JP2023062488A - Output program, output device, and output method - Google Patents

Abstract

To provide an output program or the like that can decipher a code without being affected by a screen size of a display, the size of a displayed code, or brightness of a screen.SOLUTION: An output program makes a computer perform the processing of reading photomask data, outputting a pattern figure included in the photomask data and a display image of a code, acquiring range data indicating a display range of the code in the display image, deciphering the contents indicated by the code on the basis of the range data, and outputting the deciphered contents.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、フォトマスクデータに含まれるコードが表す内容を出力する出力プログラム等に関する。 The present invention relates to an output program and the like for outputting contents represented by codes included in photomask data.

半導体集積回路を製造するために用いるフォトマスクには、管理番号等を示すバーコードまたは２次元コード（以下、単に「コード」ともいう。）が付されている。半導体集積回路の製造工程において、フォトマスクのコードを露光装置が読み取り、使用すべきフォトマスクであるか否かを、露光装置は確認する。 A photomask used for manufacturing a semiconductor integrated circuit is provided with a bar code or two-dimensional code (hereinafter also simply referred to as "code") indicating a management number or the like. In the manufacturing process of semiconductor integrated circuits, the exposure apparatus reads the code of the photomask and confirms whether or not the photomask should be used.

フォトマスクデータはフォトマスクを製造する際に用いるデータである。フォトマスクデータの新規作成時や変更時には、検収工程において、フォトマスクデータを表示確認する装置(以下、表示確認装置)において、フォトマスクデータに含むパターン図形とコードを表示する。そして、表示されたコードをバーコードリーダで読み込み、解読することで、ユーザは表示しているフォトマスクの型番の確認や、型番が適切なコードとなって付されているかを確認可能である。 Photomask data is data used when manufacturing a photomask. When the photomask data is newly created or changed, the pattern figure and code included in the photomask data are displayed on a device for displaying and checking the photomask data (hereinafter referred to as a display checking device) in the acceptance inspection process. By reading the displayed code with a barcode reader and decoding it, the user can confirm the model number of the displayed photomask and whether the model number is an appropriate code.

しかしながら、このような表示確認装置のディスプレイ上に表示されたコードにバーコードリーダをかざす読み取り手段では、ディスプレイの画面サイズや、画面に表示されるコードの大きさ、表示の明るさ等により、コード読み取りを正確に行えない場合が生じるという問題がある。この問題に関連して、特許文献１には、ディスプレイの表示部仕様に応じたバーコード表示レイアウト（最細線の線幅を２画素とするレイアウト）に従ってバーコードを作成・配置するバーコード表示装置が提案されている。また、特許文献２には、携帯端末の機種データとバーコードの画像データとを対応付けたテーブルを持つデータベースをサーバに設け、サーバがデータベースから取り出した機種に対応する前記バーコードの画像を、携帯端末の画面に表示させることにより、バーコードをバーコードリーダにより正確に読み取り可能とするバーコードサービス提供システムが提案されている。 However, in reading means for holding a bar code reader over a code displayed on the display of such a display confirmation device, the code may vary depending on the screen size of the display, the size of the code displayed on the screen, the brightness of the display, etc. There is a problem that the reading may not be performed accurately. In relation to this problem, Patent Document 1 discloses a barcode display device that creates and arranges barcodes according to a barcode display layout (a layout in which the line width of the thinnest line is 2 pixels) according to the display unit specifications of the display. is proposed. Further, in Patent Document 2, a server is provided with a database having a table in which model data of mobile terminals and barcode image data are associated with each other, and the server retrieves the barcode image corresponding to the model from the database, A barcode service providing system has been proposed in which a barcode can be accurately read by a barcode reader by displaying it on the screen of a mobile terminal.

特開２００２－１１７３７２号公報JP-A-2002-117372 特開２００３－１１５０２５号公報JP-A-2003-115025

表示確認装置において、例えば、フォトマスクデータのパターン図形とコードを同一画面内におさめたい場合は、コードを縮小表示する必要があるが、上記の従来技術では対応できない場合がある。コードを縮小表示する際には、特許文献１に記載の技術のように、バーコードの最細線を２画素以上確保できない場合がある。特許文献２に記載の技術では、表示するディスプレイごとにバーコード画像データの大きさは固定されてしまうため、フォトマスクデータのパターン図形とコードが同一画面内におさめた表示ができない場合がある。さらに、表示確認装置のほかに物理的なコードリーダを準備する必要がある。 In the display confirmation device, for example, when it is desired to fit the pattern figure of the photomask data and the code in the same screen, the code must be displayed in a reduced size, which may not be possible with the conventional technology described above. When displaying the code in a reduced size, there are cases where the thinnest line of the barcode cannot be secured for two pixels or more, as in the technique described in Patent Document 1. In the technique described in Patent Document 2, since the size of the barcode image data is fixed for each display, it may not be possible to display the pattern figure of the photomask data and the code within the same screen. Furthermore, it is necessary to prepare a physical code reader in addition to the display confirmation device.

