JP2505803Y2 - Lsiテスタ - Google Patents
LsiテスタInfo
- Publication number
- JP2505803Y2 JP2505803Y2 JP3924890U JP3924890U JP2505803Y2 JP 2505803 Y2 JP2505803 Y2 JP 2505803Y2 JP 3924890 U JP3924890 U JP 3924890U JP 3924890 U JP3924890 U JP 3924890U JP 2505803 Y2 JP2505803 Y2 JP 2505803Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test head
- holder
- prober
- contact ring
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はチップパターンが印刷されたウエハーを検査
するLSIテスタに関し、さらに詳しくは、LSIテスタのコ
ンタクトリングとインサートリングの装着の操作性の向
上に関するものである。
するLSIテスタに関し、さらに詳しくは、LSIテスタのコ
ンタクトリングとインサートリングの装着の操作性の向
上に関するものである。
〈従来の技術〉 第5図は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図で
ある。図で、1はLSIテスタのテストヘッド、11はテス
トヘッド1に固定されたコンタクトリングで、テストヘ
ッド1に対して±3°の範囲で回転するようになってい
る。12はコンタクトリング11に形成されたガイド穴、2
はウエハーを搭載するプローバ、21はプローバ2上に取
り付けられたインサートリングで、プローバ2上を±3
°の範囲で回転するようになっている。22はインサート
リング21に取り付けられたピンで、コンタクトリング11
に取り付けられたガイド穴12に嵌合することによって両
者は一体となって回転する。3はプローバ2上に取り付
けられていて、プローバ2上を図の矢印A−A-方向に移
動可能な回転軸支持台で、移動させることによってテス
トヘッド1とプローバ2の装着の際の微調整が行われ
る。4はテストヘッド1と回転軸支持台3のヒンジ部と
なる回転軸である。
ある。図で、1はLSIテスタのテストヘッド、11はテス
トヘッド1に固定されたコンタクトリングで、テストヘ
ッド1に対して±3°の範囲で回転するようになってい
る。12はコンタクトリング11に形成されたガイド穴、2
はウエハーを搭載するプローバ、21はプローバ2上に取
り付けられたインサートリングで、プローバ2上を±3
°の範囲で回転するようになっている。22はインサート
リング21に取り付けられたピンで、コンタクトリング11
に取り付けられたガイド穴12に嵌合することによって両
者は一体となって回転する。3はプローバ2上に取り付
けられていて、プローバ2上を図の矢印A−A-方向に移
動可能な回転軸支持台で、移動させることによってテス
トヘッド1とプローバ2の装着の際の微調整が行われ
る。4はテストヘッド1と回転軸支持台3のヒンジ部と
なる回転軸である。
第6図は従来のLSIテスタのコンタクトリングとイン
サートリングの要部を示す構成断面図である。尚、第5
図と同じ構成要素には同一番号を付し説明を省略する。
図で、13はテストヘッド1に固定されたホルダー、14は
コンタクトリング11の回転部分である回転テーブル、15
は回転テーブル14がホルダー13内を円滑に回転するため
の回転ローラー、16はプローバ2側とテストヘッド1側
を電気的に接続する接触ピン、17はウエハーを検査する
際の顕微鏡のぞき穴である。23はテストヘッド1側とプ
ローバ2側を電気的に接続する接点となるパフォーマン
スボード、25はウエハー27に接触させるプローブピン26
を取り付けるプローブカード、24はプローブカード25と
パフォーマンスボード23を電気的に接続するプローブカ
ードソケット、28はウエハー27を載せるステージであ
る。
サートリングの要部を示す構成断面図である。尚、第5
図と同じ構成要素には同一番号を付し説明を省略する。
図で、13はテストヘッド1に固定されたホルダー、14は
コンタクトリング11の回転部分である回転テーブル、15
は回転テーブル14がホルダー13内を円滑に回転するため
の回転ローラー、16はプローバ2側とテストヘッド1側
を電気的に接続する接触ピン、17はウエハーを検査する
際の顕微鏡のぞき穴である。23はテストヘッド1側とプ
ローバ2側を電気的に接続する接点となるパフォーマン
スボード、25はウエハー27に接触させるプローブピン26
を取り付けるプローブカード、24はプローブカード25と
パフォーマンスボード23を電気的に接続するプローブカ
ードソケット、28はウエハー27を載せるステージであ
る。
第7図は第6図のB−B-面の断面図である。図で、回
転テーブル14はホルダー13内を図の矢印C−C-方向に±
3°回転できるようになっている。また、回転ローラー
