JP2508668Y2 - 2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室の構造 - Google Patents
2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室の構造Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、2段水封式真空ポン
プに関するもので、さらに詳細には、第1段ポンプ室と
第2段ポンプ室の空気流量比に適合したポンプ室の構造
に関するものである。
プに関するもので、さらに詳細には、第1段ポンプ室と
第2段ポンプ室の空気流量比に適合したポンプ室の構造
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】周知のように、ポンプ室内の液体(たと
えば、水)をインペラによって回転させることにより、
その液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気
体(たとえば、空気)を吸入、排出し、気体を圧送また
は排除する水封式の真空ポンプは公知であり、この真空
ポンプを複数個内部で結合し、第1段ポンプの排気口と
第2段ポンプの吸気口を連通し、1段の真空ポンプより
も高い真空度が得られるようにした2段水封式真空ポン
プも種々提案されている。
えば、水)をインペラによって回転させることにより、
その液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気
体(たとえば、空気)を吸入、排出し、気体を圧送また
は排除する水封式の真空ポンプは公知であり、この真空
ポンプを複数個内部で結合し、第1段ポンプの排気口と
第2段ポンプの吸気口を連通し、1段の真空ポンプより
も高い真空度が得られるようにした2段水封式真空ポン
プも種々提案されている。
【0003】従来、この種の2段水封式真空ポンプは、
図7に示すように、第1段ポンプ部101,第2段ポン
プ部102および軸受部103からなり、第1段ポンプ
部101と第2段ポンプ部102の間に連通プレート1
04を介在させ、この連通プレート104により仕切ら
れた第1段ポンプ室105内に第1段インペラ106を
備えるとともに、第2段ポンプ室107内には第2段イ
ンペラ108を備え、これら両インペラ106,108
を同一回転軸にそれぞれ固定している。そして、第1段
ポンプ室105の排気口と第2段ポンプ室107の吸気
口とを、連通プレート104を介して連通している。な
お、この構成においては、2段水封式真空ポンプへの給
水は、直接吸気口へ供給するか、あるいは図7に示すよ
うに、給水口109より第1段インペラ106の側面を
経由して第1段ポンプ室105および第2段ポンプ室1
07内へそれぞれ供給する。
図7に示すように、第1段ポンプ部101,第2段ポン
プ部102および軸受部103からなり、第1段ポンプ
部101と第2段ポンプ部102の間に連通プレート1
04を介在させ、この連通プレート104により仕切ら
れた第1段ポンプ室105内に第1段インペラ106を
備えるとともに、第2段ポンプ室107内には第2段イ
ンペラ108を備え、これら両インペラ106,108
を同一回転軸にそれぞれ固定している。そして、第1段
ポンプ室105の排気口と第2段ポンプ室107の吸気
口とを、連通プレート104を介して連通している。な
お、この構成においては、2段水封式真空ポンプへの給
水は、直接吸気口へ供給するか、あるいは図7に示すよ
うに、給水口109より第1段インペラ106の側面を
経由して第1段ポンプ室105および第2段ポンプ室1
07内へそれぞれ供給する。
【0004】ところで、前記のような2段水封式真空ポ
ンプでは、吸入された空気は、第1段ポンプ室105に
おいて圧縮され、体積が減少した状態で、第2段ポンプ
室107に流入するため、第2段ポンプ室107におけ
る空気流量は、第1段ポンプ室105における空気流量
に比べて前記圧縮の度合いに応じて少なく設定する必要
がある。そのため、通常は、両インペラ106,108
の幅寸法のみを変更して、この空気流量の変化に対応し
ている。
ンプでは、吸入された空気は、第1段ポンプ室105に
おいて圧縮され、体積が減少した状態で、第2段ポンプ
室107に流入するため、第2段ポンプ室107におけ
る空気流量は、第1段ポンプ室105における空気流量
に比べて前記圧縮の度合いに応じて少なく設定する必要
がある。そのため、通常は、両インペラ106,108
の幅寸法のみを変更して、この空気流量の変化に対応し
ている。
【0005】前記のように、第1段インペラ106と第
2段インペラ108の幅寸法のみを変更して空気流量の
変化に対応することは、大型の水封式真空ポンプでは容
