JP2516666Y2 - Capacitance displacement measuring device - Google Patents
Capacitance displacement measuring deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本考案は、グリッドからの送信信
号をこれと対向するメインスケールで受信して、受信信
号の位相情報からグリッドとスケールとの相対的な位置
を検出する静電容量式変位測定装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is a capacitive type in which a transmission signal from a grid is received by a main scale which faces the transmission signal and the relative position between the grid and the scale is detected from phase information of the reception signal. Displacement measuring device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】静電容量式センサを使用した変位測定装
置は、小型で且つ低消費電力という特徴を有しているた
め、ディジタル式のマイクロメータ、ノギス、ハイトゲ
ージ及びダイヤルゲージのような小型の変位測定装置に
使用されている。一般的な静電容量式センサでは、スケ
ールとこのスケールに対向配置されてスケール上を移動
するグリッドとに、それぞれ所定ピッチで送信電極と検
出電極とを形成する。送信電極は検出電極の数倍のピッ
チで形成される。送信電極には、パルス信号が所定角度
ずつ位相をずらして供給される。そして、これらの送信
電極と検出電極との間の容量が両者の相対位置によって
変化することを利用して、受信信号の位相情報を検出電
極側で取り出すことにより、スケールとグリッドとの相
対変位を求めるようにしている。2. Description of the Related Art A displacement measuring device using a capacitance type sensor is small in size and has low power consumption. Therefore, it is small in size such as a digital type micrometer, calipers, height gauge and dial gauge. Used in displacement measurement devices. In a general electrostatic capacitance type sensor, a transmission electrode and a detection electrode are formed at a predetermined pitch on a scale and a grid that is arranged to face the scale and moves on the scale. The transmission electrodes are formed with a pitch several times that of the detection electrodes. The pulse signals are supplied to the transmission electrodes with a predetermined angle shift in phase. Then, by utilizing the fact that the capacitance between the transmission electrode and the detection electrode changes depending on the relative positions of the two, the phase information of the received signal is extracted at the detection electrode side, and the relative displacement between the scale and the grid can be calculated. I try to ask.
【０００３】また、別の形態の静電容量式センサでは、
グリッド上に送信電極とは絶縁された状態で検出電極を
設け、スケール上の受信電極で受信された信号を、これ
と容量結合された検出電極から取り出すことにより、送
信電極及び検出電極の他、送信信号生成のための回路、
受信信号から変位情報を得るための回路等を全てグリッ
ド側に設けるようにしたものも知られている。この場
合、スケールに対しては、電気的配線を全く施す必要が
ないため、スケールとグリッドとの相対移動が楽になる
という利点がある。In another form of capacitance type sensor,
The detection electrode is provided on the grid in a state where it is insulated from the transmission electrode, and the signal received by the reception electrode on the scale is extracted from the detection electrode capacitively coupled to the detection electrode, so that the transmission electrode, the detection electrode, and A circuit for transmitting signal generation,
It is also known that all circuits for obtaining displacement information from a received signal are provided on the grid side. In this case, since it is not necessary to provide electrical wiring to the scale at all, there is an advantage that relative movement between the scale and the grid becomes easy.
【０００４】[0004]
【考案が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の静電容量式変位測定装置のうち、前者は、スケ
ールとグリッドのいずれにも電気的配線が必要になるの
で、グリッドとスケールとを相対移動させるのが難しい
という欠点がある。また、後者は、例えばダイヤルゲー
ジ形のディジタルゲージのように、グリッドとスケール
とが共に直径５，６cmの円板状のケースの中に収容され
るような場合、電気的配線のないスケール側を移動させ
なくてはならないため、測長範囲が短くなるという欠点
がある。However, of the above-mentioned conventional capacitance type displacement measuring devices, the former requires electrical wiring for both the scale and the grid, and therefore the grid and the scale are relatively opposed to each other. It has the drawback of being difficult to move. In the latter case, when the grid and scale are both housed in a disk-shaped case with a diameter of 5 or 6 cm, such as a dial gauge type digital gauge, the scale side without electrical wiring is used. Since it has to be moved, there is a drawback that the measuring range becomes short.
