JP2023132840A - 判定装置及び制御装置および水素精製システム - Google Patents

Abstract

【課題】水素精製システムの水素透過膜が破れるのを検知し、混合ガスが２次側流路の配管内に流れ込むのを防止する。【解決手段】水素精製システム１００は、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過部３０と、混合ガスを取り入れて水素透過部まで導く１次側流路を有する１次側回路１０と、水素透過部３０を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路を有する２次側回路２０と、１次側流路上に設けられた第１圧力計１１および第１バルブＶＬ１と、２次側流路上に設けられた第２圧力計２１および第２バルブＶＬ２と、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１および第２圧力計２１の測定結果Ｐ２に基づいて、水素透過部３０の状態を判定する判定部５１と、水素透過部３０の状態が所定の条件を満たす場合、第１バルブＶＬ１および第２バルブＶＬ２を閉鎖するバルブ制御部５２を有する。【選択図】図１

Description

この発明は、混合ガスから水素ガスを精製する技術に関する。

水素透過に関する技術として、特許文献１に記載の水素透過装置が知られている。この水素透過装置は、原料ガスの供給側である１次側流路と、水素ガスの取出側である２次側流路との間に、水素透過膜を有する。

特開２０２１－４９５２０号公報

ところで、上述した水素透過装置の稼働中に水素透過膜が割れると、２次側流路の配管内に原料ガスが流れ、２次側流路の配管内が汚染される。また、原料ガスの２次側流路の配管への流れ込みにより、水素爆発等が発生する虞がある。従来、水素透過膜が破れるのを検知する手段がなく、水素透過装置の運転を止めて水素透過膜の状態を目視するといったことしか実施していなかった。

この発明は以上のような事情に鑑みてなされたものであり、水素透過装置の水素透過金属膜が破れるのを検知する手段を提供することを目的としている。

この発明の一態様である判定装置は、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、前記水素透過膜を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路と、前記１次側流路上に設けられた第１圧力計と、前記２次側流路上に設けられた第２圧力計と、前記第１圧力計の測定結果および前記第２圧力計の測定結果に基づいて、前記水素透過膜の状態を判定する判定手段とを有する。

また、この発明の他の態様である制御装置は、前記判定装置と、前記１次側流路上に設けられ、前記混合ガスの流入を制御する第１バルブと、前記２次側流路上に設けられ、前記水素取出し口へのガスの流入を調整する第２バルブと、該判定された水素透過膜の状態が所定の条件を満たす場合、前記第１バルブおよび前記第２バルブを閉鎖するバルブ制御手段とを備える。

この態様において、前記判定手段は、前記第１圧力計の測定結果と前記第２圧力計の測定結果との差が、基準値以下となった場合、前記水素透過膜が破損したと判定し、前記バルブ制御手段は、前記第１バルブおよび前記第２バルブを閉鎖してもよい。

また、前記１次側流路上に設けられ、前記１次側流路内の混合ガスを排出するための第３バルブと、前記２次側流路上に設けられ、前記２次側流路内の気体を排出するための第４バルブと、を更に備え、前記バルブ制御手段は、前記第３および前記第４バルブを開放してもよい。

また、前記水素透過膜を加熱するヒータと、前記水素透過膜が破損したと判定された場合、前記ヒータの動作を停止する加熱制御手段とをさらに備えてもよい。

また、前記判定手段は、前記第１圧力計の測定結果と前記第２圧力計の測定結果の差が基準値を超えた場合、前記水素透過膜が劣化したと判定してもよい。

また、前記２次側流路内に設けられ、剥離した前記水素透過膜の断片を捕捉するためのフィルタをさらに備えてもよい。

また、前記水素透過膜は第１水素透過膜と第２水素透過膜を含み、前記１次側流路は、前記混合ガスをそれぞれ前記第１水素透過膜および前記第２水素透過膜へ導く、第１の１次側流路と第２の１次側流路とを含み、前記２次側流路は、それぞれ前記第１水素透過膜および前記第２水素透過膜を透過した気体を前記貯蔵タンクまで導く、第１の２次側流路と第２の２次側流路とを含み、前記バルブ制御手段は、前記第１水素透過膜と前記第２水素透過膜のうち一方が破損ないし劣化したと判定された場合、当該一方の水素透過膜に対応する、前記１次側流路内の前記第１バルブおよび前記２次側流路の前記第２バルブを閉鎖してもよい。

この発明によれば、水素精製システムの水素透過膜が破れるのを検知し、混合ガスが２次側流路の配管内に流れ込むのを防止することができる。

この発明の第１実施形態である水素精製システムの構成を示すブロック図である。 この発明の第２実施形態である水素精製システムの一部の構成を示すブロック図である。

以下、図面を参照し、この発明の実施形態について説明する。

図１はこの発明の第１実施形態である水素精製システム１００の構成を示すブロック図である。図１に示すように、水素精製システム１００は、１次側回路１０と、２次側回路２０と、水素透過部３０と、ヒータ３１と、メンテナンス回路４０と、制御部５０とを有する。

この水素精製システム１００は、水素を含む混合ガスから水素を取り出し、タンク等に貯蔵するシステムである。水素透過部３０は、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜により構成されている。この水素透過膜は、第５族元素を主成分とする金属（バナジウムまたはバナジウム合金等）により構成されている。ヒータ３１は、通常運転時に、この水素透過膜を例えば３５０℃程度に加熱する。１次側回路１０は、混合ガスを取り入れて水素透過部３０まで導く１次側流路を有する。また、２次側回路２０は、水素透過部３０を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路を有する。

１次側回路１０において、混合ガスを水素透過部３０まで導く１次側流路上には、混合ガスの流入を制御する第１バルブＶＬ０と、第１バルブＶＬ０を通過した混合ガスの圧力を測定する第１圧力計１１と、下流の混合ガスの圧力を制御する下流圧力制御部１３と、混合ガスの流入を制御する第１バルブＶＬ１と、第１バルブＶＬ１を通過した混合ガスの圧力を測定する第１圧力計１２が設けられている。水素透過部３０は、この１次側流路を経た混合ガスに含まれる水素を透過させ、２次側回路２０に供給する。また、水素透過部３０は、水素を透過させて残った混合ガスをマスフロー制御部１４に供給する。マスフロー制御部１４は、この残った混合ガスのマスフロー（質量流量）を調整して第１バルブＶＬ０の出口に戻す。

２次側回路２０において、水素透過部３０を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路上には、フィルタＦ１と、フィルタＦ１を通過した水素の圧力を測定する第２圧力計２１と、フィルタＦ１を通過した水素の質量流量を測定するマスフローメータ２３と、貯蔵タンクへのガスの流入を調整する第２バルブＶＬ２と、第２バルブＶＬ２を通過した水素の圧力を測定する第２圧力計２２が設けられている。なお、２次側流路の構成の一例であって、水素透過部３０を透過した水素を目的の地点（水素取出し口）まで誘導されればよい。水素精製システム１００を実装したプラントが、水素が貯蔵することが目的である場合は、貯蔵タンクが水素取出し口に該当する。また、水素透過部３０を透過した水素を他の処理工程に創出する場合、当該処理工程における水素ガス取入れ口が上記の水素取出し口に相当する。
ここで、フィルタＦ１は、水素透過部３０の水素透過膜からその断片が剥離した場合に、当該断片を捕捉するための手段である。フィルタＦ１は、例えば数μｍ程度の穴が複数形成された板状の金属部材である。

メンテナンス回路４０は、水素精製システム１００のメンテナンス等を行う場合に、水素精製システム１００を停止させるための制御を行う回路である。このメンテナンス回路４０は、１次側流路上に設けられ、１次側流路内の混合ガスを排出するための第３バルブＶＬ３と、２次側流路上に設けられ、２次側流路内の気体を排出するための第４バルブＶＬ４とを有する。メンテナンス回路４０において、第３バルブＶＬ３が開放されると、第３バルブＶＬ３から排出された混合ガスがバルブＶＬ６およびロータリポンプ４１を介して大気開放される。また、第４バルブＶＬ４が開放されると、第４バルブＶＬ４から排出された気体がバルブＶＬ６およびロータリポンプ４１を介して大気開放される。

制御部５０は、コンピュータにより構成されており、判定部５１と、バルブ制御部５２と、加熱制御部５３とを含む。判定部５１と、バルブ制御部５２と、加熱制御部５３は、コンピュータにインストールされたプログラムをコンピュータが実行することにより実現される機能である。制御部５０は、水素精製システム１００において、本発明による制御装置としての機能を実現するための手段である。

判定部５１は、水素精製システム１００において、本発明による判定装置としての機能を実現するための手段である。この判定部５１は、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１と、第２圧力計２１の測定結果Ｐ２とに基づいて、水素透過部３０の水素透過膜の状態を判定する。具体的には次の通りである。

正常状態において、膜に接する直前の原料ガスの圧力は、一例として、０．１～０．４Ｍｐａに調整される。二次側が真空引きしているため、二次側（水素９９％）の圧力は、事実上０Ｍｐａとなる。よって、圧力の測定結果の差分Ｐ１－Ｐ２は、約０、１～０．４ＭＰａ程度となる（原料ガスは１Ｍｐａ程度）。そして、水素透過膜が破損する（物理的に損傷を受ける）と、二次側の圧力は瞬間的に上昇して一次側に近づく。一方、水素透過膜が劣化する（物理的な損傷はないものの、物理的性質または化学的性質が変化して水素透過能力が低下する）場合は、徐々にＰ２が下がっていく。そこで、本実施形態における判定部５１は、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１と第２圧力計２１の測定結果Ｐ２との差Ｐ１－Ｐ２が基準値以下となった場合、水素透過膜が破損したと判定する。ここで、基準値とは、Ｐ１＝Ｐ２になる手前のＰ１＞Ｐ２の状態での圧力の差分Ｐ１－Ｐ２である。

バルブ制御部５２は、判定部５１により判定された水素透過膜の状態が所定の条件を満たす場合、第１バルブＶＬ１および第２バルブＶＬ２を閉鎖する。具体的には、バルブ制御部５２は、水素透過部３０の水素透過膜が破損したと判定部５１が判定した場合に、第１バルブＶＬ１および第２バルブＶＬ２を閉鎖する。従って、本実施形態では、水素透過膜が破損した場合に、二次側の汚染を迅速に止めることができる。

また、本実施形態において、バルブ制御部５２は、水素透過部３０の水素透過膜が破損したと判定部５１が判定した場合に、第３バルブＶＬ３および第４バルブＶＬ４を開放し、１次側流路内の混合ガスおよび２次側流路内の気体を大気開放する。従って、本実施形態によれば、水素透過膜が破損した場合、ガスを排出して爆発の危険性を下げることができる。

また、本実施形態において、加熱制御部５３は、水素透過部３０の水素透過膜が破損したと判定部５１が判定した場合に、ヒータ３１の動作を停止する。従って、本実施形態によれば、水素透過膜が破損した場合、この点においても、爆発等の危険性を下げることができる。

以上が第１実施形態の詳細である。本実施形態によれば、判定部５１が、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１と、第２圧力計２１の測定結果Ｐ２とに基づいて、水素透過部３０の水素透過膜の状態を判定するので、水素透過膜が破れるのを検知して、２次側流路の配管内が汚染されるのを回避することができる。

本実施形態には次のような変形例が考えられる。判定部５１は、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１と第２圧力計２１の測定結果Ｐ２の差Ｐ１－Ｐ２が上記基準値とは別の基準値を超えた場合、水素透過部３０の水素透過膜が劣化したと判定してもよい。水素精製システム１００では、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１が実質的に一定になるようにコントロールされるので、劣化の場合、第１圧力計１２の測定結果Ｐ１は実質的に変化せず、第２圧力計２１の測定結果Ｐ２のみ低下するという挙動となる。この結果、圧力計の測定結果の差分Ｐ１－Ｐ２が上昇する。この態様によれば、水素透過膜の破損と劣化とを区別できる。劣化（経年劣化や不純物の付着等が考えられる）の場合は、破損とは異なる措置（運転の継続、緊急停止ではなく通常の停止を行って膜の交換をする、劣化再生処理（膜の表面を高温で焼いて、表面についた不純物を落とす））という対応をとることができる。

図２は、この発明の第２実施形態である水素精製システムの一部の構成を示すブロック図である。本実施形態では、水素透過部として、水素透過膜により構成された第１水素透過部３０ａおよび第２水素透過部３０ｂが設けられている。ヒータ３１ａおよび３１ｂは、これらの水素透過部をそれぞれ加熱する。１次側回路１０ｕは、混合ガスをそれぞれ第１水素透過部３０ａおよび第２水素透過部３０ｂへ導く、第１の１次側流路１６ａと第２の１次側流路１６ｂとを含む。また、２次側回路２０ｕは、それぞれ第１水素透過部３０ａおよび第２水素透過部３０ｂを透過した気体を貯蔵タンクまで導く、第１の２次側流路２６ａと第２の２次側流路２６ｂとを含む。第１の１次側流路１６ａ上には、第１バルブＶＬ１ａ、第４バルブＶＬ４ａおよび第１圧力計１２ａが設けられている。第２の１次側流路１６ｂ上には、第１バルブＶＬ１ｂ、第３バルブＶＬ３ｂおよび第１圧力計１２ｂが設けられている。第１の２次側流路２６ａ上には、第２圧力計２１ａ、第２バルブＶＬ２ａおよび第４バルブＶＬ４ｂが設けられている。第２の２次側流路２６ｂ上には、第２圧力計２１ｂ、第２バルブＶＬ２ｂおよび第３バルブＶＬｂが設けられている。

本実施形態における判定部５１（図１参照）は、第１圧力計１２ａの測定結果Ｐ１ａと、第２圧力計２１ａの測定結果Ｐ２ａとに基づいて、第１水素透過部３０ａの水素透過膜の破損ないし劣化を判定し、第１圧力計１２ｂの測定結果Ｐ１ｂと、第２圧力計２１ｂの測定結果Ｐ２ｂとに基づいて、第２水素透過部３０ｂの水素透過膜の破損ないし劣化を判定する。

そして、本実施形態におけるバルブ制御部５２（図１参照）は、第１水素透過部３０ａと第２水素透過部３０ｂのうち一方が破損ないし劣化したと判定された場合、当該一方の水素透過部に対応する、１次側流路内の第１バルブおよび２次側流路の第２バルブを閉鎖する。例えば第１水素透過部３０ａが破損ないし劣化したと判定された場合、第１水素透過部３０ａに対応する、第１の１次側流路１６ａの第１バルブＶＬ１ａおよび第１の２次側流路２６ａの第２バルブＶＬ２ａを閉鎖し、第４バルブＶＬ４ａおよび第３バルブＶＬ３ａ、およびバルブＶＬ６を開放して第１の１次側流路１６ａ内および第１の２次側流路２６ａ内のガスを排出する。
一方、第２水素透過部３０ｂが破損ないし劣化したと判定された場合、第２水素透過部３０ｂに対応する、第２の１次側流路１６ｂの第１バルブＶＬ１ｂおよび第２の２次側流路２６ｂの第２バルブＶＬ２ｂを閉鎖し、第４バルブＶＬ４ｂおよび第３バルブＶＬ３ｂ、およびバルブＶＬ６を開放して、第２の１次側流路１６ｂ内および第２の２次側流路２６ｂ内のガスを排出する。

この態様によれば、一部の水素透過膜に破損、劣化が生じた場合でも、破損、劣化のない水素透過膜だけを用いて運転を継続することができる。

なお、図に示す水素精製システムにおいて、第１の１次側流路１６ａ、第１水素透過部３０ａ、および第１の２次側流路２６ａで構成されるサブシステムと、第２の１次側流路１６ｂ、第２水素透過部３０ｂおよび第２の２次側流路２６ｂで構成されるサブシステムは、両方を同時に稼働させるのではなく、例えば、通常運転ではどちらか一方のみを稼働させ、他方は当該一方のサブシステムの水素透過部その他に異常が生じた場合にのみ使用してしてもよい。具体的には、第１バルブＶＬ１ａおよびＶＬ１ｂのいずれか一方を通常は閉鎖しておき、稼働しているサブシステムに異常が発生した場合は、当該開放している第１バルブを閉鎖するとともに他方の第１バルブを開放することで、サブシステムを切り替える。また、第１水素透過部の数（すなわちサブシステムの数）は２に限らず、３以上であってもよい。

上述した制御部５０は、混合ガスを取り入れて水素透過膜へ導く配管機構と水素透過膜を透過した水素を蓄積するタンクとを備えた水素精製プラントに設けられてもよいし、例えば専ら水素透過膜の評価試験を行うための装置に設けられてもよい。後者の場合は、他例えば図１に示した水素精製システム１００において、マスフロー制御部１４０を通過したガスを下流圧力制御部１３に戻すものではなく、大気開放してもよい。

要するに、本発明は、一の態様において、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、前記水素透過膜を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路と、前記１次側流路上に設けられた第１圧力計と、前記２次側流路上に設けられた第２圧力計とを備えた水素透過装置において、前記第１圧力計の測定結果および前記第２圧力計の測定結果に基づいて前記水素透過膜の状態を判定することができればよい。なお、１次側流路上および２次側流路上のそれぞれにおいて、圧力計を設ける位置や数は、上述した例に限らず、任意である。

上述した例においては、１次側回路１０、１０ｕの圧力と２次側回路２０、２０ｕの圧力の相対的な変化に基づいて水素透過部３０の状態を判定したが、この圧力変化に基づく判定に替えて、１次側回路内のガスの流量（体積流量または質量流量；以下単に「流量」という）と、１次側回路内のガス（正常な状態では主成分は水素）の流量の相対的変化に基づいて、水素透過部３０の状態を判定してもよい。水素透過膜が破損ないし劣化した場合、配管内の圧力だけでなく流量にも何らかの変化が現れると考えられるからである。
以下、図１に示す単一の水素透過部を有する水素精製システム１００において、膜の状態を流量に基づいて判定する場合について説明するが、図２のように複数の水素透過部を有するシステムにおいても同様に提供することは可能である。
図１に示す水素精製システム１００において、判定部５１は、マスフロー制御部１４に設けられた流量センサ（図示省略）による測定結果（第１流量ＦＬ１とする）と、マスフローメータ２３における測定結果（第２流量ＦＬ２とする）とに基づいて、水素透過部３０の水素透過膜の破損ないし劣化を判定する。なお、１次側回路１０および２次側回路２０内において、流量計を設ける位置や数は任意である。

例えば、判定部５１は、ＦＬ１とＦＬ２との比が所定の誤差の範囲内にある場合、水素透過部３０に異常がないと判定する。一方、実質的にＦＬ２のみが急激に増加したことを検知した場合、あるいはＦＬ１が減少するのに連動してＦＬ２が増加したことを検知した場合、水素透過膜が破損したと判定する。また、ＦＬ１は実質的に変化がなく、ＦＬ２だけが徐々に減少する場合、水素透過部３０が劣化したと判定する。

要するに、本発明は、一の態様において、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、前記水素透過膜を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路と、前記１次側流路上に設けられた第１圧力計と、前記２次側流路上に設けられた第２圧力計とを備えた水素透過装置において、前記第１流量計の測定結果および前記第流量計の測定結果に基づいて前記水素透過膜の状態を判定することができればよい。

また、上述した圧力変化に基づく判定と流量変化に基づく判定とを選択的に切り替えるための制御機構を制御部５０内に備えてもよい。例えば、図２のように、水素透過部３０を２つ以上設ける場合、水素透過部３０の数や正常運転時の条件（圧力、流量等など）に応じて、圧力変化に基づく判定と流量変化に基づく判定のいずれかを選択する機構を設けてもよい。膜の異常が圧力と流量のどちらか（あるいは両方）に顕著に表れるかは運転条件に依存する可能性があるからである。
あるいは、運転条件によらず、常に圧力と流量とを常時モニタリングし、圧力変化と流量変化の両方に基づいて水素透過部３０の状態を判定してもよい。

要するに、本発明は、一の態様において、混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、前記水素透過膜を透過した水素を貯蔵タンクまで導く２次側流路と、前記１次側流路上に設けられた圧力または流量を検出する第１計測手段と、前記２次側流路上に設けられた圧力または流量を検出する第２計測器とを備えた水素透過装置において、前記第１計測器の測定結果および前記第２計測器の測定結果に基づいて前記水素透過膜の状態を判定することができればよい。

１００……水素精製システム、１０，１０ｕ……１次側回路、２０，２０ｕ……２次側回路、３０……水素透過部、３１，３１ａ,３１ｂ……ヒータ、４０……メンテナンス回路、５０……制御部、５１……判定部、５２……バルブ制御部、５３……加熱制御部、ＶＬ０，ＶＬ１，ＶＬ１ａ，ＶＬ１ｂ……第１バルブ、１１，１２，１２ａ，１２ｂ……第１圧力計、Ｆ１……フィルタ、２１，２２，２１ａ，２１ｂ……第２圧力計、ＶＬ２，ＶＬ２ａ，ＶＬ２ｂ……第２バルブ、ＶＬ３……第３バルブ、ＶＬ４……第４バルブ、ＶＬ６……バルブ、４１……ロータリポンプ、１３……下流圧力制御部、１４……マスフロー制御部、２３……マスフローメータ、１６ａ……第１の１次側流路、１６ｂ……第２の１次側流路、２６ａ……第１の２次側流路、２６ｂ……第２の２次側流路。

Claims (10)

1. 混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、
   前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、
   前記水素透過膜を透過した水素を、水素取出し口まで導く２次側流路と、
   前記１次側流路上に設けられた、圧力または流量を検出する第１計測手段と、
   前記２次側流路上に設けられた、圧力または流量を検出する第２計測手段と、
   前記第１計測手段の測定結果および前記第２計測手段の測定結果に基づいて、前記水素透過膜の状態を判定する判定手段と
   を有する判定装置。
2. 混合ガス中に含まれる水素を透過させる水素透過膜と、
   前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜まで導く１次側流路と、
   前記水素透過膜を透過した水素を、水素取出し口まで導く２次側流路と、
   前記１次側流路上に設けられた第１圧力計と、
   前記２次側流路上に設けられた第２圧力計と、
   前記第１圧力計の測定結果および前記第２圧力計の測定結果に基づいて、前記水素透過膜の状態を判定する判定手段と
   を有する判定装置。
3. 請求項２に記載の判定装置と、
   前記１次側流路上に設けられ、前記混合ガスの流入を制御する第１バルブと、
   前記２次側流路上に設けられ、前記水素取出し口へのガスの流入を調整する第２バルブと、
   該判定された水素透過膜の状態が所定の条件を満たす場合、前記第１バルブおよび前記第２バルブを閉鎖するバルブ制御手段と
   を備える制御装置。
4. 前記判定手段は、前記第１圧力計の測定結果と前記第２圧力計の測定結果との差が、基準値以下となった場合、前記水素透過膜が破損したと判定し、
   前記バルブ制御手段は、前記第１バルブおよび前記第２バルブを閉鎖する、
   請求項３に記載の制御装置。
5. 前記１次側流路上に設けられ、前記１次側流路内の混合ガスを排出するための第３バルブと、
   前記２次側流路上に設けられ、前記２次側流路内の気体を排出するための第４バルブと、
   を更に備え、
   前記バルブ制御手段は、前記第３バルブおよび前記第４バルブを開放する、
   請求項４に記載の制御装置。
6. 前記水素透過膜を加熱するヒータと、
   前記水素透過膜が破損したと判定された場合、前記ヒータの動作を停止する加熱制御手段と
   をさらに備える
   請求項３～５のいずれか一項に記載の制御装置。
7. 前記判定手段は、前記第１圧力計の測定結果と前記第２圧力計の測定結果の差が基準値を超えた場合、前記水素透過膜が劣化したと判定する
   請求項２～６のいずれか一項に記載の制御装置。
8. 前記２次側流路内に設けられ、剥離した前記水素透過膜の断片を捕捉するためのフィルタをさらに備える
   請求項２～７のいずれか一項に記載の制御装置。
9. 前記水素透過膜は第１水素透過膜と第２水素透過膜とを含み、
   前記１次側流路は、前記混合ガスをそれぞれ前記第１水素透過膜および前記第２水素透過膜へ導く、第１の１次側流路と第２の１次側流路とを含み、
   前記２次側流路は、それぞれ前記第１水素透過膜および前記第２水素透過膜を透過した気体を前記水素取出し口まで導く、第１の２次側流路と第２の２次側流路とを含み、
   前記バルブ制御手段は、前記第１水素透過膜と前記第２水素透過膜のうち一方が破損ないし劣化したと判定された場合、当該一方の水素透過膜に対応する、前記１次側流路内の前記第１バルブおよび前記２次側流路の前記第２バルブを閉鎖する
   請求項３～８のいずれか一項に記載の制御装置。
10. 請求項１～９のいずれか一項に記載の制御装置と、
    前記混合ガスを取り入れて前記水素透過膜へ導く機構と、
    前記水素透過膜を透過した水素を取り出す機構と
    を備えた水素精製システム。