15はこの例では、円周を3等分する位置に3個設けてあ
る。
転テーブル14はホルダー13内を図の矢印C−C-方向に±
3°回転できるようになっている。また、回転ローラー
15はこの例では、円周を3等分する位置に3個設けてあ
る。
次に、第5図、第6図、第7図を用いて従来のLSIテ
スタのインサートリングとコンタクトリングの装着の動
作を説明する。まず、はじめにインサートリング21上の
ピン22と、コンタクトリング11に設けられたガイド穴12
がうまく嵌合するように回転軸支持台3を矢印A−A-方
向に移動させて調節する。その後、ガイド穴12とピン22
が合うように回転テーブル14を回転させてテーブルの回
転方向の調節を行っていた。ここで、もしA−A-方向の
位置があっていなければ、再び回転軸支持台を移動させ
て再調整を行っていた。
スタのインサートリングとコンタクトリングの装着の動
作を説明する。まず、はじめにインサートリング21上の
ピン22と、コンタクトリング11に設けられたガイド穴12
がうまく嵌合するように回転軸支持台3を矢印A−A-方
向に移動させて調節する。その後、ガイド穴12とピン22
が合うように回転テーブル14を回転させてテーブルの回
転方向の調節を行っていた。ここで、もしA−A-方向の
位置があっていなければ、再び回転軸支持台を移動させ
て再調整を行っていた。
〈考案が解決しようとする課題〉 このような従来のインサートリングとコンタクトリン
グの装着機構では、インサートリング上のピンとコンタ
クトリングに形成されたガイド穴がうまく嵌合するよう
に回転軸支持台を移動させて何度も微調整し、装着に大
変時間がかかっていた。
グの装着機構では、インサートリング上のピンとコンタ
クトリングに形成されたガイド穴がうまく嵌合するよう
に回転軸支持台を移動させて何度も微調整し、装着に大
変時間がかかっていた。
本考案はこのよう問題を解決するために為されたもの
で、支持台の取り付け位置の二次元方向の誤差を吸収
し、テストヘッドのプローバへの装着が容易なLSIテス
タを提供することを目的とする。
で、支持台の取り付け位置の二次元方向の誤差を吸収
し、テストヘッドのプローバへの装着が容易なLSIテス
タを提供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉 本考案は、 テストヘッド先端に取り付けられたコンタクトリング
を、プローバに設けられたインサートリングに連結する
ことによってテストヘッドをプローバに装着し、プロー
バのステージ上に載置されたウエハーを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定された
ホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イ
ンサートリングに対してピンと穴の関係で連結される連
結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも3
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタである。
を、プローバに設けられたインサートリングに連結する
ことによってテストヘッドをプローバに装着し、プロー
バのステージ上に載置されたウエハーを検査するLSIテ
スタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定された
ホルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イ
ンサートリングに対してピンと穴の関係で連結される連
結部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも3
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタである。
〈作用〉 このような本考案においては、円筒形状をしていてテ
ストヘッドに固定されたホルダーと、ホルダーに対して
回転可能になっていて、インサートリングに対してピン
と穴の関係で連結される連結部が設けられた回転テーブ
ルと、ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも3
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーとでコンタクトリングを構成する。コ
ンタクトリングとインサートリングを装着する際は、回
転軸支持台を移動させてガイド穴とピンがうまく嵌合す
るように調節し、回転テーブルを回転させて回転方向の
調節を行う。その後、二次元方向の誤差が生じている場
合は、回転テーブルがスプリングプランジャーによって
ずれた分だけ二次元方向に移動し、ガイド穴とピンは嵌
合する。
ストヘッドに固定されたホルダーと、ホルダーに対して
回転可能になっていて、インサートリングに対してピン
と穴の関係で連結される連結部が設けられた回転テーブ
ルと、ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも3
