下流側は高圧な渦流51′が流れ、この渦流51′は孔41
のテーパ部41bを通されることによって加速され、ま
た、そのような高圧な渦流51′が管部32の下流に向って
流れることにより、気体流路46のうち高圧空気流入路4
7、47から上流側には負圧が発生する。Thus, a high-pressure vortex 51 ′ flows downstream from the high-pressure air inflow channels 47 and 47 in the gas flow path 46, and the vortex 51 ′
Is accelerated by being passed through the tapered portion 41b of the gas passage 46, and such a high-pressure vortex 51 'flows toward the downstream of the pipe portion 32.
Negative pressure is generated upstream from 7, 47.
そして、このような気体渦流発生機29の後側ノズルハ
ーフ30の管部32の後端部には前記回収ホース28のうち短
い方の部分28a、即ち、一端が処理室３の回収口11と接
続された部分28aの他端部が接続され、また、前側ノズ
ルハーフ31の連結部39には回収ホース28の長い方の部分
28b、即ち、一端が搬送パイプ24と接続された部分28bの
他端部が接続される。これにより、回収ホース28の処理
室３寄りの位置に気体渦流発生機29が介挿され、処理室
３は回収ホース28及び気体渦流発生機29の気体流路46を
介して搬送パイプ24と接続される。The shorter end 28a of the recovery hose 28, that is, one end is connected to the recovery port 11 of the processing chamber 3 at the rear end of the tube 32 of the rear nozzle half 30 of the gas vortex generator 29. The other end of the connected portion 28a is connected, and the connecting portion 39 of the front nozzle half 31 is connected to the longer portion of the collection hose 28.
28b, that is, the other end of the portion 28b having one end connected to the transport pipe 24 is connected. As a result, the gas vortex generator 29 is inserted at a position near the processing chamber 3 of the recovery hose 28, and the processing chamber 3 is connected to the transport pipe 24 via the recovery hose 28 and the gas passage 46 of the gas vortex generator 29. Is done.
（ｂ−3.微粉体の回収）［第１図］ 上記したように、気体渦流発生機29に高圧空気51が供
給されると、気体流路46には螺旋状に流れる渦流51′が
発生し、この渦流51′は回収ホース28の長い方の部分28
b及び搬送パイプ24を経て除塵機25へ向けて流れる。(B-3. Recovery of fine powder) [FIG. 1] As described above, when the high-pressure air 51 is supplied to the gas vortex generator 29, a spiral vortex 51 ′ flowing in the gas flow path 46 is generated. This vortex 51 'is generated by the longer portion 28 of the recovery hose 28.
It flows toward the dust remover 25 via b and the transport pipe 24.
そして、上記渦流51′の発生に伴なって、回収ホース
28の短い方の部分28a及び処理室３に負圧が発生するの
で、該処理室３に飛散している微粉体４は上記負圧によ
って回収ホース28aを経て気体流路46内へ吸引され、そ
こからは渦流51′に乗って回収ホース28内を搬送されて
回収室23へ移送されて行く。Then, with the generation of the vortex 51 ', the recovery hose
Since a negative pressure is generated in the shorter portion 28a of 28 and the processing chamber 3, the fine powder 4 scattered in the processing chamber 3 is sucked into the gas passage 46 through the collection hose 28a by the negative pressure, From there, it is transported in the recovery hose 28 on the vortex 51 ′ and transferred to the recovery chamber 23.
しかして、処理室３から回収室23への微粉体４の搬送
は、流れ方向や風圧が略均一な空気渦流51′によって為
されるので、その搬送の間、微粉体４同士が衝突して塊
を形成したり、回収ホース28の内面に付着して粉だまり
を形成することも無く、スムーズに搬送されて行き、従
って、微粉体４を互いに分離された状態のまま効率良く
回収することができる。The transfer of the fine powder 4 from the processing chamber 3 to the collection chamber 23 is performed by the air vortex 51 ′ having substantially uniform flow direction and wind pressure. The powder is smoothly transported without forming a lump or adhering to the inner surface of the collection hose 28 to form a powder pool. Therefore, it is possible to efficiently collect the fine powders 4 in a separated state. it can.
