JP2507583B2 - Clean robot - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、クリーンルームで使用されるクリーンロボ
ットの構造の改良に関するものである。The present invention relates to an improvement in the structure of a clean robot used in a clean room.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第７図乃至第10図は従来のクリーンロボットを示すも
ので、図中、（１）は床に立設された縦長のフレーム、
（２）はこのフレーム（１）の正面に穿設された縦長の
溝孔（スリット）（第８図参照）、（３）はフレーム
（１）内の背面に並列且つ垂直に配設された一対のガイ
ド（第９図参照）、（４）はフレーム（１）内の背面下
部に水平に取着された支持部、（５）はこの支持部
（４）とフレーム（１）の内部上面との間に垂直に支承
されたボールネジで、このボールネジ（５）の支持部
（４）を貫通した下端にはプーリ（６）が嵌着されてい
る。（７）は支持部（４）に載置された駆動用のモータ
で、このモータ（７）の支持部（４）を貫通した出力軸
の先端には、プーリ（６）に水平に対向するベルト車
（８）が嵌着され、このベルト車（８）と上記プーリ
（６）とには、動力伝達用のベルト（９）が巻架されて
おり、該モータ（７）の駆動によりボールネジ（５）が
ベルト伝動により回転するようになっている。7 to 10 show a conventional clean robot, in which (1) is a vertically long frame standing on the floor,
(2) is a vertically elongated slot (slit) formed in the front of the frame (1) (see FIG. 8), and (3) is arranged in parallel and vertically on the back surface of the frame (1). A pair of guides (see FIG. 9), (4) is a supporting part horizontally attached to the lower rear part of the frame (1), and (5) is an upper surface of the supporting part (4) and the inside of the frame (1). And a pulley (6) is fitted to the lower end of the ball screw (5) which penetrates through the support portion (4). (7) is a driving motor mounted on the support part (4), and the tip of the output shaft that penetrates the support part (4) of the motor (7) horizontally faces the pulley (6). A belt wheel (8) is fitted, and a belt (9) for power transmission is wound around the belt wheel (8) and the pulley (6), and a ball screw is driven by driving the motor (7). (5) is adapted to rotate by belt transmission.

また、（10）はボールネジ（５）に螺合された昇降体
で、この昇降体（10）は、第７図および第９図に示すよ
うにボールネジ（５）に螺合され且つ上記一対のガイド
（３）に案内される本体（10a）と、この本体（10a）の
溝孔（２）を貫通して外部に延出された先端に水平回動
可能に設けられたアーム（10b）と、このアーム（10b）
の先端に装着されたハンド（10c）とを備え、ボールネ
ジ（５）の回転によりガイド（３）に案内されつつ上昇
若しくは下降動作して図示しないワーク等を搬送する機
能を営む。Further, (10) is an elevating body screwed to the ball screw (5), and the elevating body (10) is screwed to the ball screw (5) as shown in FIG. 7 and FIG. A main body (10a) guided by the guide (3), and an arm (10b) horizontally rotatably provided at the tip extending outward through the slot (2) of the main body (10a). , This arm (10b)
And a hand (10c) attached to the tip of the device, and has a function of moving a work (not shown) or the like by moving up or down while being guided by the guide (3) by the rotation of the ball screw (5).

然して、（11）はフレーム（１）の背面最下部に穿設
された排気口、（12）はこの排気口（11）にフレーム内
部から重着された濾過用のフィルタ、そして（13）はこ
のフィルタ（12）に重着されたファンで、このファン
（13）は、フレーム内部の汚染された空気を吸引してフ
ィルタ（12）に圧送するとともに、該吸引作用によりフ
レーム内を負圧にして外部の汚染されていない空気を溝
孔（２）からフレーム内に略水平に導入する機能を営む
（第７図矢印参照）。However, (11) is an exhaust port formed in the lowermost part of the back surface of the frame (1), (12) is a filter for filtration that is superposed on the exhaust port (11) from inside the frame, and (13) is The fan (13) is heavily attached to the filter (12). The fan (13) sucks the contaminated air inside the frame and sends it to the filter (12) under pressure, and the suction action causes a negative pressure in the frame. The outside air, which is not polluted, is introduced into the frame from the slot (2) substantially horizontally (see arrow in FIG. 7).

