JP2023090358A - 液体吐出装置、及び液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 漏出したインクによる循環ポンプの不具合の発生を抑制する。【解決手段】 液体吐出装置５０は、液体収容部２と、液体吐出ヘッド１と、液体収容部と液体吐出ヘッドとを連通させるための液体連通路５９と、液体収容部の液体を液体連通路を介して液体吐出ヘッドに加圧供給可能な液体加圧手段２１と、を有する。液体吐出ヘッドは、液体収容部からの液体を導入する導入口５３ａと、導入口から導入された液体が供給される圧力室１２と、圧力室内の液体を吐出する吐出口１３と、液体連通路から供給された液体を循環させる循環経路とを備える。循環経路は、供給流路１３０、圧力室１２、回収流路１４０、循環ポンプ５００、及び圧力調整手段１２０を備える。循環ポンプは、液体収容部から圧力調整手段に至る液体流路に設けられた液体導入口より重力方向における上方であり、且つ導入口と非接触となる位置に配置されている。【選択図】 図２１

Description

本開示は、液体の循環経路を備える液体吐出装置、及び当該液体吐出装置に用いる液体吐出ヘッドに関する。

液体吐出装置には色材の沈降やインク増粘の防止等を目的として液体を循環させるものがある。特許文献１には、液体吐出ヘッドユニット内に圧電方式の循環ポンプを搭載することで、液体吐出ヘッド内のインクを循環させる構成が開示されている。この構成では、循環ポンプから圧力制御部へ供給されたインクは、インク供給流路を介して液体吐出口に供給され、吐出されなかったインクは、インク回収流路を介して循環ポンプへ回収される。

特開２０１４－１９５９３２号公報

特許文献１のように液体の循環を行う液体吐出装置では、インク供給経路やフィルタなどにおける圧力損失を補うために、インク収容部やインク供給流路上にインク加圧手段を設け、加圧したインクを液体吐出ヘッドへ供給する加圧供給が行われることがある。

しかしながら、インクが加圧状態（正圧状態）に保たれる経路内に接続部が設けられている場合、接続部からインクが漏れる虞がある。この場合、特許文献１のようにインク接続部が、循環ポンプの上方に設けられていると、漏出したインクが循環ポンプに到達しやすく、循環ポンプの電気接点などに接触して循環ポンプに不具合を発生させる可能性があった。

本開示は、漏出したインクによる循環ポンプの不具合の発生を抑制することが可能な技術の提供を目的とする

本開示は、液体を収容する液体収容部と、前記液体収容部からの液体を導入する導入口と、前記導入口から導入された液体が供給される圧力室と、前記圧力室内の液体を吐出する吐出口と、を有する液体吐出ヘッドと、前記液体収容部と液体吐出ヘッドの前記導入口とを連通させるための液体連通路と、前記液体収容部の液体を前記液体連通路を介して前記液体吐出ヘッドに加圧供給する液体加圧手段と、を有する液体吐出装置であって、前記液体吐出ヘッドは、前記液体連通路から供給された液体を当該液体吐出ヘッド内で循環させる循環経路を備え、前記循環経路は、前記圧力室に液体を供給する供給流路と、前記圧力室から液体を回収する回収流路と、前記回収流路から回収された液体を前記供給流路に供給する循環ポンプと、前記供給流路に供給される液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、前記循環ポンプは、前記導入口より重力方向における上方であり、且つ前記導入口と非接触となる位置に配置されていることを特徴とする。

本開示によれば、漏出したインクによる循環ポンプの不具合の発生を抑制することが可能になる。

液体吐出装置を説明する図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である 液体吐出ヘッドの縦断面及び吐出モジュールの拡大断面図である。 循環ユニットの外観概略図である 循環経路を示す縦断面図である。 循環経路を模式的に示すブロック図である。 圧力調整手段の例を示す断面図である。 循環ポンプの外観斜視図である。 図８（ａ）に示した循環ポンプのＩＸ－ＩＸ線断面図である。 循環ポンプの分解斜視図である。 圧電セラミックの電気接続部を示す図である。 液体吐出ヘッド内のインクの流れを説明する図である。 吐出ユニットにおける循環経路を示した模式図である。 開口プレート３３０を示した図である。 吐出素子基板を示した図である。 吐出ユニットのインク流れを示した断面図である。 吐出口の近傍を示した断面図である。 吐出口の近傍の比較例を示す断面図である。 吐出素子基板の比較例を示した図である。 液体吐出ヘッドの流路構成を示した図である。 液体吐出装置の本体部と液体吐出ヘッドとの接続状態及び循環ポンプ等の配置をより詳細に示す概略構成図である。

以下、添付図面を参照して本開示の好適な実施の形態を詳しく説明する。尚、以下の実施の形態は本開示事項を限定するものでなく、また本実施の形態で説明されている特徴の組み合わせすべてが本開示の解決手段に必須のものとは限らない。尚、同一の構成要素には同一の参照番号を付す。本実施形態では、液体を吐出する吐出素子として、電熱変換素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式を採用した例を用いて説明するが、これに限られない。圧電素子（ピエゾ）を用いて液体を吐出する吐出方式、または、他の吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも適用することができる。さらに、以下に説明するポンプ及び圧力調整手段等も、実施形態及び図面に記載されている構成自体に限定されるものではない。以下の説明では、まず、本開示の基本的構成を述べ、その後、本開示の特徴部について説明を行う。

＜液体吐出装置＞
図１は、液体吐出装置を説明するための図であり、液体吐出装置の液体吐出ヘッド及びその周辺の拡大図である。まず、本実施形態における液体吐出装置５０の概略構成を、図１を参照しつつ説明する。図１（ａ）は、液体吐出ヘッド１を用いる液体吐出装置を模式的に示す斜視図である。本実施形態の液体吐出装置５０は、液体吐出ヘッド１を走査しつつ液体としてのインクを吐出して記録媒体Ｐへの記録を行うシリアル型のインクジェット記録装置を構成している。

液体吐出ヘッド１は、キャリッジ６０に搭載されている。キャリッジ６０は、ガイド軸５１に沿って主走査方向（Ｘ方向）に沿って往復移動する。記録媒体Ｐは、搬送ローラ（搬送手段）５５、５６、５７、５８によって、主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する副走査方向（Ｙ方向）に搬送される。尚、以下で参照する各図において、Ｚ方向は鉛直方向を示しており、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸ－Ｙ平面と交差（本例の場合は、直交）している。液体吐出ヘッド１は、ユーザによって、キャリッジ６０に対し取り外し及び取り付けが可能に構成されている。

液体吐出ヘッド１は、循環ユニット５４と、後述する吐出ユニット３（図２参照）とを含み構成されている。具体的な構成については後述するが、吐出ユニット３には、複数の吐出口と、各吐出口から液体を吐出するための吐出エネルギーを発するエネルギー発生素子（以下、吐出素子と称す）とが設けられている。

また、液体吐出装置５０には、インクの供給源であるインクタンク（液体収容部）２及び外部ポンプ２１（液体加圧手段）が設けられている。インクタンク２に収容されたインクは、外部ポンプ２１の駆動力によってインク供給チューブ（液体連通路）５９を介して循環ユニット５４にインクが加圧供給される。

液体吐出装置５０は、キャリッジ６０に搭載された液体吐出ヘッド１が主走査方向へと移動しつつインクを吐出して記録を行う記録走査と、記録媒体Ｐを副走査方向へと搬送する搬送動作とを繰り返すことにより、記録媒体Ｐに所定の画像を形成する。尚、本実施形態における液体吐出ヘッド１は、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の４種類のインクを吐出可能としており、これらのインクによってフルカラー画像を記録することが可能である。但し、液体吐出ヘッド１から吐出可能とするインクは、上記の４種類のインクに限定されない。他の種類のインクを吐出するための液体吐出ヘッドにも本開示は適用可能である。すなわち、液体吐出ヘッドから吐出するインクの種類及びその数は限定されない。

また、液体吐出装置５０には記録媒体Ｐの搬送路からＸ方向に外れた位置に、液体吐出ヘッドの吐出口が形成された吐出口面を覆うことが可能なキャップ部材（不図示）が設けられている。キャップ部材は、非記録動作時において液体吐出ヘッド１の吐出口面を覆い、吐出口の乾燥防止や保護、吐出口からのインク吸引動作等に使用される。

尚、図１（ａ）に示す液体吐出ヘッド１は、４種類のインクに応じた４つの循環ユニット５４が液体吐出ヘッド１に備えられている例を示しているが、吐出する液体の種類に応じた循環ユニット５４が備えられていればよい。また、同種類の液体に対して複数の循環ユニット５４が備えられていてもよい。即ち、液体吐出ヘッド１は、１つ以上の循環ユニットを備える構成とすることができる。４種類のインク全てを循環せず、少なくとも１つのインクのみ循環する構成でもよい。

図１（ｂ）は、液体吐出装置５０の制御系を示すブロック図である。ＣＰＵ１０３は、ＲＯＭ１０１に格納された処理手順等のプログラムに基づいて液体吐出装置５０の各部の動作を制御する制御手段としての機能を果す。ＲＡＭ１０２は、ＣＰＵ１０３が処理を実行する際のワークエリア等として用いられる。ＣＰＵ１０３は、液体吐出装置５０の外部のホスト装置４００からの画像データを受信してヘッドドライバ１Ａを制御し、吐出ユニット３に設けられた吐出素子の駆動を制御する。また、ＣＰＵ１０３は、液体吐出装置に設けられた種々のアクチュエータのドライバの制御も行う。例えば、ＣＰＵ１０３は、キャリッジ６０を移動させるためのキャリッジモータ１０５のモータドライバ１０５Ａ、及び、記録媒体Ｐを搬送させるための搬送モータ１０４のモータドライバ１０４Ａ等の制御を行う。さらに、ＣＰＵ１０３は、後述の循環ポンプ５００の駆動を行うポンプドライバ５００Ａ、及び、外部ポンプ２１のポンプドライバ２１Ａ等の制御を行う。尚、図１（ｂ）では、ホスト装置４００からの画像データを受信した処理を行う形態を示しているが、ホスト装置４００からのデータに拠らずに液体吐出装置５０で処理が行われてもよい。

＜液体吐出ヘッドの基本構成＞
図２は、本実施形態の液体吐出ヘッド１の分解斜視図である。図３は図２（ａ）に示す液体吐出ヘッド１のＩＩＩａ－ＩＩＩａ線断面図である。図３（ａ）は液体吐出ヘッド１の全体的な縦断面図、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す吐出モジュールの拡大図である。以下、図２及び図３を中心に、図１を適宜参照しつつ、本実施形態における液体吐出ヘッド１の基本構成を説明する。

図２に示すように、液体吐出ヘッド１は、循環ユニット５４と、循環ユニット５４から供給されたインクを記録媒体Ｐに吐出するための吐出ユニット３とを含み構成されている。本実施形態における液体吐出ヘッド１は、液体吐出装置５０のキャリッジ６０に設けられている不図示の位置決め手段及び電気的接点によってキャリッジ６０に固定支持される。液体吐出ヘッド１は、キャリッジ６０と共に図１に示す主走査方向（Ｘ方向）に移動しながらインクを吐出し、記録媒体Ｐへの記録を行う。

インクの供給源となるインクタンク２に接続された外部ポンプ２１には、インク供給チューブ５９が設けられている（図１参照）。このインク供給チューブ５９の先端には、後述の液体コネクタ５９ａ（図２１参照）が設けられている。液体吐出装置５０に液体吐出ヘッド１が搭載された際、液体吐出ヘッド１のヘッド筐体５３に設けられた、液体を導入する導入口である液体コネクタ挿入口５３ａに、インク供給チューブ５９の先端に設けられた後述の液体コネクタ５９ａが気密接続される。これにより、インクタンク２から外部ポンプ２１を経て液体吐出ヘッド１に至るインク供給路が形成される。本実施形態では、４種類のインクを用いるため、インクタンク２、外部ポンプ２１、インク供給チューブ５９、及び循環ユニット５４が、それぞれのインクに対応して４組設けられており、各インクに対応した４本のインク供給路が独立して形成されている。このように、本実施形態の液体吐出装置５０には、液体吐出ヘッド１の外部に設けられたインクタンク２からインクが供給されるインク供給系が備えられている。尚、本実施形態の液体吐出装置５０には、液体吐出ヘッド１内のインクをインクタンク２に回収するようなインク回収系は備えられていない。従って、液体吐出ヘッド１には、インクタンク２のインク供給チューブ５９を接続するための液体コネクタ挿入口５３ａは設けられているが、液体吐出ヘッド１のインクをインクタンク２に回収するためのインク供給チューブを接続させるコネクタ挿入口は設けられていない。尚、液体コネクタ挿入口５３ａは、インク毎に設けられている。

