JP2522615B2 - Optical beam scanning device - Google Patents
Optical beam scanning deviceInfo
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Description
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、レーザプリンタ、レー
ザファックス等のＯＡ機器、レーザ描画装置、レーザ検
査装置等に用いられる光ビーム走査装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a light beam scanning device used in OA equipment such as laser printers and laser fax machines, laser drawing devices, and laser inspection devices.
【０００２】[0002]
【従来の技術】レーザプリンタ、レーザファックス等の
ＯＡ機器、例えば半導体回路のパターンを描画するため
のレーザ描画装置、例えばプリント配線板の回路断線を
チェックするためのレーザ検査装置等には、従来から、
回転多面鏡とｆ−θレンズを用いた光ビーム走査装置が
使用されている。2. Description of the Related Art OA equipment such as a laser printer and a laser fax, a laser drawing apparatus for drawing a pattern of a semiconductor circuit, a laser inspection apparatus for checking a circuit disconnection of a printed wiring board, and the like have been conventionally used. ,
A light beam scanning device using a rotating polygon mirror and an f-θ lens is used.
【０００３】一方、部品点数の削減と機械精度の緩和を
図るために、ホログラムを使用した光ビーム走査装置が
ある。ホログラムは、厚みが数μｍ程度の薄膜のため軽
量・小型でありながらレンズと同等あるいはそれ以上の
波面変換機能あるいは非球面レンズ機能を有している。On the other hand, there is a light beam scanning device using a hologram in order to reduce the number of parts and relax the mechanical accuracy. Since the hologram is a thin film having a thickness of about several μm, it is lightweight and small, but has a wavefront conversion function or an aspherical lens function equivalent to or more than a lens.
【０００４】レーザ光を使用して直線状に走査を行う光
ビーム走査装置において、上記の回転多面鏡とｆ−θレ
ンズを用いるものは、多面鏡の高い加工精度や、面倒れ
補正光学系を兼ねたｆ−θレンズのような多くのレンズ
群を必要とし、装置の製造コストが高くなる。In a light beam scanning device that linearly scans by using a laser beam, the one using the rotating polygon mirror and the f-θ lens as described above has a high processing accuracy of the polygon mirror and a face tilt correction optical system. A large number of lens groups such as an f-θ lens that doubles as a lens are required, and the manufacturing cost of the device increases.
【０００５】ホログラムを利用した光ビーム走査装置と
して、充分に収差の補正がなされ高い解像度を有するレ
ーザビームを直線状に走査するためにホログラムディス
クを用いたものが、特開昭６２−２３４１１８号公報、
特開平１−２４４４２０号公報等から知られている。As a light beam scanning device utilizing a hologram, there is known a light beam scanning device using a hologram disk for linearly scanning a laser beam having a sufficiently high aberration correction and a high resolution. ,
It is known from JP-A-1-244420.
【０００６】これらの公報に記載された光ビーム走査装
置は、レーザプリンタ用の走査光学系に要求される高精
度の仕様を充分満足しており、安定した印字品質が得ら
れる。The light beam scanning devices described in these publications sufficiently satisfy the high-precision specifications required for a scanning optical system for a laser printer, and stable printing quality can be obtained.
【０００７】しかしながら、４００〜６００ｄｐｉある
いは１０００ｄｐｉのような更に高い解像度を有するレ
ーザ走査光学系が要求されており、しかも、一層の低価
格化が求められている。However, a laser scanning optical system having a higher resolution such as 400 to 600 dpi or 1000 dpi is required, and further cost reduction is required.
【０００８】ホログラムは複製技術を利用することによ
り大量且つ安価に製造することができ且つ高い解像度を
有しており、かかる要求を満足することが期待できる。Holograms can be manufactured in large quantities and at low cost by using a replication technique and have high resolution, and it can be expected that such requirements are satisfied.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】光ビーム走査装置にお
いて、１本の走査線内の解像度の切り替えを要求される
場合がある。例えば、図２に示すように、レーザプリン
タにて、１ページ内に６００ｄｐｉの図形と４８０ｄｐ
ｉの文字とが混在した文書を印刷したい場合である。In the light beam scanning device, it may be required to switch the resolution within one scanning line. For example, as shown in FIG. 2, a laser printer can print 600 dpi graphics and 480 dpi on one page.
This is a case where it is desired to print a document in which characters of i are mixed.
