JP2505803Y2 - Ｌｓｉテスタ - Google Patents
ＬｓｉテスタInfo
- Publication number
- JP2505803Y2 JP2505803Y2 JP3924890U JP3924890U JP2505803Y2 JP 2505803 Y2 JP2505803 Y2 JP 2505803Y2 JP 3924890 U JP3924890 U JP 3924890U JP 3924890 U JP3924890 U JP 3924890U JP 2505803 Y2 JP2505803 Y2 JP 2505803Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- holder
- prober
- contact ring
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はチップパターンが印刷されたウエハーを検査
するLSIテスタに関し、さらに詳しくは、LSIテスタのコ
ンタクトリングとインサートリングの装着の操作性の向
上に関するものである。
するLSIテスタに関し、さらに詳しくは、LSIテスタのコ
ンタクトリングとインサートリングの装着の操作性の向
上に関するものである。
〈従来の技術〉 第５図は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図で
ある。図で、１はLSIテスタのテストヘッド、11はテス
トヘッド１に固定されたコンタクトリングで、テストヘ
ッド１に対して±３°の範囲で回転するようになってい
る。12はコンタクトリング11に形成されたガイド穴、２
はウエハーを搭載するプローバ、21はプローバ２上に取
り付けられたインサートリングで、プローバ２上を±３
°の範囲で回転するようになっている。22はインサート
リング21に取り付けられたピンで、コンタクトリング11
に取り付けられたガイド穴12に嵌合することによって両
者は一体となって回転する。３はプローバ２上に取り付
けられていて、プローバ２上を図の矢印Ａ−A-方向に移
動可能な回転軸支持台で、移動させることによってテス
トヘッド１とプローバ２の装着の際の微調整が行われ
る。４はテストヘッド１と回転軸支持台３のヒンジ部と
なる回転軸である。
ある。図で、１はLSIテスタのテストヘッド、11はテス
トヘッド１に固定されたコンタクトリングで、テストヘ
ッド１に対して±３°の範囲で回転するようになってい
る。12はコンタクトリング11に形成されたガイド穴、２
はウエハーを搭載するプローバ、21はプローバ２上に取
り付けられたインサートリングで、プローバ２上を±３
°の範囲で回転するようになっている。22はインサート
リング21に取り付けられたピンで、コンタクトリング11
に取り付けられたガイド穴12に嵌合することによって両
者は一体となって回転する。３はプローバ２上に取り付
けられていて、プローバ２上を図の矢印Ａ−A-方向に移
動可能な回転軸支持台で、移動させることによってテス
トヘッド１とプローバ２の装着の際の微調整が行われ
る。４はテストヘッド１と回転軸支持台３のヒンジ部と
なる回転軸である。
第６図は従来のLSIテスタのコンタクトリングとイン
サートリングの要部を示す構成断面図である。尚、第５
図と同じ構成要素には同一番号を付し説明を省略する。
図で、13はテストヘッド１に固定されたホルダー、14は
コンタクトリング11の回転部分である回転テーブル、15
は回転テーブル14がホルダー13内を円滑に回転するため
の回転ローラー、16はプローバ２側とテストヘッド１側
を電気的に接続する接触ピン、17はウエハーを検査する
際の顕微鏡のぞき穴である。23はテストヘッド１側とプ
ローバ２側を電気的に接続する接点となるパフォーマン
スボード、25はウエハー27に接触させるプローブピン26
を取り付けるプローブカード、24はプローブカード25と
パフォーマンスボード23を電気的に接続するプローブカ
ードソケット、28はウエハー27を載せるステージであ
る。
サートリングの要部を示す構成断面図である。尚、第５
図と同じ構成要素には同一番号を付し説明を省略する。
図で、13はテストヘッド１に固定されたホルダー、14は
コンタクトリング11の回転部分である回転テーブル、15
は回転テーブル14がホルダー13内を円滑に回転するため
の回転ローラー、16はプローバ２側とテストヘッド１側
を電気的に接続する接触ピン、17はウエハーを検査する
際の顕微鏡のぞき穴である。23はテストヘッド１側とプ
ローバ２側を電気的に接続する接点となるパフォーマン
スボード、25はウエハー27に接触させるプローブピン26
を取り付けるプローブカード、24はプローブカード25と
パフォーマンスボード23を電気的に接続するプローブカ
ードソケット、28はウエハー27を載せるステージであ
る。
第７図は第６図のＢ−B-面の断面図である。図で、回
転テーブル14はホルダー13内を図の矢印Ｃ−C-方向に±
３°回転できるようになっている。また、回転ローラー
15はこの例では、円周を３等分する位置に３個設けてあ
る。
転テーブル14はホルダー13内を図の矢印Ｃ−C-方向に±
３°回転できるようになっている。また、回転ローラー
15はこの例では、円周を３等分する位置に３個設けてあ
る。
次に、第５図、第６図、第７図を用いて従来のLSIテ
スタのインサートリングとコンタクトリングの装着の動
作を説明する。まず、はじめにインサートリング21上の
ピン22と、コンタクトリング11に設けられたガイド穴12
がうまく嵌合するように回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方
向に移動させて調節する。その後、ガイド穴12とピン22