図３において、５４Ｂはブラックインク用の循環ユニットを、５４Ｃはシアンインク用の循環ユニットを、５４Ｍはマゼンタインク用の循環ユニットを、５４Ｙはイエローインク用のインク循環ユニットを、それぞれ示している。各循環ユニットは略同様の構成を有しており、本実施形態において各循環ユニットを特に区別しない場合には、いずれも循環ユニット５４と表記する。

図２及び図３（ａ）において、吐出ユニット３は、２つの吐出モジュール３００、第１支持部材４、第２支持部材７、電気配線部材（電気配線テープ）５、及び電気コンタクト基板６を備える。図３（ｂ）に示すように、吐出モジュール３００は、厚さ０．５～１ｍｍのシリコン基板３１０と、シリコン基板３１０の片面に設けられた複数の吐出素子１５とを備えている。本実施形態における吐出素子１５は、液体を吐出するための吐出エネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換素子（ヒータ）により構成されている。各吐出素子１５には、シリコン基板３１０上に成膜技術によって形成された電気配線を介して電力が供給される。

また、シリコン基板３１０の表面（図３（ｂ）において下面）には、吐出口形成部材３２０が形成されている。吐出口形成部材３２０には、複数の吐出素子１５に対応する複数の圧力室１２と、インクを吐出する複数の吐出口１３とがフォトリソグラフィ技術によってそれぞれ形成されている。さらに、シリコン基板３１０には、共通供給流路１８と共通回収流路１９とが形成されている。また、シリコン基板３１０には、共通供給流路１８と各圧力室１２とを連通する供給接続流路３２３と、共通回収流路１９と各圧力室１２とを連通する回収接続流路３２４が形成されている。本実施形態では、１つの吐出モジュール３００が、２種類のインクの吐出を行うように構成されている。即ち、図３（ａ）に示す２つの吐出モジュールのうち、図中の左側に位置する吐出モジュール３００は、ブラックインクとシアンインクの吐出を行い、図中の右側に位置する吐出モジュール３００は、マゼンタインクとイエローインクの吐出を行う。尚、この組み合わせは一例であり、インクの組み合わせはいずれであってもよい。１つの吐出モジュールが１種類のインクを吐出する構成でもよいし、３種類以上のインクを吐出する構成としてもよい。２つの吐出モジュール３００が同じ種類数のインクを吐出するものでなくてもよい。１つの吐出モジュール３００が備えられる構成としてもよいし、３つ以上の吐出モジュール３００が備えらえる構成としてもよい。さらに、図３に示す例では、１色のインクに対して、Ｙ方向に延在する２つの吐出口列が形成されている。各吐出口列を構成する複数の吐出口１３の各々に対し、圧力室１２、共通供給流路１８及び共通回収流路１９がそれぞれ形成されている。

シリコン基板３１０の裏面（図３（ｂ）において上面）側には、後述するインク供給口及びインク回収口が形成されている。インク供給口は複数の共通供給流路１８にインク供給流路４８からインクを供給し、インク回収口は複数の共通回収流路１９からインク回収流路４９にインクを回収する。

尚、ここでいうインク供給口及びインク回収口は、後述する順方向のインク循環時においてインクの供給及び回収を行う開口を指す。すなわち、順方向へのインク循環時にはインク供給口から各共通供給流路１８にインクが供給されると共に、各共通回収流路１９からインク回収口へとインクが回収される。但し、逆方向へインクを流すインク循環を行う場合もある。この場合には、上記で説明したインク回収口から共通回収流路１９にインクが供給されると共に、共通供給流路１８からインク供給口へとインクが回収されることになる。

図３（ａ）に示すように、吐出モジュール３００は、その裏面（図３（ａ）における上面）が、第１支持部材４の一方の面（図３（ａ）において下面）に接着固定されている。第１支持部材４には、その一方の面から他方の面に亘って貫通するインク供給流路４８とインク回収流路４９とが形成されている。インク供給流路４８の一方の開口はシリコン基板３１０における前述のインク供給口に、インク回収流路４９の一方の開口はシリコン基板３１０における前述のインク回収口に、それぞれ連通している。尚、インク供給流路４８及びインク回収流路４９は、インクの種類毎に独立して設けられている。

また、第１支持部材４の一方の面（図３（ａ）における上面）には、吐出モジュール３００を挿通させる開口７ａ（図２参照）を有する第２支持部材７が接着固定されている。第２支持部材７には、吐出モジュール３００に対して電気的に接続される電気配線部材５が保持されている。電気配線部材５は、インクを吐出するための電気信号を吐出モジュール３００に印加するための部材である。吐出モジュール３００と電気配線部材５との電気接続部分は、封止材（不図示）により封止され、インクによる腐食や外的衝撃から保護されている。

また、電気配線部材５の端部５ａ（図２参照）には、不図示の異方性導電フィルムを用いて電気コンタクト基板６が熱圧着され、電気配線部材５と電気コンタクト基板６とは電気的に接続されている。電気コンタクト基板６は、液体吐出装置５０からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子（不図示）を有している。

さらに、第１支持部材４と循環ユニット５４との間にはジョイント部材８（図３（ａ））が設けられている。ジョイント部材８には、供給口８８と回収口８９とがインクの種類毎に形成されている。供給口８８及び回収口８９は、第１支持部材４のインク供給流路４８及びインク回収流路４９と循環ユニット５４に形成される流路とを連通させる。尚、図３（ａ）において、供給口８８Ｂ及び回収口８９Ｂはブラックインクに対応し、供給口８８Ｃ及び回収口８９Ｃはシアンインクに対応する。また、供給口８８Ｍ及び回収口８９Ｍはマゼンタインクに対応し、供給口８８Ｙ及び回収口８９Ｙはイエローインクに対応している。

尚、第１支持部材４のインク供給流路４８及びインク回収流路４９のそれぞれの一端部の開口は、シリコン基板３１０におけるインク供給口及びインク回収口に合わせた小さな開口面積を有している。これに対し、第１支持部材４のインク供給流路４８及びインク回収流路４９のそれぞれの他端部の開口は、循環ユニット５４の流路に合わせて形成されたジョイント部材８の大きな開口面積と同一の開口面積にまで拡大させた形状を有している。このような構成を採ることにより、各回収流路から集められたインクに対する流路抵抗の上昇を抑制することができる。但し、インク供給流路４８及びインク回収流路４９のそれぞれの一端部及び他端部の開口の形状は、上記の例に限定されない。

上記構成を有する液体吐出ヘッド１において、循環ユニット５４に供給されたインクは、ジョイント部材８の供給口８８及び第１支持部材４のインク供給流路４８を経て、吐出モジュール３００のインク供給口から共通供給流路１８に流入する。続いてインクは共通供給流路１８から供給接続流路３２３を介して圧力室１２に流入し、圧力室内に流入したインクの一部は、吐出素子１５の駆動によって吐出口１３から吐出される。吐出されなかった残りのインクは、圧力室１２から回収接続流路３２４、共通回収流路１９を経てインク回収口から第１支持部材４のインク回収流路４９に流入する。そして、インク回収流路４９に流入したインクは、ジョイント部材８の回収口８９を経て循環ユニット５４へと流入し、回収される。

＜循環ユニットの構成要素＞
図４は、本実施形態の記録装置に適用される１種類のインクに対応する１つの循環ユニット５４の外観概略図である。循環ユニット５４には、フィルタ１１０、第１圧力調整手段１２０、第２圧力調整手段１５０、及び循環ポンプ５００が配置されている。これらの構成要素は、図５及び図６に示すように各流路によって接続され、液体吐出ヘッド１内において、吐出モジュール３００に対してインクの供給及び回収を行う循環経路を構成している。

＜液体吐出ヘッド内の循環経路＞
図５は、液体吐出ヘッド１内に構成される１種類のインク（１色のインク）の循環経路を模式的に示す縦断面図である。循環経路をより明確に説明するため、図５における各構成（第１圧力調整手段１２０、第２圧力調整手段１５０、循環ポンプ５００等）の相対位置は簡略化している。そのため各構成の相対位置は上述した図２、図４及び後述する図２１の構成とは異なる。また、図６は、図５に示した循環経路を模式的に示すブロック図である。

図５及び図６に示すように、第１圧力調整手段１２０は、第１バルブ室１２１及び第１圧力制御室１２２を備えている。第２圧力調整手段１５０は、第２バルブ室１５１及び第２圧力制御室１５２を備えている。第１圧力調整手段１２０は、第２圧力調整手段１５０よりも相対的に制御圧力が高くなるように構成されている。本実施形態では、この二つの圧力調整手段１２０、１５０を用いることで、循環経路内において一定の圧力範囲での循環を実現している。また、第１圧力調整手段１２０と第２圧力調整手段１５０との圧力差に応じた流量で圧力室１２（吐出素子１５）をインクが流れるように構成されている。以下、図５及び図６を参照しつつ、液体吐出ヘッド１における循環経路及び循環経路内におけるインクの流れを説明する。尚、各図中の矢印はインクの流れる方向を示している。

まず、液体吐出ヘッド１における各構成要素の接続状態を説明する。
液体吐出ヘッド１の外部に設けられたインクタンク２（図６）に収容されたインクを液体吐出ヘッド１へ送る外部ポンプ２１は、インク供給チューブ５９（図１）を介して循環ユニット５４と接続されている。循環ユニット５４の上流側に位置するインク流路にはフィルタ１１０が設けられている。フィルタ１１０の下流側に位置するインク供給路は、第１圧力調整手段１２０の第１バルブ室１２１に接続されている。第１バルブ室１２１は、図５に示すバルブ１９０Ａ（第１バルブ）により開閉可能な連通口１９１Ａ（第１連通口）を介して第１圧力制御室１２２に連通している。

第１圧力制御室１２２は、供給流路１３０、バイパス流路１６０、及び循環ポンプ５００のポンプ出口流路１８０に接続されている。供給流路１３０は、吐出モジュール３００に設けられた前述のインク供給口を介して共通供給流路１８に接続されている。また、バイパス流路１６０は、第２圧力調整手段１５０に設けられた第２バルブ室１５１に接続されている。第２バルブ室１５１は、図５に示す第２バルブ１９０Ｂによって開閉する連通口１９１Ｂ（第２連通口）を介して第２圧力制御室１５２に連通している。尚、図５及び図６では、バイパス流路１６０の一端を第１圧力調整手段１２０の第１圧力制御室１２２に接続し、且つバイパス流路１６０の他端を第２圧力調整手段１５０の第２バルブ室１５１に接続した例を示している。しかし、バイパス流路１６０の一端を供給流路１３０に接続し、バイパス流路の他端を第２バルブ室１５１に接続してもよい。

第２圧力制御室１５２は、回収流路１４０に接続されている。回収流路１４０は、吐出モジュール３００に設けられた前述のインク回収口を介して共通回収流路１９に接続されている。さらに、第２圧力制御室１５２は、ポンプ入口流路１７０を介して循環ポンプ５００に接続されている。尚、図５において、１７０ａはポンプ入口流路１７０の流入口を示している。

次に、上記構成を有する液体吐出ヘッド１におけるインクの流れについて説明する。図６に示すように、インクタンク２に収容されているインクは、液体吐出装置５０に設けられた外部ポンプ２１によって加圧され、正圧のインク流となって液体吐出ヘッド１の循環ユニット５４に供給される。

循環ユニット５４に供給されたインクは、フィルタ１１０を通過することにより塵埃などの異物や気泡が除去された後、第１圧力調整手段１２０に設けられた第１バルブ室１２１に流入する。フィルタ１１０を通過する際の圧力損失によってインクの圧力は低下するが、この段階でのインクの圧力は正圧の状態にある。その後、第１バルブ室１２１に流入したインクは、バルブ１９０Ａが開状態にあるとき、連通口１９１Ａを通過して第１圧力制御室１２２に流入する。連通口１９１Ａを通過する際の圧力損失によって、第１圧力制御室１２２に流入したインクは、正圧から負圧へと切り替わる。