易であるが、小型の2段水封式真空ポンプの場合は、加
工や羽根の強度上の問題もあり、第2段インペラ108
の幅寸法を過度に小さくすることは望ましくない。
2段インペラ108の幅寸法のみを変更して空気流量の
変化に対応することは、大型の水封式真空ポンプでは容
易であるが、小型の2段水封式真空ポンプの場合は、加
工や羽根の強度上の問題もあり、第2段インペラ108
の幅寸法を過度に小さくすることは望ましくない。
【0006】したがって、従来の小型の2段水封式真空
ポンプにおいては、第1段インペラ106と第2段イン
ペラ108の幅の比、すなわち空気流量の比をあまり大
きく設定することはできなかった。このため、第1段ポ
ンプ室105で圧縮されて体積が減少していた空気は、
第2段ポンプ室107に入ると忽ち膨張する。したがっ
て、吸込み真空度が高い場合、あるいは、より真空度の
高い領域で使用する場合には、第2段ポンプ室107に
おいてもキャビテーションが発生し易く、ポンプ構成部
品にエロージョンが発生したり、騒音が発生するという
問題を生じる。
ポンプにおいては、第1段インペラ106と第2段イン
ペラ108の幅の比、すなわち空気流量の比をあまり大
きく設定することはできなかった。このため、第1段ポ
ンプ室105で圧縮されて体積が減少していた空気は、
第2段ポンプ室107に入ると忽ち膨張する。したがっ
て、吸込み真空度が高い場合、あるいは、より真空度の
高い領域で使用する場合には、第2段ポンプ室107に
おいてもキャビテーションが発生し易く、ポンプ構成部
品にエロージョンが発生したり、騒音が発生するという
問題を生じる。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】この考案は、前記の問
題点に鑑み、小型の2段水封式真空ポンプにおける第1
段ポンプ室と第2段ポンプ室の吸入空気流量の比を適正
にし、第2段ポンプ室にキャビテーションが発生するの
を防止するようにしたものである。
題点に鑑み、小型の2段水封式真空ポンプにおける第1
段ポンプ室と第2段ポンプ室の吸入空気流量の比を適正
にし、第2段ポンプ室にキャビテーションが発生するの
を防止するようにしたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】この考案は、前記課題を
解決するためになされたものであって、第1段ポンプ室
内に設けた第1段インペラと第2段ポンプ室内に設けた
第2段インペラとを同一回転軸に固定し、第1段ポンプ
室の排気ポートと第2段ポンプ室の吸気ポートとを連通
した2段水封式真空ポンプにおいて、前記第1段ポンプ
室の中心と前記第1段インペラの中心との偏心量より
も、前記第2段ポンプ室の中心と前記第2段インペラの
中心との偏心量を小さくしたことを特徴としている。
解決するためになされたものであって、第1段ポンプ室
内に設けた第1段インペラと第2段ポンプ室内に設けた
第2段インペラとを同一回転軸に固定し、第1段ポンプ
室の排気ポートと第2段ポンプ室の吸気ポートとを連通
した2段水封式真空ポンプにおいて、前記第1段ポンプ
室の中心と前記第1段インペラの中心との偏心量より
も、前記第2段ポンプ室の中心と前記第2段インペラの
中心との偏心量を小さくしたことを特徴としている。
【0009】
【作用】この考案によれば、第2段ポンプ室の中心と第
2段インペラの中心との偏心量を、第1段ポンプ室の中
心と第1段インペラの中心との偏心量よりも小さくし、
第1段ポンプ室と第2段ポンプ室との空気流量の比を適
正な比率としたので、第1段ポンプ室で圧縮されて体積
が減少していた空気が第2段ポンプ室に入っても急激に
膨張することがなくなる。したがって、第2段ポンプ室
の内部においてキャビテーションが発生しない。
2段インペラの中心との偏心量を、第1段ポンプ室の中
心と第1段インペラの中心との偏心量よりも小さくし、
第1段ポンプ室と第2段ポンプ室との空気流量の比を適
正な比率としたので、第1段ポンプ室で圧縮されて体積
が減少していた空気が第2段ポンプ室に入っても急激に
膨張することがなくなる。したがって、第2段ポンプ室
の内部においてキャビテーションが発生しない。
【0010】
【実施例】以下、この考案の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図1に示すように、2段水封式真
空ポンプAは、第1段ポンプ部B,第2段ポンプ部Cお
よび軸受部Dからなり、第1段ポンプ部Bと第2段ポン
プ部Cの間に連通プレート1を介設し、そして第1段ポ
ンプ部Bと第2段ポンプ部Cとをボルト13により軸受
部Dに対して連結している。
いて詳細に説明する。図1に示すように、2段水封式真
空ポンプAは、第1段ポンプ部B,第2段ポンプ部Cお
よび軸受部Dからなり、第1段ポンプ部Bと第2段ポン