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものである。その目的は、ディスプレイの画面サイズ、表示されるコードの大きさ、画面の明るさ等に影響されずにコードの解読が可能な出力プログラム等の提供である。 The present invention has been made in view of such circumstances. The purpose is to provide an output program or the like that can decode the code without being affected by the screen size of the display, the size of the displayed code, the brightness of the screen, and the like.

本願の一態様に係る出力プログラムは、フォトマスクデータを読み込み、前記フォトマスクデータに含まれるパターン図形、及び、コードの表示画像を出力し、前記表示画像における前記コードの表示範囲を示す範囲データを取得し、前記範囲データに基づき、前記コードが示す内容を解読し、解読した内容を出力する処理をコンピュータに行わせることを特徴とする。 An output program according to an aspect of the present application reads photomask data, outputs a display image of a pattern figure and a code included in the photomask data, and outputs range data indicating a display range of the code in the display image. It is characterized in that the computer is caused to perform a process of acquiring, deciphering the content indicated by the code based on the range data, and outputting the deciphered content.

本願の一観点によれば、コードリーダを用いることなく、ディスプレイの画面サイズ、表示されるコードの大きさ、画面の明るさ等に影響されずにコードの解読が可能となる。 According to one aspect of the present application, it is possible to decode a code without using a code reader and without being affected by the screen size of the display, the size of the displayed code, the brightness of the screen, and the like.

表示確認装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the hardware structural example of a display confirmation apparatus. 表示確認装置の機能部を示す説明図である。It is an explanatory view showing a function part of a display confirmation device. メイン処理の手順例を示すフローチャートである。7 is a flowchart illustrating an example of the procedure of main processing; 範囲指定の方法を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method of specifying a range; 表示画面の例を示す説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a display screen;

以下実施の形態を、図面を参照して説明する。図１は表示確認装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。表示確認装置１は、制御部１１、主記憶部１２、補助記憶部１３、ＶＲＡＭ１４、入力部１５、表示部１６、通信部１７及び読み取り部１８を含む。制御部１１、主記憶部１２、補助記憶部１３、ＶＲＡＭ１４、入力部１５、表示部１６、通信部１７及び読み取り部１８はバスＢにより接続されている。表示確認装置１はＰＣ（Personal Computer）、タブレットコンピュータ、ワークステーション等で構成する。また、表示確認装置１を複数のコンピュータからなるマルチコンピュータ、ソフトウェアによって仮想的に構築された仮想マシン又は量子コンピュータで構成しても良い。さらに、表示確認装置１の機能をクラウドサービスで実現し、ユーザはシンクライアントにより、クラウドサービスを利用してもよい。 Embodiments will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a hardware configuration example of a display confirmation device. The display confirmation device 1 includes a control section 11 , a main storage section 12 , an auxiliary storage section 13 , a VRAM 14 , an input section 15 , a display section 16 , a communication section 17 and a reading section 18 . A bus B connects the control unit 11 , the main storage unit 12 , the auxiliary storage unit 13 , the VRAM 14 , the input unit 15 , the display unit 16 , the communication unit 17 and the reading unit 18 . The display confirmation device 1 is composed of a PC (Personal Computer), a tablet computer, a work station, or the like. Further, the display confirmation device 1 may be configured by a multicomputer composed of a plurality of computers, a virtual machine or a quantum computer virtually constructed by software. Furthermore, the functions of the display confirmation device 1 may be realized by a cloud service, and the user may use the cloud service with a thin client.

制御部１１は、一又は複数のＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＭＰＵ（Micro-Processing Unit）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）等の演算処理装置を有する。制御部１１は、補助記憶部１３に記憶された制御プログラム１Ｐ（プログラム、プログラム製品）を読み出して実行することにより、表示確認装置１に係る種々の情報処理、制御処理等を行う。 The control unit 11 has one or more arithmetic processing units such as a CPU (Central Processing Unit), an MPU (Micro-Processing Unit), and a GPU (Graphics Processing Unit). The control unit 11 reads and executes a control program 1P (program, program product) stored in the auxiliary storage unit 13 to perform various information processing, control processing, and the like related to the display confirmation device 1 .

