JP2519213B2 - Method for manufacturing magneto-optical disc plate - Google Patents
Method for manufacturing magneto-optical disc plateInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜技術分野＞ 本発明は光磁気ディスクの基板として透明なプラスチ
ック板を用いた場合の新規且つ有用な製造方法に関す
る。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a novel and useful manufacturing method when a transparent plastic plate is used as a substrate of a magneto-optical disk.
＜従来技術＞ 近年、光磁気ディスクに対する研究が盛んになり、そ
の基板材料として各種のプラスチックが検討されてい
る。一般に光ディスクの基板として使うには、反りが小
さく寸法精度が出しやすい等の機械的性質と、透明度が
高いこと等の光学的性質が必要となる。特に光磁気ディ
スクの場合は信号再生に直線偏光を使うため基板透過中
の光の偏光状態が乱されないことが重要な条件になって
くる。<Prior Art> In recent years, research on magneto-optical disks has been actively conducted, and various plastics have been studied as the substrate material. Generally, when used as a substrate of an optical disk, mechanical properties such as small warpage and easy dimensional accuracy, and optical properties such as high transparency are required. Particularly in the case of a magneto-optical disk, since linearly polarized light is used for signal reproduction, it is an important condition that the polarization state of light passing through the substrate is not disturbed.
さて、ポリカーボネート（PC）は機械的強度が高く、
透明であり、耐熱温度もプラスチック材料の中では高い
ほうに属するため光磁気ディスク用基板材料として注目
されている。現在PCディスクの実用的な成形方法は射出
成形である。しかし射出成形された基板は光学的に等方
になりにくく、方向によって屈折率が異なりやすい。こ
のような媒質中を光が透過するとき偏光状態が変化す
る。この点で射出成形で作られたPC基板は光磁気ディス
ク基板として使用しにくい。Now, polycarbonate (PC) has high mechanical strength,
Since it is transparent and has a high heat resistance temperature among the plastic materials, it is attracting attention as a substrate material for magneto-optical disks. Currently, the practical molding method for PC disks is injection molding. However, the injection-molded substrate is difficult to be optically isotropic, and the refractive index tends to vary depending on the direction. When light passes through such a medium, the polarization state changes. In this respect, the PC substrate made by injection molding is difficult to use as a magneto-optical disk substrate.
この為、成形後のPC基板に対してその特性の評価を行
なう必要が生ずる。特に複屈折（方向による屈折率の
差）の程度を確認しておくことが肝要である。この確認
を怠った場合、PC基板上に記憶媒体を被覆しても、出来
上った光磁気ディスクは信号品質が悪く使い物にならな
い場合が生ずる。Therefore, it becomes necessary to evaluate the characteristics of the PC substrate after molding. In particular, it is important to confirm the degree of birefringence (difference in refractive index depending on direction). If this confirmation is neglected, even if the storage medium is coated on the PC substrate, the finished magneto-optical disk may have poor signal quality and be unusable.
従来、上記複屈折の測定は基板に対して垂直方向の光
を入射させて屈折率の分布を測定することで行なわれて
いた。この方法は基板の面内方向の屈折率の差のみを測
定するものであった。しかし、実際の光磁気ディスクで
はレンズでレーザ光を基板を通して集光させるため、多
くの光は基板に対して斜めに入射する。従って斜めに透
過する光に対しても偏光状態を乱さないことが必要であ
り、そのためには基板の面内方向ばかりでなく垂直方向
の屈折率分布も考慮しなくてはならないことを本発明者
は認識した。Conventionally, the measurement of the birefringence has been performed by injecting light in a direction perpendicular to the substrate and measuring the distribution of the refractive index. This method was to measure only the difference in refractive index in the in-plane direction of the substrate. However, in an actual magneto-optical disk, since the laser light is condensed by the lens through the substrate, most of the light is obliquely incident on the substrate. Therefore, it is necessary that the polarization state is not disturbed even with respect to obliquely transmitted light, and for that purpose, the refractive index distribution in the vertical direction as well as in the in-plane direction of the substrate must be considered. Recognized.
