JP2024087260A - Tape application device - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供する。【解決手段】板状の被加工物の第1面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、被加工物の第2面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、ローラーの軸心の周りにローラーが回転できるようにローラーの両端部を支持する支持構造と、チャックテーブルと支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、ローラーの側面又は/及びチャックテーブルの保持面は、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第1面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第1面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。【選択図】図1[Problem] To provide a taping device that can apply a suitable pressure to adhere a protective tape to a workpiece compared to conventional taping devices. [Solution] A taping device that applies a protective tape to a first surface of a plate-shaped workpiece, comprising a chuck table having a holding surface that holds the second surface side of the workpiece, a columnar roller having a curved side, a support structure that supports both ends of the roller so that the roller can rotate around the axis of the roller, and a movement mechanism that moves the chuck table and the support structure relatively, and the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variations in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface side of the workpiece via the protective tape. [Selected Figure] Figure 1
Description
本発明は、板状の被加工物に保護テープを貼るテープ貼り装置に関する。 The present invention relates to a tape application device that applies protective tape to a plate-shaped workpiece.
半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を切削や研削等の方法で加工する際には、チャックテーブルと呼ばれる保持具により被加工物が保持される。一方で、被加工物がチャックテーブルにより保持される際に、このチャックテーブルに対して被加工物の被保持面が直に接触すると、被加工物の被保持面に傷が付くことがある。 When processing plate-shaped workpieces such as semiconductor wafers by methods such as cutting or grinding, the workpiece is held by a holder called a chuck table. However, when the workpiece is held by the chuck table, if the held surface of the workpiece comes into direct contact with the chuck table, the held surface of the workpiece may be scratched.
そこで、上述のような方法で被加工物を加工する前には、一般的に、被加工物の被保持面側に樹脂製の保護テープが貼付される。近年では、被加工物に対して保護テープが効率的に、且つ適切に貼付されるように、保護テープを介して被加工物にローラーで圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させるテープ貼り装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。 Therefore, before processing the workpiece using the above-mentioned method, a resin protective tape is generally applied to the held surface of the workpiece. In recent years, a tape application device has been proposed in which pressure is applied to the workpiece via the protective tape using a roller to bring the protective tape into close contact with the workpiece, so that the protective tape can be applied efficiently and appropriately to the workpiece (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、上述したテープ貼り装置では、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓むので、ローラーから被加工物に作用する圧力を被加工物の被保持面の全体で等しくすることが難しい。その結果、被加工物の被保持面の全体に保護テープが十分に密着しないことがあった。 However, in the above-mentioned tape application device, the roller bends when applying pressure to the workpiece, making it difficult to ensure that the pressure applied from the roller to the workpiece is equal across the entirety of the workpiece's held surface. As a result, the protective tape sometimes does not adhere sufficiently to the entirety of the workpiece's held surface.
よって、本発明の目的は、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができるテープ貼り装置を提供することである。 The object of the present invention is therefore to provide a tape application device that can apply a suitable amount of pressure to adhere protective tape to the workpiece, compared to conventional tape application devices.
本発明の一側面によれば、第1面と、該第1面とは反対側の第2面と、を有する板状の被加工物の該第1面に保護テープを貼るテープ貼り装置であって、該被加工物の該第2面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第1面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第1面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、該ローラーの該側面又は/及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第1面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第1面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, there is provided a tape application device for applying a protective tape to the first surface of a plate-shaped workpiece having a first surface and a second surface opposite to the first surface, the tape application device comprising a chuck table having a holding surface for holding the second surface side of the workpiece, a columnar roller having a curved side, a support structure for supporting both ends of the roller so that the roller can rotate around the axis of the roller, and a support structure for supporting the roller via the protective tape so as to bring the protective tape into close contact with the first surface side of the workpiece held on the holding surface of the chuck table. and a movement mechanism that relatively moves the chuck table and the support structure so that the roller moves in a direction parallel to the holding surface and perpendicular to the axis while pressing the side surface against the first surface of the workpiece, and the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variation in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape.
好ましくは、該ローラーの該側面は、該ローラーの該両端部に比べて中央部で該軸心からの距離が大きくなるように湾曲している。また、好ましくは、該チャックテーブルの該保持面は、該軸心に対して平行な方向での両端部に比べて中央部が該ローラーに近くなるように凸形状に湾曲している。 Preferably, the side surface of the roller is curved so that the center is farther from the axis than the ends of the roller. Also, preferably, the holding surface of the chuck table is curved in a convex shape so that the center is closer to the roller than the ends in a direction parallel to the axis.
本発明の一側面にかかるテープ貼り装置では、ローラーの側面又は/及びチャックテーブルの保持面が、ローラーの側面が保護テープを介して被加工物の第1面側に押し当てられる際のローラーの変形に起因して生じるローラーから第1面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。 In one aspect of the present invention, the side of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variations in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape.
そのため、被加工物に圧力を掛ける際にローラーが撓んでも、ローラーから被加工物に作用する圧力のばらつきが抑制される。よって、本発明の一側面にかかるテープ貼り装置によれば、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物に保護テープを密着させることができる。 Therefore, even if the roller bends when applying pressure to the workpiece, the variation in pressure acting from the roller to the workpiece is suppressed. Therefore, according to one aspect of the tape application device of the present invention, it is possible to apply an appropriate pressure to adhere the protective tape to the workpiece, compared to conventional tape application devices.
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。図1は、本実施形態にかかるテープ貼り装置2を模式的に示す側面図であり、図2は、テープ貼り装置2を模式的に示す平面図である。なお、図1では、説明の便宜上、一部の構成要素の断面が示され、別の一部の構成要素が機能ブロックで表現されている。また、図2では、一部の構成要素が省略されている。更に、以下の説明で用いられるX軸、Y軸、及びZ軸は、互いに垂直である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a side view that shows a schematic diagram of a
図1及び図2に示されるように、テープ貼り装置2は、対象となる板状の被加工物11を保持できるように構成されたチャックテーブル4を備えている。被加工物11は、例えば、シリコン(Si)等の半導体を主な材料として構成される円盤状のウェーハであり、円形状の表面(第1面)11aと、表面11aとは反対側の円形状の裏面(第2面)11bと、表面11aと裏面11bとを繋ぐ外周面11cと、を有している。
As shown in Figures 1 and 2, the
図2に示されるように、被加工物11の表面11a側は、互いに交差する複数のストリート(分割予定ライン)13で複数の小領域に区画されており、各小領域には、集積回路(IC:Integrated Circuit)等のデバイス15が形成されている。被加工物11の外周面11cを含む一部の領域には、ノッチ等と呼ばれ被加工物11の向き(結晶方位等)を示す切り欠き部が設けられている。
As shown in FIG. 2, the
なお、本実施形態では、シリコン等の半導体を主な材料として含む円盤状のウェーハが被加工物11として示されているが、被加工物11の材質、形状、構造、大きさ等は、この態様に制限されない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等を主な材料として含む基板等が被加工物11として用いられ得る。また、デバイス15の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等も、上述の態様に制限されない。被加工物11には、デバイス15等が形成されていなくてもよい。
In this embodiment, a disk-shaped wafer containing a semiconductor such as silicon as its main material is shown as the
図1に示されるように、この被加工物11を保持するためのチャックテーブル4は、例えば、ステンレス鋼に代表される金属で構成された円盤状の枠体6を含む。枠体6の上面側には、円形状の開口を上端に持つ凹部6aが設けられている。凹部6aには、セラミックス等を用いて多孔質の円盤状に構成された保持板8が固定されている。この保持板8の上面(保持面)8aは、X軸及びY軸に対して概ね平行に形成されており、被加工物11を保持するための保持面として機能する。
As shown in FIG. 1, the chuck table 4 for holding the
保持板8の下面側は、枠体6の内部に設けられた流路(不図示)や、枠体6の外部に配置されたバルブ(不図示)等を介して、エジェクタ等の吸引源(不図示)に接続されている。そのため、例えば、被加工物11の裏面11bを保持板8の上面8aに接触させて、バルブを開き、吸引源の負圧を作用させれば、被加工物11は、その表面11aが上方に露出するように、負圧の吸引力でチャックテーブル4に保持される。
The lower side of the
チャックテーブル4の上方には、被加工物11に保護テープ21を密着させるためのローラー10が配置されている。図3は、ローラー10等を模式的に示す側面図である。図1、図2、及び図3に示されるように、このローラー10は、代表的には、金属等の材料で構成される円柱状の軸部材12と、軸部材12を覆うようにシリコンゴム等の材料で構成される円筒状のカバー部材14と、を含む。被加工物11に保護テープ21を密着させる際には、カバー部材14の曲面状の側面14aが保護テープ21に接触する。
A
円柱の一対の底部に相当する軸部材12の両端部は、支持構造16により支持されている。具体的には、支持構造16は、図3に示されるように、一対の支持アーム16a、16bを含み、軸部材12の両端面の中心を通る軸心の周りに軸部材12が回転できるように、各支持アーム16a、16bの下端部で軸部材12の両端部を支持する。図2及び図3に示されるように、軸部材12は、その軸心が、X軸に沿う方向(第1方向)に対して概ね垂直なY軸に沿う方向(第2方向)を向くように、支持構造16により支持される。
The ends of the
図1に示されるように、支持構造16には、移動機構18が連結されている。移動機構18は、例えば、モーター等の回転運動を直線運動に変換するボールねじ(不図示)を含み、X軸に沿う方向(第1方向、保持板8の上面8aに沿う方向に平行で軸部材12の軸心に垂直な方向)に支持構造16を移動させる。また、移動機構18は、エアシリンダ等で構成されるアクチュエータ(不図示)を含み、Z軸に沿う方向(第3方向)に支持構造16を移動させる。
As shown in FIG. 1, a
図1に示されるように、例えば、チャックテーブル4の上面8aに保持された被加工物11の表面11a側に保護テープ21を密着させる際には、ローラー10と被加工物11の表面11aとの間に保護テープ21が配置される。この状態で、移動機構18が支持構造16をZ軸に沿う方向に移動させて、ローラー10をチャックテーブル4に接近(つまり、下降)させることにより、ローラー10の側面14aは、保護テープ21を介して被加工物11の表面11a側に押し当てられる。
As shown in FIG. 1, for example, when the
そして、移動機構18が、支持構造16とともに、ローラー10をX軸に沿う方向に移動させる。つまり、ローラー10の側面14aが、被加工物11の表面11a側に保護テープ21を密着させるように保護テープ21に圧力を掛けながら、被加工物11の径方向に移動する。これにより、被加工物11の表面11a側に保護テープ21が密着する。
Then, the
図4は、ローラー10が撓んだ状態を模式的に示す側面図である。図4に示されるように、ローラー10を下降させ、保護テープ21を介してローラー10の側面14aを被加工物11の表面11a側に押し当てると、被加工物11側からローラー10に作用する上向きの力によって、ローラー10の中央部が上方に移動するようにローラー10が撓む。よって、従来の一般的なチャックテーブルとローラーとが使用される場合には、ローラーの両端部に比べてローラーの中央部で保護テープ21への圧力が不足し、保護テープ21が被加工物11に密着し難くなる。
Figure 4 is a side view showing the
そこで、本実施形態では、両端部に比べて中央部で軸部材12の軸心(つまり、回転軸)からの距離が大きくなるように湾曲した側面14aを持つローラー10が使用される。言い換えれば、ローラー10の側面14aは、その両端部に比べて中央部が保持板8の上面8aに近くなるように、凸形状に湾曲している。
Therefore, in this embodiment, a
従って、保護テープ21を介してローラー10の側面14aを被加工物11の表面11a側に押し当てる際に、ローラー10の中央部が上方に移動するようにローラー10が撓むと、図4に示されるように、ローラー10の側面14aの保護テープ21に接触する部分は、直線に近い形をとる。その結果、ローラー10から保護テープ21及び被加工物11に作用する圧力のばらつきが抑制される。
Therefore, when the
なお、ローラー10の両端部における軸部材12の軸心と側面14aとの距離と、ローラー10の中央部における軸部材12の軸心と側面14aとの距離と、の差は、代表的には、0.1mm~0.5mm程度である。ただし、この距離の差は、ローラー10から被加工物11等に作用させる圧力の大きさや、ローラー10やチャックテーブル4の材質、ローラー10やチャックテーブル4のサイズ等に応じて変更され得る。
The difference between the distance between the axis of the
以上のように、本実施形態にかかるテープ貼り装置2では、ローラー10の側面14aが、両端部に比べて中央部で軸部材12の軸心(回転軸)からの距離が大きくなるように湾曲している。言い換えれば、ローラー10の側面14aが、この側面14aが保護テープ21を介して被加工物11の表面(第1面)11a側に押し当てられる際のローラー10の変形に起因して生じるローラー10から表面11aへの圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。
As described above, in the
そのため、被加工物11に圧力を掛ける際にローラー10が撓んでも、ローラー10から被加工物11に作用する圧力のばらつきが抑制される。つまり、本実施形態にかかるテープ貼り装置2によれば、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物11に保護テープ21を密着させることができる。
Therefore, even if the
なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施され得る。例えば、上述した実施形態では、太さが一定である円柱状の軸部材12と、厚みが一定ではないカバー部材14と、によって、ローラー10の湾曲した側面14aが実現されているが、別の構造によってローラーの湾曲した側面が実現されてもよい。例えば、両端部に比べて中央部が太い軸部材と、厚みが一定のカバー部材と、によって、同様の湾曲した側面が実現され得る。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and may be modified in various ways. For example, in the above-described embodiment, the
また、上述した実施形態では、ローラー10の側面14aが凸形状に湾曲しているが、チャックテーブル4の上面8aが凸形状に湾曲していてもよい。図5は、変形例にかかるテープ貼り装置22のチャックテーブル24を模式的に示す断面図である。図5に示されるように、変形例にかかるテープ貼り装置22のチャックテーブル24の構造は、上述した実施形態にかかるテープ貼り装置2のチャックテーブル4の構造と同様である。
In addition, in the above-described embodiment, the
すなわち、変形例にかかるチャックテーブル24は、円盤状の枠体26を含む。枠体26の上面側には、円形状の開口を上端に持つ凹部26aが設けられている。凹部26aには、セラミックス等を用いて多孔質の円盤状に構成された保持板28が固定されている。この保持板28の上面(保持面)28aが、被加工物11を保持するための保持面として機能する。
That is, the chuck table 24 according to the modified example includes a disk-shaped
なお、この変形例では、図5に示されるように、保持板28の上面28aが、X軸に沿う方向から見て凸形状に湾曲している。また、X軸及びZ軸に平行な平面で上面28aを切断すると、直線が得られる。つまり、変形例にかかる保持板28の上面28aは、円柱の底面の弦を通り円柱の高さの方向に平行な平面でこの円柱を切断して得られる半円柱の側面(曲面)に沿うように形成されている。
In this modified example, as shown in FIG. 5, the
保持板28の下面側は、枠体26の内部に設けられた流路(不図示)や、枠体26の外部に配置されたバルブ(不図示)等を介して、エジェクタ等の吸引源(不図示)に接続されている。そのため、例えば、被加工物11の裏面11bを保持板28の上面28aに接触させて、バルブを開き、吸引源の負圧を作用させれば、被加工物11は、その表面11aが上方に露出するように、負圧の吸引力でチャックテーブル24に保持される。
The lower side of the holding
チャックテーブル24の上方には、被加工物11に保護テープ21を密着させるためのローラー30が配置されている。図6は、変形例にかかるテープ貼り装置22のローラー30等を模式的に示す側面図である。図6に示されるように、変形例にかかるテープ貼り装置22のローラー30等の構造も、上述した実施形態にかかるテープ貼り装置2のローラー10等の構造と同様である。
A
すなわち、変形例にかかるローラー30は、代表的には、金属等の材料で構成される円柱状の軸部材32と、軸部材32を覆うようにシリコンゴム等の材料で構成される円筒状のカバー部材34と、を含む。被加工物11に保護テープ21を密着させる際には、カバー部材34の側面34aが保護テープ21に接触する。
That is, the
円柱の一対の底部に相当する軸部材32の両端部は、支持構造36により支持されている。具体的には、支持構造36は、図6に示されるように、一対の支持アーム36a、36bを含み、軸部材32の両端面の中心を通る軸心の周りに軸部材32が回転できるように、各支持アーム36a、36bの下端部で軸部材32の両端部を支持する。図6に示されるように、軸部材32は、その軸心が、X軸に沿う方向(第1方向)に対して概ね垂直なY軸に沿う方向(第2方向)を向くように、支持構造16により支持される。
The ends of the
なお、この変形例にかかるローラー30の側面34aは、その両端部と中央部とで回転軸(軸部材12の回転軸)からの距離が概ね等しくなるように形成されている。つまり、変形例にかかるローラー30としては、上述した実施形態のように両端部に比べて中央部で回転軸からの距離が大きくなるように側面14aが湾曲したローラー10ではなく、従来の一般的なローラーが使用される。
The
支持構造36には、移動機構18と同様の移動機構(不図示)が連結されている。この移動機構は、例えば、モーター等の回転運動を直線運動に変換するボールねじ(不図示)を含み、X軸に沿う方向(第1方向、保持板28の上面28aに沿う方向に平行で軸部材32の軸心に垂直な方向)に支持構造36を移動させる。また、移動機構は、エアシリンダ等で構成されるアクチュエータ(不図示)を含み、Z軸に沿う方向(第3方向)に支持構造36を移動させる。
A moving mechanism (not shown) similar to the moving
図7は、変形例にかかるローラー30が撓んだ状態を模式的に示す側面図である。図7に示されるように、ローラー30を下降させ、保護テープ21を介してローラー30の側面34aを被加工物11の表面11a側に押し当てると、被加工物11側からローラー30に作用する上向きの力によって、ローラー30の中央部が上方に移動するようにローラー30が撓む。
Figure 7 is a side view showing a schematic diagram of the
そこで、この変形例では、Y軸に沿う方向(軸部材32の軸心に対して平行な方向)での両端部に比べて中央部がローラー10に近くなるように上面28aが凸形状に湾曲したチャックテーブル24が使用される。言い換えれば、チャックテーブル24の上面28aは、そのY軸に沿う方向での両端部に比べて中央部の位置が高くなるように、上に凸となるように湾曲している。より具体的には、変形例にかかるチャックテーブルの上面28aは、円柱の底面の弦を通り円柱の高さの方向に平行な平面で円柱を切断して得られる半円柱の側面(曲面)に沿う形状を有している。
Therefore, in this modified example, a chuck table 24 is used in which the
従って、保護テープ21を介してローラー30の側面34aを被加工物11の表面11a側に押し当てる際に、ローラー30の中央部が上方に移動するようにローラー30が撓むと、図7に示されるように、ローラー30の側面14aの保護テープ21に接触する部分の形状は、チャックテーブル24の上面28aの形状に近くなる。その結果、ローラー30から保護テープ21及び被加工物11に作用する圧力のばらつきが抑制される。
Therefore, when the
なお、Y軸に沿う方向でのチャックテーブル24の上面28aの高低差(Y軸に沿う方向での上面28aの両端部と中央部のZ軸に沿う方向における距離)は、代表的には、0.1mm~0.5mm程度である。ただし、この高低差は、ローラー30から被加工物11等に作用させる圧力の大きさや、ローラー30やチャックテーブル24の材質、ローラー30やチャックテーブル24のサイズ等に応じて変更され得る。
The height difference of the
以上のように、変形例にかかるテープ貼り装置22では、チャックテーブル24の上面28aが、その両端部に比べて中央部がローラー30に近くなるように凸形状に湾曲している。言い換えれば、チャックテーブル24の上面(保持面)28aが、ローラー30の側面34aが保護テープ21を介して被加工物11の表面(第1面)11a側に押し当てられる際のローラー30の変形に起因して生じるローラー30から表面11aへの圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されている。
As described above, in the modified
そのため、被加工物11に圧力を掛ける際にローラー30が撓んでも、ローラー30から被加工物11に作用する圧力のばらつきが抑制される。つまり、変形例にかかるテープ貼り装置22も、従来のテープ貼り装置に比べて適切な圧力を掛けて被加工物11に保護テープ21を密着させることができる。
Therefore, even if the
なお、この変形例にかかるチャックテーブル24は、上述した実施形態にかかるローラー10と組み合わせて用いられてもよい。
The chuck table 24 of this modified example may be used in combination with the
更に、上述した実施形態及び変形例では、移動機構がローラー(支持構造)側を移動させているが、移動機構は、チャックテーブル4側を移動させるように構成されてもよい。すなわち、移動機構は、チャックテーブルとローラー(支持構造)とを相対的に移動させることができるように構成されていればよい。 Furthermore, in the above-described embodiment and modified example, the moving mechanism moves the roller (support structure) side, but the moving mechanism may be configured to move the chuck table 4 side. In other words, the moving mechanism only needs to be configured to move the chuck table and the roller (support structure) relative to each other.
その他、上述の実施形態及び変形例にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施され得る。 In addition, the structures, methods, etc. of the above-mentioned embodiments and modified examples may be modified as appropriate without departing from the scope of the purpose of the present invention.
2 :テープ貼り装置
4 :チャックテーブル
6 :枠体
6a :凹部
8 :保持板
8a :上面(保持面)
10 :ローラー
12 :軸部材
14 :カバー部材
14a :側面
16 :支持構造
16a :支持アーム
16b :支持アーム
18 :移動機構
22 :テープ貼り装置
24 :チャックテーブル
26 :枠体
26a :凹部
28 :保持板
28a :上面(保持面)
30 :ローラー
32 :軸部材
34 :カバー部材
34a :側面
36 :支持構造
36a :支持アーム
36b :支持アーム
11 :被加工物
11a :表面(第1面)
11b :裏面(第2面)
11c :外周面
13 :ストリート(分割予定ライン)
15 :デバイス
21 :保護テープ
2: Tape application device 4: Chuck table 6:
REFERENCE SIGNS LIST 10: Roller 12: Shaft member 14:
30: Roller 32: Shaft member 34:
11b: Back side (second surface)
11c: Outer periphery 13: Street (planned division line)
15: Device 21: Protective tape
Claims (3)
該被加工物の該第2面側を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
曲面状に構成された側面を有する柱状のローラーと、
該ローラーの軸心の周りに該ローラーが回転できるように該ローラーの両端部を支持する支持構造と、
該チャックテーブルの該保持面に保持された該被加工物の該第1面側に該保護テープを密着させるように該保護テープを介して該ローラーの該側面を該被加工物の該第1面側に押し当てながら、該保持面に沿う方向に平行で該軸心に垂直な方向に該ローラーが移動するように、該チャックテーブルと該支持構造とを相対的に移動させる移動機構と、を含み、
該ローラーの該側面又は/及び該チャックテーブルの該保持面は、該ローラーの該側面が該保護テープを介して該被加工物の該第1面側に押し当てられる際の該ローラーの変形に起因して生じる該ローラーから該第1面への圧力のばらつきを抑制できる形状に構成されているテープ貼り装置。 A tape application device that applies a protective tape to a first surface of a plate-shaped workpiece having a first surface and a second surface opposite to the first surface,
a chuck table having a holding surface that holds the second surface side of the workpiece;
A columnar roller having a curved side surface;
a support structure for supporting both ends of the roller so that the roller can rotate about an axis of the roller;
a moving mechanism that relatively moves the chuck table and the support structure such that the roller moves in a direction parallel to a direction along the holding surface and perpendicular to the axis while pressing the side surface of the roller against the first surface side of the workpiece through the protective tape so as to bring the protective tape into close contact with the first surface side of the workpiece held on the holding surface of the chuck table,
A tape application device in which the side surface of the roller and/or the holding surface of the chuck table are configured in a shape that can suppress variation in pressure from the roller to the first surface caused by deformation of the roller when the side surface of the roller is pressed against the first surface of the workpiece via the protective tape.
Priority Applications (3)
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JP2022201986A JP2024087260A (en) | 2022-12-19 | 2022-12-19 | Tape application device |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2022201986A JP2024087260A (en) | 2022-12-19 | 2022-12-19 | Tape application device |
Publications (1)
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JP2008270543A (en) | 2007-04-20 | 2008-11-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | Adhesive film pasting method |
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2022
- 2022-12-19 JP JP2022201986A patent/JP2024087260A/en active Pending
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2023
- 2023-12-05 CN CN202311665148.2A patent/CN118231285A/en active Pending
- 2023-12-08 KR KR1020230177173A patent/KR20240096375A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
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