【０００５】本考案はこのような問題点を解決するため
になされたもので、グリッドとスケールとを支障なく相
対移動させることができ、測長範囲も長くとれる静電容
量式変位測定装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve such a problem, and provides a capacitance type displacement measuring device capable of relatively moving a grid and a scale without any trouble and having a long measuring range. The purpose is to do.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本考案に係る変位測定装
置は、ベース部材と、このベース部材に固定され検出電
極が形成されたスケールと、このスケールに対向して設
けられ可動部に取り付けられて前記スケールに対して相
対的に移動すると共に、前記スケールに所定の信号を送
信するための送信電極が形成されたグリッドと、このグ
リッドに送信信号を供給すると共に、前記グリッドの送
信電極から送信され前記スケールの検出電極で受信され
た信号の位相情報から前記グリッドと前記スケールとの
相対的な位置を検出する信号処理回路と、この信号処理
回路で検出した位置を変位情報として表示する表示手段
と、前記スケール、グリッド、信号処理回路及び表示手
段を電気的に接続する単一のフレキシブル基板とを具備
した静電容量式変位測定装置であって、前記フレキシブ
ル基板の主要部は、前記ベース部材の一方の側に配置さ
れ、前記スケールは、前記フレキシブル基板との接続部
が前記ベース部材の他方の側に折り返されることにより
前記ベース部材の他方の側に固定され、前記グリッド
は、前記スケールの長手方向に延びる中心線上から僅か
にずれ且つ前記中心線と平行に延びるフレキシブル基板
のたわみ部のほぼ先端に接続され、前記たわみ部が緩や
かに折り返されることにより前記スケールに対して移動
可能に配置されるものであることを特徴とする。DISCLOSURE OF THE INVENTION A displacement measuring device according to the present invention comprises a base member, a scale fixed to the base member and having a detection electrode formed thereon, and mounted on a movable portion so as to face the scale. And a grid on which a transmission electrode for transmitting a predetermined signal to the scale is formed, and a transmission signal is supplied to the grid and transmitted from the transmission electrode of the grid. A signal processing circuit for detecting the relative position of the grid and the scale from the phase information of the signal received by the detection electrode of the scale, and display means for displaying the position detected by the signal processing circuit as displacement information. And a single flexible substrate that electrically connects the scale, grid, signal processing circuit, and display means. In the measuring device, the main part of the flexible substrate is arranged on one side of the base member, and the scale is formed by folding back the connection part with the flexible substrate to the other side of the base member. The grid is fixed to the other side of the base member, and the grid is connected to substantially the tip of the flexible portion of the flexible substrate that is slightly displaced from the centerline extending in the longitudinal direction of the scale and extends parallel to the centerline. Is gently foldd back so that it can be moved with respect to the scale.
【０００７】[0007]
【作用】本考案によれば、スケールとフレキシブル基板
との接続部を折り返すことにより、スケールをベース部
材のフレキシブル基板が配置される側とは反対側に固定
することができるので、スケールの長さをベース部材の
大きさ一杯まで確保することができる。また、グリッド
に接続されるフレキシブル基板のたわみ部は、スケール
と平行に且つスケールに隣接する位置に緩やかに折り返
された状態で配置され、この先端にグリッドが接続され
るので、グリッドの移動に伴い、たわみ部がスケールと
平行な方向に移動して、グリッドをスケールに対して無
理なく移動させることが可能になる。そして、グリッド
の移動によって影響を受けるのは、たわみ部のみであ
り、フレキシブル基板の他の部分は、ベース部材に固定
することができる。したがって、本考案によれば、スケ
ールよりも小さなグリッド側を移動させることができる
ので、スケールとグリッドとがケースに収納された場合
でも、測長範囲を十分に長くとることができる。According to the present invention, by folding back the connecting portion between the scale and the flexible substrate, the scale can be fixed to the side of the base member opposite to the side where the flexible substrate is arranged. Can be secured up to the full size of the base member. Further, the flexible portion of the flexible substrate connected to the grid is arranged in a state of being gently folded back in a position parallel to the scale and adjacent to the scale, and the grid is connected to the tip of the flexible substrate. , The flexure moves in the direction parallel to the scale, and the grid can be moved with respect to the scale without difficulty. Then, only the flexible portion is affected by the movement of the grid, and the other portion of the flexible substrate can be fixed to the base member. Therefore, according to the present invention, since the grid side smaller than the scale can be moved, even when the scale and the grid are housed in the case, the length measuring range can be made sufficiently long.