主記憶部１２は、ＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）、フラッシュメモリ等である。主記憶部１２は主として制御部１１が演算処理を実行するために必要なデータを一時的に記憶する。 The main storage unit 12 is SRAM (Static Random Access Memory), DRAM (Dynamic Random Access Memory), flash memory, or the like. The main storage unit 12 mainly temporarily stores data necessary for the control unit 11 to execute arithmetic processing.

補助記憶部１３はハードディスク又はＳＳＤ（Solid State Drive）等であり、制御部１１が処理を実行するために必要な制御プログラム１Ｐや各種ＤＢ（Database）を記憶する。補助記憶部１３は、フォトマスクＤＢ１３１を記憶する。補助記憶部１３は表示確認装置１に接続された外部記憶装置であってもよい。補助記憶部１３に記憶する各種ＤＢ等を、表示確認装置１とは異なるデータベースサーバやクラウドストレージに記憶してもよい。 The auxiliary storage unit 13 is a hard disk, SSD (Solid State Drive), or the like, and stores the control program 1P and various DBs (Databases) necessary for the control unit 11 to execute processing. The auxiliary storage unit 13 stores a photomask DB 131 . The auxiliary storage unit 13 may be an external storage device connected to the display confirmation device 1 . Various DBs and the like stored in the auxiliary storage unit 13 may be stored in a database server or cloud storage different from the display confirmation device 1 .

ＶＲＡＭ１４はグラフィックメモリ、VIDEO RAM、ビデオメモリとも呼ばれる記憶装置である。ＶＲＡＭ１４はＳＲＡＭ等で構成される。ＶＲＡＭ１４は、表示部１６に表示する内容を保持するための記憶装置である。なお、ＶＲＡＭ１４は主記憶部１２の一部であってもよい。 The VRAM 14 is a storage device also called graphic memory, VIDEO RAM, or video memory. The VRAM 14 is composed of an SRAM or the like. The VRAM 14 is a storage device for holding contents to be displayed on the display unit 16 . Note that the VRAM 14 may be part of the main storage unit 12 .

入力部１５はキーボードやマウスである。表示部１６は液晶表示パネル等を含む。表示部１６はフォトマスクデータなどを表示する。また、入力部１５と表示部１６とを一体化し、タッチパネルディスプレイを構成してもよい。なお、表示確認装置１は外部の表示装置に表示を行ってもよい。 The input unit 15 is a keyboard or mouse. The display unit 16 includes a liquid crystal display panel and the like. A display unit 16 displays photomask data and the like. Also, the input unit 15 and the display unit 16 may be integrated to form a touch panel display. Note that the display confirmation device 1 may perform display on an external display device.

通信部１７はネットワークを介して、このコンピュータ等と通信を行う。また、制御部１１が通信部１７を用い、ネットワークを介して他のコンピュータから制御プログラム１Ｐをダウンロードし、補助記憶部１３に記憶してもよい。 A communication unit 17 communicates with the computer or the like via a network. Alternatively, the control unit 11 may use the communication unit 17 to download the control program 1P from another computer via the network and store it in the auxiliary storage unit 13 .

読み取り部１８はＣＤ（Compact Disc）－ＲＯＭ及びＤＶＤ（Digital Versatile Disc）－ＲＯＭを含む可搬型記憶媒体１ａを読み取る。制御部１１が読み取り部１８を介して、制御プログラム１Ｐを可搬型記憶媒体１ａより読み取り、補助記憶部１３に記憶してもよい。また、半導体メモリ１ｂから、制御部１１が制御プログラム１Ｐを読み込んでもよい。 The reader 18 reads portable storage media 1a including CD (Compact Disc)-ROM and DVD (Digital Versatile Disc)-ROM. The control unit 11 may read the control program 1P from the portable storage medium 1a via the reading unit 18 and store it in the auxiliary storage unit 13 . Alternatively, the control unit 11 may read the control program 1P from the semiconductor memory 1b.