従って、モータ（７）の駆動に伴うボールネジ（５）
の回転により、昇降体（10）はガイド（３）に案内され
つつ上昇若しくは下降動作して図示しないワーク等を把
持搬送する。そして、この昇降体（10）の動作等に伴い
フレーム内に発生する塵は、フレーム内の空気とともに
ファン（13）に吸引されてフィルタ（12）に圧送・濾過
され、その後に排気口（11）から外部に排出される。そ
して、ファン（13）の吸引に基づく負圧作用により、外
部の汚染されていない空気は、溝孔（２）を略水平に経
てフレーム内部に導入される。Therefore, the ball screw (5) accompanying the drive of the motor (7)
By the rotation, the elevating body (10) moves up or down while being guided by the guide (3) to grip and convey a work (not shown) or the like. Then, the dust generated in the frame due to the operation of the lifting body (10) and the like is sucked by the fan (13) together with the air in the frame, pressure-fed and filtered by the filter (12), and then the exhaust port (11). ) Is discharged to the outside. Then, by the negative pressure action based on the suction of the fan (13), the outside uncontaminated air is introduced into the frame through the groove hole (2) substantially horizontally.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problems to be Solved by the Invention]

従来のクリーンロボットは以上のように構成され、フ
レーム内部に導入された全ての空気をフレーム最下部の
ファン（13）により単に吸引するようにしていたので、
溝孔（２）の上部の風速（V₁）と下部の風速（V₂）とが
第10図に示すように著しく異なり、フレーム内の汚染さ
れた全ての空気を濾過して外部に排出するには、非常に
大きなファンを必要とした。また、昇降体（10）の上昇
動作に際し、当該昇降体（10）より上方のフレーム内の
汚染された空気は、昇降体（10）のピストン作用により
圧縮されて終には溝孔（２）から外部に逆に排出されて
しまい、外部の空気が容易に汚染されてしまう、といっ
た問題点があった。The conventional clean robot is configured as described above, and all the air introduced into the frame is simply sucked by the fan (13) at the bottom of the frame.
Slot the upper portion of the wind speed (V ₁₎ and a lower wind speed ₍₂₎ (V 2) and is markedly different, as shown in FIG. 10, is discharged to the outside by filtration any contaminated air within the frame Needed a very big fan. Further, when the lifting / lowering body (10) is raised, the contaminated air in the frame above the lifting / lowering body (10) is compressed by the piston action of the lifting / lowering body (10), and finally the slot (2). However, there is a problem in that the air is exhausted to the outside, and the outside air is easily polluted.

この点に鑑み、特開昭62−152692号公報は、上下動軸
ケーシングの周囲に孔を設け、この孔にダクトを介して
吸引装置を接続するとともに、上下動軸ケーシングの上
部外周に上方のみが開放した受皿を設け、この受皿の底
部にダクトを介して吸引装置を接続したダスト発生防止
上下動軸機構を開示している。だが、この発明では、装
置が極めて大形化してしまい、しかも吸引装置を複数設
けざるを得ず、この吸引装置の単一化を図る場合には、
さらに装置が大形化・複雑化して省スペース化を図るこ
とができないという欠点があった。In view of this point, JP-A-62-152692 discloses that a hole is provided around the vertical shaft casing, a suction device is connected to the hole through a duct, and only the upper part of the vertical shaft casing is provided with an upper part. There is disclosed an up-and-down moving shaft mechanism for preventing dust generation in which a saucer opened is provided and a suction device is connected to a bottom portion of the saucer via a duct. However, in the present invention, the device becomes extremely large, and moreover, a plurality of suction devices must be provided, and in the case of unifying this suction device,
Further, there is a drawback that the device becomes large and complicated and space saving cannot be achieved.