次に、循環経路内におけるインクの流れを説明する。循環ポンプ５００は、その上流側となるポンプ入口流路１７０から吸引したインクを下流側となるポンプ出口流路１８０へとインクを送り出すように動作する。従って、ポンプが駆動されることにより、第１圧力制御室１２２に供給されたインクは、ポンプ出口流路１８０から送液されたインクと共に、供給流路１３０及びバイパス流路１６０に流入する。尚、詳細は後述するが、本実施形態では送液可能な循環ポンプとして、ダイヤフラムに貼り付けた圧電素子を駆動源とする圧電ダイヤフラムポンプを用いている。圧電ダイヤフラムポンプは、圧電素子に駆動電圧を入力することでポンプ室内の容積を変化させ、圧力変動によって２つの逆止弁が交互に動くことにより送液を行うポンプである。

供給流路１３０に流入したインクは、吐出モジュール３００のインク供給口から共通供給流路１８を介して圧力室１２に流入し、その一部のインクは吐出素子１５の駆動（発熱）によって吐出口１３から吐出される。また、吐出に使用されなかった残りのインクは、圧力室１２を流動し、共通回収流路１９を通過した後、吐出モジュール３００に接続されている回収流路１４０に流入する。回収流路１４０に流入したインクは、第２圧力調整手段１５０の第２圧力制御室１５２に流入する。

一方、第１圧力制御室１２２からバイパス流路１６０に流入したインクは、第２バルブ室１５１に流入した後、連通口１９１Ｂを通過して第２圧力制御室１５２に流入する。バイパス流路１６０を経由して第２圧力制御室１５２に流入したインクと回収流路１４０から回収されたインクとは、循環ポンプ５００の駆動によってポンプ入口流路１７０を経て循環ポンプ５００内に吸引される。そして、循環ポンプ５００内に吸引されたインクは、ポンプ出口流路１８０へと送られ、第１圧力制御室１２２に再び流入する。以降では、第１圧力制御室１２２から供給流路１３０を介して吐出モジュール３００を経て第２圧力制御室１５２に流入したインクと、バイパス流路１６０を介して第２圧力制御室１５２に流入したインクとが、循環ポンプ５００に流入する。そして、循環ポンプ５００から第１圧力制御室１２２に送られる。このようにして循環経路内でのインクの循環が行われることになる。

以上のように、本実施形態では、循環ポンプ５００によって、液体吐出ヘッド１内に形成した循環経路に沿って液体を循環させることが可能になる。このため、吐出モジュール３００内でのインクの増粘や色材のインクの沈降成分の堆積を抑制することが可能となり、吐出モジュール３００におけるインクの流動性および吐出口における吐出特性を良好な状態に保つことが可能になる。

また本実施形態における循環経路は、液体吐出ヘッド１内で完結する構成を採るため、液体吐出ヘッドの外部に設けられたインクタンク２と液体吐出ヘッド１との間でインクの循環を行う場合に比べ、循環経路長を大幅に短縮することができる。このため、インクの循環を小型な循環ポンプで行うことが可能になる。

更に、液体吐出ヘッド１とインクタンク２との接続流路としては、インクを供給する流路のみを備える構成となっている。即ち、液体吐出ヘッド１からインクタンク２へとインクを回収するための流路を不要とする構成を採る。このため、インクタンク２と液体吐出ヘッド１との接続にはインク供給用のチューブのみを設ければよく、インク回収用のチューブを設ける必要はない。従って、液体吐出装置５０の内部を、チューブの本数が削減された簡潔な構成とすることができ、装置全体の小型化を実現することができる。更にチューブの本数が削減されることにより、液体吐出ヘッド１の主走査に伴うチューブの揺動に起因するインクの圧力変動を軽減することが可能になる。また、液体吐出ヘッド１の主走査時におけるチューブの揺動は、キャリッジ６０を駆動するキャリッジモータの駆動負荷となる。このため、チューブの本数削減によってキャリッジモータの駆動負荷が低減され、キャリッジモータ等を含む主走査機構の簡略化を図ることが可能になる。更に、液体吐出ヘッドからインクタンクへのインクの回収が不要となるため、外部ポンプ２１の小型化も可能となる。このように、本実施形態によれば、液体吐出装置５０の小型化及びコスト低減を実現することができる。

＜圧力調整手段＞
図７は、圧力調整手段の例を示す図である。図７を参照して、上述の液体吐出ヘッド１に内蔵される圧力調整手段（第１圧力調整手段１２０、第２圧力調整手段１５０）の構成及び作用を、より詳細に説明する。尚、第１圧力調整手段１２０と第２圧力調整手段１５０とは、実質的に同一の構成を有している。このため、以下では、第１圧力調整手段１２０を例に採り説明し、第２圧力調整手段１５０については、図７において第１圧力調整手段に対応する部分の符号を併記するにとどめる。第２圧力調整手段１５０の場合には、以下で説明する第１バルブ室１２１を第２バルブ室１５１と読み替え、第１圧力制御室１２２を第２圧力制御室１５２と読み替えることとする。

第１圧力調整手段１２０は、円筒状の筐体１２５内に形成された第１バルブ室１２１と第１圧力制御室１２２とを有する。第１バルブ室１２１と第１圧力制御室１２２とは、円筒状の筐体１２５内に設けられた隔壁１２３によって隔てられている。但し、第１バルブ室１２１は、隔壁１２３に形成された連通口１９１を介して第１圧力制御室１２２に連通している。第１バルブ室１２１には、連通口１９１における第１バルブ室１２１と第１圧力制御室１２２との連通及び遮断を切り替えるバルブ１９０が設けられている。バルブ１９０は、バルブばね２００によって、連通口１９１に対向する位置に保持されており、バルブばね２００の付勢力によって隔壁１２３と密接可能な構成を有している。バルブ１９０が隔壁１２３に密接することにより、連通口１９１におけるインクの流通は遮断される。尚、隔壁１２３との密接性を高めるため、バルブ１９０の隔壁１２３との接触部分は弾性部材によって形成されることが好ましい。また、バルブ１９０の中央部には連通口１９１に挿通されるバルブシャフト１９０ａが突設されている。このバルブシャフト１９０ａをバルブばね２００の付勢力に抗して押圧することにより、バルブ１９０は隔壁１２３から離間し、連通口１９１におけるインクの流通が可能になる。以下、バルブ１９０によって連通口１９１におけるインクの流通が遮断される状態を「閉状態」、連通口１９１におけるインクの流通が可能な状態を「開状態」と称す。

円筒状の筐体１２５の開口部は、可撓性部材２３０と圧力板２１０とにより閉塞されている。この可撓性部材２３０と、圧力板２１０と、筐体１２５の周壁と、隔壁１２３とにより、第１圧力制御室１２２が形成されている。圧力板２１０は、可撓性部材２３０の変位に伴って変位可能に構成されている。圧力板２１０及び可撓性部材２３０の材質は、特に限定されないが、例えば、圧力板２１０を樹脂成形部品で構成し、可撓性部材２３０を樹脂フィルムで構成することが可能である。この場合、圧力板２１０は可撓性部材２３０に熱溶着によって固定することができる。

圧力板２１０と隔壁１２３との間には、圧力調整ばね２２０（付勢手段）が設けられている。圧力調整ばね２２０の付勢力によって、圧力板２１０及び可撓性部材２３０は、図７（ａ）に示すように、第１圧力制御室１２２の内容積が広がる方向に付勢されている。また、第１圧力制御室１２２内の圧力が減少すると、圧力板２１０及び可撓性部材２３０は、圧力調整ばね２２０の圧力に抗して、第１圧力制御室１２２の内容積が減少する方向に変位する。そして、第１圧力制御室１２２の内容積が一定量まで減少すると、圧力板２１０がバルブ１９０のバルブシャフト１９０ａに当接する。その後、さらに第１圧力制御室１２２の内容積が減少すると、バルブばね２００の付勢力に抗してバルブシャフト１９０ａと共にバルブ１９０が移動し、隔壁１２３から離間する。これにより、連通口１９１が開状態（図７（ｂ）の状態）となる。

本実施形態では、連通口１９１が開状態となったときの第１バルブ室１２１の圧力を第１圧力制御室１２２の圧力よりも高くなるように、循環経路内における接続設定をする。これにより、連通口１９１が開状態となると、第１バルブ室１２１から第１圧力制御室１２２へとインクが流入する。このインク流入により、第１圧力制御室１２２の内容積が増加する方向へ可撓性部材２３０及び圧力板２１０が変位する。その結果、圧力板２１０がバルブ１９０のバルブシャフト１９０ａから離間し、バルブ１９０はバルブばね２００の付勢力によって隔壁１２３に密接し、連通口１９１は閉状態（図７（ｃ）の状態）となる。

このように、本実施形態における第１圧力調整手段１２０では、第１圧力制御室１２２内の圧力が一定圧力以下まで減少すると（例えば負圧が強くなると）、第１バルブ室１２１から連通口１９１を介してインクが流入する。これにより、第１圧力制御室１２２の圧力がそれ以上減少しないように構成されている。従って、第１圧力制御室１２２は一定範囲内の圧力に保たれるよう制御される。

以上のように、第１圧力調整手段１２０は、液体供給源（インクタンク２）及び循環ポンプ５００から供給された液体を収容する第１圧力制御室（第１液室）１２２と、第１圧力制御室１２２内の液体の圧力を調整する第１調整機構とを有する。そして、第１調整機構は、前述の圧力板２１０、圧力調整ばね２２０、バルブ１９０、バルブばね２００、及び第１バルブ室１２１を備え、第１圧力制御室１２２の容積に連動して第１圧力制御室１２２に収容される液体の圧力を調整するように構成されている。また、第２圧力調整手段１５０は、ポンプ入口流路１７０に接続された第２圧力制御室（第２液室）１５２と、第２圧力制御室１５２内に収容される液体の圧力を調整する第２調整機構とを有する。第２調整機構は、前述の圧力板２１０、圧力調整ばね２２０、第２バルブ１９０Ｂ、第２バルブばね２００、及び第２バルブ室１５１を備え、第２圧力制御室１５２の容積に連動して第２圧力制御室１５２に収容される液体の圧力を調整するように構成されている

次に、第１圧力制御室１２２の圧力についてより詳細に説明する。
前述のように第１圧力制御室１２２の圧力に応じて可撓性部材２３０及び圧力板２１０が変位し、圧力板２１０がバルブシャフト１９０ａに当接して連通口１９１が開状態となった状態（図７（ｂ）の状態）を考える。このとき、圧力板２１０に働く力の関係は、次の式１によって表される。

Ｐ２×Ｓ２＋Ｆ２＋（Ｐ１－Ｐ２）×Ｓ１＋Ｆ１＝０・・・式１
さらに、式１をＰ２について整理すると、
Ｐ２＝－（Ｆ１＋Ｆ２＋Ｐ１×Ｓ１）／（Ｓ２－Ｓ１）・・・式２
となる。
Ｐ１：第１バルブ室１２１の圧力（ゲージ圧）
Ｐ２：第１圧力制御室１２２の圧力（ゲージ圧）
Ｆ１：バルブばね２００のばね力
Ｆ２：圧力調整ばね２２０のばね力
Ｓ１：バルブ１９０の受圧面積
Ｓ２：圧力板２１０の受圧面積

ここで、バルブばね２００のばね力Ｆ１及び圧力調整ばね２２０のばね力Ｆ２は、バルブ１９０及び圧力板２１０を押す方向を正（図７において右方向）とする。また、第１バルブ室１２１の圧力Ｐ１及び第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２に関し、Ｐ１が、Ｐ１≧Ｐ２の関係となるように構成する。

連通口１９１が開状態となるときの第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２は、式２によって決定され、連通口１９１が開状態となると、Ｐ１≧Ｐ２の関係に構成したことにより、第１バルブ室１２１から第１圧力制御室１２２へインクが流入する。その結果、第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２はそれ以上減少せず、Ｐ２は一定範囲内の圧力に保たれる。

一方、図７（ｃ）に示すように、圧力板２１０がバルブシャフト１９０ａと非当接状態となり、連通口１９１が閉状態となったときの圧力板２１０に働く力の関係は、式３のようになる。

Ｐ３×Ｓ３＋Ｆ３＝０・・・式３

ここで、式３をＰ３について整理すると
Ｐ３＝－Ｆ３／Ｓ３・・・式４
となる。
Ｆ３：圧力板２１０とバルブシャフト１９０ａとが非当接状態にあるときの圧力調整ばね２２０のばね力
Ｐ３：圧力板２１０とバルブシャフト１９０ａとが非当接状態にあるときの第１圧力制御室１２２の圧力（ゲージ圧）
Ｓ３：圧力板２１０とバルブ１９０が非当接状態にあるときの圧力板２１０の受圧面積