【０００８】[0008]
【実施例】以下、添付の図面を参照してこの考案をダイ
ヤルゲージ形のディジタルゲージに適用した実施例につ
いて説明する。図１はこの実施例の外観を示す平面図で
ある。このディジタルゲージは、平円筒状のケース１を
貫通するように進退自在に設けられたスピンドル２の変
位量を測定するもので、測定された変位量がケース１の
表に設けられた液晶ディスプレイ３に表示されるように
なっている。ケース１には、液晶ディスプレイ３の他
に、電源スイッチ、測定モード切換えスイッチ、公差設
定スイッチ、ゼロセットスイッチ等のスイッチ４が設け
られている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to a dial gauge type digital gauge will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view showing the appearance of this embodiment. This digital gauge measures the amount of displacement of a spindle 2 that is capable of moving forward and backward so as to pass through a flat cylindrical case 1, and the measured amount of displacement is a liquid crystal display 3 provided on the table of the case 1. Is displayed. In addition to the liquid crystal display 3, the case 1 is provided with a switch 4 such as a power switch, a measurement mode changeover switch, a tolerance setting switch, and a zero set switch.
【０００９】図２は、このディジタルゲージの内部の要
部構成を示す斜視図である。円板状のベース部材１１の
中央部には、長方形のスケール１２が固着されている。
スケール１２は、ベース部材１１の直径一杯の長さを有
している。このスケール１２には、グリッド１３が対向
配置されている。グリッド１３は、グリッドホルダ１４
の下面に固定されている。グリッドホルダ１４は、スケ
ール１２と平行に配置されたスピンドル２に固定され、
スピンドル２の軸方向への進退動作に伴って、スケール
１２上をその長手方向に移動するようになっている。FIG. 2 is a perspective view showing the internal structure of the digital gauge. A rectangular scale 12 is fixed to the central portion of the disc-shaped base member 11.
The scale 12 has a length that is the full diameter of the base member 11. A grid 13 is arranged to face the scale 12. The grid 13 is a grid holder 14
It is fixed to the underside of. The grid holder 14 is fixed to the spindle 2 arranged parallel to the scale 12,
As the spindle 2 moves back and forth in the axial direction, it moves on the scale 12 in its longitudinal direction.
【００１０】図３は、スケール１２とグリッド１３の電
極構造を説明するための模式図である。スケール１２
は、長方形のガラス基板２１の上面に所定ピッチで配列
された櫛歯状の検出電極２２と、この検出電極２２に対
して空間位相が１８０°異なる櫛歯状の接地電極２３と
を形成してなるものである。また、グリッド１３は、ス
ケール１２よりも十分に長さが短いガラス基板２５の下
面に、例えば検出電極２２の１／３のピッチで送信電極
２６を形成したものである。送信電極２６は、例えば２
つおきに共通接続されて３つの電極群を構成している。
これらの電極群には、例えば１２０°ずつ位相が異なる
３相の送信信号が供給されている。したがって、スケー
ル１２の検出電極２２で検出される信号の位相は、グリ
ッド１３とスケール１２の相対位置によって変化する。
この位相情報は、グリッド１３の連続的な移動に伴って
所定の周期で変化するので、この変化をカウントすると
共に、現在の受信信号の位相を検出することにより、ス
ケール１２に対するグリッド１３、即ちスピンドル２の
変位量を検出することができる。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining the electrode structure of the scale 12 and the grid 13. Scale 12
Are formed by forming comb-teeth-shaped detection electrodes 22 arranged at a predetermined pitch on the upper surface of a rectangular glass substrate 21 and comb-teeth-shaped ground electrodes 23 having a spatial phase difference of 180 ° with respect to the detection electrodes 22. It will be. The grid 13 is formed by forming the transmission electrodes 26 on the lower surface of the glass substrate 25 having a length sufficiently shorter than that of the scale 12, for example, at a pitch of 1/3 of the detection electrodes 22. The transmission electrode 26 is, for example, 2
Every other electrode is commonly connected to form three electrode groups.
To these electrode groups, for example, three-phase transmission signals whose phases are different by 120 ° are supplied. Therefore, the phase of the signal detected by the detection electrode 22 of the scale 12 changes depending on the relative position between the grid 13 and the scale 12.
This phase information changes at a predetermined cycle with the continuous movement of the grid 13. Therefore, by counting this change and detecting the phase of the current received signal, the grid 13 relative to the scale 12, that is, the spindle. A displacement amount of 2 can be detected.