＜目 的＞ 本発明は上記認識の基になされたものであって、光磁
気ディスクの実際の使用に即した基板の評価を行なうこ
とによって、最終的に品質の良い光磁気ディスクを安定
的に得ることをその目的とする。<Objective> The present invention has been made on the basis of the above recognition, and finally, by evaluating the substrate according to the actual use of the magneto-optical disk, a stable magneto-optical disk of high quality can be finally obtained. The purpose is to obtain.
＜実施例＞ まず、本発明の製法に到る迄の種々の技術的解明点に
ついて説明を行なう。<Example> First, various technical clarification points up to the production method of the present invention will be described.
前述した如く、本発明者は基板の垂直方向の屈折率に
ついても考慮する必要性を認識し、PCディスク基板に対
して光の入射角度を変えて測定し、基板の垂直方向と面
内方向の屈折率の差を求めた。次にこれらの屈折率の差
が再生信号に与える影響を計算した。この計算結果は実
験と良い一致が得られた。そして基板の垂直方向と面内
方向の屈折率の差が再生信号の変調度を下げ信号品質を
低下させる原因の一つになっていることを明らかにし
た。As described above, the present inventor recognizes the need to consider the refractive index of the substrate in the vertical direction, and the measurement is performed by changing the incident angle of light with respect to the PC disk substrate. The difference in refractive index was determined. Next, the effect of these refractive index differences on the reproduced signal was calculated. This calculation result is in good agreement with the experiment. Then, it was clarified that the difference in the refractive index between the vertical direction and the in-plane direction of the substrate is one of the causes that lower the modulation degree of the reproduced signal and deteriorate the signal quality.
この測定について詳説すれば次の通りである。 The details of this measurement are as follows.
基板試料は射出成形で作られた130φ1.2tポリカーボ
ネートディスクである。ディスクを位相板と考えて測定
をした。測定波長は780nmとし、測定方法はセナルモン
方式で行なった。基板に対する光の入射角度は垂直方向
から０〜40゜である。垂直入射の場合fast軸はほぼディ
スクの半径方向かまたは円周方向に向いていた。この事
はディスク成形時のポリカーボネート樹脂の流れ方を反
映しているものと思われる。リターデションはシングル
パスで10mm以下である。斜め入射の場合もfast軸はほぼ
ディスクの半径方向かまたは円周方向に向いていた。し
かしリターデションは入射角の増大とともに急激に上昇
し、40゜付近では約100nmにも達する。このような現象
は面内方向の屈折率の差のみを考えていたのでは説明が
つかず、垂直方向の屈折率も考慮に入れる必要がある。
そこでPCディスク基板の三つの主屈折率の方向がそれぞ
れ円周方向、半径方向、基板の垂直方向に向いていると
考え、次式を使って解析をした。The substrate sample is a 130φ 1.2t polycarbonate disc made by injection molding. The measurement was performed by considering the disk as a phase plate. The measurement wavelength was 780 nm and the Senarmont method was used. The incident angle of light on the substrate is 0 to 40 ° from the vertical direction. In the case of normal incidence, the fast axis was oriented almost in the radial or circumferential direction of the disc. This seems to reflect the flow of polycarbonate resin during disk molding. Retardation is 10 mm or less with a single pass. Also in the case of oblique incidence, the fast axis was oriented almost in the radial direction or the circumferential direction of the disk. However, retardation increases rapidly with increasing incident angle, reaching about 100 nm near 40 °. Such a phenomenon cannot be explained by considering only the difference in refractive index in the in-plane direction, and it is necessary to take the refractive index in the vertical direction into consideration.
Therefore, we considered that the three principal refractive indices of the PC disk substrate were respectively in the circumferential direction, the radial direction, and the vertical direction of the substrate, and analyzed using the following equation.
