JP2505761Y2 - 光ディスク検査装置校正用基準板 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、レーザ光の反射率や透過率、あるいは板厚
など、光ディスクの物理的な諸特性を測定する光ディス
ク検査装置において、これらの測定系の校正に使用され
る基準板の改良に関するものである。

更に詳しくは、複数の標準試料片に対して、校正の基
準となる値付けが容易な基準板の構成に関するものであ
る。

〔従来の技術〕

一般に、光ディスク検査装置においては、光ディスク
の諸特性を測定する前に、その測定系の校正が行なわれ
る。また、この校正には種々の方法があるが、値のわか
っている標準試料を使用して校正を行なうのが、検出器
や電気回路などを含めた測定系全体を一度に校正するこ
とができ、便利である。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような校正方法では、数点の測定
点から補間して校正曲線を求めるために、数種類の標準
試料を用意して、これらの標準試料を順次光学ヘッドの
上部（レーザ光の照射位置）に正確にセットしなければ
ならず、標準試料の交換が容易ではない。また、標準試
料として測定済みの光ディスクを利用する方法も考えら
れるが、静止した光ディスクにレーザ光を照射すると、
レーザ光の熱で金属膜が溶けたり、酸化して反射率や透
過率が変化してしまう。このため、光ディスクを回転さ
せることになるが、反射率などが全面に渡って均一な光
ディスクは少なく、正確な基準値を得ることは難しい。
さらに、標準試料に対する値付けは、通常、平行なレー
ザ光を使用して行なわれる。これは、収束するレーザ光
を使用したのでは、照射した光のパワーと反射した光の
パワーとを正確に測定することが困難なためである。こ
のため、標準試料の表面に反射があると、正確な値付け
を行なうことができない。

本考案は、上記のような従来装置の欠点をなくし、複
数の標準試料を順次光学ヘッドの上部に正確にセットす
ることができるとともに、レーザ光の照射による温度上
昇に対しても反射率などが変化してしまうことがなく、
しかも標準試料に対して、正確な値付けを行なうことの
できる光ディスク検査装置校正用基準板を簡単な構成に
より実現することを目的としたものである。

〔課題を解決するための手段〕

本考案の光ディスク検査装置校正用基準板は、通常の
光ディスクと等しい板厚を有するガラス基板の一方の面
に誘電体多層膜よりなる反射膜または透過膜が形成され
るとともに他方の面に反射防止膜が形成され所定の基準
値に値付けされた複数の標準試料片と、光ディスクのク
ランプ機構により共通にクランプされるクランプ部を有
し前記複数の標準試料片を同一円周上に配置するととも
にこれら複数の標準試料片をその反射膜面の位置および
クランプ面からの高さが前記クランプ機構にクランプさ
れる通常の光ディスクの記録膜面と一致するように保持
する基板部とを具備するようにしたものである。

〔作用〕

このように、複数の標準試料片を基板部の同一円周上
に配置するとともに、この基板部に光ディスクと同様の
クランプ部を設けるようにすると、複数の標準試料片を
特別の治具などを使用することなく光ディスクと共通の
クランプ機構によりクランプすることができるととも
に、基板部を回転させるだけで、任意の標準試料片を光
学ヘッドの上部にセットすることができる。しかも、各
標準試料片の面積は小さいので、均一性に優れている。
また、複数の標準試料片をその反射膜面または透過膜面
の位置およびクランプ面からの高さが前記クランプ機構
にクランプされる通常の光ディスクの記録膜面と一致す
るように保持すると、各標準試料片が常に光ディスクと
同じ高さに保持されるようになり、実際の測定状態によ
り近い条件で校正を行なうことができる。さらに、標準
試料片の反射膜または透過膜を誘電体多層膜により形成
すると、熱に強く、レーザ光を照射しても反射率などが
変化してしまうことのない標準試料片を実現することが
できる。また、標準試料片におけるレーザ光の入射面に
反射防止膜を形成すると、平行光を使用して値付けを行
なった場合にも、受光素子に基板表面からの反射光が入
射してしまうことがなく、反射膜の反射率に応じた正確
な値付けを行なうことができる。

〔実施例〕

以下、図面を使用して、本考案の光ディスク検査装置
校正用基準板を説明する。

第１図は本考案の光ディスク検査装置校正用基準板の
一実施例を示す平面図、第２図はその断面図である。図
において、S0〜S11はそれぞれ所定の基準値に値付けさ
れた標準試料片、１は標準試料片S0〜S11を同一円周上
に保持する基板部、２は基板部１の中心に設けられたク
ランプ部、21はクランプ部２において光ディスクを回転
させるターンテーブルに当接するクランプ面である。ま
た、標準試料片S0〜S11は通常の光ディスクと等しい板
厚ｔを有するガラス基板31と、その一方の面に形成され
た誘電体多層膜よりなる反射膜または透過膜32と、他方
の面に形成された反射防止膜33とから構成されている。
基板部１は標準試料片S0〜S11をその反射膜面または透
過膜面32側を上にした状態で、しかもその膜面のクラン
プ面21からの高さが通常の光ディスクにおけるクランプ
時の記録膜面の高さと一致するように保持している。例
えば、光ディスクがその基板部分を直接クランプされる
形式のものであれば、記録膜面の高さはその板厚と等し
くなるので、標準試料片S0〜S11は図に示すごとく、そ
の底面がクランプ面21と一致するように保持される。ま
た、光ディスクがクランプ用のハブを有するものであれ
ば、標準試料片S0〜S11の高さも、そのハブの厚みを考
慮して決定される。