が合うように回転テーブル14を回転させてテーブルの回
転方向の調節を行っていた。ここで、もしＡ−A-方向の
位置があっていなければ、再び回転軸支持台を移動させ
て再調整を行っていた。
スタのインサートリングとコンタクトリングの装着の動
作を説明する。まず、はじめにインサートリング21上の
ピン22と、コンタクトリング11に設けられたガイド穴12
がうまく嵌合するように回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方
向に移動させて調節する。その後、ガイド穴12とピン22
が合うように回転テーブル14を回転させてテーブルの回
転方向の調節を行っていた。ここで、もしＡ−A-方向の
位置があっていなければ、再び回転軸支持台を移動させ
て再調整を行っていた。
〈考案が解決しようとする課題〉 このような従来のインサートリングとコンタクトリン
グの装着機構では、インサートリング上のピンとコンタ
クトリングに形成されたガイド穴がうまく嵌合するよう
に回転軸支持台を移動させて何度も微調整し、装着に大
変時間がかかっていた。
グの装着機構では、インサートリング上のピンとコンタ
クトリングに形成されたガイド穴がうまく嵌合するよう
に回転軸支持台を移動させて何度も微調整し、装着に大
変時間がかかっていた。
本考案はこのよう問題を解決するために為されたもの
で、支持台の取り付け位置の二次元方向の誤差を吸収
し、テストヘッドのプローバへの装着が容易なLSIテス
タを提供することを目的とする。
で、支持台の取り付け位置の二次元方向の誤差を吸収
し、テストヘッドのプローバへの装着が容易なLSIテス
タを提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は、 テストヘッド先端に取り付けられたコンタクトリング
を、プローバに設けられたインサートリングに連結する
ことによってテストヘッドをプローバに装着し、プロー
バのステージ上に載置されたウエハーを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定された
ホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イ
ンサートリングに対してピンと穴の関係で連結される連
結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタである。
を、プローバに設けられたインサートリングに連結する
ことによってテストヘッドをプローバに装着し、プロー
バのステージ上に載置されたウエハーを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定された
ホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イ
ンサートリングに対してピンと穴の関係で連結される連
結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタである。
〈作用〉 このような本考案においては、円筒形状をしていてテ
ストヘッドに固定されたホルダーと、ホルダーに対して
回転可能になっていて、インサートリングに対してピン
と穴の関係で連結される連結部が設けられた回転テーブ
ルと、ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーとでコンタクトリングを構成する。コ
ンタクトリングとインサートリングを装着する際は、回
転軸支持台を移動させてガイド穴とピンがうまく嵌合す
るように調節し、回転テーブルを回転させて回転方向の
調節を行う。その後、二次元方向の誤差が生じている場
合は、回転テーブルがスプリングプランジャーによって
ずれた分だけ二次元方向に移動し、ガイド穴とピンは嵌
合する。
ストヘッドに固定されたホルダーと、ホルダーに対して
回転可能になっていて、インサートリングに対してピン
と穴の関係で連結される連結部が設けられた回転テーブ
ルと、ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーとでコンタクトリングを構成する。コ
ンタクトリングとインサートリングを装着する際は、回
転軸支持台を移動させてガイド穴とピンがうまく嵌合す
るように調節し、回転テーブルを回転させて回転方向の
調節を行う。その後、二次元方向の誤差が生じている場
合は、回転テーブルがスプリングプランジャーによって
ずれた分だけ二次元方向に移動し、ガイド穴とピンは嵌
合する。
〈実施例〉 以下図面を用いて、本考案を詳細に説明する。第１図
は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコンタク
トリングの一実施例を示す側断面図である。図におい
て、テストヘッド１に取り付けられたコンタクトリング
11は、円筒形状をしていて、テストヘッド１に固定され
たホルダー13と、ホルダー13に対して回転可能になって
いて、インサートリングに取り付けられたピンと連結す
るガイド穴12が形成された回転テーブル14と、ホルダー
の円周を等分割にする位置に３個固定されていて、内部
に、半径方向に弾性力を持ち先端にボールが取り付けら
れたスプリングプランジャーとで構成されている。
は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコンタク
トリングの一実施例を示す側断面図である。図におい
て、テストヘッド１に取り付けられたコンタクトリング
11は、円筒形状をしていて、テストヘッド１に固定され
たホルダー13と、ホルダー13に対して回転可能になって
いて、インサートリングに取り付けられたピンと連結す
るガイド穴12が形成された回転テーブル14と、ホルダー
