JP2023081084A - 保持機構及び貼着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】静電チャックを利用することなくワークの位置ずれを抑制すること。【解決手段】保持機構２は、ワークを保持する機構であって、ワークを吸引保持する保持面１４１を有した吸引テーブル１０と、吸引テーブル１０を収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバ４０と、吸引テーブル１０でワークを吸引保持した状態で真空チャンバ４０内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段７０と、を備える。吸引テーブル１０の保持面１４１の少なくとも一部はタック力を有するタック層１４から構成され、吸引テーブル１０がずれ防止手段７０を兼用する。【選択図】図１

Description

本発明は、ワークを保持する保持機構及び貼着装置に関する。

例えば半導体デバイスの製造工程においては、各種のテープを半導体ウェーハに貼着するテープ貼着装置（例えば、特許文献１、及び特許文献２参照）が広く利用されている。

一方、真空マウンタと呼ばれる減圧雰囲気内でウェーハにテープを貼着するテープ貼着装置（例えば、特許文献３参照）も広く利用されている。この種のテープ貼着装置は、減圧雰囲気内でウェーハにテープを貼着した後に大気との差圧でテープをウェーハに密着させ、ウェーハとテープ間に気泡が形成されることを防止している。

特開２０２０－０４７８９９号公報 特開２０２０－０４７６９９号公報 特開２０２１－０３４６０５号公報

通常真空チャンバ（減圧チャンバ）内でウェーハを保持するためには静電チャックテーブルが利用されている。しかし、静電チャックテーブルは高価であり、被加工物を吸引保持する吸引テーブルの利用が切望されている。しかし、吸引テーブルではチャンバ内が減圧されると吸引テーブル表面にワークを吸着し続けることができず、吸引力が消失した際にワークが動いて吸引保持した位置からずれてしまうという問題がある。

特にワークが薄化されて反りが生じている場合、吸引テーブルで吸引保持した状態から吸引力が消失するとワークが大きく動くため、問題となる。

本発明の目的は、静電チャックを利用することなくワークの位置ずれを抑制することができる保持機構及び貼着装置を提供することである。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の保持機構は、ワークを保持する保持機構であって、ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、該吸引テーブルを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えたことを特徴とする。

前記保持機構において、該吸引テーブルの該保持面の少なくとも一部はタック力を有する部材から構成され、該吸引テーブルが該ずれ防止手段を兼用しても良い。

前記保持機構において、該ずれ防止手段は、該吸引テーブルで保持されたワークの外周縁の外側から該保持面の中心に向かって移動自在に構成された複数のワーク固定部材を有しても良い。

前記保持機構において、該ずれ防止手段は、該吸引テーブル上のワークの上面側を押圧する押圧部材を有しても良い。

本発明の貼着装置は、ワークにテープを貼着する貼着装置であって、ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、該吸引テーブル上のワークにテープを対面させた状態で該テープを保持するテープ保持ユニットと、該テープ保持ユニットで保持されたテープを該吸引テーブル上のワークに貼着する貼着ローラと、該吸引テーブルと該貼着ローラとを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えたことを特徴とする。

本発明は、静電チャックを利用することなくワークの位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

図１は、実施形態１に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。 図２は、図１に示された貼着装置によりテープに貼着されたワークを斜視図である。 図３は、図１に示された貼着装置の吸引テーブルにワーク及び環状フレームを吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。 図４は、図３に示された貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。 図５は、実施形態１の変形例に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。 図６は、実施形態２に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。 図７は、実施形態２に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークをワーク固定部材で固定した状態を模式的に示す断面図である。 図８は、実施形態３に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。 図９は、図８に示された貼着装置の貼着ローラがテープをワークの裏面に貼着する状態を模式的に示す断面図である。 図１０は、実施形態４に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークを保持面に押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態１に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。図２は、図１に示された貼着装置によりテープに貼着されたワークを斜視図である。

実施形態１に係る図１に示された貼着装置１は、図２に示されたワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する装置である。実施形態１に係る貼着装置１によりテープ２１０が貼着されるワーク２００は、シリコン（Ｓｉ）、サファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）等を基板２０１とする円板状の半導体ウェーハ、光デバイスウェーハ等のウェーハである。

