JP2503164Y2 - 気体温度計測装置 - Google Patents

気体温度計測装置

Info

Publication number
JP2503164Y2
JP2503164Y2 JP7063690U JP7063690U JP2503164Y2 JP 2503164 Y2 JP2503164 Y2 JP 2503164Y2 JP 7063690 U JP7063690 U JP 7063690U JP 7063690 U JP7063690 U JP 7063690U JP 2503164 Y2 JP2503164 Y2 JP 2503164Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
gas
cars
curse
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP7063690U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0430445U (ja
Inventor
松平 野田
順一郎 堀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP7063690U priority Critical patent/JP2503164Y2/ja
Publication of JPH0430445U publication Critical patent/JPH0430445U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2503164Y2 publication Critical patent/JP2503164Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、各種のバーナやエンジン筒内等の燃焼ガス
等のガス温度測定に適用される気体温度計測装置に関す
る。
〔従来の技術〕
従来の装置を第6図に示す。
第6図において、エキシマレーザ1から発振されたレ
ーザ光2はハーフミラー3と全反射ミラー4により二つ
に分割され、それぞれ色素レーザ5,6を励起し、それぞ
れ異なる波数wp,wsのレーザ光を発振させる。
ここで、波数wpのレーザ光をポンピング光7,波数ws
レーザ光をストークス光8と呼ぶ。
ストークス光8の波数wsは、ポンピング光7の波数wp
との波数の差wp−wsが、計測したい気体分子(こゝでは
窒素分子)の振動エネルギー準位差(基底準位と第一励
起準位のエネルギの差)に等しくなるように調整されて
いる。
上記ポンピング光7とストークス光8は、特定の波数
の光のみ反射し、それ以外の波数の光は通過させるダイ
クロイックミラー9と全反射ミラー10により、一つに合
成され、レンズ11により計測点12に集光される。
上記計測点12を含む空間をテストセクション13と呼
ぶ。
上記計測点12からは、2つのレーザ光7,8の波数の差
と気体分子の振動エネルギ準位差が等しくなるように調
整されているため、そこに存在する気体分子により第3
の光であるカース(コヒーレント・非ストークス・ラマ
ン拡散;以下CARSとする)光が発生し、このCARS光は他
の2つのレーザ光7,8と共にレンズ14により平行光とな
り、ダイクロイックミラー15により、反射される光16と
透過するレーザ光7,8とに分離される。
上記ダイクロイックミラー15により反射された光16に
は、CARS光とごくわずかのレーザ光7,8が残っており、
更に、ダイクロイックフィルタ17を使用して、CARS光と
レーザ光を分離する。
この分離されたCARS光19はレンズ20を通して光ファイ
バ21の一端21aに入射され、入射口より離れた場所にあ
る上記光ファイバ21の他端より出射したCARS光19はレン
ズ22により分光器23に導びかれる。
分光器23で分光されたCARS光は、光電変換器24で電圧
に変換され、信号処理器25によりスペクトル波形が得ら
れる。
このスペクトル波形には、レーザ光の波長特性や受光
側の感度特性が含まれているので、それらを補正する必
要があり、そのために非共鳴CARS光が補正用の参照光と
して用いられる。
このCARS光の補正に用いる参照光を得るためには、上
記ダイクロイックフィルタ17は光路から取り除かれ、ま
た、2つのレーザ光が集光される空間にはArガス13bが
吐出され上記気体分子はパージされた状態とする。
上記の状態で、2つのレーザ光が入射した空間では、
Arガスにより非共鳴CARS光が発生し、ダイクロイックミ
ラー15がわずかのレーザ光を含んだ非共鳴CARS光を反射
して光ファイバ21に入射する。
上記わずかのレーザ光が光ファイバ21の端面21aに入
射することにより強度の大きい非共鳴CARS光が得られ、
この非共鳴CARS光は分光器23を介して光電変換器24に入
射され、電気信号に変換され、信号処理器25により参照
光である非共鳴CARS光のスペクトル波形が得られる。
第3図はこのようにして得られた参照光を示してお
り、これは装置全体の感度曲線を表わすもので、この参
照光とCARS光との強度比をとることにより正確なCARSス
ペクトラムが得られる。
このようにして得られたスペクトル波形は第5図に示
すものであり、これをあらかじめ理論計算により求めた
第4図に示すスペクトル波形と順次比較し、最も良い一
致を見た理論スペクトルの温度から計測点の温度が求め
られる。例えば、第5図の曲線とほゞ同一の曲線を第4
図中より探すことにより、400K位と判断される。
なお、上記ダイクロイックミラー又はフィルタとは、
誘電体多層膜ミラー又はフィルタのことであり、ガスラ
基板の表面に低屈折率の物質と高屈折率の物質を使用す
