JP2024015744A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】プローブに掛かる接触荷重を生じさせる弾性部の弾性力の安定性および耐久性が向上されたプローブ装置を提供する。【解決手段】プローブ装置は、第１面および第２面を有する筐体と、第１面に露出する第１接触部および第２面に露出する第２接触部を有する導電性のプローブと、筐体の内部に配置された弾性部を備える。プローブは、第１接触部の変位に対応して第２接触部における電極パッドと接触する接触領域の位置が変化するように、筐体の内部で姿勢が変化する。弾性部は、第１の弾性部材および第１の弾性部材と一体化されて第１の弾性部材の弾性力を補強する第２の弾性部材を有する。弾性部は、筐体の内部でのプローブの姿勢の変化に対応して弾性変形して、第１接触部の変位を打ち消す方向にプローブを付勢する。【選択図】図１

Description

本発明は、デバイスの電気特性の検査に使用するプローブ装置に関する。

半導体集積回路などをパッケージに実装したデバイスの電気特性の検査において、デバイスと検査装置との間を電気的に接続するプローブ装置が用いられている。プローブ装置は、デバイスの電極端子を、プリント基板（ＰＣＢ）などの基板に配置された電極パッドと電気的に接続する。電極パッドは、基板に形成された配線パターンなどを介して検査装置と電気的に接続されている。例えば、電極端子と電極パッドに同時に接触する導電性のプローブと、電極端子と電極パッドと接触するときにプローブに掛かる接触荷重を弾性力により制御する弾性部を含むプローブ装置がある（特許文献１参照。）。

特開２０１９－３５６６０号公報

弾性部の弾性力によってプローブに掛かる接触荷重を生じさせるプローブ装置では、接触荷重を安定させるために弾性部の弾性力が安定している必要がある。また、測定を繰り返すことによる弾性部の弾性力の低下を防止するために、弾性部の弾性力の耐久性の向上が望まれている。

本発明は、プローブに掛かる接触荷重を生じさせる弾性部の弾性力の安定性および耐久性が向上されたプローブ装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るプローブ装置は、第１面および第２面を有する筐体と、第１面に露出する第１接触部および第２面に露出する第２接触部を有する導電性のプローブと、筐体の内部に配置された弾性部を備える。プローブは、第１接触部の変位に対応して第２接触部における電極パッドと接触する接触領域の位置が変化するように、筐体の内部で姿勢が変化する。弾性部は、第１の弾性部材および第１の弾性部材と一体化されて第１の弾性部材の弾性力を補強する第２の弾性部材を有する。弾性部は、筐体の内部でのプローブの姿勢の変化に対応して弾性変形して、第１接触部の変位を打ち消す方向にプローブを付勢する。

本発明によれば、プローブに掛かる接触荷重を生じさせる弾性部の弾性力の安定性および耐久性が向上されたプローブ装置を提供できる。

図１は、第１の実施形態に係るプローブ装置の構成を示す模式図である。 図２は、第１の実施形態に係るプローブ装置の弾性部を示す模式的な断面図である。 図３は、第１の実施形態に係るプローブ装置のプローブの姿勢の変化を示す模式図である。 図４は、第１の実施形態の変形例に係るプローブ装置の第２の弾性部材の構造を示す模式的な斜視図である。 図５は、第１の実施形態の変形例に係るプローブ装置の弾性部を示す模式的な断面図である。 図６は、第２の実施形態に係るプローブ装置の構成を示す模式図である。 図７は、第２の実施形態に係るプローブ装置の弾性部を示す模式図である。 図８は、第２の実施形態に係るプローブ装置のプローブと弾性部の配置の関係の例を示す模式図である。 図９は、第２の実施形態に係るプローブ装置の第２の弾性部材の構成の例を示す模式図である。 図１０は、第２の実施形態の変形例に係るプローブ装置の弾性部を示す模式的な斜視図である。 図１１は、第３の実施形態に係るプローブ装置の構成を示す模式図である。 図１２は、第３の実施形態の変形例に係るプローブ装置の構成を示す模式図である。 図１３は、第３の実施形態の変形例に係るプローブ装置の他の構成を示す模式図である。

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。

（第１の実施形態）
図１に示す第１の実施形態に係るプローブ装置１は、検査対象のデバイス１００の電気特性の検査に使用される。デバイス１００は、半導体集積回路などをパッケージに搭載した被検査体である。プローブ装置１は、デバイス１００の電極端子１０１と基板２００の電極パッド２０１とを電気的に接続する。図１は、電極端子１０１がパッケージのリード電極である場合を例示的に示している。電極パッド２０１は、基板２００に形成された配線パターン（図示略）などを介して検査装置と電気的に接続されている。

プローブ装置１は、第１面１１および第１面１１に対向する第２面１２を有する筐体１０と、第１接触部２１および第２接触部２２を有して筐体１０に支持される導電性のプローブ２０と、筐体１０の内部に配置された弾性部３０を備える。プローブ２０は、電極端子１０１と電極パッド２０１を電気的に接続する接触子として機能する。プローブ２０の材料には、例えば、ベリリウム銅（Ｂｅ－Ｃｕ）材又はパラジウム（Ｐｄ）合金材などの金属材料が用いられる。筐体１０には、例えば絶縁性セラミック材などが用いられる。

弾性部３０は、筐体１０およびプローブ２０に筐体１０の内部に配置されている。弾性部３０は、第１の弾性部材３１と、第１の弾性部材３１と一体化されて第１の弾性部材３１の弾性力を補強する第２の弾性部材３２を有する。後述するように、弾性部３０は、筐体１０の内部でのプローブ２０の姿勢の変化に対応して弾性変形して、変化する前のプローブ２０の姿勢に戻す方向にプローブ２０を付勢する。

プローブ装置１の動作の説明を分かりやすくするために、図１に示すようにＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を定義する。図１において、Ｘ方向は紙面の左右方向、Ｙ方向は紙面の奥行方向、Ｚ方向は紙面の上下方向である。また、Ｚ方向において、プローブ装置１から見てデバイス１００が位置している方向を上方向、デバイス１００から見てプローブ装置１が位置している方向を下方向とする。

なお、図１ではプローブ装置１のプローブ２０を１つだけ表示しているが、プローブ装置１が複数のプローブ２０を有してもよい。例えば、プローブ装置１が、Ｙ方向に沿って複数のプローブ２０を配列させた構成であってもよい。

図１では、Ｚ方向から見てデバイス１００の下方向にプローブ装置１が配置されている。プローブ２０の第１接触部２１は筐体１０の第１面１１に露出し、プローブ２０の第２接触部２２は筐体１０の第２面１２に露出している。Ｚ方向に沿ってプローブ装置１とデバイス１００の間隔が狭くなったときに第１接触部２１とデバイス１００の電極端子１０１が接触するように、プローブ２０が筐体１０に配置されている。更に、第２接触部２２の接触領域２２０が基板２００の電極パッド２０１と接触するように、プローブ装置１が筐体１０に配置されている。後述するように、デバイス１００の検査時において、第１接触部２１のＺ方向の位置の変化に起因して、第２接触部２２における電極パッド２０１と接触する接触領域２２０の位置は変化する。

Ｙ方向から見て、プローブ２０は、上方向に向いた凹部が形成された湾曲形状を有する。凹部に対向するプローブ２０の外側の部分（以下、「湾曲部分」と称する。）から離れて位置するプローブ２０の一方の端部が、第１接触部２１である。凹部に近いプローブ２０の他方の端部が、第２接触部２２である。湾曲部分の外縁の弧状領域の一部が接触領域２２０である。Ｘ方向とＹ方向により定義されるＸＹ平面を投影面にしたとき、第１接触部２１と第２接触部２２を結ぶ方向（以下において、プローブ２０の「延伸方向」と称する。）の投影線は、Ｘ方向に延伸する。言い換えると、Ｚ方向から見てプローブ２０はＸ方向に延伸する。

弾性部３０は、軸方向がＹ方向に延伸する円筒形状である。つまり、弾性部３０の軸方向は、プローブ２０の第１接触部２１の変位する方向に垂直、かつ、プローブ２０の延伸する方向に垂直な方向である。弾性部３０は、プローブ２０の凹部の内側に当接している。言い換えると、弾性部３０は、プローブ２０の凹部の表面と筐体１０の内壁に挟まれた状態である。

第１の弾性部材３１に、例えばエラストマーなどの絶縁性材料を使用してもよい。例えば、シリコーンゴムやウレタンゴムなどの樹脂材料を第１の弾性部材３１に使用してもよい。第２の弾性部材３２には、例えば図２に示すように、第１の弾性部材３１の軸方向に延伸する円筒形状のコイルばねであってもよい。図２に示したコイルばねの中心軸は、円筒形状の第１の弾性部材３１の軸方向と同様に、Ｙ方向に延伸する。第２の弾性部材３２は、第１の弾性部材３１の内部に全体が埋め込まれている。第２の弾性部材３２には、例えば金属製などの導電性のコイルばね若しくは樹脂製などの絶縁性のコイルばねを使用してもよい。第２の弾性部材３２の弾性力により第１の弾性部材３１の弾性力が補強されるように、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２は一体化されている。具体的には、Ｙ軸方向と垂直な方向に弾性部３０が圧縮されたときに第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２の弾性力が同一方向に働くように、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２は一体化されている。

第２の弾性部材３２として断面形状が円形状のコイルばねである例を図２に示したが、第２の弾性部材３２が他の形状であってもよいことはもちろんである。例えば、断面形状が凹凸の少ない平板であるリボン材を巻いてコイル状の第２の弾性部材３２を構成してもよい。

デバイス１００の検査時には、図３に示すように、導電性のプローブ２０によりデバイス１００の電極端子１０１と基板２００の電極パッド２０１が電気的に接続される。すなわち、デバイス１００の検査時に、デバイス１００をＺ方向に沿ってプローブ装置１に対して相対的に移動させ、プローブ２０の第１接触部２１をデバイス１００の電極端子１０１に押し当てる。このとき、プローブ２０は、第１接触部２１と電極端子１０１の間で第１接触部２１に加わる押力に起因して、第２接触部２２が電極パッド２０１の表面に接触した状態で筐体１０の内部で姿勢を変化させる。

具体的には、第１接触部２１に加わる押圧に起因する第１接触部２１のＺ方向の変位に対応して、第２接触部２２が電極パッド２０１に接触した状態を維持しながら、筐体１０の内部でプローブ２０の姿勢が変化する。プローブ２０の姿勢の変化に伴い、第２接触部２２における電極パッド２０１に接触する接触領域２２０の位置が変化する。図３に、第１接触部２１と電極端子１０１が接触する状態（以下、「接触状態」とも称する。）におけるプローブ２０の姿勢および弾性部３０の形状を実線で示した。また、図３に、第１接触部２１と電極端子１０１が接触していない状態（以下、「非接触状態」とも称する。）におけるプローブ２０の姿勢および弾性部３０の形状を破線で示した。デバイス１００の検査時の接触状態には、接触領域２２０の位置が非接触状態のときよりも第１接触部２１に近づくようにプローブ２０の姿勢が変化する。

接触状態において、弾性部３０は、プローブ２０の筐体１０の内部での姿勢の変化に対応して、プローブ２０と筐体１０に挟まれて圧縮される。つまり、接触状態において、弾性部３０は弾性変形している。弾性変形した弾性部３０は、プローブ２０の姿勢を非接触状態の姿勢に戻す方向にプローブ２０を付勢する。言い換えると、弾性部３０は、第１接触部２１を電極端子１０１に押し付けるようにプローブ２０を付勢する。上記のようにして、弾性部３０の弾性力によってプローブ２０に掛かる接触荷重が生じる。

プローブ装置１の弾性部３０は、弾性を有する第２の弾性部材３２がエラストマーなどの第１の弾性部材３１と同一方向に弾性力が働くように一体化された構成である。このため、プローブ装置１では、第１の弾性部材３１の弾性力の低下が抑制され、弾性部３０の耐久性を向上させることができる。

デバイス１００を検査している間は、弾性部３０の弾性力により電極端子１０１に第１接触部２１が当接し、かつ電極パッド２０１に第２接触部２２が当接した状態が維持される。これにより、デバイス１００の検査時において、プローブ２０を介してデバイス１００の電極端子１０１と基板２００の電極パッド２０１との電気的な接続が確保される。

プローブ装置１では、プローブ２０の湾曲部分の外縁の弧状領域の一部が、接触領域２２０として、電極パッド２０１とＹ方向に延伸する線で接触する。そして、図３に示すように、接触状態における接触領域２２０の位置は、非接触状態における接触領域２２０の位置よりも、第１接触部２１により近い。接触状態と非接触状態とで接触領域２２０の位置が変化するのは、プローブ２０の姿勢の変化に応じて接触領域２２０の位置が湾曲部分の外縁に沿って変化するためである。接触領域２２０が湾曲部分の弧状領域に含まれるため、電極パッド２０１と接触する接触領域２２０の位置がプローブ２０の姿勢の変化に応じて滑らかに変化する。このため、プローブ２０の姿勢が変化しても、第２接触部２２および電極パッド２０１の損傷を抑制することができる。

上記のように、デバイス１００の検査時においては、プローブ２０の姿勢が変化することにより、プローブ２０と筐体１０の間に挟まれた弾性部３０が弾性変形する。そして、弾性部３０が、第１接触部２１が所定の押圧でデバイス１００の電極端子１０１に接触するように、プローブ２０を付勢する。すなわち、電極端子１０１に第１接触部２１を押し付けたときに第１接触部２１に加わる押力に起因する第１接触部２１の変位を打ち消す方向に、弾性部３０がプローブ２０を付勢する。デバイス１００の検査をしている間、すなわち、第１接触部２１が電極端子１０１と接触している間、弾性部３０は圧縮変形した状態である。

デバイス１００の検査が終了した後は、デバイス１００とプローブ装置１の間隔を広げるようにプローブ装置１に対するデバイス１００のＺ方向の相対的な位置を変化させる。デバイス１００の電極端子１０１とプローブ２０の第１接触部２１とを離隔することにより、第１接触部２１に加わる押力がなくなる。その結果、弾性部３０の形状が非接触状態に戻ると共に、弾性部３０の弾性力によりプローブ２０の姿勢が非接触状態に戻る。

プローブ２０は、第１接触部２１の位置がＺ方向に変位するのに対応するプローブ２０の姿勢を変化が可能なように、筐体１０に支持されている。プローブ２０の姿勢は、第１接触部２１のＺ方向の変位に対応して第２接触部２２における電極パッド２０１と接触する接触領域２２０の位置が変化するように、筐体１０の内部で変化する。例えば、図示を省略するが、プローブ２０の一部を突出させて、筐体１０に設けた支持穴にプローブ２０の突出させた部分を嵌入させてもよい。或いは、プローブ２０の下方向に設けた筐体１０の支持部にプローブ２０の一部を戴置してもよい。

上記のように、プローブ装置１は、電極端子１０１と電極パッド２０１に同時に接触するプローブ２０と、プローブ２０が電極端子１０１と接触しているときに弾性力によりプローブ２０に付勢する弾性部３０を含む。弾性部３０の弾性力により、プローブ２０と電極端子１０１が接触する際にプローブ２０に掛かる接触荷重が制御される。弾性部３０の弾性力を強くすることにより接触荷重は増大し、弾性部３０の弾性力を弱くすることにより接触荷重は減少する。

また、プローブ装置１では、電極端子１０１との接触により第１接触部２１の変位する量（以下、「ストローク」とも称する。）が、弾性部３０の弾性力により制御される。つまり、弾性部３０の弾性力を強くすることによりストロークは減少し、弾性部３０の弾性力を弱くすることによりストロークは増大する。

第１の弾性部材３１を内部に中空部分を有する円筒形状にすることにより、接触荷重およびストロークの大きさを制御しやすい。つまり、円筒形状の第１の弾性部材３１の外周部から内部の中空部分までの厚みを厚くすることにより、接触荷重を大きくしたりストロークを小さくしたりできる。一方、円筒形状の弾性部３０の厚みを薄くすることにより、接触荷重を小さくしたりストロークを大きくしたりできる。

例えば、電極端子１０１との接触による第１接触部２１の変位量を所定値とするように弾性部３０の弾性力を設定するために、第１の弾性部材３１の外周部から内部の中空部分までの第１の弾性部材３１の厚みが調整される。第１接触部２１の変位量の所定値は、例えば、プローブ２０が電極端子１０１に接触する際に電極端子１０１に生じるコンタクト痕の長さが予め設定された制約値以下であるように設定される。

以上に説明したように、第１の実施形態に係るプローブ装置１は、弾性部３０が第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化させた構成を有する。第２の弾性部材３２によって、エラストマーなどの第１の弾性部材３１の弾性力が補強される。このため、弾性部３０が単一材料である場合に比べて、弾性部３０の弾力性の安定性および耐久性を向上させることができる。その結果、プローブ装置１によれば、プローブ２０と電極端子１０１および電極パッド２０１との接触を安定させることができる。

＜変形例＞
第１の実施形態に係るプローブ装置１では、図４に示すように、弾性部３０の第２の弾性部材３２が網目状の円筒体であってもよい。第２の弾性部材３２は、図５に示すように第１の弾性部材３１の内部に埋め込まれ、第２の弾性部材３２の軸方向は第１の弾性部材３１の軸方向である。

第２の弾性部材３２が網目状の円筒体である場合にも、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２が同一方向に弾性力が働くように一体化することにより、第１の弾性部材３１の弾性力の低下を抑制し、弾性部３０の耐久性を向上させることができる。図４では第２の弾性部材３２がハニカムメッシュ構造である場合を例示的に示したが、弾性部３０が圧縮変形したときに第１の弾性部材３１と同一方向に弾性力が働く構造であれば、第２の弾性部材３２がどのような網目状の円筒体であってもよい。

（第２の実施形態）
第２の実施形態に係るプローブ装置１では、図６に示すように、第１の弾性部材３１の表面に第２の弾性部材３２の少なくとも一部が露出している。図７に、第１の弾性部材３１の表面に、コイルばねである第２の弾性部材３２の全体が配置されている例を示した。或いは、第２の弾性部材３２が第１の弾性部材３１の表面に埋め込まれ、第２の弾性部材３２の表面が第１の弾性部材３１の表面に露出するようにして、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化してもよい。第１の弾性部材３１の表面に第２の弾性部材３２の少なくとも一部が露出していることが、第２の実施形態に係るプローブ装置１が第１の実施形態と異なる点である。その他の構成については、第２の実施形態に係るプローブ装置１は、第１の実施形態と同様である。

図６に示すプローブ装置１によれば、デバイス１００の検査時においてプローブ２０の姿勢が変化することにより、プローブ２０と筐体１０の間に挟まれた弾性部３０が弾性変形して、第１接触部２１が所定の押圧で電極端子１０１に接触する。デバイス１００の検査をしている間、弾性部３０は圧縮変形した状態である。弾性部３０は、電極端子１０１に第１接触部２１を押し付けたときに第１接触部２１に加わる押力に起因する第１接触部２１の変位を打ち消す方向に、プローブ２０を付勢する。

第２の弾性部材３２が第１の弾性部材３１の表面に露出していても、第２の弾性部材３２により第１の弾性部材３１の弾性力は補強される。したがって、第２の実施形態に係るプローブ装置１によれば、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化することにより、第１の弾性部材３１の弾性力の低下を抑制し、弾性部３０の耐久性を向上させることができる。

なお、図８に示すように、同一の弾性部３０が複数のプローブ２０と当接する場合には、第１の弾性部材３１の表面に露出する第２の弾性部材３２を介してプローブ２０間が短絡しないように、第２の弾性部材３２に絶縁性材料を用いてもよい。或いは、図９に示すように、プローブ２０の間の位置で第２の弾性部材３２を分割してもよい。第２の弾性部材３２が導電性材料であっても、第２の弾性部材３２を第１の弾性部材３１の軸方向に沿って複数の領域に分割することにより、第２の弾性部材３２を介してのプローブ２０間の短絡を防止できる。

以上に説明したように、第２の実施形態に係るプローブ装置１によれば、第１の弾性部材３１と一体化させた第２の弾性部材３２によって、第１の弾性部材３１の弾性力が補強される。このため、プローブ装置１によれば、弾性部３０の弾力性の安定性および耐久性を向上させることができる。他は、第２の実施形態に係るプローブ装置１は第１の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。

＜変形例＞
第２の実施形態に係るプローブ装置１では、図１０に示すように、第１の弾性部材３１の表面に露出して配置された第２の弾性部材３２が網目状の円筒体であってよい。第２の弾性部材３２は、例えば図１０に示すようにハニカムメッシュ構造であってもよいし、網目が他の形状の円筒体であってもよい。第２の弾性部材３２は、第１の弾性部材３１の表面に全体が配置されてもよいし、第１の弾性部材３１の表面に埋め込まれた第２の弾性部材３２の表面が第１の弾性部材３１の表面に露出してもよい。第２の弾性部材３２が網目状の円筒体であっても、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化することにより、第１の弾性部材３１の弾性力の低下を抑制し、弾性部３０の耐久性を向上させることができる。

第２の実施形態に係るプローブ装置１においても、図８と同様に同一の弾性部３０が複数のプローブ２０と当接する場合には、第２の弾性部材３２を介してプローブ２０間が短絡しないように、第２の弾性部材３２に絶縁性材料を用いてもよい。或いは、導電性材料の第２の弾性部材３２をプローブ２０の間で分割して、プローブ２０間の短絡を防止してもよい。

（第３の実施形態）
第３の実施形態に係るプローブ装置１は、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化した複数の弾性部３０を筐体１０の内部に有する。例えば、図１１に示すプローブ装置１のように、プローブ２０とそれぞれ当接する第１弾性部３０Ａと第２弾性部３０Ｂが、筐体１０の内部に配置されている。第１弾性部３０Ａは、図１に示したプローブ装置１の弾性部３０と同様にプローブ２０の凹部の内側に配置され、プローブ２０の凹部の表面と筐体１０の内壁に挟まれている。第２弾性部３０Ｂは、プローブ２０が第１弾性部３０Ａと当接する位置から離隔した位置において、プローブ２０に当接している。より具体的には、第２弾性部３０Ｂは、接触領域２２０よりも第１接触部２１に近い位置において、プローブ２０に当接している。第２弾性部３０Ｂは、第１接触部２１の下方向でプローブ２０と基板２００の間に配置されている。このため、第２弾性部３０Ｂは、デバイス１００の検査時において、プローブ２０の姿勢の変化に対応してプローブ２０と基板２００の間で弾性変形する。そして、第２弾性部３０Ｂは、第１弾性部３０Ａと同様に、変化する前のプローブ２０の姿勢に戻す方向にプローブ２０を付勢する。以下において、第１弾性部３０Ａと第２弾性部３０Ｂのそれぞれを限定しない場合は、弾性部３０と表記する。

上記のように、複数の弾性部３０を筐体１０の内部に有していることが、第３の実施形態に係るプローブ装置１が第１の実施形態と異なる点である。その他の構成については、第３の実施形態に係るプローブ装置１は、第１の実施形態と同様である。例えば、図１１に示すプローブ装置１によれば、デバイス１００の検査時においてプローブ２０の姿勢が変化することにより、複数の弾性部３０が弾性変形して、第１接触部２１が所定の押圧で電極端子１０１に接触する。デバイス１００の検査をしている間、複数の弾性部３０のそれぞれは圧縮変形した状態である。複数の弾性部３０は、電極端子１０１に第１接触部２１を押し付けたときに第１接触部２１に加わる押力に起因する第１接触部２１の変位を打ち消す方向に、プローブ２０を付勢する。

なお、図１１では、弾性部３０が、第２の弾性部材３２を第１の弾性部材３１の内部に埋め込んだ構造である場合を例示的に示した。しかし、第２の実施形態に係るプローブ装置１と同様に、第１の弾性部材３１の表面に第２の弾性部材３２の少なくとも一部が露出するように、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化してもよい。例えば、第１の弾性部材３１の表面に第２の弾性部材３２の全体を配置してもよいし、第２の弾性部材３２の一部を第１の弾性部材３１の表面に埋め込んでもよい。

第３の実施形態に係るプローブ装置１によれば、複数の弾性部３０を有することによりプローブ２０を付勢する弾性力が増大される。そして、第１の弾性部材３１と第２の弾性部材３２を一体化させた弾性部３０により、第１の弾性部材３１の弾性力の低下を抑制し、弾性部３０の耐久性を向上させることができる。他は、第３の実施形態に係るプローブ装置１は第１および第２の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。

＜変形例＞
第３の実施形態に係るプローブ装置１では、第２弾性部３０Ｂがプローブ２０と筐体１０の間に配置されていてもよい。例えば図１２に示すように、プローブ２０の第１接触部２１の下方向に設けた筐体１０の台座部１５に第２弾性部３０Ｂを配置して、プローブ２０と台座部１５の間で第２弾性部３０Ｂが弾性変形するようにしてもよい。

また、図１３に示すように、Ｙ方向から見た第２弾性部３０Ｂの第１の弾性部材３１の外縁を矩形状にしてもよい。例えば、第２弾性部３０Ｂの第１の弾性部材３１が中空部分を有する管形状であってもよい。第１の弾性部材３１の外縁を矩形状にした場合は、例えば、断面形状が凹凸の少ない平板であるリボン材を巻いてコイル状の第２の弾性部材３２を構成してもよい。

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記では弾性部３０が円筒形状である場合を例示的に説明したが、弾性部３０の形状は円筒形状に限らない。例えば、弾性部３０が中空部分のない円柱状であってもよいし、Ｙ方向から見た弾性部３０の外縁が円形状ではなくて多角形状であってもよい。また、第２の弾性部材３２が板状の弾性部材であってもよい。なお、デバイス１００の電極端子１０１がリード電極である場合を例示的に示したが、電極端子１０１がパッド電極又はバンプ電極、或いはそれら以外の形状の電極であってもよい。

第２の弾性部材３２に金属製のばねなどの導電性材料を用いた場合、第２の弾性部材３２とプローブ２０との距離が近いため、デバイス１００の高周波特性の測定値などが、第２の弾性部材３２による電気的な影響を受けるおそれがある。このため、導電性材料の第２の弾性部材３２の端部を接地電位（ＧＮＤ）に接続するなどの対策をしてもよい。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。

１…プローブ装置
１０…筐体
１１…第１面
１２…第２面
２０…プローブ
２１…第１接触部
２２…第２接触部
３０…弾性部
３１…第１の弾性部材
３２…第２の弾性部材
１００…デバイス
１０１…電極端子
２００…基板
２０１…電極パッド

Claims (8)

1. 検査対象のデバイスの電極端子と検査装置に接続された電極パッドとを電気的に接続するプローブ装置であって、
   第１面および前記第１面に対向する第２面を有する筐体と、
   前記第１面に露出する第１接触部および前記第２面に露出する第２接触部を有して前記筐体に支持される導電性のプローブであって、前記第１接触部の変位に対応して前記第２接触部における前記電極パッドと接触する接触領域の位置が変化するように、前記筐体の内部で姿勢が変化する前記プローブと、
   前記筐体の内部に配置され、第１の弾性部材および前記第１の弾性部材と一体化されて前記第１の弾性部材の弾性力を補強する第２の弾性部材を有する弾性部であって、前記筐体の内部での前記プローブの前記姿勢の変化に対応して弾性変形して、前記第１接触部の前記変位を打ち消す方向に前記プローブを付勢する前記弾性部と
   を備えるプローブ装置。
2. 前記第１の弾性部材がエラストマーである、請求項１に記載のプローブ装置。
3. 前記第２の弾性部材が前記第１の弾性部材の内部に埋め込まれている、請求項１に記載のプローブ装置。
4. 前記第１の弾性部材の表面に前記第２の弾性部材の少なくとも一部が露出している、請求項１に記載のプローブ装置。
5. 前記第２の弾性部材が円筒形状のコイルばねである、請求項３又は４に記載のプローブ装置。
6. 前記第２の弾性部材が網目状の円筒体である、請求項３又は４に記載のプローブ装置。
7. 前記第１の弾性部材は内部に中空部分を有する、請求項３又は４に記載のプローブ装置。
8. 前記第１の弾性部材の外周部から前記中空部分までの前記第１の弾性部材の厚みを調整することにより、前記電極端子との接触による前記第１接触部の変位量を所定値とするように前記弾性部の弾性力が設定され、
   前記変位量の前記所定値は、前記プローブが前記電極端子に接触する際に前記電極端子に生じるコンタクト痕の長さが予め設定された制約値以下であるように設定されている、
   請求項７に記載のプローブ装置。

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