△：リターデション d:基板の厚さ i:入射角 n1:円周方向の屈折率 n2:半径方向の屈折率 n3:基板の垂直方向の屈折率 ここでn1にはポリカーボネートの屈折率である1.585
を使った。ｉ＝０゜のリターデションからn2を求め、次
に入射角を変えたときのリターデションからn3を求め
た。第４図に実測値と計算値を示す。両者は極めて良く
一致しており、射出成形で作られたPCディスクを上記の
モデルで取り扱って良いことがわかった。面内方向の屈
折率の差（δn12）はn1−n2、面内方向と垂直方向との
屈折率の差（δn23、δn13）はn2−n3またはn1−n3であ
る。測定の結果前者は10-6のオーダー、後者は10-4オー
ダーであった。面内方向の屈折率の差に比べ面内方向と
垂直方向との屈折率の差は２桁程大きくなっている。そ
こでここでは面内方向と垂直方向との屈折率の差はδn
13で代表することにする。 △: retardation d: thickness of substrate i: incident angle n 1 : refractive index in circumferential direction n 2 : refractive index in radial direction n 3 : refractive index in vertical direction of substrate where n 1 is refraction of polycarbonate The rate is 1.585
I used. n 2 was obtained from the retardation at i = 0 °, and then n 3 was obtained from the retardation when the incident angle was changed. Figure 4 shows the measured and calculated values. The two are in very good agreement, and it was found that injection-molded PC disks could be handled with the above model. The difference in refractive index in the in-plane direction (δn 12 ) is n 1 −n 2 , and the difference in refractive index between the in-plane direction and the vertical direction (δn 23 , δn 13 ) is n 2 −n 3 or n 1 −n 3 Is. As a result of the measurement, the former was on the order of 10 -6 and the latter was on the order of 10 -4 . The difference in refractive index between the in-plane direction and the vertical direction is about two orders of magnitude larger than the difference in refractive index in the in-plane direction. Therefore, here the difference in refractive index between the in-plane direction and the vertical direction is δn
I will represent it with 13 .
次に上記の様な複屈折が存在するPC基板を用いて光磁
気ディスクを構成した場合の再生信号について検討した
結果について説明する。Next, the results of examining reproduction signals when a magneto-optical disk is constructed using a PC substrate having the above-described birefringence will be described.
複屈折のある基板を使用したときの光磁気再生信号を
計算するには再生光学系を仮定しなくてはならない。こ
こでは実際に測定に使用した光学系の構成とパラメータ
ーを使用した。即ち第５図に示すような差動光学系を考
え、ガウス分布強度を持つ直線偏光をNA0.6のレンズで
集光し反射光をハーフミラーを通して検光子に入れた。
第５図において、１は対物レンズ、２は反射鏡、３はビ
ームスプリッタ、４はビーム成形プリズム、５はコリー
メートレンズ、６はレーザ光源、７はビームスプリッ
タ、８はレンズ、９はシリンドリカルレンズ、10はPIN
ホトダイオード、11は1/2波長板、12はレンズ、13は偏
光ビームスプリッタ、14,15はアバランシェホトダイオ
ード、16は永久磁石、17は光磁気ディスクである。A reproducing optical system must be assumed in order to calculate a magneto-optical reproducing signal when a birefringent substrate is used. Here, the configuration and parameters of the optical system actually used for the measurement were used. That is, considering a differential optical system as shown in FIG. 5, linearly polarized light having a Gaussian distribution intensity was condensed by a lens of NA 0.6, and reflected light was put into an analyzer through a half mirror.
In FIG. 5, 1 is an objective lens, 2 is a reflecting mirror, 3 is a beam splitter, 4 is a beam shaping prism, 5 is a collimate lens, 6 is a laser light source, 7 is a beam splitter, 8 is a lens, and 9 is a cylindrical lens. , 10 is PIN
A photodiode, 11 is a half-wave plate, 12 is a lens, 13 is a polarization beam splitter, 14 and 15 are avalanche photodiodes, 16 is a permanent magnet, and 17 is a magneto-optical disk.