る波長域に対応する厚みで交互に蒸着させたものであ
る。
このように形成され、特定の波長域の光を反射させて
他の波長域の光を透過させるものがダイクロイックミラ
ーであり、特定の波長域の光を透過させて他の波長域の
光を反射させるものがダイクロイックフィルタであっ
て、前者は反射光の利用を目的とし、後者は透過光の利
用を目的とする。
上記ダイクロイックの語は、通常、単独では使用され
ない。
〔考案が解決しようとする課題〕
従来の装置においては、2つレーザ光が焦点を結ぶテ
ストセクションで気体分子により発生するCARS光は、波
長帯域が同じであるファイバ端面により生じ参照光とし
て用いる非共鳴CARS光に重畳されるため、正確な参照光
を得るために、テストセクションをArガスでパージし、
テストセクションから被計測気体分子を排除する必要が
あり、パージ装置を必要とし、計測に時間がかゝってい
た。
本考案は上記の課題を解決しようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本考案の気体温度計測装置は、2種類の波数が異なる
レーザ光を発生させ、上記2つのレーザ光の波数差を計
測する気体分子の振動エネルギ準位差に合わせて上記気
体が存在する空間に集光しCARS光を発生させ、同CARS光
を含む光をダイクロイックミラーに入射してCARS光を分
離し、同CARS光を光ファイバ、分光器を介して光電変換
器に入射し、光電変換された電気信号を信号処理器に入
力して気体分子CARS光をスペクトル解析し、スペクトル
波形の違いから気体温度を計測する気体温度計測装置に
おいて、上記ダイクロイックミラーにより反射され光フ
アイバに入射される光の光路にそれぞれ出し入れ可能に
設けられ、上記気体分子が発生するCARS光を透過し2つ
のレーザ光を反射する気体分子用のダイクロイックフィ
ルタと、上記2つのレーザ光を透過し気体分子が発生す
るCARS光を反射する参照光用のダイクロイックフィルタ
とを備えたことを特徴としている。
〔作用〕
上記において、気体分子より発生するCARS光を測定す
る場合は、気体分子用のダイクロイックフィルタを光路
に挿入した状態として、気体分子が存在する空間に2つ
のレーザを集光してCARS光を発生させ、ダイクロイック
ミラーがCARS光を反射分離し、同CARS光は更に気体分子
用のダイクロイックフィルタにより残ったわずかのレー
ザ光が除去された後、光ファイバ、分光器、光電変換器
を経て電気信号に変換され、信号処理器によりスペクト
ル波形が得られる。
次に、参照光を得る場合には、上記気体分子用のダイ
クロイックフィルタは光路から取り除かれ、参照光用の
ダイクロイックフィルタが挿入される。参照光用のダイ
クロイックフィルタは、気体分子用のダイクロイックフ
ィルタと波長帯域が異なり気体分子からのCARS光のみを
反射し、2つのレーザ光を透過するように作られてい
る。上記の状態で、気体分子が存在する空間から発生し
たCARS光は、参照光用のダイクロイックフィルタで反射
され除去され、残ったわずかのレーザ光が参照光用のダ
イクロイックフィルタを透過して光ファイバに入射す
る。上記わずかのレーザ光が光ファイバ端面に入射する
ことにより、非共鳴CARS光が得られ、この非共鳴CARS光
は分光器を介して光電変換器に入射され電気信号に変換
され、信号処理器により参照光である非共鳴CARS光のス
ペクトル波形が得られる。
上記CARS光は参照光により補正され、気体分子の温度
が計測されるが、上記参照光は気体分子からのCARS光が
参照光用のダイクロイックフィルタにより反射除去され
ているためCARS光を含まず、またレーザ光が入射された
光ファイバ端面により強度の大きい非共鳴CARS光が得ら
れるため、参照光により補正されたCARSスペクトラムは
正確なものとなり、高い精度の気体温度が得られる。
上記により、従来の装置にて使用していたArガスのパ
ージ装置は不要となり、気体分子をArガスでパージする
必要がなくなるため、短時間で簡単に非共鳴CARS光を計
測することが可能となり、また強度が大きくノイズの少
ない参照光が得られるため、気体の温度計測の精度を高
めることが可能となった。
〔実施例〕
本考案の一実施例を第1図に示す。
第1図に示す本実施例は、エキシマレーザ1より出力
されたレーザ光2がハーフミラー3に入光し、同ハーフ
ミラー3は上記レーザ光2の一部を反射し残りを透過
し、反射したレーザ光は色素レーザ5を介してダイクロ
イックミラー9に入光し反射され、透過したレーザ光は
全反射ミラー4により反射して色素レーザ6に入光し、
同色素レーザ6はストークス光8を出力して全反射ミラ
ー10に入光し反射され、同全反射ミラー10により反射さ
れたストークス光8は上記ダイクロイックミラー9を透
過し、上記ダイクロイックミラー9により反射されたポ
ンピング光7と合成され、レンズ11を介してテストセク
ション13の計測点12に集光され、計測される窒素ガスが
CARS光を発生し、同CARS光はレーザ光と共にレンズ14を
介してダイクロイックミラー15に入光し、同ダイクロイ
ックミラー15は大部分のレーザ光を透過して1部のレー
ザ光とCARS光よりなる光16を反射し、同反射された光16
はレンズ20,光ファイバ21,レンズ22を介して分光器23に
入力され、光電変換器24により電気信号に変換されて信
号処理器25に入力されるCARS参照光計測装置において、
上記ダイクロイックミラー15により反射されたCARS光と
1部のレーザ光よりなる光16の光路にそれぞれ出し入れ
され、窒素ガスが発生するCARS光を透過しレーザ光であ
るポンピング光7とストークス光8を反射する気体分子
用のダイクロイックフィルタ17と、上記レーザ光である