ワーク２００は、図２に示すように、交差する複数の分割予定ライン２０２で区画された表面２０３の各領域それぞれにデバイス２０４が形成されている。デバイス２０４は、例えば、ＩＣ（Integrated Circuit）、あるいやＬＳＩ（Large Scale Integration）等の集積回路、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、あるいはＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等のイメージセンサ、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）、又は、メモリ（半導体記憶装置）等である。ワーク２００は、表面２０３と表面２０３の裏側の裏面２０５とに亘って外周方向に凸に湾曲した面取り部２０６を全周に亘って形成している。

実施形態１において、ワーク２００は、裏面２０５側にワーク２００よりも大径でかつ外縁部に環状フレーム２１１が貼着された円板状のテープ２１０が貼着され、環状フレーム２１１の内側の開口内に支持される。ワーク２００は、分割予定ライン２０２に沿って個々のデバイス２０４に分割される。実施形態１では、テープ２１０は、可撓性を有し非粘着性の樹脂により構成された基材層と、基材層に積層されかつ可撓性と粘着性とを有する樹脂により構成された粘着層とを備える。

実施形態１に係る貼着装置１は、ワーク２００の裏面２０５にワーク２００よりも大径でかつ外縁部に環状フレーム２１１が貼着された円板状のテープ２１０を貼着する装置である。貼着装置１は、図１に示すように、保持機構２と、制御ユニット１００とを備える。

保持機構２は、ワーク２００を保持する機構である。保持機構２は、吸引テーブル１０と、貼着ローラ２０と、ローラ移動ユニット３０と、真空チャンバ４０と、吸引テーブル１０を昇降する昇降ユニット６０を備える。

吸引テーブル１０は、環状フレーム２１１を吸引保持するフレーム保持面１１１を有したフレーム保持部１１と、ワーク２００を吸引保持する保持面１４１を有したワーク保持部１２とを備える。フレーム保持部１１は、外径がワーク２００の外径よりも大径な円盤状の円盤部１１２と、円盤部１１２の外縁から立設しかつ内外径が環状フレーム２１１の内外径と等しい円環部１１３とを一体に備える。円環部１１３は、上面が環状フレーム２１１を吸引保持するフレーム保持面１１１である。フレーム保持面１１１は、水平方向に沿って平坦に形成されている。フレーム保持面１１１には、フレーム用吸引孔１１４が開口している。

ワーク保持部１２は、外径がワーク２００の外径よりも若干小径の円板状に形成され、フレーム保持部１１の円盤部１１２上にフレーム保持部１１と同軸に配置されている。ワーク保持部１２は、上面１２１が、水平方向に沿って平坦に形成されている。上面１２１には、シリコーン樹脂、シリコーン系ゴム又はフッ素系ゴムにより構成されたタック層１４（タック力を有する部材に相当）が積層されている。タック層１４は、例えば、株式会社ユーエムアイ社製の「フレックスキャリア（登録商標）」や株式会社エクシールコーポレーション製の「ゲルベース（登録商標）」等により構成することができる。

タック層１４は、ワーク２００の表面２０３側が載置されると、タック力で貼着し、ワーク２００の表面２０３をタック力で固定するものである。なお、タック力とは、弱粘着力又は強粘着力のことであり、弱粘着力とは、タック層１４に物品として球状のビーズを載置して、タック層１４を傾けていき、球状のビーズが転がり始める時のタック層１４の水平方向に対する角度が３．５度である時の粘着力であり、強粘着力とは、球状のビーズが転がり始める時のタック層１４の水平方向に対する角度が１０度であってもタック層１４上に転がることなく球状のビーズを保持する時の粘着力である。

実施形態１では、タック層１４の表面は、ワーク２００を吸引保持する保持面１４１である。実施形態１では、保持面１４１全体が、タック層１４の表面即ちタック層１４により構成されているが、本発明では、これに限定されることなく、保持面１４１の少なくとも一部が、タック層１４により構成されていれば良い。また、実施形態では、保持面１４１は、フレーム保持面１１１よりも低い位置に配置されている。