【００１１】図４は、このディジタルゲージの電気的な
概略構成を示すブロック図である。送信信号発生回路３
１からは、前述した３相の送信信号が生成されてグリッ
ド１３に供給される。スケール１２からの検出信号は、
高周波により変調された信号である場合には、受信復調
回路３２で正弦波に復調され、位相検出回路３３で位相
検出される。位相変化はカウンタ３４で計数され、その
計数値に基づいて演算回路３５でスピンドル２の変位量
が算出され、その変位量が液晶ディスプレイ３に表示さ
れる。FIG. 4 is a block diagram showing an electrical schematic configuration of this digital gauge. Transmission signal generation circuit 3
The above-described three-phase transmission signals are generated from 1 and supplied to the grid 13. The detection signal from the scale 12 is
When the signal is a high-frequency modulated signal, it is demodulated into a sine wave by the reception demodulation circuit 32 and the phase is detected by the phase detection circuit 33. The phase change is counted by the counter 34, the displacement amount of the spindle 2 is calculated by the arithmetic circuit 35 based on the counted value, and the displacement amount is displayed on the liquid crystal display 3.
【００１２】図５は、上記の各回路が搭載された電気部
品の構成を示す図である。図中４１はフレキシブル基板
で、このフレキシブル基板４１には、上述した回路を例
えば１チップに内蔵したＩＣ４２や他の部品４３が搭載
されている。回路搭載部４４の一方の側にはスケール１
２が第１の折返部４５を介して接続されている。回路搭
載部４４の他方の側には、スケール１２の長手方向に延
びる中心線上から僅かにずれ、且つ上記中心線と平行に
延びるたわみ部４６と、このたわみ部４６の先端から上
記中心線とは反対側に９０°折れて延びる第２の折返部
４７とが形成され、この折返部４７の先端にグリッド１
３が接続されている。FIG. 5 is a diagram showing a configuration of an electric component on which the above circuits are mounted. In the figure, reference numeral 41 denotes a flexible substrate, and on the flexible substrate 41, an IC 42 having the above-described circuit built in, for example, one chip and other components 43 are mounted. The scale 1 is provided on one side of the circuit mounting portion 44.
2 are connected via the first folding section 45. On the other side of the circuit mounting portion 44, a flexure portion 46 slightly displaced from the center line extending in the longitudinal direction of the scale 12 and extending parallel to the center line, and a tip end of the flexure portion 46 and the center line are provided. A second folded portion 47 is formed on the opposite side by bending 90 ° and extends, and the grid 1 is formed at the tip of the folded portion 47.
3 is connected.
【００１３】回路搭載部４４から、グリッド１３側に延
びる第３の折返部４８を介してベース部材１１よりも僅
かに小径の円弧状部４９が形成され、この円弧状部４９
の先端に、液晶ディスプレイ３及びスイッチ４等への接
続用の電極部５０が形成されている。また、円弧状部４
９の基端から、グリッド１３方向に延びる第４の折返部
５１の先端には、外部機器との接続用のコネクタを接続
するコネクト部５２が形成されている。An arcuate portion 49 having a diameter slightly smaller than that of the base member 11 is formed from the circuit mounting portion 44 via a third folded portion 48 extending toward the grid 13 side.
An electrode portion 50 for connection to the liquid crystal display 3, the switch 4 and the like is formed at the tip of the. In addition, the arcuate portion 4
A connecting portion 52 for connecting a connector for connecting to an external device is formed at the tip of the fourth folded portion 51 extending from the base end of the connector 9 in the grid 13 direction.
【００１４】次に、この電気部品の組立工程について説
明する。図６に示すように、先ず回路搭載部４４の上に
ベース部材１１を配置し、第１の折返部４５を１８０°
折り返してスケール１２をベース部材１１の上面に接着
剤等で固定する。フレキシブル基板４１のたわみ部４６
を、ベース部材１１のスリット１５に差し込んでベース
部材１１の上面側に取り出す。グリッド１３にグリッド
ホルダ１４を接着剤等で固定する。Next, the process of assembling this electric component will be described. As shown in FIG. 6, first, the base member 11 is arranged on the circuit mounting portion 44, and the first folding portion 45 is set to 180 °.