第３図は標準試料片S0〜S11の形成例を示す断面図で
ある。図に示されるように、反射膜および透過膜32は誘
電体多層膜により形成されており、その層数に応じて反
射率または透過率が制御され、所定の値付けが行なわれ
ている。誘電体多層膜の材質としては、例えば、酸化チ
タン（TiO₂）および酸化ケイ素（SiO₂）が使用されてい
る。なお、基板部１において、反射率が０％の位置およ
び透過率が100％の位置は、試料片を設けず、素通しに
している。また、反射防止膜33は基板部１においてレー
ザ光の入射する面（下面）に形成される。

このように構成された基準板においては、基板部１を
クランプ部２を利用して光ディスク検査装置のクランプ
機構に装着するだけで、特別の治具などを使用すること
なく、任意の標準試料片S0〜S11を光学ヘッドの上部に
セットすることができる。また、各標準試料片S0〜S11
の面積は小さいので、均一性に優れている。さらに、反
射膜または透過膜32を形成する誘電体多層膜は熱に強い
ので、レーザ光の照射により膜の温度が上昇しても、溶
けてしまったり、反射率などが変化してしまうことがな
い。ガラス基板31もまた高温に対して安定である。ま
た、レーザ光の入射する面に反射防止膜33が形成されて
いるので、基板表面で発生する反射光がなく、正確な値
付けを行なうことができる。

第４図は本考案の基準板を光ディスク検査装置に装着
した状態を示す構成図である。図は光ディスクの反射率
測定における校正動作時を例示したものである。図にお
いて、前記第１図および第２図と同様のものは同一符号
を付して示す。４は光ディスク検査装置における光ディ
スクのクランプ機構、41はそのターンテーブル、５は光
学ヘッドである。光学ヘッド５は、一定光量のレーザ光
を出射するレーザ光源51、光アイソレータ52、レーザ光
源51から出射されたレーザ光を収束させ、標準試料片S0
〜S11の反射膜面上に焦点を結ばせる対物レンズ53、標
準試料片S0〜S11からの反射光を光アイソレータ52を介
して検出するフォトセンサ54、フォトセンサ54の出力を
増幅するアンプ55などにより構成されている。

このような校正動作時においては、基板部１を回転さ
せるだけで、任意の標準試料片S0〜S11を光学ヘッド５
の上部にセットすることができる。したがって、このと
きの標準試料片S0〜S11の値と測定出力Soとの関係をプ
ロットし、この測定点間を補間すれば、対物レンズ53な
どの光学系やフォトセンサ54、アンプ55などの電気回路
系を含めた測定系全体の校正曲線を一度に得ることがで
きる。また、各標準試料片S0〜S11における反射膜面の
高さが通常の光ディスクにおける記録膜面の高さと等し
く形成されているので、光学ヘッド５と反射膜32との距
離が光ディスクの測定時と等しくなり、フォーカスサー
ボの状態など、実際の測定時に近い条件で校正動作を行
なうことができる。

なお、上記の説明においては、光ディスクの反射率測
定時の校正動作を例示したが、測定項目が変更された場
合にも、基準板の装着方法は変わらず、所望の標準試料
片S0〜S11を容易にセットすることができる。また、光
学ヘッド５としては、光ディスクの下側からレーザ光を
照射する形式のものを例示したが、反対に、光ディスク
の上側からレーザ光を照射するものも存在する。このよ
うな場合には、光ディスクの記録幕面の位置はディスク
の下側となるので、基準板における反射膜面または透過
膜面の位置および高さもこれに応じて変更される。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案の光ディスク検査装置校
正用標準板では、通常の光ディスクと等しい板厚を有す
るガラス基板の一方の面に誘電体多層膜よりなる反射膜
または透過膜が形成されるとともに他方の面に反射防止
膜が形成され所定の基準値に値付けされた複数の標準試
料片と、光ディスクのクランプ機構により共通にクラン
プされるクランプ部を有し前記複数の標準試料片を同一
円周上に配置するとともにこれら複数の標準試料片をそ
の反射膜面の位置およびクランプ面からの高さが前記ク
ランプ機構にクランプされる通常の光ディスクの記録膜
面と一致するように保持する基板部とを具備するように
しているので、複数の標準試料片を特別の治具などを使
用することなく光ディスクと共通のクランプ機構により
クランプすることができ、基板部を回転させるだけで、
任意の標準試料片を順次光学ヘッドの上部に正確にセッ
トすることができるとともに、レーザ光の照射による温
度上昇に対しても反射率などが変化してしまうことがな
く、しかも標準試料に対して、正確な値付けを行なうこ
とのできる光ディスク検査装置校正用基準板を簡単な構
成により実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本考案の光ディスク検査装置校正
用基準板の一実施例を示す構成図および断面図、第３図
は標準試料片S0〜S11の形成例を示す断面図、第４図は
本考案の基準板を光ディスク検査装置に装着した状態の
一例を示す構成図である。 S0〜S11……標準試料片、１……基板部、２……クラン
プ部、31……ガラス基板、32……反射膜または透過膜、
33……反射防止膜、４……クランプ機構、５……光学ヘ
ッド。

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】通常の光ディスクと等しい板厚を有するガ
   ラス基板の一方の面に誘電体多層膜よりなる反射膜また
   は透過膜が形成されるとともに他方の面に反射防止膜が
   形成され所定の基準値に値付けされた複数の標準試料片
   と、光ディスクのクランプ機構により共通にクランプさ
   れるクランプ部を有し前記複数の標準試料片を同一円周
   上に配置するとともにこれら複数の標準試料片をその反
   射膜面の位置およびクランプ面からの高さが前記クラン
   プ機構にクランプされる通常の光ディスクの記録膜面と
   一致するように保持する基板部とを具備してなる光ディ
   スク検査装置校正用基準板。