保持面１４１には、タック層１４を貫通し、ワーク保持部１２の上面１２１に開口した吸引孔１４２が複数開口している。フレーム用吸引孔１１４と、吸引孔１４２は、フレーム保持部１１及びワーク保持部１２内に設けられた吸引路１５に連なっている。吸引路１５は、吸引源１６に接続している。吸引路１５のフレーム保持部１１と吸引源１６との間には開閉弁１７が設けられている。

吸引テーブル１０は、保持面１４１にワーク２００の表面２０３側が載置され、フレーム保持面１１１にテープ２１０の外縁部が貼着された環状フレーム２１１が載置されて、開閉弁１７が開いて、吸引孔１１４，１４２が吸引源１６により吸引されることで、保持面１４１にワーク２００を吸引保持し、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持する。このように、実施形態１では、フレーム保持部１１は、吸引テーブル１０のワーク保持部１２の保持面１４１上のワーク２００にテープ２１０を対面させた状態で環状フレーム２１１を吸引保持することで、テープ２１０を保持するテープ保持ユニットである。

貼着ローラ２０は、フレーム保持部１１で保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を吸引テーブル１０の保持面１４１上のワーク２００に貼着するものである。貼着ローラ２０は、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を挟んで、吸引テーブル１０に吸引保持されたワーク２００に対して鉛直方向に沿って対面する。貼着ローラ２０は、ワーク２００の表面２０３に沿いかつ水平方向と平行な方向に沿ってローラ移動ユニット３０により移動可能に設けられている。

貼着ローラ２０は、支持部材２１により水平方向と平行な軸心回りに回転自在に支持され、吸引テーブル１０に保持されたワーク２００の上方に配置されているとともに、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０を挟んで、吸引テーブル１０に保持されたワーク２００に対して鉛直方向に沿って対面する。貼着ローラ２０の軸心は、水平方向と平行でかつローラ移動ユニット３０による移動方向と直交している。

貼着ローラ２０は、ローラ移動ユニット３０により支持部材２１が水平方向に沿って移動されることで、ワーク２００の表面２０３に沿って移動する。貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇されると、吸引テーブル１０に吸引保持された環状フレーム２１１に貼着されたテープ２１０をワーク２００に向かって押圧して、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、ワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付ける。

このように、貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇されると、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともにワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付ける位置に配置されている。また、貼着ローラ２０は、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０が上昇された状態で、ローラ移動ユニット３０によりワーク２００の表面２０３に沿って移動されると、テープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、ワーク２００を吸引テーブル１０に押さえ付けて、テープ２１０上を転動して、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。

ローラ移動ユニット３０は、貼着ローラ２０を水平方向に移動するものである。ローラ移動ユニット３０は、貼着ローラ２０を軸心回りに回転自在に支持した支持部材２１を水平方向に移動する。

昇降ユニット６０は、吸引テーブル１０を鉛直方向に沿って昇降するものである。昇降ユニット６０は、吸引テーブル１０のフレーム保持部１１を鉛直方向に昇降する。

真空チャンバ４０は、吸引テーブル１０と、貼着ローラ２０と、ローラ移動ユニット３０と、昇降ユニット６０とを収容するとともに、内部が減圧可能な容器である。真空チャンバ４０は、互いの外縁が接触する状態と、互いの外縁が離間する状態とに亘って移動可能な上部筐体４１と下部筐体４２と、下部筐体４２に排気路４５、開閉弁４６を介して接続された真空源４７と、上部筐体４１に供給路４８、開閉弁４９を介して接続されたエアー供給源５０とを備える。

筐体４１，４２は、外径が環状フレーム２１１よりも大径な円板部４３と、円板部４３の外縁から立設した円筒部４４とを一体に備える。筐体４１，４２の円板部の外径は、等しい。筐体４１，４２は、円筒部４４の内側の開口がＺ軸方向に沿って対面して配置される。上部筐体４１と、下部筐体４２とは、図示しない昇降ユニットにより相対的に昇降移動される。上部筐体４１は、円板部４３にローラ移動ユニット３０を取り付けている。下部筐体４２は、円板部４３に昇降ユニット６０を取り付けている。