次に、フォトマスクデータについて説明する。フォトマスクデータは、フォトマスクを作成するためのデータである。フォトマスクは、半導体集積回路などの製造工程で、フォトリソグラフィー技術によってシリコン基板上に焼き込まれる回路のパターンの原板である。一つの半導体集積回路を製造する際には、複数の層が積み重なって構成されるため、複数のフォトマスクを用いるのが通常である。したがって、フォトマスクデータは複数のフォトマスクを作成するためのデータ群である。複数の層のことをレイヤといい、フォトマスクデータを構成する各レイヤのデータは、フォトマスクのパターンに相当するパターン図形データと、フォトマスクの管理番号等をバーコードや２次元コードで表現したコード図形データ（コード）とを含む。すなわち、フォトマスクデータを構成する各レイヤのデータには、パターン図形データとコード図形データとが含まれる。このようなフォトマスクデータがフォトマスクＤＢ１３１には記憶されている。フォトマスクＤＢ１３１において、フォトマスクデータは識別ＩＤ及びレイヤ数と対応付けていることが望ましい。識別ＩＤは各レイヤに付された管理番号の共通部分であってもよい。例えば、管理番号として、「ＡＡ１２３４５－ＢＢＢ－Ｄ－Ｒ４」、「ＡＡ１２３４５－ＣＣＣ－Ｄ－Ｒ４」、「ＡＡ１２３４５－ＤＤＤ－Ｄ－Ｒ４」、…が付されている場合、識別ＩＤを、「ＡＡ１２３４５－Ｒ４」等とする。以下の説明においては、フォトマスクデータには識別ＩＤとレイヤ数とが対応付けられて、フォトマスクＤＢ１３１に記憶されているとする。 Next, photomask data will be described. Photomask data is data for creating a photomask. A photomask is a master plate of a circuit pattern printed on a silicon substrate by photolithography in the manufacturing process of semiconductor integrated circuits and the like. When manufacturing one semiconductor integrated circuit, it is common to use a plurality of photomasks because a plurality of layers are stacked. Therefore, photomask data is a data group for creating a plurality of photomasks. A plurality of layers is called a layer, and the data of each layer that constitutes the photomask data is represented by pattern figure data corresponding to the photomask pattern, and the photomask control number, etc., in a bar code or two-dimensional code. and code graphic data (code). That is, the data of each layer forming the photomask data includes pattern graphic data and code graphic data. Such photomask data is stored in the photomask DB 131 . In the photomask DB 131, the photomask data is desirably associated with an identification ID and the number of layers. The identification ID may be a common part of the management number assigned to each layer. For example, if "AA12345-BBB-D-R4", "AA12345-CCC-D-R4", "AA12345-DDD-D-R4", . -R4”, etc. In the following description, it is assumed that the photomask data is stored in the photomask DB 131 in association with an identification ID and the number of layers.

次に、表示確認装置１が備える機能について、説明する。図２は表示確認装置の機能部を示す説明図である。表示確認装置１は機能部として、データ読込部１１ａ、図形表示制御部１１ｂ、範囲指定部１１ｃ、コード解読部１１ｄ、及び、テキスト表示制御部１１ｅを含む。各機能部は、制御部１１が制御プログラム１Ｐを実行することにより、実現される。 Next, functions of the display confirmation device 1 will be described. FIG. 2 is an explanatory diagram showing functional units of the display confirmation device. The display confirmation device 1 includes, as functional units, a data reading unit 11a, a graphics display control unit 11b, a range specifying unit 11c, a code decoding unit 11d, and a text display control unit 11e. Each functional unit is implemented by the control unit 11 executing the control program 1P.

データ読込部１１ａは、フォトマスクＤＢ１３１から表示すべきフォトマスクデータを読み込む。データ読込部１１ａが読み込んだフォトマスクデータは、図形表示制御部１１ｂ及びコード解読部１１ｄに入力される。図形表示制御部１１ｂはフォトマスクデータに含まれるパターン図形データとコード図形データとを表示部１６に表示するための描画データ（パターン図形及びコード図形）を生成し、ＶＲＡＭ１４に書き込む。ＶＲＡＭ１４に書き込まれた描画データは表示部１６のディスプレイ画面のサイズ及び解像度に対応するデータである。そのため、大きなパターン図形を全体表示するなど、パターン図形の描画範囲が、ディスプレイ画面のサイズと比べて広い場合は、パターン図形は縮小表示となる。それに伴いコード図形も縮小表示となる。ＶＲＡＭ１４に書き込まれた描画データは表示部１６のディスプレイ画面に表示される。 The data reading unit 11 a reads photomask data to be displayed from the photomask DB 131 . The photomask data read by the data reading section 11a is input to the graphic display control section 11b and the code decoding section 11d. The graphic display control section 11b generates drawing data (pattern graphic and code graphic) for displaying the pattern graphic data and the code graphic data contained in the photomask data on the display section 16 and writes them in the VRAM 14. FIG. The drawing data written in the VRAM 14 correspond to the size and resolution of the display screen of the display section 16 . Therefore, when the drawing range of the pattern figure is wider than the size of the display screen, such as when a large pattern figure is displayed as a whole, the pattern figure is displayed in a reduced size. Along with this, the code figure is also reduced in size. The drawing data written in the VRAM 14 is displayed on the display screen of the display section 16 .

ユーザは、ディスプレイ画面に表示されたコード図形の表示範囲を、入力部１５を用いて指定する。範囲指定部１１ｃは範囲データを取得する。範囲データはコード解読部１１ｄに入力される。コード解読部１１ｄはフォトマスクデータと範囲データとに基づき、フォトマスクデータ内の指定範囲にある図形のみを抽出し、コードを構成する各図形の配置座標からコードの形状を認識する。コード解読部１１ｄはコードを解読し解読結果として、管理番号等のテキストを出力する。コードの形状認識、解読はフォトマスクデータに含まれる各レイヤのデータについて行なうので、レイヤ数に等しい回数分、繰り返される。なお、コードの表示範囲はレイヤ毎にほぼ同じ位置にあるとする。全てのレイヤの解読結果はテキスト表示制御部１１ｅに入力される。テキスト表示制御部１１ｅはテキストを画面表示するための描画データを生成し、ＶＲＡＭ１４に書き込む。ＶＲＡＭ１４に書き込まれた描画データは表示部１６のディスプレイ画面に表示される。以上の動作により、表示部１６のディスプレイ画面にはパターン図形、コード図形及びコード図形の解読結果のテキストが表示される。 The user uses the input unit 15 to specify the display range of the code figure displayed on the display screen. Range designator 11c acquires range data. The range data is input to the code decoding section 11d. Based on the photomask data and the range data, the code decoding section 11d extracts only the figure within the specified range in the photomask data, and recognizes the shape of the code from the arrangement coordinates of each figure constituting the code. The code decoding unit 11d decodes the code and outputs a text such as a management number as a decoding result. Since code shape recognition and decoding are performed for each layer of data included in the photomask data, this is repeated the number of times equal to the number of layers. Note that the display range of the code is assumed to be at substantially the same position for each layer. The decoding results of all layers are input to the text display control section 11e. The text display control unit 11e generates drawing data for displaying the text on the screen and writes it to the VRAM 14. FIG. The drawing data written in the VRAM 14 is displayed on the display screen of the display section 16 . By the above operation, the display screen of the display section 16 displays the pattern figure, the code figure, and the text of the decoding result of the code figure.

なお、データ読込部１１ａは読込部に相当する。図形表示制御部１１ｂは第１出力部に相当する。範囲指定部１１ｃは取得部に相当する。コード解読部１１ｄは解読部に相当する。テキスト表示制御部１１ｅは第２出力部に相当する。 The data reading section 11a corresponds to the reading section. The graphic display control section 11b corresponds to the first output section. The range designation unit 11c corresponds to an acquisition unit. The code decoding section 11d corresponds to a decoding section. The text display control section 11e corresponds to the second output section.