個固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先
端にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリ
ングプランジャーとでコンタクトリングを構成する。コ
ンタクトリングとインサートリングを装着する際は、回
転軸支持台を移動させてガイド穴とピンがうまく嵌合す
るように調節し、回転テーブルを回転させて回転方向の
調節を行う。その後、二次元方向の誤差が生じている場
合は、回転テーブルがスプリングプランジャーによって
ずれた分だけ二次元方向に移動し、ガイド穴とピンは嵌
合する。
〈実施例〉 以下図面を用いて、本考案を詳細に説明する。第1図
は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコンタク
トリングの一実施例を示す側断面図である。図におい
て、テストヘッド1に取り付けられたコンタクトリング
11は、円筒形状をしていて、テストヘッド1に固定され
たホルダー13と、ホルダー13に対して回転可能になって
いて、インサートリングに取り付けられたピンと連結す
るガイド穴12が形成された回転テーブル14と、ホルダー
の円周を等分割にする位置に3個固定されていて、内部
に、半径方向に弾性力を持ち先端にボールが取り付けら
れたスプリングプランジャーとで構成されている。
は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコンタク
トリングの一実施例を示す側断面図である。図におい
て、テストヘッド1に取り付けられたコンタクトリング
11は、円筒形状をしていて、テストヘッド1に固定され
たホルダー13と、ホルダー13に対して回転可能になって
いて、インサートリングに取り付けられたピンと連結す
るガイド穴12が形成された回転テーブル14と、ホルダー
の円周を等分割にする位置に3個固定されていて、内部
に、半径方向に弾性力を持ち先端にボールが取り付けら
れたスプリングプランジャーとで構成されている。
第2図は第1図のD−D-面の断面図である。図のよう
に、ホルダー13内に回転可能な回転テーブル14が配置さ
れている。スプリングプランジャー18は図のようにホル
ダー13の円周を3等分する位置、つまり中心角が120°
になる円周上の位置に3個配置されている。
に、ホルダー13内に回転可能な回転テーブル14が配置さ
れている。スプリングプランジャー18は図のようにホル
ダー13の円周を3等分する位置、つまり中心角が120°
になる円周上の位置に3個配置されている。
第3図はスプリングプランジャーの要部を示す構成図
である。図において、181はネジ部で、スプリングプラ
ンジャー18をホルダー13に取り付ける際に、ドライバで
捩じ込む部分である。182はネジ部181を捩じ込むナット
部、183はネジ部181の内部に取り付けられていて、ホル
ダー13に取り付けられているときは半径方向に弾性力を
持つスプリング部、184はスプリング部183のホルダー13
側に取り付けられたボール部で、回転テーブル14に対し
て軸受の役割をはたしている。この時、スプリングプラ
ンジャー18はこの場合約1mmのプランジャーストローク
を持ち、スプリング部183の伸縮により回転テーブルが
2次元方向に移動するようになっている。
である。図において、181はネジ部で、スプリングプラ
ンジャー18をホルダー13に取り付ける際に、ドライバで
捩じ込む部分である。182はネジ部181を捩じ込むナット
部、183はネジ部181の内部に取り付けられていて、ホル
ダー13に取り付けられているときは半径方向に弾性力を
持つスプリング部、184はスプリング部183のホルダー13
側に取り付けられたボール部で、回転テーブル14に対し
て軸受の役割をはたしている。この時、スプリングプラ
ンジャー18はこの場合約1mmのプランジャーストローク
を持ち、スプリング部183の伸縮により回転テーブルが
2次元方向に移動するようになっている。
次に、第1図、第2図、第3図、第4図、第5図を用
いてコンタクトリングとインサートリングの装着時の動
作を説明する。尚、第5図は従来のLSIテスタの図であ
るが、コンタクトリング以外は同様の構成になっている
ので、第5図を用いて説明することにする。第4図はコ
ンタクトリングに形成されたガイド穴と、インサートリ
ング上に設けられたピンの嵌合状態を示す構成断面図
で、ピン22は図のように先端が円すい形状になってい
て、ガイド穴12は挿入面の縁に切欠が形成されている。
まず、第5図の回転軸支持台3を矢印A−A-方向に移動
させてガイド穴12とピン22が嵌合するように調節する。
その後、テストヘッド1を第5図の矢印E方向に回転さ
せてプローバ2に装着させる。ここで、ガイド穴12とピ
ン22の関係が第4図のようにずれている場合、両者を嵌
め合わせると第3図のスプリングプランジャー18が伸縮
し、回転テーブル14が2次元方向にスプリングプランジ
ャー18のボール部184を滑らかにすべって移動し、自然
調整が行われ、コンタクトリング11とインサートリング