プ部Cの間に連通プレート1を介設し、そして第1段ポ
ンプ部Bと第2段ポンプ部Cとをボルト13により軸受
部Dに対して連結している。
【0011】前記第1段ポンプ部Bは、一方側から吸気
し、他方側へ排気するもので、吸気側ケーシング2,連
通プレート1および両者の間に介設した1段側ポートプ
レート4からなり、連通プレート1と1段側ポートプレ
ート4とに挟まれた部分には第1段ポンプ室3が形成さ
れており、この第1段ポンプ室3内には第1段インペラ
5が回転自在に設けられている。同様に、前記第2段ポ
ンプ部Cは、一方側から吸気し、他方側へ排気するもの
で、連通プレート1,排気側ケーシング6および両者の
間に介設した2段側ポートプレート7からなり、連通プ
レート1と2段側ポートプレート7とに挟まれた部分に
は第2段ポンプ室8が形成されており、この第2段ポン
プ室8内には第2段インペラ9が回転自在に設けられて
いる。そして、第1段インペラ5と第2段インペラ9
は、同一回転軸10上に配置されており、キーおよびバ
ネを介してC型止め輪により前記回転軸10に固定され
ている。
し、他方側へ排気するもので、吸気側ケーシング2,連
通プレート1および両者の間に介設した1段側ポートプ
レート4からなり、連通プレート1と1段側ポートプレ
ート4とに挟まれた部分には第1段ポンプ室3が形成さ
れており、この第1段ポンプ室3内には第1段インペラ
5が回転自在に設けられている。同様に、前記第2段ポ
ンプ部Cは、一方側から吸気し、他方側へ排気するもの
で、連通プレート1,排気側ケーシング6および両者の
間に介設した2段側ポートプレート7からなり、連通プ
レート1と2段側ポートプレート7とに挟まれた部分に
は第2段ポンプ室8が形成されており、この第2段ポン
プ室8内には第2段インペラ9が回転自在に設けられて
いる。そして、第1段インペラ5と第2段インペラ9
は、同一回転軸10上に配置されており、キーおよびバ
ネを介してC型止め輪により前記回転軸10に固定され
ている。
【0012】前記軸受部Dは、軸受ハウジング11と回
転軸10を回転自在に支持する軸受(図示省略)を備え
ており、前記第1段ポンプ部Bおよび第2段ポンプ部C
の反対側には、駆動モータ(図示省略)を配置してい
る。
転軸10を回転自在に支持する軸受(図示省略)を備え
ており、前記第1段ポンプ部Bおよび第2段ポンプ部C
の反対側には、駆動モータ(図示省略)を配置してい
る。
【0013】前記連通プレート1は、図1および図2に
示すように、一側面に第1段ポンプ室3を形成してお
り、この第1段ポンプ室3の中心Pを第1段インペラ5
の中心Oに対して偏心させている(その偏心量は、図2
において「t」で示す)。また、この連通プレート1の
一側面に第1段ポンプ室3の排気ポート1aを形成する
とともに、その他側面に第2段ポンプ室8の吸気ポート
1bを形成しており、これら排気ポート1aおよび吸気
ポート1bにより第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8
とを連通している。
示すように、一側面に第1段ポンプ室3を形成してお
り、この第1段ポンプ室3の中心Pを第1段インペラ5
の中心Oに対して偏心させている(その偏心量は、図2
において「t」で示す)。また、この連通プレート1の
一側面に第1段ポンプ室3の排気ポート1aを形成する
とともに、その他側面に第2段ポンプ室8の吸気ポート
1bを形成しており、これら排気ポート1aおよび吸気
ポート1bにより第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8
とを連通している。
【0014】前記吸気側ケーシング2は、図1に示すよ
うに、中心部に給水口2aを形成しており、上側には吸
気口2bを吸気流路2cに連通するように形成してい
る。また、前記1段側ポートプレート4は、図1に示す
ように、中心部に孔4aを形成しており、その周りに吸
気ポート4bを形成している。そして、前記排気側ケー
シング6は、図1に示すように、中心部にメカニカルシ
ール12を収納する孔6aを形成しており、上方には排
気口6bを設け、この排気口6bと連通する排気流路6
cを孔6aの周りに形成している。
うに、中心部に給水口2aを形成しており、上側には吸
気口2bを吸気流路2cに連通するように形成してい
る。また、前記1段側ポートプレート4は、図1に示す
ように、中心部に孔4aを形成しており、その周りに吸
気ポート4bを形成している。そして、前記排気側ケー
シング6は、図1に示すように、中心部にメカニカルシ
ール12を収納する孔6aを形成しており、上方には排
気口6bを設け、この排気口6bと連通する排気流路6
cを孔6aの周りに形成している。
【0015】さて、この考案において、連通プレート1