尚、微粉体４はその粒径が大きくて重いものほど早く
失速するので、搬送パイプ24内を搬送される間に、より
重い微粉体４は一番手前の分級パイプ26を通ってその下
方にある回収槽27に落下し、次に重い微粉体４やそれよ
り軽い微粉体は２番目の分級パイプ26、３番目の分級パ
イプ26を各別に通ってその下方にある回収槽27、27に落
下し、そのようにして順次分級されながら回収され、最
後まで失速しなかった微粉体４は除塵機25のフィルター
25aによって高圧空気と分離される。Note that the finer powder 4 stalls faster as the particle size is larger and heavier, so that the heavier fine powder 4 passes through the foremost classifying pipe 26 and moves downward under the transport pipe 24. It falls into a certain collection tank 27, and then the heavy fine powder 4 and the lighter fine powder pass through the second classification pipe 26 and the third classification pipe 26, respectively, and fall into the collection tanks 27 and 27 below. Then, the fine powder 4 collected while being sequentially classified and not stall to the end is filtered by the filter of the dust remover 25.
Separated from high pressure air by 25a.
（G.考案の効果） 以上に記載したとところから明らかなように、本考案
微粉体噴射装置における微粉体回収部は、処理室内に置
かれたワークに微粉体を噴射することにより当該ワーク
に所定の加工を施す微粉体噴射装置における微粉体回収
部であって、処理室と微粉体回収室との間を接続した回
収流路の処理室寄りの箇所に、気体流路の軸心に対して
傾斜した方向に延びるとともに気体流路の軸心を外れた
位置を指向する回収流路に開口した複数の細長い孔から
気体流路中に高圧空気を噴射して、回収流路内に渦流を
発生させるとともに処理室内を負圧にする気体渦流発生
機を配設したことを特徴とする。(G. Effect of the Invention) As is apparent from the above description, the fine powder recovery unit in the fine powder injection device of the present invention injects the fine powder into the work placed in the processing chamber to apply the fine powder to the work. A fine powder recovery unit in a fine powder injection device that performs a predetermined processing, at a position near the processing chamber of a recovery flow path that connects between the processing chamber and the fine powder recovery chamber, with respect to the axis of the gas flow path. High-pressure air is injected into the gas flow channel from a plurality of elongated holes that open in the recovery flow channel that extends in the inclined direction and that is directed to a position off the axis of the gas flow channel, thereby forming a vortex in the recovery flow channel. It is characterized in that a gas vortex generator for generating and making the processing chamber a negative pressure is provided.
従って、本考案微粉体噴射装置における微粉体回収部
にあっては、処理室内の微粉体は気体渦流発生機により
生じた負圧によって回収流路内に吸引されると共に渦流
に乗って回収室へ搬送されて行くので、搬送される微粉
体が互いに衝突して団塊状を為したり回収流路の内面に
衝突して粉だまりを形成することが少なく、微粉体を効
率良く、しかも、互いに分離された状態のまま回収する
ことができ、その上、渦流による搬送は微粉体の長距離
移送を可能にするので、その分システム設計の自由度を
拡大することができる。Therefore, in the fine powder recovery section of the fine powder injection device of the present invention, the fine powder in the processing chamber is sucked into the recovery flow path by the negative pressure generated by the gas vortex generator and rides on the vortex to the recovery chamber. Since the conveyed fine powder is less likely to collide with each other to form a nodule or collide with the inner surface of the recovery flow path, the fine powder is efficiently separated from each other. In addition, since the fine powder can be transported over a long distance, the degree of freedom in system design can be increased.
尚、実施例では分級機能を備えた回収室を示したが、
本考案は回収室の構成がどのようなものであっても適用
することができる。In the embodiment, the collection chamber having the classification function is shown.
