JP2519864Y2 - Drive device for fluid pressure actuator - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は、流体圧アクチュエータ
を緩衝的に停止させる流体圧アクチュエータの駆動装置
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a drive device for a fluid pressure actuator which stops the fluid pressure actuator in a buffer manner.

【０００２】[0002]

【従来の技術】流体圧アクチュエータは、該流体圧アク
チュエータにより搬送されるワーク等の破損を防止する
ために、緩衝的に停止させる必要がある。図７はリリー
フ弁によって流体圧アクチュエータを緩衝的に停止させ
る公知の駆動装置を示し、この駆動装置は、流体圧シリ
ンダ１と、該流体圧シリンダ１の圧力室１ａ，１ｂに圧
縮空気を給排する方向切換弁２と、圧力室１ａ，１ｂと
方向切換弁２の出力ポートＡ，Ｂとを連通させる配管３
ａ，３ｂと、これらの配管中に設けた３ポート電磁弁４
ａ，４ｂと、これらの３ポート電磁弁の排出ポート６，
６に接続したリリーフ弁５ａ，５ｂと、流体圧シリンダ
１のピストン７の位置を検出して信号を出力する位置検
出スイッチ８，８とを備えている。この駆動装置は、方
向切換弁２の出力ポートＡから圧縮空気を出力すると、
圧力室１ａに圧縮空気が供給されるとともに、圧力室１
ｂの空気が３ポート電磁弁４ｂ及び方向切換弁２を通っ
て外部に排出されて、ピストン７が図において上動す
る。ピストン７がストロークエンドに近づくと、位置検
出スイッチ８がピストン７の位置を検出して、３ポート
電磁弁４ｂのソレノイド９に信号を出力する。この信号
により３ポート電磁弁４ｂが切換えられて、圧力室１ｂ
の排気がリリーフ弁５ｂから排出されので、ピストン７
の速度が減速されて緩衝的に停止する。しかしながら、
流体圧シリンダ１を高速で駆動する場合には、配管３
ａ，３ｂを大径にして圧縮空気の単位時間当り供給量を
多くする必要があるが、上記公知の駆動装置は、配管３
ａ，３ｂを大径にすると、これに接続する３ポート電磁
弁４ａ，４ｂとリリーフ弁５ａ，５ｂが大形で高価なも
のになる。2. Description of the Related Art A fluid pressure actuator needs to be stopped as a buffer in order to prevent damage to a work or the like conveyed by the fluid pressure actuator. FIG. 7 shows a known drive device for stopping a fluid pressure actuator in a buffer manner by a relief valve. This drive device supplies and discharges compressed air to and from a fluid pressure cylinder 1 and pressure chambers 1a and 1b of the fluid pressure cylinder 1. Piping 3 for connecting the directional control valve 2 with the pressure chambers 1a, 1b and the output ports A, B of the directional control valve 2
a, 3b and the 3-port solenoid valve 4 provided in these pipes
a, 4b and the exhaust port 6 of these 3-port solenoid valves
6 are provided with relief valves 5a and 5b, and position detection switches 8 and 8 that detect the position of the piston 7 of the fluid pressure cylinder 1 and output a signal. When this drive device outputs compressed air from the output port A of the directional control valve 2,
Compressed air is supplied to the pressure chamber 1a and the pressure chamber 1
The air of b is discharged to the outside through the 3-port solenoid valve 4b and the direction switching valve 2, and the piston 7 moves upward in the figure. When the piston 7 approaches the stroke end, the position detection switch 8 detects the position of the piston 7 and outputs a signal to the solenoid 9 of the 3-port solenoid valve 4b. The 3 port solenoid valve 4b is switched by this signal, and the pressure chamber 1b
Exhaust gas is discharged from the relief valve 5b, so the piston 7
The speed of is slowed down and stops as a buffer. However,
When driving the fluid pressure cylinder 1 at high speed, the piping 3
It is necessary to increase the diameters of a and 3b to increase the amount of compressed air supplied per unit time.
When the diameters of a and 3b are increased, the three-port solenoid valves 4a and 4b and the relief valves 5a and 5b connected thereto become large and expensive.

