JP2023140903A - excimer lamp - Google Patents

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豪俊 張
Haojun Zhang
幸男 野口
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Abstract

To simplify a manufacturing method of an excimer lamp and improve the mechanical strength of a sealing portion between the inner and outer tubes of the excimer lamp.SOLUTION: An excimer lamp according to the present invention includes an arc tube that has a double tube structure with an inner tube and an outer tube having closed distal ends, and in which a discharge space between the inner tube and the outer tube is filled with discharge gas, an internal electrode is arranged in the inner tube, an external electrode is arranged so as to partially cover the circumferential outer peripheral surface of the outer tube, and the ends of the outer tube and the inner tube in the direction opposite to the distal ends thereof are integrated and hermetically sealed.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、エキシマランプに関する。 The present invention relates to an excimer lamp.

エキシマランプは、誘電体バリア放電の短時間放電が多数生じる特徴を生かして、希ガス原子や、希ガス原子とハロゲン原子によって形成されるエキシマからの光を放射する放電ランプである。誘電体バリア放電は、誘電体を挟んだ２つの電極間に数十Hz～数MHzの高周波高電圧を印加することで放電現象を発生している。現在、このエキシマランプは、主にＬＥＤ製造工程、半導体製造工程等のウエット処理の前洗浄、成膜工程の前洗浄等に広く利用されている。 An excimer lamp is a discharge lamp that takes advantage of the characteristic of dielectric barrier discharge that many short-time discharges occur and emits light from rare gas atoms or an excimer formed by rare gas atoms and halogen atoms. In a dielectric barrier discharge, a discharge phenomenon is generated by applying a high frequency high voltage of several tens of Hz to several MHz between two electrodes with a dielectric sandwiched therebetween. Currently, this excimer lamp is widely used mainly for pre-cleaning of wet processing in LED manufacturing processes, semiconductor manufacturing processes, etc., pre-cleaning of film-forming processes, etc.

本発明に係るエキシマランプは、具体的には、内管と外管の二重管構造を有し、内管と外管の間の放電空間に少なくとも1種類の希ガス、ハロゲン元素、あるいはこれらの混合ガスが封入されているエキシマランプに関する。関連する先行技術文献として、次の2件がある。 Specifically, the excimer lamp according to the present invention has a double tube structure of an inner tube and an outer tube, and contains at least one kind of rare gas, halogen element, or these in the discharge space between the inner tube and the outer tube. This invention relates to an excimer lamp filled with a mixed gas. There are the following two related prior art documents:

特許第5504095号「放電ランプ」（発行日：2014.05.28）特許権者：株式会社オーク製作所Patent No. 5504095 “Discharge lamp” (Issue date: 2014.05.28) Patent holder: Oak Seisakusho Co., Ltd. 特許第6431482号「エキシマランプ及びその製造法」（発行日：2018.11.28）特許権者:株式会社オーク製作所Patent No. 6431482 “Excimer lamp and its manufacturing method” (Publication date: 2018.11.28) Patent holder: Oak Seisakusho Co., Ltd.

特許文献1の開示する内容は、エキシマランプである放電ランプにおいて、放電管内部に箔電極を管軸に沿って配置している。また、箔電極を，誘電体によって被覆している。一方、箔電極とは極性の異なる外部電極を、縁に行くほど薄くなるナイフエッジ状に形成している。 The content disclosed in Patent Document 1 is that, in a discharge lamp that is an excimer lamp, foil electrodes are arranged inside the discharge tube along the tube axis. Further, the foil electrode is covered with a dielectric material. On the other hand, the external electrode, which has a different polarity from the foil electrode, is formed into a knife-edge shape that becomes thinner toward the edge.