以上の差動光学系において、入射光をＰ波とした場合
にビームスプリッタ３及び７による透過率はＰ波に対し
て0.03、Ｓ波に対して1.0とした。又、偏光ビームスプ
リッタ13の検光方位角は45゜とした。又、光磁気ディス
ク17の媒体構造はPCディスク基板上にAlN膜，希土類−
遷移金属非晶質合金薄膜,AlN膜,AlNi反射膜をこの順に
被覆した４層構造膜とし、カー回転角1.5゜、反射率0.1
2のものとした。再生信号の計算方法は光束を分割して
各点について計算をし検光子を出たところで積算し光検
出器に入る光量を求めた。偏光はジョーンズベクトル、
光学素子はジョーンズ行列で表わした。対物レンズ１と
光磁気ディスク17の間はＰ成分とＳ成分に分けて考え、
δn12やδn13によって基板透過中にＰ成分とＳ成分で位
相差が生じるとした。媒体面への光の入射は通常ビーム
ウエストで行なわれるため垂直入射として取り扱った。
再生信号の計算結果を第６図に示す。記録媒体の磁化の
向きが逆になったときの光量の差S+−S-が信号成分とな
る。差動光学系では二つの光検出器の信号成分の和が光
磁気再生信号となる。10-4オーダーのδn13があるとき
は差動前の再生信号のバックラウンドが急激に上昇し、
信号成分も若干低下する。そのため変調度が大きく低下
することが予測される。この傾向は10-6オーダーのδn
12が存在しても殆ど変わらない。又、ビームスプリッタ
3,7のＰ波,S波の透過率に位相差が無ければ二つの光検
出器の再生信号のバックグラウンドレベルはほぼ等しい
が、位相差が存在すると二つの光検出器の再生信号のバ
ックグラウンドレベルに差が出てきて差動バランスが崩
れてしまう。変調度が低下することは再生信号中のいわ
ゆるディスクノイズ成分を増加させる。差動バランスが
崩れる事はそのノイズがキャンセルされにくくなる。こ
のことは光磁気再生信号のC/N低下につながると考えら
れる。またその原因は従来から測られているδn12から
の寄与は少なくて大部分はδn13からの寄与であると考
えられる。In the above differential optical system, when the incident light is P-wave, the transmittances of the beam splitters 3 and 7 are 0.03 for P-wave and 1.0 for S-wave. Further, the azimuth angle of the polarization beam splitter 13 for detection is 45 °. The medium structure of the magneto-optical disk 17 is an AlN film, a rare earth-
A transition metal amorphous alloy thin film, an AlN film, and an AlNi reflective film are coated in this order to form a four-layer structure film with a Kerr rotation angle of 1.5 ° and a reflectance of 0.1.
I chose 2. The method of calculating the reproduction signal was to divide the luminous flux, calculate at each point, and integrate at the point where the analyzer exited to obtain the amount of light entering the photodetector. Polarization is Jones vector,
The optical elements are represented by Jones matrix. The space between the objective lens 1 and the magneto-optical disk 17 is divided into the P component and the S component,
It is assumed that δn 12 and δn 13 cause a phase difference between the P component and the S component during transmission through the substrate. Since light is normally incident on the medium surface at the beam waist, it is treated as normal incidence.
The calculation result of the reproduction signal is shown in FIG. The signal component is the difference S + −S − in the amount of light when the magnetization direction of the recording medium is reversed. In the differential optical system, the sum of the signal components of the two photodetectors becomes the magneto-optical reproduction signal. When there is δn 13 of 10 -4 order, the background of the reproduced signal before differential rises sharply,
The signal component also drops slightly. Therefore, it is expected that the degree of modulation will decrease significantly. This tendency is δn in the order of 10 -6
Even if 12 exists, it hardly changes. Also a beam splitter
If there is no phase difference between the transmittances of P wave and S wave of 3 and 7, the background level of the reproduced signal of the two photodetectors is almost the same, but if there is a phase difference, the background level of the reproduced signal of the two photodetectors is reduced. The difference in the ground level appears and the differential balance is lost. The decrease in the degree of modulation increases the so-called disc noise component in the reproduced signal. When the differential balance is lost, the noise is hard to be canceled. This is considered to lead to a decrease in C / N of the magneto-optical reproduction signal. The cause is considered to be that the contribution from δn 12 that has been conventionally measured is small and most of the contribution is from δn 13 .