【０００３】[0003]

【考案が解決しようとする課題】本考案が解決しようと
する課題は、２ポート弁にリリーフ機能を持たせること
によって、安価な流体圧アクチュエータの駆動装置を提
供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The problem to be solved by the present invention is to provide an inexpensive drive device for a fluid pressure actuator by providing a relief function to a 2-port valve.

【０００４】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本考案は、流体圧アクチュエータと、該流体圧アク
チュエータの圧力室に圧力流体を給排する方向切換弁
と、上記圧力室と方向切換弁の複数の出力ポー１とを連
通させる複数の配管とを備えた流体圧アクチュエータの
駆動装置において、各配管に、２つのポートと、これら
のポートを連通させる流路中の弁座と、該弁座を圧力室
の排出流体の流れに対向する方向から閉鎖する弁体と、
パイロットピストンで区画された上記弁体を流路の開放
方向に駆動するパイロット室及び閉鎖方向に復帰させる
リリーフばねを縮設したリリーフ室とを有する主弁、及
びソレノイドの励磁及び励磁解除により上記主弁のパイ
ロット室にパイロット流体を給排するパイロット弁とを
有し、パイロット流体の作用力とリリーフばねの付勢力
との大小によって上記弁体が弁座を閉鎖するパイロット
式２ポート弁を設け、上記流体圧アクチュエータに、該
流体圧アクチュエータのストローク位置を検出して上記
パイロット弁のソレノイドに励磁及び励磁解除信号を出
力する位置検出スイッチを設け、上記パイロット流体の
排出による弁体の弁座閉鎖時に、該弁体に弁座の開放方
向に作用する排出流体圧の作用力により弁体の弁座閉鎖
速度を制御して、該弁体にリリーフ機能を持たせたこと
を特徴としている。また、同様の課題を解決するため、
上記流体圧アクチュエータの駆動装置において、シャト
ル弁によって配管を流れる流体をパイロット弁に供給す
ることを特徴としている。In order to solve the above problems, the present invention provides a fluid pressure actuator, a direction switching valve for supplying and discharging a pressure fluid to and from a pressure chamber of the fluid pressure actuator, and a direction switching for the pressure chamber. In a drive device for a fluid pressure actuator comprising a plurality of pipes communicating with a plurality of output ports 1 of a valve, each pipe has two ports, a valve seat in a flow path communicating these ports, and A valve body that closes the valve seat from a direction facing the flow of the discharge fluid of the pressure chamber,
A main valve having a pilot chamber for driving the valve body partitioned by a pilot piston in the opening direction of the flow path and a relief chamber in which a relief spring for returning to the closing direction is compressed ;
And a pilot valve for supplying and discharging pilot fluid to and from the pilot chamber of the main valve by energizing and deenergizing the solenoid, and the valve depends on the magnitude of the acting force of the pilot fluid and the urging force of the relief spring. The body is provided with a pilot type two-port valve for closing the valve seat, and the fluid pressure actuator is provided with a position detection switch for detecting a stroke position of the fluid pressure actuator and outputting an excitation and an excitation release signal to the solenoid of the pilot valve. Install the above pilot fluid
How to open the valve seat on the valve body when closing the valve seat due to discharge
Valve seat closing by the action force of the exhaust fluid pressure acting in the opposite direction
It is characterized in that the valve body is provided with a relief function by controlling the speed . Also, in order to solve the same problem,
In the drive device for the fluid pressure actuator described above,
Supply the fluid flowing through the pipe to the pilot valve
It is characterized in that that.