の円周を等分割にする位置に３個固定されていて、内部
に、半径方向に弾性力を持ち先端にボールが取り付けら
れたスプリングプランジャーとで構成されている。
第２図は第１図のＤ−D-面の断面図である。図のよう
に、ホルダー13内に回転可能な回転テーブル14が配置さ
れている。スプリングプランジャー18は図のようにホル
ダー13の円周を３等分する位置、つまり中心角が120°
になる円周上の位置に３個配置されている。
に、ホルダー13内に回転可能な回転テーブル14が配置さ
れている。スプリングプランジャー18は図のようにホル
ダー13の円周を３等分する位置、つまり中心角が120°
になる円周上の位置に３個配置されている。
第３図はスプリングプランジャーの要部を示す構成図
である。図において、181はネジ部で、スプリングプラ
ンジャー18をホルダー13に取り付ける際に、ドライバで
捩じ込む部分である。182はネジ部181を捩じ込むナット
部、183はネジ部181の内部に取り付けられていて、ホル
ダー13に取り付けられているときは半径方向に弾性力を
持つスプリング部、184はスプリング部183のホルダー13
側に取り付けられたボール部で、回転テーブル14に対し
て軸受の役割をはたしている。この時、スプリングプラ
ンジャー18はこの場合約1mmのプランジャーストローク
を持ち、スプリング部183の伸縮により回転テーブルが
２次元方向に移動するようになっている。
である。図において、181はネジ部で、スプリングプラ
ンジャー18をホルダー13に取り付ける際に、ドライバで
捩じ込む部分である。182はネジ部181を捩じ込むナット
部、183はネジ部181の内部に取り付けられていて、ホル
ダー13に取り付けられているときは半径方向に弾性力を
持つスプリング部、184はスプリング部183のホルダー13
側に取り付けられたボール部で、回転テーブル14に対し
て軸受の役割をはたしている。この時、スプリングプラ
ンジャー18はこの場合約1mmのプランジャーストローク
を持ち、スプリング部183の伸縮により回転テーブルが
２次元方向に移動するようになっている。
次に、第１図、第２図、第３図、第４図、第５図を用
いてコンタクトリングとインサートリングの装着時の動
作を説明する。尚、第５図は従来のLSIテスタの図であ
るが、コンタクトリング以外は同様の構成になっている
ので、第５図を用いて説明することにする。第４図はコ
ンタクトリングに形成されたガイド穴と、インサートリ
ング上に設けられたピンの嵌合状態を示す構成断面図
で、ピン22は図のように先端が円すい形状になってい
て、ガイド穴12は挿入面の縁に切欠が形成されている。
まず、第５図の回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方向に移動
させてガイド穴12とピン22が嵌合するように調節する。
その後、テストヘッド１を第５図の矢印Ｅ方向に回転さ
せてプローバ２に装着させる。ここで、ガイド穴12とピ
ン22の関係が第４図のようにずれている場合、両者を嵌
め合わせると第３図のスプリングプランジャー18が伸縮
し、回転テーブル14が２次元方向にスプリングプランジ
ャー18のボール部184を滑らかにすべって移動し、自然
調整が行われ、コンタクトリング11とインサートリング
21は丁度よく嵌合する。このスプリングプランジャー18
の誤差吸収により速やかにテストヘッド１とプローバ２
を装着することができる。
いてコンタクトリングとインサートリングの装着時の動
作を説明する。尚、第５図は従来のLSIテスタの図であ
るが、コンタクトリング以外は同様の構成になっている
ので、第５図を用いて説明することにする。第４図はコ
ンタクトリングに形成されたガイド穴と、インサートリ
ング上に設けられたピンの嵌合状態を示す構成断面図
で、ピン22は図のように先端が円すい形状になってい
て、ガイド穴12は挿入面の縁に切欠が形成されている。
まず、第５図の回転軸支持台３を矢印Ａ−A-方向に移動
させてガイド穴12とピン22が嵌合するように調節する。
その後、テストヘッド１を第５図の矢印Ｅ方向に回転さ
せてプローバ２に装着させる。ここで、ガイド穴12とピ
ン22の関係が第４図のようにずれている場合、両者を嵌
め合わせると第３図のスプリングプランジャー18が伸縮
し、回転テーブル14が２次元方向にスプリングプランジ
ャー18のボール部184を滑らかにすべって移動し、自然
調整が行われ、コンタクトリング11とインサートリング
21は丁度よく嵌合する。このスプリングプランジャー18
の誤差吸収により速やかにテストヘッド１とプローバ２
を装着することができる。
尚、ホルダーの円周に取り付けられるスプリングプラ
ンジャーは、円周を等分割する位置に配置されていれば
何個でもよい。
ンジャーは、円周を等分割する位置に配置されていれば
何個でもよい。
また、回転テーブルとインサートリングを連結するピ
ンは、回転テーブル側にあってもよく、それに嵌合する
穴はインサートリング側にあってもよい。
ンは、回転テーブル側にあってもよく、それに嵌合する
穴はインサートリング側にあってもよい。
〈考案の効果〉 以上詳細に説明したように、本考案においては、コン
タクトリングのホルダーの円周上にスプリングプランジ
ャーを設けて回転テーブルが２次元方向に移動可能とし
たために、回転軸支持台を一度調節すれば多少ガイド穴
とピンがずれていてもスプリングプランジャーが伸縮し
て誤差を吸収し、速やかに装着を行うことができる。ま
た、コンタクトリングとインサートリングの装着が容易
になったためにLSIテスタ使用時の作業を効率的に行う
ことができる。
タクトリングのホルダーの円周上にスプリングプランジ
ャーを設けて回転テーブルが２次元方向に移動可能とし
たために、回転軸支持台を一度調節すれば多少ガイド穴