ポンピング光7とストークス光8を透過しCARS光を反射
する参照光用のダイクロイックフィルタ18とを備えてい
る。
本実施例においては、窒素ガス分子より発生するCARS
光を測定する場合、CARS光と2つのレーザ光がダイクロ
イックミラー15により反射、または透過されるまでは従
来と同様のため、その作用の説明を省略する。
上記において、CARS光を測定する場合、気体分子用の
ダイクロイックフィルタ17が光路に挿入されており、ダ
イクロイックミラー15より反射されたCARS光とごくわず
かのレーザ光よりなる光16は、光路に直角に設けたダイ
クロイックフィルタ17に入光し、CARS光はフィルタを透
過し、レーザ光は反射され除去される。
上記分離されたCARS光19は従来と同様にレンズ20,22
と光ファイバ21により分光器23に導かれ、光電変換器24
により光電変換され信号処理器25によりスペクトル波形
が得られる。
次に、参照光を得る場合には、ダイクロイックフィル
タ17は光路より除かれ、代りにダイクロイックフィルタ
18が挿入される。上記計測点12から発生したCARS光と2
つのレーザ光はレンズ14を介してダイクロイックミラー
15に入射し、反射される光16と透過するレーザ光7,8に
分離される。上記ダイクロイックミラー15により反射さ
れた光16には、CARS光とわずかのレーザ光7,8が残って
おり、CARS光はダイクロイックフィルタ18により反射さ
れ除去され、フィルタを透過したレーザ光はレンズ20を
介して端面21aに集光され、光ファイバ21に入射する。
上記レーザ光7,8が光ファイバ21に入射した場合、発
生する非共鳴CARS光は分子の密度の二乗に比例するた
め、上記レーザ光は密度が大きい光ファイバ21の端面21
aにより非共鳴CARS光を発生し、分光器23に導かれ、光
電変換器24により光電変換され信号処理器25により参照
光のスペクトル波形が得られる。
上記参照光は、計測したい気体分子より発生するCARS
光を含まず、強度が大きいため、CARS光との強度比をと
ることによって得られる波長特性や感度特性が補正され
たCARSスペクトラムはより正確なものとなり、理論スペ
クトル波形との比較によって計測点12の温度は高い精度
のものが得られる。
上記により、従来の装置にて使用していたArガスのパ
ージ装置が不要となるため、参照光の計測が短時間で簡
単にでき、また強度が大きくノイズの少ない参照光が得
られるため、温度計測の精度を高めることが可能となっ
た。
なお、第2図は上記ダイクロイックフィルタ17,18の
波長帯域とその効果を示しており、ダイクロイックフィ
ルタ17はポンピング光(波長480nm)とストークス光
(波長540nm)をカットし、ダイクロイックフィルタ18
はCARS光(430nm)をカットする。
〔考案の効果〕
本考案のCARS参照光計測装置は、参照光を得る場合、
2つのレーザ光が集光される空間からのCARS光とレーザ
光を入射したダイクロイックミラーの反射光の光路に設
けられたCARS光を透過するダイクロイックフィルタをレ
ーザ光を透過するダイクロイックフィルタと交換し、わ
ずかのレーザ光を光ファイバの端面に入射し非共鳴CARS
光を発生させることによって、従来の装置にて使用して
いたArガスのパージ装置は不要となり、参照光の計測が
短時間で簡単にでき、強度が大きくノイズが少ない参照
光が得られるため、気体の温度計測の精度を高めること
が可能となった。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の説明図、第2図は上記一実
施例に係る2種類のダイクロイックフィルタの波長帯域
図、第3図は参照光のスペクトル図、第4図は理論計算
により得られたCARS光のスペクトル図、第5図は実験に
よって得られたN2ガスのCARS光のスペクトル図、第6図
は従来の装置の説明図である。 1……エキシマレーザ、2……エキシマレーザ光、3…
…ハーフミラー、4……全反射ミラー、5……色素レー
ザ、6……色素レーザ、7……ポンピング光、8……ス
トークス光、9……ダイクロイックミラー、10……全反
射ミラー、11……レンズ、12……計測点、13……テスト
セクション、13a……Arガス噴射ノズル、13b……Ar
ス、14……レンズ、15……ダイクロイックミラー、16…
…反射光、17……ダイクロイックフィルタ、18……ダイ
クロイックフィルタ、19……CARS光、20……レンズ、21
……光ファイバ、21a……端面、22……レンズ、23……
分光器、24……光電変換器、25……信号処理器。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】2種類の波数が異なるレーザ光を発生さ
    せ、上記2つのレーザ光の波数差を計測する気体分子の
    振動エネルギ準位差に合わせて上記気体が存在する空間
    に集光しカース光を発生させ、同カース光を含む光をダ
    イクロイックミラーに入射してカース光を分離し、同カ
    ース光を光ファイバ、分光器を介して光電変換器に入射
    し、光電変換された電気信号を信号処理器に入力して気
    体分子カース光をスペクトル解析し、スペクトル波形の
    違いから気体温度を計測する気体温度計測装置におい
    て、上記ダイクロイックミラーにより反射され光ファイ
    バに入射される光の光路にそれぞれ出し入れ可能に設け
    られ、上記気体分子が発生するカース光を透過し2つの
    レーザ光を反射する気体分子用のダイクロイックフィル
    タと、上記2つのレーザ光を透過し気体分子が発生する
    カース光を反射する参照光用のダイクロイックフィルタ