【０００５】[0005]

【作用】各パイロット式２ポート弁における主弁の弁体
がいずれも弁座を開放した状態において、方向切換弁に
よって流体圧アクチュエータの一方の圧力室に圧力流体
を供給して他方の圧力室の流体を外部に排出すると、流
体圧アクチュエータが所定の方向に高速度で移動する。
位置検出スイッチが、流体圧アクチュエータのストロー
ク位置を検出して流体排出側のパイロット弁のソレノイ
ドに信号を出力すると、流体排出側の主弁のパイロット
流体が外部に排出されるので、リリーフばねの付勢力に
よって弁体が流路を閉鎖する方向に移動する。この場
合、弁体の移動当初は、圧力室の排出流体圧が高いため
に弁体が低速で弁座の閉鎖方向に移動し、排出流体圧の
低下に伴い弁体の移動速度が徐々に早くなって弁座から
の排出流体の排出量が次第に絞られるので、流体圧アク
チュエータが徐々に減速する。排出流体圧がさらに低下
して、弁体に作用する排出流体圧の作用力がリリーフば
ねの付勢力より小さくなると弁体が弁座を閉鎖し、減速
された流体圧アクチュエータが緩衝的に停止する。上記
パイロット式２ポート弁は、２ポート弁にリリーフ機能
を持たせたことにより、３ポート弁とリリーフ弁よりな
る駆動装置に比べて、全体を安価でしかも小形なものに
することができる。 また、配管を流れる流体を、シャト
ル弁からパイロット弁に供給することにより、パイロッ
ト配管を省略することができる。 With the valve bodies of the main valves of the respective pilot type two-port valves having their valve seats open, the directional control valve supplies the pressure fluid to one pressure chamber of the fluid pressure actuator so that the other pressure chamber When the fluid is discharged to the outside, the fluid pressure actuator moves at a high speed in a predetermined direction.
When the position detection switch detects the stroke position of the fluid pressure actuator and outputs a signal to the solenoid of the pilot valve on the fluid discharge side, the pilot fluid of the main valve on the fluid discharge side is discharged to the outside. Due to the force, the valve body moves in the direction of closing the flow path. In this case, at the beginning of movement of the valve body, the discharge fluid pressure in the pressure chamber is high, so the valve body moves at a low speed in the direction of closing the valve seat, and the movement speed of the valve body gradually increases as the discharge fluid pressure decreases. From the valve seat
Since the discharge amount of the discharge fluid is gradually reduced, the fluid pressure actuator is gradually decelerated. When the discharge fluid pressure further decreases and the acting force of the discharge fluid pressure acting on the valve body becomes smaller than the urging force of the relief spring, the valve body closes the valve seat and the decelerated fluid pressure actuator stops in a buffer manner. . the above
Pilot type 2 port valve is a relief function for 2 port valve
Since it has a 3 port valve and a relief valve,
Compared to other driving devices, it is cheaper and more compact.
can do. In addition, shut off the fluid flowing through the piping
Pilot valve to supply pilot pilot
The piping can be omitted.

【０００６】[0006]