真空チャンバ４０は、上部筐体４１と下部筐体４２とが昇降ユニットにより互いに近づく方向に昇降されることで、筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が気密な状態で互いに接触して、内部が外部から遮断されて、内部が密閉される。真空チャンバ４０は、上部筐体４１と下部筐体４２とが昇降ユニットにより互いに離れる方向に昇降されることで、筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が互いに離れて、ワーク２００及び環状フレーム２１１を搬入、搬出可能とする。

制御ユニット１００は、貼着装置１を構成する各構成要素を制御して、ワーク２００の表面２０３にテープ２１０を貼着する貼着動作を貼着装置１に実行させるものである。制御ユニット１００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インタフェース装置とを有し、コンピュータプログラムを実行可能なコンピュータである。

制御ユニット１００の演算処理装置は、ＲＯＭに記憶されているコンピュータプログラムをＲＡＭ上で実行して、貼着装置１を制御するための制御信号を生成する。制御ユニット１００の演算処理装置は、生成した制御信号を入出力インタフェース装置を介して貼着装置１の各構成要素に出力する。

また、制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット、オペレータが加工条件などを登録する際に用いる入力ユニットと接続されている。入力ユニットは、表示ユニットに設けられたタッチパネルと、キーボード等とのうち少なくとも一つにより構成される。

次に、前述した構成の貼着装置１のワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する貼着動作を図面に基づいて説明する。図３は、図１に示された貼着装置の吸引テーブルにワーク及び環状フレームを吸引保持した状態を模式的に示す断面図である。図４は、図３に示された貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。

貼着装置１は、制御ユニット１００が入力ユニット等から入力された加工条件を受け付けて記憶し、入力ユニット等から入力された貼着動作の開始指示を受けると、貼着動作を開始する。貼着動作では、貼着装置１は、制御ユニット１００が図示しない昇降ユニットを制御して、筐体４１，４２を互いに離す。貼着動作では、貼着装置１は、保持面１４１にワーク２００の表面側が載置され、フレーム保持面１１１にテープ２１０の外縁部が貼着された環状フレーム２１１が載置されると、昇降ユニットを制御して、筐体４１，４２同士を近づけて筐体４１，４２の円筒部４４の外縁同士が気密な状態で互いに接触して、真空チャンバ４０の内部を密閉する。

貼着動作では、貼着装置１は、図３に示すように、制御ユニット１００が開閉弁１７を開いて、吸引源１６により吸引路１５を通して吸引孔１１４，１４２を吸引して、保持面１４１にワーク２００の表面側を吸引保持するとともに、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持する。このとき、タック層１４は、タック力によりワーク２００を保持面１４１に固定する。貼着動作では、貼着装置１は、制御ユニット１００が開閉弁４６を開いて、真空源４７により排気路４５を通して真空チャンバ４０内の空気を真空チャンバ４０外に排気し、真空チャンバ４０内を減圧する。このとき、保持面１４１に吸引保持されたワーク２００とテープ２１０との間も減圧される。

貼着動作では、貼着装置１は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図４に示すように、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０をテープ２１０を挟んでワーク２００の上方に位置付け、昇降ユニット６０により吸引テーブル１０を上昇させて、貼着ローラ２０でテープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、テープ２１０を介してワーク２００を保持面１４１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。なお、所定の気圧とは、保持面１４１のワーク２００を吸引保持する吸引力が低下して、何らかの力でワーク２００を保持面１４１に押さえ付けないと、ワーク２００が保持面１４１に対して位置ずれしてしまう真空チャンバ４０内の気圧である。

こうして、実施形態１では、貼着装置１のタック層１４と貼着ローラ２０とは、吸引テーブル１０でワーク２００を吸引保持した状態で真空チャンバ４０内を減圧した際に、ワーク２００のずれを防止するずれ防止手段７０を構成している。このように、貼着装置１の保持機構２は、ずれ防止手段７０を備える。また、実施形態１では、保持面１４１がタック層１４の表面であるために、吸引テーブル１０もずれ防止手段７０を構成する、即ち、吸引テーブル１０がずれ防止手段７０も兼用する。実施形態１では、貼着装置１は、押さえ付けた領域においてテープ２１０とワーク２００との間に気泡が形成されてしまうことを抑制するために、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けるのが前述した所定の気圧に到達する直前の方が好ましい。また、本発明では、貼着装置１は、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けるタイミングが所定の気圧に到達する直前の他、ワーク２００を保持面１４１で保持した後、減圧を開始する前でもよい。また、本発明では、貼着装置１は、貼着ローラ２０でテープ２１０を押さえ付けることなく、タック層１４のタック力のみでワーク２００の位置ずれを抑制してもよい。