ここで図７（ｃ）では、圧力板２１０及び可撓性部材２３０が変位可能な限界まで図右方向へ変位した状態を表している。圧力板２１０及び可撓性部材２３０が図７（ｃ）の状態へと変位する間の変位量に応じて、第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ３、圧力調整ばね２２０のばね力Ｆ３、圧力板２１０の受圧面積Ｓ３は変化する。具体的には、図７（ｃ）よりも圧力板２１０及び可撓性部材２３０が図７において左方向にあるとき、圧力板２１０の受圧面積Ｓ３は小さくなり、圧力調整ばね２２０のばね力Ｆ３は大きくなる。その結果、式４の関係により第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ３は小さくなる。従って、式２及び式４により、図７（ｂ）の状態から図７（ｃ）の状態になるまでの間に、第１圧力制御室１２２の圧力は徐々に上昇していく（つまり、負圧が弱くなり、正圧側に近づく値になる）。即ち、連通口１９１が開状態となっている状態から、圧力板２１０及び可撓性部材２３０が右方向に徐々に変位していき、最終的に第１圧力制御室１２２の内容積が変位可能な限界に達するまでの間に、第１圧力制御室の圧力は徐々に上昇していく。つまり、負圧が弱まっていくことになる。

＜循環ポンプ＞
次に、図８及び図９を参照して、上述の液体吐出ヘッド１に内蔵される循環ポンプ５００の構成及び作用を詳細に説明する。

図８は、循環ポンプ５００の外観斜視図である。図８（ａ）は循環ポンプ５００の正面側を示す外観斜視図、図８（ｂ）は循環ポンプ５００の背面側を示す外観斜視図である。循環ポンプ５００の外殻は、ポンプ筐体５０５と、ポンプ筐体５０５に固定されたカバー５０７とにより構成されている。ポンプ筐体５０５は、筐体部本体５０５ａと、筐体部本体５０５ａの外面に接着固定された流路接続部材５０５ｂとにより構成されている。筐体部本体５０５ａと流路接続部材５０５ｂとの各々には、互いに連通する一対の貫通孔が異なる２つの位置に設けられている。一方の位置に設けられた一対の貫通孔はポンプ供給孔５０１を形成し、他方の位置に設けられた一対の貫通孔はポンプ排出孔５０２を形成している。ポンプ供給孔５０１は、第２圧力制御室１５２に接続されたポンプ入口流路１７０に接続され、ポンプ排出孔５０２は、第１圧力制御室１２２に接続されたポンプ出口流路１８０に接続されている。ポンプ供給孔５０１から供給されたインクは、後述のポンプ室５０３（図９参照）を通過してポンプ排出孔５０２から排出される。

図９は、図８（ａ）に示した循環ポンプ５００のＩＸ－ＩＸ線断面図である。ポンプ筐体５０５の内面にはダイヤフラム５０６が接合されており、このダイヤフラム５０６とポンプ筐体５０５の内面に形成された凹部との間にポンプ室５０３が形成されている。ポンプ室５０３は、ポンプ筐体５０５に形成されたポンプ供給孔５０１及びポンプ排出孔５０２に連通している。また、ポンプ供給孔５０１の中間部分には、逆止弁５０４ａが設けられ、ポンプ排出孔５０２の中間部分には、逆止弁５０４ｂが設けられている。具体的には、逆止弁５０４ａは、その一部がポンプ供給孔５０１の中間部分に形成されている空間５１２ａにおいて図中の左方へと移動し得るように配置されている。また、逆止弁５０４ｂは、その一部がポンプ排出孔５０２の中間部分に形成されている空間５１２ｂにおいて図中の右方へと移動し得るように配置されている。

ダイヤフラム５０６が変位してポンプ室５０３の容積が増加することでポンプ室５０３が減圧されると、逆止弁５０４ａは空間５１２ａ内のポンプ供給孔５０１の開口から離間する（つまり、図中の左方へと移動する）。逆止弁５０４ａが空間５１２ａ内のポンプ供給孔５０１の開口から離間することで、ポンプ供給孔５０１におけるインクの流通を可能とする開状態となる。また、ダイヤフラム５０６が変位してポンプ室５０３の容積が減少することでポンプ室５０３が加圧されると、逆止弁５０４ａはポンプ供給孔５０１の開口の周囲の壁面に密接する。この結果、ポンプ供給孔５０１におけるインクの流通を遮断する閉状態となる。

一方、逆止弁５０４ｂは、ポンプ室５０３が減圧されると、ポンプ筐体５０５の開口の周囲の壁面に密接して、ポンプ排出孔５０２におけるインクの流通を遮断する閉状態となる。また、ポンプ室５０３が加圧されると、逆止弁５０４ｂは、ポンプ筐体５０５の開口から離間して空間５１２ｂ側に移動し（つまり、図中の右方へと移動し）、ポンプ排出孔５０２におけるインクの流通を可能とする。

尚、各逆止弁５０４ａ、５０４ｂの材質は、ポンプ室５０３内の圧力に応じて変形可能なものであればよく、例えば、ＥＰＤＭやエラストマ等の弾性部材やポリプロピレン等のフィルムや薄板で形成することが可能である。但し、これらに限定されるものではない。

前述のように、ポンプ室５０３はポンプ筐体５０５とダイヤフラム５０６との接合によって形成されている。従って、ダイヤフラム５０６が変形することによりポンプ室５０３の圧力は変化する。例えば、ダイヤフラム５０６がポンプ筐体５０５側に変位して（図中、右側に変位して）ポンプ室５０３の容積が減少すると、ポンプ室５０３内の圧力は上昇する。これによりポンプ排出孔５０２に対向して配置した逆止弁５０４ｂが開状態となり、ポンプ室５０３のインクが排出される。このとき、ポンプ供給孔５０１に対向して配置された逆止弁５０４ａは、ポンプ供給孔５０１の周囲の壁面に密接するためポンプ室５０３からポンプ供給孔５０１へのインクの逆流は抑制される。

また逆に、ダイヤフラム５０６がポンプ室５０３が広がる方向に変位した場合にはポンプ室５０３の圧力は減少する。これにより、ポンプ供給孔５０１に対向して配置された逆止弁５０４ａが開状態となり、ポンプ室５０３にインクが供給される。このとき、ポンプ排出孔５０２に配置された逆止弁５０４ｂは、ポンプ筐体５０５に形成された開口の周囲の壁面に密接して当該開口を閉塞する。このため、ポンプ排出孔５０２からポンプ室５０３へのインクの逆流は抑制される。

このように循環ポンプ５００では、ダイヤフラム５０６が変形し、ポンプ室５０３内の圧力を変化させることにより、インクの吸引と排出を行う。この際、ポンプ室５０３内に泡が混入すると、ダイヤフラム５０６が変位しても、泡の膨張・収縮によってポンプ室５０３内の圧力変化が小さくなり送液量が低下する。そこでポンプ室５０３を重力と平行に配置してポンプ室５０３に混入した泡をポンプ室５０３の上方に集まりやすくすると共に、ポンプ排出孔５０２をポンプ室５０３の中心よりも上方に配置する。これにより、ポンプ内の泡の排出性を向上させることが可能となり、流量の安定化を図ることができる。

ここで、図１０及び図１１を参照しつつ、循環ポンプ５００の構成部材の具体的構成について説明する。図１０は、循環ポンプ５００の分解斜視図であり、図１０（ａ）は循環ポンプ５００の各構成部材を背面側から観た分解斜視図、図１０（ｂ）は循環ポンプ５００の各構成部材を正面側から観た分解斜視図である。本実施形態における循環ポンプ５００は、圧電セラミックに電圧を加えることによって駆動する圧電ポンプである。図１０に示すように、ダイヤフラム５０６には、円形の振動板５０９が接着剤５０８によって接着される。振動板５０９には、円形の圧電セラミック５１０が接着により固定されている。ダイヤフラム５０６には、ＰＰＥ＋ＰＳ（変性ポリフェニレンエーテル）やポリプロピレン等の射出成形可能な材料を用いているが、フィルムや樹脂板を打ち抜いたものを用いることも可能であり、また、これらに限定されるものではない。振動板５０９は黄銅やステンレス、鉄－ニッケル合金等が用いられるが、これらに限定されるものではない。

圧電セラミック５１０と対向する面には駆動回路基板５１３が設けられている。駆動回路基板５１３は、液体吐出装置５０の本体部に設けられた電源部に接続され、所定の駆動電圧（交流電圧）を圧電セラミック５１０及び振動板５０９に印加する。

図１１は、圧電セラミック５１０の電気接続部をカバー５０７側から駆動回路基板５１３を透視して見た図である。駆動回路基板５１３と圧電セラミック５１０とが電気接続ケーブル５１８ａにより接続され、駆動回路基板５１３と振動板５０９とが、電気接続ケーブル５１８ｂにより電気接続されている。電気接続ケーブル５１８ａと駆動回路基板５１３との電気接続、及び電気接続ケーブル５１８ｂと駆動回路基板５１３との電気接続は、それぞれ半田５２０により行われている。また、電気接続ケーブル５１８ａと圧電セラミック５１０との電気接続、及び電気接続ケーブル５１８ｂと振動板５０９との電気接続は、それぞれ半田５２１により行われている。

振動板５０９は電気接続ケーブル５１８ｂを介して駆動回路基板５１３のＧＮＤ配線と接続されており、圧電セラミック５１０は電気接続ケーブル５１８ａにより駆動回路基板５１３の交流電圧出力部と接続されている。振動板５０９をＧＮＤに接続し、圧電セラミック５１０に周期のずれた交流電圧を加えることで圧電セラミック５１０を伸縮させ、ダイヤフラムを変形させる。これによりポンプ室内圧を変化させインクを吸引排出することができる。

駆動回路基板５１３は電気コンタクト基板６とケーブルで電気接続されており、電気コンタクト基板６にはポンプ駆動用の電気接続端子が設けられている。循環ユニット５４をキャリッジ６０に装着すると、キャリッジ６０側の不図示の電気コンタクト部（第１電気接続部）から出力された電気信号が、電気コンタクト基板６における不図示の電気接続端子（第２電気接続部）を介して駆動回路基板５１３に入力される。

このように電気コンタクト基板６にポンプ駆動用の電気接続端子を設けることで、キャリッジ６０から外した状態であっても、電気接続端子に駆動電圧（交流電圧）を加えることにより循環ポンプ５００を駆動することが可能である。

＜液体吐出ヘッド内のインクの流れ＞
図１２は、液体吐出ヘッド内のインクの流れを説明する図である。図１２を参照しつつ液体吐出ヘッド１内で行われるインクの循環について説明する。インク循環経路をより明確に説明するため、図１２における各構成（第１圧力調整手段１２０、第２圧力調整手段１５０、循環ポンプ５００等）の相対位置は簡略化している。そのため各構成の相対位置は上述した図２、図４及び後述する図２１の構成とは異なる。図１２（ａ）は吐出口１３からインクを吐出して記録を行う記録動作を行っているときのインクの流れを模式的に示したものである。尚、図中の矢印はインクの流れを示している。本実施形態において、記録動作を行う際には外部ポンプ２１及び循環ポンプ５００の両方が駆動を開始する。尚、記録動作に関わらず、外部ポンプ２１及び循環ポンプ５００が駆動していてもよい。また、外部ポンプ２１と循環ポンプ５００との駆動は、連動して行われなくてもよく、別個に独立して駆動されてもよい。

記録動作中は循環ポンプ５００がＯＮの状態（駆動状態）となっており、第１圧力制御室１２２（第１液室）から流出したインクは供給流路１３０及びバイパス流路１６０に流入する。供給流路１３０に流入したインクは、吐出モジュール３００を通過した後、回収流路１４０に流入し、その後、第２圧力制御室１５２に供給される。

一方、第１圧力制御室１２２からバイパス流路１６０に流入したインクは、第２バルブ室１５１を経て第２圧力制御室１５２に流入する。第２圧力制御室１５２に流入したインクは、ポンプ入口流路１７０、循環ポンプ５００、及びポンプ出口流路１８０を通過した後、再び第１圧力制御室１２２に流入する。このとき、第１バルブ室１２１による制御圧力は、前述した式２の関係に基づいて、第１圧力制御室１２２の制御圧力よりも高く設定されている。従って、第１圧力制御室１２２内のインクは、第１バルブ室１２１に流れずに再度、供給流路１３０を介して吐出モジュール３００に供給される。吐出モジュール３００に流入したインクは、回収流路１４０、第２圧力制御室１５２、ポンプ入口流路１７０、循環ポンプ５００、及びポンプ出口流路１８０を経て、再び第１圧力制御室１２２に流入する。以上により液体吐出ヘッド１内で完結するインク循環が行われる。