【００１０】回転多面鏡を使用する光ビーム走査装置に
おいては解像度の異なる２組の光源を設けることによっ
て、あるいはホログラムを用いる光ビーム走査装置にお
いては２組のホログラムディスクを用いることによっ
て、原理的には２種類の解像度を切り替えることが可能
である。In principle, by providing two sets of light sources having different resolutions in a light beam scanning device using a rotary polygon mirror, or by using two sets of hologram disks in a light beam scanning device using a hologram. Can switch between two different resolutions.
【００１１】このような構成の光ビーム走査装置を備え
たレーザプリンタにおいて、異なるページ間で解像度を
切り替えることは可能である。In the laser printer provided with the light beam scanning device having such a configuration, it is possible to switch the resolution between different pages.
【００１２】しかしながら、２組の光ビーム走査系を必
要とし、しかも互いの走査ビームが位置ずれを生じない
ように２組の光ビーム走査系を調節しなければならず、
装置が極めて複雑になるだけでなく、かかる調節は実質
的に不可能である。それ故、同一のページ内で解像度を
切り替えることは事実上できないという問題がある。However, two sets of light beam scanning systems are required, and the two sets of light beam scanning systems must be adjusted so that the scanning beams do not shift in position.
Not only is the device very complicated, but such adjustments are virtually impossible. Therefore, it is practically impossible to switch the resolution within the same page.
【００１３】従って、本発明の目的は、複雑な機構なし
に走査線の解像度を容易に変えることができる、回転す
るホログラムを備えた光ビーム走査装置を提供すること
にある。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a light beam scanning device having a rotating hologram, which can easily change the resolution of a scanning line without a complicated mechanism.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】上記の目的は、図１の原
理図に示す、以下の構成から成る光ビーム走査装置によ
って達成される。即ち、１つの回転するホログラム１０
を備えた本発明の光ビーム走査装置は、レーザビームを
出射する少なくとも２つのレーザ光源２０，２０’を有
する。The above object can be achieved by a light beam scanning device having the following configuration, which is shown in the principle diagram of FIG. That is, one rotating hologram 10
The light beam scanning device of the present invention having the above has at least two laser light sources 20 and 20 ′ for emitting laser beams.
【００１５】そして、ホログラム１０は、各レーザ光源
から出射されたレーザビーム２２，２２’が入射するホ
ログラム領域１２，１２’を有する。ホログラム領域１
２，１２’の数はレーザ光源数に等しい。The hologram 10 has hologram areas 12 and 12 'on which the laser beams 22 and 22' emitted from the respective laser light sources are incident. Hologram area 1
The number of 2, 12 'is equal to the number of laser light sources.
【００１６】ホログラム領域１２，１２’の各々は、ホ
ログラムの回転軸と同心円状に配置された同一の複数の
ファセット１４，１４’から成る。Each of the hologram areas 12 and 12 'comprises a plurality of identical facets 14 and 14' arranged concentrically with the rotation axis of the hologram.
【００１７】ファセット１４，１４’による走査ビーム
のＦナンバー及びファセットの数は、ホログラム領域１
２，１２’毎に異なる。これによって、本発明の光ビー
ム走査装置においては、同一走査線内においてレーザ光
源を切り替えることにより走査線の解像度を変え得る。The F-number of the scanning beam and the number of facets by the facets 14 and 14 'are determined by the hologram area 1
It differs every 2, 12 '. As a result, in the light beam scanning device of the present invention, the resolution of the scanning line can be changed by switching the laser light source within the same scanning line.
【００１８】各ファセットは、波面変換機能あるいは非
球面レンズ機能を有している。ファセットでのＦナンバ
ーとは、（ホログラムの焦点距離）／（ファセットに入
射するレーザビームの直径）を指す。各ファセットは、
環状のホログラム領域を等分に分割した扇状の形状であ
る。Each facet has a wavefront conversion function or an aspherical lens function. The F number in the facet refers to (focal length of hologram) / (diameter of laser beam incident on facet). Each facet is
It has a fan-like shape obtained by equally dividing an annular hologram area.
【００１９】本発明の光ビーム走査装置においては、ホ
ログラムの回転軸から離れるに従い、ホログラム領域１
２，１２’を構成するファセット１４，１４’のＦナン
バーが小さくなることが好ましい。In the light beam scanning device of the present invention, the hologram area 1 is moved away from the rotation axis of the hologram.
It is preferable that the F-numbers of the facets 14 and 14 ′ that constitute 2, 12 ′ be small.