【実施例】図１は本考案の第１実施例を示し、この実施
例は、流体圧アクチュエータの一例としての流体圧シリ
ンダ１１と、該流体圧シリンダ１１の圧力室１１ａ，１
１ｂに圧縮空気を給排する方向切換弁１２と、圧力室１
１ａ，１１ｂと方向切換弁１２の出力ポートＡ，Ｂとを
接続する配管１３ａ，１３ｂと、これらの配管に設けた
パイロット式２ポート弁１４ａ，１４ｂと、流体圧シリ
ンダ１１のピストン１６の位置を検出して信号を出力す
る位置検出スイッチ１５ａ，１５ｂを備え、方向切換弁
１２は、ソレノイドの励磁によって圧縮空気の供給ポー
トＰと出力ポートＡ及び出力ポートＢと排出ポートＥＢ
を連通させ、ソレノイドの励磁解除によって供給ポート
Ｐと出力ポートＢ及び出力ポートＡと排出ポートＥＡを
連通させる周知の５ポート弁で構成されている。1 shows a first embodiment of the present invention, which is a fluid pressure cylinder 11 as an example of a fluid pressure actuator, and pressure chambers 11a, 1a of the fluid pressure cylinder 11. As shown in FIG.
A direction switching valve 12 for supplying and discharging compressed air to and from the pressure chamber 1b.
1a and 11b are connected to the output ports A and B of the directional control valve 12, pipes 13a and 13b, pilot type 2 port valves 14a and 14b provided in these pipes, and the position of the piston 16 of the fluid pressure cylinder 11 are set. The direction detection valve 12 is provided with position detection switches 15a and 15b for detecting and outputting a signal. The directional control valve 12 is provided with a compressed air supply port P and an output port A, an output port B, and an exhaust port EB.
Of the well-known five-port valve which connects the supply port P and the output port B and the output port A and the discharge port EA by releasing the excitation of the solenoid.

【０００７】図２に詳細を示す上記パイロット式２ポー
ト弁１４ａ，１４ｂは、主弁２１とパイロット弁２２と
を備え、主弁２１の弁本体２４は、方向切換弁１２側の
ポート２５と流体圧シリンダ１１側のポート２６、及び
これらのポートを連通させる流路中の弁座２７を有し、
弁本体２４とボンネット２８の間は仕切板２９ａ，２９
ｂによって密に区画されている。上記弁座２７をポート
２５側から開閉するポペット形の弁体３０は、仕切板２
９ａ，２９ｂを気密に貫通してボンネット２８側に伸び
るシャフト３１を有し、シャフト３１の先端に、ボンネ
ット２８の空間をパイロット室３３とリリーフ室３４と
に区画するパイロットピストン３５が取付けられてお
り、呼吸ポート３６によって外部に連通する上記リリー
フ室３４に、弁体３０を弁座２７の閉鎖方向に付勢する
リリーフばね３７が縮設され、リリーフばね３７の付勢
力はボンネット２８に螺着させた調整ねじ３８の進退に
よって調節することができる。一方、上記パイロット弁
２２は、入口ポート４１、出口ポート４２及び排出ポー
ト４３を有し、ソレノイド４０ａ，４０ｂの励磁及び励
磁解除によって、出口ポート４２を入口ポート４１と排
出ポート４３とに切換えて連通させる周知の３ポート電
磁弁で構成され、入口ポート４１はボンネット２８に開
設したパイロットポート４４に、出口ポート４２はパイ
ロット室３３に、排出ポート４３はリリーフ室３４にそ
れぞれ連通し、ソレノイド４０ａ，４０ｂは、位置検出
スイッチ１５ａ，１５ｂからの信号によって励磁及び励
磁解除される。The pilot type two-port valves 14a and 14b shown in detail in FIG. 2 are provided with a main valve 21 and a pilot valve 22, and a valve body 24 of the main valve 21 has a port 25 on the side of the directional control valve 12 and a fluid. It has a port 26 on the pressure cylinder 11 side and a valve seat 27 in the flow path that connects these ports,
Partition plates 29a, 29 are provided between the valve body 24 and the hood 28.
It is densely divided by b. The poppet type valve body 30 that opens and closes the valve seat 27 from the port 25 side is the partition plate 2
It has a shaft 31 that extends airtightly through 9a, 29b toward the bonnet 28 side, and a pilot piston 35 that partitions the space of the bonnet 28 into a pilot chamber 33 and a relief chamber 34 is attached to the tip of the shaft 31. A relief spring 37 for urging the valve element 30 toward the closing direction of the valve seat 27 is contracted in the relief chamber 34 communicating with the outside by the breathing port 36, and the urging force of the relief spring 37 is screwed to the bonnet 28. It can be adjusted by moving the adjusting screw 38 back and forth. On the other hand, the pilot valve 22 has an inlet port 41, an outlet port 42 and a discharge port 43, and the outlet port 42 is switched between the inlet port 41 and the discharge port 43 for communication by exciting and deenergizing the solenoids 40a and 40b. The inlet port 41 communicates with the pilot port 44 opened in the hood 28, the outlet port 42 communicates with the pilot chamber 33, the discharge port 43 communicates with the relief chamber 34, and the solenoids 40a, 40b are connected. Is excited and deenergized by signals from the position detection switches 15a and 15b.