貼着動作では、貼着装置１は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧を下回って真空状態まで減圧された後、制御ユニット１００がローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。貼着動作では、貼着装置１は、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着した後、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４９を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給して、真空チャンバ４０内の気圧を大気圧まで上昇させて、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に密着させる。こうして、貼着装置１は、貼着動作において、ワーク２００の裏面２０５にテープ２１０を貼着する。また、本発明では、貼着装置１は、吸引源１６に加えて開閉弁１７を介して保持面１４１に図示しないエアー供給源を接続して、開閉弁１７を介してエアー供給源と吸引源１６とを選択自在に保持面１４１に接続して、ワーク２００の保持面１４１からの剥離時にはエアー供給源からのエアーを保持面１４１からエアーブローして、タック力を有するタック層１４からのワーク２００の剥離を容易にしてもよい。

以上説明した実施形態１に係る保持機構２及び貼着装置１は、保持面１４１を構成するタック層１４と、ワーク２００をタック層１４に押し付ける貼着ローラ２０とで構成されるずれ防止手段７０を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、保持面１４１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができる。

その結果、実施形態１に係る保持機構２及び貼着装置１は、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

〔変形例〕
本発明の実施形態１の変形例に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図５は、実施形態１の変形例に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。なお、図５は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態１の変形例に係る貼着装置１－１は、図５に示すように、ワーク保持部１２の外縁部に全周に亘って上方に凸の凸部１２２を設け、凸部１２２上にタック層１４を積層して、吸引孔１４２が貫通したタック層１４の表面である保持面１４１を環状に形成していること以外、実施形態１と同じである。なお、変形例に係る貼着装置１－１の環状の保持面１４１は、ワーク２００のデバイス２０４が形成されていない外周余剰領域に対応し、デバイス２０４が形成されたデバイス領域を支持することなく、外周余剰領域を支持する大きさに設定されている。変形例に係る貼着装置１－１は、デバイス２０４が形成されたデバイス領域に対応した領域にタック層１４が形成されないことで、デバイス２０４がタック層１４に当接せず、デバイス２０４を汚染させてしまうリスクを低減する他、ワーク２００の保持面１４１からの剥離が容易となる。

変形例に係る保持機構２－１及び貼着装置１－１は、実施形態１と同様に、保持面１４１を構成するタック層１４とワーク２００をタック層１４に押し付ける貼着ローラ２０とで構成されるずれ防止手段７０を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、保持面１４１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図６は、実施形態２に係る貼着装置の構成例を模式的に示す断面図である。図７は、実施形態２に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークをワーク固定部材で固定した状態を模式的に示す断面図である。なお、図６及び図７は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態２に係る貼着装置１－２の保持機構２－２は、図６に示すように、ずれ防止手段７０－２が、タック層１４の代わりに複数のワーク固定部材７１を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。ワーク固定部材７１は、吸引テーブル１０で保持されたワーク２００の外周縁の外側から保持面１３１の中心に向かって移動自在に構成されたものである。

ワーク固定部材７１は、吸引テーブル１０のフレーム保持部１１の円盤部１１２上でかつワーク保持部１２即ち保持面１３１の外周側に配置されている。ワーク固定部材７１は、ワーク保持部１２即ち保持面１３１の径方向に沿って移動手段７２により移動自在に設けられている。ワーク固定部材７１は、フレーム保持部１１の円盤部１１２から立設した柱部７３と、柱部７３の上端に設けられかつワーク保持部１２の保持面１３１に吸引保持されたワーク２００の面取り部２０６に対向する固定部７４とを備える。実施形態１では、固定部７４は、厚み方向の中央が最も保持面１３１の外周側に位置するように、保持面１３１に吸引保持されたワーク２００の面取り部２０６に沿って断面円弧状に形成されている。実施形態１では、固定部７４の上端は、ワーク保持部１２の保持面１４１に吸引保持されたワーク２００の裏面２０５よりも下方に配置されている。