次に実験に使用したポリカーボネートディスク基板の
一周のδn12とδn13の分布を第７図（ａ）、（ｂ）に示
す。δn13はディスク一周の中で比較的一定値を取って
おりその平均値は5.7×10-4である。これにたいしδn12
は値がばらついており場所によっては０になる所があ
る。次に、このポリカーボネートディスク基板を用い上
記した４層構造の光磁気ディスクを作製し光磁気の再生
信号を測定したところ、ポリカーボネートディスクの場
合ガラスディスクに比べて信号のバックグラウンドが大
きく上昇した。すなわちδn12やδn13が無い場合に比べ
て信号のバクグラウンドが約３倍になった。再生信号は
場所による変動が小さく全体的に信号のバックグラウン
ドが上昇してことから再生信号はδn12よりδn13の影響
を受けていると考えられる。計算で得られた第６図を使
うと5.7×10-4のδn13があるとδn12やδn13が無い場合
に比べて信号のバックグラウンドが約３倍になる事が予
想される。以上の事から射出成形で作られたポリカーボ
ネートディスクを光磁気ディスク基板として使うにはδ
n13を小さくすることが重要であり、基板評価方法とし
て斜め入射でのリターテーション測定が有効であること
が分かった。Next, the distributions of δn 12 and δn 13 around the circumference of the polycarbonate disk substrate used in the experiment are shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b). δn 13 has a relatively constant value in the entire circumference of the disk, and its average value is 5.7 × 10 -4 . On the other hand, δn 12
The value of fluctuates and may be 0 depending on the place. Next, when the magneto-optical disk having the above-mentioned four-layer structure was manufactured using this polycarbonate disk substrate and the magneto-optical reproduction signal was measured, the background of the signal was significantly increased in the case of the polycarbonate disk as compared with the glass disk. That is, the background of the signal is about three times as large as that in the case without δn 12 and δn 13 . It is considered that the reproduced signal is affected more by Δn 13 than by Δn 12 because the reproduced signal has little variation with location and the background of the signal rises overall. Using FIG. 6 obtained by the calculation, it is expected that the background of the signal will be about three times higher when 5.7 × 10 −4 δn 13 is present than when δn 12 and δn 13 are not present. From the above, it is necessary to use a polycarbonate disk made by injection molding as a magneto-optical disk substrate.
It is important to make n 13 small, and it was found that the retardation measurement with oblique incidence is effective as a substrate evaluation method.
本発明は以上の様な技術的解明の基になされたもので
ある。The present invention is based on the technical clarification as described above.
次に本発明に係る光磁気ディスク板の製造方法の一実
施例について評価に説明を行なう。Next, an example of a method of manufacturing a magneto-optical disk plate according to the present invention will be described for evaluation.
第１図にプラスチック材料を用いた光磁気ディスク円
板の製造工程の工程図を示す。FIG. 1 shows a process drawing of a manufacturing process of a magneto-optical disk disk using a plastic material.