特許文献２の開示する内容は、内側電極と内管の熱膨張係数の差に起因して内管が破損することを防止したエキシマランプを提供する。有底筒状の内管と、該内管との間に密封された放電空間を有する外管とを有し、上記放電空間内に放電ガスを封入した誘電体から成る発光管；前記発光管の外管の外周面側に配置された外側電極；及び前記内管内に挿入配置された棒状の内側電極；を備えたエキシマランプにおいて、前記内管の内周面と内側電極の外周面との間に、誘電体バリア放電によって前記内側電極が熱膨張したとき、該内側電極が内管に応力を及ぼすのを抑制し、かつ前記放電空間の大きさと放電電圧の大きさとを勘案して該放電空間における誘電体バリア放電を確保する断面積の緩衝空間を形成したエキシマランプ、である。 The content disclosed in Patent Document 2 provides an excimer lamp in which the inner tube is prevented from being damaged due to the difference in thermal expansion coefficient between the inner electrode and the inner tube. An arc tube made of a dielectric material having a cylindrical inner tube with a bottom and an outer tube having a sealed discharge space between the inner tube and a discharge gas sealed in the discharge space; In the excimer lamp, the excimer lamp includes an outer electrode disposed on the outer circumferential surface side of the outer tube; and a rod-shaped inner electrode inserted into the inner tube; During this period, when the inner electrode thermally expands due to dielectric barrier discharge, the inner electrode is prevented from exerting stress on the inner tube, and the discharge is controlled in consideration of the size of the discharge space and the magnitude of the discharge voltage. This excimer lamp has a buffer space with a cross-sectional area that ensures dielectric barrier discharge in the space.

これら先行技術文献の開示するエキシマランプは、ランプの端部封止時には内管と金属電極の段継シールが必要になるため、ランプ製造方法が複雑になる。更に、長尺ランプの場合、内管と内部電極との質量が嵩むと、シール部の脆弱化が懸念される。 The excimer lamps disclosed in these prior art documents require stepwise sealing between the inner tube and the metal electrode when sealing the end of the lamp, which complicates the lamp manufacturing method. Furthermore, in the case of a long lamp, if the mass of the inner tube and internal electrode increases, there is a concern that the seal portion may become brittle.

従って、本発明は、ランプ製造方法の簡素化を目的とする。同様に、本発明は、ランプの内管と外管の封止部の機械的強度の向上を目的とする。 The invention therefore aims at simplifying the lamp manufacturing method. Similarly, the present invention aims to improve the mechanical strength of the seal between the inner and outer bulbs of the lamp.

前掲特許文献１と本願発明とを対比すると、本願発明は、同じ二重管構造で内部電極は箔状電極であるが、ナイフエッジ形状ではない。特許文献１では、内部電極をナイフエッジ形状にすることで、薄い電極縁部分において電界集中が生じて電界強度が強くなり、点灯始動性を改善しているが、本願発明の箔状電極は一様の厚みであり、ナイフエッジ形状を採用するまでもなく、所望の点灯始動性を確保している。 Comparing the above-mentioned Patent Document 1 and the present invention, the present invention has the same double-tube structure and the internal electrodes are foil-like electrodes, but they are not knife-edge shaped. In Patent Document 1, by making the internal electrode into a knife-edge shape, electric field concentration occurs at the thin electrode edge portion, increasing the electric field strength and improving lighting startability, but the foil-shaped electrode of the present invention The thickness of the lamp is similar to that of the previous one, and the desired starting performance is ensured without the need for a knife-edge shape.

前掲特許文献２と本願発明とを対比すると、本願発明では、内部電極と内管とは完全に溶封されているため、緩衝空間は存在しない。緩衝空間を設けなくても、短寿命ではなく、所望の寿命を確保している。ただし、本発明は、内部電極と内管の溶封構造に限定されない。 Comparing Patent Document 2 mentioned above with the present invention, in the present invention, the internal electrodes and the inner tube are completely melt-sealed, so there is no buffer space. Even without providing a buffer space, the desired lifespan is ensured rather than a short lifespan. However, the present invention is not limited to the melt-sealed structure of the internal electrodes and the inner tube.

本発明に係るエキシマランプは、その一面において、各々、先端部が閉じられた内管と外管の二重管構造を有し、該内管と該外管の間の放電空間に放電ガスが封入されている発光管を備え、前記内管に内部電極が配置されており、前記外管の円周方向外周面を部分的に覆うように外部電極が配置され、前記外管と前記内管の先端部と反対方向の端部は一体化して気密封止されている。 In one aspect, the excimer lamp according to the present invention has a double tube structure including an inner tube and an outer tube, each of which has a closed tip, and discharge gas is in a discharge space between the inner tube and the outer tube. The inner tube includes an enclosed arc tube, an internal electrode is disposed in the inner tube, an external electrode is disposed so as to partially cover the outer peripheral surface of the outer tube in the circumferential direction, and the outer tube and the inner tube are connected to each other. The distal end and the opposite end are integrated and hermetically sealed.

更に、上記エキシマランプにおいて、前記外部電極は、アルミニウム又はＳＵＳから成る板状又はブロック状の金属で形成され、前記外部電極は、発光管から光を反射する反射板として機能してもよい。 Further, in the above excimer lamp, the external electrode may be formed of a plate-shaped or block-shaped metal made of aluminum or SUS, and the external electrode may function as a reflecting plate that reflects light from the arc tube.

更に、上記エキシマランプにおいて、前記外部電極は、前記外管の円周方向の少なくとも１／２の範囲にわたって配置されていてもよい。 Furthermore, in the above excimer lamp, the external electrode may be arranged over at least 1/2 of the circumferential range of the outer tube.

更に、上記エキシマランプにおいて、前記外部電極は、前記内部電極よりも軸方向に長く延在していてもよい。 Furthermore, in the above excimer lamp, the external electrode may extend longer in the axial direction than the internal electrode.

更に、上記エキシマランプにおいて、前記内部電極は、箔状金属であり、前記内管に溶封されていてもよい。 Furthermore, in the above excimer lamp, the internal electrode may be a foil-like metal and may be melt-sealed to the internal tube.

更に、本発明に係るエキシマランプの製造方法は、その一面において、各々、先端部が閉じられた内管と外管の二重管構造を有し、該内管と該外管の間の放電空間に放電ガスが封入されているエキシマランプの製造方法であって、前記内管に内部電極を配置し、前記内管を外管に挿入して、先端部と反対方向の端部は一体化して気密封止し、前記外管の先端部に形成された排気管から前記放電ガスを封入して気密封止し、前記内管を挿入した外管を、別個独立に形成された板状又はブロック状の外部電極の溝に沿って配置して固定する、製造方法である。 Furthermore, in one aspect, the method for manufacturing an excimer lamp according to the present invention has a double tube structure of an inner tube and an outer tube each having a closed tip, and the discharge between the inner tube and the outer tube is A method for manufacturing an excimer lamp in which a discharge gas is sealed in a space, wherein an internal electrode is arranged in the inner tube, the inner tube is inserted into an outer tube, and the tip and the opposite end are integrated. The outer tube is hermetically sealed by sealing the discharge gas through an exhaust pipe formed at the tip of the outer tube, and the outer tube into which the inner tube is inserted is formed into a separately formed plate-like or This is a manufacturing method in which block-shaped external electrodes are arranged and fixed along the grooves.

本発明によれば、ランプ製造方法の簡素化を実現することができ、更に、内管と外管の封止部の機械的強度の向上を実現することが出来る。 According to the present invention, it is possible to simplify the lamp manufacturing method, and further, it is possible to improve the mechanical strength of the sealing portion between the inner tube and the outer tube.

図１は、本実施形態に係るエキシマランプの発光管（外部電極を除いた部分）を説明する図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an arc tube (a portion excluding external electrodes) of an excimer lamp according to this embodiment. 図２は、図１のエキシマランプの外部電極を説明する図である。FIG. 2 is a diagram illustrating external electrodes of the excimer lamp of FIG. 1. 図３は、本実施形態に係るエキシマランプの全体を説明する図である。FIG. 3 is a diagram illustrating the entire excimer lamp according to this embodiment. 図４は、本実施形態に係るエキシマランプの製造方法を説明する図であり、図の左側は製造工程のフローを示し、各工程の右側にその工程におけるエキシマランプの略図を示している。FIG. 4 is a diagram illustrating the method for manufacturing an excimer lamp according to this embodiment. The left side of the diagram shows the flow of the manufacturing process, and the right side of each process shows a schematic diagram of the excimer lamp in that process.

