JP2024087260A - Tape application device - Google Patents

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Abstract

【課題】従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供する。【解決手段】板状の被加工物の第１面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、被加工物の第２面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、ローラーの軸心の周りにローラーが回転できるようにローラーの両端部を支持する支持構造と、チャックテーブルと支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、ローラーの側面又は／及びチャックテーブルの保持面は、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第１面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。【選択図】図１[Problem] To provide a taping device that can apply a suitable pressure to adhere a protective tape to a workpiece compared to conventional taping devices. [Solution] A taping device that applies a protective tape to a first surface of a plate-shaped workpiece, comprising a chuck table having a holding surface that holds the second surface side of the workpiece, a columnar roller having a curved side, a support structure that supports both ends of the roller so that the roller can rotate around the axis of the roller, and a movement mechanism that moves the chuck table and the support structure relatively, and the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variations in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface side of the workpiece via the protective tape. [Selected Figure] Figure 1

Description

本発明は、板状の被加工物に保護テープを貼るテープ貼り装置に関する。 The present invention relates to a tape application device that applies protective tape to a plate-shaped workpiece.

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削や研削等の方法で加工する際には、チャックテーブルと呼ばれる保持具により被加工物が保持される。一方で、被加工物がチャックテーブルにより保持される際に、このチャックテーブルに対して被加工物の被保持面が直に接触すると、被加工物の被保持面に傷が付くことがある。 When processing plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers by methods such as cutting or grinding, the workpiece is held by a holder called a chuck table. However, when the workpiece is held by the chuck table, if the held surface of the workpiece comes into direct contact with the chuck table, the held surface of the workpiece may be scratched.

そこで、上述のような方法で被加工物を加工する前には、一般的に、被加工物の被保持面側に樹脂製の保護テープが貼付される。近年では、被加工物に対して保護テープが効率的に、且つ適切に貼付されるように、保護テープを介して被加工物にローラーで圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させるテープ貼り装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。 Therefore, before processing the workpiece using the above-mentioned method, a resin protective tape is generally applied to the held surface of the workpiece. In recent years, a tape application device has been proposed in which pressure is applied to the workpiece via the protective tape using a roller to bring the protective tape into close contact with the workpiece, so that the protective tape can be applied efficiently and appropriately to the workpiece (see, for example, Patent Document 1).

特開２００８－２７０５４３号公報JP 2008-270543 A

しかしながら、上述したテープ貼り装置では、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓むので、ローラーから被加工物に作用する圧力を被加工物の被保持面の全体で等しくすることが難しい。その結果、被加工物の被保持面の全体に保護テープが十分に密着しないことがあった。 However, in the above-mentioned tape application device, the roller bends when applying pressure to the workpiece, making it difficult to ensure that the pressure applied from the roller to the workpiece is equal across the entirety of the workpiece's held surface. As a result, the protective tape sometimes does not adhere sufficiently to the entirety of the workpiece's held surface.

よって、本発明の目的は、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供することである。 The object of the present invention is therefore to provide a tape application device that can apply a suitable amount of pressure to adhere protective tape to the workpiece, compared to conventional tape application devices.

本発明の一側面によれば、第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、を有する板状の被加工物の該第１面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、該被加工物の該第２面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第１面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第１面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、該ローラーの該側面又は／及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第１面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, there is provided a tape application device for applying a protective tape to the first surface of a plate-shaped workpiece having a first surface and a second surface opposite to the first surface, the tape application device comprising a chuck table having a holding surface for holding the second surface side of the workpiece, a columnar roller having a curved side, a support structure for supporting both ends of the roller so that the roller can rotate around the axis of the roller, and a support structure for supporting the roller via the protective tape so as to bring the protective tape into close contact with the first surface side of the workpiece held on the holding surface of the chuck table. and a movement mechanism that relatively moves the chuck table and the support structure so that the roller moves in a direction parallel to the holding surface and perpendicular to the axis while pressing the side surface against the first surface of the workpiece, and the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variation in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape.

好ましくは、該ローラーの該側面は、該ローラーの該両端部に比べて中央部で該軸心からの距離が大きくなるように湾曲している。また、好ましくは、該チャックテーブルの該保持面は、該軸心に対して平行な方向での両端部に比べて中央部が該ローラーに近くなるように凸形状に湾曲している。 Preferably, the side surface of the roller is curved so that the center is farther from the axis than the ends of the roller. Also, preferably, the holding surface of the chuck table is curved in a convex shape so that the center is closer to the roller than the ends in a direction parallel to the axis.

本発明の一側面にかかるテープ貼り装置では、ローラーの側面又は／及びチャックテーブルの保持面が、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第１面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。 In one aspect of the present invention, the side of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variations in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape.

そのため、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓んでも、ローラーから被加工物に作用する圧力のばらつきが抑制される。よって、本発明の一側面にかかるテープ貼り装置によれば、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができる。 Therefore, even if the roller bends when applying pressure to the workpiece, the variation in pressure acting from the roller to the workpiece is suppressed. Therefore, according to one aspect of the tape application device of the present invention, it is possible to apply an appropriate pressure to adhere the protective tape to the workpiece, compared to conventional tape application devices.