続いて、表示確認装置１が行なう情報処理を、フローチャートを用いて説明する。図３はメイン処理の手順例を示すフローチャートである。図４は範囲指定の方法を示す説明図である。ユーザは表示確認装置１の入力部１５を介して、確認するフォトマスクデータを入力又は選択する。表示確認装置１の制御部１１はフォトマスクデータをフォトマスクＤＢ１３１から読み込む（ステップＳ１）。制御プログラム１Ｐに基づき、制御部１１はフォトマスクデータを表示部１６に表示する（ステップＳ２）。制御部１１は、具体的には、読み込んだフォトマスクデータからレイヤ毎にパターン図形データ、及び、コード図形データを取り出す。制御部１１は、取り出した全てのレイヤのパターン図形、及び、コード図形をユーザが設定した枠線の種類、塗りつぶしの色、表示倍率(拡大/縮小)で描画し、表示部１６のディスプレイに表示する。ユーザはディスプレイに表示されたコード図形の表示範囲をマウス等の入力部１５等で指定する。具体的には、図４Ａに示すようにコード図形がバーコードの場合は全てのバーコードの上を通るよう、ユーザはバーコードの交差方向へわたる線分を指定する。ユーザはバーコードの左端をマウスクリックし(１点目)、次にバーコードの右端をマウスクリック(２点目)する。この場合、範囲データは線分データであり、線分を特定する２つの端点の座標値である。コード図形が２次元コードの場合は、図４Ｂに示すように全ての２次元コードが範囲内に収まるように、ユーザは２次元コードの左下(１点目)と右上(２点目)をマウスクリックする。この場合、範囲データは矩形データ、矩形を特定する１対の対頂点の座標値である。バーコード又は２次元コードの表示範囲が指定できるのであれば、上記の指定方法以外でもよい。制御部１１はユーザが指定したコード図形の範囲データを取得する（ステップＳ３）。制御部１１は処理対象とするレイヤを選択する（ステップＳ４）。制御部１１は選択したレイヤのフォトマスクデータと範囲データから、指定範囲内のコードを形成する図形データを抽出しコードを解読する（ステップＳ５）。なお、コード解読に使用するコード形状は、表示部１６に表示している形状ではなく、データ読込部から出力された図形の配置座標をもとにコード形状を認識する。制御部１１は解読して得たテキストデータを主記憶部１２や補助記憶部１３に設けた一時領域にレイヤ番号と対応付けて記憶する（ステップＳ６）。制御部１１は未処理のレイヤがあるか否か判定する（ステップＳ７）。制御部１１は未処理のレイヤがあると判定した場合（ステップＳ７でＹＥＳ）、処理をステップＳ４に戻し、未処理レイヤに対する処理を行なう。制御部１１は未処理のレイヤがないと判定した場合（ステップＳ７でＮＯ）、一時領域に記憶してあるテキストデータをレイヤ番号と対応付けて、表示部１６に表示する（ステップＳＳ８）。制御部１１は処理を終了する。なお、表示部１６にコード図形の配置座標、すなわち、コード図形の範囲データを表示してもよい。 Next, information processing performed by the display confirmation device 1 will be described using a flowchart. FIG. 3 is a flow chart showing an example of the procedure of main processing. FIG. 4 is an explanatory diagram showing a method of specifying a range. The user inputs or selects photomask data to be confirmed via the input unit 15 of the display confirmation device 1 . The control unit 11 of the display confirmation device 1 reads photomask data from the photomask DB 131 (step S1). Based on the control program 1P, the control section 11 displays the photomask data on the display section 16 (step S2). Specifically, the control unit 11 extracts pattern graphic data and code graphic data for each layer from the read photomask data. The control unit 11 draws the extracted pattern figures and code figures of all layers with the frame line type, fill color, and display magnification (enlargement/reduction) set by the user, and displays them on the display of the display unit 16. do. The user designates the display range of the code figure displayed on the display using the input unit 15 such as a mouse. Specifically, as shown in FIG. 4A, when the code graphic is a barcode, the user designates a line segment crossing the barcode so as to pass over all the barcodes. The user clicks the mouse on the left end of the barcode (first point) and then mouse-clicks on the right end of the barcode (second point). In this case, the range data is line segment data, and is the coordinate values of the two end points that specify the line segment. When the code figure is a two-dimensional code, the user moves the mouse over the lower left (first point) and upper right (second point) of the two-dimensional code so that all the two-dimensional codes are within the range as shown in FIG. 4B. click. In this case, the range data is rectangular data, and the coordinate values of a pair of paired vertices that specify the rectangle. As long as the display range of the bar code or two-dimensional code can be specified, a specification method other than the above may be used. The control unit 11 acquires the range data of the code figure designated by the user (step S3). The control unit 11 selects a layer to be processed (step S4). The control unit 11 extracts the graphic data forming the code within the specified range from the photomask data and range data of the selected layer, and decodes the code (step S5). Note that the code shape used for code decoding is not the shape displayed on the display unit 16, but the code shape is recognized based on the arrangement coordinates of the figure output from the data reading unit. The control unit 11 stores the decoded text data in a temporary area provided in the main storage unit 12 or the auxiliary storage unit 13 in association with the layer number (step S6). The control unit 11 determines whether or not there is an unprocessed layer (step S7). When the control unit 11 determines that there is an unprocessed layer (YES in step S7), the process returns to step S4, and the unprocessed layer is processed. When the control unit 11 determines that there is no unprocessed layer (NO in step S7), the text data stored in the temporary area is associated with the layer number and displayed on the display unit 16 (step SS8). The control unit 11 ends the processing. The display unit 16 may display the arrangement coordinates of the code figure, that is, the range data of the code figure.

図５は表示画面の例を示す説明図である。図５Ａに示す例では、表示確認装置１は、コード図形ＣＤをユーザが指定した範囲に応じて拡大表示している。そして、表示確認装置１は、コードの解読結果であるテキストをテキストボックスＴＢにて、表示している。図５Ｂに示す例では、表示確認装置１は、パターン図形を全体表示できる縮尺で表示している。そのため、表示確認装置１は、コード図形ＣＤは縮小表示している。しかし、上述した処理を行なうことにより、表示確認装置１は、テキストボックスＴＢに示すコードの解読結果を表示することが可能である。 FIG. 5 is an explanatory diagram showing an example of a display screen. In the example shown in FIG. 5A, the display confirmation device 1 enlarges and displays the code figure CD according to the range specified by the user. Then, the display confirmation device 1 displays the text, which is the decoding result of the code, in the text box TB. In the example shown in FIG. 5B, the display confirmation device 1 displays the pattern graphic at a scale that allows the entire pattern to be displayed. Therefore, the display confirmation device 1 displays the code figure CD in a reduced size. However, by performing the processing described above, the display confirmation device 1 can display the decoding result of the code shown in the text box TB.