The scale 12 is folded back and fixed to the upper surface of the base member 11 with an adhesive or the like. Deflection part 46 of flexible substrate 41
Is inserted into the slit 15 of the base member 11 and taken out to the upper surface side of the base member 11. The grid holder 14 is fixed to the grid 13 with an adhesive or the like.
【００１５】次に、図７に示すように、第２の折返部４
７をほぼ１８０°折り返して、グリッド１３をグリッド
ホルダ１４ごとたわみ部４６の上に裏返す。また、第３
の折返部４８をほぼ１８０°折り返して、円弧状部４
９、電極部５０、コネクト部５２をベース部材１１の下
側に収める。更に、図８に示すように、たわみ部４６を
ほぼ１８０°緩やかに折り返すことにより、グリッド１
３をスケール１２と対向する位置に配置させることがで
きる。以上のような組立工程の後、グリッドホルダ１４
とスピンドル２とを結合すると、図２に示したような構
造体が形成される。Next, as shown in FIG. 7, the second folding portion 4
7 is folded back by approximately 180 °, and the grid 13 is turned upside down on the flexible portion 46 together with the grid holder 14. Also, the third
The turn-back portion 48 of the arc-shaped portion 4
9, the electrode part 50 and the connecting part 52 are housed under the base member 11. Further, as shown in FIG. 8, the bending portion 46 is gently folded back by approximately 180 °, so that the grid 1
3 can be arranged at a position facing the scale 12. After the above assembly process, the grid holder 14
When the spindle 2 and the spindle 2 are joined together, a structure as shown in FIG. 2 is formed.
【００１６】この構成によれば、組立がきわめて簡単で
あるうえ、スケール１２をベース部材１１の直径一杯の
長さにすることができ、しかもグリッド１３側を移動さ
せるので、測長範囲を長くとることができる。また、グ
リッド１３がたわみ部４６の先端に結合されているの
で、グリッド１３の移動に支障をきたすことがない。According to this structure, the assembly is extremely simple, the scale 12 can be made to have the full length of the diameter of the base member 11, and the grid 13 side is moved. Therefore, the length measuring range is long. be able to. Further, since the grid 13 is connected to the tip of the flexible portion 46, the movement of the grid 13 is not hindered.
【００１７】[0017]
【考案の効果】以上述べたように、本考案によれば、ス
ケールが固定側となるため、スケールをベース部材一杯
まで確保することができ、グリッド側を小型にすること
で、測定可能な変位量を長くすることができる。また、
グリッドに接続されるフレキシブル基板のたわみ部は、
スケールと平行に且つスケールに隣接する位置に緩やか
に折り返された状態で配置されるので、グリッドをスケ
ールに対して無理なく移動させることができるという効
果を奏する。As described above, according to the present invention, since the scale is on the fixed side, the scale can be secured to the full base member, and by making the grid side compact, measurable displacement can be achieved. The quantity can be lengthened. Also,
The flexible part of the flexible board connected to the grid is
Since it is arranged in parallel with the scale and at a position adjacent to the scale in a gently folded state, it is possible to move the grid with respect to the scale without difficulty.
【図１】 本考案をディジタル式のダイヤルゲージに適
用した実施例の外観を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing the appearance of an embodiment in which the present invention is applied to a digital dial gauge.
【図２】 同ゲージの内部の要部構成を示す斜視図であ
る。FIG. 2 is a perspective view showing an internal configuration of the gauge.
【図３】 同ゲージのスケール及びグリッドの電極構造
を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing an electrode structure of the scale and grid of the gauge.
【図４】 同ゲージの電気的な概略構成を示すブロック
図である。FIG. 4 is a block diagram showing an electrical schematic configuration of the gauge.
【図５】 同ゲージにおけるフレキシブル基板とそれに
搭載された部品からなる電気部品を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an electric component including a flexible substrate and components mounted on the flexible substrate in the gauge.
【図６】 同電気部品の組立工程を説明するための図で
ある。FIG. 6 is a diagram for explaining an assembly process of the electric component.
【図７】 同電気部品の組立工程を説明するための図で
ある。FIG. 7 is a diagram for explaining an assembly process of the electric component.
【図８】 同電気部品の組立工程を説明するための図で
ある。FIG. 8 is a diagram for explaining a process of assembling the electric component.