また、特開昭60−44405号公報は、本体たる角筒体の
上部と下部を開放し、角筒体内を上下動する可動体に
は、スリットを内側からシールして角筒体内に存在する
ダストのスリットから外部への飛散を防止するシート幕
を固着し、クリーンルームのダウンフローにより角筒体
内の発塵を床下に吸引するものを提案している。しか
し、この発明では、クリーンエアーを天井から床下に下
吹きするのを必須要件としているので、この要件を充足
しないものは一切適用できず、しかも、シート幕を巻取
る回動自在のドラム等を角筒体内の上下部にそれぞれ配
設せざるを得ず、装置の著しい複雑化を避け得なかっ
た。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 60-44405, the upper and lower parts of a rectangular tubular body, which is a main body, are opened, and a movable body that moves up and down in the rectangular tubular body exists inside a rectangular tubular body by sealing a slit from the inside. We have proposed a sheet curtain to prevent dust from scattering from the outside, and to suck dust generated in the rectangular cylinder under the floor by downflow in a clean room. However, in this invention, since it is an essential requirement to blow clean air from the ceiling to the underfloor, anything that does not meet this requirement cannot be applied, and moreover, a rotatable drum or the like for winding the sheet curtain is not applicable. There was no choice but to arrange them in the upper and lower parts of the rectangular cylinder, and it was unavoidable that the device became extremely complicated.

本発明は叙上の点に鑑みなされたもので、ファンの小
形化と昇降体の上昇動作による弊害を防止することので
きるクリーンロボットを提供することを目的としてい
る。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a clean robot capable of preventing the harmful effects of the downsizing of the fan and the lifting operation of the lifting body.

〔課題を解決するための手段〕[Means for solving the problem]

本発明においては、上述の目的を達成するため、フレ
ーム内の反溝孔側に、フレームの内部背面との間に通風
炉を形成する仕切り板を立設し、この仕切り板の少なく
とも上側部には、フレーム内の空気を通風路内に導く流
入口を設けるとともに、仕切り板の下側部には、通風路
内の空気を上記通風機に導く排出口を設けたことを特徴
としている。In the present invention, in order to achieve the above-mentioned object, a partition plate that forms a ventilation furnace between the frame and the inner rear surface of the frame is erected on the side opposite to the slot, and at least the upper part of the partition plate. Is characterized in that an air inlet for guiding the air in the frame into the air passage is provided, and an outlet for introducing the air in the air passage to the air blower is provided in the lower part of the partition plate.

〔作用〕[Action]

本発明によれば、外部からフレーム内に導入された空
気が流入口から通風路を経由してファンに吸引されるこ
とにより、溝孔全域において等速化されるので、ファン
の著しい小形化と昇降体のピストン作用による塵の拡散
とを確実に防止することができる。According to the present invention, the air introduced from the outside into the frame is sucked by the fan from the inflow port through the ventilation passage, so that the speed is made uniform over the entire slot, so that the size of the fan is significantly reduced. Diffusion of dust due to the piston action of the lifting body can be reliably prevented.

〔実施例〕〔Example〕

以下、第１図乃至第３図に示す一実施例に基づき本発
明を詳述すると、図中、（１）は床に立設した縦長のフ
レームで、このフレーム（１）の正面には溝孔（スリッ
ト）（２）を縦長に穿設し、又フレーム（１）の内部に
は、フレーム背面との間に通風路（15）を垂直に画成す
る仕切り板（14）を垂直に立設しており、この仕切り板
（14）の上側部と下側部とには、第１図に示すように流
入口（16）と排出口（17）をそれぞれ穿設している。
（３）はフレーム（１）内の仕切り板（14）に並列且つ
垂直に配設した一対のガイド（第２図参照）、（４）は
仕切り板（14）の下部に、換言すれば排出口（17）の上
方に水平に取着した支持部で、この支持部（４）とフレ
ーム（１）の内部上面との間にはボールネジ（５）を回
動自在に配置し、このボールネジ（５）の支持部（４）
を貫通した下端にはプーリ（６）を嵌着している。
（７）は支持部（４）に載置した駆動用のモータで、こ
のモータ（７）の支持部（４）を貫通して下端に突出し
た出力軸の先端には、プーリ（６）に水平に対向するベ
ルト車（８）を嵌着し、このベルト車（８）と上記プー
リ（６）とには、動力伝達用のベルト（９）を巻架して
おり、該モータ（７）の駆動によりボールネジ（５）が
ベルト伝動により回転するようになっている。Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to one embodiment shown in FIGS. 1 to 3. In the drawings, (1) is a vertically long frame standing on the floor, and a groove is provided in front of the frame (1). A hole (slit) (2) is vertically formed, and a partition plate (14) which vertically defines a ventilation path (15) between the frame (1) and the rear surface of the frame stands vertically. As shown in FIG. 1, an inflow port (16) and a discharge port (17) are formed in the upper side and the lower side of the partition plate (14).
(3) is a pair of guides (see FIG. 2) arranged in parallel and vertically to the partition plate (14) in the frame (1), and (4) is the lower part of the partition plate (14). A ball screw (5) is rotatably arranged between the support portion (4) and the inner upper surface of the frame (1) by a support portion horizontally attached above the outlet (17). 5) Supporting part (4)
A pulley (6) is fitted to the lower end passing through.
(7) is a drive motor mounted on the support part (4), and a pulley (6) is attached to the tip of the output shaft which penetrates the support part (4) of the motor (7) and projects to the lower end. A belt wheel (8) facing horizontally is fitted and a belt (9) for power transmission is wound around the belt wheel (8) and the pulley (6), and the motor (7) Is driven to rotate the ball screw (5) by belt transmission.