図１は、テープ貼り装置を模式的に示す側面図である。FIG. 1 is a side view that illustrates a typical taping apparatus. 図２は、テープ貼り装置を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a schematic diagram of the taping device. 図３は、テープ貼り装置のローラー等を模式的に示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a schematic diagram of the rollers and the like of the taping device. 図４は、ローラーが撓んだ状態を模式的に示す側面図である。FIG. 4 is a side view that illustrates a schematic diagram of the roller in a deflected state. 図５は、変形例にかかるテープ貼り装置のチャックテーブルを模式的に示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view that illustrates a chuck table of a taping device according to a modified example. 図６は、変形例にかかるテープ貼り装置のローラー等を模式的に示す側面図である。FIG. 6 is a side view showing a roller and the like of a taping device according to a modified example. 図７は、変形例にかかるローラーが撓んだ状態を模式的に示す側面図である。FIG. 7 is a side view showing a schematic diagram of a roller according to a modified example in a bent state.

以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかるテープ貼り装置２を模式的に示す側面図であり、図２は、テープ貼り装置２を模式的に示す平面図である。なお、図１では、説明の便宜上、一部の構成要素の断面が示され、別の一部の構成要素が機能ブロックで表現されている。また、図２では、一部の構成要素が省略されている。更に、以下の説明で用いられるＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、互いに垂直である。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a side view that shows a schematic diagram of a tape application device 2 according to this embodiment, and FIG. 2 is a plan view that shows a schematic diagram of the tape application device 2. For ease of explanation, FIG. 1 shows cross sections of some components, and other components are expressed as functional blocks. In FIG. 2, some components are omitted. Furthermore, the X-axis, Y-axis, and Z-axis used in the following explanation are perpendicular to each other.

図１及び図２に示されるように、テープ貼り装置２は、対象となる板状の被加工物１１を保持できるように構成されたチャックテーブル４を備えている。被加工物１１は、例えば、シリコン（Ｓｉ）等の半導体を主な材料として構成される円盤状のウェーハであり、円形状の表面（第１面）１１ａと、表面１１ａとは反対側の円形状の裏面（第２面）１１ｂと、表面１１ａと裏面１１ｂとを繋ぐ外周面１１ｃと、を有している。 As shown in Figures 1 and 2, the tape application device 2 is equipped with a chuck table 4 configured to hold a plate-shaped workpiece 11 to be processed. The workpiece 11 is, for example, a disk-shaped wafer mainly made of a semiconductor such as silicon (Si), and has a circular front surface (first surface) 11a, a circular back surface (second surface) 11b opposite the front surface 11a, and an outer peripheral surface 11c connecting the front surface 11a and the back surface 11b.

図２に示されるように、被加工物１１の表面１１ａ側は、互いに交差する複数のストリート（分割予定ライン）１３で複数の小領域に区画されており、各小領域には、集積回路（ＩＣ：Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。被加工物１１の外周面１１ｃを含む一部の領域には、ノッチ等と呼ばれ被加工物１１の向き（結晶方位等）を示す切り欠き部が設けられている。 As shown in FIG. 2, the surface 11a of the workpiece 11 is divided into a number of small regions by a number of mutually intersecting streets (planned division lines) 13, and a device 15 such as an integrated circuit (IC) is formed in each small region. Some regions, including the outer peripheral surface 11c of the workpiece 11, are provided with cutouts called notches or the like that indicate the orientation (crystal orientation, etc.) of the workpiece 11.

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体を主な材料として含む円盤状のウェーハが被加工物１１として示されているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等は、この態様に制限されない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等を主な材料として含む基板等が被加工物１１として用いられ得る。また、デバイス１５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等も、上述の態様に制限されない。被加工物１１には、デバイス１５等が形成されていなくてもよい。 In this embodiment, a disk-shaped wafer containing a semiconductor such as silicon as its main material is shown as the workpiece 11, but the material, shape, structure, size, etc. of the workpiece 11 are not limited to this aspect. For example, a substrate containing other semiconductors, ceramics, resin, metal, etc. as its main material may be used as the workpiece 11. In addition, the type, number, shape, structure, size, arrangement, etc. of the devices 15 are not limited to the above aspect. The devices 15, etc. may not be formed on the workpiece 11.

図１に示されるように、この被加工物１１を保持するためのチャックテーブル４は、例えば、ステンレス鋼に代表される金属で構成された円盤状の枠体６を含む。枠体６の上面側には、円形状の開口を上端に持つ凹部６ａが設けられている。凹部６ａには、セラミックス等を用いて多孔質の円盤状に構成された保持板８が固定されている。この保持板８の上面（保持面）８ａは、Ｘ軸及びＹ軸に対して概ね平行に形成されており、被加工物１１を保持するための保持面として機能する。 As shown in FIG. 1, the chuck table 4 for holding the workpiece 11 includes a disk-shaped frame 6 made of a metal such as stainless steel. A recess 6a with a circular opening at the top end is provided on the upper surface of the frame 6. A porous disk-shaped holding plate 8 made of ceramics or the like is fixed to the recess 6a. The upper surface (holding surface) 8a of the holding plate 8 is formed roughly parallel to the X-axis and Y-axis, and functions as a holding surface for holding the workpiece 11.