１…ケース、２…スピンドル、３…液晶ディスプレイ、
４…スイッチ、１１…ベース部材、１２…スケール、１
３…グリッド、１４…グリッドホルダ、１５…スリッ
ト、２１，２５…ガラス基板、２２…検出電極、２３…
接地電極、２６…送信電極、３１…送信信号発生回路、
３２…受信復調回路、３３…位相検出回路、３４…カウ
ンタ、３５…演算回路、４１…フレキシブル基板、４２
…ＩＣ、４３…部品、４４…回路搭載部、４５…第１の
折返部、４６…たわみ部、４７…第２の折返部、４８…
第３の折返部、４９…円弧状部、５０…電極部、５１…
第４の折返部、５２…コネクト部５２。1 ... Case, 2 ... Spindle, 3 ... Liquid crystal display,
4 ... switch, 11 ... base member, 12 ... scale, 1
3 ... Grid, 14 ... Grid holder, 15 ... Slit, 21, 25 ... Glass substrate, 22 ... Detection electrode, 23 ...
Ground electrode, 26 ... transmission electrode, 31 ... transmission signal generation circuit,
32 ... Reception demodulation circuit, 33 ... Phase detection circuit, 34 ... Counter, 35 ... Arithmetic circuit, 41 ... Flexible substrate, 42
... IC, 43 ... Parts, 44 ... Circuit mounting section, 45 ... First folding section, 46 ... Bending section, 47 ... Second folding section, 48 ...
Third folded portion, 49 ... Arc-shaped portion, 50 ... Electrode portion, 51 ...
Fourth turn-back section, 52 ... Connect section 52.
Claims (1)
ルと、 このスケールに対向して設けられ可動部に取り付けられ
て前記スケールに対して相対的に移動すると共に、前記
スケールに所定の信号を送信するための送信電極が形成
されたグリッドと、 このグリッドに送信信号を供給すると共に、前記グリッ
ドの送信電極から送信され前記スケールの検出電極で受
信された信号の位相情報から前記グリッドと前記スケー
ルとの相対的な位置を検出する信号処理回路と、 この信号処理回路で検出した位置を変位情報として表示
する表示手段と、 前記スケール、グリッド、信号処理回路及び表示手段を
電気的に接続する単一のフレキシブル基板とを具備した
静電容量式変位測定装置であって、 前記フレキシブル基板の主要部は、前記ベース部材の一
方の側に配置され、 前記スケールは、前記フレキシブル基板との接続部が前
記ベース部材の他方の側に折り返されることにより前記
ベース部材の他方の側に固定され、 前記グリッドは、前記スケールの長手方向に延びる中心
線上から僅かにずれ且つ前記中心線と平行に延びるフレ
キシブル基板のたわみ部のほぼ先端に接続され、前記た
わみ部が緩やかに折り返されることにより前記スケール
に対して移動可能に配置されるものであることを特徴と
する静電容量式変位測定装置。1. A base member, a scale fixed to the base member and having a detection electrode formed thereon, mounted on a movable portion facing the scale and moving relative to the scale, A grid on which a transmission electrode for transmitting a predetermined signal to the scale is formed, and a phase of a signal transmitted from the transmission electrode of the grid and received by the detection electrode of the scale while supplying a transmission signal to the grid. A signal processing circuit that detects a relative position between the grid and the scale from information, a display unit that displays the position detected by the signal processing circuit as displacement information, and the scale, the grid, the signal processing circuit, and the display unit. A capacitance type displacement measuring device comprising a single flexible substrate electrically connecting Main part of the base member is arranged on one side of the base member, and the scale is fixed to the other side of the base member by folding back the connection part with the flexible substrate to the other side of the base member. The grid is connected to almost the tip of a flexible portion of the flexible substrate that is slightly deviated from the center line extending in the longitudinal direction of the scale and extends parallel to the center line, and the flexible portion is gently folded back to form the scale. An electrostatic capacitance type displacement measuring device characterized in that it is arranged so as to be movable with respect to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7989092U JP2516666Y2 (en) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | Capacitance displacement measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7989092U JP2516666Y2 (en) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | Capacitance displacement measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0637702U JPH0637702U (en) | 1994-05-20 |
| JP2516666Y2 true JP2516666Y2 (en) | 1996-11-06 |
Family
ID=13702865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7989092U Expired - Lifetime JP2516666Y2 (en) | 1992-10-23 | 1992-10-23 | Capacitance displacement measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516666Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-10-23 JP JP7989092U patent/JP2516666Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0637702U (en) | 1994-05-20 |
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