【０００８】図１及び図２を参照して、上記第１実施例
の動作を説明する。図１は、圧力室１１ｂに供給された
圧縮空気によってピストン１６がストローク終端に到達
した状態を示している。位置検出スイッチ１５ａの信号
によりソレノイド４０ａを励磁して、２ポート弁１４ａ
の弁座２７を開放するとともに、方向切換弁１２を切換
えて出力ポートＡから圧縮空気を出力すると、この空気
が配管１３ａ、２ポート弁１４ａを通って圧力室１１ａ
に供給され、圧力室１１ｂの空気が配管１３ｂ、２ポー
ト弁１４ｂを通って外部に排出されるので、ピストン１
６が図において下動する。この場合、２ポート弁１４
ａ，１４ｂの弁座が開放しているので、ピストン１６は
高速で駆動する。The operation of the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 shows a state in which the piston 16 reaches the end of the stroke by the compressed air supplied to the pressure chamber 11b. The solenoid 40a is excited by the signal from the position detection switch 15a to activate the 2-port valve 14a.
When the valve seat 27 is opened and the direction switching valve 12 is switched to output compressed air from the output port A, this air passes through the pipe 13a and the two-port valve 14a, and the pressure chamber 11a.
Air in the pressure chamber 11b is discharged to the outside through the pipe 13b and the two-port valve 14b.
6 moves down in the figure. In this case, 2 port valve 14
Since the valve seats of a and 14b are open, the piston 16 is driven at high speed.

【０００９】位置検出スイッチ１５ｂが、ピストン１６
が図における下動ストローク終端近くに移動したことを
検出すると、２ポート弁１４ｂのソレノイド４０ｂに信
号を出力してその励磁を解除するので、２ポート弁１４
ｂのパイロット室３３のパイロット流体が外部に排出さ
れて弁体３０がリリーフばね３７の付勢力によって弁座
２７の閉鎖方向に移動する。しかしながら、弁体３０の
移動当初は圧力室１１ｂから排出される空気圧が高いた
めに、弁体３０は徐々に弁座２７側に移動するので、排
気が次第に絞られてピストン１６が徐々に減速される。
圧力室１１ｂの空気圧がさらに低下して、その作用力が
リリーフばね３７の設定付勢力より小さくなると、弁体
３０が弁座２７を閉鎖して減速されたピストン１６が緩
衝的に停止する。方向切換弁１２を切換えて、ピストン
１６を図１において上動させる場合は、下動の場合と同
じであるから、詳細な説明は省略する。上記第１実施例
は、パイロット式２ポート弁１４ａ，１４ｂが絞り機能
を有することによってリリーフ弁を省略できるので、配
管１３ａ，１３ｂが大径であっても弁を安価なものにす
ることができる。The position detection switch 15b is connected to the piston 16
Is detected near the end of the downward stroke in the figure, a signal is output to the solenoid 40b of the 2-port valve 14b to release the excitation, so that the 2-port valve 14
The pilot fluid in the pilot chamber 33 of b is discharged to the outside, and the valve element 30 moves in the closing direction of the valve seat 27 by the urging force of the relief spring 37. However, since the air pressure discharged from the pressure chamber 11b is high at the beginning of the movement of the valve body 30, the valve body 30 gradually moves to the valve seat 27 side, so the exhaust gas is gradually throttled and the piston 16 is gradually decelerated. It
When the air pressure in the pressure chamber 11b further decreases and the acting force becomes smaller than the set biasing force of the relief spring 37, the valve body 30 closes the valve seat 27 and the decelerated piston 16 stops in a buffer manner. When the direction switching valve 12 is switched to move the piston 16 upward in FIG. 1, it is the same as the case of downward movement, and thus detailed description thereof will be omitted. In the first embodiment, since the pilot-type two-port valves 14a and 14b have a throttle function, the relief valve can be omitted. Therefore, even if the pipes 13a and 13b have large diameters, the valves can be made inexpensive. .