同図において、基板原料として例えばポリカーボネー
トペレットを用い、まず乾燥処理を行なう。これは原料
内部に水分が残存した場合次の射出成形の際に水分の気
化によって内部に気泡が発生してしまうので、それを回
避するためのものである。次の射出成形は公知の手法で
構わない。これにより平らなポリカーボネート（PC）円
板を作成する。次にこの円板に対し、本発明において特
に重要な複屈折測定を行なう。これについては後に詳述
する。次に、この複屈折測定結果に基づいてPC円板の選
別を行う。次に選別されたPC円板に対して洗剤，水，ア
ルコールの順で超音波洗浄、更にフレオンガスによる蒸
気洗浄を行なう。洗浄後、PC円板にスパッタリング手法
によってAlN膜を80nm、GdTbFe膜を20nm、AlN膜を25nm、
AlNi膜を50nmの膜厚でこの順に製膜を行なう。この様な
基板を２枚用意し、媒体膜を内側にして接着剤にて貼り
合わせを行なう。こうして両面仕様の光磁気ディスクを
作成し、次に最終検査として実際にレーザ光を照射して
光磁気ディスクの書き込み・読み取りテストを行なう。In the figure, for example, polycarbonate pellets are used as a substrate material, and a drying process is first performed. This is for avoiding the generation of bubbles inside the raw material due to vaporization of the moisture during the next injection molding when the moisture remains inside. The next injection molding may be a known method. This creates a flat polycarbonate (PC) disc. Next, a birefringence measurement, which is particularly important in the present invention, is performed on this disk. This will be described in detail later. Next, the PC disks are selected based on the result of the birefringence measurement. Next, the selected PC disks are ultrasonically cleaned in the order of detergent, water and alcohol, and then steam cleaning with Freon gas. After cleaning, AlN film 80nm, GdTbFe film 20nm, AlN film 25nm by sputtering method on the PC disk,
An AlNi film having a film thickness of 50 nm is formed in this order. Two such substrates are prepared and bonded with an adhesive with the medium film inside. In this way, a magneto-optical disk with double-sided specifications is created, and then, as a final inspection, laser light is actually irradiated to perform a writing / reading test of the magneto-optical disk.
次に上記複屈折測定について詳しく説明する。 Next, the birefringence measurement will be described in detail.
第２図に複屈折測定の測定装置の構成図を示す。同図
で21は光源（タングステンランプ）、22は単色光にする
為のモノクロメータ、23は偏光子、24は上述した平らな
PC円板、25は1/4波長板、26は検光子、27は光検出器で
ある。FIG. 2 shows a block diagram of a measuring device for birefringence measurement. In the figure, 21 is a light source (tungsten lamp), 22 is a monochromator for producing monochromatic light, 23 is a polarizer, and 24 is the flat plate described above.
A PC disk, 25 is a quarter-wave plate, 26 is an analyzer, and 27 is a photodetector.
この測定装置による測定手順は次の通りである。 The measuring procedure by this measuring device is as follows.
（１） まず1/4波長板25を経路から一旦除いた状態で
偏光子23及び検光子26を光軸に対して回転調整し、光検
出器27において光が検出されない消光位置を見い出す。
これにより偏光子23の方位がPC円板24のFast軸に合致す
る。(1) First, the polarizer 23 and the analyzer 26 are rotationally adjusted with respect to the optical axis with the quarter-wave plate 25 once removed from the path, and the extinction position where light is not detected by the photodetector 27 is found.
As a result, the orientation of the polarizer 23 matches the Fast axis of the PC disk 24.
（２） 次に偏光子23を光軸に対して45゜回転する。こ
れによりPC円板24を透過した光は楕円偏光となりその楕
円率は最大になる。(2) Next, the polarizer 23 is rotated by 45 ° with respect to the optical axis. As a result, the light transmitted through the PC disk 24 becomes elliptically polarized light and its ellipticity becomes maximum.
（３） この状態で1/4波長板25を光路中に挿入し、該1
/4波長板25のFast軸を偏光子23の方位に合致させる。こ
の1/4波長板25を通過した光は直線偏光となり、且つ偏
光子23の方位に対して楕円率θだけ偏いた直線偏光とな
る。(3) In this state, insert the 1/4 wavelength plate 25 into the optical path and
The Fast axis of the / 4 wave plate 25 is aligned with the orientation of the polarizer 23. The light that has passed through the quarter-wave plate 25 becomes linearly polarized light, and becomes linearly polarized light deviated by the ellipticity θ with respect to the azimuth of the polarizer 23.
（４） 検光子26を光軸に対して回転せしめ消光位置を
求める。この時の検光子26の方向は偏光子23に対して90
゜＋θである。(4) Rotate the analyzer 26 with respect to the optical axis to obtain the extinction position. At this time, the direction of the analyzer 26 is 90 with respect to the polarizer 23.