と2段側ポートプレート7に挟まれた第2段ポンプ室8
は、図2および図3に示すように、第1段インペラ5の
中心Oに対し第1段ポンプ室3の中心Pを偏心させた偏
心量tよりも小さい、所定の偏心量s(第2段ポンプ室
8の中心Rと第2段インペラ9の中心Oとの偏心量)に
設定しており、その設定値としては、偏心量sを偏心量
tに対して約0.4倍ないし0.8倍に設定することが
望ましい。このように、第2段ポンプ室8の中心Rと第
2段インペラ9の中心Oとの偏心量sを偏心量tの値よ
りも小さくしたこと、および第2段インペラ9の幅を第
1段インペラ5の幅に対して約7割の割合で狭くしてい
ることにより、第2段ポンプ室8の体積が第1段ポンプ
室3の体積の約0.3〜0.4倍となり、この結果、第
1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8との空気流量はほぼ
3:1となる。したがって、第2段ポンプ室8の内径が
第1段ポンプ室3の内径より小さいために、第2段ポン
プ室8の吸気ポート1bおよび2段側ポートプレート7
の側面に形成した2段側排気ポート7aの形状は、図6
に示す従来のそれぞれの形状よりも、図5に示すよう
に、それぞれ縮小されている。
と2段側ポートプレート7に挟まれた第2段ポンプ室8
は、図2および図3に示すように、第1段インペラ5の
中心Oに対し第1段ポンプ室3の中心Pを偏心させた偏
心量tよりも小さい、所定の偏心量s(第2段ポンプ室
8の中心Rと第2段インペラ9の中心Oとの偏心量)に
設定しており、その設定値としては、偏心量sを偏心量
tに対して約0.4倍ないし0.8倍に設定することが
望ましい。このように、第2段ポンプ室8の中心Rと第
2段インペラ9の中心Oとの偏心量sを偏心量tの値よ
りも小さくしたこと、および第2段インペラ9の幅を第
1段インペラ5の幅に対して約7割の割合で狭くしてい
ることにより、第2段ポンプ室8の体積が第1段ポンプ
室3の体積の約0.3〜0.4倍となり、この結果、第
1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8との空気流量はほぼ
3:1となる。したがって、第2段ポンプ室8の内径が
第1段ポンプ室3の内径より小さいために、第2段ポン
プ室8の吸気ポート1bおよび2段側ポートプレート7
の側面に形成した2段側排気ポート7aの形状は、図6
に示す従来のそれぞれの形状よりも、図5に示すよう
に、それぞれ縮小されている。
【0016】前記第1段インペラ5および前記第2段イ
ンペラ9は、図1および図4に示すように、ほぼ放射状
に配置した複数枚の羽根5a,5a,・・および羽根9
a,9a,・・によりそれぞれ構成されている。なお、
前記のように、第1段ポンプ室3および第1段インペラ
5の方が、第2段ポンプ室8および第2段インペラ9よ
りも幅をそれぞれ広くしてある。
ンペラ9は、図1および図4に示すように、ほぼ放射状
に配置した複数枚の羽根5a,5a,・・および羽根9
a,9a,・・によりそれぞれ構成されている。なお、
前記のように、第1段ポンプ室3および第1段インペラ
5の方が、第2段ポンプ室8および第2段インペラ9よ
りも幅をそれぞれ広くしてある。
【0017】つぎに、この考案の前記実施例における2
段水封式真空ポンプAの作動および作用を説明する。吸
気側ケーシング2の給水口2aから水を供給し、駆動モ
ータ(図示省略)により回転軸10を回転させて第1段
インペラ5および第2段インペラ9を回転させると、第
1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8内にそれぞれ流
入した水は、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8
の内周壁に沿ってそれぞれ流れ、環状になってそれぞれ
周回する。第1段インペラ5および第2段インペラ9の
中心Oは、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8の
各中心P,Rに対してそれぞれ偏心しているので、各イ
ンペラにおいて、それぞれ隣接する2枚の羽根5a(9
a)とボス部(符号省略)および水面との間にそれぞれ
空間部(図示省略)が生じ、インペラの回転によってこ
れらの空間部が膨張、収縮することによりそれぞれ空気
を吸入、排出する。
段水封式真空ポンプAの作動および作用を説明する。吸
気側ケーシング2の給水口2aから水を供給し、駆動モ
ータ(図示省略)により回転軸10を回転させて第1段
インペラ5および第2段インペラ9を回転させると、第
1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8内にそれぞれ流