また（10）はボールネジ（５）に螺合した昇降体で、
この昇降体（10）は、ボールネジ（５）に螺合され且つ
上記一対のガイド（３）に案内される本体（10a）と、
この本体（10a）の溝孔（２）を貫通して外部に延出さ
れた先端に水平回動可能に設けられたアーム（10b）
と、このアーム（10b）の先端に装着されたハンド（10
c）とを備え、ボールネジ（５）の回転によりガイド
（３）に案内されつつ上昇若しくは下降動作して図示し
ないワーク等を搬送する機能を営む。Further, (10) is an elevating body screwed to the ball screw (5),
The lifting body (10) includes a main body (10a) screwed to a ball screw (5) and guided by the pair of guides (3),
An arm (10b) provided horizontally rotatably at the tip extending outward through the slot (2) of the main body (10a).
And a hand (10) attached to the tip of this arm (10b).
c) and is operated by the rotation of the ball screw (5) to move up and down while being guided by the guide (3) to convey a work (not shown) or the like.

然して、（11）はフレーム（１）の背面最下部に穿設
した排気口、（12）はこの排気口（11）にフレーム内部
から重着した濾過用のフィルタ、そして（13）はこのフ
ィルタ（12）に重着したファンで、このファン（13）
は、フレーム内部の塵を含む空気を吸引してフィルタ
（12）に圧送するとともに、該吸引作用によりフレーム
内を負圧にして外部の汚染されていない空気を溝孔
（２）からフレーム内に略水平に導入する機能を営む
（第１図矢印参照）。そして、このファン（13）は、第
１図に示すように上記排出口（17）を介して通風路（1
5）と略連通しており、該負圧作用により、溝孔（２）
からフレーム内に略水平に流入した空気を通風路上部の
流入口（16）から通風路（15）内に導入する機能を営む
（第１図矢印参照）。However, (11) is an exhaust port formed in the lowermost part of the rear surface of the frame (1), (12) is a filter for filtration attached to the exhaust port (11) from inside the frame, and (13) is this filter. This fan (13) has been heavily hung on (12).
Sucks air containing dust inside the frame and sends it to the filter (12) under pressure, and the suction action makes the inside of the frame a negative pressure so that the outside uncontaminated air is introduced into the frame through the slot (2). It has the function of introducing it almost horizontally (see the arrow in Fig. 1). Then, as shown in FIG. 1, the fan (13) is connected to the ventilation passage (1
5), which is almost in communication with the groove (2) due to the negative pressure action.
It has a function of introducing the air, which has flowed in substantially horizontally into the frame, from the inflow port (16) at the upper part of the air passage into the air passage (15) (see the arrow in FIG. 1).