【００１０】図３はパイロット式２ポート弁をバランス
形とした変形例を示し、この２ポート弁４６の弁体４７
は、ボンネット２８側の外周面が仕切板４８に密に摺動
可能に挿入され、仕切板２９ｂと４８の間の空間は外部
に連通している。また、弁体５１の仕切板４８挿通部の
外径は、弁座２７の開口径と略同径にされている。パイ
ロット式２ポート弁４６の他の構成及び作用は、弁体４
７に作用する流体圧がバランスしている以外は２ポート
弁１４ａ，１４ｂと同じであるから、図の主要な個所に
同一の符号を付して詳細な説明は省略する。FIG. 3 shows a modified example in which the pilot type two-port valve is a balance type. The valve body 47 of this two-port valve 46 is shown.
The outer peripheral surface on the bonnet 28 side is densely slidably inserted into the partition plate 48, and the space between the partition plates 29b and 48 communicates with the outside. Further, the outer diameter of the partition plate 48 insertion portion of the valve body 51 is made substantially the same as the opening diameter of the valve seat 27. Another configuration and operation of the pilot type two-port valve 46 is the valve body 4
Since the two-port valves 14a and 14b are the same as the two-port valves 14a and 14b except that the fluid pressures acting on the valve 7 are balanced, the same reference numerals are given to the main parts in the drawing, and detailed description thereof will be omitted.

【００１１】図４はパイロット式２ポート弁をスプール
形とした他の変形例を示し、このパイロット式２ポート
弁５０のボディ５１は、方向切換弁１２側のポート５２
と流体圧シリンダ１１側とのポート５３、これらのポー
ト間の流路を通断させるスプール（弁体）５４を備え、
スプール５４のポート５３側にパイロット流体圧で駆動
するパイロットピストン５５が、それと反対側にリリー
フばね３７が対向して設けられている。上記パイロット
式２ポート弁５０は、スプール５４のポート５３側端面
に作用する排出流体圧によって、スプール５４の移動速
度が減速される。FIG. 4 shows another modification in which the pilot type two-port valve is a spool type. The body 51 of the pilot type two-port valve 50 is a port 52 on the side of the direction switching valve 12.
And a fluid pressure cylinder 11 side port 53, and a spool (valve body) 54 for interrupting a flow path between these ports,
A pilot piston 55 driven by a pilot fluid pressure is provided on the port 53 side of the spool 54, and a relief spring 37 is provided on the opposite side thereof so as to face it. In the pilot type two-port valve 50, the moving speed of the spool 54 is reduced by the exhaust fluid pressure acting on the end surface of the spool 54 on the port 53 side.

【００１２】図５はパイロット式２ポート弁１４ａ，１
４ｂのポート２６，２６を、ダブルソレノイド形の方向
切換弁６０の排出ポートＥＡ，ＥＢに取付けた本考案の
第２実施例を示し、２ポート弁１４ａ，１４ｂのパイロ
ット流体は、方向切換弁６０のパイロット弁６０ａ，６
０ｂから供給され、２ポート弁１４ａ，１４ｂのポート
２５，２５はサブプレートブロック６１に形成した排出
流路（図示省略）に連通している。第２実施例の他の構
成及び作用は第１実施例と同じであるから、詳細な説明
は省略する。FIG. 5 shows a pilot type two-port valve 14a, 1
The second embodiment of the present invention, in which the ports 26, 26 of 4b are attached to the discharge ports EA, EB of the double solenoid type directional control valve 60, shows the pilot fluid of the two port valves 14a, 14b. Pilot valves 60a, 6
0b, and the ports 25, 25 of the two-port valves 14a, 14b communicate with an exhaust flow path (not shown) formed in the sub plate block 61. The other configuration and operation of the second embodiment are the same as those of the first embodiment, and thus detailed description is omitted.