入した水は、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8
の内周壁に沿ってそれぞれ流れ、環状になってそれぞれ
周回する。第1段インペラ5および第2段インペラ9の
中心Oは、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8の
各中心P,Rに対してそれぞれ偏心しているので、各イ
ンペラにおいて、それぞれ隣接する2枚の羽根5a(9
a)とボス部(符号省略)および水面との間にそれぞれ
空間部(図示省略)が生じ、インペラの回転によってこ
れらの空間部が膨張、収縮することによりそれぞれ空気
を吸入、排出する。
【0018】一方、空気の流れを説明すると、まず第1
段ポンプ部Bにおいて、吸気側ケーシング2の吸気口2
bからの空気は、吸気側ケーシング2の吸気流路2cを
通過して1段側ポートプレート4の吸気ポート4bから
第1段ポンプ室3に吸い込まれる。第1段ポンプ室3か
ら排出される空気は、この第1段ポンプ室3において圧
縮され体積が減少しており、この圧縮された空気は、連
通プレート1の一側面に形成された排気ポート1aよ
り、連通プレート1の他側面に形成された吸気ポート1
bを介して第2段ポンプ室8内に流入する。この際、前
述のように、各インペラ5,9の偏心量を変えてあり、
第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8とで空気流量の比
が適切に設定されているため、第1段ポンプ室3内で圧
縮され体積の減少した空気が、第2段ポンプ室8内に流
入しても膨張することがない。そして、この空気は、第
2段ポンプ室8内でさらに圧縮され体積を減少した状態
で、第2段ポンプ室8から排出され、2段側ポートプレ
ート7の2段側排気ポート7aから排気側ケーシング6
の排気流路6cを通過し、排気側ケーシング6の排気口
6bを介して外部に排出されることになる。
段ポンプ部Bにおいて、吸気側ケーシング2の吸気口2
bからの空気は、吸気側ケーシング2の吸気流路2cを
通過して1段側ポートプレート4の吸気ポート4bから
第1段ポンプ室3に吸い込まれる。第1段ポンプ室3か
ら排出される空気は、この第1段ポンプ室3において圧
縮され体積が減少しており、この圧縮された空気は、連
通プレート1の一側面に形成された排気ポート1aよ
り、連通プレート1の他側面に形成された吸気ポート1
bを介して第2段ポンプ室8内に流入する。この際、前
述のように、各インペラ5,9の偏心量を変えてあり、
第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8とで空気流量の比
が適切に設定されているため、第1段ポンプ室3内で圧
縮され体積の減少した空気が、第2段ポンプ室8内に流
入しても膨張することがない。そして、この空気は、第
2段ポンプ室8内でさらに圧縮され体積を減少した状態
で、第2段ポンプ室8から排出され、2段側ポートプレ
ート7の2段側排気ポート7aから排気側ケーシング6
の排気流路6cを通過し、排気側ケーシング6の排気口
6bを介して外部に排出されることになる。
【0019】
【考案の効果】この考案は、以上のように構成したの
で、第1段ポンプ室と第2段ポンプ室の空気流量の比を
適正にすることができ、第2段ポンプ室における流入空
気の急激な膨張を防止し、第2段ポンプ室においてキャ
ビテーションの発生を阻止することができる。これによ
り、キャビテーションの発生に伴う種々の不具合、たと
えば、エロージョンの発生や、騒音の増大等を確実に防
止することができ、小型で効率の良い2段水封式真空ポ
ンプを提供することができる。また、比較的簡単な構成
で、かつ容易に製作することができるので、この種の真
空ポンプとしては頗る効果的である。
で、第1段ポンプ室と第2段ポンプ室の空気流量の比を
適正にすることができ、第2段ポンプ室における流入空
気の急激な膨張を防止し、第2段ポンプ室においてキャ
ビテーションの発生を阻止することができる。これによ
り、キャビテーションの発生に伴う種々の不具合、たと
えば、エロージョンの発生や、騒音の増大等を確実に防
止することができ、小型で効率の良い2段水封式真空ポ
ンプを提供することができる。また、比較的簡単な構成
で、かつ容易に製作することができるので、この種の真
空ポンプとしては頗る効果的である。
【図1】この考案を適用した2段水封式真空ポンプの断
面図である。
面図である。
【図2】図1に示した連通プレートの正面図である。
【図3】図1に示した2段側ポートプレートの正面図で
ある。
ある。
【図4】図1に示した両インペラの概略を示す正面図で
ある。
ある。
【図5】図1に示した第2段ポンプ室,第2段インペ
ラ,吸気ポートおよび排気ポートの形状と関係位置を示
す説明図である。
ラ,吸気ポートおよび排気ポートの形状と関係位置を示