以上で説明した実施の形態によれば、物理的なバーコードリーダを表示確認装置１の表示部１６にかざしてコード図形を読み取る必要が無い。また、表示部１６の画面サイズ、表示されるコード図形の大きさ、画面の明るさ等に影響されずに、コード図形を確実に読み取ることが可能である。例えば、パターン図形を全体表示するため縮小表示した場合、コード図形が潰れてしまい、バーコードリーダで読み取ったコード図形では、コードの解読ができないときがある。しかし、本実施の形態では、コード図形の表示範囲に基づいて、表示縮尺とは関係なく、データ読込部１１ａが読み込んだフォトマスクデータ内の各図形の配置座標からコードの形状を認識し、コード解読を行なうので、コード図形の解読を確実に行うことが可能である。 According to the embodiment described above, there is no need to hold a physical barcode reader over the display unit 16 of the display confirmation device 1 to read the code figure. In addition, the code figure can be reliably read without being affected by the screen size of the display unit 16, the size of the displayed code figure, the brightness of the screen, and the like. For example, when the pattern figure is displayed in a reduced size to display the entire pattern figure, the code figure may be distorted, and the code may not be decoded by the code figure read by the bar code reader. However, in this embodiment, the shape of the code is recognized from the arrangement coordinates of each figure in the photomask data read by the data reading unit 11a based on the display range of the code figure, regardless of the display scale. Since decoding is performed, it is possible to reliably decode the code figure.

さらに、複数のレイヤで構成されているフォトマスクデータにおいて、レイヤごとに管理番号等の情報を示すコード図形が存在する場合に、一度の操作で全てのレイヤのコード図形の解読を行い、解読結果を表示することが可能である。従来は、複数レイヤのコード図形が重なって表示されている場合、下のレイヤのコード図形は上のレイヤのコード図形に隠れているため、全レイヤのコード図形をまとめてバーコードリーダで読み取り、解読しようとしても、解読できないことがある。しかし、本実施の形態では、１つずつレイヤを取り出し、コード図形の解読を行うので、コード図形の解読を確実に行うことが可能である。 Furthermore, in photomask data composed of multiple layers, if there is a code figure indicating information such as a control number for each layer, the code figure of all layers can be decoded in one operation, and the decoding result can be obtained. can be displayed. Conventionally, when multiple layers of code graphics are displayed overlapping, the code graphics of the lower layer are hidden by the code graphics of the upper layer, so the code graphics of all layers are read together with a barcode reader, Even if you try to decipher it, you may not be able to decipher it. However, in this embodiment, since the code graphics are decoded by taking out layers one by one, it is possible to reliably decode the code graphics.

上述の説明において、ユーザがコード図形の表示範囲を指定する理由は以下のとおりである。大量のパターン図形を含むような広い範囲を解読対象とすると、範囲内からコード図形を探すための処理時間が長くなってしまう。そのため、ユーザに範囲を指定してもらうことで処理時間の短縮を図っている。表示確認装置１の処理能力が十分高く、広い範囲を指定しても、適切な処理時間で処理可能であれば、ユーザによる表示範囲の指定を省略してもよい。コード図形の配置が常に同じである場合や、限られた複数配置のいずれである場合も、ユーザによる表示範囲の指定を省略可能である。 The reason why the user designates the display range of the code figure in the above description is as follows. If a wide range including a large number of pattern figures is to be decoded, it takes a long time to search for code figures within the range. Therefore, the processing time is shortened by asking the user to specify the range. If the processing capability of the display confirmation device 1 is sufficiently high and a wide range can be specified in an appropriate processing time, the specification of the display range by the user may be omitted. It is possible to omit the designation of the display range by the user, regardless of whether the arrangement of the code figures is always the same or in the case of a limited number of arrangements.

本実施形態では、データ読込部１１ａが読み込んだフォトマスクデータ内の各図形の配置座標からコードの形状を認識しコード解析するが、それに限らない。データ読込部１１ａが読み込んだフォトマスクデータ内の各図形の配置座標から画像を生成し、生成した画像からコードの形状を認識しコード解析してもよい。 In this embodiment, the code analysis is performed by recognizing the shape of the code from the arrangement coordinates of each figure in the photomask data read by the data reading unit 11a, but the present invention is not limited to this. An image may be generated from the arrangement coordinates of each figure in the photomask data read by the data reading unit 11a, the shape of the code may be recognized from the generated image, and the code may be analyzed.

各実施の形態で記載されている技術的特徴（構成要件）はお互いに組み合わせ可能であり、組み合わせすることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The technical features (components) described in each embodiment can be combined with each other, and new technical features can be formed by combining them.
The embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and should not be considered restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above-described meaning, and is intended to include all modifications within the scope and meaning equivalent to the scope of the claims.

１ 表示確認装置
１Ｐ 制御プログラム
１ａ 可搬型記憶媒体
１ｂ 半導体メモリ
１１ 制御部
１１ａ データ読込部
１１ｂ 図形表示制御部
１１ｃ 範囲指定部
１１ｄ コード解読部
１１ｅ テキスト表示制御部
１２ 主記憶部
１３ 補助記憶部
１３１ フォトマスクＤＢ
１４ ＶＲＡＭ
１５ 入力部
１６ 表示部
１７ 通信部
１８ 読み取り部
Ｂ バス REFERENCE SIGNS LIST 1 display confirmation device 1P control program 1a portable storage medium 1b semiconductor memory 11 control unit 11a data reading unit 11b graphic display control unit 11c range designation unit 11d code decoding unit 11e text display control unit 12 main storage unit 13 auxiliary storage unit 131 photo Mask database
14 VRAMs
15 input section 16 display section 17 communication section 18 reading section B bus

Claims (8)

フォトマスクデータを読み込み、
前記フォトマスクデータに含まれるパターン図形、及び、コードの表示画像を出力し、
前記表示画像における前記コードの表示範囲を示す範囲データを取得し、
前記範囲データに基づき、前記コードが示す内容を解読し、
解読した内容を出力する
処理をコンピュータに行わせることを特徴とする出力プログラム。 read the photomask data,
outputting a display image of a pattern figure and a code included in the photomask data;
acquiring range data indicating the display range of the code in the display image;
decipher what the code indicates based on the range data;
An output program characterized by causing a computer to perform processing for outputting decrypted content. 前記フォトマスクデータでは、それぞれ前記パターン図形、及び、前記コードを含む複数のレイヤデータを含み、
各レイヤにつき、前記範囲データに基づき、前記コードが示す内容を解読し、
各レイヤした内容を表示出力する
ことを特徴とする請求項１に記載の出力プログラム。 The photomask data includes a plurality of layer data each including the pattern figure and the code,
For each layer, decipher what the code indicates based on the range data;
2. The output program according to claim 1, wherein each layered content is displayed and output. 前記コードはバーコードであり、前記範囲データは、前記コードの交差方向に沿った線分データである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の出力プログラム。 3. The output program according to claim 1, wherein the code is a bar code, and the range data is line segment data along the crossing direction of the code. 前記線分データは２つの端点の座標値である
ことを特徴とする請求項３に記載の出力プログラム。 4. The output program according to claim 3, wherein the line segment data are coordinate values of two endpoints. 前記コードは２次元コードであり、前記範囲データは、前記コードを囲む矩形データである
ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の出力プログラム。 3. The output program according to claim 1, wherein said code is a two-dimensional code, and said range data is rectangular data surrounding said code. 前記範囲データは、矩形の対頂点の座標値である
ことを特徴とする請求項５に記載の出力プログラム。 6. The output program according to claim 5, wherein the range data are coordinate values of opposite vertices of a rectangle. フォトマスクデータを読み込む読込部と、
前記フォトマスクデータに含まれるパターン図形、及び、コードの表示画像を出力する第１出力部と、
前記表示画像における前記コードの表示範囲を示す範囲データを取得する取得部と、
前記範囲データに基づき、前記コードが示す内容を解読する解読部と、
解読した内容を出力する第２出力部と
を備えることを特徴とする出力装置。 a reading unit for reading photomask data;
a first output unit that outputs a display image of a pattern figure and a code included in the photomask data;
an acquisition unit that acquires range data indicating a display range of the code in the display image;
a decoding unit that decodes the content indicated by the code based on the range data;
and a second output unit for outputting decrypted content. フォトマスクデータを読み込み、
前記フォトマスクデータに含まれるパターン図形、及び、コードの表示画像を出力し、
前記表示画像における前記コードの表示範囲を示す範囲データを取得し、
前記範囲データに基づき、前記コードが示す内容を解読し、
解読した内容を出力する
処理をコンピュータが行うことを特徴とする出力方法。 read the photomask data,
outputting a display image of a pattern figure and a code included in the photomask data;
acquiring range data indicating the display range of the code in the display image;
decipher what the code indicates based on the range data;
An output method characterized in that a computer performs the process of outputting the decrypted content.

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