21は丁度よく嵌合する。このスプリングプランジャー18
の誤差吸収により速やかにテストヘッド1とプローバ2
を装着することができる。
いてコンタクトリングとインサートリングの装着時の動
作を説明する。尚、第5図は従来のLSIテスタの図であ
るが、コンタクトリング以外は同様の構成になっている
ので、第5図を用いて説明することにする。第4図はコ
ンタクトリングに形成されたガイド穴と、インサートリ
ング上に設けられたピンの嵌合状態を示す構成断面図
で、ピン22は図のように先端が円すい形状になってい
て、ガイド穴12は挿入面の縁に切欠が形成されている。
まず、第5図の回転軸支持台3を矢印A−A-方向に移動
させてガイド穴12とピン22が嵌合するように調節する。
その後、テストヘッド1を第5図の矢印E方向に回転さ
せてプローバ2に装着させる。ここで、ガイド穴12とピ
ン22の関係が第4図のようにずれている場合、両者を嵌
め合わせると第3図のスプリングプランジャー18が伸縮
し、回転テーブル14が2次元方向にスプリングプランジ
ャー18のボール部184を滑らかにすべって移動し、自然
調整が行われ、コンタクトリング11とインサートリング
21は丁度よく嵌合する。このスプリングプランジャー18
の誤差吸収により速やかにテストヘッド1とプローバ2
を装着することができる。
尚、ホルダーの円周に取り付けられるスプリングプラ
ンジャーは、円周を等分割する位置に配置されていれば
何個でもよい。
ンジャーは、円周を等分割する位置に配置されていれば
何個でもよい。
また、回転テーブルとインサートリングを連結するピ
ンは、回転テーブル側にあってもよく、それに嵌合する
穴はインサートリング側にあってもよい。
ンは、回転テーブル側にあってもよく、それに嵌合する
穴はインサートリング側にあってもよい。
〈考案の効果〉 以上詳細に説明したように、本考案においては、コン
タクトリングのホルダーの円周上にスプリングプランジ
ャーを設けて回転テーブルが2次元方向に移動可能とし
たために、回転軸支持台を一度調節すれば多少ガイド穴
とピンがずれていてもスプリングプランジャーが伸縮し
て誤差を吸収し、速やかに装着を行うことができる。ま
た、コンタクトリングとインサートリングの装着が容易
になったためにLSIテスタ使用時の作業を効率的に行う
ことができる。
タクトリングのホルダーの円周上にスプリングプランジ
ャーを設けて回転テーブルが2次元方向に移動可能とし
たために、回転軸支持台を一度調節すれば多少ガイド穴
とピンがずれていてもスプリングプランジャーが伸縮し
て誤差を吸収し、速やかに装着を行うことができる。ま
た、コンタクトリングとインサートリングの装着が容易
になったためにLSIテスタ使用時の作業を効率的に行う
ことができる。
第1図は本考案に係るLSIテスタのテストヘッド側のコ
ンタクトリングの一実施例を示す側断面図、第2図は第
1図のD−D-面の断面図、第3図は本考案に用いられる
スプリングプランジャーの要部を示す構成図、第4図は
ガイド穴とピンの嵌合の状態を示す構成断面図、第5図
は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図、第6図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示す断面
図、第7図は第6図のB−B-面の断面図である。 1……テストヘッド、11……コンタクトリング 12……ガイド穴、13……ホルダー 14……回転テーブル、15……回転ローラー 16……接触ピン 18……スプリングプランジャー 181……ネジ部、182……ナット部 183……スプリング部 184……ボール部 2……プローバ、21……インサートリング 22……ピン、27……ウエハー 28……ステージ、3……回転軸支持台
ンタクトリングの一実施例を示す側断面図、第2図は第
1図のD−D-面の断面図、第3図は本考案に用いられる
スプリングプランジャーの要部を示す構成図、第4図は
ガイド穴とピンの嵌合の状態を示す構成断面図、第5図
は従来のLSIテスタの一例を示す構成側面図、第6図は
コンタクトリングとインサートリングの要部を示す断面
図、第7図は第6図のB−B-面の断面図である。 1……テストヘッド、11……コンタクトリング 12……ガイド穴、13……ホルダー 14……回転テーブル、15……回転ローラー 16……接触ピン 18……スプリングプランジャー 181……ネジ部、182……ナット部 183……スプリング部 184……ボール部 2……プローバ、21……インサートリング 22……ピン、27……ウエハー 28……ステージ、3……回転軸支持台
Claims (1)
- 【請求項1】テストヘッド先端に取り付けられたコンタ
クトリングを、プローバに設けられたインサートリング
に連結することによってテストヘッドをプローバに装着
し、プローバのステージ上に載置されたウエハーを検査
するLSIテスタにおいて、 前記コンタクトリングは、 円筒形状をしていて、前記テストヘッドに固定されたホ
ルダーと、 前記ホルダーに対して回転可能になっていて、前記イン
サートリングに対してピンと穴の関係で連結される連結