＜液体吐出ヘッド内のインクの流れ＞
図１２は、液体吐出ヘッド内のインクの流れを説明する図である。図１２を参照しつつ液体吐出ヘッド１内で行われるインクの循環について説明する。図１２（ａ）は吐出口１３からインクを吐出して記録を行う記録動作を行っているときのインクの流れを模式的に示したものである。尚、図中の矢印はインクの流れを示している。本実施形態において、記録動作を行う際には外部ポンプ２１及び循環ポンプ５００の両方が駆動を開始する。尚、記録動作に関わらず、外部ポンプ２１及び循環ポンプ５００が駆動していてもよい。また、外部ポンプ２１と循環ポンプ５００との駆動は、連動して行われなくてもよく、別個に独立して駆動されてもよい。

記録動作中は循環ポンプ５００がＯＮの状態（駆動状態）となっており、第１圧力制御室１２２（第１液室）から流出したインクは供給流路１３０及びバイパス流路１６０に流入する。供給流路１３０に流入したインクは、吐出モジュール３００を通過した後、回収流路１４０に流入し、その後、第２圧力制御室１５２に供給される。

一方、第１圧力制御室１２２からバイパス流路１６０に流入したインクは、第２バルブ室１５１を経て第２圧力制御室１５２に流入する。第２圧力制御室１５２に流入したインクは、ポンプ入口流路１７０、循環ポンプ５００、及びポンプ出口流路１８０を通過した後、再び第１圧力制御室１２２に流入する。このとき、第１バルブ室１２１による制御圧力は、前述した式２の関係に基づいて、第１圧力制御室１２２の制御圧力よりも高く設定されている。従って、第１圧力制御室１２２内のインクは、第１バルブ室１２１に流れずに再度、供給流路１３０を介して吐出モジュール３００に供給される。吐出モジュール３００に流入したインクは、回収流路１４０、第２圧力制御室１５２、ポンプ入口流路１７０、循環ポンプ５００、及びポンプ出口流路１８０を経て、再び第１圧力制御室１２２に流入する。以上により液体吐出ヘッド１内で完結するインク循環が行われる。

以上のインク循環において、吐出モジュール３００内のインクの循環量（流量）は第１圧力制御室１２２及び第２圧力制御室１５２の制御圧力の差圧によって決定される。そして、この差圧は、吐出モジュール３００内の吐出口近傍のインクの増粘を抑制可能な循環量となるように設定される。また、記録によって消費された分のインクは、インクタンク２からフィルタ１１０、第１バルブ室１２１を介して第１圧力制御室１２２に供給される。消費されたインクが供給される仕組みを、詳細に説明する。記録によって消費されたインクの分だけ循環経路内からインクが減ることで、第１圧力制御室内の圧力が減少し、結果として第１圧力制御室１２２内のインクも減少する。第１圧力制御室１２２内のインクの減少に伴い、第１圧力制御室１２２の内容積が減少する。この第１圧力制御室１２２の内容積が所定の容積未満まで減少することにより、連通口１９１Ａ（第１連通口）が開状態に切り替わり、第１バルブ室１２１から第１圧力制御室１２２にインクが供給される。この供給されるインクには、第１バルブ室１２１から連通口１９１Ａを通過する際に圧力損失が発生し、第１圧力制御室１２２に流入することで、正圧のインクは、負圧の状態に切り替わる。そして、第１圧力制御室１２２に第１バルブ室１２１からインクが流入することで、第１圧力制御室内の圧力が上昇することで第１圧力制御室の内容積が所定の容積以上まで増加すると、連通口１９１Ａが閉状態となる。このように、インクの消費に応じて連通口１９１Ａは、開状態と閉状態とを繰り返すことになる。また、インクが消費されない場合には、連通口１９１Ａは、閉状態に維持される。

図１２（ｂ）は、記録動作が終了し、循環ポンプ５００がＯＦＦの状態（停止状態）となった直後のインクの流れを模式的に示したものである。記録動作が終了し、循環ポンプ５００がＯＦＦとなった時点では、第１圧力制御室１２２の圧力及び第２圧力制御室１５２の圧力は、いずれも記録動作中の制御圧となっている。このため、第１圧力制御室１２２の圧力と第２圧力制御室１５２の圧力との差圧に応じて、図１２（ｂ）に示すようなインクの移動が生じる。具体的には第１圧力制御室１２２から供給流路１３０を介して吐出モジュール３００に供給され、その後、回収流路１４０を経て第２圧力制御室１５２に至るインクの流れが引き続き発生する。また、第１圧力制御室１２２からバイパス流路１６０及び第２バルブ室１５１を経て第２圧力制御室１５２に至るインクの流れも引き続き発生する。

これらのインクの流れによって第１圧力制御室１２２から第２圧力制御室１５２へ移動したインク量が、インクタンク２からフィルタ１１０及び第１バルブ室１２１を経て第１圧力制御室１２２に供給される。このため第１圧力制御室１２２内の内容量は一定に保たれる。前述した式２の関係から、第１圧力制御室１２２の内容量が一定の時は、バルブばね２００のばね力Ｆ１、圧力調整ばね２２０（付勢手段）のばね力Ｆ２、バルブ１９０の受圧面積Ｓ１、圧力板２１０の受圧面積Ｓ２は一定に保たれる。このため、第１バルブ室１２１の圧力（ゲージ圧）Ｐ１の変化に応じて第１圧力制御室１２２の圧力が決定される。よって第１バルブ室１２１の圧力Ｐ１の変化がない場合には、第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２は記録動作中の制御圧と同じ圧力に保たれる。

一方、第２圧力制御室１５２の圧力は、第１圧力制御室１２２からのインクの流入に伴う内容量の変化に応じて経時的に変化する。具体的には、図１２（ｂ）の状態から、図１２（ｃ）に示すように、連通口１９１が閉状態となって第２バルブ室１５１と第２圧力制御室１５２とが非連通状態となるまでの間は、式２に従って第２圧力制御室１５２の圧力は変化する。その後、圧力板２１０とバルブシャフト１９０ａとが非当接状態となって連通口１９１が閉状態となる。そして、図１２（ｄ）に示すように、回収流路１４０から第２圧力制御室１５２へインクが流入する。このインク流入によって圧力板２１０及び可撓性部材２３０が変位し、第２圧力制御室１５２の内容積が最大に達するまでの間は、式４に従って第２圧力制御室１５２の圧力は変化する。即ち上昇する。

尚、図１２（ｃ）の状態になると、第１圧力制御室１２２からバイパス流路１６０及び第２バルブ室１５１を経て第２圧力制御室１５２に至るインクの流れは発生しない。従って、第１圧力制御室１２２内のインクが、供給流路１３０を介して吐出モジュール３００に供給された後、回収流路１４０を経て第２圧力制御室１５２に至る流れのみが生じる。前述のように、第１圧力制御室１２２から第２圧力制御室１５２へのインクの移動は、第１圧力制御室１２２内の圧力と第２圧力制御室１５２内の圧力との差圧に応じて生じる。このため、第２圧力制御室１５２内の圧力が第１圧力制御室１２２内の圧力と等しくなるとインクの移動は停止する。

また、第２圧力制御室１５２内の圧力が第１圧力制御室１２２内の圧力と等しくなる状態においては、第２圧力制御室１５２が、図１２（ｄ）に示す状態まで拡張する。図１２（ｄ）に示すように第２圧力制御室１５２が拡張した場合、第２圧力制御室１５２には、インクを貯留できる貯留部が形成される。尚、循環ポンプ５００の停止から図１２（ｄ）の状態に移行するまでは、流路の形状及びサイズ並びにインクの性質に応じて変わり得るが、概ね１～２分程度の時間で移行する。貯留部にインクを貯留した図１２（ｄ）に示す状態から循環ポンプ５００を駆動すると、貯留部のインクは循環ポンプ５００によって第１圧力制御室１２２に供給される。これにより図１２（ｅ）に示すように第１圧力制御室１２２のインク量は増加し、可撓性部材２３０及び圧力板２１０は拡張方向へと変位する。そして、循環ポンプ５００の駆動が引き続き行われると、図１２（ａ）に示すように、循環経路内の状態が変化することになる。

尚、上記説明においては、図１２（ａ）は、記録動作時の例として説明したが、前述したように、記録動作を伴わずにインクの循環が行われてもよい。この場合であっても、循環ポンプ５００の駆動及び停止に応じて、図１２（ａ）～(ｅ)に示すようなインクの流れが生じることになる。

また上述したように、本実施形態では、第２圧力調整手段１５０における連通口１９１Ｂは、循環ポンプ５００が駆動されてインクの循環が行われる場合に開状態になり、インクの循環が停止すると、閉状態になる例を用いるが、これに限られない。第２圧力調整手段１５０における連通口１９１Ｂは、循環ポンプ５００が駆動されてインクの循環が行われている場合であっても、閉状態であるように制御圧力を設定してもよい。以下、バイパス流路１６０の役割と併せて具体的に説明する。

第１圧力調整手段１２０と第２圧力調整手段１５０とを接続するバイパス流路１６０は、例えば循環経路内に生じた負圧が既定値よりも強まる場合に、その影響を吐出モジュール３００に及ぼさないようにするために設けられている。また、バイパス流路１６０は、供給流路１３０及び回収流路１４０の両側から圧力室１２にインクを供給するためにも設けられている。

まず、負圧が既定値よりも強まる場合に、バイパス流路１６０を設けていることで、その影響を吐出モジュール３００に及ぼさないようにする例を説明する。例えば、環境温度の変化によりインクの特性（例えば粘度）が変化することがある。インクの粘度が変化すると、循環経路内の圧力損失も変化する。例えば、インクの粘性が下がると、循環経路内の圧力損失分が減少する。この結果、一定の駆動量で駆動している循環ポンプ５００の流量が増加し、吐出モジュール３００を流れる流量が増えることになる。一方で、吐出モジュール３００は、不図示の温度調整機構により一定温度に保たれるため、吐出モジュール３００内のインクの粘度は、環境温度が変化しても一定に維持される。吐出モジュール３００内のインクの粘度に変化がない一方で吐出モジュール３００内を流れるインクの流量が増加する分、流抵抗により、吐出モジュール３００における負圧が強まる。このようにして、吐出モジュール３００における負圧が既定値よりも強まると、吐出口１３のメニスカスが破壊され、外部の空気が循環経路内に引き込まれて、正常な吐出が行えなくなる虞がある。また、メニスカスが破壊されないとしても、圧力室１２の負圧が所定よりも強まり、吐出に影響を及ぼす虞がある。

このため、本実施形態では、バイパス流路１６０を循環経路内に形成している。バイパス流路１６０を設けることで、負圧が既定値よりも強まる場合には、バイパス流路１６０にもインクが流れるため、吐出モジュール３００の圧力を一定に保つことができる。従って、例えば第２圧力調整手段１５０における連通口１９１Ｂは、循環ポンプ５００を駆動中の場合であっても、閉状態を維持するような制御圧力で構成してもよい。そして、既定値よりも負圧が強まる場合に、第２圧力調整手段１５０における連通口１９１Ｂが開状態となるように、第２圧力調整手段１５０における制御圧力を設定してもよい。つまり、環境変化などの粘度変化によるポンプの流量変化によってもメニスカスが崩壊しないか、または、所定の負圧が維持されるのであれば、循環ポンプ５００が駆動している場合に、連通口１９１Ｂが閉状態であってもよい。

次に、バイパス流路１６０が、供給流路１３０及び回収流路１４０の両側から圧力室１２にインクを供給するために設けられている例を説明する。循環経路内の圧力変動は、吐出素子１５による吐出動作によっても生じ得る。吐出動作に伴い、圧力室にインクを引き込む力が生じるからである。

以下、高いデューティの記録を続ける場合に、圧力室の負圧が上昇すること、および、それにより、圧力室１２に供給されるインクが、供給流路１３０側と回収流路１４０側との両側供給となる点を説明する。尚、デューティは、各種条件によって定義が変わり得るが、ここでは、１２００ｄｐｉ格子に４ｐｌのインク滴を１発記録した状態を１００％として扱うものとする。高いデューティの記録とは、例えば１００％のデューティで記録が行われるものとする。