とピンがずれていてもスプリングプランジャーが伸縮し
て誤差を吸収し、速やかに装着を行うことができる。ま
た、コンタクトリングとインサートリングの装着が容易
になったためにLSIテスタ使用時の作業を効率的に行う
ことができる。
第１図は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコ
ンタクトリングの一実施例を示す側断面図、第２図は第
１図のＤ−D-面の断面図、第３図は本考案に用いられる
スプリングプランジャーの要部を示す構成図、第４図は
ガイド穴とピンの嵌合の状態を示す構成断面図、第５図
は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図、第６図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示す断面
図、第７図は第６図のＢ−B-面の断面図である。 １……テストヘッド、11……コンタクトリング 12……ガイド穴、13……ホルダー 14……回転テーブル、15……回転ローラー 16……接触ピン 18……スプリングプランジャー 181……ネジ部、182……ナット部 183……スプリング部 184……ボール部 ２……プローバ、21……インサートリング 22……ピン、27……ウエハー 28……ステージ、３……回転軸支持台
ンタクトリングの一実施例を示す側断面図、第２図は第
１図のＤ−D-面の断面図、第３図は本考案に用いられる
スプリングプランジャーの要部を示す構成図、第４図は
ガイド穴とピンの嵌合の状態を示す構成断面図、第５図
は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図、第６図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示す断面
図、第７図は第６図のＢ−B-面の断面図である。 １……テストヘッド、11……コンタクトリング 12……ガイド穴、13……ホルダー 14……回転テーブル、15……回転ローラー 16……接触ピン 18……スプリングプランジャー 181……ネジ部、182……ナット部 183……スプリング部 184……ボール部 ２……プローバ、21……インサートリング 22……ピン、27……ウエハー 28……ステージ、３……回転軸支持台
Claims (1)
- 【請求項１】テストヘッド先端に取り付けられたコンタ
クトリングを、プローバに設けられたインサートリング
に連結することによってテストヘッドをプローバに装着
し、プローバのステージ上に載置されたウエハーを検査
するLSIテスタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定されたホ
ルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イン
サートリングに対してピンと穴の関係で連結される連結
部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも３個
固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先端
にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリン
グプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3924890U JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Ｌｓｉテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3924890U JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Ｌｓｉテスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130570U JPH03130570U (ja) | 1991-12-27 |
| JP2505803Y2 true JP2505803Y2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=31547991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3924890U Expired - Fee Related JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Ｌｓｉテスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505803Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010061425A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル、及びこれを用いた表示装置 |
| KR200472035Y1 (ko) * | 2009-02-18 | 2014-04-04 | 영 패스트 옵토일렉트로닉스 씨오., 엘티디. | 용량성 터치 센서 조립체 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP3924890U patent/JP2505803Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03130570U (ja) | 1991-12-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |