JP2023102657A - Equipment diagnosis apparatus and equipment diagnosis method - Google Patents

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JP2023102657A JP2022003299A JP2022003299A JP2023102657A JP 2023102657 A JP2023102657 A JP 2023102657A JP 2022003299 A JP2022003299 A JP 2022003299A JP 2022003299 A JP2022003299 A JP 2022003299A JP 2023102657 A JP2023102657 A JP 2023102657A
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勇太 青戸
Yuta Aoto
脩 外田
Osamu Toda
俊二 前田
Shunji Maeda
哲至 谷口
Tetsuji Taniguchi
尭 小松
Takashi Komatsu
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Abstract

To facilitate diagnosis using a plurality of sets of sensor data by performing diagnosis according to evaluation of correlation between the sets of sensor data.SOLUTION: An acceleration sensor 12 and a current sensor 13 are installed in a rotating machine 11, and time series data of any time width on the sensors 12 and 13 are stored in a data measuring device 14 as measurement data. An equipment diagnosis apparatus 10 divides each measurement data into a predetermined number of classes of random variables in a distribution section at regular time intervals and converts a distribution into a probability distribution according to the number of measurement values in each class. The apparatus includes an entropy conversion unit that converts the probability distribution of each sensor at each given time into entropy by using specific formulas (1) and (2); a mutual information conversion unit that calculates a mutual information amount at the same timing from the probability distribution of each sensor by using a specific formula (3), and diagnoses equipment based on correlation changes in the mutual information; and a KLD converting unit that converts the probability distribution of each sensor into a KLD using specific equations (4) and (5); and a monitoring unit that monitors the entropy, the mutual information, and the KLD and diagnoses monitoring data.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、診断対象の設備に設置した複数センサの計測データに基づき前記設備を診断する技術に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a technology for diagnosing equipment to be diagnosed based on measurement data of a plurality of sensors installed in the equipment.

電力や交通などの社会を支えるインフラストラクチャ設備は、その故障が社会に与えるインパクトが大きく計画外の停止を未然に防ぐことが必要とされている。また、工場における生産設備などにおいても、その故障が企業の生産活動に大きな影響を与えるおそれがある。 Infrastructure facilities that support society, such as electric power and transportation, have a great impact on society if they fail, and it is necessary to prevent unplanned outages. Also, failures of production facilities in factories may have a great impact on the production activities of companies.

これらの設備は経年劣化が進むとともに、少子高齢化に伴う人材不足や世界的な競争が進む中でコストの抑制などが要求されている。そのため、設備の故障や異常を早期に検出することを目的とした無人かつ遠隔監視が期待されている。 As these facilities continue to deteriorate over time, there is a demand for cost control, etc., due to the shortage of human resources due to the declining birthrate and aging population and the increasing global competition. Therefore, unmanned and remote monitoring for the purpose of early detection of equipment failures and abnormalities is expected.

そこで、設備の監視を24時間356日行うため、監視の対象となる設備に多くのセンサを取り付け、各センサの検知した多次元時系列信号に基づく診断技術が提案されている。 Therefore, in order to monitor facilities 24 hours a day, 356 days a year, a diagnosis technique has been proposed in which many sensors are attached to facilities to be monitored and based on multidimensional time-series signals detected by each sensor.

例えば特許文献1では、振動センサで回転機の振動を計測し、計測の結果による診断が提案されている。また、特許文献2では、接地線に流れる電流を計測することで診断を実現している。これらの診断によれば、異常の予兆は振動や電流に現れ、それらを計測することで異常検知を可能としている。 For example, Patent Literature 1 proposes to measure the vibration of a rotating machine with a vibration sensor and make a diagnosis based on the measurement results. Further, in Patent Document 2, diagnosis is realized by measuring the current flowing through the ground line. According to these diagnoses, signs of anomalies appear in vibrations and electric currents, and by measuring them, anomaly detection is possible.

特許文献3では、異常の判断に用いる状態量(物理量)の種類を多くすれば、より正確に異常検知や故障予測が可能と提案されている。 Japanese Patent Laid-Open No. 2002-200003 proposes that more accurate abnormality detection and failure prediction are possible by increasing the number of types of state quantities (physical quantities) used for abnormality determination.

特開2021-144054JP 2021-144054 特開2021-50921JP 2021-50921 特開2021-177074JP 2021-177074

”機械学習で用いられるDivergence(KL-Divergence)やらEntropy(Cross-Entropy)の世界へ入門する” [online] 2021年12月27日検索,インターネット<URL:https://qiita.com/harmegiddo/items/2a24a36418fade0eaf44>”Introduction to the world of Divergence (KL-Divergence) and Entropy (Cross-Entropy) used in machine learning” [online] Retrieved December 27, 2021, Internet <URL: https://qiita.com/harmegiddo/items/2a24a36418fade0eaf44> 赤穂昭太,”機械学習と微分幾何学”,数理科学,Vol.56,no.8,pp.14-19,Aug.2018Shota Ako, "Machine Learning and Differential Geometry", Mathematical Science, Vol.56, no.8, pp.14-19, Aug.2018 S.Kullback and R. A. Leibler,”On information and sufficiency Ann. Math. Statist” ,PP. :79-,1951S.Kullback and R.A.Leibler,”On information and sufficiency Ann.Math.Statist”,PP.:79-,1951 S.Amari and H.Nagaoka, ”Methods of Information Geometry” A co-publication of the AMS and Oxford University Press, 2000.S.Amari and H.Nagaoka, ”Methods of Information Geometry” A co-publication of the AMS and Oxford University Press, 2000. 安食拓哉,中村雅美,前田俊二,小松尭,谷口哲 至,”KLD の双対性を用いた異常検知手法の提案”, 第 72 回電気・情報関連学会中国支部連合大会, 2021Takuya Ajiki, Masami Nakamura, Shunji Maeda, Takashi Komatsu, Satoshi Taniguchi, ``Proposal of anomaly detection method using KLD duality'', The 72nd Chugoku Section Joint Conference of Electrical and Information Society, 2021

しかしながら、複数のセンサデータを用いる場合、計測する物理量が違えば、そのデータの特性(単位や統計量など)が変わるため、その関係性を把握することが難しくなり、相関分析が容易に行えないおそれがある。 However, when using multiple sensor data, if the physical quantity to be measured is different, the characteristics of the data (units, statistics, etc.) will change, making it difficult to grasp the relationship, and there is a risk that correlation analysis cannot be performed easily.

本発明は、センサデータ間の相関関係の評価に応じた診断を行うことで複数のセンサデータによる診断の容易化を図ることを解決課題としている。 An object of the present invention is to facilitate diagnosis using a plurality of sensor data by performing diagnosis according to evaluation of correlation between sensor data.

(1)本発明の一態様は、
診断対象の設備に複数のセンサを設置し、前記各センサの任意の時間幅の時系列データを計測データとして前記設備を診断する装置であって、
前記各センサの計測データに一定時間ごとの分布区間を設定し、設定された分布区間を事前設定の確率変数を示す階級数に分割し、前記各階級の計測値の個数に応じた確率分布に変換する確率分布変換部と、
前記確率分布変換部で変換された各センサの確率分布から同一時間の相互情報量を、式(3)を用いて算出する相互情報量変換部と、
(1) One aspect of the present invention is
A device that installs a plurality of sensors in equipment to be diagnosed and diagnoses the equipment using time series data of an arbitrary time width of each sensor as measurement data,
A probability distribution conversion unit that sets a distribution interval for the measurement data of each sensor at regular time intervals, divides the set distribution interval into a number of classes indicating a preset random variable, and converts the probability distribution into a probability distribution according to the number of measured values in each class;
A mutual information conversion unit that calculates the mutual information at the same time from the probability distribution of each sensor converted by the probability distribution conversion unit using equation (3);

Figure 2023102657000002
Figure 2023102657000002

X(x):一方のセンサの確率変数X={x1,x2,...xn}の確率分布
Y(y):他方のセンサの確率変数Y={y1,y2,...yn}の確率分布
ただし、確率変数X=確率変数Y
I(X;Y):PX(x),PY(y)の相互情報量
XY(x,y):同時確率(一方のセンサのデータと他方のセンサのデータが同一のタイミングで、それぞれの階級に含まれる場合の相対度数)
を備え、
前記相互情報量変換部の算出する相互情報量の相関変化に基づき前記設備を診断することを特徴としている。
P X (x): random variable X={x 1 , x 2 , . . . x n } probability distribution P Y (y): random variable Y={y 1 , y 2 , . . . y n }, where random variable X = random variable Y
I (X; Y): Mutual information of P X (x) and P Y (y) P XY (x, y): Joint probability (relative frequency when data from one sensor and data from the other sensor are included in each class at the same timing)
with
The equipment is diagnosed based on the correlation change of the mutual information calculated by the mutual information converter.

(2)本発明の他の態様は、診断対象の設備に複数のセンサを設置し、前記各センサの任意の時間幅の時系列データを計測データとして前記設備を診断する装置の実行する方法であって、
前記各センサの計測データに一定時間ごとの分布区間を設定し、設定された分布区間を事前設定の確率変数を示す階級数に分割し、前記各階級の計測値の個数に応じた確率分布に変換する確率分布変換ステップと、
前記確率分布変換ステップで変換された各センサの確率分布から同一時間の相互情報量を、式(3)を用いて算出する相互情報量変換ステップと、
(2) Another aspect of the present invention is a method executed by a device that installs a plurality of sensors in equipment to be diagnosed and diagnoses the equipment using time-series data of an arbitrary time width of each sensor as measurement data,
A probability distribution conversion step of setting a distribution interval for the measurement data of each sensor at regular time intervals, dividing the set distribution interval into a number of classes indicating a preset random variable, and converting the probability distribution into a probability distribution according to the number of measured values in each class;
A mutual information conversion step of calculating the mutual information at the same time from the probability distribution of each sensor converted in the probability distribution conversion step using equation (3);

Figure 2023102657000003
Figure 2023102657000003

X(x):一方のセンサの確率変数X={x1,x2,...xn}の確率分布
Y(y):他方のセンサの確率変数Y={y1,y2,...yn}の確率分布
ただし、確率変数X=確率変数Y
I(X;Y):PX(x),PY(y)の相互情報量
XY(x,y):同時確率(一方のセンサのデータと他方のセンサのデータが同一のタイミングで、それぞれの階級に含まれる場合の相対度数)
前記相互情報量変換部の算出する相互情報量の相関変化に基づき前記設備を診断する診断ステップと、
を有することを特徴としている。
P X (x): random variable X={x 1 , x 2 , . . . x n } probability distribution P Y (y): random variable Y={y 1 , y 2 , . . . y n }, where random variable X = random variable Y
I (X; Y): Mutual information of P X (x) and P Y (y) P XY (x, y): Joint probability (relative frequency when data from one sensor and data from the other sensor are included in each class at the same timing)
a diagnosis step of diagnosing the equipment based on the correlation change of the mutual information calculated by the mutual information conversion unit;
It is characterized by having

(3)前記各態様において、
前記確率分布から基準となる確率分布PX *(x)を生成し、
前記確率分布PX *(x)と同間隔で得られる前記各センサの確率分布PX(x),PY(y)から前記確率分布PX *(x)と同一の確率変数「X=Y={x1,x2,...xn}の比較対象となる確率分布PY(x)を取得し、
前記確率分布PX *(x),PY(x)から式(4)のKLD「Kullback-Leibler divergence/DKL(X||Y)」に変換し、
(3) In each of the above aspects,
generating a standard probability distribution P X * (x) from the probability distribution;
obtaining a probability distribution P Y ( x ) to be compared with the same random variable "X=Y={x 1 , x 2 , .
The probability distributions P X * (x) and P Y (x) are converted into KLD "Kullback-Leibler divergence/D KL (X||Y)" of formula (4),

Figure 2023102657000004
Figure 2023102657000004

前記変換されたKLDが散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、前記設備を診断することもできる。 The installation can also be diagnosed by whether the transformed KLD is detected as an outlier away from the normal distribution in the scatterplot.

このとき前記確率分布PX *(x)と前記PY(x)とを入れ替えて、式(5)のKLD「DKL(Y||X)」に変換し、 At this time, the probability distribution P X * (x) and the P Y (x) are exchanged to convert to KLD "D KL (Y||X)" of formula (5),

Figure 2023102657000005
Figure 2023102657000005

式(4)(5)のKLDが共に散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、前記設備を診断してもよい。 The installation may be diagnosed by whether the KLDs of equations (4) and (5) are both detected as outliers away from the normal distribution in the scatterplot.

(4)また、前記各態様において、
前記確率分布変換部で変換された各センサの確率分布を、式(1)(2)を用いて任意時間ごとのエントロピーに変換し、
(4) In addition, in each of the above aspects,
The probability distribution of each sensor converted by the probability distribution conversion unit is converted to entropy at any time using equations (1) and (2),

Figure 2023102657000006
Figure 2023102657000006

Figure 2023102657000007
Figure 2023102657000007

H(X):一方のセンサのエントロピー
H(Y):他方のセンサのエントロピー
前記各センサのエントロピーが閾値以上の変化を生じたか否かにより、前記設備を診断することもできる。
H(X): entropy of one sensor H(Y): entropy of the other sensor The equipment can also be diagnosed by whether the entropy of each sensor has changed by a threshold value or more.

本発明によれば、複数のセンサデータによる診断の容易化を図ることが可能となる。 According to the present invention, it is possible to facilitate diagnosis using a plurality of sensor data.

(a)は本発明の実施形態に係る設備診断システムの診断情報量(エントロピー)の概略図、(b)は相互情報量の概略図、(c)は「KLD」の概略図。(a) is a schematic diagram of the amount of diagnostic information (entropy) of the equipment diagnosis system according to the embodiment of the present invention, (b) is a schematic diagram of mutual information, and (c) is a schematic diagram of "KLD". 同 診断方法の処理ステップを示す全体図。The general view which shows the processing step of the same diagnostic method. 実施例による対象設備の診断状況を示す構成図。The block diagram which shows the diagnostic condition of the target equipment by an Example. 同 診断方法の処理ステップを示す全体図。The general view which shows the processing step of the same diagnostic method. (a)はセンサ12のセンサデータ図、(b)はセンサ13のセンサデータ図。(a) is a sensor data diagram of the sensor 12, and (b) is a sensor data diagram of the sensor 13. FIG. (a)は確率分布変換部に入力されるセンサ12の時系列センサデータ図、(b)は(a)の時系列センサデータを確率分布に変換後に確率分布変換部から出力されるデータ図。(a) is a time-series sensor data diagram of the sensor 12 input to the probability distribution conversion unit, and (b) is a data diagram output from the probability distribution conversion unit after converting the time-series sensor data of (a) into a probability distribution. (a)はエントロピー変換部に入力されるセンサ12の一定時間毎の確率分布を示すデータ図、(b)は(a)の確率分布をエントロピーに変換後にエントロピー変換部から出力されるデータ図。(a) is a data diagram showing the probability distribution of the sensor 12 at regular intervals input to the entropy conversion unit, and (b) is a data diagram output from the entropy conversion unit after converting the probability distribution of (a) into entropy. (a)は相互情報量変換部に入力されるセンサ12の確率分布を示すデータ図、(b)は同センサ13の確率分布を示すデータ図、(c)は(a)(b)の確率分布を相互情報量に変換後に相互情報変換部から出力されるデータ図。(a) is a data diagram showing the probability distribution of the sensor 12 input to the mutual information converter, (b) is a data diagram showing the probability distribution of the same sensor 13, and (c) is a data diagram output from the mutual information converter after converting the probability distributions of (a) and (b) into mutual information. (a)はKLD変換部に入力される基準となる確率分布(センサ12)のデータ図、(b)は同比較対象の確率分布(センサ13)のデータ図、(c)は(a)(b)の確率分布から求めたKLD変換部の出力結果の外れ値検出図。(a) is a data diagram of the standard probability distribution (sensor 12) input to the KLD transform unit, (b) is a data diagram of the probability distribution (sensor 13) to be compared, and (c) is an outlier detection diagram of the output result of the KLD transform unit obtained from the probability distributions of (a) and (b).

以下、本発明の実施形態に係る設備診断装置(設備診断方法)を説明する。この診断装置は、診断対象の現象を物理量として数値(データ)化し、該数値を「平均・分散などの統計」で表す。これを情報の価値に変換し、情報の「めずらしさ」を診断の指標として用いる。 An equipment diagnosis apparatus (equipment diagnosis method) according to an embodiment of the present invention will be described below. This diagnostic apparatus converts a phenomenon to be diagnosed into numerical values (data) as physical quantities, and expresses the numerical values as "statistics such as mean and variance". This is converted into the value of information, and the "rarity" of information is used as an index for diagnosis.

具体的には前記診断装置は、診断対象の設備に付加された複数センサによる種々の単位を持つセンサデータを発生頻度に基づく確率分布として捉え、各センサデータから求めたエントロピーや相互情報量などに着目し、診断対象の異常/異常予兆の有無を診断する。 Specifically, the diagnosis device treats sensor data having various units from multiple sensors attached to the equipment to be diagnosed as a probability distribution based on the occurrence frequency, and focuses on the entropy and mutual information obtained from each sensor data to diagnose the presence or absence of an abnormality/anomaly sign of the diagnosis target.

このような複数のセンサデータに基づく評価手法として、非特許文献1の「JSD(Jensen-Shannon Divergence)」や非特許文献2の「Wasserstein」、非特許文献3~5のKLD「Kullback-Leibler divergence」などが提案されている。 As evaluation methods based on such multiple sensor data, “JSD (Jensen-Shannon Divergence)” in Non-Patent Document 1, “Wasserstein” in Non-Patent Document 2, and KLD “Kullback-Leibler divergence” in Non-Patent Documents 3 to 5 have been proposed.

これに対して前記診断装置は、3つの情報量(エントロピー,相互情報量,KLD)を組み合わせることで「JSD」,「Wasserstein」,「KLD」単体で検出できなかった異常/異常予兆の検出を図る。 On the other hand, the diagnostic device combines three information amounts (entropy, mutual information, and KLD) to detect anomalies/predictions of anomalies that could not be detected by "JSD", "Wasserstein", and "KLD" alone.

すなわち、複数のセンサデータを用いる場合、それぞれのセンサデータが多様な変化をしており、単位も異なるため、その扱いが難しい。そこで、前記診断装置は、診断対象の設備に付加した種々のセンサから収集された異なる物理量のセンサデータを発生頻度に基づく確率分布に変換し、共通単位の情報量を示すエントロピーや相互情報量などに変換することで単位系を統一し、さらに統一された単位系のもとでセンサデータ間の相関評価を行って複数センサデータによる診断の容易化を図っている。 That is, when using a plurality of sensor data, each sensor data varies in various ways and has different units, which makes it difficult to handle. Therefore, the diagnostic device converts the sensor data of different physical quantities collected from various sensors added to the equipment to be diagnosed into a probability distribution based on the occurrence frequency, and converts them into entropy and mutual information that indicate the amount of information in common units.

(1)情報量
図1に基づき前記各情報量による診断の概略を説明する。
(1) Amount of Information Based on FIG. 1, an outline of diagnosis based on each amount of information will be described.

A:図1(a)に示すように、各センサデータのエントロピー(平均情報量)Hを一定時間ごとに算出する。このとき算出されたエントロピーH毎の時間的変化に基づきそれぞれのセンサデータの状態異常を検出し、診断対象の異常/異常予兆の有無を診断する。ここでは設備の異常などをエントロピーHの変化として捉えることにより単位系の統一を図る。 A: As shown in FIG. 1(a), the entropy (average amount of information) H of each sensor data is calculated at regular time intervals. Based on the temporal change for each entropy H calculated at this time, an abnormality in the state of each sensor data is detected, and the presence or absence of abnormality/prediction of abnormality to be diagnosed is diagnosed. Here, unit system is unified by recognizing the abnormality of equipment as change of entropy H.

B:図1(b)に示すように、センサデータ間の相互情報量Iを一定時間ごとに算出する。算出された相互情報量Iによる相関から状態異常のセンサデータを検出し、診断対象の異常/異常予兆の有無を診断する。すなわち、センサデータ間の相互情報量を求めることにより正常時のセンサデータ間の従属性や正常から異常へと変化する際の関係性の時間的変化から設備を診断する。この診断は、物理量の影響を受けないため、安定的に検出することが可能である。 B: As shown in FIG. 1(b), the mutual information I between sensor data is calculated at regular time intervals. Abnormal state sensor data is detected from the correlation based on the calculated mutual information amount I, and the presence or absence of the abnormality/prediction of abnormality to be diagnosed is diagnosed. That is, by obtaining the mutual information between sensor data, the equipment is diagnosed from the dependency between the sensor data in the normal state and the temporal change in the relationship when the state changes from normal to abnormal. Since this diagnosis is not affected by physical quantities, stable detection is possible.

C:図1(c)に示すように、事前に記録した基準の確率分布(基準データ)と診断対象の確率分布との「KLD」を一定時間毎に算出する。ここでは「KLD」の変化からセンサデータの異常を検出し、診断対象の異常/異常予兆の有無を診断する。このとき基準の確率分布と比較対象の確率分布とが同じセンサのセンサデータである必要はない。 C: As shown in FIG. 1(c), "KLD" between the reference probability distribution (reference data) recorded in advance and the diagnosis target probability distribution is calculated at regular time intervals. Here, an abnormality in the sensor data is detected from the change in "KLD", and the presence or absence of an abnormality/prediction of abnormality to be diagnosed is diagnosed. At this time, the reference probability distribution and the comparison target probability distribution need not be sensor data of the same sensor.

(2)診断手順
図2に基づき前記診断装置による診断手順(診断ステップ)の全体的な概略を説明する。まず診断対象の物理現象を数値化した情報、即ち診断対象のセンサ1,2によるセンサデータを取得する(S01)。
(2) Diagnosis Procedure An overall outline of the diagnosis procedure (diagnosis step) by the diagnostic device will be described with reference to FIG. First, information obtained by quantifying the physical phenomenon to be diagnosed, that is, sensor data from the sensors 1 and 2 to be diagnosed is acquired (S01).

つぎに取得した各センサデータを統計指標で表現するため、それぞれのセンサデータを確率分布「PX(x),PY(y)」に変換する(S02)。変換された確率分布「PX(x),PY(y)」を「情報の価値」の指標に表現する。 Next, in order to express each acquired sensor data with a statistical index, each sensor data is converted into a probability distribution "P X (x), P Y (y)" (S02). The transformed probability distribution 'P X (x), P Y (y)' is expressed as an index of 'information value'.

ここでは確率分布「PX(x),PY(y)」を、
・エントロピーH(X),H(Y)
・相互情報量I(X;Y)
・KLD「2変量DKL(X||Y),DKL(Y||X)」
に変換する(S03~S05)。その後、S03~S05で変換された各情報の数値監視を行う(S06~S08)。
Here, the probability distribution "P X (x), P Y (y)" is
・Entropy H(X), H(Y)
・Mutual information I (X; Y)
・KLD "Bivariate D KL (X||Y), D KL (Y||X)"
(S03-S05). After that, the numerical value of each information converted in S03-S05 is monitored (S06-S08).

すなわち、S06の「エントロピーHの監視(自己状態診断)」では、エントロピーHの数値上昇・数値低下を監視する。監視の結果、「数値上昇=ばらつき増大」・「数値低下=数値偏り増大」と認定し、診断対象に異常/異常予兆が発生したと判定する。 That is, in S06 "monitoring of entropy H (self-state diagnosis)", an increase or a decrease in the numerical value of entropy H is monitored. As a result of monitoring, it is determined that "numerical increase = increase in variation" and "numerical decrease = increase in numerical bias", and that an abnormality/anomaly sign has occurred in the diagnosis target.

また、S07の「相互情報量Iの数値監視」では、相互情報量Iについて「数値上昇=センサ1,2の関係性大」・「数値低下=同関係性小(独立)」と認定し、センサ1,2の関係性が崩れたか否かを監視する。監視の結果、前記関係性が崩れれば、診断対象に異常/異常予兆が発生したと判定する。 In addition, in S07 "Numerical monitoring of mutual information I", the mutual information I is identified as "numerical increase = great relationship between sensors 1 and 2" and "numerical decrease = small relationship (independent)", and it is monitored whether the relationship between sensors 1 and 2 has collapsed. If the relationship is lost as a result of monitoring, it is determined that an abnormality/prediction of abnormality has occurred in the diagnosis target.

さらにS08の「KLDの数値監視」では、前記2変量に分布変化が生じたか否かを監視する。監視の結果、分布変化が生じていれば、診断対象に異常/異常予兆が発生したと判定する。 Further, in S08 "Numerical monitoring of KLD", it is monitored whether or not the distribution of the two variables has changed. As a result of monitoring, if a change in distribution occurs, it is determined that an abnormality/prediction of abnormality has occurred in the diagnosis target.

図3~図9に基づき前記診断装置の実施例を説明する。ここでは回転機を設備の一例として説明する。 An embodiment of the diagnostic device will be described with reference to FIGS. 3 to 9. FIG. Here, a rotating machine will be described as an example of equipment.

≪構成例≫
図3中の11は、診断対象の設備となる回転機を示している。この回転機11の軸受近傍には軸受振動(加速度)を計測する加速度センサ12が設置されている。
≪Configuration example≫
Reference numeral 11 in FIG. 3 denotes a rotating machine that is the facility to be diagnosed. An acceleration sensor 12 for measuring bearing vibration (acceleration) is installed near the bearing of the rotating machine 11 .

また、回転機11のハウジング11aには、回転機11の電源電流や漏れ電流を計測する電流センサ13が設置されている。この両センサ12,13で計測された計測データ(センサデータ)は、記憶装置(例えばSSD,HDDなど)を備えたデータ計測器14に収集されて蓄積される。 A current sensor 13 for measuring the power source current and leakage current of the rotating machine 11 is installed in the housing 11 a of the rotating machine 11 . Measurement data (sensor data) measured by both sensors 12 and 13 are collected and accumulated in a data measuring instrument 14 having a storage device (for example, SSD, HDD, etc.).

ここではデータ計測器14に設備診断装置10が接続され、収集・蓄積された計測データは設備診断装置10に入力される。この設備診断装置10は、入力された計測データに基づき確率分布の生成や前記各情報量(エントロピー・相互情報量・KLD)により回転機11を診断する。診断結果は、前記診断装置10に接続された図示省略の表示装置(モニタ)に表示することでユーザが確認可能となっている。 In this case, the facility diagnostic device 10 is connected to the data measuring instrument 14 , and the collected and accumulated measurement data is input to the facility diagnostic device 10 . This facility diagnosis device 10 diagnoses the rotating machine 11 by generating a probability distribution based on the input measurement data and by each amount of information (entropy, mutual information, and KLD). A user can confirm the diagnostic results by displaying them on a display device (monitor), not shown, connected to the diagnostic device 10 .

具体的には前記診断装置10は、コンピュータにより構成され、コンピュータの通常のハードウェアリソース(例えばCPU,RAM・ROMの記憶装置等)を備える。 Specifically, the diagnostic device 10 is configured by a computer and includes normal computer hardware resources (for example, CPU, RAM/ROM storage devices, etc.).

このハードウェアリソースとソフトウェアリソース(OS,アプリケーション等)の協働の結果、前記診断装置10は図示省略の確率分布変換部・エントロピー変換部・相互情報量変換部・KLD変換部・監視部(診断部)を実装する。 As a result of cooperation between the hardware resources and software resources (OS, applications, etc.), the diagnostic device 10 implements a probability distribution converter, an entropy converter, a mutual information converter, a KLD converter, and a monitor (diagnostic section) (not shown).

≪診断手順≫
図4に基づき実施例の診断手順(診断ステップ)を説明する。
≪Diagnostic procedure≫
A diagnosis procedure (diagnosis step) of the embodiment will be described with reference to FIG.

S11:センサ12,13は、診断対象の回転機11の物理情報(加速度・電流値)を連続的に計測する。ここで計測されたセンサデータはデータ計測器14に取り込まれる。 S11: The sensors 12 and 13 continuously measure the physical information (acceleration/current value) of the rotating machine 11 to be diagnosed. The sensor data measured here is taken into the data measuring device 14 .

このときデータ計測器14は、取り込まれた各センサデータを定期的に任意の時間幅の時系列データとして記録する。図5はセンサ12,13の時系列データ例を示し、1秒間を1回の計測として記録されている。ここではセンサ12,13の時系列データは、共にサンプリング周波数が「51,200Hz」であり、1秒で「51,200」サンプルのデータが記録される。 At this time, the data measuring device 14 periodically records each captured sensor data as time-series data of an arbitrary time width. FIG. 5 shows an example of time-series data of the sensors 12 and 13, and one second is recorded as one measurement. Here, the time-series data of the sensors 12 and 13 both have a sampling frequency of "51,200 Hz", and data of "51,200" samples are recorded in one second.

これにより1秒ごとに診断用の時系列データがデータ計測器14に蓄積され、蓄積された時系列データが前記診断装置10に出力される。なお、図5中のD1は、センサ12の時系列データ(4.0~5.0)の異常(100Hz混入)を示している。 As a result, diagnostic time-series data is accumulated in the data measuring device 14 every second, and the accumulated time-series data is output to the diagnostic device 10 . D1 in FIG. 5 indicates an abnormality (100 Hz mixture) in the time-series data (4.0 to 5.0) of the sensor 12 .

S12:データ計測器14に蓄積されたセンサ12,13の時系列データが前記診断装置10に入力される。ここで入力された各時系列データに基づき確率分布変換部は一定時間毎の確率分布Pを生成(算出)する。このとき以下のパラメータを用意する。 S12: The time-series data of the sensors 12 and 13 accumulated in the data measuring device 14 are inputted to the diagnostic device 10. The probability distribution conversion unit generates (calculates) a probability distribution P for each fixed time based on each time series data input here. At this time, prepare the following parameters.

(1)分布区間[a,b]
分布区間[a,b]は、確率分布の範囲を決める値を示している。この範囲は、計測値の最大値から最小値よりも広い区間を設定することが望ましい。例えば図6(a)の時系列センサデータでは、計測値は「±0.3」に含まれる状態であり、分布区間[a,b]=[-0.4,0.4](±0.4)とされている。
(1) Distribution interval [a, b]
The distribution interval [a, b] indicates values that determine the range of the probability distribution. As for this range, it is desirable to set a section wider than the maximum value to the minimum value of the measured value. For example, in the time-series sensor data of FIG. 6(a), the measured value is in a state of being included in "±0.3", and the distribution interval [a, b]=[-0.4, 0.4] (±0.4).

(2)階級数「n」
階級数「n」は、計測値をいくつかの区分に分けるときの分解能を決める値を示している。
(2) Class number “n”
The class number "n" indicates a value that determines the resolution when dividing the measured value into several categories.

分布区間[a,b]に対して階級数「n」で分割し、小区間(以下、階級という)に分ける。例えば、分布区間[-0.4,0.4],階級数「n」=40であれば、階級の系列は、{[-0.4,-0.38],[-0.38,-0.36},...,[+0.38,+0.36]の40区分となる。 The distribution interval [a, b] is divided by the number of classes "n" and divided into sub-sections (hereinafter referred to as classes). For example, if the distribution interval is [-0.4, 0.4] and the number of classes "n" = 40, then the class sequence is {[-0.4, -0.38], [-0.38, -0.36}, . . . , [+0.38, +0.36].

そして、各階級に含まれる計測値の個数(以下、度数という)を求める。センサ12の計測値を一例に説明すれば、階級を「X={x1,x2,...,xn}」と置き、これを確率変数とする。このときセンサ12の確率分布PXは、各階級の度数をサンプルデータ数で除算した値で表される。 Then, the number of measured values (hereinafter referred to as frequency) included in each class is obtained. Taking the measurement value of the sensor 12 as an example , the class is set as "X={x 1 , x 2 , . At this time, the probability distribution P X of the sensor 12 is represented by a value obtained by dividing the frequency of each class by the number of sample data.

例えば度数の序列{0,0,0,1,6,15,33,72,...,0},サンプルデータ数「51200」であれば、PX(x)={0,0,0,0,0.0001,0.0003,0.0006,0.0014,0.0031,0.0055,...,0}となり、図6(b)中のD2に示す確率分布PX(x)が得られる。 For example, the order of frequencies {0,0,0,1,6,15,33,72, . . . , 0}, and if the number of sample data is "51200", P X (x)={0, 0, 0, 0, 0.0001, 0.0003, 0.0006, 0.0014, 0.0031, 0.0055, . . . , 0}, and the probability distribution P X (x) shown at D2 in FIG. 6B is obtained.

同様な処理をセンサ13の計測値に施すことで同センサ13の確率分布PY(y)が得られる。このようなS12の処理は、S11の処理が行われる度に各センサ12,13のセンサデータに対して実行される。 A probability distribution P Y (y) of the sensor 13 is obtained by subjecting the measured values of the sensor 13 to similar processing. Such a process of S12 is performed on the sensor data of the sensors 12 and 13 each time the process of S11 is performed.

そして、前述のように1秒間を1回の計測としてセンサデータを収集していることから、1秒毎に最新の確率分布PX(x),PY(y)が算出される。ここで算出された確率分布PX(x),PY(y)は、記憶装置(HDD,SSDなど)に蓄積されるとともに、エントロピー変換部・相互情報量変換部・KLD変換部に出力される。 Since the sensor data is collected with one second as one measurement as described above, the latest probability distributions P X (x) and P Y (y) are calculated every second. The probability distributions P X (x) and P Y (y) calculated here are stored in a storage device (HDD, SSD, etc.) and output to the entropy transforming section, mutual information transforming section, and KLD transforming section.

S13:エントロピー変換部は、確率分布PX(x),PY(y)が入力される度に各センサ12,13のセンサデータについて、エントロピーHを一定時間毎に算出する。 S13: The entropy conversion unit calculates the entropy H for the sensor data of the sensors 12 and 13 every time the probability distributions P X (x) and P Y (y) are input.

図7(a)に示すセンサ12の確率分布PX(x)についてエントロピーH(X)を算出すると、図7(b)に示す出力結果が得られる。このとき確率変数X={x1,x2,...,xn}からなる確率分布をPX(x)とすると、エントロピーH(X)は、式(1)から求めることができる。 When the entropy H(X) is calculated for the probability distribution P X (x) of the sensor 12 shown in FIG. 7(a), the output result shown in FIG. 7(b) is obtained. Then random variables X={x 1 , x 2 , . . . , x n } is P X (x), entropy H(X) can be obtained from equation (1).

Figure 2023102657000008
Figure 2023102657000008

同様にセンサ13の確率分布PY(y)についてエントロピーH(Y)を算出する。このとき確率変数Y={y1,y2,...,yn}からなる確率分布をPY(y)とすると、エントロピーH(Y)は、式(2)から求めることができる。 Similarly, the entropy H(Y) is calculated for the probability distribution P Y (y) of the sensor 13 . Then random variables Y={y 1 , y 2 , . . . , y n } is P Y (y), entropy H(Y) can be obtained from equation (2).

Figure 2023102657000009
Figure 2023102657000009

ただし、センサ12,13のセンサデータにおいて同一の確率変数を用いてエントロピーHを求めることとする(確率変数X=確率変数Y)。この点で単位系の統一を図ることができる。 However, the entropy H is obtained using the same random variable in the sensor data of the sensors 12 and 13 (random variable X=random variable Y). In this respect, unit systems can be standardized.

S14:監視部は、S13で算出されるエントロピーH(X),H(Y)の数値変化を監視し、エントロピーH(X),H(Y)が算出される度に異常/異常予兆の有無を診断する。この診断は、エントロピーH(X),H(Y)毎に行われ、事前に設定された閾値に基づき行われる。この閾値は、経験的に得られた変化幅に基づき定められる。 S14: The monitoring unit monitors changes in the entropies H(X) and H(Y) calculated in S13, and diagnoses the presence or absence of an abnormality/prediction of abnormality each time the entropies H(X) and H(Y) are calculated. This diagnosis is performed for each entropy H(X), H(Y) and based on preset thresholds. This threshold is determined based on an empirically obtained width of change.

図7(b)のD3(5秒後のエントロピーH(X))は、確率分布D2から算出されたエントロピーH(X)が閾値を超えた状態を示している。ここでは4秒後からエントロピーH(X)が増大したため、5秒後に通常とは異なる値を示して閾値を超えた。この場合には回転機11に異常/異常予兆ありと診断され、診断結果が表示装置に表示される。なお、閾値は異常/異常予兆毎に段階的に設定し、異常/異常予兆毎に表示装置に表示することもできる。 D3 (entropy H(X) after 5 seconds) in FIG. 7B indicates a state in which the entropy H(X) calculated from the probability distribution D2 exceeds the threshold. Here, since the entropy H(X) increased after 4 seconds, it showed an unusual value and exceeded the threshold value after 5 seconds. In this case, the rotating machine 11 is diagnosed as having an abnormality/prediction of abnormality, and the diagnosis result is displayed on the display device. The threshold value can be set stepwise for each abnormality/prediction of abnormality and displayed on the display device for each abnormality/prediction of abnormality.

S15:相互情報変換部は、S12の確率分布PX(x),PY(y)が入力される度に確率分布PX(x),PY(y)から同一時間の相互情報量Iを算出する。例えば図8(a)(b)の確率分布PX(x),PY(y)から1秒毎の相互情報量Iを求めると図8(c)の出力結果が得られる。 S15: The mutual information converter calculates the mutual information amount I at the same time from the probability distributions P X (x) and P Y (y) each time the probability distributions P X (x) and P Y (y) of S12 are input. For example, if the mutual information I for each second is obtained from the probability distributions P X (x) and P Y (y) of FIGS. 8(a) and 8(b), the output result of FIG. 8(c) is obtained.

ここで確率変数X={x1,x2,...,xn},確率変数Y={y1,y2,...,yn}の確率分布をPX(x),PY(y)とすると相互情報量I(X;Y)は、式(3)から求めるられる。 where the random variable X={x 1 , x 2 , . . . , x n }, random variables Y={y 1 , y 2 , . . . , y n } are P X (x) and P Y (y), the mutual information I(X; Y) can be obtained from Equation (3).

Figure 2023102657000010
Figure 2023102657000010

式(3)中のPXY(x,y)は同時確率を表している。この同時確率は、センサ12,13のセンサデータが同一のタイミングで、それぞれの階級に含まれる場合の相対度数を示している。 P XY (x, y) in Equation (3) represents joint probability. This joint probability indicates the relative frequency when the sensor data of the sensors 12 and 13 are included in each class at the same timing.

例えば確率変数X=Yとし、階級x1=y1=[-0.4,-0.38]の同時確率PXY(x1,y1)を求める場合を想定する。この場合、時間「t=0.1」秒でのみ2つの計測値がそれぞれ「-0.39」,「-0.385」であれば度数は「1」であり、サンプルデータ数で除算した値が同時確率PXY(x1,y1)となる。 For example, assume that a random variable X=Y and a joint probability P XY (x 1 , y 1 ) of class x 1 =y 1 =[-0.4,-0.38] is obtained. In this case, if the two measured values are "-0.39" and "-0.385" respectively only at time "t = 0.1" seconds, the frequency is "1", and the value obtained by dividing by the number of sample data is the joint probability P XY (x 1 , y 1 ).

S16:監視部は、S15で算出される相互情報量I(X;Y)の数値変化を監視し、相互情報量I(X;Y)が算出される度に異常/異常予兆の有無を診断する。 S16: The monitoring unit monitors numerical changes in the mutual information I(X;Y) calculated in S15, and diagnoses the presence or absence of an abnormality/prediction of an abnormality each time the mutual information I(X;Y) is calculated.

ここでは相互情報量I(X;Y)の数値変化が事前に設定された閾値を超えた場合にセンサ12,13のセンサデータ間の相互関係が崩れ、いずれかのセンサデータに異常が発生したものと判定する。この閾値も、経験的に得られた変化幅に基づき定められる。 Here, when the change in the value of the mutual information I(X;Y) exceeds a preset threshold value, it is determined that the mutual relationship between the sensor data of the sensors 12 and 13 is broken and an abnormality has occurred in one of the sensor data. This threshold is also determined based on the width of change obtained empirically.

例えば図8(c)の出力結果によれば、確率変数X=Yとして相互情報量I(X;Y)を求めた結果、相互情報量Iは4秒までは大きな変化はなかったものの、4秒後から数値が上昇している。 For example, according to the output result of FIG. 8C, as a result of obtaining the mutual information I (X; Y) with the random variable X=Y, the mutual information I did not change significantly until 4 seconds, but the numerical value increased after 4 seconds.

ここでは図8(c)中のD5に示すように、5秒後に閾値を超える変化量が認められたため、いずれかのセンサデータの異常発生が検出される。この検出をもって回転機11に異常/異常予兆ありと診断し、診断結果が表示装置に表示される。なお、閾値は異常/異常予兆毎に段階的に設定し、異常/異常予兆毎に表示装置に表示することもできる。 Here, as indicated by D5 in FIG. 8(c), the amount of change exceeding the threshold value is recognized after 5 seconds, so the occurrence of an abnormality in any of the sensor data is detected. Based on this detection, the rotating machine 11 is diagnosed as having an abnormality/prediction of abnormality, and the diagnosis result is displayed on the display device. The threshold value can be set stepwise for each abnormality/prediction of abnormality and displayed on the display device for each abnormality/prediction of abnormality.

S17:KLD変換部は、非特許文献3~5のKLDを用いてセンサ12,13のセンサデータを評価する。具体的にはKLD変換部は、事前にデータ計測器14に蓄積された過去の確率分布から基準となる確率分布を生成し、これを記録して入力とする。ここでは図9(a)に示すように、センサ12の過去の分布から基準の確率分布PX *(x)を生成した場合を説明する。 S17: The KLD converter evaluates the sensor data of the sensors 12 and 13 using the KLDs of Non-Patent Documents 3-5. Specifically, the KLD conversion unit generates a reference probability distribution from past probability distributions accumulated in advance in the data measuring device 14, records this, and uses it as an input. Here, as shown in FIG. 9A, the case where the reference probability distribution P X * (x) is generated from the past distribution of the sensor 12 will be described.

この場合、図9(b)に示すように、確率分布PX *(x)と同様に1秒間隔で得られる比較対象となる確率分布PY(x)を取得する。このとき確率分布PY(x)は異なるセンサの確率分布だけでなく、確率分布PX *(x)と同一センサの確率分布も用いる。 In this case, as shown in FIG . 9(b), a probability distribution P Y (x) to be compared, which is obtained at intervals of one second, is obtained in the same manner as the probability distribution P X * (x). At this time, the probability distribution P Y (x) uses not only the probability distribution of different sensors, but also the probability distribution of the same sensor as the probability distribution P X * (x).

そして、取得した確率分布PY(x)と基準となる確率分布PX *(x)とをもとにKLDを求める。図9(c)は、確率分布PX *(x)と異なるセンサの確率分布として、センサ13の確率分布PY(x)を比較対象とした状態を表している。 Then, KLD is obtained based on the obtained probability distribution P Y (x) and the reference probability distribution P X * (x). FIG. 9(c) shows a state in which the probability distribution P Y (x) of the sensor 13 is used as a comparison target as the probability distribution of a sensor different from the probability distribution P X * (x).

このときPY(x)は、PX *(x)と同一の確率変数、即ち確率変数「X=Y={x1,x2,...xn}={y1,y2,...yn}」からなるセンサ13の確率分布とする。そのため、PY(x)は、S12,S13のPY(y)と実質的に同一であり、確率分布変換部から出力されたセンサ13の確率分布PY(x)を入力として、そのまま用いることができる。そして、まず式(4)により「KLD(DKL(X||Y))」を求める。 At this time, P Y (x) is the same random variable as P X * (x), that is, the probability distribution of sensor 13 consisting of random variables "X=Y={x 1 , x 2 , . . . x n }={y 1 , y 2 , . Therefore, P Y (x) is substantially the same as P Y (y) in S12 and S13, and the probability distribution P Y (x) of the sensor 13 output from the probability distribution converter can be used as an input. Then, first, "KLD(D KL (X||Y))" is obtained from equation (4).

Figure 2023102657000011
Figure 2023102657000011

つぎにKLDは非対称性を有し別の値を示す。これにより確率分布の組PX *(x),PY(x)から2変量を得ることができる。KLDの非対称性を相殺しようとした非特許文献1のJSDは、確率分布の組から1つの数値しか得ることしかできず、KLDに対して相対的に少ない情報で診断になる。本実施例は、KLDの非対称性を診断に利用することで、豊富な情報に基づく診断が可能となる。また、非特許文献2の「Wasserstein」距離に比べて豊富な情報を元に診断が可能となる。ここでは式(4)と確率分布を入れ替えた「KLD(DKL(Y||X))」を、式(5)により求める。 Then KLD has asymmetry and shows another value. Thus, two variables can be obtained from the set of probability distributions P X * (x) and P Y (x). The JSD of Non-Patent Document 1, which attempts to offset the asymmetry of KLD, can only obtain one number from a set of probability distributions and is diagnostic with relatively little information for KLD. This embodiment enables diagnosis based on abundant information by utilizing the asymmetry of KLD for diagnosis. In addition, diagnosis can be made based on abundant information compared to the "Wasserstein" distance of Non-Patent Document 2. Here, "KLD(D KL (Y||X))" obtained by replacing the expression (4) and the probability distribution is obtained by the expression (5).

Figure 2023102657000012
Figure 2023102657000012

これにより図9(c)の出力結果、即ち2変量「DKL(X||Y),DKL(Y||X)」が得られる。また、PX *(x)と同一センサの確率分布として、センサ12の確率分布PX(x)を比較対象の確率分布PY(x)に置き換えて同様な処理を実行する。 As a result, the output result of FIG. 9(c), that is, the bivariate "D KL (X||Y), D KL (Y||X)" is obtained. Also, as the probability distribution of the same sensor as P X * (x), the probability distribution P X (x) of the sensor 12 is replaced with the probability distribution P Y (x) to be compared, and similar processing is executed.

なお、本実施例では一例としてセンサ12を対象とし、図9(a)に示す1秒後の確率分布を基準にKLDを求めているが、センサ13を対象に基準の確率分布とすることもできる。この場合には、センサ13の過去の確率分布から生成した基準の確率分布をPX *(x)と読み替えるとともに、センサ12,13の確率分布を比較対象の確率分布PY(x)と読み替えればよい。 In this embodiment, the sensor 12 is used as an example, and the KLD is obtained based on the probability distribution after 1 second shown in FIG. In this case, the reference probability distribution generated from the past probability distribution of the sensor 13 should be read as P X * (x), and the probability distributions of the sensors 12 and 13 should be read as the comparative probability distribution P Y (x).

S18:監視部は、S17で算出された前記各2変量を監視し、前記各2変量の正常分布からの逸脱を基準に回転機11を診断する。正常分布は、事前に回転機11の正常運転時にS11,S12,S17を実行しておき、前記2変量の値から求めておくものとする。 S18: The monitoring unit monitors each of the two variables calculated in S17, and diagnoses the rotating machine 11 based on the deviation of each of the two variables from the normal distribution. The normal distribution is obtained in advance from the values of the two variables by executing S11, S12, and S17 during normal operation of the rotating machine 11 in advance.

図9(c)中のD6は正常分布を示し、D7は前記2変量を示している。ここでは前記2変量D7は、正常分布D6からの外れ値として検出されるため、異常状態と認定される。これにより回転機11に異常/異常予兆ありと診断され、診断結果が表示装置に表示される。この外れ値検出は、正常分布から閾値以上離れたか否かにより行うことができ、また閾値を異常/異常予兆毎に段階的に定めることができる。 D6 in FIG. 9(c) indicates the normal distribution, and D7 indicates the bivariate. Here, the bivariate D7 is detected as an outlier from the normal distribution D6, and thus is recognized as an abnormal state. As a result, the rotating machine 11 is diagnosed as having an abnormality/prediction of abnormality, and the diagnosis result is displayed on the display device. This outlier detection can be performed based on whether or not the deviation from the normal distribution is greater than or equal to a threshold value, and the threshold value can be determined step by step for each abnormality/prediction of abnormality.

このような設備診断によれば、センサ12,13により収集されたセンサデータ間を同一の確率変数によるエントロピーの変化により診断し、さらに相互情報量の変化量・KLDの外れ値検出により相関評価することが可能となる。これにより複数のセンサデータによる診断の容易化を図ることができる。 According to such facility diagnosis, it is possible to diagnose the sensor data collected by the sensors 12 and 13 based on the change in entropy due to the same random variable, and to perform correlation evaluation by detecting outliers in the amount of change in mutual information and KLD. This makes it possible to facilitate diagnosis using a plurality of sensor data.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、各請求項に記載された範囲内で変形して実施することができる。例えばセンサは、加速度センサ12,電流センサ13に限定されることなく、他のセンサ(レベルセンサ,流量計など)を用いてもよい。また、エントロピーHによるセンサ独自毎の診断も必ずしも行う必要はなく、さらにKLDの非対称性を用いない診断も可能である。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and can be modified and implemented within the scope described in each claim. For example, the sensors are not limited to the acceleration sensor 12 and current sensor 13, and other sensors (level sensor, flow meter, etc.) may be used. Moreover, it is not always necessary to perform a diagnosis for each sensor using the entropy H, and a diagnosis that does not use the asymmetry of the KLD is also possible.

9…設備診断システム
10…設備診断装置
11…回転機(設備)
12…加速度センサ
13…電流センサ
14…データ計測器
9... Equipment diagnosis system 10... Equipment diagnosis device 11... Rotating machine (equipment)
12... Acceleration sensor 13... Current sensor 14... Data measuring instrument

Claims (8)

診断対象の設備に複数のセンサを設置し、前記各センサの任意の時間幅の時系列データを計測データとして前記設備を診断する装置であって、
前記各センサの計測データに一定時間ごとの分布区間を設定し、設定された分布区間を事前設定の確率変数を示す階級数に分割し、前記各階級の計測値の個数に応じた確率分布に変換する確率分布変換部と、
前記確率分布変換部で変換された各センサの確率分布から同一時間の相互情報量を、式(3)を用いて算出する相互情報量変換部と、
Figure 2023102657000013
X(x):一方のセンサの確率変数X={x1,x2,...xn}の確率分布
Y(y):他方のセンサの確率変数Y={y1,y2,...yn}の確率分布
ただし、確率変数X=確率変数Y
I(X;Y):PX(x),PY(y)の相互情報量
XY(x,y):同時確率(一方のセンサのデータと他方のセンサのデータが同一のタイミングで、それぞれの階級に含まれる場合の相対度数)
を備え、
前記相互情報量変換部の算出する相互情報量の相関変化に基づき前記設備を診断することを特徴とする設備診断装置。
A device that installs a plurality of sensors in equipment to be diagnosed and diagnoses the equipment using time series data of an arbitrary time width of each sensor as measurement data,
A probability distribution conversion unit that sets a distribution interval for the measurement data of each sensor at regular time intervals, divides the set distribution interval into a number of classes indicating a preset random variable, and converts the probability distribution into a probability distribution according to the number of measured values in each class;
A mutual information conversion unit that calculates the mutual information at the same time from the probability distribution of each sensor converted by the probability distribution conversion unit using equation (3);
Figure 2023102657000013
P X (x): random variable X={x 1 , x 2 , . . . x n } probability distribution P Y (y): random variable Y={y 1 , y 2 , . . . y n }, where random variable X = random variable Y
I (X; Y): Mutual information of P X (x) and P Y (y) P XY (x, y): Joint probability (relative frequency when data from one sensor and data from the other sensor are included in each class at the same timing)
with
An equipment diagnosis device, wherein the equipment is diagnosed based on a correlation change in mutual information calculated by the mutual information conversion unit.
前記確率分布から基準となる確率分布PX *(x)を生成し、
前記確率分布PX *(x)と同間隔で得られる前記各センサの確率分布PX(x),PY(y)から前記確率分布PX *(x)と同一の確率変数「X=Y={x1,x2,...xn}の比較対象となる確率分布PY(x)を取得し、
前記確率分布PX *(x),PY(x)から式(4)のKLD「Kullback-Leibler divergence/DKL(X||Y)」に変換するKLD変換部を備え、
Figure 2023102657000014
前記変換されたKLDが散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項1記載の設備診断装置。
generating a standard probability distribution P X * (x) from the probability distribution;
obtaining a probability distribution P Y ( x ) to be compared with the same random variable " X =Y={x 1 , x 2 , .
a KLD conversion unit that converts the probability distributions P X * (x) and P Y (x) into KLD "Kullback-Leibler divergence/D KL (X||Y)" of formula (4),
Figure 2023102657000014
Depending on whether the transformed KLD is detected as an outlier away from the normal distribution in the scatterplot,
2. The facility diagnostic device according to claim 1, which diagnoses the facility.
前記KLD変換部は、さらに前記確率分布PX *(x)と前記PY(x)とを入れ替えて、式(5)のKLD「DKL(Y||X)」に変換する一方、
Figure 2023102657000015
式(4)(5)のKLDが、共に散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項2記載の設備診断装置。
The KLD conversion unit further exchanges the probability distribution P X * (x) and the P Y (x) to convert to the KLD "D KL (Y||X)" of Equation (5),
Figure 2023102657000015
Depending on whether the KLDs of formulas (4) and (5) are both detected as outliers away from the normal distribution in the scatter diagram,
3. The equipment diagnosis device according to claim 2, wherein the equipment is diagnosed.
前記確率分布変換部で変換された各センサの確率分布を、式(1)(2)を用いて任意時間ごとのエントロピーに変換するエントロピー変換部を備え、
Figure 2023102657000016
Figure 2023102657000017
H(X):一方のセンサのエントロピー
H(Y):他方のセンサのエントロピー
前記各センサのエントロピーが閾値以上の変化を生じたか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項1~3のいずれか記載の設備診断装置。
An entropy conversion unit that converts the probability distribution of each sensor converted by the probability distribution conversion unit into entropy at an arbitrary time using equations (1) and (2),
Figure 2023102657000016
Figure 2023102657000017
H(X): entropy of one sensor H(Y): entropy of the other sensor Depending on whether the entropy of each sensor has changed by a threshold value or more,
4. The equipment diagnosis device according to claim 1, wherein the equipment is diagnosed.
診断対象の設備に複数のセンサを設置し、前記各センサの任意の時間幅の時系列データを計測データとして前記設備を診断する装置の実行する方法であって、
前記各センサの計測データに一定時間ごとの分布区間を設定し、設定された分布区間を事前設定の確率変数を示す階級数に分割し、前記各階級の計測値の個数に応じた確率分布に変換する確率分布変換ステップと、
前記確率分布変換ステップで変換された各センサの確率分布から同一時間の相互情報量を、式(3)を用いて算出する相互情報量変換ステップと、
Figure 2023102657000018
X(x):一方のセンサの確率変数X={x1,x2,...xn}の確率分布
Y(y):他方のセンサの確率変数Y={y1,y2,...yn}の確率分布
ただし、確率変数X=確率変数Y
I(X;Y):PX(x),PY(y)の相互情報量
XY(x,y):同時確率(一方のセンサのデータと他方のセンサのデータが同一のタイミングで、それぞれの階級に含まれる場合の相対度数)
前記相互情報量変換ステップで算出する相互情報量の相関変化に基づき前記設備を診断する診断ステップと、
を有することを特徴とする設備診断方法。
A method executed by a device that installs a plurality of sensors in a facility to be diagnosed and diagnoses the facility using time-series data of an arbitrary time width of each sensor as measurement data,
A probability distribution conversion step of setting a distribution interval for the measurement data of each sensor at regular time intervals, dividing the set distribution interval into a number of classes indicating a preset random variable, and converting the probability distribution into a probability distribution according to the number of measured values in each class;
A mutual information conversion step of calculating the mutual information at the same time from the probability distribution of each sensor converted in the probability distribution conversion step using equation (3);
Figure 2023102657000018
P X (x): random variable X={x 1 , x 2 , . . . x n } probability distribution P Y (y): random variable Y={y 1 , y 2 , . . . y n }, where random variable X = random variable Y
I (X; Y): Mutual information of P X (x) and P Y (y) P XY (x, y): Joint probability (relative frequency when data from one sensor and data from the other sensor are included in each class at the same timing)
a diagnosis step of diagnosing the equipment based on the correlation change of the mutual information calculated in the mutual information conversion step;
An equipment diagnosis method characterized by comprising:
前記確率分布から基準となる確率分布PX *(x)を生成し、
前記確率分布PX *(x)と同間隔で得られる前記各センサの確率分布PX(x),PY(y)から前記確率分布PX *(x)と同一の確率変数「X=Y={x1,x2,...xn}の比較対象となる確率分布PY(x)を取得し、
前記確率分布PX *(x),PY(x)から式(4)のKLD「Kullback-Leibler divergence/DKL(X||Y)」に変換するKLD変換ステップをさらに有し、
Figure 2023102657000019
前記診断ステップは、前記KLD変換ステップで変換されたKLDが散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項5記載の設備診断方法。
generating a standard probability distribution P X * (x) from the probability distribution;
obtaining a probability distribution P Y ( x ) to be compared with the same random variable " X =Y={x 1 , x 2 , .
further comprising a KLD transformation step of transforming the probability distributions P X * (x) and P Y (x) into KLD "Kullback-Leibler divergence/D KL (X||Y)" of formula (4);
Figure 2023102657000019
The diagnosis step is based on whether or not the KLD converted in the KLD conversion step is detected as an outlier that is away from the normal distribution in the scatter diagram.
6. The equipment diagnosis method according to claim 5, wherein the equipment is diagnosed.
前記KLD変換ステップにおいて、さらに前記確率分布PX *(x)と前記PY(x)とを入れ替えて、式(5)のKLD「DKL(Y||X)」に変換する一方、
Figure 2023102657000020
前記診断ステップにおいて、式(4)(5)のKLDが共に散布図中の正常分布から離れた外れ値として検出されるか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項6記載の設備診断方法。
In the KLD conversion step, the probability distribution P X * (x) and P Y (x) are further exchanged to convert to the KLD "D KL (Y||X)" of formula (5),
Figure 2023102657000020
In the diagnosis step, depending on whether both KLDs of formulas (4) and (5) are detected as outliers away from the normal distribution in the scatter diagram,
7. The equipment diagnosis method according to claim 6, wherein the equipment is diagnosed.
前記確率分布変換ステップで変換された各センサの確率分布を、式(1)(2)を用いて任意時間ごとのエントロピーに変換するエントロピー変換ステップを有し、
Figure 2023102657000021
Figure 2023102657000022
H(X):一方のセンサのエントロピー
H(Y):他方のセンサのエントロピー
前記診断ステップにおいて、前記各センサのエントロピーが閾値以上の変化を生じたか否かにより、
前記設備を診断することを特徴とする請求項5~7のいずれか記載の設備診断方法。
Having an entropy conversion step of converting the probability distribution of each sensor converted in the probability distribution conversion step into entropy at an arbitrary time using equations (1) and (2),
Figure 2023102657000021
Figure 2023102657000022
H(X): entropy of one sensor H(Y): entropy of the other sensor In the diagnosis step, depending on whether the entropy of each sensor has changed by a threshold value or more,
The equipment diagnosis method according to any one of claims 5 to 7, wherein the equipment is diagnosed.
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