【００２０】更に、本発明の光ビーム走査装置において
は、ホログラムの回転軸から離れるに従い、ホログラム
領域１２，１２’を構成するファセット１４，１４’の
数が多くなる必要がある。Further, in the light beam scanning device of the present invention, the number of facets 14 and 14 'constituting the hologram areas 12 and 12' needs to increase as the distance from the rotation axis of the hologram increases.
【００２１】各レーザ光源２０，２０’から出射される
レーザビームの波長は等しくすることができるし、ある
いは又、ホログラムの回転軸から離れるに従い、レーザ
光源２０，２０’から出射されるレーザビームの波長を
短くすることもできる。The wavelengths of the laser beams emitted from the respective laser light sources 20 and 20 'can be equalized, or the laser beams emitted from the laser light sources 20 and 20' can be moved away from the hologram rotation axis. The wavelength can also be shortened.
【００２２】所望される解像度の切り替え数に応じて、
レーザ光源及びホログラム領域の数を３以上とすること
もできる。Depending on the desired number of resolution switchings,
The number of laser light sources and hologram areas may be three or more.
【００２３】ホログラムの形状は、ディスク、円錐形、
円錐台、円柱又は円筒とすることができる。The hologram has a disc shape, a conical shape,
It can be a truncated cone, a cylinder or a cylinder.
【００２４】半導体レーザから成るレーザ光源が、本発
明の光ビーム走査装置に適している。レーザ光源から出
射するレーザビームは、収束波、平行波あるいは発散波
とすることができる。A laser light source composed of a semiconductor laser is suitable for the light beam scanning device of the present invention. The laser beam emitted from the laser light source can be a convergent wave, a parallel wave, or a divergent wave.
【００２５】本発明の光ビーム走査装置は、レーザプリ
ンタ、レーザファックス等のＯＡ機器、レーザ描画装
置、レーザ検査装置等に適用することができる。The light beam scanning device of the present invention can be applied to OA equipment such as laser printers and laser fax machines, laser drawing devices, and laser inspection devices.
【００２６】[0026]
【作用】走査面におけるレーザ走査ビーム（以下、単に
走査ビームともいう）の直径ｄは、レーザビームの波長
をλ、走査ビームのＦナンバーをＦとすれば、 ｄ＝ｋ・λ・Ｆ で表すことができる。ここで、ｋは光学系のけられに関
連した定数である。本発明のホログラムにおいては、ホ
ログラム領域毎にＦナンバーが異なっている。The diameter d of the laser scanning beam (hereinafter, also simply referred to as a scanning beam) on the scanning surface is represented by d = k.lambda.F where λ is the wavelength of the laser beam and F is the F number of the scanning beam. be able to. Here, k is a constant related to the eclipse of the optical system. In the hologram of the present invention, the F number is different for each hologram area.
【００２７】これは、図１において、レーザ光源２０，
２０’からの光を取り込むレンズの開口径を変えること
で容易に実現できる。ディスク中心から外にいくにつれ
て解像度を上げるため、開口径を大きくすることで容易
に実現できる。それ故、同一走査線内においてレーザ光
源を切り替えることにより、走査面における走査ビーム
の直径ｄを変えることができる。In FIG. 1, this is the laser light source 20,
This can be easily achieved by changing the aperture diameter of the lens that takes in the light from 20 '. Since the resolution increases as going from the center of the disc to the outside, it can be easily realized by increasing the aperture diameter. Therefore, the diameter d of the scanning beam on the scanning surface can be changed by switching the laser light source within the same scanning line.
【００２８】或るホログラム領域におけるファセットの
数をＮとすれば、ホログラムが１回転するとき、Ｎ本の
走査線が得られる。ホログラム領域毎にファセットの数
が異なっているので、ホログラムが１回転するとき、ホ
ログラム領域のそれぞれから得られる走査線の本数も異
なる。If the number of facets in a hologram area is N, then one scan of the hologram results in N scan lines. Since the number of facets is different for each hologram area, when the hologram makes one rotation, the number of scanning lines obtained from each hologram area also differs.
【００２９】即ち、単位時間当たりの走査ビームの走査
速度はファセットの数に比例する。従って、一定の角速
度で回転しているホログラムにおいて、走査ビームの走
査速度を変えることができる。That is, the scanning speed of the scanning beam per unit time is proportional to the number of facets. Therefore, the scanning speed of the scanning beam can be changed in the hologram rotating at a constant angular velocity.
【００３０】以上のとおり、本発明の回転するホログラ
ムによって、走査面における走査ビームの平均直径及び
走査速度を変えることができる。As described above, the rotating hologram of the present invention makes it possible to change the average diameter and scanning speed of the scanning beam on the scanning surface.
【００３１】これにより、印字の上下方向（副走査方
向）の間隔を変えることができる。例えば、図３に示す
ように、ディスク１回転により、外側で５ライン、内側
で４ラインの走査をするとする。つまり、外側で５ファ
セット、内側で４ファセットのスキャナである。This makes it possible to change the vertical printing interval (sub-scanning direction). For example, as shown in FIG. 3, it is assumed that one rotation of the disk scans 5 lines on the outer side and 4 lines on the inner side. That is, the scanner has 5 facets on the outside and 4 facets on the inside.
【００３２】このとき、主走査方向の解像度の切替え
は、ビデオレートの切替えで容易に行える。At this time, the resolution switching in the main scanning direction can be easily performed by switching the video rate.
【００３３】副走査方向については、内側（４ファセッ
ト、つまり４ライン）を２４０ｄｐｉとすると、外側
（５ファセット、つまり５ライン）は、 ２４０×（５／４）＝３００ｄｐｉ となり、副走査方向の解像度も切り換えられることにな
る。このファセットの組合せを下表１に示す。In the sub-scanning direction, if the inner side (4 facets, that is, 4 lines) is 240 dpi, the outer side (5 facets, that is, 5 lines) is 240 × (5/4) = 300 dpi, and the resolution in the sub-scanning direction is Will also be switched. The facet combinations are shown in Table 1 below.
【００３４】 表１ 解像度切り替えにおけるファセットの組み
合わせ Table 1 Facet combinations in resolution switching
【００３５】つまり、可能な解像度切り替えの組み合わ
せは、次の６通りが考えられる。 ２００ｄｐｉ，２４０ｄｐｉ ２４０ｄｐｉ，３００ｄｐｉ ２００ｄｐｉ，２４０ｄｐｉ，３００ｄｐｉ ４００ｄｐｉ，４８０ｄｐｉ ４８０ｄｐｉ，６００ｄｐｉ ４００ｄｐｉ，４８０ｄｐｉ，６００ｄｐｉThat is, the following six possible combinations of resolution switching are possible. 200 dpi, 240 dpi 240 dpi, 300 dpi 200 dpi, 240 dpi, 300 dpi 400 dpi, 480 dpi 480 dpi, 600 dpi 400 dpi, 480 dpi, 600 dpi
【００３６】それ故、同一走査線内においてレーザ光源
を切り替えることにより同一走査線内で解像度を変える
ことができる。Therefore, the resolution can be changed within the same scanning line by switching the laser light source within the same scanning line.
【００３７】一般に、解像度が高いときには、回転する
ホログラムに入射するレーザビームの平均直径は大きく
なる。上述のとおり、Ｆナンバーが小さくなる程走査ビ
ームの平均直径は小さくなり、解像度が高くなる。従っ
て、ホログラムの回転軸から離れるに従い、ファセット
のＦナンバーを小さくする方が良い。これによって、走
査効率の低下を防止することができる。In general, when the resolution is high, the average diameter of the laser beam incident on the rotating hologram becomes large. As described above, the smaller the F number, the smaller the average diameter of the scanning beam and the higher the resolution. Therefore, it is better to make the F number of the facet smaller as the distance from the rotation axis of the hologram increases. This makes it possible to prevent a decrease in scanning efficiency.
【００３８】ホログラムの回転軸から離れるに従いファ
セットの数を大きくすれば、上述のとおり、走査ビーム
の走査速度を早くすることができる。従って、ホログラ
ムの回転軸から離れるに従いファセットの数を大きくす
ることが、副走査方向の解像度を切り替える上でより好
ましい。If the number of facets is increased with increasing distance from the rotation axis of the hologram, the scanning speed of the scanning beam can be increased as described above. Therefore, it is more preferable to increase the number of facets as the distance from the rotation axis of the hologram increases, in order to switch the resolution in the sub scanning direction.
【００３９】走査面における走査ビームの平均直径ｄは
上述のとおり、再生波長λに比例する。従って、ホログ
ラムの回転軸から離れるに従い、各レーザ光源から出射
されるレーザビームの波長を短くすれば、より小さな平
均直径の走査ビームを得ることができる。The average diameter d of the scanning beam on the scanning surface is proportional to the reproduction wavelength λ, as described above. Therefore, if the wavelength of the laser beam emitted from each laser light source is shortened with increasing distance from the rotation axis of the hologram, a scanning beam having a smaller average diameter can be obtained.
【００４０】[0040]
【実施例】図１を参照して、本発明の光ビーム走査装置
を更に詳しく説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The light beam scanning device of the present invention will be described in more detail with reference to FIG.
【００４１】プラスチック製の基板表面にフォトレジス
トを塗布しプレベーキングした後、球面波と球面波から
構成されたレーザ光をフォトレジストに照射する。次い
で、フォトレジストを現像してホログラム１０を得た。After the photoresist is applied to the surface of the plastic substrate and prebaked, the photoresist is irradiated with a spherical wave and a laser beam composed of a spherical wave. Next, the photoresist was developed to obtain hologram 10.
【００４２】ホログラム１０はディスク状で、環状の第
１のホログラム領域１２及び第２のホログラム領域１
２’を有する。尚、第１のホログラム領域１２は第２の
ホログラム領域１２’よりもホログラムの回転軸の近く
に配置されている。The hologram 10 is disk-shaped, and has an annular first hologram area 12 and second annular area 1.
Have 2 '. The first hologram area 12 is arranged closer to the rotation axis of the hologram than the second hologram area 12 '.
【００４３】第１及び第２のホログラム領域１２，１
２’はそれぞれ扇状の複数のファセット１４，１４’か
ら成る。第１及び第２のホログラム領域１２，１２’の
諸元を以下の表２のとおりとした。尚、各ホログラム領
域の平均半径とは、ホログラム領域のビーム入射位置を
指す。First and second hologram areas 12, 1
2'is composed of a plurality of fan-shaped facets 14, 14 '. The specifications of the first and second hologram areas 12 and 12 'are shown in Table 2 below. The average radius of each hologram area refers to the beam incident position in the hologram area.
【００４４】 表２ Table 2
【００４５】２つのレーザ光源２０，２０’を使用し
た。第１のホログラム領域１２に入射する第１のレーザ
光源２０のレーザビームの波長を７８０ｎｍとし、第２
のホログラム領域１２’に入射する第２のレーザ光源２
０’のレーザビームの波長も波長７８０ｎｍとした。レ
ーザ光源として半導体レーザを使用した。Two laser light sources 20, 20 'were used. The wavelength of the laser beam of the first laser light source 20 incident on the first hologram region 12 is set to 780 nm, and the second
Second laser light source 2 incident on the hologram area 12 'of
The wavelength of the 0'laser beam was also set to 780 nm. A semiconductor laser was used as the laser light source.
【００４６】ホログラムを公知の回転機構によって９９
２１．３ｒｐｍにて回転させた。第１の光源２０からの
レーザビーム２２を第１のホログラム領域１２に入射さ
せた場合、走査面における走査ビームの直径は５０μ
ｍ、解像度は４８０ｄｐｉであった。The hologram is moved by a known rotation mechanism to 99
It was rotated at 21.3 rpm. When the laser beam 22 from the first light source 20 is made incident on the first hologram area 12, the diameter of the scanning beam on the scanning surface is 50 μm.
m, and the resolution was 480 dpi.
【００４７】また、第２の光源２０’からのレーザビー
ム２２’を第２のホログラム領域１２’に入射させた場
合、走査面における走査ビームの直径は４０μｍ、解像
度は６００ｄｐｉであった。When the laser beam 22 'from the second light source 20' was incident on the second hologram area 12 ', the diameter of the scanning beam on the scanning surface was 40 μm and the resolution was 600 dpi.
【００４８】１本の走査線内において、第１のレーザ光
源２０から第２のレーザ光源２０’へのあるいはその逆
の切り替えを公知の手段にて行うことによって、解像度
を容易に切り替えることができる。The resolution can be easily switched by switching the first laser light source 20 to the second laser light source 20 'or vice versa within one scanning line by a known means. .
【００４９】[0049]
【発明の効果】本発明の光ビーム走査装置においては、
例えばレーザプリンタによって、同一ページ内で解像度
が異なる図形と文字等を容易に一回で印刷することがで
きる。しかも、複数のホログラムを使用することなく、
走査線において容易に解像度を切り替えることができ、
装置の構造を簡略化することができる。In the light beam scanning device of the present invention,
For example, a laser printer can easily print graphics and characters having different resolutions in one page at one time. Moreover, without using multiple holograms,
You can easily switch the resolution in the scan line,
The structure of the device can be simplified.