従って、フレーム内の塵を含んだ空気は、ファン（1
3）に直接吸引される他に、ファン（13）に略連通した
通風路（15）の流入口（16）に導入されて排出口（17）
から排出され、ファン（13）に吸引された後にフィルタ
（12）を圧送・濾過され、排気口（11）から外部に排出
される。そしてファン（13）の吸引作用により外部の汚
染されていない空気は溝孔（２）を略水平に経てフレー
ム内部に導入される。Therefore, the dust-laden air in the frame is
In addition to being sucked directly into 3), it is introduced into the inlet (16) of the ventilation passage (15) that is in general communication with the fan (13) and is then discharged from the outlet (17).
After being sucked by the fan (13), the filter (12) is pressure-fed and filtered, and then discharged from the exhaust port (11) to the outside. Due to the suction action of the fan (13), the outside uncontaminated air is introduced into the frame through the slot (2) substantially horizontally.

以上のように本発明によれば、フレーム内の汚染され
た空気をフレーム下部のファン（13）と、このファン
（13）に略連通した通風路（15）の上部の流入口（16）
とに吸引するので、第３図に示すように溝孔（２）の上
部の風速（V₃）と下部の風速（V₄）とを略均一にしてフ
ァン（13）の著しい小形化を図ることが可能となる。ま
た、昇降体（10）より上方のフレーム内の汚染された空
気が流入口（16）に吸引されるので、昇降体（10）のピ
ストン作用による塵の拡散を確実に防止することが期待
できる。そして、フレーム（１）背面との間に通風路
（15）を画成する仕切り板（14）をフレーム（１）の内
部に立設しているので、上記特開昭62−152692号公報の
様にケーシングの外周に大きなスペースを占有するダス
ト等を配設する必要がなく、又ファン（13）の小形化・
単一化を確実に達成できる。さらに、上記特開昭60−44
405号公報の如く、シート幕を巻取る複数のドラム等を
内設しなくても、フレーム（１）内の汚染された空気の
溝孔（２）から外部への拡散を確実に防止でき、又汚染
された空気を確実に通風路（15）に導入することが可能
なので、装置の著しい複雑化を確実に防止できる。As described above, according to the present invention, the contaminated air in the frame is connected to the fan (13) in the lower part of the frame and the inlet (16) in the upper part of the ventilation passage (15) which is substantially in communication with the fan (13).
As shown in FIG. 3, the upper wind speed (V ₃ ) and the lower wind speed (V ₄ ) of the groove hole (2) are made substantially uniform so that the fan (13) is significantly downsized. It becomes possible. Further, since the polluted air in the frame above the lifting body (10) is sucked into the inlet (16), it can be expected that the diffusion of dust due to the piston action of the lifting body (10) can be reliably prevented. . Further, since the partition plate (14) that defines the ventilation passage (15) between the rear surface of the frame (1) and the rear surface of the frame (1) is erected inside the frame (1), the above-mentioned JP-A-62-152692 is disclosed. Similarly, there is no need to arrange dust that occupies a large space on the outer periphery of the casing, and the fan (13) can be downsized.
Unification can be certainly achieved. Further, the above-mentioned JP-A-60-44
As described in Japanese Patent No. 405, it is possible to surely prevent the polluted air in the frame (1) from diffusing from the groove hole (2) to the outside without installing a plurality of drums or the like for winding the sheet curtain. Further, since the polluted air can be surely introduced into the ventilation passage (15), it is possible to surely prevent the device from becoming extremely complicated.

次に、第４図乃至第６図は本発明の他の実施例を示す
もので、この場合には、通風路（15）を画成する仕切り
板（14）に溝孔（２）より小幅の流入口（16）を縦列に
多数穿設している。Next, FIGS. 4 to 6 show another embodiment of the present invention. In this case, the partition plate (14) defining the ventilation passage (15) has a width smaller than that of the slot (2). A large number of inflow ports (16) are bored vertically.

本実施例においても、上記実施例と同様の作用効果を
期待し得られ、より確実に風速の均一化、ファン（13）
の小形化及び昇降体（10）のピストン作用による塵の拡
散防止を図ることができるのは明白である。さらに、本
実施例によれば、フレーム（１）を第５図に示すように
パイプ形状に構成しているので、フレーム（１）の強度
をより向上させることができる。Also in this embodiment, the same effects as those of the above embodiment can be expected, and the wind speed can be more surely made uniform by the fan (13).
Obviously, it is possible to reduce the size and prevent the diffusion of dust by the piston action of the lifting body (10). Furthermore, according to the present embodiment, the frame (1) is formed in a pipe shape as shown in FIG. 5, so that the strength of the frame (1) can be further improved.