高いデューティの記録を続けると、圧力室１２から回収流路１４０を通じて第２圧力制御室１５２内に流入するインク量が減る。一方で、循環ポンプ５００は一定量でインクの流出を行うため、第２圧力制御室１５２内での流入と流出とのバランスが崩れ、第２圧力制御室１５２内のインクが減少し、第２圧力制御室１５２内の負圧が強くなり、第２圧力制御室１５２が縮小する。そして、第２圧力制御室１５２内の負圧が強くなることで、バイパス流路１６０を介して第２圧力制御室１５２へ流入するインクの流入量が増え、流出と流入とがバランスした状態で第２圧力制御室１５２が安定する。このように、結果的に、デューティに応じて第２圧力制御室１５２内の負圧は強くなっていく。また、上述したように、循環ポンプ５００が駆動している場合に、連通口１９１Ｂが閉状態である構成においては、デューティに応じて連通口１９１Ｂが開状態となり、バイパス流路１６０から第２圧力制御室１５２にインクが流入することになる。

そして、更に高いデューティの記録を続けると、圧力室１２から回収流路１４０を通じて第２圧力制御室１５２に流入する量が減り、代わりに、バイパス流路１６０を経由して連通口１９１Ｂから第２圧力制御室１５２内に流入する量が増えていく。この状態が更に進むと、圧力室１２から回収流路１４０を通じて第２圧力制御室１５２に流入するインク量が、ゼロになり、循環ポンプ５００に流出するインクは全て連通口１９１Ｂから流入するインクとなる。この状態が更に進むと、今度は第２圧力制御室１５２から回収流路１４０を通じて圧力室１２にインクが逆流する。この状態では、第２圧力制御室１５２から循環ポンプ５００に流出するインクと圧力室１２に流出するインクとが、バイパス流路１６０を通じて連通口１９１Ｂから第２圧力制御室１５２に流入することになる。この場合、圧力室１２には、供給流路１３０のインク及び回収流路１４０のインクが充填されて、吐出されることになる。

尚、この記録デューティが高い場合に生じるインクの逆流は、バイパス流路１６０を設けていることで生じる現象である。また、上記では、インクの逆流に応じて第２圧力調整手段における連通口１９１Ｂが開状態となる例を説明したが、第２圧力調整手段における連通口１９１Ｂが開状態となっている状態においてインクの逆流が生じることもある。また、第２圧力調整手段を設けない構成においても、バイパス流路１６０を設けていることで、上記のインクの逆流は発生し得るものである。

＜吐出ユニットの構成＞
図１３は、本実施形態の吐出ユニット３におけるインク１色分の循環経路を示した模式図である。図１３（ａ）は、吐出ユニット３を第１支持部材４側から見た分解斜視図であり、図１３（ｂ）は、吐出ユニット３を吐出モジュール３００側から見た分解斜視図である。尚、図中のＩＮ、ＯＵＴで示した矢印はインクの流れを示しており、インクの流れは１色分のみ説明するが、他の色も同様の流れである。また、図１３では第２支持部材７と電気配線部材５との記載を省略し、以下の吐出ユニットの構成の説明においてもその省略している。また、図１３（ａ）における第１支持部材４については、図３のＸＩ－ＸＩにおける断面を示している。吐出モジュール３００は、吐出素子基板３４０と開口プレート３３０とを備えている。図１４は、開口プレート３３０を示した図であり、図１５は、吐出素子基板３４０を示した図である。

吐出ユニット３には、循環ユニット５４からジョイント部材８（図３参照）を介してインクが供給される。インクがジョイント部材８を通過した後から、ジョイント部材８に戻るまでのインクの経路について説明する。尚、以下の図面では、ジョイント部材８の記載を省略する。

吐出モジュール３００は、シリコン基板３１０である吐出素子基板３４０と開口プレート３３０とを備えており、更に、吐出口形成部材３２０を備えている。吐出素子基板３４０と開口プレート３３０と吐出口形成部材３２０とは、各インクの流路が連通するように重なり接合されることで吐出モジュール３００となり、第１支持部材４に支持される。吐出モジュール３００が第１支持部材４に支持されることで、吐出ユニット３が形成される。吐出素子基板３４０は、吐出口形成部材３２０を備えており、吐出口形成部材３２０は、複数の吐出口１３が列を成した複数の吐出口列を備えており、吐出モジュール３００内のインク流路を介して供給されたインクの一部を吐出口１３から吐出する。吐出されなかったインクは、吐出モジュール３００内のインク流路を介して回収される。

図１３及び図１４に示すように、開口プレート３３０は、複数の配列されたインク供給口３１１と複数の配列されたインク回収口３１２とを備えている。図１５及び図１６に示すように、吐出素子基板３４０は、複数の配列された供給接続流路３２３と、複数の配列された回収接続流路３２４とを備えている。更に吐出素子基板３４０は、複数の供給接続流路３２３と連通する共通供給流路１８と、複数の回収接続流路３２４と連通する共通回収流路１９とを備えている。吐出ユニット３内のインク流路は、第１支持部材４に設けられたインク供給流路４８やインク回収流路４９（図３参照）と、吐出モジュール３００に設けられた流路と、を連通させることで形成されている。支持部材供給口２１１は、インク供給流路４８を形成している断面開口であり、支持部材回収口２１２は、インク回収流路４９を形成している断面開口である。

吐出ユニット３に供給されるインクは、循環ユニット５４（図３（ａ）参照）側から第１支持部材４のインク供給流路４８（図３（ａ）参照）に供給される。インク供給流路４８内の支持部材供給口２１１を経て流れたインクは、インク供給流路４８（図３（ａ）参照）と開口プレート３３０のインク供給口３１１とを介して吐出素子基板３４０の共通供給流路１８に供給され、供給接続流路３２３に入る。ここまでが供給側流路となる。その後、インクは、吐出口形成部材３２０の圧力室１２（図３（ｂ）参照）を経て回収側流路の回収接続流路３２４へと流れる。圧力室１２におけるインクの流れの詳細は後述する。

回収側流路において、回収接続流路３２４に入ったインクは、共通回収流路１９に流れる。その後、インクは、共通回収流路１９から開口プレート３３０のインク回収口３１２を介して第１支持部材４のインク回収流路４９に流れ、支持部材回収口２１２を経て、循環ユニット５４に回収される。

開口プレート３３０におけるインク供給口３１１やインク回収口３１２が無い領域は、第１支持部材４において支持部材供給口２１１及び支持部材回収口２１２を仕切るための領域と対応している。また、当該領域は、第１支持部材４も開口を有さない。そのような領域は、吐出モジュール３００と第１支持部材４とを接着する場合の接着領域として使用される。

図１４において開口プレート３３０は、Ｘ方向に配列された複数の開口の列が、Ｙ方向に複数列設けられており、供給用（ＩＮ）の開口と回収用（ＯＵＴ）の開口とが、Ｘ方向に半ピッチずれるように、Ｙ方向に交互に配列されている。図１５において吐出素子基板３４０は、Ｙ方向に配列された複数の供給接続流路３２３と連通する共通供給流路１８と、Ｙ方向に配列された複数の回収接続流路３２４と連通する共通回収流路１９と、がＸ方向に交互に配列されている。共通供給流路１８、共通回収流路１９はインクの種類毎に分かれており、更に、各色の吐出口列の数に応じて共通供給流路１８及び共通回収流路１９の配置数が決まる。また、供給接続流路３２３及び回収接続流路３２４も吐出口１３に対応した数だけ配置される。尚、必ずしも１対１対応していなくてもよく、複数の吐出口１３に対して一つの供給接続流路３２３及び回収接続流路３２４が対応してもよい。

このような開口プレート３３０と、吐出素子基板３４０とが各インクの流路が連通するように重なり接合されることで吐出モジュール３００となり、第１支持部材４に支持されることで、上記のような供給流路と回収流路とを備えたインク流路が形成される。

図１６（ａ）から（ｃ）は、吐出ユニット３の異なる部分におけるインク流れを示した断面図である。図１６（ａ）は、図１３（ａ）のＸＩＶａ－ＸＩＶａで示す断面であり、吐出ユニット３におけるインク供給流路４８とインク供給口３１１とが連通した部分の断面を示している。また、図１６（ｂ）は、図１３（ａ）のＸＩＶｂ－ＸＩＶｂで示す断面であり、吐出ユニット３におけるインク回収流路４９とインク回収口３１２とが連通した部分の断面を示している。また、図１６（ｃ）は、図１３（ａ）のＸＩＶｃ－ＸＩＶｃで示す断面であり、インク供給口３１１とインク回収口３１２とが第１支持部材４の流路と連通していない部分の断面を示している。

インクを供給する供給流路では、図１６（ａ）のように、第１支持部材４のインク供給流路４８と開口プレート３３０のインク供給口３１１とが重なり連通した部分からインクが供給される。また、インクを回収する回収流路では、図１６（ｂ）のように、第１支持部材４のインク回収流路４９と開口プレート３３０のインク回収口３１２とが重なり連通した部分からインクが回収される。また、図１６（ｃ）のように、吐出ユニット３では、部分的に開口プレート３３０に開口が設けられていない領域もある。そのような領域では、吐出素子基板３４０と第１支持部材４間でのインクの供給や回収は成されない。図１６（ａ）のようにインク供給口３１１が設けられた領域でインクの供給が成され、図１６（ｂ）のようにインク回収口３１２が設けられた領域でインクの回収が成される。尚、本実施形態では、開口プレート３３０を用いた構成を例に説明したが、開口プレート３３０を用いない形態としてもよい。例えば、インク供給流路４８及びインク回収流路４９に対応した流路を第１支持部材４に形成し、第１支持部材４に吐出素子基板３４０を接合する構成であってもよい。

図１７（ａ）、（ｂ）は、吐出モジュール３００における吐出口１３の近傍を示した断面図であり、図１８は、比較例として共通供給流路１８と共通回収流路１９とをＸ方向に広げた構成の吐出モジュールを示した断面図である。尚、図１７、図１８における共通供給流路１８、共通回収流路１９内に示した太矢印は、シリアル型の液体吐出装置５０を用いる形態におけるインクの揺動を示すものである。共通供給流路１８、供給接続流路３２３を経て圧力室１２に供給されたインクは、吐出素子１５が駆動されることで吐出口１３から吐出される。吐出素子１５が駆動されない場合は、インクは、圧力室１２から回収流路である回収接続流路３２４を経て共通回収流路１９へと回収される。

シリアル型の液体吐出装置５０を用いる形態において、このように循環するインクから吐出を行う場合、インクの吐出は、少なからず液体吐出ヘッド１の走査によるインク流路内におけるインクの揺動の影響を受ける。具体的には、インク流路内のインクの揺動の影響は、インクの吐出量の違いや吐出方向のずれとなって現れることがある。図１８のように、共通供給流路１８と共通回収流路１９とが、走査方向であるＸ方向に幅広の断面形状を備えている場合、共通供給流路１８、共通回収流路１９内のインクは、走査方向に慣性力を受け易くなりインクに大きな揺動が生じる。その結果、インクの揺動が吐出口１３からのインクの吐出に影響を及ぼす虞がある。また、共通供給流路１８と共通回収流路１９とをＸ方向に広げてしまうと、色同士の距離を広げることとなり、印刷効率が落ちる可能性がある。

そこで、本実施形態の共通供給流路１８及び共通回収流路１９は、図１７に示す断面において共に、Ｙ方向に延在しているが、主走査方向であるＸ方向に対して垂直であるＺ方向にも延在する構成としている。このような構成とすることで、共通供給流路１８及び共通回収流路１９の走査方向における各流路幅を小さくすることができる。共通供給流路１８及び共通回収流路１９の走査方向における各流路幅を小さくすることで、走査中における共通供給流路１８及び共通回収流路１９内のインクに作用する走査方向と反対側に働く慣性力（図中黒太矢印）によるインクの揺動を少なくしている。これによって、インクの揺動によるインクの吐出への影響を抑制することができる。また、共通供給流路１８及び共通回収流路１９をＺ方向に延在させることでの断面積を増やし、流路圧損を低減させている。

上述の通り、共通供給流路１８及び共通回収流路１９の走査方向における各流路幅を小さくすることで、走査時の共通供給流路１８及び共通回収流路１９内のインクの揺動が少なくなるように構成されているが、揺動が無くなるわけではない。そこで、少なくなった揺動によってもなお生じ得るインク種類ごとの吐出に差が生じることを抑制すべく、本実施形態では、共通供給流路１８と共通回収流路１９とは、Ｘ方向に対して重なる位置に配置されるよう構成されている。

前述した通り本実施形態では、供給接続流路３２３及び回収接続流路３２４は吐出口１３に対応して設けられ、かつ供給接続流路３２３と回収接続流路３２４とは吐出口１３を挟んでＸ方向に並んで配置される対応関係となっている。そのため、共通供給流路１８と共通回収流路１９とがＸ方向において重ならない部分があり、Ｘ方向における供給接続流路３２３と回収接続流路３２４との対応関係が崩れると、圧力室１２におけるＸ方向へのインクの流れや吐出に影響を及ぼす。そこにインクの揺動の影響が加わることで、更に、吐出口毎のインクの吐出に影響を及ぼす虞がある。

そのため、共通供給流路１８と共通回収流路１９とをＸ方向に対して重なる位置に配置することで、吐出口１３が配列されるＹ方向におけるどの位置においても、共通供給流路１８と共通回収流路１９とにおける走査時のインク揺動がほぼ同等となる。その結果、圧力室１２内で生じる共通供給流路１８側と共通回収流路１９側との圧力差が大きくばらつくことは無く、安定した吐出を行うことができる。

また、インクを循環させる液体吐出ヘッドでは、液体吐出ヘッドへインクを供給する流路と回収する流路とが同じ流路で構成されているものもあるが、本実施形態においては、共通供給流路１８と共通回収流路１９とがそれぞれ別流路になっている。そして、供給接続流路３２３と圧力室１２とが連通しており、圧力室１２と回収接続流路３２４とが連通しており、圧力室１２の吐出口１３からインクが吐出される。つまり供給接続流路３２３と回収接続流路３２４とをつなぐ経路である圧力室１２が、吐出口１３を備えた構成となっている。そのため圧力室１２には供給接続流路３２３側から回収接続流路３２４側へ流れるインク流れが発生しており、圧力室１２内のインクは効率よく循環されている。圧力室１２内のインクが効率よく循環されることで、吐出口１３からのインクの蒸発による影響を受けやすい圧力室１２のインクをフレッシュな状態に保つことができる。

また、共通供給流路１８及び共通回収流路１９の２つ流路が、圧力室１２と連通していることで、もし高流量で吐出を行うことが必要になった場合には、両方の流路からインクを供給することも可能となる。つまり、インクの供給と回収とを１流路だけで構成する構成と比べて、本実施形態における構成は、循環を効率的に行えるだけでなく、高流量の吐出にも対応することができるというメリットがある。

また、共通供給流路１８と共通回収流路１９とは、Ｘ方向において近い位置に配置された方が、よりインクの揺動による影響が生じにくい。望ましくは、流路間が７５μｍ～１００μｍで構成されているとよい。

図１９は、比較例としての吐出素子基板３４０を示した図である。尚、図１９では、供給接続流路３２３と回収接続流路３２４との記載を省略している。共通回収流路１９には、圧力室１２で吐出素子１５による熱エネルギーを受けたインクが流れ込むため、共通供給流路１８内のインクの温度に対して、比較的温度の高いインクが流れる。このとき、比較例では、図１９の一点鎖線で囲んだα部のように、吐出素子基板３４０のＸ方向における一部分において、共通回収流路１９だけが存在している部分がある。この場合、その部分で局所的に温度が高まり、吐出モジュール３００内に温度ムラが生じ、吐出に影響を与える可能性がある。

共通供給流路１８には、共通回収流路１９に対して比較的低い温度のインクが流れている。そのため、共通供給流路１８と共通回収流路１９とが隣接していると、その近傍では、共通供給流路１８と共通回収流路１９とで一部の温度が相殺されることから、温度上昇が抑えられる。よって、共通供給流路１８と共通回収流路１９とは、略同じ長さで互いにＸ方向において重なり合う位置に存在し、隣接していることが好ましい。

図２０（ａ）、（ｂ）は、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の３色のインクに対応した液体吐出ヘッド１の流路構成を示した図である。液体吐出ヘッド１には、図２０（ａ）のようにインクの種類ごとに循環流路が設けられている。圧力室１２は、液体吐出ヘッド１の走査方向であるＸ方向に沿って設けられている。また、図２０（ｂ）のように、共通供給流路１８と共通回収流路１９とは、吐出口１３が配列された吐出口列に沿って設けられており、共通供給流路１８と共通回収流路１９とで吐出口列を挟むようにＹ方向に延在して設けられている。

＜吐出モジュールの圧力変動＞
次に、図２１を用いて本実施形態における液体吐出ヘッド１における圧力変動を説明する。本実施形態におけるシリアル型の液体吐出ヘッド１を用いる液体吐出装置５０においては、インク供給チューブ５９を用いて液体吐出ヘッド１の循環ユニット５４にインクが供給される。このため、記録動作時などにおいて液体吐出ヘッド１が走査される場合、インク供給チューブ５９が揺動し、インク供給チューブ５９内のインクに圧力変動が生じる虞がある。

前述したように、本実施形態の液体吐出装置５０には、液体吐出ヘッド１内のインクをインクタンク２に回収するようなインク回収経路は備えられていない。このため、循環ユニット５４と接続している流路は、液体吐出ヘッド１液体を供給するためのインク供給チューブ５９のみとなっている。本実施形態においては４本の循環チューブ５９が接続される（図２参照）。仮に、液体吐出ヘッド１に、インクタンク２にインクを回収する回収チューブが設けられている場合には、回収チューブ側からも液体吐出ヘッド１に圧力変動が伝播する虞がある。本実施形態では、液体吐出ヘッド１の内部で完結する循環経路を備えるため、循環ユニット５４と接続している流路は、インク供給チューブ５９のみとなっている。また、インク供給チューブ５９から循環ユニット５４に供給されるインクは、第１圧力調整手段１２０の第１バルブ室１２１に流入する（図５参照）。そして、バルブ１９０による連通口１９１の開閉制御が行われる。このため、液体吐出ヘッド１を走査した際に生じるチューブ揺動圧が吐出モジュール３００に影響することを抑制することができる。

また、本実施形態においては、循環ポンプ５００として、圧電ダイヤフラムポンプを用いている。循環ポンプ５００は、圧電素子に駆動電圧を入力することでポンプ室内の容積を変化させ、圧力変動によって２つの逆止弁が交互に動くことにより送液を行う。このため、循環ポンプ５００に回収され、循環ポンプ５００から送液されるインクは、ポンプ室５０３の容積の増減に合わせて脈動する。

本実施形態においては、循環経路内においてインクの脈動を生じさせる発生源である循環ポンプ５００の入口側と出口側に、脈動の伝播を抑制する構成を設けている。即ち、ポンプ出口流路１８０に第１圧力調整手段１２０が接続され、かつ、ポンプ入口流路１７０に第２圧力調整手段１５０が接続されている。係る構成によれば、循環ポンプ５００の駆動により生じる脈動が吐出モジュール３００に伝わることを、循環ポンプ５００の入口側および出口側の両側から抑制することができる。

また、図７に示したように、圧力調整手段は、圧力調整ばね２２０、圧力板２１０、及び可撓性部材２３０にて構成されていることが好ましい。比較例としての圧力調整手段としては、圧力センサで圧力を検知して電気信号処理を行ったのち、圧力調整ポンプ等で所定の圧力を維持する構成があり得る。ここで、インクは、吐出素子１５から数十ｋＨｚの周波数で吐出されるため、高速なフィードバック制御処理が求められる。しかしながらこのような比較例の構成では、高速なフィードバック制御処理を適切に行えない虞がある。この結果、吐出モジュール３００へインクの脈動が伝わってしまうことがある。

これに対して、本実施形態のように、圧力調整手段が、圧力調整ばね２２０、圧力板２１０、及び可撓性部材２３０にて構成される形態であれば、吐出モジュール３００へのインクの脈動が伝わることを適切に抑制することができる。即ち、循環ポンプ５００によって生じるインクの脈動を、圧力調整ばね２２０、圧力板２１０、及び可撓性部材２３０が機械的に吸収するため、吐出モジュール３００へインクの脈動が伝わることを抑制することができる。

また、前述したように、インクタンク２から液体吐出ヘッド１へのインクの供給は、加圧供給が好ましい。加圧供給することで、圧力変動をより抑制することができる。以下、具体的に説明する。液体吐出ヘッド１は、前述したように主走査方向に走査される。このため、インクタンク２から液体吐出ヘッド1へインクを供給するインク供給チューブ５９も主走査方向に揺動し、インク供給チューブ５９内の圧力Ｐ１は変動する。尚、圧力Ｐ１は、前述したように第１バルブ室１２１の圧力であり、第１バルブ室１２１とインク供給チューブ５９との間には、圧力を調整する機構が備わっていない。このため、ここでは、インク供給チューブ５９内の圧力と第１バルブ室１２１との圧力は同じものとして扱う。そして、式２に示したように、第１圧力調整手段１２０の第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２は、上記の圧力Ｐ１に比例する。また、式２に示したように、その比例定数は、バルブ１９０の受圧面積Ｓ１と圧力板２１０の受圧面積Ｓ２との比率で決まる（図７も参照）。加圧供給すると圧力板２１０の受圧面積Ｓ２に対するバルブ１９０の受圧面積Ｓ１の面積を小さくすることができるので、その結果、圧力Ｐ１の変動による圧力Ｐ２の変動を小さくすることできる。即ち、走査によって生じるインク供給チューブ５９内の圧力Ｐ１の変動による第１圧力制御室１２２の圧力Ｐ２が小さくなるため、循環経路内における圧力変動を抑制することができ、圧力室１２における圧力変動を抑制することが可能になる。

このように、液体吐出ヘッド１へのインクの加圧供給は、循環経路内における圧力変動を抑制する上で有効である。但し、加圧供給を行った場合、外部ポンプ２１から液体吐出ヘッド１の第１バルブ室１２１に至るインク供給路内は、インクの圧力が正圧となる正圧領域となる。このため、インク供給路を構成する部材間の接続部分においてインクが漏出し、循環ポンプ５００の導通部分等に付着して電気系統に不具合を来すことが懸念される。本実施形態では、外部ポンプ２１に連通するインク供給チューブ５９と液体吐出ヘッド１とを着脱可能に接続する後述の接続部（液体接続部７００）がインク供給路内に存在している。

以下、本実施形態における液体接続部７００の構成、及び液体接続部７００から漏出したインクに対する対策について説明する。

＜液体接続部＞
図２１は、本実施形態の液体吐出装置５０におけるインクタンク２、外部ポンプ２１及び液体吐出ヘッド１の接続状態を示す概略構成図である。図２１（ａ）は、図２（ｂ）におけるＸＸＩａ－ＸＸＩａ線断面図である。また、図２１（ｂ）は液体接続部７００の接続状態の部分断面図である。

本実施形態における液体吐出装置５０は、液体吐出ヘッド１に不具合が発生した際に、液体吐出ヘッド１のみを簡単に交換できるような構成を備える。具体的には、外部ポンプ２１に接続されているインク供給チューブ５９と液体吐出ヘッド１との接続、離脱を簡単に行い得る液体接続部７００を有している。これにより、液体吐出装置５０に対し液体吐出ヘッド１のみを簡単に着脱することが可能になっている。

液体接続部７００は、図２１（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド１のヘッド筐体５３に突設された液体コネクタ挿入口５３ａと、この液体コネクタ挿入口５３ａを差し込むことが可能な円筒状の液体コネクタ５９ａとを有する。液体コネクタ挿入口５３ａは液体吐出ヘッド１内に形成されたインク供給流路に流体的に接続されており、前述のフィルタ１１０を介して第１圧力調整手段１２０に接続されている。また、液体コネクタ５９ａは、インクタンク２のインクを液体吐出ヘッド１に加圧供給する外部ポンプ２１（液体加圧手段）に接続されたインク供給チューブ５９の先端に設けられている。

図２１（ｂ）に示すように、液体コネクタ５９ａの開口５９ｂの近傍における内面にはＯリング５９ｃが設けられている。本実施形態では、Ｏリング５９ｃは、ゴムまたはエラストマ等の弾性部材で構成されている。Ｏリング５９ｃは、液体コネクタ５９ａの開口５９ｂから挿入された液体コネクタ挿入口５３ａの外周面に密接し、液体コネクタ５９ａと液体コネクタ挿入口５３ａとの間をシールし、液密性を維持することを可能にする。また、液体コネクタ５９ａから液体コネクタ挿入口５３ａが引き抜かれた際には、不図示の弁部材がバネの付勢力によってＯリング５９ｃに密接し、液体コネクタ５９ａからのインクの漏出を防止できる構成となっている。本実施形態においては液体接続部７００としてコネクタ方式の構成について説明したが、これに限られず、例えばインク供給チューブ５９の先端を液体吐出ヘッド１の導入口である液体コネクタ挿入口５３ａに直接挿入する形態でも良い。

上記のように、本実施形態における液体吐出ヘッドは、液体接続部７００によって、液体吐出ヘッド１の着脱及び交換作業を容易に行うことが可能となっている。但し、液体吐出ヘッド１の交換作業中に、Ｏリング５９ｃまたは液体コネクタ挿入口５３ａにゴミ等が付着し、シール性が低下する可能性がある。また、外部ポンプ２１によってインクを液体吐出ヘッド１に加圧供給するため、この液体接続部７００が設けられているインク供給経路は、流動するインクが正圧となる正圧領域となっている。すなわち、外部ポンプ２１から、インク供給チューブ５９、液体接続部７００、及びフィルタ１１０を経て第１圧力調整手段１２０に至る流路（液体流路）は、インクが正圧に保たれるインク正圧領域（液体正圧領域）となっている。このため、インク正圧領域に位置する液体接続部７００に、前述のようなシール性の低下が生じた場合、液体接続部７００からインクが漏出する虞がある。液体接続部７００から漏出したインクが、循環ポンプ５００電気系統に不具合が発生する可能性がある。そこで、本実施形態では、漏出インクに対し、次のような対策を講じている。

本件の特徴部について以下説明する。

＜漏出インクに対する対策＞
本実施形態では、インク正圧領域に設けられた液体接続部７００から漏れたインクに対する対策として、以下の構成を備える。本実施形態では、液体接続部７００から漏出したインクが循環ポンプ５００に付着するのを避けるため、液体接続部７００より重力方向上方に循環ポンプ５００を配置している。つまり循環ポンプ５００を、液体吐出ヘッド１の液体の導入口である液体コネクタ挿入口５３ａより重力方向における上方に配置している。さらに、循環ポンプ５００が、液体接続部７００を構成する部材と非接触となる位置に配置されている。これにより、液体接続部７００からインクが漏出したとしても、インクは液体コネクタ５９ａの開口方向である水平方向または重力方向下方に流れていくため、重力方向上方にある循環ポンプ５００にインクが到達するのを抑制することができる。また、循環ポンプ５００を、液体接続部７００から離れた位置に配置されているため、インクが部材を伝って循環ポンプ５００に到達する可能性も低減される。また、液体接続部７００が形成されるヘッド筐体５３とは別部材として循環ユニット５４を形成し、さらに循環ポンプ５００もユニット化し循環ユニット５４の内部に配置させることで漏洩したインクが循環ポンプ５００に到達することを抑制している。

加えて、循環ポンプ５００と電気コンタクト基板６とをフレキシブル配線部材５１４を介して電気的に接続する電気接続部５１５を、液体接続部７００より重力方向上方に設けている。このため、液体接続部７００からインクが漏出した場合にも、そのインクによって電気的なトラブルを起こす可能性を低減することができる。

また、液体接続部７００と、液体流路における圧力損失が大きく、外部ポンプ２１によってインクの圧力を高めざるを得ない場合には、液体接続部７００から液体がさらに漏出し易くなり、場合によってはインクが液体接続部７００から噴出する可能性もある。このように外部に漏出または噴出したインクが循環ポンプ５００や電気接続部５１５に付着することによる影響を抑制するため、漏出ないし噴出したインクを遮断するインク遮断部を設けることも有効である。図２１（ａ）に示す例では、ヘッド筐体５３の壁部５３ｂをインク遮断部として形成している。この壁部５３ｂを設けることにより、液体コネクタ５９ａの開口５９ｂから循環ポンプ５００を結ぶ一点鎖線Ｒと、液体コネクタ５９ａの開口５９ｂから電気接続部５１５を結ぶ一点鎖線Ｒ’とに囲まれる領域へのインクの移動または飛散を阻止することが可能になる。従って、液体接続部７００の開口５９ｂから、加圧されたインクが噴出したとしても、そのインクは壁５２ｂにぶつかり反対方向へ跳ね返されるため、循環ポンプ５００や電気接続部５１５に到達する可能性を低減することができる。なお、インク遮断部は、ヘッド筐体５３における壁部５３ｂに限らず、ヘッド筐体５３とは別個の部材を設けてもよい。さらに本実施形態においてはヘッド筐体５３を箱状の形態とし、一側面の外面に液体接続部７００を設け、一側面の裏面側に配される他側面の外面に電気コンタクト基板６を設けている。それにより液体接続部７００からインクが漏洩したとしても電気コンタクト基板６及び電気接続部５１５に漏洩したインクが付着することを抑制できる。

以上説明したように、本実施形態によれば、循環ポンプ５００の脈動の影響を圧力調整手段により抑制し、かつ液体吐出ヘッド１に対しインクを加圧供給することによって吐出安定性を向上させることができる。即ち、圧力室１２における圧力変動を抑制し、安定した吐出を実現することができる。さらに、加圧供給によってインク供給チューブ５９と液体吐出ヘッド１との接続部からインクが漏出または噴出した場合にも、循環ポンプ５００や電気接続部５１５に対するインクの付着を抑制することが可能になる。液体吐出ヘッド１における電気系統の不具合の発生を長期に亘って抑制することが可能になり、信頼性の高い液体吐出ヘッド１を得ることができる。

（他の実施形態）
上記実施形態では、インク正圧領域の中に設けられている液体接続部７００からのインクの漏出を想定し、液体接続部７００より重力方向上方に循環ポンプ５００及び電気接続部５１５を配置した例を示した。しかし、インク正圧領域の中の他の部分に液体の漏出が生じる可能性がある部分が存在する場合には、当該部分より重力方向上方に循環ポンプ５００及び電気接続部５１５を配置すればよい。

また、上記実施形態では、循環ポンプ５００により生じる圧力が既定値を越えた場合に、その影響を吐出モジュール３００に及ぼさないようにするためにバイパス流路を設けた例を示した。しかし、循環ポンプ５００による圧力変動が少なく、規定値内に圧力が保たれる場合には、バイパス流路１６０及び第２圧力調整手段１５０を省略することも可能である。

１２ 圧力室
１３ 吐出口
１５ 吐出素子
２１ 外部ポンプ
５０ 液体吐出装置
５３ａ 液体コネクタ挿入口
５９ インク供給チューブ
１２０ 第１圧力調整手段
１２２ 第１圧力制御室
１３０ 供給流路
１４０ 回収流路
５００ 循環ポンプ
５１５ 電気接続部
７００ 液体接続部

Claims (18)

1. 液体を収容する液体収容部と、
   前記液体収容部からの液体を導入する導入口と、前記導入口から導入された液体が供給される圧力室と、前記圧力室内の液体を吐出する吐出口と、を有する液体吐出ヘッドと、
   前記液体収容部と液体吐出ヘッドの前記導入口とを連通させるための液体連通路と、
   前記液体収容部の液体を前記液体連通路を介して前記液体吐出ヘッドに加圧供給する液体加圧手段と、
   を有する液体吐出装置であって、
   前記液体吐出ヘッドは、前記液体連通路から供給された液体を当該液体吐出ヘッド内で循環させる循環経路を備え、
   前記循環経路は、
   前記圧力室に液体を供給する供給流路と、
   前記圧力室から液体を回収する回収流路と、
   前記回収流路から回収された液体を前記供給流路に供給する循環ポンプと、
   前記供給流路に供給される液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
   前記循環ポンプは、前記導入口より重力方向における上方であり、且つ前記導入口と非接触となる位置に配置されていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記液体連通路の端部には、前記導入口と接続される液体コネクタが設けられている、請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記導入口と前記圧力調整手段とを連通する流路は液体が正圧になる正圧領域であり、前記循環ポンプは前記正圧領域より重力方向における上方に配置されている、請求項１または２に記載の液体吐出装置。
4. 前記液体吐出ヘッドは電気信号を受け取るための電気コンタクト基板を備え、前記循環ポンプと前記電気コンタクト基板とを電気的に接続する電気接続部が、前記導入口より重力方向における上方に配置されている、請求項１に記載の液体吐出装置。
5. 前記液体吐出ヘッドは、前記循環ポンプ及び前記電気接続部に前記導入口から漏れた液体が付着することを遮断する壁部を備える、請求項４に記載の液体吐出装置。
6. 前記液体吐出ヘッドは、主走査方向に走査しながら液体を吐出する、請求項１に記載の液体吐出装置。
7. 前記液体連通路は、可撓性を有する供給チューブによって形成され、前記液体吐出ヘッドの主走査に伴って揺動する、請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
8. 前記圧力調整手段は、前記液体収容部と前記供給流路の間に接続された第１圧力調整手段を備え、
   前記第１圧力調整手段は、前記液体収容部及び前記循環ポンプから供給された液体を収容する第１液室と、当該第１液室から前記供給流路に供給される液体の圧力を正圧から負圧に切り替えて調整する第１調整機構と、を有する、請求項１ないし７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
9. 前記第１液室は、前記液体収容部及び前記循環ポンプから供給される液体の量に応じて容積が変化し、
   前記第１調整機構は、前記第１液室の容積に連動して当該第１液室に収容される液体の圧力を調整する、請求項８に記載の液体吐出装置。
10. 前記第１調整機構は、
    前記第１液室に第１連通口を介して連通し、かつ前記液体収容部から供給される液体を前記第１連通口を介して前記第１液室に供給する第１バルブ室と、
    前記第１液室の容積に応じて前記第１連通口を開状態と閉状態とに切り替える第１バルブと、を備える、請求項８または９に記載の液体吐出装置。
11. 前記第１バルブは、液体を収容する前記第１液室の容積が所定の容積未満であるときには前記第１連通口を開状態とし、前記第１液室の容積が所定の容積以上となるときには、前記第１連通口を閉状態とする、請求項１０に記載の液体吐出装置。
12. 前記第１液室は、当該第１液室の少なくとも一部に形成された可撓性部材の変位によって容積が変化し、
    前記第１調整機構は、
    前記第１液室の容積を拡大させる方向に前記可撓性部材を付勢する付勢手段と、
    前記可撓性部材の変位に応じて変位する第１バルブと、を備え、
    前記第１バルブは、前記第１液室の容積が所定の容積未満となる位置に前記可撓性部材が変位したときに前記第１連通口を開状態とする位置へと変位し、前記第１液室の容積が所定の容積以上となる位置に前記可撓性部材が変位したときに前記第１連通口を開状態とする、請求項１０または１１に記載の液体吐出装置。
13. 前記圧力調整手段は、前記第１液室、前記回収流路、及び前記循環ポンプに接続される第２圧力調整手段をさらに備え、
    前記第２圧力調整手段は、前記第１液室と前記回収流路とから供給された液体を収容する第２液室と、当該第２液室に供給された液体の圧力を調整する、請求項８ないし１２のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
14. 前記循環ポンプは、液体が供給されるポンプ室と、駆動電圧が印加されることによって前記ポンプ室の容積を変化させるように変位する圧電素子とを有する圧電ポンプである、請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
15. 前記液体吐出ヘッドの前記吐出口に対向する位置において記録媒体を搬送する搬送手段を備え、
    前記液体吐出ヘッドは、前記搬送手段により前記記録媒体を搬送する方向と交差する主走査方向に沿って移動するキャリッジに着脱可能に搭載され、前記キャリッジと共に前記主走査方向に移動しつつ前記吐出口から液体を吐出して記録を行う、請求項１ないし１４のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
16. 外部から加圧された液体を導入する導入口と、前記導入口から導入された液体が供給される圧力室と、前記圧力室内の液体を吐出する吐出口と、を備え、前記導入口から導入された液体を液体吐出ヘッド内で循環させる循環経路とを備える液体吐出ヘッドであって、
    前記循環経路は、
    前記圧力室に液体を供給する供給流路と、
    前記圧力室から液体を回収する回収流路と、
    前記回収流路から回収された液体を前記供給流路に供給する循環ポンプと、
    前記供給流路に供給される液体の圧力を調整する圧力調整手段と、を備え、
    前記循環ポンプは、前記導入口より重力方向における上方であり、且つ前記導入口と非接触となる位置に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
17. 前記導入口と前記圧力調整手段とを連通する流路は液体が正圧になる正圧領域であり、前記循環ポンプは前記正圧領域より重力方向における上方に配置されている、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記液体吐出ヘッドは電気信号を受け取るための電気コンタクト基板を備え、前記循環ポンプと前記電気コンタクト基板とを電気的に接続する電気接続部が、前記導入口より重力方向における上方に配置されている、請求項１６または請求項１７に記載の液体吐出ヘッド。

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