＋＋ θ.
（５） 従って偏光子23と検光子26の方位の差を求める
ことによって により位相差が求まる（λは入射光の波長である。）。
ここで、PC円板24に対する入射光の角度が０゜と30゜の
時の位相差をa,bとすると面内方向の屈折率差δn12＝a/
d（d:PC円板の厚み）である。(5) Therefore, by finding the difference in orientation between the polarizer 23 and the analyzer 26, The phase difference is obtained by (λ is the wavelength of the incident light).
Here, letting a and b be the phase differences when the angle of incident light with respect to the PC disk 24 is 0 ° and 30 °, the refractive index difference in the in-plane direction δn 12 = a /
d (d: thickness of PC disc).
又、n2＝n1＋δn12 n3＝n1＋δn13 から面内方向と垂直方向の屈折率差δn13は求まる。こ
の式でn1はポリカーボネートの屈折率1.585であり、前
述した（１）式に基いて求めた。面内方向の屈折率差δ
n12は無視し得る程度であるので問題にせず、面内方向
と垂直方向の屈折率差δn13が５×10-4以下であった
時、複屈折測定をパスするものとした。In addition, n 2 = n 1 + δn 12 n 3 = n 1 + δn 13 The refractive index difference Δn 13 between the in-plane direction and the vertical direction can be obtained from. In this formula, n 1 is the refractive index of the polycarbonate of 1.585, and was calculated based on the above-mentioned formula (1). In-plane refractive index difference δ
Since n 12 is negligible, it is not a problem and the birefringence measurement is considered to be passed when the refractive index difference δn 13 between the in-plane direction and the vertical direction is 5 × 10 −4 or less.
この５×10-4の数字の根拠は次の通りである。前述し
た様に基板に複屈折が存在した場合、光磁気再生信号の
C/Nは低下する。第３図に複屈折とC/Nの関係のグラフ図
を示すC/N測定条件は半径位置40mm、回転数900rpm、信
号周波数1MHz、バンド幅30KHz、入射レーザ波長780nmと
した。）が、一般にディジタルメモリとして要求される
C/Nは45dB以上である。この観点より安定的にC/Nを45dB
以上確保できるδn13＝５×10-4をボーダーラインとし
て設定した。The basis of this 5 × 10 -4 number is as follows. As described above, when the substrate has birefringence, the magneto-optical reproduction signal
C / N decreases. FIG. 3 shows a graph showing the relationship between birefringence and C / N. The C / N measurement conditions were a radial position of 40 mm, a rotation speed of 900 rpm, a signal frequency of 1 MHz, a bandwidth of 30 KHz, and an incident laser wavelength of 780 nm. ) Is generally required as digital memory
C / N is over 45 dB. From this viewpoint, stable C / N of 45 dB
Δn 13 = 5 × 10 -4, which can be secured as above, is set as a border line.
ここで上述の第２図に示す複屈折測定装置は、プラス
チック基板に直線偏光を入射し、その透過光の偏光状態
の変化を観測し、その位相差から複屈折の状態を求める
ようにしたものであって、光以外の物理的外因を与える
ことなく精密測定を行なうことができる。Here, the birefringence measuring device shown in FIG. 2 described above is one in which linearly polarized light is incident on a plastic substrate, the change in the polarization state of the transmitted light is observed, and the birefringence state is obtained from the phase difference. Therefore, it is possible to perform precise measurement without giving a physical external factor other than light.
以上の実施例において適用するプラスチック基板とし
ては、他にアクリル樹脂基板、エポキシ樹脂基板等種々
のものが可能である。Various other plastic substrates such as acrylic resin substrates and epoxy resin substrates can be used in the above embodiments.
＜効 果＞ 以上の本発明によれば透明プラスチック円板から特性
上真に有効なものだけ的確にピックアップすることがで
きるもので、光磁気ディスクの製造上のメリットは多大
なものがある。<Effect> According to the present invention described above, only a truly effective one can be accurately picked up from the transparent plastic disc, and the merit in manufacturing the magneto-optical disk is great.