実施形態２に係る貼着装置１－２は、保持面１３１にワーク２００が載置され、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１が載置された後、制御ユニット１００が移動手段７２を制御して、ワーク固定部材７１を保持面１４１の径方向に沿ってワーク２００に向かって移動させる。実施形態２に係る貼着装置１－２は、複数のワーク固定部材７１の固定部７４で保持面１４１上のワーク２００の面取り部２０６を挟んで、保持面１４１上にワーク２００を固定する。

その後、実施形態２に係る貼着装置１－２は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、図７に示すように、開閉弁１７を開いて、保持面１４１にワーク２００の表面側を吸引保持するとともに、フレーム保持面１１１に環状フレーム２１１を吸引保持して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。

実施形態２に係る保持機構２及び貼着装置１－２は、複数のワーク固定部材７１を有するずれ防止手段７０－２を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図８は、実施形態３に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークにテ－プを押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。図９は、図８に示された貼着装置の貼着ローラがテープをワークの裏面に貼着する状態を模式的に示す断面図である。なお、図８及び図９は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態３に係る貼着装置１－３の保持機構２－３は、図８に示すように、ずれ防止手段７０－３が、タック層１４の代わりにテープ押圧部材７５を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。テープ押圧部材７５は、真空チャンバ４０の上部筐体４１の円板部４３の保持面１３１の中央と対面する位置に配置されている。テープ押圧部材７５は、昇降ユニット７６により昇降自在に配置されている。

実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、開閉弁１７を開いて、保持面１３１，１１１にワーク２００及び環状フレーム２１１を吸引保持し、開閉弁４６を開いて真空チャンバ４０の内部を減圧する。実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図８に示すように、昇降ユニット７６を制御してテープ押圧部材７５を下降させて、テープ押圧部材７５でテープ２１０をワーク２００に押し付けるとともに、テープ２１０を介してワーク２００を保持面１３１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。なお、本発明では、貼着装置１－３は、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧を下回る直前に、テープ押圧部材７５を下降させるのが望ましい。また、本発明では、貼着装置１－３は、ワーク２００を吸引保持した後、減圧を開始する前に下降させてテープ押圧部材７５でテープ２１０を介してワーク２００を保持面１４１に押し付けてもよい。

実施形態３に係る貼着装置１－３は、制御ユニット１００が昇降ユニット６０を制御して吸引テーブル１０を上昇させ、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着するとともに、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４６を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給する。なお、実施形態３に係る貼着装置１－３は、貼着ローラ２０が図９に示すようにテープ２１０をワーク２００の裏面２０５の外縁部に貼着し始めると、制御ユニット１００が昇降ユニット７６を制御して、テープ押圧部材７５を上昇させて、テープ２１０などから退避させる。

実施形態３に係る保持機構２－３及び貼着装置１－３は、テープ押圧部材７５を有するずれ防止手段７０－３を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

〔実施形態４〕
本発明の実施形態４に係る貼着装置を図面に基づいて説明する。図１０は、実施形態４に係る貼着装置の吸引テーブルに吸引保持したワークを保持面に押さえ付けた状態を模式的に示す断面図である。なお、図１０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。

実施形態４に係る貼着装置１－４の保持機構２－４は、図１０に示すように、ずれ防止手段７０－４が、タック層１４の代わりに押圧部材７７を有し、ワーク保持部１２の上面１２１の中央にポーラスセラミックスなどの円板状の多孔質材１３が取り付けられて、多孔質材１３の表面がワーク２００を吸引保持する保持面１３１であること以外、実施形態１と同じである。押圧部材７７は、吸引テーブル１０の保持面１４１上のワーク２００の上面である裏面２０５を押圧する部材である。

実施形態４に係る貼着装置１－４の押圧部材７７は、テープ２１０が貼着される前の保持面１４１上のワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間に侵入可能な板状に形成され、移動手段７８により水平方向に移動自在に配置されている。実施形態４において、押圧部材７７の移動方向は、貼着ローラ２０の移動方向に対して交差（直交）している。押圧部材７７は、保持面１３１上に位置すると少なくとも一部が保持面１３１の中心上に位置するのが好ましい。しかし、本発明では、押圧部材７７の位置はこれに限定されず、ワーク２００上のどの位置を押圧してもよい。