尚、上記実施例においては仕切り板（14）に流入口
（16）を穿設したものを示したが、溝孔（２）より小巾
の溝孔を穿設しても上記実施例と同様の作用効果を奏す
る。Although the partition plate (14) is provided with the inflow port (16) in the above-mentioned embodiment, the same as in the above-mentioned embodiment even if the groove hole having a width smaller than that of the groove hole (2) is formed. Produces the effect of.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上のように本発明によれば、ファンの著しい小形化
と昇降体の上昇動作による弊害を確実に防止することの
できるクリーンロボットを提供することができる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a clean robot capable of surely preventing the harmful effects of the fan being significantly miniaturized and the lifting operation of the lifting body.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第１図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例を示
す断面側面図、第２図は第１図のII−II線断面図、第３
図は本発明に係るクリーンロボットの一実施例における
溝孔の風速を示す説明図、第４図は本発明に係るクリー
ンロボットの他の実施例を示す断面側面図、第５図は第
４図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は本発明に係るクリーン
ロボットの他の実施例における溝孔の風速を示す説明
図、第７図は従来のクリーンロボットを示す断面側面
図、第８図は第７図のVIII−VIII線断面図、第９図は第
７図のIX−IX線断面図、第10図は従来のクリーンロボッ
トにおける溝孔の風速を示す説明図である。 図中、（１）はフレーム、（２）は溝孔、（10）は昇降
体、（13）はファン（通風機）、（15）は通風路、（1
6）は流入口、（17）は排出口である。 尚、各図中、同一符号は同一又は相当部分を示す。FIG. 1 is a sectional side view showing an embodiment of the clean robot according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II of FIG. 1, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory view showing a wind velocity of a slot in an embodiment of the clean robot according to the present invention, FIG. 4 is a sectional side view showing another embodiment of the clean robot according to the present invention, and FIG. 5 is FIG. 6 is a sectional view taken along line VV of FIG. 6, FIG. 6 is an explanatory view showing wind speeds of slots in another embodiment of the clean robot according to the present invention, FIG. 7 is a sectional side view showing a conventional clean robot, and FIG. Is a sectional view taken along the line VIII-VIII in FIG. 7, FIG. 9 is a sectional view taken along the line IX-IX in FIG. 7, and FIG. 10 is an explanatory view showing the wind speed of the slot in the conventional clean robot. In the figure, (1) is a frame, (2) is a slot, (10) is a lifting body, (13) is a fan (ventilator), (15) is an air passage, and (1)
6) is an inlet and (17) is an outlet. In the drawings, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項１】縦長に構成されたフレームと、このフレー
ムの正面に穿設されて空気の外部からフレーム内への流
入を許容する縦長の溝孔と、該フレームの内部から溝孔
を貫通して外部に延出された昇降可能な昇降体と、フレ
ーム内の下部に設けられてフレーム内の空気を外部に排
出する通風機とを備えたクリーンロボットにおいて、上
記フレーム内の反溝孔側に、フレームの内部背面との間
に通風路を形成する仕切り板を立設し、この仕切り板の
少なくとも上側部には、フレーム内の空気を通風路内に
導く流入口を設けるとともに、仕切り板の下側部には、
通風路内の空気を上記通風機に導く排出口を設けたこと
を特徴とするクリーンロボット。1. A vertically long frame, a vertically long slot formed in a front surface of the frame to allow air to flow into the frame from the outside, and a slot extending from the inside of the frame. In a clean robot equipped with an elevating and lowering body extended to the outside and a ventilator provided in the lower part of the frame for discharging the air in the frame to the outside, , A partition plate that forms an air passage between the inner rear surface of the frame and the partition plate is provided upright, and at least an upper portion of the partition plate is provided with an inlet for guiding the air in the frame into the air passage and the partition plate. On the lower side,
A clean robot having an outlet for guiding the air in the ventilation passage to the ventilation device.