第１図は光磁気ディスク円板の製造工程の工程図、第２
図は複屈折測定装置の構成図、第３図は複屈折とC/Nの
関係を示すグラフ図、第４図は入射角とリターデーショ
ンの関係を示すグラフ図、第５図は差動光学系の説明
図、第６図は複屈折と信号光強度の関係を示すグラフ
図、第７図は複屈折の分布の測定グラフ図を示す。 図中、21:光源、22:モノクロメータ 23:偏光子、24:PC円板 25:1/4波長板、26:検光子 27:光検出器FIG. 1 is a process drawing of the manufacturing process of a magneto-optical disk disc, and FIG.
Fig. 4 is a block diagram of a birefringence measuring device, Fig. 3 is a graph showing the relationship between birefringence and C / N, Fig. 4 is a graph showing the relationship between incident angle and retardation, and Fig. 5 is differential optics. FIG. 6 is an explanatory view of the system, FIG. 6 is a graph showing the relationship between birefringence and signal light intensity, and FIG. 7 is a measurement graph showing the distribution of birefringence. In the figure, 21: light source, 22: monochromator 23: polarizer, 24: PC disc 25: 1/4 wave plate, 26: analyzer 27: photodetector
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伴 和夫 大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャー プ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャー プ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−204451（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Kazuo Ban, 22-22 Nagaike-cho, Nagano-cho, Abeno-ku, Osaka City Sharp Corporation (72) Kenji Ota 22-22, Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka City, Sharp Corporation (72) 56) References JP-A-62-204451 (JP, A)
Claims (1)
る成形工程と、 光源と、モノクロメータと、偏光子と、1/4波長板と、
検光子と、光検出器とからなる測定装置を用いて、前記
成形されたプラスチック板の板面に対して垂直に入射す
る光の偏光状態と板面に対して斜めに入射する光の偏光
状態とから面内方向の屈折率と垂直方向の屈折率との屈
折率差を求める複屈折測定工程と、 該複屈折測定工程で求めた前記屈折率差の値が所定値以
下の透明プラスチック板を選別する選別工程と を備えたことを特徴とする光磁気ディスク板の製造方
法。1. A molding step of forming a transparent plastic plate by molding, a light source, a monochromator, a polarizer, and a 1/4 wavelength plate,
Using a measuring device consisting of an analyzer and a photodetector, the polarization state of light incident perpendicularly to the plate surface of the molded plastic plate and the polarization state of light obliquely incident to the plate surface. And a birefringence measuring step for obtaining the difference between the in-plane refractive index and the vertical refractive index, and a transparent plastic plate in which the value of the refractive index difference obtained in the birefringence measuring step is a predetermined value or less. A method of manufacturing a magneto-optical disk plate, comprising a screening step of screening.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61181789A JP2519213B2 (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Method for manufacturing magneto-optical disc plate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61181789A JP2519213B2 (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Method for manufacturing magneto-optical disc plate |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6339163A JPS6339163A (en) | 1988-02-19 |
| JP2519213B2 true JP2519213B2 (en) | 1996-07-31 |
Family
ID=16106899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61181789A Expired - Lifetime JP2519213B2 (en) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | Method for manufacturing magneto-optical disc plate |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519213B2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1043203A (en) * | 1988-12-02 | 1990-06-20 | 三井石油化学工业株式会社 | Optical output controlling method and device thereof |
| DE69323551T2 (en) * | 1992-07-30 | 1999-06-17 | Kanebo, Ltd., Tokio/Tokyo | POLYESTER |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62204451A (en) * | 1986-03-03 | 1987-09-09 | Daicel Chem Ind Ltd | Plastic substrate for optical disk and its production |
-
1986
- 1986-07-31 JP JP61181789A patent/JP2519213B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6339163A (en) | 1988-02-19 |
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|---|---|---|---|
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