実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が昇降ユニットを制御して、真空チャンバ４０の内部を密閉した後、開閉弁１７を開いて、保持面１３１，１１１にワーク２００及び環状フレーム２１１を吸引保持し、開閉弁４６を開いて真空チャンバ４０の内部を減圧する。実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が、真空チャンバ４０内の気圧が所定の気圧（絶対気圧）を下回る前に、図１０に示すように、移動手段７８を制御して押圧部材７７を保持面１４１上のワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間に侵入させて、押圧部材７７でワーク２００を保持面１４１に押し付けて、ワーク２００の位置ずれを抑制する。また、本発明では、貼着装置１－４は、吸引テーブル１０でワーク２００を吸引保持した後、真空チャンバ４０の減圧を開始する前に押圧部材７７でワーク２００を保持面１４１に押し付けても良い。

実施形態４に係る貼着装置１－４は、制御ユニット１００が昇降ユニット６０を制御して吸引テーブル１０を上昇させ、ローラ移動ユニット３０を制御して貼着ローラ２０を水平方向に沿って移動して、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着する。貼着装置１－４は、実施形態１と同様に、テープ２１０をワーク２００の裏面２０５に貼着した後、開閉弁４６を閉じて、開閉弁４９を開いてエアー供給源５０から供給路４８を通して真空チャンバ４０内に空気を供給する。なお、実施形態４に係る貼着装置１－４は、貼着ローラ２０がテープ２１０をワーク２００の裏面２０５の外縁部に貼着し始めると、制御ユニット１００が移動手段７８を制御して、押圧部材７７を水平方向に移動させて、ワーク２００の裏面２０５とテープ２１０との間から退避させる。

実施形態４に係る保持機構２－４及び貼着装置１－４は、押圧部材７７を有するずれ防止手段７０－４を備えるので、真空チャンバ４０内を減圧して、吸引テーブル１０の吸引力が低下しても、実施形態１と同様に、保持面１３１にワーク２００を位置ずれすることなく保持することができ、静電チャックを利用することなくワーク２００の位置ずれを抑制することができるという効果を奏する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

１，１－１，１－２，１－３，１－４ 貼着装置
２，２－１，２－２，２－３，２－４ 保持機構
１０ 吸引テーブル
１１ フレーム保持部（テープ保持ユニット）
１４ タック層（タック力を有する部材）
２０ 貼着ローラ
４０ 真空チャンバ
７０，７０－２，７０－３，７０－４ ずれ防止手段
７１ ワーク固定部材
７７ 押圧部材
１３１，１４１ 保持面
２００ ワーク
２０５ 裏面（上面）
２１０ テープ

Claims (5)

1. ワークを保持する保持機構であって、
   ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、
   該吸引テーブルを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、
   該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えた保持機構。
2. 該吸引テーブルの該保持面の少なくとも一部はタック力を有する部材から構成され、該吸引テーブルが該ずれ防止手段を兼用する、請求項１に記載の保持機構。
3. 該ずれ防止手段は、該吸引テーブルで保持されたワークの外周縁の外側から該保持面の中心に向かって移動自在に構成された複数のワーク固定部材を有する、請求項１に記載の保持機構。
4. 該ずれ防止手段は、該吸引テーブル上のワークの上面側を押圧する押圧部材を有する、請求項１に記載の保持機構。
5. ワークにテープを貼着する貼着装置であって、
   ワークを吸引保持する保持面を有した吸引テーブルと、
   該吸引テーブル上のワークにテープを対面させた状態で該テープを保持するテープ保持ユニットと、
   該テープ保持ユニットで保持されたテープを該吸引テーブル上のワークに貼着する貼着ローラと、
   該吸引テーブルと該貼着ローラとを収容するとともに内部が減圧可能な真空チャンバと、
   該吸引テーブルでワークを吸引保持した状態で該真空チャンバ内を減圧した際にワークのずれを防止するずれ防止手段と、を備えた貼着装置。

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