The present invention can be applied to any collection chamber.
更に、前記実施例において示した具体的な構成は、本
考案微粉体噴射装置における微粉体回収部の実施に当っ
てのほんの一例を示したものにすぎず、これらによって
本考案の技術的範囲が限定的に解釈されてはならない。Furthermore, the specific configuration shown in the above embodiment is only one example of the implementation of the fine powder recovery unit in the fine powder injection device of the present invention, and the technical scope of the present invention is thereby reduced. It should not be interpreted restrictively.
第１図乃至第４図は本考案微粉体噴射装置における微粉
体回収部の実施の一例を示すものであり、第１図は微粉
体噴射装置全体の構成を示す概略側面図、第２図は気体
渦流発生機の拡大分解斜視図、第３図は気体渦流発生機
の要部を示す断面図、第４図は第３図のIV-IV線に沿う
断面図、第５図は従来の微粉体噴射装置における微粉体
回収部の一例を示す構成図である。 符号の説明 １……微粉体噴射装置、２……ワーク、３……処理室、
3a……処理室内、４……微粉体、９……微粉体回収部、
23……微粉体回収室、28……回収流路、29……気体渦流
発生機、46……気体流路、ｏ−ｏ……気体流路の軸心、
47……孔、51……高圧空気、51′……渦流1 to 4 show an embodiment of a fine powder recovery unit in the fine powder injection device of the present invention, FIG. 1 is a schematic side view showing the entire configuration of the fine powder injection device, and FIG. FIG. 3 is an enlarged exploded perspective view of the gas vortex generator, FIG. 3 is a cross-sectional view showing a main part of the gas vortex generator, FIG. 4 is a cross-sectional view taken along the line IV-IV of FIG. 3, and FIG. It is a lineblock diagram showing an example of a fine powder collection part in a body injection device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... fine powder injection device, 2 ... work, 3 ... processing chamber,
3a: processing chamber, 4: fine powder, 9: fine powder recovery unit,
23 ... fine powder recovery chamber, 28 ... recovery channel, 29 ... gas vortex generator, 46 ... gas channel, oo ... axis of gas channel,
47 ... holes, 51 ... high-pressure air, 51 '... vortex
Claims (1)
することにより当該ワークに所定の加工を施す微粉体噴
射装置における微粉体回収部であって、 処理室と微粉体回収室との間を接続した回収流路の処理
室寄りの箇所に、気体流路の軸心に対して傾斜した方向
に延びるとともに気体流路の軸心を外れた位置を指向す
る回収流路に開口した複数の細長い孔から気体流路中に
高圧空気を噴射して、回収流路内に渦流を発生させると
ともに処理室内を負圧にする気体渦流発生機を配設した ことを特徴とする微粉体噴射装置における微粉体回収部1. A fine powder recovery unit in a fine powder injection device for performing a predetermined process on a work placed in a processing chamber by injecting the fine powder into the work, wherein the processing chamber and the fine powder recovery chamber are connected to each other. A plurality of collection passages extending in a direction inclined with respect to the axis of the gas flow path and opening to the collection flow path which is directed to a position off the axis of the gas flow path, at a position near the processing chamber of the collection flow path connecting the gas flow paths. A gas vortex generator that injects high-pressure air into the gas flow path from the narrow hole of the gas flow, generates a vortex in the recovery flow path, and generates a negative pressure in the processing chamber. Fine powder collection section
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990107847U JP2526171Y2 (en) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | Fine powder recovery unit in fine powder injection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990107847U JP2526171Y2 (en) | 1990-10-15 | 1990-10-15 | Fine powder recovery unit in fine powder injection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467967U JPH0467967U (en) | 1992-06-16 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5028088B2 (en) * | 1971-09-08 | 1975-09-12 |
-
1990
- 1990-10-15 JP JP1990107847U patent/JP2526171Y2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH0467967U (en) | 1992-06-16 |
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