【００１３】図６は２個のパイロット式２ポート弁を一
体とした本考案の第３実施例を示し、このパイロット式
２ポート弁６５は、２個の主弁６６ａ，６６ｂとパイロ
ット弁６７ａ，６７ｂとを備え、パイロット流体は、両
側のポートが配管１３ａ，１３ｂにそれぞれ接続された
高圧優先形シャトル弁６８から供給される。したがっ
て、第３実施例はパイロット配管を省略することができ
る。第３実施例の他の構成及び作用は、パイロット流体
が高圧優先形シャトル弁６８によって供給される以外
は、第１実施例と同じであるから、詳細な説明は省略す
る。FIG. 6 shows a third embodiment of the present invention in which two pilot type two-port valves are integrated. This pilot type two-port valve 65 includes two main valves 66a, 66b and a pilot valve 67a, 67b and the pilot fluid is supplied from a high pressure priority type shuttle valve 68 whose ports on both sides are connected to the pipes 13a and 13b, respectively. Therefore, the pilot pipe can be omitted in the third embodiment. Other configurations and operations of the third embodiment are the same as those of the first embodiment except that the pilot fluid is supplied by the high-pressure priority type shuttle valve 68, and therefore detailed description will be omitted.

【００１４】[0014]

【考案の効果】本考案における流体圧アクチュエータの
駆動装置は、各パイロット式２ポート弁が流体の排出機
能と絞り機能とを有することによって、２ポート弁に比
べて高価でかつ大形になる３ポート弁や、リリーフのた
めのリリーフ弁を必要としないので、高速で駆動させた
流体圧アクチュエータを緩衝的に停止させることができ
る流体圧アクチュエータの駆動装置を、安価でかつ小形
にすることができる。また、配管を流れる流体をシャト
ル弁によってパイロット弁に供給するので、パイロット
配管を省略することができる。 Driving device for a fluid pressure actuator according to the present invention, according to the invention] is that by the pilot-type two-port valve having a diaphragm function and a discharge function of the fluid, the ratio in the two-port valve
All three-port valves, which are expensive and large, and relief valves
Since a relief valve for storing the fluid pressure actuator is not necessary, the drive device for the fluid pressure actuator that can stop the fluid pressure actuator driven at high speed in a buffer manner can be made inexpensive and small . Also, shut off the fluid flowing through the piping.
Is supplied to the pilot valve by the valve
Piping can be omitted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】第１実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a first embodiment.

【図２】パイロット式２ポート弁の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a pilot type two-port valve.

【図３】異なる構成を有するパイロット式２ポート弁の
断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a pilot type two-port valve having a different configuration.

【図４】さらに異なる構成を有するパイロット式２ポー
ト弁の断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a pilot type two-port valve having a different configuration.

【図５】第２実施例の要部を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing the main parts of the second embodiment.

【図６】第３実施例の構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram of a third embodiment.