    とを備えたことを特徴とする気体温度計測装置。
JP7063690U 1990-07-04 1990-07-04 気体温度計測装置 Expired - Lifetime JP2503164Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7063690U JP2503164Y2 (ja) 1990-07-04 1990-07-04 気体温度計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7063690U JP2503164Y2 (ja) 1990-07-04 1990-07-04 気体温度計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0430445U JPH0430445U (ja) 1992-03-11
JP2503164Y2 true JP2503164Y2 (ja) 1996-06-26

Family

ID=31606959

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7063690U Expired - Lifetime JP2503164Y2 (ja) 1990-07-04 1990-07-04 気体温度計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2503164Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116337273B (zh) * 2023-05-29 2023-07-28 中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所 一种基于双微透镜阵列的cars光谱多点测温装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0430445U (ja) 1992-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5544186A (en) Gas laser for emitting light modulated at two different wavelengths and an arrangement incorporating the gas laser to detect a gaseous substance
US8693004B2 (en) Dual-etalon cavity ring-down frequency-comb spectroscopy with broad band light source
US6151112A (en) High-resolution, compact intracavity laser spectrometer
US20030089854A1 (en) Apparatus and method for remotely sensing hydrocarbons and other pollutants in vehicle emissions
JP2002543380A (ja) 多重路分光において電磁波強度の減衰を測定するための装置及び方法
Bengtsson et al. Combined vibrational and rotational CARS for simultaneous measurements of temperature and concentrations of fuel, oxygen, and nitrogen
US20020171843A1 (en) Phase-based wavelength measurement apparatus
Westblom et al. Simultaneous multiple species detection in a flame using laser-induced fluorescence
JP2503164Y2 (ja) 気体温度計測装置
Ohara et al. Performance characteristics of power build-up cavity for Raman spectroscopic measurement
JP3219879B2 (ja) 波長検出装置
JPH031615B2 (ja)
JP2606146B2 (ja) スペクトル測定方法および装置
RU181296U1 (ru) Многокомпонентный лидарный газоанализатор среднего ик-диапазона
Westblom et al. Simultaneous multiple species detection in a flame using laser-induced fluorescence: Errata
JPS63308543A (ja) 散乱光測光装置
CN214502376U (zh) 一种大量程的光谱共焦位移检测装置
JP3213123B2 (ja) 気体の分光装置
JPH075400Y2 (ja) マルチチャンネルカース測定装置
Kiyokura et al. Small Fourier transform spectroscope using an integrated prism-scanning interferometer
JPS62203024A (ja) フアブリ・ペロ−分光装置
JPH05259534A (ja) 放電励起レーザにおける電子密度測定方法及び装置
JPH0459457U (ja)
JPH0320705B2 (ja)
JPS62273421A (ja) コヒ−レント反スト−クスラマン分光装置