以下、本発明に係るエキシマランプの実施形態に関して、添付の図面を参照しながら説明する。図面の示す同じ要素に対しては同じ参照符号を付して、重複する説明を省略する。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of an excimer lamp according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are given to the same elements shown in the drawings, and redundant explanation will be omitted.

［エキシマランプ］
図１は、本実施形態に係るエキシマランプの発光管、即ち、外部電極を除いた部分を説明する図である。
エキシマランプの発光管１０は、内管１と外管２の二重構造に形成され、内管１と外管２は、図で見て左端部において封止構造９となっている。内管１の内部には、内部電極４が配置されている。内部電極４は、好ましくは、箔状電極である。 [Excimer lamp]
FIG. 1 is a diagram illustrating the arc tube of the excimer lamp according to the present embodiment, that is, the portion excluding the external electrode.
The arc tube 10 of the excimer lamp is formed in a double structure of an inner tube 1 and an outer tube 2, and the inner tube 1 and the outer tube 2 have a sealing structure 9 at the left end portion as seen in the figure. An internal electrode 4 is arranged inside the inner tube 1 . The internal electrode 4 is preferably a foil electrode.

内部電極４は、電極導入部５を介して外部リード線８に接続され、その先端に端子７が取り付けられている。内管１と外管２で形成された内部空間３には、封入ガスが充填されている。 The internal electrode 4 is connected to an external lead wire 8 via an electrode introduction part 5, and a terminal 7 is attached to the tip thereof. An internal space 3 formed by the inner tube 1 and the outer tube 2 is filled with a sealed gas.

内管１は、紫外線透過率が高い誘電体材料、例えば、石英から形成されている。内管１の内部には、内部電極４が挿入されている。内管に希ガスを封入してもよいし、内管の一部又は全部を溶封してもよい。この出願書類における「溶封」は、例えば、内管１の内部にモリブデン箔の内部電極４を配置し、負圧にした状態でバーナーによる加熱もしくは高周波加熱等して、内管１と内部電極４とを固着させて封止状態にすることを意味している。 The inner tube 1 is made of a dielectric material with high ultraviolet transmittance, such as quartz. An internal electrode 4 is inserted inside the inner tube 1 . The inner tube may be filled with a rare gas, or part or all of the inner tube may be sealed by melting. In this application, "melt sealing" refers to, for example, placing an internal electrode 4 made of molybdenum foil inside the inner tube 1, heating it with a burner or high-frequency heating under negative pressure, and then sealing the inner tube 1 and the internal electrode. This means that 4 and 4 are fixed together to form a sealed state.

外管２は、封体であって、同様に紫外線透過率が高い誘電体材料、例えば、石英から形成されている。内部空間３には、希ガス、ハロゲン若しくはこれらの混合物、例えばクリプトンと塩素の混合ガスが封入されている。箔状の内部電極４は、一様の厚みであり、例えば、モリブデン箔（Mo箔）から形成されている。電極導入部５は、例えば、モリブデン箔（Mo箔）から形成されている。さらに、内部電極４と電極導入部５は、一体に形成されていてもよい。その先端は、絶縁被覆された金属線の外部リード線８に接続されている。 The outer tube 2 is a sealed body made of a dielectric material having high ultraviolet transmittance, such as quartz. The internal space 3 is filled with a rare gas, a halogen, or a mixture thereof, such as a mixed gas of krypton and chlorine. The foil-shaped internal electrode 4 has a uniform thickness and is made of, for example, molybdenum foil (Mo foil). The electrode introduction part 5 is formed of, for example, molybdenum foil (Mo foil). Furthermore, the internal electrode 4 and the electrode introduction part 5 may be formed integrally. Its tip is connected to an external lead wire 8 made of an insulated metal wire.

図２は、図１のエキシマランプ１０の外部電極１２を説明する図である。図の（Ａ）は、正面図で示す外部電極１２ａ、（Ｂ）は平面図で示す外部電極１２ｂである。図２の外部電極１２ｂには溝１２ｂ－１が形成され、図１に示す状態のエキシマランプの発光管１０を収納する形状となっている。なお、外部電極１２は、導電部材であり、主として金属から形成されている。外部電極１２は、例えば、ＳＵＳ又はアルミニウムから形成されている。なお、図２の外部電極１２は、ブロック状で図示されているが、エキシマランプの発光管１０の外表面に沿って形成されるランプ保持面を有していればよく、例えば、板状であってもよい。 FIG. 2 is a diagram illustrating the external electrode 12 of the excimer lamp 10 of FIG. 1. In the figure, (A) shows the external electrode 12a in a front view, and (B) shows the external electrode 12b in a plan view. A groove 12b-1 is formed in the external electrode 12b in FIG. 2, and has a shape that accommodates the arc tube 10 of the excimer lamp in the state shown in FIG. Note that the external electrode 12 is a conductive member and is mainly made of metal. The external electrode 12 is made of, for example, SUS or aluminum. Although the external electrode 12 in FIG. 2 is shown in a block shape, it may be in the shape of a plate as long as it has a lamp holding surface formed along the outer surface of the arc tube 10 of the excimer lamp. There may be.

外部電極１２の溝１２ｂ－１にエキシマランプを配置して固定すると、外部電極１２は、エキシマランプの発光管１０の外管外周面の一部に接触している。即ち、外部電極１２は、エキシマランプの発光管１０の円周方向外周面を、部分的に覆っている。非接触箇所（覆われてない方向）からエキシマ発光が通過する。図２に示す外部電極１２では、ランプを溝に収納しているため、図２の紙面に対して垂直方向上方に発光が向かう形態である。 When the excimer lamp is arranged and fixed in the groove 12b-1 of the external electrode 12, the external electrode 12 is in contact with a part of the outer peripheral surface of the outer tube of the arc tube 10 of the excimer lamp. That is, the external electrode 12 partially covers the circumferential outer peripheral surface of the arc tube 10 of the excimer lamp. Excimer emission passes from a non-contact point (uncovered direction). In the external electrode 12 shown in FIG. 2, since the lamp is housed in the groove, the light is emitted upward in a direction perpendicular to the plane of the paper in FIG.

接触箇所（覆われた方向）の外部電極１２の内周面は、反射板として機能している。外部電極１２の内周面は、光の反射率が高いため、反射光の利用率が向上する。この外部電極１２は、概して、発光管１０の外管２の周囲を円周方向に少なくとも１／２の範囲にわたって配置されるのが好ましい。 The inner peripheral surface of the external electrode 12 at the contact location (covered direction) functions as a reflective plate. Since the inner circumferential surface of the external electrode 12 has a high light reflectance, the utilization rate of reflected light is improved. In general, it is preferable that the external electrode 12 be disposed over at least 1/2 of the circumference of the outer bulb 2 of the arc tube 10 in the circumferential direction.

図３は、本実施形態に係るエキシマランプの全体を説明する図である。図３の（Ａ）は、図１のエキシマランプの発光管１０を図２の外部電極１２の溝に収納して両端部で固定した正面から見た図である。図３の（Ｂ）は、左方から側面を見たときの左端部のカバー１４ａを示す図であり、（Ｃ）は、右方から側面を見たときの右端部のカバー１４ｂを示す図である。図３の（Ｄ）は、上方から側面を見たときの外部電極１２を示す図であり、（Ｅ）は、下方から側面を見たときの外部電極１２を示す図である。図で分かるように、外部電極１２は、内部電極４よりもランプ軸線方向に長く延在している。 FIG. 3 is a diagram illustrating the entire excimer lamp according to this embodiment. FIG. 3A is a front view of the excimer lamp of FIG. 1 in which the arc tube 10 is accommodated in the groove of the external electrode 12 of FIG. 2 and fixed at both ends. FIG. 3B is a diagram showing the cover 14a at the left end when viewed from the left side, and FIG. 3C is a diagram showing the cover 14b at the right end when viewed from the right side. It is. (D) of FIG. 3 is a diagram showing the external electrode 12 when viewed from the side from above, and (E) is a diagram showing the external electrode 12 when viewed from the side from below. As can be seen in the figure, the outer electrode 12 extends longer than the inner electrode 4 in the lamp axis direction.

［エキシマランプの製造方法］
図４は、本実施形態に係るエキシマランプの製造方法の一例を説明する図であり、図４の左側は製造工程のフローを示し、各工程の右側にその工程におけるエキシマランプの略図を示している。略図の詳細は、図１及び３を参照されたい。 [Method of manufacturing excimer lamp]
FIG. 4 is a diagram illustrating an example of the method for manufacturing an excimer lamp according to the present embodiment. The left side of FIG. 4 shows the flow of the manufacturing process, and the right side of each process shows a schematic diagram of the excimer lamp in that process. There is. For schematic details, see FIGS. 1 and 3.

ステップＳ１で、箔状の内部電極４を、筒状の内管１に挿入する。
ステップＳ２で、内部電極４の一部又は全部を、内管１と溶封する。
ステップＳ３で、内管１を、外管２に挿入し、両者の左端部で封止構造９を形成する。封止構造９は、シュリンクシール方式又はピンチシール方式のいずれでもよい。
ステップＳ４で、ランプの外管２の先端２ａから、少なくとも1種類の希ガス、ハロゲン元素、あるいはこれらの混合ガスを内部空間３に封入し、その後、先端部は気密封止する。
ステップＳ５で、外部電極１２の溝１２ａに沿ってエキシマランプの発光管１０を配置して、エキシマランプの発光管１０の両端を外部電極１２に固定する。 In step S1, the foil-shaped internal electrode 4 is inserted into the cylindrical inner tube 1.
In step S2, part or all of the internal electrode 4 is melt-sealed with the inner tube 1.
In step S3, the inner tube 1 is inserted into the outer tube 2, and a sealing structure 9 is formed at the left end portions of both. The sealing structure 9 may be of a shrink seal type or a pinch seal type.
In step S4, at least one rare gas, a halogen element, or a mixture thereof is filled into the internal space 3 from the tip 2a of the outer bulb 2 of the lamp, and then the tip is hermetically sealed.
In step S5, the excimer lamp arc tube 10 is arranged along the groove 12a of the external electrode 12, and both ends of the excimer lamp arc tube 10 are fixed to the external electrode 12.

［本実施形態の利点・効果］
本実施形態に係るエキシマランプ及びその製造方法は、次のような利点・効果を有している。 [Advantages and effects of this embodiment]
The excimer lamp and the method for manufacturing the same according to this embodiment have the following advantages and effects.

(1)ランプの製造が簡易化できる。
従来のエキシマランプでは、一般に、内管－外管間を段継シールで形成していた。本実施形態では、内管－外管間をシュリンクシール方式又はピンチシール方式のいずれかで気密封止することにより、ランプの製造が簡易化できる。 (1) Lamp manufacturing can be simplified.
In conventional excimer lamps, a stepped seal is generally formed between the inner tube and the outer tube. In this embodiment, the manufacture of the lamp can be simplified by hermetically sealing the inner tube and the outer tube using either a shrink seal method or a pinch seal method.

(2)ランプが長尺になっても、内管－外管間の機械的強度を強く維持することが出来る。本実施形態では、内管－外管間を直接に封止しているので、従来のランプの段継シールに比較して、機械的強度を強く維持することが出来る。 (2) Even if the lamp becomes long, the mechanical strength between the inner tube and the outer tube can be maintained strongly. In this embodiment, since the inner tube and the outer tube are directly sealed, mechanical strength can be maintained stronger than in conventional lamp step seals.

(3)ランプを搭載する照射装置の小型化が可能になる。 (3) It becomes possible to downsize the irradiation device equipped with the lamp.

(4)外部電極と反射板を１つの部材で兼用することで、照射装置の小型化が可能になる。また、外部電極は光の反射率が高いため、反射光の利用率が向上する。 (4) By using a single member as both the external electrode and the reflector, it is possible to downsize the irradiation device. Furthermore, since the external electrode has a high light reflectance, the utilization rate of reflected light is improved.

(5)外部電極を発光管上に直接形成する先行技術と比較して、本実施形態では、発光管と外部電極とを別個独立に形成し、最終工程で外部電極に発光管を組み込み固定する構造なので、ランプのメンテナンス、交換等が容易である。また、製造期間の短縮、製造工程の簡素化が図れる。 (5) Compared to the prior art in which the external electrode is formed directly on the arc tube, in this embodiment, the arc tube and the external electrode are formed separately and independently, and the arc tube is assembled and fixed on the external electrode in the final process. Due to its structure, maintenance and replacement of the lamp are easy. Further, the manufacturing period can be shortened and the manufacturing process can be simplified.

１：内管、 ２：外管、 ３：内部空間、 ４：内部電極、 ５：電極導入部、 ８：外部リード線、 ９：封止構造、 １０：エキシマランプの発光管、 １２，１２ａ，１２ｂ：外部電極、 １４ａ、１４ｂ：カバー、
1: Inner tube, 2: Outer tube, 3: Internal space, 4: Internal electrode, 5: Electrode introduction part, 8: External lead wire, 9: Sealing structure, 10: Excimer lamp arc tube, 12, 12a, 12b: external electrode, 14a, 14b: cover,

Claims (6)

各々、先端部が閉じられた内管と外管の二重管構造を有し、該内管と該外管の間の放電空間に放電ガスが封入されている発光管を備え、
前記内管に内部電極が配置されており、
前記外管の円周方向外周面を部分的に覆うように外部電極が配置され、
前記外管と前記内管の先端部と反対方向の端部は一体化して気密封止されている、エキシマランプ。 Each has a double tube structure of an inner tube and an outer tube with a closed tip, and includes an arc tube in which a discharge gas is sealed in a discharge space between the inner tube and the outer tube,
An internal electrode is arranged in the inner tube,
An external electrode is arranged so as to partially cover the circumferential outer peripheral surface of the outer tube,
An excimer lamp, wherein ends of the outer tube and the inner tube in a direction opposite to the tip are integrated and hermetically sealed. 請求項１に記載のエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、アルミニウム又はＳＵＳから成る板状又はブロック状の金属で形成され、
前記外部電極は、発光管から光を反射する反射板として機能する、エキシマランプ。 The excimer lamp according to claim 1,
The external electrode is formed of a plate-shaped or block-shaped metal made of aluminum or SUS,
In the excimer lamp, the external electrode functions as a reflector that reflects light from the arc tube. 請求項１または２に記載のエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、前記外管の円周方向の少なくとも１／２の範囲にわたって配置される、エキシマランプ。 The excimer lamp according to claim 1 or 2,
In the excimer lamp, the external electrode is arranged over at least 1/2 of the circumferential direction of the outer tube. 請求項１～３のいずれか一項に記載のエキシマランプにおいて、
前記外部電極は、前記内部電極よりもランプ軸線方向に長く延在している、エキシマランプ。 The excimer lamp according to any one of claims 1 to 3,
In the excimer lamp, the external electrode extends longer in the lamp axis direction than the internal electrode. 請求項１～４のいずれか一項に記載のエキシマランプにおいて、
前記内部電極は、箔状金属であり、前記内管に溶封されている、エキシマランプ。 The excimer lamp according to any one of claims 1 to 4,
In the excimer lamp, the internal electrode is a foil-like metal and is melt-sealed to the internal tube. 各々、先端部が閉じられた内管と外管の二重管構造を有し、該内管と該外管の間の放電空間に放電ガスが封入されているエキシマランプの製造方法であって、
前記内管に内部電極を配置し、
前記内管を外管に挿入して、先端部と反対方向の端部は一体化して気密封止し、
前記外管の先端部に形成された排気管から前記放電ガスを封入して気密封止し、
前記内管を挿入した外管を、別個独立に形成された板状又はブロック状の外部電極の溝に沿って配置して固定する、エキシマランプの製造方法。
A method for producing an excimer lamp, each having a double tube structure of an inner tube and an outer tube with closed tips, and a discharge space between the inner tube and the outer tube is filled with discharge gas. ,
disposing an internal electrode in the inner tube;
The inner tube is inserted into the outer tube, and the end opposite to the tip is integrated and hermetically sealed;
Hermetically sealing the discharge gas by enclosing the discharge gas through an exhaust pipe formed at the tip of the outer tube;
A method for manufacturing an excimer lamp, wherein an outer tube into which the inner tube is inserted is arranged and fixed along a groove of a plate-shaped or block-shaped external electrode that is formed separately.
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