保持板８の下面側は、枠体６の内部に設けられた流路（不図示）や、枠体６の外部に配置されたバルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。そのため、例えば、被加工物１１の裏面１１ｂを保持板８の上面８ａに接触させて、バルブを開き、吸引源の負圧を作用させれば、被加工物１１は、その表面１１ａが上方に露出するように、負圧の吸引力でチャックテーブル４に保持される。 The lower side of the holding plate 8 is connected to a suction source (not shown) such as an ejector via a flow path (not shown) provided inside the frame 6 or a valve (not shown) located outside the frame 6. Therefore, for example, if the back surface 11b of the workpiece 11 is brought into contact with the upper surface 8a of the holding plate 8, the valve is opened, and negative pressure from the suction source is applied, the workpiece 11 is held on the chuck table 4 by the suction force of the negative pressure so that the surface 11a is exposed upward.

チャックテーブル４の上方には、被加工物１１に保護テープ２１を密着させるためのローラー１０が配置されている。図３は、ローラー１０等を模式的に示す側面図である。図１、図２、及び図３に示されるように、このローラー１０は、代表的には、金属等の材料で構成される円柱状の軸部材１２と、軸部材１２を覆うようにシリコンゴム等の材料で構成される円筒状のカバー部材１４と、を含む。被加工物１１に保護テープ２１を密着させる際には、カバー部材１４の曲面状の側面１４ａが保護テープ２１に接触する。 A roller 10 is disposed above the chuck table 4 for adhering the protective tape 21 to the workpiece 11. FIG. 3 is a side view showing the roller 10 and the like. As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the roller 10 typically includes a cylindrical shaft member 12 made of a material such as metal, and a cylindrical cover member 14 made of a material such as silicone rubber to cover the shaft member 12. When adhering the protective tape 21 to the workpiece 11, the curved side surface 14a of the cover member 14 comes into contact with the protective tape 21.

円柱の一対の底部に相当する軸部材１２の両端部は、支持構造１６により支持されている。具体的には、支持構造１６は、図３に示されるように、一対の支持アーム１６ａ、１６ｂを含み、軸部材１２の両端面の中心を通る軸心の周りに軸部材１２が回転できるように、各支持アーム１６ａ、１６ｂの下端部で軸部材１２の両端部を支持する。図２及び図３に示されるように、軸部材１２は、その軸心が、Ｘ軸に沿う方向（第１方向）に対して概ね垂直なＹ軸に沿う方向（第２方向）を向くように、支持構造１６により支持される。 The ends of the shaft member 12, which correspond to a pair of bottoms of the cylinder, are supported by a support structure 16. Specifically, as shown in FIG. 3, the support structure 16 includes a pair of support arms 16a, 16b, and supports both ends of the shaft member 12 at the lower ends of each support arm 16a, 16b so that the shaft member 12 can rotate around an axis passing through the center of both end faces of the shaft member 12. As shown in FIG. 2 and FIG. 3, the shaft member 12 is supported by the support structure 16 so that its axis faces in a direction (second direction) along the Y axis that is approximately perpendicular to a direction (first direction) along the X axis.

図１に示されるように、支持構造１６には、移動機構１８が連結されている。移動機構１８は、例えば、モーター等の回転運動を直線運動に変換するボールねじ（不図示）を含み、Ｘ軸に沿う方向（第１方向、保持板８の上面８ａに沿う方向に平行で軸部材１２の軸心に垂直な方向）に支持構造１６を移動させる。また、移動機構１８は、エアシリンダ等で構成されるアクチュエータ（不図示）を含み、Ｚ軸に沿う方向（第３方向）に支持構造１６を移動させる。 As shown in FIG. 1, a moving mechanism 18 is connected to the support structure 16. The moving mechanism 18 includes, for example, a ball screw (not shown) that converts the rotational motion of a motor or the like into linear motion, and moves the support structure 16 in a direction along the X-axis (first direction, a direction parallel to the direction along the upper surface 8a of the holding plate 8 and perpendicular to the axis of the shaft member 12). The moving mechanism 18 also includes an actuator (not shown) formed of an air cylinder or the like, and moves the support structure 16 in a direction along the Z-axis (third direction).

図１に示されるように、例えば、チャックテーブル４の上面８ａに保持された被加工物１１の表面１１ａ側に保護テープ２１を密着させる際には、ローラー１０と被加工物１１の表面１１ａとの間に保護テープ２１が配置される。この状態で、移動機構１８が支持構造１６をＺ軸に沿う方向に移動させて、ローラー１０をチャックテーブル４に接近（つまり、下降）させることにより、ローラー１０の側面１４ａは、保護テープ２１を介して被加工物１１の表面１１ａ側に押し当てられる。 As shown in FIG. 1, for example, when the protective tape 21 is to be adhered to the surface 11a of the workpiece 11 held on the upper surface 8a of the chuck table 4, the protective tape 21 is placed between the roller 10 and the surface 11a of the workpiece 11. In this state, the movement mechanism 18 moves the support structure 16 in the direction along the Z axis to bring the roller 10 closer to the chuck table 4 (i.e., lowering it), so that the side surface 14a of the roller 10 is pressed against the surface 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21.

そして、移動機構１８が、支持構造１６とともに、ローラー１０をＸ軸に沿う方向に移動させる。つまり、ローラー１０の側面１４ａが、被加工物１１の表面１１ａ側に保護テープ２１を密着させるように保護テープ２１に圧力を掛けながら、被加工物１１の径方向に移動する。これにより、被加工物１１の表面１１ａ側に保護テープ２１が密着する。 Then, the moving mechanism 18 moves the roller 10 along the X-axis together with the support structure 16. That is, the side surface 14a of the roller 10 moves in the radial direction of the workpiece 11 while applying pressure to the protective tape 21 so as to bring the protective tape 21 into close contact with the surface 11a of the workpiece 11. This brings the protective tape 21 into close contact with the surface 11a of the workpiece 11.

図４は、ローラー１０が撓んだ状態を模式的に示す側面図である。図４に示されるように、ローラー１０を下降させ、保護テープ２１を介してローラー１０の側面１４ａを被加工物１１の表面１１ａ側に押し当てると、被加工物１１側からローラー１０に作用する上向きの力によって、ローラー１０の中央部が上方に移動するようにローラー１０が撓む。よって、従来の一般的なチャックテーブルとローラーとが使用される場合には、ローラーの両端部に比べてローラーの中央部で保護テープ２１への圧力が不足し、保護テープ２１が被加工物１１に密着し難くなる。 Figure 4 is a side view showing the roller 10 in a bent state. As shown in Figure 4, when the roller 10 is lowered and the side surface 14a of the roller 10 is pressed against the surface 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21, the roller 10 is bent so that the center of the roller 10 moves upward due to the upward force acting on the roller 10 from the workpiece 11. Therefore, when a conventional general chuck table and roller are used, the pressure on the protective tape 21 is insufficient at the center of the roller compared to both ends of the roller, making it difficult for the protective tape 21 to adhere to the workpiece 11.

そこで、本実施形態では、両端部に比べて中央部で軸部材１２の軸心（つまり、回転軸）からの距離が大きくなるように湾曲した側面１４ａを持つローラー１０が使用される。言い換えれば、ローラー１０の側面１４ａは、その両端部に比べて中央部が保持板８の上面８ａに近くなるように、凸形状に湾曲している。 Therefore, in this embodiment, a roller 10 is used that has a curved side surface 14a such that the distance from the axis of the shaft member 12 (i.e., the axis of rotation) is greater at the center than at both ends. In other words, the side surface 14a of the roller 10 is curved in a convex shape so that the center is closer to the upper surface 8a of the holding plate 8 than at both ends.

従って、保護テープ２１を介してローラー１０の側面１４ａを被加工物１１の表面１１ａ側に押し当てる際に、ローラー１０の中央部が上方に移動するようにローラー１０が撓むと、図４に示されるように、ローラー１０の側面１４ａの保護テープ２１に接触する部分は、直線に近い形をとる。その結果、ローラー１０から保護テープ２１及び被加工物１１に作用する圧力のばらつきが抑制される。 Therefore, when the side surface 14a of the roller 10 is pressed against the surface 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21, if the roller 10 bends so that the center of the roller 10 moves upward, the portion of the side surface 14a of the roller 10 that contacts the protective tape 21 takes on a shape that is close to a straight line, as shown in FIG. 4. As a result, the variation in the pressure acting from the roller 10 on the protective tape 21 and the workpiece 11 is suppressed.

なお、ローラー１０の両端部における軸部材１２の軸心と側面１４ａとの距離と、ローラー１０の中央部における軸部材１２の軸心と側面１４ａとの距離と、の差は、代表的には、０．１ｍｍ～０．５ｍｍ程度である。ただし、この距離の差は、ローラー１０から被加工物１１等に作用させる圧力の大きさや、ローラー１０やチャックテーブル４の材質、ローラー１０やチャックテーブル４のサイズ等に応じて変更され得る。 The difference between the distance between the axis of the shaft member 12 and the side surface 14a at both ends of the roller 10 and the distance between the axis of the shaft member 12 and the side surface 14a at the center of the roller 10 is typically about 0.1 mm to 0.5 mm. However, this difference in distance can be changed depending on the amount of pressure applied from the roller 10 to the workpiece 11, the material of the roller 10 and the chuck table 4, the size of the roller 10 and the chuck table 4, etc.

以上のように、本実施形態にかかるテープ貼り装置２では、ローラー１０の側面１４ａが、両端部に比べて中央部で軸部材１２の軸心（回転軸）からの距離が大きくなるように湾曲している。言い換えれば、ローラー１０の側面１４ａが、この側面１４ａが保護テープ２１を介して被加工物１１の表面（第１面）１１ａ側に押し当てられる際のローラー１０の変形に起因して生じるローラー１０から表面１１ａへの圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。 As described above, in the tape application device 2 according to this embodiment, the side surface 14a of the roller 10 is curved so that the distance from the axis (rotation axis) of the shaft member 12 is greater at the center than at both ends. In other words, the side surface 14a of the roller 10 is configured to have a shape that can suppress the variation in pressure from the roller 10 to the surface 11a caused by the deformation of the roller 10 when the side surface 14a is pressed against the surface (first surface) 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21.

そのため、被加工物１１に圧力を掛ける際にローラー１０が撓んでも、ローラー１０から被加工物１１に作用する圧力のばらつきが抑制される。つまり、本実施形態にかかるテープ貼り装置２によれば、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物１１に保護テープ２１を密着させることができる。 Therefore, even if the roller 10 bends when applying pressure to the workpiece 11, the variation in the pressure acting from the roller 10 to the workpiece 11 is suppressed. In other words, the tape application device 2 according to this embodiment can apply an appropriate pressure to adhere the protective tape 21 to the workpiece 11, compared to conventional tape application devices.

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施され得る。例えば、上述した実施形態では、太さが一定である円柱状の軸部材１２と、厚みが一定ではないカバー部材１４と、によって、ローラー１０の湾曲した側面１４ａが実現されているが、別の構造によってローラーの湾曲した側面が実現されてもよい。例えば、両端部に比べて中央部が太い軸部材と、厚みが一定のカバー部材と、によって、同様の湾曲した側面が実現され得る。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and may be modified in various ways. For example, in the above-described embodiment, the curved side surface 14a of the roller 10 is realized by a cylindrical shaft member 12 with a constant thickness and a cover member 14 with a variable thickness, but the curved side surface of the roller may be realized by a different structure. For example, a similar curved side surface may be realized by a shaft member with a thicker center portion than both ends, and a cover member with a constant thickness.

また、上述した実施形態では、ローラー１０の側面１４ａが凸形状に湾曲しているが、チャックテーブル４の上面８ａが凸形状に湾曲していてもよい。図５は、変形例にかかるテープ貼り装置２２のチャックテーブル２４を模式的に示す断面図である。図５に示されるように、変形例にかかるテープ貼り装置２２のチャックテーブル２４の構造は、上述した実施形態にかかるテープ貼り装置２のチャックテーブル４の構造と同様である。 In addition, in the above-described embodiment, the side surface 14a of the roller 10 is curved in a convex shape, but the top surface 8a of the chuck table 4 may also be curved in a convex shape. FIG. 5 is a cross-sectional view showing a schematic diagram of the chuck table 24 of the tape application device 22 according to the modified example. As shown in FIG. 5, the structure of the chuck table 24 of the tape application device 22 according to the modified example is similar to the structure of the chuck table 4 of the tape application device 2 according to the above-described embodiment.

すなわち、変形例にかかるチャックテーブル２４は、円盤状の枠体２６を含む。枠体２６の上面側には、円形状の開口を上端に持つ凹部２６ａが設けられている。凹部２６ａには、セラミックス等を用いて多孔質の円盤状に構成された保持板２８が固定されている。この保持板２８の上面（保持面）２８ａが、被加工物１１を保持するための保持面として機能する。 That is, the chuck table 24 according to the modified example includes a disk-shaped frame 26. A recess 26a having a circular opening at its upper end is provided on the upper surface side of the frame 26. A holding plate 28 made of ceramics or the like and having a porous disk shape is fixed to the recess 26a. The upper surface (holding surface) 28a of the holding plate 28 functions as a holding surface for holding the workpiece 11.

なお、この変形例では、図５に示されるように、保持板２８の上面２８ａが、Ｘ軸に沿う方向から見て凸形状に湾曲している。また、Ｘ軸及びＺ軸に平行な平面で上面２８ａを切断すると、直線が得られる。つまり、変形例にかかる保持板２８の上面２８ａは、円柱の底面の弦を通り円柱の高さの方向に平行な平面でこの円柱を切断して得られる半円柱の側面（曲面）に沿うように形成されている。 In this modified example, as shown in FIG. 5, the upper surface 28a of the retaining plate 28 is curved in a convex shape when viewed in a direction along the X-axis. Furthermore, if the upper surface 28a is cut with a plane parallel to the X-axis and Z-axis, a straight line is obtained. In other words, the upper surface 28a of the retaining plate 28 in this modified example is formed to fit along the side surface (curved surface) of a semicylinder obtained by cutting the cylinder with a plane that passes through the chord of the base of the cylinder and is parallel to the height direction of the cylinder.

保持板２８の下面側は、枠体２６の内部に設けられた流路（不図示）や、枠体２６の外部に配置されたバルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。そのため、例えば、被加工物１１の裏面１１ｂを保持板２８の上面２８ａに接触させて、バルブを開き、吸引源の負圧を作用させれば、被加工物１１は、その表面１１ａが上方に露出するように、負圧の吸引力でチャックテーブル２４に保持される。 The lower side of the holding plate 28 is connected to a suction source (not shown) such as an ejector via a flow path (not shown) provided inside the frame 26 or a valve (not shown) arranged outside the frame 26. Therefore, for example, when the back surface 11b of the workpiece 11 is brought into contact with the upper surface 28a of the holding plate 28, the valve is opened, and negative pressure from the suction source is applied, the workpiece 11 is held on the chuck table 24 by the suction force of the negative pressure so that the front surface 11a is exposed upward.

チャックテーブル２４の上方には、被加工物１１に保護テープ２１を密着させるためのローラー３０が配置されている。図６は、変形例にかかるテープ貼り装置２２のローラー３０等を模式的に示す側面図である。図６に示されるように、変形例にかかるテープ貼り装置２２のローラー３０等の構造も、上述した実施形態にかかるテープ貼り装置２のローラー１０等の構造と同様である。 A roller 30 is disposed above the chuck table 24 for adhering the protective tape 21 to the workpiece 11. FIG. 6 is a side view showing a schematic diagram of the roller 30 and the like of the tape application device 22 according to the modified example. As shown in FIG. 6, the structure of the roller 30 and the like of the tape application device 22 according to the modified example is similar to the structure of the roller 10 and the like of the tape application device 2 according to the embodiment described above.

すなわち、変形例にかかるローラー３０は、代表的には、金属等の材料で構成される円柱状の軸部材３２と、軸部材３２を覆うようにシリコンゴム等の材料で構成される円筒状のカバー部材３４と、を含む。被加工物１１に保護テープ２１を密着させる際には、カバー部材３４の側面３４ａが保護テープ２１に接触する。 That is, the roller 30 according to the modified example typically includes a cylindrical shaft member 32 made of a material such as metal, and a cylindrical cover member 34 made of a material such as silicone rubber so as to cover the shaft member 32. When the protective tape 21 is brought into close contact with the workpiece 11, the side surface 34a of the cover member 34 comes into contact with the protective tape 21.

円柱の一対の底部に相当する軸部材３２の両端部は、支持構造３６により支持されている。具体的には、支持構造３６は、図６に示されるように、一対の支持アーム３６ａ、３６ｂを含み、軸部材３２の両端面の中心を通る軸心の周りに軸部材３２が回転できるように、各支持アーム３６ａ、３６ｂの下端部で軸部材３２の両端部を支持する。図６に示されるように、軸部材３２は、その軸心が、Ｘ軸に沿う方向（第１方向）に対して概ね垂直なＹ軸に沿う方向（第２方向）を向くように、支持構造１６により支持される。 The ends of the shaft member 32, which correspond to a pair of bottoms of the cylinder, are supported by a support structure 36. Specifically, as shown in FIG. 6, the support structure 36 includes a pair of support arms 36a, 36b, and supports both ends of the shaft member 32 at the lower ends of the support arms 36a, 36b so that the shaft member 32 can rotate around an axis passing through the center of both end faces of the shaft member 32. As shown in FIG. 6, the shaft member 32 is supported by the support structure 16 so that its axis faces in a direction (second direction) along the Y axis that is approximately perpendicular to a direction (first direction) along the X axis.

なお、この変形例にかかるローラー３０の側面３４ａは、その両端部と中央部とで回転軸（軸部材１２の回転軸）からの距離が概ね等しくなるように形成されている。つまり、変形例にかかるローラー３０としては、上述した実施形態のように両端部に比べて中央部で回転軸からの距離が大きくなるように側面１４ａが湾曲したローラー１０ではなく、従来の一般的なローラーが使用される。 The side surface 34a of the roller 30 in this modified example is formed so that the distance from the rotation axis (the rotation axis of the shaft member 12) is approximately equal at both ends and at the center. In other words, as the roller 30 in this modified example, a conventional general roller is used, rather than the roller 10 in the above-described embodiment in which the side surface 14a is curved so that the distance from the rotation axis is greater at the center than at both ends.

支持構造３６には、移動機構１８と同様の移動機構（不図示）が連結されている。この移動機構は、例えば、モーター等の回転運動を直線運動に変換するボールねじ（不図示）を含み、Ｘ軸に沿う方向（第１方向、保持板２８の上面２８ａに沿う方向に平行で軸部材３２の軸心に垂直な方向）に支持構造３６を移動させる。また、移動機構は、エアシリンダ等で構成されるアクチュエータ（不図示）を含み、Ｚ軸に沿う方向（第３方向）に支持構造３６を移動させる。 A moving mechanism (not shown) similar to the moving mechanism 18 is connected to the support structure 36. This moving mechanism includes, for example, a ball screw (not shown) that converts the rotational motion of a motor or the like into linear motion, and moves the support structure 36 in a direction along the X-axis (first direction, a direction parallel to the direction along the upper surface 28a of the holding plate 28 and perpendicular to the axis of the shaft member 32). The moving mechanism also includes an actuator (not shown) formed of an air cylinder or the like, and moves the support structure 36 in a direction along the Z-axis (third direction).

図７は、変形例にかかるローラー３０が撓んだ状態を模式的に示す側面図である。図７に示されるように、ローラー３０を下降させ、保護テープ２１を介してローラー３０の側面３４ａを被加工物１１の表面１１ａ側に押し当てると、被加工物１１側からローラー３０に作用する上向きの力によって、ローラー３０の中央部が上方に移動するようにローラー３０が撓む。 Figure 7 is a side view showing a schematic diagram of the roller 30 in a bent state according to the modified example. As shown in Figure 7, when the roller 30 is lowered and the side surface 34a of the roller 30 is pressed against the surface 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21, the roller 30 is bent such that the center of the roller 30 moves upward due to the upward force acting on the roller 30 from the workpiece 11 side.

そこで、この変形例では、Ｙ軸に沿う方向（軸部材３２の軸心に対して平行な方向）での両端部に比べて中央部がローラー１０に近くなるように上面２８ａが凸形状に湾曲したチャックテーブル２４が使用される。言い換えれば、チャックテーブル２４の上面２８ａは、そのＹ軸に沿う方向での両端部に比べて中央部の位置が高くなるように、上に凸となるように湾曲している。より具体的には、変形例にかかるチャックテーブルの上面２８ａは、円柱の底面の弦を通り円柱の高さの方向に平行な平面で円柱を切断して得られる半円柱の側面（曲面）に沿う形状を有している。 Therefore, in this modified example, a chuck table 24 is used in which the upper surface 28a is curved in a convex shape so that the center is closer to the roller 10 than both ends in the direction along the Y axis (direction parallel to the axis of the shaft member 32). In other words, the upper surface 28a of the chuck table 24 is curved to be convex upward so that the position of the center is higher than both ends in the direction along the Y axis. More specifically, the upper surface 28a of the chuck table in the modified example has a shape that follows the side surface (curved surface) of a semicylinder obtained by cutting a cylinder with a plane that passes through the chord of the base of the cylinder and is parallel to the height direction of the cylinder.

従って、保護テープ２１を介してローラー３０の側面３４ａを被加工物１１の表面１１ａ側に押し当てる際に、ローラー３０の中央部が上方に移動するようにローラー３０が撓むと、図７に示されるように、ローラー３０の側面１４ａの保護テープ２１に接触する部分の形状は、チャックテーブル２４の上面２８ａの形状に近くなる。その結果、ローラー３０から保護テープ２１及び被加工物１１に作用する圧力のばらつきが抑制される。 Therefore, when the side surface 34a of the roller 30 is pressed against the surface 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21, if the roller 30 bends so that the center of the roller 30 moves upward, the shape of the portion of the side surface 14a of the roller 30 that contacts the protective tape 21 becomes closer to the shape of the upper surface 28a of the chuck table 24, as shown in FIG. 7. As a result, the variation in the pressure acting from the roller 30 on the protective tape 21 and the workpiece 11 is suppressed.

なお、Ｙ軸に沿う方向でのチャックテーブル２４の上面２８ａの高低差（Ｙ軸に沿う方向での上面２８ａの両端部と中央部のＺ軸に沿う方向における距離）は、代表的には、０．１ｍｍ～０．５ｍｍ程度である。ただし、この高低差は、ローラー３０から被加工物１１等に作用させる圧力の大きさや、ローラー３０やチャックテーブル２４の材質、ローラー３０やチャックテーブル２４のサイズ等に応じて変更され得る。 The height difference of the upper surface 28a of the chuck table 24 in the direction along the Y axis (the distance in the direction along the Z axis between both ends and the center of the upper surface 28a in the direction along the Y axis) is typically about 0.1 mm to 0.5 mm. However, this height difference can be changed depending on the amount of pressure applied from the rollers 30 to the workpiece 11, the materials of the rollers 30 and the chuck table 24, the sizes of the rollers 30 and the chuck table 24, etc.

以上のように、変形例にかかるテープ貼り装置２２では、チャックテーブル２４の上面２８ａが、その両端部に比べて中央部がローラー３０に近くなるように凸形状に湾曲している。言い換えれば、チャックテーブル２４の上面（保持面）２８ａが、ローラー３０の側面３４ａが保護テープ２１を介して被加工物１１の表面（第１面）１１ａ側に押し当てられる際のローラー３０の変形に起因して生じるローラー３０から表面１１ａへの圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。 As described above, in the modified tape application device 22, the upper surface 28a of the chuck table 24 is curved in a convex shape so that the center is closer to the roller 30 than both ends. In other words, the upper surface (holding surface) 28a of the chuck table 24 is configured in a shape that can suppress variations in pressure from the roller 30 to the surface 11a caused by deformation of the roller 30 when the side surface 34a of the roller 30 is pressed against the surface (first surface) 11a of the workpiece 11 via the protective tape 21.

そのため、被加工物１１に圧力を掛ける際にローラー３０が撓んでも、ローラー３０から被加工物１１に作用する圧力のばらつきが抑制される。つまり、変形例にかかるテープ貼り装置２２も、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物１１に保護テープ２１を密着させることができる。 Therefore, even if the roller 30 bends when applying pressure to the workpiece 11, the variation in pressure acting from the roller 30 to the workpiece 11 is suppressed. In other words, the tape application device 22 according to the modified example can also apply an appropriate pressure to adhere the protective tape 21 to the workpiece 11 compared to conventional tape application devices.

なお、この変形例にかかるチャックテーブル２４は、上述した実施形態にかかるローラー１０と組み合わせて用いられてもよい。 The chuck table 24 of this modified example may be used in combination with the roller 10 of the above-described embodiment.

更に、上述した実施形態及び変形例では、移動機構がローラー（支持構造）側を移動させているが、移動機構は、チャックテーブル４側を移動させるように構成されてもよい。すなわち、移動機構は、チャックテーブルとローラー（支持構造）とを相対的に移動させることができるように構成されていればよい。 Furthermore, in the above-described embodiment and modified example, the moving mechanism moves the roller (support structure) side, but the moving mechanism may be configured to move the chuck table 4 side. In other words, the moving mechanism only needs to be configured to move the chuck table and the roller (support structure) relative to each other.

その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施され得る。 In addition, the structures, methods, etc. of the above-mentioned embodiments and modified examples may be modified as appropriate without departing from the scope of the purpose of the present invention.

２ ：テープ貼り装置
４ ：チャックテーブル
６ ：枠体
６ａ ：凹部
８ ：保持板
８ａ ：上面（保持面）
１０ ：ローラー
１２ ：軸部材
１４ ：カバー部材
１４ａ ：側面
１６ ：支持構造
１６ａ ：支持アーム
１６ｂ ：支持アーム
１８ ：移動機構
２２ ：テープ貼り装置
２４ ：チャックテーブル
２６ ：枠体
２６ａ ：凹部
２８ ：保持板
２８ａ ：上面（保持面）
３０ ：ローラー
３２ ：軸部材
３４ ：カバー部材
３４ａ ：側面
３６ ：支持構造
３６ａ ：支持アーム
３６ｂ ：支持アーム
１１ ：被加工物
１１ａ ：表面（第１面）
１１ｂ ：裏面（第２面）
１１ｃ ：外周面
１３ ：ストリート（分割予定ライン）
１５ ：デバイス
２１ ：保護テープ 2: Tape application device 4: Chuck table 6: Frame 6a: Recess 8: Holding plate 8a: Upper surface (holding surface)
REFERENCE SIGNS LIST 10: Roller 12: Shaft member 14: Cover member 14a: Side surface 16: Support structure 16a: Support arm 16b: Support arm 18: Movement mechanism 22: Tape application device 24: Chuck table 26: Frame 26a: Recess 28: Holding plate 28a: Upper surface (holding surface)
30: Roller 32: Shaft member 34: Cover member 34a: Side surface 36: Support structure 36a: Support arm 36b: Support arm 11: Workpiece 11a: Surface (first surface)
11b: Back side (second surface)
11c: Outer periphery 13: Street (planned division line)
15: Device 21: Protective tape

Claims (3)

第１面と、該第１面とは反対側の第２面と、を有する板状の被加工物の該第１面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、
該被加工物の該第２面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、
該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、
該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第１面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第１面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、
該ローラーの該側面又は／及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第１面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第１面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置。 A tape application device that applies a protective tape to a first surface of a plate-shaped workpiece having a first surface and a second surface opposite to the first surface,
a chuck table having a holding surface that holds the second surface side of the workpiece;
A columnar roller having a curved side surface;
a support structure for supporting both ends of the roller so that the roller can rotate about an axis of the roller;
a moving mechanism that relatively moves the chuck table and the support structure such that the roller moves in a direction parallel to a direction along the holding surface and perpendicular to the axis while pressing the side surface of the roller against the first surface side of the workpiece through the protective tape so as to bring the protective tape into close contact with the first surface side of the workpiece held on the holding surface of the chuck table,
A tape application device in which the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variation in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape. 該ローラーの該側面は、該ローラーの該両端部に比べて中央部で該軸心からの距離が大きくなるように湾曲している請求項１に記載のテープ貼り装置。 The tape application device according to claim 1, wherein the side surface of the roller is curved so that the distance from the axis center is greater at the center than at both ends of the roller. 該チャックテーブルの該保持面は、該軸心に対して平行な方向での両端部に比べて中央部が該ローラーに近くなるように凸形状に湾曲している請求項１又は請求項２に記載のテープ貼り装置。 The tape application device according to claim 1 or 2, wherein the holding surface of the chuck table is curved in a convex shape so that the center is closer to the roller than both ends in a direction parallel to the axis.
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