【図７】公知の流体圧シリンダの駆動装置の構成図であ
る。FIG. 7 is a configuration diagram of a known fluid pressure cylinder drive device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ 流体圧シリンダ １１ａ，１１ｂ 圧力室 １２，６０ 方向切換弁 １４ａ，１４ｂ，４６，５０，６５ パイロット式２ポ
ート弁 １５ａ，１５ｂ 位置検出スイッチ ２２，６７ａ，６７ｂ パイロット弁 ２５，２６，５２，５３ ポート ２７ 弁座、 ３０，５４ 弁体 ３３ パイロット室 ３４ リリーフ室 ３５，５５ パイロットピストン ３７ リリーフばね ４０ ソレノイド Ａ，Ｂ 出力ポート ＥＡ，ＥＢ 排出ポート11 Fluid pressure cylinders 11a, 11b Pressure chambers 12, 60 Direction switching valves 14a, 14b, 46, 50, 65 Pilot type 2 port valves 15a, 15b Position detection switches 22, 67a, 67b Pilot valves 25, 26, 52, 53 ports 27 valve seat, 30, 54 valve body 33 pilot chamber 34 relief chamber 35, 55 pilot piston 37 relief spring 40 solenoid A, B output port EA, EB discharge port

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of utility model registration request] 【請求項１】流体圧アクチュエータと、該流体圧アクチ
ュエータの圧力室に圧力流体を給排する方向切換弁と、
上記圧力室と方向切換弁の複数の出力ポートとを連通さ
せる複数の配管とを備えた流体圧アクチュエータの駆動
装置において、 各配管に、２つのポートと、これらのポートを連通させ
る流路中の弁座と、該弁座を圧力室の排出流体の流れに
対向する方向から閉鎖する弁体と、パイロットピストン
で区画された上記弁体を流路の開放方向に駆動するパイ
ロット室及び閉鎖方向に復帰させるリリーフばねを縮設
したリリーフ室とを有する主弁、及びソレノイドの励磁
及び励磁解除により上記主弁のパイロット室にパイロッ
ト流体を給排するパイロット弁とを有し、パイロット流
体の作用力とリリーフばねの付勢力との大小によって上
記弁体が弁座を閉鎖するパイロット式２ポート弁を設
け、上記流体圧アクチュエータに、該流体圧アクチュエ
ータのストローク位置を検出して上記パイロット弁のソ
レノイドに励磁及び励磁解除信号を出力する位置検出ス
イッチを設け、上記パイロット流体の排出による弁体の弁座閉鎖時に、
該弁体に弁座の開放方向に作用する排出流体圧の作用力
により弁体の弁座閉鎖速度を制御して、該弁体にリリー
フ機能を持たせた、 ことを特徴とする流体圧アクチュエータの駆動装置。1. A fluid pressure actuator, and a direction switching valve for supplying and discharging a pressure fluid to and from a pressure chamber of the fluid pressure actuator,
In a drive device for a fluid pressure actuator, comprising: a plurality of pipes for connecting the pressure chamber and a plurality of output ports of a directional control valve; two ports for each pipe and a flow path for connecting these ports. A valve seat, a valve body that closes the valve seat from a direction facing the flow of the discharge fluid in the pressure chamber, a pilot chamber that drives the valve body partitioned by a pilot piston in the opening direction of the flow path, and a closing direction. A main valve having a relief chamber in which a relief spring for returning is compressed , and a pilot valve for supplying and discharging pilot fluid to and from the pilot chamber of the main valve by exciting and deenergizing the solenoid. A pilot-type two-port valve in which the valve element closes the valve seat depending on the magnitude of the urging force of the relief spring is provided, and Is provided with a position detection switch that detects the stroke position of the pilot valve solenoid and outputs an excitation and de-energization signal to the solenoid of the pilot valve, and when the valve seat of the valve element is closed by discharging the pilot fluid,
Force of exhaust fluid pressure acting on the valve element in the opening direction of the valve seat
The valve seat closing speed is controlled by the
A drive device for a fluid pressure actuator, which is provided with a function . 【請求項２】シャトル弁によって配管を流れる流体をパ
イロット弁に供給する、 ことを特徴とする請求項１に記載した流体圧アクチュエ
ータの駆動装置。2. A shuttle valve is used to control the fluid flowing through the pipe.
The drive device for the fluid pressure actuator according to claim 1, wherein the drive device supplies the ilot valve .