す説明図である。
【図6】図5との比較を示す説明図で、従来の形状と関
係位置を示している。
係位置を示している。
【図7】従来の2段水封式真空ポンプの断面図である。
A 2段水封式真空ポンプ B 第1段ポンプ部 C 第2段ポンプ部 1a 第1段ポンプ室3の排気ポート 1b 第2段ポンプ室8の吸気ポート 3 第1段ポンプ室 5 第1段インペラ 8 第2段ポンプ室 9 第2段インペラ 10 回転軸 O 第1段インペラ5および第2段インペラの中心 P 第1段ポンプ室3の中心 R 第2段ポンプ室8の中心 s 第2段ポンプ室8の中心Rと第2段インペラ9の中
心Oとの偏心量 t 第1段ポンプ室3の中心Pと第1段インペラ5の中
心Oとの偏心量
心Oとの偏心量 t 第1段ポンプ室3の中心Pと第1段インペラ5の中
心Oとの偏心量
Claims (1)
- 【請求項1】 第1段ポンプ室3内に設けた第1段イン
ペラ5と第2段ポンプ室8内に設けた第2段インペラ9
とを同一回転軸10に固定し、第1段ポンプ室3の排気
ポート1aと第2段ポンプ室8の吸気ポート1bとを連
通した2段水封式真空ポンプAにおいて、前記第1段ポ
ンプ室3の中心Pと前記第1段インペラ5の中心Oとの
偏心量tよりも、前記第2段ポンプ室8の中心Rと前記
第2段インペラ9の中心Oとの偏心量sを小さくしたこ
とを特徴とする2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室
の構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991070070U JP2508668Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室の構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1991070070U JP2508668Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室の構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0587286U JPH0587286U (ja) | 1993-11-26 |
JP2508668Y2 true JP2508668Y2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=13420916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1991070070U Expired - Lifetime JP2508668Y2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室の構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2508668Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11143186B2 (en) | 2017-01-30 | 2021-10-12 | Ebara Corporation | Liquid ring vacuum pump |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101694397B1 (ko) * | 2016-07-26 | 2017-01-10 | (주)코원진공 | 수봉식 진공펌프 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61218791A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | Hitachi Ltd | 液封式気体ポンプ |
JPH0195588U (ja) * | 1987-12-17 | 1989-06-23 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP1991070070U patent/JP2508668Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11143186B2 (en) | 2017-01-30 | 2021-10-12 | Ebara Corporation | Liquid ring vacuum pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0587286U (ja) | 1993-11-26 |
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