【図１】本発明の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of the present invention.
【図２】文字と図形が混在する文書の印刷時の解像度の
一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of resolution when printing a document in which characters and graphics are mixed.
【図３】本発明の動作を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the operation of the present invention.
【符号の説明】 １０ ホログラム １２，１２’ ホログラム領域 １４，１４’ ファセット ２０，２０’ レーザ光源 ２２，２２’ レーザビーム ３０ 走査線[Description of Reference Signs] 10 hologram 12, 12 'hologram area 14, 14' facet 20, 20 'laser light source 22, 22' laser beam 30 scanning line
フロントページの続き (72)発明者 岩田 成健 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 茅嶌 茂生 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (72)発明者 前田 智司 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−116610（ＪＰ，Ａ)Front page continuation (72) Inventor Shigetake Iwata 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa, Fujitsu Limited (72) Inventor Shigeo Kayajima 1015 Kamedota, Nakahara-ku, Kawasaki, Kanagawa (within Fujitsu Limited) (72) ) Inventor Satoshi Maeda 1015 Kamiodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa, Fujitsu Limited (56) References Japanese Patent Laid-Open No. 59-116610 (JP, A)
Claims (5)
光ビーム走査装置であって、 該光ビーム走査装置は、レーザビームを出射する少なく
とも２つのレーザ光源(20,20')を有し、 該ホログラム(10)は、各レーザ光源から出射されたレー
ザビーム(22,22')が入射する、レーザ光源数に等しいホ
ログラム領域(12,12')を有し、 該ホログラム領域(12,12')の各々は、ホログラムの回転
軸と同心円状に配置された同一のＦナンバーを出射する
複数のファセット(14,14')から成り、 該ファセット(14,14')のＦナンバー及びファセットの数
は、ホログラム領域(12,12')毎に異なり、 これによって、走査線においてレーザ光源を切り替える
ことにより同一走査線内で解像度を変え得ることを特徴
とする光ビーム走査装置。1. A light beam scanning device comprising one rotating hologram (10), said light beam scanning device comprising at least two laser light sources (20, 20 ') for emitting laser beams. The hologram (10) has hologram regions (12, 12 ′) equal to the number of laser light sources, on which the laser beams (22, 22 ′) emitted from the respective laser light sources are incident, and the hologram regions (12, 12 ′) Each of 12 ') is composed of a plurality of facets (14, 14') which are arranged concentrically with the rotation axis of the hologram and emit the same F-number. The F-numbers and facets of the facets (14, 14 ') The number of is different for each hologram area (12, 12 ′), whereby the resolution can be changed within the same scanning line by switching the laser light source in the scanning line.
ァセット(14,14')のＦナンバーが小さくなることを特徴
とする請求項１に記載の光ビーム走査装置。2. The light beam scanning device according to claim 1, wherein the F number of the facets (14, 14 ') becomes smaller as the hologram is farther from the rotation axis.
ァセット(14,14')の数が多くなることを特徴とする請求
項１又は請求項２に記載の光ビーム走査装置。3. The light beam scanning device according to claim 1 or 2, wherein the number of facets (14, 14 ') increases as the distance from the rotation axis of the hologram increases.
ザビームの波長が等しいことを特徴とする請求項１乃至
請求項３のいずれか１項に記載の光ビーム走査装置。4. The light beam scanning device according to claim 1, wherein the laser beams emitted from the respective laser light sources (20, 20 ′) have the same wavelength.
ーザ光源(20,20')から出射されるレーザビームの波長が
短くなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいず
れか１項に記載の光ビーム走査装置。5. The wavelength of the laser beam emitted from the laser light source (20, 20 ′) becomes shorter as the hologram is farther from the rotation axis, and the wavelength is shortened. The described light beam scanning device.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29314191A JP2522615B2 (en) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | Optical beam scanning device |
| US07/972,520 US5295004A (en) | 1991-11-08 | 1992-11-06 | Optical beam scanning apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29314191A JP2522615B2 (en) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | Optical beam scanning device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05134206A JPH05134206A (en) | 1993-05-28 |
| JP2522615B2 true JP2522615B2 (en) | 1996-08-07 |
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ID=17790956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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-
1991
- 1991-11-08 JP JP29314191A patent/JP2522615B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05134206A (en) | 1993-05-28 |
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