部が設けられた回転テーブルと、 前記ホルダーの円周を等分割する位置に少なくとも3個
固定されていて、内部に、半径方向に弾性力を持ち先端
にボールが取り付けられたスプリングを有するスプリン
グプランジャーと、 を具備することを特徴とするLSIテスタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3924890U JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Lsiテスタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3924890U JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Lsiテスタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03130570U JPH03130570U (ja) | 1991-12-27 |
JP2505803Y2 true JP2505803Y2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=31547991
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3924890U Expired - Fee Related JP2505803Y2 (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | Lsiテスタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2505803Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010061425A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Hitachi Displays Ltd | タッチパネル、及びこれを用いた表示装置 |
KR200472035Y1 (ko) * | 2009-02-18 | 2014-04-04 | 영 패스트 옵토일렉트로닉스 씨오., 엘티디. | 용량성 터치 센서 조립체 |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP3924890U patent/JP2505803Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03130570U (ja) | 1991-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR910010042B1 (ko) | 테이블 장치 | |
KR930000292B1 (ko) | 얼라인먼트 테이블 장치 | |
CN106291855B (zh) | 可实现五自由度的手动调整机构 | |
JP5546842B2 (ja) | 座標測定機械 | |
CN208268678U (zh) | 一种相机调节机构及光学成像*** | |
CN205787318U (zh) | 反射镜固定装置 | |
US4056777A (en) | Microcircuit test device with multi-axes probe control | |
KR20090119736A (ko) | 마이크로칩을 위한 테스트 홀더 | |
JP2505803Y2 (ja) | Lsiテスタ | |
JPH0735777A (ja) | 検査装置および検査装置における接続方法 | |
US6260428B1 (en) | Z-axis precision positioner | |
CN115070635A (zh) | 测试夹具 | |
JPH0868931A (ja) | 面角度調整装置 | |
JP2002277755A (ja) | 反射鏡装置 | |
JP2540604Y2 (ja) | 光学素子取付装置 | |
CN221028367U (zh) | 一种调平装置、夹具及基因测序仪 | |
JP2539124B2 (ja) | 固体型アクチュエ―タ―を利用したウェ―ハの精密駆動装置 | |
CN221174359U (zh) | 一种标定调节机构及晶圆检测装置 | |
CN215729279U (zh) | 一种调节成像光路夹角的改进装置 | |
JPH0338713Y2 (ja) | ||
JPH04194601A (ja) | 多方向微調整装置 | |
JP3654698B2 (ja) | 位置調整装置および液晶プロジェクタ装置 | |
JPH0310731A (ja) | 芯出し装置 | |
JPH0294183A (ja) | 磁気ヘッド位置決め装置 | |
RU1788352C (ru) | Опорный шаровой шарнир |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |