JP2023162701A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】切削ブレードの交換時の部品の誤装着を防いで第１切削ユニットと第２切削ユニットによる被加工物の正常で正確な切削を可能とすること。【解決手段】第１ボス部１２１を有する第１固定フランジ１２と、第１押えフランジ１３と、第１固定ナット１４とを有する第１切削ユニット１０と、第２ボス部２２１を有する第２固定フランジ２２と、第２押えフランジ２３と、第２固定ナット２４とを有する第２切削ユニット２０とを備えた切削装置１において、第１ボス部１２１と第２ボス部２２１の各先端部の外径φＤ１，φＤ２は、互いに異なる大きさに設定され、第１押えフランジ１３の装着孔１３１と第１固定ナット１４の雌ネジ１４１の内径φｄ１は、第１ボス部１２１に装着可能な大きさに設定され、第２押えフランジ２３の装着孔２３１と第２固定ナット２４の雌ネジ２４１の内径φｄ２は、第２ボス部２２１に装着可能な大きさに設定されている。【選択図】図２

Description

本発明は、２本の各スピンドルにそれぞれ装着された第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える所謂デュアルダイサーと称される切削装置に関する。

半導体デバイスの製造工程においては、円板状の半導体ウェーハ（以下、単に「ウェーハ」と称する）の表面が格子状に配列されたストリートと称される切断予定ラインによって多数の矩形領域に区画され、各矩形領域にＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成される。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハをダイサーと称される切削装置の切削ブレードでストリートに沿って切断することによって、複数の半導体チップが形成される。

ここで、切削装置においては、切削ブレードは、マウントやフランジと称される固定治具で挟持されてスピンドルに固定される（例えば、特許文献１，２参照）。マウントは、基台の外周に切刃が設けられたバフブレード用の固定治具の名称であり、このマウントと該マウントのボス部に螺着される固定ナットによってバフブレードが挟持されてスピンドルに着脱可能に固定される。

他方、フランジは、基台が無いワッシャブレード用の固定治具の名称であり、固定フランジと、押えフランジ及び該押えフランジを固定する固定ナットによってワッシャブレードがスピンドルに着脱可能に固定される。

そして、バフブレードの交換時には、マウントをスピンドルに固定した状態で、固定ナットを緩めてマウントから取り外すことによって、バフブレードを新しいものと交換する。また、ワッシャブレードの交換時には、固定フランジをスピンドルに固定した状態で、固定ナットを緩めて該固定ナットと押えフランジを固定フランジから取り外すことによって、ワッシャブレードを新しいものと交換する。

また、切削装置には、２本の各スピンドルに第１切削ユニットと第２切削ユニットをそれぞれ装着し、これらの第１切削ユニットと第２切削ユニットにそれぞれ設けられた切削ブレードによってデュアルカットを行って切削効率を上げるようにしたデュアルダイサーと称されるものがある（例えば、特許文献３，４参照）。

号公報 特開２００９－２６２２６６号公報 特開２０１３－２２２８３４号公報 特開２０１５－２２３６８２号公報

しかしながら、デュアルダイサーと称される切削装置においては、例えば、バフブレード用の固定治具であるマウントのボス部の外径が第１切削ユニットと第２切削ユニットにおいて同じである場合には、固定ナットが第１切削ユニットと第２切削ユニットの何れのマウントのボス部にも螺合し得るため、バフブレードを取り外してこれを新しいものと交換した後に固定ナットを第１切削ユニットと第２切削ユニットとの間で入れ替えてマウントのボス部に取り付けてしまう誤装着の問題が発生する。

また、ワッシャブレード用の固定治具である固定フランジのボス部の外径が第１切削ユニットと第２切削ユニットにおいて同じである場合には、押えフランジと固定ナットが第１切削ユニットと第２切削ユニットの何れの固定フランジのボス部にも装着可能であるため、ワッシャブレードを取り外してこれを新しいものと交換した後に押えフランジと固定ナットを第１切削ユニットと第２切削ユニットとの間で入れ替えて固定フランジのボス部に取り付けてしまう誤装着の問題が発生する。

バフブレード用の固定治具においては、マウントと固定ナットとは決まった組み合わせでバランス取りがなされており、ワッシャブレード用の固定治具においては、固定フランジと押えフランジ及び固定ナットは、決まった組み合わせでバランス取りがなされており、バランス取りがされた組み合わせで第１の切削ユニットと、第２の切削ユニットとにそれぞれ装着する。このため、マウントにバランス取りがされていない異なる組み合わせとなる固定ナット、或いは固定フランジにバランス取りがされていない異なる組み合わせとなる押えフランジ及び固定ナットを第１切削ユニットと第２切削ユニットとの間で入れ替えて取り付けた場合には、これらのバランスが崩れて第１切削ユニットと第２切削ユニットに大きな振動が発生し、正常で正確な切削を行うことができないという問題が発生する。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、切削ブレードの交換時に固定治具の構成部品を第１切削ユニットと第２切削ユニットとの間で入れ替えて異なる組み合わせで取り付ける誤装着の発生を防ぎ、第１切削ユニットと第２切削ユニットの振動を抑えて被加工物の正常で正確な切削を可能とする切削装置を提供することにある。

上記目的を達成する第１発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、該第１切削ユニットは、回転駆動される第１スピンドルと、該第１スピンドルの先端部に固定される第１ワッシャブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１固定フランジと、該第１ボス部に装着される装着孔を有し、該第１ボス部に装着された該第１ワッシャブレードを該第１固定フランジとの間で挟持する第１押えフランジと、該第１ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第１ボス部に締結されることによって該第１押えフランジを介して該第１ワッシャブレードを固定する第１固定ナットと、を備え、該第２切削ユニットは、回転駆動される第２スピンドルと、該第２スピンドルの先端部に固定される第２ワッシャブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２固定フランジと、該第２ボス部に装着される装着孔を有し、該第２ボス部に装着された該第２ワッシャブレードを該第２固定フランジとの間で挟持する第２押えフランジと、該第２ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第２ボス部に締結されることによって該第２押えフランジを介して該第２ワッシャブレードを固定する第２固定ナットと、を備え、該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、該第１押えフランジの装着孔と該第１固定ナットの雌ネジの内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、該第２押えフランジの装着孔と該第２固定ナットの雌ネジの内径は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする。

また、第２発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、該第１切削ユニットは、回転駆動される第１スピンドルと、該第１スピンドルの先端部に固定される第１バフブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１マウントと、該第１ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第１ボス部に締結されることによって該第１バフブレードを固定する第１固定ナットと、を備え、該第２切削ユニットは、回転駆動される第２スピンドルと、該第２スピンドルの先端部に固定される第２バフブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２マウントと、該第２ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第２ボス部に締結されることによって該第２バフブレードを固定する第２固定ナットと、を備え、該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、該第１固定ナットの雌ネジの内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、該第２固定ナットの雌ネジの内径は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする。

さらに、第３発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、該第１切削ユニットは、回転駆動される第１スピンドルと、該第１スピンドルを回転可能に保持する第１スピンドルハウジングと、該第１スピンドルハウジングの端面に固定される第１ロータリジョイントと、該第１スピンドルの先端部に固定される第１ワッシャブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１固定フランジと、該第１ボス部に装着される装着孔を有し、該第１ボス部に装着された該第１ワッシャブレードを該第１固定フランジとの間で挟持する第１押えフランジと、該第１押えフランジを該第１固定フランジと該第１ロータリジョイントに形成された吸引通路を経て吸引する第１吸引源と、を備え、該第２切削ユニットは、回転駆動される第２スピンドルと、該第２スピンドルを回転可能に保持する第２スピンドルハウジングと、該第２スピンドルハウジングの端面に固定される第２ロータリジョイントと、該第２スピンドルの先端部に固定される第２ワッシャブレードと、先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２固定フランジと、該第２ボス部に装着される装着孔を有し、該第２ボス部に装着された該第２ワッシャブレードを該第２固定フランジとの間で挟持する第２押えフランジと、該第２押えフランジを該第２固定フランジと該第２ロータリジョイントに形成された吸引通路を経て吸引する第２吸引源と、を備え、該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、該第１押えフランジの装着孔の内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、該第２押えフランジの装着孔は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする。

第１発明によれば、第１切削ユニットと第２切削ユニットにおいて、各第１及び第２ワッシャブレードをそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１及び第２押えフランジを入れ替え、或いは第１及び第２固定ナットを入れ替えて第１及び第２固定フランジの第１及び第２ボス部に装着しようとしても、これらを装着することができない。このため、第１切削ユニットの第１押えフランジと第２切削ユニットの第２押えフランジ及び第１切削ユニットの第１固定ナットと第２切削ユニットの第２固定ナットとを互いに入れ替えて誤装着するという不具合の発生が防がれる。この結果、誤装着に伴う第１切削ユニットと第２切削ユニットの振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニットと第２切削ユニットによる被加工物の正常で正確な切削を行うことができる。

第２発明によれば、第１切削ユニットと第２切削ユニットにおいて、各第１及び第２バフブレードをそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１固定ナットと第２固定ナットとを入れ替え、第１固定ナットを第２マウントの第２ボス部の雄ネジに螺合させ、或いは第２固定ナットを第１マウントの第１ボス部の雄ネジに螺合させることができない。このため、第１固定ナットと第２固定ナットを互いに入れ替えて誤装着するという不具合が起こり得ない。この結果、第１固定ナットと第２固定ナットの誤装着に伴う第１切削ユニットと第２切削ユニットの振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニットと第２切削ユニットによる被加工物の正常で正確な切削を行うことができる。

第３発明によれば、第１切削ユニットと第２切削ユニットにおいて、各第１及び第２ワッシャブレードをそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１押えフランジと第２押えフランジとを入れ替えて第１固定フランジの第１ボス部と第２固定フランジの第２ボス部に装着しようとしても、これらを装着することができない。このため、第１切削ユニットの第１押えフランジと第２切削ユニットの第２押えフランジとを互いに入れ替えて誤装着するという不具合の発生が防がれる。この結果、誤装着に伴う第１切削ユニットと第２切削ユニットの振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニットと第２切削ユニットによる被加工物の正常で正確な切削を行うことができる。

第１発明に係る切削装置の斜視図である。 （ａ）は第１発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図である。 （ａ）は第１発明に係る切削装置の第１切削ユニットの側断面図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。 （ａ）は第２発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図である。 （ａ）は第２発明に係る切削装置の第１切削ユニットの側断面図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。 （ａ）は第３発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図である。 （ａ）は第３発明に係る切削装置の第１切削ユニットの側断面図、（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

［切削装置の全体構成］
まず、第１発明に係る切削装置の全体構成を図１に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明では、図１における左右方向をＸ軸方向、前後方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とする。

図１は本発明に係る切削装置の斜視図であり、図示の切削装置１は、所謂デュアルダイサーと称されるものであって、各構成要素を支持する基台２を備えている。この基台２のＹ軸方向中央部には、Ｘ軸方向に長い矩形の開口部３が開口しており、この開口部３の前方（－Ｙ軸方向）の右側（＋Ｘ軸方向）角部には、不図示の昇降機構によって上下方向（Ｚ軸方向）に昇降するカセット支持台４が設けられている。そして、このカセット支持台４の上面には、被加工物である円板状の複数枚のウェーハ１００（図１には、１枚のみ図示）を収容する矩形ボックス状のカセット５が配置されている。なお、図１においては、説明の便宜上、カセット５は、その輪郭のみを示している。

ここで、ウェーハ１００は、その表面（図１においては、上面）が格子状に配列されたストリートと称される切断予定ラインによって多数の矩形領域に区画されており、各矩形領域にはＩＣやＬＳＩなどのデバイスがそれぞれ形成されている。そして、このように多数のデバイスが形成されたウェーハ１００をストリートに沿って切断することによって、複数の半導体チップが形成される。なお、ウェーハ１００は、その裏面（図１においては、下面）に貼着された貼着テープ１０１が環状フレーム１０２に接着されることによって、環状フレーム１０２によって支持されている。

ところで、基台２の上面に開口する開口部３には、ウェーハ１００を環状フレーム１０２と共に保持面上に吸引保持する円板状のチャックテーブル６が設けられており、このチャックテーブル６の周囲には、環状フレーム１０２を四方から固定するための４つのクランプ７が周方向に等角度ピッチ（９０°ピッチ）で配設されている。

ここで、チャックテーブル６は、その下方に配された不図示の回転駆動機構によって垂直な軸中心回りに回転駆動されるとともに、その下方に配置された不図示のＸ軸方向移動機構によってＸ軸方向（左右方向）に沿って往復移動することができる。なお、開口部３のチャックテーブル６の周囲は、該チャックテーブル６と共に移動する矩形板状のカバー８によって覆われており、開口部３のカバー８のＸ軸方向両側（左右）は、カバー８と共にＸ軸方向に移動して伸縮する蛇腹状の伸縮カバー９によってそれぞれ覆われている。したがって、開口部３は、チャックテーブル６がＸ軸上のどの位置にあっても、カバー８と伸縮カバー９によって常に閉じられており、該開口部３から基台２内への異物などの侵入が確実に防がれる。

また、基台２上の左側（－Ｘ軸側）には、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０が開口部３を挟んでこれの前後両側（－Ｙ軸側及び＋Ｙ軸側）に相対向するようにそれぞれ配設されており、これらの第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０には、撮像ユニット７１，７２がそれぞれ取り付けられている。ここで、各撮像ユニット７１，７２は、チャックテーブル６の保持面上に吸引保持されたウェーハ１００を撮像してストリートの位置を検出するものである。なお、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の構成の詳細については後述する。

上記第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０は、前後一対のＺ軸方向移動機構８０によってＺ軸方向（切り出し送り方向）の上下移動が可能であるとともに、前後一対のＹ軸方向移動機構９０によってＹ軸方向（割り出し送り方向）の前後移動がそれぞれ可能である。

ここで、各Ｚ軸方向移動機構８０は、矩形プレート状のスライダ９１の前後に互いに平行に垂直に配置された一対のＺ軸ガイドレール８１と、これらのＺ軸ガイドレール８１に沿って上下に移動可能な昇降板８２と、一対のＺ軸ガイドレール８１の間に垂直に配置された回転可能なＺ軸ボールネジ軸８３と、該Ｚ軸ボールネジ軸８３を回転駆動する正逆転可能なＺ軸パルスモータ８４をそれぞれ含んで構成されている。そして、第１切削ユニット１０及び撮像ユニット７１と第２切削ユニット２０及び撮像ユニット７２は、各昇降板８２の下部にそれぞれ取り付けられている。なお、各昇降板８２の裏面には不図示のナット部材が突設されており、このナット部材にＺ軸ボールネジ軸８３がそれぞれ螺合挿通している。

上述のように構成されたＺ軸方向移動機構８０において、Ｚ軸パルスモータ８４が駆動されてＺ軸ボールネジ軸８３が正逆転すると、該Ｚ軸ボールネジ軸８３に螺合する不図示のナット部材が突設された昇降板８２が一対のＺ軸ガイドレール８１に沿って上下動するため、各昇降板８２にそれぞれ取り付けられた第１切削ユニット１０及び撮像ユニット７１と第２切削ユニット２０及び撮像ユニット７２もＺ軸方向（切り出し送り方向）に沿って上下移動する。

また、前後一対の各Ｙ軸方向移動機構９０は、前記スライダ９１をそれぞれ備えているが、これらのスライダ９１は、基台２上に垂直に立設された門型のコラム９２の正面にＹ軸方向（前後方向）に沿って互いに平行に配置された上下一対のＹ軸ガイドレール９３に沿ってＹ軸方向に沿ってそれぞれ移動可能である。

そして、前後一対のＹ軸方向移動機構９０においては、上下一対のＹ軸ガイドレール９３の間には、Ｙ軸方向（前後方向）に沿って配置された上下一対の回転可能なＹ軸ボールネジ軸９４が配置されており、これらのＹ軸ボールネジ軸９４には、前後一対の各スライダ９１の裏面に突設された不図示のナット部材がそれぞれ螺合している。また、各Ｙ軸ボールネジ軸９４の軸方向一端は、回転駆動源であるＹ軸パルスモータ９５（図１には、一方のみ図示）にそれぞれ連結されている。

したがって、各Ｙ軸方向移動機構９０において、Ｙ軸パルスモータ９５を駆動してＹ軸ボールネジ軸９４を正逆転させると、これらのＹ軸ボールネジ軸９４に螺合する不図示のナット部材が突設された前後一対のスライダ９１が昇降板８２と共にＹ軸ガイドレール９３に沿ってＹ軸方向（割り出し送り方向）にそれぞれ移動することができる。このため、昇降板８２にそれぞれ取り付けられた第１切削ユニット１０及び撮像ユニット７１と第２切削ユニット２０及び撮像ユニット７２がＹ軸ガイドレール９３に沿ってＹ軸方向（割り出し送り方向）にそれぞれ移動することができる。

以上のように、図１に示す切削装置１においては、チャックテーブル６とこれに保持されたウェーハ１００がＸ軸方向（左右方向）に沿って移動可能であり、第１切削ユニット１０及び撮像ユニット７１と第２切削ユニット２０及び撮像ユニット７２がＹ軸方向（前後方向）とＺ軸方向（上下方向）に沿ってそれぞれ移動可能である。

ところで、図１に示すように、基台２上の開口部３よりも後方且つ右寄り部分には、切削加工後のウェーハ１００を洗浄するための洗浄ユニット７５が配設されている。この洗浄ユニット７５は、ウェーハ１００を吸引保持しながら回転するスピンナテーブル７６と、該スピンナテーブル７６上に吸引保持されたウェーハ１００に上方から洗浄液を噴射する噴射ノズル７７を備えている。

［第１発明］
次に、第１発明に係る切削装置１に備えられた前記第１切削ユニット１０と前記第２切削ユニット２０の構成の詳細を図２及び図３に基づいて以下に説明する。

図２（ａ）は第１発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、図１（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図、図３（ａ）は同切削装置の第１切削ユニットの側断面図、図３（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。

先ず、第１切削ユニット１０の構成を図２（ａ）及び図３（ａ）に基づいて説明すると、該第１切削ユニット１０は、切削ブレードとしての第１ワッシャブレード１１を第１固定フランジ１２と第１押えフランジ１３及び第１固定ナット１４によって第１スピンドル１５の先端部に着脱可能に固定することによって構成されている。なお、この第１発明においては、第１ワッシャブレード１１は、第２切削ユニット２０においても共通に用いられるため、以下の説明においては、これらを区別しないで単に「ワッシャブレード１１」と称する。

ここで、第１スピンドル１５は、第１スピンドルハウジング１６に内蔵された不図示のスピンドルモータによって高速で回転駆動されるものであって、該第１スピンドル１５のスピンドルハウジング１６の一端面から突出する先端部の外周は、先端に向かって外径が次第に細くなるテーパ面１５１とされている。また、第１スピンドル１５の前端部の軸中心にはネジ孔１５２が形成されている（図２（ａ）参照）。

前記第１固定フランジ１２は、その軸方向一端部に形成された円筒状の第１ボス部１２１と、該第１ボス部１２１の基端部から径方向外方に向かって一体に突設された円環状の第１固定フランジ部１２２を備えており、その軸中心部には、第１スピンドル１５の先端部のテーパ面１５１に篏合するテーパ孔状の装着孔１２３が軸方向に沿って形成されている。

また、第１ボス部１２１の先端部外周には雄ネジ１２４（図２（ａ）参照）が刻設されており、軸方向において第１ボス部１２１と第１固定フランジ部１２２との間には、円環状の篏合段部１２５が一体に形成されており、この篏合段部１２５の外周面は、円環状のワッシャブレード１１の中心に形成された円孔状の装着孔１１１が篏合する篏合面を形成している。そして、第１固定フランジ部１２２の軸方向一端面（図の左端面）の外周部には、ワッシャブレード１１に当接する円環状の当接面１２６が形成されている。

ここで、円環状のワッシャブレード１１は、ニッケル母材中に分散されたダイヤモンド砥粒を電着させることによって切刃（電着砥石）として構成されるものであって、その形状と寸法は、第１研削ユニット１０と第２研削ユニット２０において同じである。つまり、前述のように、第１研削ユニット１０と第２研削ユニット２０においては、同じワッシャブレード１１が使用される。

前記第１押えフランジ１３は、その軸中心部に軸方向に貫通する円孔状の装着孔１３１（図２（ａ）参照）が形成されており、その軸方向一端面（図の右端面）の外周部には、第１固定フランジ１２の当接面１２６と同一幅の円環状の当接面１３２が形成されている。

前記第１固定ナット１４は、円環状の締結具であって、その内周には雌ネジ１４１（図２（ａ）参照）が刻設されており、この第１固定ナット１４の端面の周方向４箇所には、不図示の工具が係合する係合孔１４２が等角度ピッチ（９０°ピッチ）で形成されている。

而して、ワッシャブレード１１は、以上のように構成された第１固定フランジ１２と第１押えフランジ１３及び第１固定ナット１４を用いて以下の手順によって第１スピンドル１５の先端部に固定される。

すなわち、図３（ａ）に示すように、先ず、第１固定フランジ１２を、その軸中心部に形成されたテーパ孔状の装着孔１２３を第１スピンドル１５の先端部外周のテーパ面１５１（図２（ａ）参照）に嵌め込んで該第１スピンドル１５１の先端部に装着する。そして、この状態からワッシャ１７に挿通するボルト１８を第１スピンドル１５の軸中心部に形成されたネジ孔１５２（図２（ａ）参照）にねじ込んで締め付けることによって、第１固定フランジ１２を第１スピンドル１５の先端部に固定する。

次に、ワッシャブレード１１を、これに形成された装着孔１１１（図２（ａ）参照）を第１固定フランジ１２の篏合段部１２５の外周面（篏合面）に嵌め込んで第１固定フランジ１２にセットする。

その後、第１押えフランジ１３を、その軸中心部に形成された装着孔１３１（図２（ａ）参照）を第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外周に嵌め込んで第１固定フランジ１２に装着し、第１固定フランジ１２にセットされているワッシャブレード１１を、第１押えフランジ１３の当接面１３２と第１固定フランジ１２の当接面１２６とで挟み込む。

そして、最後に、第１固定ナット１４を、その内周に形成された雌ネジ１４１（図２（ａ）参照）を第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外周に形成された雄ネジ１２４（図２（ａ）参照）に螺合させることによって、第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１にセットする。そして、この状態で、第１固定ナット１４を、これに形成された係合孔１４２（図２（ａ）参照）に係合する不図示の工具によって回し、該第１固定ナット１４を第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１にねじ込んで締結する。すると、第１固定ナット１４によって第１押えフランジ１３がワッシャブレード１１に押圧され、ワッシャブレード１１が、第１固定フランジ１２の当接面１２６と第１押えフランジ１３の当接面１３２によって軸方向両側から挟持されて第１スピンドル１５の先端部に固定される。

第２切削ユニット２０の構成を図２（ｂ）及び図３（ｂ）に示すが、この第２切削ユニット２０の基本構成は、第１切削ユニット１０の基本構成と同じである。すなわち、第２切削ユニット２０は、ワッシャブレード１１を第２固定フランジ２２と第２押えフランジ２３及び第２固定ナット２４によって第２スピンドル２５の先端部に着脱可能に固定することによって構成されている。

以上のように構成された第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０を備える図１に示す切削装置１においては、各撮像ユニット７１，７２によるウェーハ１００の表面の撮像によって画像が得られると、その画像に基づくパターンマッチング処理によって切削すべきストリートが検出される。このようにウェーハ１００のストリートが検出されると、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の各ワッシャブレード１１のＹ軸方向の位置が前後一対の各Ｙ軸方向移動機構９０によってそれぞれ割り出され、これらのワッシャブレード１１のＹ軸方向の位置が切削すべきストリートの位置に合わせられる。

そして、上記状態から第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の各ワッシャブレード１１がそれぞれ高速で回転駆動されながら、前後一対の各Ｚ軸方向移動機構８０によって所定の切込量分だけそれぞれ下降するとともに、不図示のＸ軸方向移動機構によってチャックテーブル６とこれに保持されたウェーハ１００がＸ軸方向に移動する。すると、ウェーハ１００は、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の各ワッシャブレード１１によってストリートに沿って切断され、このような作業が一方向の全てのストリートに対して行われると、不図示の回転駆動機構によってチャックテーブル６とこれに保持されたウェーハ１００が９０°だけ回転され、切断が終了したストリートと直交する他方向のストリートに沿う切断が同様になされる。そして、ウェーハ１００の全てのストリートに沿う切断が終了すると、個々のデバイスが搭載された複数の半導体チップが得られる。

ところで、上述のように第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の各ワッシャブレード１１によるウェーハ１００の切断によって各ワッシャブレード１１が摩耗などした場合には、これらのワッシャブレード１１がそれぞれ新しいものと交換される。これらのワッシャブレード１１の交換に際しては、次の手順によって各ワッシャブレード１１が第１スピンドル１５と第２スピンドル２５からそれぞれ取り外される。

すなわち、例えば、第１切削ユニット１０において使用されているワッシャブレード１１を取り外すには、第１固定ナット１４を不図示の工具を用いて回して緩めることによって、該第１固定ナット１４を第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１から取り外す。次に、第１押えフランジ１３を第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１から引き抜いて取り外した後、ワッシャブレード１１を第１固定フランジ１２から抜いて取り外し、このワッシャブレード１１を新しいものと交換する。

新しいワッシャブレード１１は、前記と同様の手順によって第１スピンドル１５と第２スピンドル２５の各先端部にそれぞれ取り付けられて固定されるが、このとき、第１切削ユニット１０の第１押えフランジ１３と第１固定ナット１４と、第２切削ユニット２０の第２押えフランジ２３と第２固定ナット２４とを入れ替えて誤装着すると、振動などの問題が発生することは前述の通りである。

そこで、本発明においては、図２及び図３に示すように、第１切削ユニット１０における第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外径φＤ１と、第２研削ユニット２０における第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１の外径φＤ２とを互いに異なる大きさに設定するとともに、これに伴って第１切削ユニット１０における第１押えフランジ１３の装着孔１３１と第１固定ナット１４の雌ネジ１４１の内径φｄ１（図２（ａ）参照）を、これらの第１押えフランジ１３と第１固定ナット１３が第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１に装着可能な大きさに設定した。また、第２切削ユニット２０における第２押えフランジ２３の装着孔２３１と第２固定ナット２４の雌ネジ２４１の内径φｄ２（図２（ｂ）参照）を、これらの第２押えフランジ２３と第２固定ナット２４が第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１に装着可能な大きさに設定した。

本実施の形態では、第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外径φＤ１を第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１の外径φＤ２よりも小さく設定するとともに（φＤ１＜φＤ２）、これに伴って第１押えフランジ１３の装着孔１３１と第１固定ナット１４の雌ネジ１４１の内径φｄ１を第２押えフランジ２３の装着孔２３１と第２固定ナット２４の雌ネジ２４１の内径φｄ２よりも小さく設定している（φｄ１＜φｄ２）。なお、ワッシャブレード１１は、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０において同じものが使用されるため、第１固定フランジ１２の篏合段部１２５の外径と第２固定フランジ２２の篏合段部２２５の外径とは同じ値（ワッシャブレード１１の装着孔１１１の内径）φｄに設定されている。

したがって、第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０において、各ワッシャブレード１１をそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１押えフランジ１３と第２押えフランジ２３とを入れ替え、或いは第１固定ナット１４と第２固定ナット２４とを入れ替えて第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１と第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１に装着しようとしても、これらを装着することができない。このため、第１切削ユニット１０の第１押えフランジ１３と第２切削ユニット２０の第２押えフランジ２３及び第１切削ユニット１０の第１固定ナット１４と第２切削ユニット２０の第２固定ナット２４とを互いに入れ替えて誤装着するという不具合の発生が防がれる。この結果、誤装着に伴う第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０の振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニット１０と第２切削ユニット２０によるウェーハ１００の正常で正確な切削を行うことができる。

なお、本実施の形態では、第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外径φＤ１を第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１の外径φＤ２よりも小さく設定したが（φＤ１＜φＤ２）、これとは逆に第１固定フランジ１２の第１ボス部１２１の外径φＤ１を第２固定フランジ２２の第２ボス部２２１の外径φＤ２よりも大きく設定しても（φＤ１＞φＤ２）、前記と同様の効果が得られる。

［第２発明］
次に、第２発明に係る切削装置の第１切削ユニットと第２切削ユニットの構成の詳細を図４及び図５に基づいて以下に説明する。

第２発明に係る切削装置の基本構成は、図１に示す第１発明に係る切削装置１のそれと同じであるため、これについての再度の説明は省略し、以下、第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０の構成を図４及び図５に基づいて説明する。

図４（ａ）は第２発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、図４（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図、図５（ａ）は同切削装置の第１切削ユニットの側断面図、図５（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。

先ず、第１切削ユニット３０の構成を図４（ａ）及び図５（ａ）に基づいて説明すると、該第１切削ユニット３０は、切削ブレードとしての第１ハブブレード３１を第１マウント３２と第１固定ナット３３によって第１スピンドル１５の先端部に着脱可能に固定することによって構成されている。

ここで、第１スピンドル１５は、前記第１発明において説明したものと同じであるため、これについての再度の説明は省略し、同一要素には同一符号を付している。また、この第２発明においては、第１バフブレード３１は、第２切削ユニット４０においても共通に用いられるため、以下の説明においては、これらを区別しないで単に「バフブレード３１」と称する。

前記第１マウント３２は、その軸方向一端部に形成された円筒状の第１ボス部３２１と、該第１ボス部３２１の基端部から径方向外方に向かって一体に突設された円環状の第１固定フランジ部３２２を備えており、その軸中心部には、第１スピンドル１５の先端部に篏合するテーパ孔状の装着孔３２３が軸方向に沿って貫設されている。また、第１ボス部３２１の先端部外周には雄ネジ３２４（図４（ａ）参照）が刻設されており、第１マウント３２の軸方向一端面（図の左端面）の外周部には、バフブレード３１の基台３１１に当接する当接面３２５が形成されている。

ここで、円環状のバフブレード３１は、円形フランジ状の基台３１１の外周に、ニッケル母材中に分散されたダイヤモンド砥粒を電着させることによって構成された円環状の切刃（電着砥石）３１２を取り付けて構成されており、その基台３１１の軸中心には、円孔状の装着孔３１３（図４（ａ）参照）が形成されている。なお、バフブレード３１は、前述のように、第１研削ユニット３０と第２研削ユニット４０において同じものが使用され、その形状と寸法は同じである。

前記第１固定ナット３３は、円環状の締結具であって、その内周には雌ネジ３３１（図４（ａ）参照）が刻設されている。なお、この第１固定ナット３３の端面の周方向４箇所には、不図示の工具が係合する係合孔３３２（図４（ａ）参照）が等角度ピッチ（９０°ピッチ）で形成されている。

而して、ワッシャブレード３１は、以上のように構成された第１マウント３２と第１固定ナット３３を用いて以下の手順によって第１スピンドル１５の先端部に固定される。

すなわち、図５（ａ）に示すように、先ず、第１マウント３２を、その軸中心部に形成されたテーパ孔状の装着孔３１３に第１スピンドル１５の先端部外周のテーパ面１５１（図４（ａ）参照）を嵌め込んで第１スピンドル１５の先端部に装着する。そして、この状態からワッシャ３４に挿通するボルト３５を第１スピンドル１５の軸中心部に形成されたネジ孔１５２（図４（ａ）参照）にねじ込んで締め付けることによって、第１マウント３２を第１スピンドル１５の先端部に固定する。

次に、バフブレード３１を、その軸中心部に形成された装着孔３１３（図４（ａ）参照）を第１マウント３２の第１ボス部３２１の外周面に嵌め込んで第１マウント３２にセットする。

最後に、第１固定ナット３３を、その内周に形成された雌ネジ３３１（図４（ａ）参照）を第１マウント３２の第１ボス部３２１の外周に形成された雄ネジ３２４（図４（ａ）参照）に螺合させることによって、第１マウント３２の第１ボス部３２１にセットする。そして、この状態で、第１固定ナット３３を、これに形成された係合孔３３２（図４（ａ）参照）に係合する不図示の工具によって回して第１マウント３２の第１ボス部３２１にねじ込んで締結する。すると、第１固定ナット３３によってバフブレード３１が第１マウント３２の当接面３２５に押圧され、該バフブレード３１が第１マウント３２と第１固定ナッ３３とによって軸方向に挟持されて第１スピンドル１５の先端部に固定される。

第２切削ユニット４０の構成を図４（ｂ）及び図５（ｂ）に示すが、この第２切削ユニット４０の基本構成は、第１切削ユニット３０の基本構成と同じである。すなわち、第２切削ユニット４０は、ハブブレード３１を第２マウント４２と第２固定ナット４３によって第２スピンドル２５の先端部に着脱可能に固定することによって構成されている。

ところで、上述のように構成された第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０の各ハブブレード３１によるウェーハ１００の切断によって各ハブブレード３１が摩耗などしたためにこれらのハブブレード３１を新しいものと交換する必要があるときには、次の手順によって各ハブブレード３１が第１スピンドル１５と第２スピンドル２５からそれぞれ取り外される。

すなわち、例えば、第１切削ユニット３０において使用されているハブブレード３１を取り外すには、第１固定ナット３３を不図示の工具を用いて回して緩めることによって、該第１固定ナット３３を第１マウント３２の第１ボス部３２１から取り外す。次に、第１マウント３２を第１スピンドル１５に残したまま、バフブレード３１を第１マウント３２の第１ボス部３２１から引き抜いて取り外した後、このバフブレード３１を新しいものと交換する。

第２切削ユニット４０のバフブレード３１も上述と同様の手順によって新しいものと交換されるが、このとき、第１切削ユニット３０の第１固定ナット３３と、第２切削ユニット４０の第２固定ナット４３とを入れ替えて誤装着すると、振動などの問題が発生することは前述の通りである。

そこで、本発明においては、図４及び図５に示すように、第１固定マウント３２の第１ボス部３２１の雄ネジ３２４が形成された先端部の外径φＤ３と、第２マウント４２の第２ボス部４２１の雄ネジ４２４が形成された先端部の外径φＤ４とを互いに異なる大きさに設定するとともに、これに伴って第１固定ナット３３の雌ネジ３３１の内径φｄ３（図４（ａ）参照）と第２固定ナット４３の雌ネジ４３１の内径φｄ４(図４（ｂ）参照）を、これらの雌ネジ３３１，４３１が第１マウント３２の第１ボス部３２１の雄ネジ３２４と第２マウント４２の第２ボス部４２１の雄ネジ４３１にそれぞれ螺合可能な大きさに設定した。

本実施の形態では、第１マウント３２の第１ボス部３２１の先端部の外径φＤ３を第２マウント４２の第２ボス部４２１の先端部の外径φＤ４よりも大きく設定するとともに（φＤ３＞φＤ４）、これに伴って第１固定ナット３３の雌ネジ３３１の内径φｄ３を第２固定ナット４３の雌ネジ４３１の内径φｄ４よりも大きく設定している（φｄ３＞φｄ４）。なお、本実施の形態では、第２マウント４２の第２ボス部４２１の外径φＤ４は、バフブレード３１の装着孔３１３の内径φｄよりも小さく設定されているため（φＤ４＜φｄ）、第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０に共通に使用されるバフブレード３１が第２マウント４２の第２ボス部４２１に装着されるように、該第２ボス部４２１には、該第２ボス部４２１の外径φＤ４よりも大きな外径φｄを有する篏合段部４２５が一体に形成されており、この篏合段部４２５の外周面にバフブレード３１の装着孔３１３が篏合するようにしている。

したがって、第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０において、各バフブレード３１をそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１固定ナット３３と第２固定ナット４３とを入れ替え、第１固定ナット３３を第２マウント４２の第２ボス部４２１の雄ネジ４２４に螺合させ、或いは第２固定ナット４３を第１マウント３２の第１ボス部３２１の雄ネジ３２４に螺合させることができない。このため、第１固定ナット３３と第２固定ナット４３を互いに入れ替えて誤装着するという不具合が起こり得ない。この結果、第１固定ナット３３と第２固定ナット４３の誤装着に伴う第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０の振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニット３０と第２切削ユニット４０によるウェーハ１００の正常で正確な切削を行うことができる。

なお、本実施の形態では、第１マウント３２の第１ボス部３２１の先端部の外径φＤ３を第２マウント４２の第２ボス部４２１の先端部の外径φＤ４よりも大きく設定したが（φＤ３＞φＤ４）、これとは逆に第１ボス部３２１の先端部の外径φＤ３を第２ボス部４２１の先端部の外径φＤ４よりも小さく設定しても（φＤ３＜φＤ４）、前記と同様の効果が得られる。

［第３発明］
次に、第３発明に係る切削装置の第１切削ユニットと第２切削ユニットの構成の詳細を図６及び図７に基づいて以下に説明する。

第３発明に係る切削装置の基本構成は、図１に示す第１発明に係る切削装置１のそれと同じであるため、これについての再度の説明は省略し、以下、第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０の構成を図６及び図７に基づいて説明する。

図６（ａ）は第３発明に係る切削装置の第１切削ユニットの分解斜視図、図６（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの分解斜視図、図７（ａ）は同切削装置の第１切削ユニットの側断面図、図７（ｂ）は同切削装置の第２切削ユニットの側断面図である。

先ず、第１切削ユニット５０の構成を図６（ａ）及び図７（ａ）に基づいて説明すると、該第１切削ユニット５０は、切削ブレードとしてのワッシャブレード１１を、真空吸着によって第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２によって挟持することによって、第１スピンドル１５の先端部に着脱可能に固定して構成されている。

ここで、第１スピンドル１５は、前記第１及び第２発明において説明したものと同じであるため、これについての再度の説明は省略するが、この第１スピンドル１５は、スピンドルハウジング１６内に設けられた不図示のエアベアリングによって回転可能に支持されて高速で回転する。また、第１スピンドルハウジング１６の軸方向一端面には、第１ロータリジョイント５３が複数のネジ１９によって取り付けられている。

上記第１ロータリジョイン５３は、円環状の部材であって、その軸中心部には、大小異径の円孔５３１，５３２が軸方向に貫設されている（図７（ａ）参照）。そして、大径側の円孔５３１の内周には、環状溝５３３が全周に亘って形成されており、当該第１ロータリジョイント５３の内部には円環状の吸引通路５３４が形成されている。ここで、環状溝５３３は、第１ロータリジョイント５３の内部に径方向に沿って形成された複数の吸引通路５３５（図７には１つのみ図示）を介して吸引通路５３４に連通しており、吸引通路５３４には、第１ロータリジョイント５３の頂部に形成された径方向の１つの連通孔５３６が開口している。そして、第１ロータリジョイント５３の頂部に開口する連通孔５３６には、吸引パイプ５４が接続されており、この吸引パイプ５４は、電磁開閉弁５５を介して真空ポンプなどの第１吸引源５６に接続されている。なお、第１ロータリジョイント５３の小径側の円孔５３２には、図７（ａ）に示すように、第１スピンドル１５の先端部が挿入されている。

前記第１固定フランジ５１は、その軸方向中間部に、径方向外方に向かって一体に突設された第１フランジ部５１１を備えており、この第１フランジ部５１１の軸方向両側には、大径の第１円筒部５１２と小径の第１ボス部５１３がそれぞれ一体に形成されている。そして、この第１固定フランジ５１の軸中心部には、第１スピンドル１５の先端部が篏合するテーパ孔状の装着孔５１４が軸方向に沿って形成されており、第１円筒部５１２は、第１ロータリジョイント５３の大径側の円孔５３１内に挿入されている。

さらに、第１固定フランジ５１の内部には、クランク状に屈曲する複数の吸引通路５１５（図７（ａ）には、１つのみ図示）が形成されており、各吸引通路５１５の一端（図７の左端）は、第１円筒部５１２の外周に円孔状にそれぞれ開口している（図６参照）。また、各吸引通路５１５の他端（図７の右端）は、第１円筒部５１２の外周に形成された環状溝５１６に円孔状の開口孔として開口している（図６参照）。ここで、図７（ａ）に示すように、第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２との間には、負圧室を構成する円環状の軸方向隙間５１７が形成されており、この軸方向隙間５１７は、不図示の切り欠きを介して吸引通路５１５に連通している。

なお、図７（ａ）に示すように、第１固定フランジ５１の第１円筒部５１２の外周に形成された環状溝５１６とロータリジョイント５３の大径側の円孔５３１の内周に形成された環状溝５３３とは、径方向において互いに対向して配置されている。また、第１固定フランジ５１の第１円筒部５１２内には、第１スピンドルハウジング１６内に配置された不図示のエアベアリングから排出されるエアを大気中に排出するためのエア排出通路５１８がＬ字状に屈曲して形成されている。

さらに、第１固定フランジ５１の第１フランジ部５１１の軸方向一端面（図６（ａ）及び図７（ａ）の左端面）には、円環状の篏合段部５１９が一体に形成されており、この篏合段部５１９の外周面は、ワッシャブレード１１の装着孔１１１が篏合する篏合面を構成している（図７（ａ）参照）。また、第１フランジ部５１１の軸方向一端面の外周部には、ワッシャブレード１１に当接する円環状の当接面５２０が形成されている。

ここで、円環状のワッシャブレード１１の形状と寸法は、第１研削ユニット５０と第２研削ユニット６０において同じである。つまり、第１研削ユニット５０と第２研削ユニット６０においては、同じワッシャブレード１１が使用される。

前記第１押えフランジ５２は、その軸中心部に軸方向に貫通する円孔状の装着孔５２１が形成されており、この第１押えフランジ５２の軸方向一端面（図７（ａ）の右端面）には、環状溝５２２（図７（ａ）参照）が形成されている。そして、この環状溝５２２の外周側には、円環状の当接面５２３が形成されている。ここで、図７（ａ）に示すように、第１押えフランジ５２の環状溝５２２には、第１固定フランジ５１の篏合段部５１９が篏合しており、両者の間には、負圧室を構成する前記軸方向隙間５１７が形成されている。

而して、第１切削ユニット５０において、ワッシャブレード１１は、以上のように構成された第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２に真空吸着によって挟持されて固定される。

すなわち、図７（ａ）に示すように、先ず、第１固定フランジ５１を、その軸中心部に形成されたテーパ孔状の装着孔５１４を第１スピンドル１５の先端部外周のテーパ面１５１（図６（ａ）参照）に嵌め込んで第１スピンドル１５の先端部に装着する。そして、この状態からワッシャ５７に挿通するボルト５８を第１スピンドル１５の軸中心部に形成されたネジ孔１５２（図６（ａ）参照）にねじ込んで締め付けることによって、第１固定フランジ５１を第１スピンドル１５の先端部に固定する。

次に、ワッシャブレード１１を、これに形成された装着孔１１１を第１固定フランジ５１の篏合段部５１９の外周面（篏合面）に嵌め込んで第１固定フランジ５１にセットする。

その後、第１押えフランジ５２を、その軸中心部に形成された装着孔５２１（図６（ａ）参照）を第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３の外周に嵌め込んで該第１固定フランジ５１に装着し、第１固定フランジ５１にセットされているワッシャブレード１１を、第１押えフランジ５２の当接面５２３と第１固定フランジ５１の当接面５２０とで挟み込む（図７（ａ）参照）。

そして、上記状態から図７（ａ）に示す吸引源５６を駆動して電磁開閉弁５５を図示のように開く。すると、第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２との間に形成された軸方向隙間５１７内のエアが図７（ａ）に矢印にて示すように吸引通路５１５から環状溝５１６，５３３、吸引通路５３５、吸引通路５３４，５３５、連通孔５３６及び吸引パイプ５４を経て第１吸引源５６へと吸引されるため、軸方向隙間５１７に負圧が発生し、この負圧に引かれて第１押えフランジ５２が第１固定フランジ５１に押圧されるため、ワッシャブレード１１が第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２によって挟持されて固定される。

第２切削ユニット６０の構成を図６（ｂ）及び図７（ｂ）に示すが、この第２切削ユニット６０の基本構成は、第１切削ユニッ５０の基本構成と同じである。すなわち、第２切削ユニット６０は、ワッシャブレード１１を第２固定フランジ６１と第２押えフランジ６２によって挟持することによって構成されている。この第２切削ユニット６０においても、第２ロータリジョイント６３が複数のネジ１９によって第２スピンドルハウジング２６の軸方向一端面に取り付けられており、この第２ロータリジョイント６３は、電磁開閉弁６５を介して第２吸引源６６に接続されている。なお、第２ロータリジョイント６３の構成は、第１ロータリジョイント５３の構成と同じであるため、これについての説明は省略する。

ところで、第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０の各ワッシャブレード１１によるウェーハ１００の切断によって各ワッシャブレード１１が摩耗などした場合には、これらのワッシャブレード１１がそれぞれ新しいものと交換されるが、各ワッシャブレード１１は、次の手順によって第１固定フランジ５１と第２固定フランジ６１からそれぞれ取り外される。

すなわち、例えば、第１切削ユニット５０において使用されているワッシャブレード１１を取り外すには、電磁開閉弁５５を閉じて第１固定フランジ５１と第１押えフランジ５２との間に形成された軸方向隙間５１７（図７（ａ）参照）からのエアの吸引を停止する。すると、軸方向隙間５１７が大気に開放されて該軸方向隙間５１７の圧力が大気圧となるため、第１押えフランジ５２の真空吸引力が消滅する。このため、第１押えフランジ５２を第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３から容易に取り外し、新しいワッシャブレード１１を前記手順にしたがって取り付けて固定することができる。なお、第２切削ユニット６０において使用されたワッシャプレート１１も同様の要領で取り外して新しいものと交換することができる。

以上のように、新しいワッシャブレード１１は、第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０にそれぞれ簡単に取り付けられるが、このとき、第１切削ユニット５０の第１押えフランジ５２と、第２切削ユニット６０の第２押えフランジ６２とを入れ替えて誤装着すると、振動などの問題が発生することは前述の通りである。

そこで、本発明においては、図６及び図７に示すように、第１切削ユニット５０における第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３の外径φＤ５と、第２切削ユニット６０における第２固定フランジ６１の第２ボス部６１３の外径φＤ６とを互いに異なる大きさに設定するとともに、これに伴って第１切削ユニット５０における第１押えフランジ５２の装着孔５２１の内径φｄ５（図６（ａ）参照）を、この第１押えフランジ５２が第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３に装着可能な大きさに設定した。また、第２切削ユニット６０における第２押えフランジ６２の装着孔６２１の内径φｄ６（図６（ａ）参照）を、この第２押えフランジ６２が第２固定フランジ６１の第２ボス部６１３に装着可能な大きさに設定した。

本実施の形態では、第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３の外径φＤ５を第２固定フランジ６１の第２ボス部６１３の外径φＤ６よりも小さく設定するとともに（φＤ５＜φＤ６）、これに伴って第１押えフランジ５２の装着孔５２１の内径φｄ５を第２押えフランジ６２の装着孔６２１の内径φｄ６よりも小さく設定している（φｄ５＜φｄ６）。なお、ワッシャブレード１１は、第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０において同じものが使用されるため、第１固定フランジ５１の篏合段部５１９の外径と第２固定フランジ６１の篏合段部６１９の外径とは同じ値φｄに設定されている。

したがって、第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０において、各ワッシャブレード１１をそれぞれ新しいものと交換する際に取り外した第１押えフランジ５２と第２押えフランジ６２とを入れ替えて第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３と第２固定フランジ６０の第２ボス部６１３に装着しようとしても、これらを装着することができない。このため、第１切削ユニット５０の第１押えフランジ５２と第２切削ユニット６０の第２押えフランジ６２とを互いに入れ替えて誤装着するという不具合の発生が防がれる。この結果、誤装着に伴う第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０の振動の発生を防ぐことができ、これらの第１切削ユニット５０と第２切削ユニット６０によるウェーハ１００の正常で正確な切削を行うことができる。

なお、本実施の形態では、第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３の外径φＤ５を第２固定フランジ６１の第２ボス部６１３の外径φＤ６よりも小さく設定したが（φＤ５＜φＤ６）、これとは逆に第１固定フランジ５１の第１ボス部５１３の外径φＤ５を第２固定フランジ６１の第２ボス部６１３の外径φＤ６よりも大きく設定しても（φＤ５＞φＤ６）、前記と同様の効果が得られる。

また、以上においては、第１～第３発明に係る切削装置は、被加工物としてウェーハを切削するものとして説明したが、第１～第３発明は、ウェーハ以外の任意の被加工物を切削する切削装置もその適用対象に含むものである。

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

１：切削装置、２：基台、３：開口部、４：カセット支持台、５：カセット、
６：チャックテーブル、７：クランプ、８：カバー、９：伸縮カバー、
１０：第１切削ユニット、１１：ワッシャブレード、１１１：装着孔、
１２：第１固定フランジ、１２１：第１ボス部、１２２：第１固定フランジ部、
１２３：装着孔、１２４：雄ネジ、１２５：篏合段部、１２６：当接面、
１３：第１押えフランジ、１３１：装着孔、１３２：当接面、１４：第１固定ナット、 １４１：雌ネジ、１４２：係合孔、１５：第１スピンドル、１５１：テーパ面、
１５２：ネジ孔、１６：第１スピンドルハウジング、１７：ワッシャ、
１８：ボルト、１９：ネジ、２０：第２切削ユニット、２２：第２固定フランジ、
２２１：第２ボス部、２２５：篏合段部、２３：第２押えフランジ、２３１：装着孔、 ２４：第２固定ナット、２４１：雌ネジ、２５：第２スピンドル、
２６：第２スピンドルハウジング、
３０：第１切削ユニット、３１：バフブレード、３１１：基台、３１３：切刃、
３２：第１マウント、３２１：第１ボス部、３２２：第１固定フランジ部、
３２３：装着孔、３２４：雄ネジ、３２５：当接面、３３：第１固定ナット、
３３１：雄ネジ、３３２：係合孔、３４：ワッシャ、３５：ボルト、
４０：第２切削ユニット、４２：第２マウント、４２１：第２ボス部、
４２４：雄ネジ、４２５：篏合段部、４３：第２固定ナット、４３１：雌ネジ、
５０：第１切削ユニット、５１：第１固定フランジ、５１１：第１フランジ部、
５１２：第１円筒部、５１３：第１ボス部、５１４：装着孔、５１５：吸引通路、
５１６：環状溝、５１７：軸方向隙間、５１８：エア排出通路、５１９：篏合段部、
５２０：当接面、５２：第１押えフランジ、５２１：装着孔、５２２：環状溝、
５２３：当接面、５３：第１ロータリジョイント、５３１，５３２：円孔、
５３３：環状溝、５３４，５３５：吸引通路、５３６：連通孔、５４：吸引パイプ、
５５：電磁開閉弁、５６：第１吸引源、５７：ワッシャ、５８：ボルト、
６０：第２切削ユニット、６１：第１固定フランジ、６１３：第２ボス部、
６１９：篏合段部、６２：第２押えフランジ、６２１：装着孔、
６３：第２ロータリジョイント、６５：電磁開閉弁、６６：第２吸引源、
７１，７２：撮像ユニット、７５：洗浄ユニット、７６：スピンナテーブル、
７７：噴射ノズル、８０：Ｚ軸方向移動機構、８１：Ｚ軸ガイドレール、
８２：昇降板、８３：Ｚ軸ボールネジ軸、８４：Ｚ軸パルスモータ、
９０：Ｙ軸方向移動機構、９１：スライダ、９２：コラム、
９３：Ｙ軸ガイドレール、９４：Ｙ軸ボールネジ軸、９５：Ｙ軸パルスモータ、
１００：ウェーハ（被加工物）、１０１：貼着テープ、１０２：環状フレーム、
φＤ１：第１固定フランジの第１ボス部の外径、
φＤ２：第２固定フランジの第２ボス部の外径、
φＤ３：第１マウントの第１ボス部の外径、
φＤ４：第２マウントの第２ボス部の外径、
φＤ５：第１固定フランジの第１ボス部の外径、
φＤ６：第２固定フランジの第２ボス部の外径、
φｄ：切削ブレード（ワッシャブレード、バフブレード）の装着孔の内径、
φｄ１：第１押えフランジの装着孔と第１固定ナットの雌ネジの内径、
φｄ２：第２押えフランジの装着孔と第２固定ナットの雌ネジの内径、
φｄ３：第１固定ナットの雌ネジの内径、φｄ４：第２固定ナットの雌ネジの内径、
φｄ５：第１押えフランジの装着孔の内径、φｄ６：第２押えフランジの装着孔の内径

Claims (3)

1. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、
   該第１切削ユニットは、
   回転駆動される第１スピンドルと、
   該第１スピンドルの先端部に固定される第１ワッシャブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１固定フランジと、
   該第１ボス部に装着される装着孔を有し、該第１ボス部に装着された該第１ワッシャブレードを該第１固定フランジとの間で挟持する第１押えフランジと、
   該第１ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第１ボス部に締結されることによって該第１押えフランジを介して該第１ワッシャブレードを固定する第１固定ナットと、
   を備え、
   該第２切削ユニットは、
   回転駆動される第２スピンドルと、
   該第２スピンドルの先端部に固定される第２ワッシャブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２固定フランジと、
   該第２ボス部に装着される装着孔を有し、該第２ボス部に装着された該第２ワッシャブレードを該第２固定フランジとの間で挟持する第２押えフランジと、
   該第２ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第２ボス部に締結されることによって該第２押えフランジを介して該第２ワッシャブレードを固定する第２固定ナットと、
   を備え、
   該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、
   該第１押えフランジの装着孔と該第１固定ナットの雌ネジの内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、
   該第２押えフランジの装着孔と該第２固定ナットの雌ネジの内径は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする切削装置。
2. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、
   該第１切削ユニットは、
   回転駆動される第１スピンドルと、
   該第１スピンドルの先端部に固定される第１バフブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１マウントと、
   該第１ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第１ボス部に締結されることによって該第１バフブレードを固定する第１固定ナットと、
   を備え、
   該第２切削ユニットは、
   回転駆動される第２スピンドルと、
   該第２スピンドルの先端部に固定される第２バフブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２マウントと、
   該第２ボス部の雄ネジに螺合する雌ネジが内周に形成され、該第２ボス部に締結されることによって該第２バフブレードを固定する第２固定ナットと、
   を備え、
   該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、
   該第１固定ナットの雌ネジの内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、
   該第２固定ナットの雌ネジの内径は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする切削装置。
3. 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する第１切削ユニットと第２切削ユニットを備える切削装置であって、
   該第１切削ユニットは、
   回転駆動される第１スピンドルと、
   該第１スピンドルを回転可能に保持する第１スピンドルハウジングと、
   該第１スピンドルハウジングの端面に固定される第１ロータリジョイントと、
   該第１スピンドルの先端部に固定される第１ワッシャブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第１ボス部を有する第１固定フランジと、
   該第１ボス部に装着される装着孔を有し、該第１ボス部に装着された該第１ワッシャブレードを該第１固定フランジとの間で挟持する第１押えフランジと、
   該第１押えフランジを該第１固定フランジと該第１ロータリジョイントに形成された吸引通路を経て吸引する第１吸引源と、
   を備え、
   該第２切削ユニットは、
   回転駆動される第２スピンドルと、
   該第２スピンドルを回転可能に保持する第２スピンドルハウジングと、
   該第２スピンドルハウジングの端面に固定される第２ロータリジョイントと、
   該第２スピンドルの先端部に固定される第２ワッシャブレードと、
   先端部に雄ネジが形成された円筒状の第２ボス部を有する第２固定フランジと、
   該第２ボス部に装着される装着孔を有し、該第２ボス部に装着された該第２ワッシャブレードを該第２固定フランジとの間で挟持する第２押えフランジと、
   該第２押えフランジを該第２固定フランジと該第２ロータリジョイントに形成された吸引通路を経て吸引する第２吸引源と、
   を備え、
   該第１ボス部と該第２ボス部の各先端部の外径は、互いに異なる大きさに設定され、
   該第１押えフランジの装着孔の内径は、該第１ボス部に装着可能な大きさに設定され、
   該第２押えフランジの装着孔の内径は、該第２ボス部に装着可能な大きさに設定されていることを特徴とする切削装置。

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