JP2023056342A - Probe conveying device - Google Patents

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政宣 廣瀬
Masanori Hirose
雅之 岡田
Masayuki Okada
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Abstract

To provide a probe conveying device that may rotate a probe in a state where a central axis of the probe matches a central axis of a static magnetic field generator.SOLUTION: A stage 40 on which a probe 14 is placed is connected to a movable portion. A rotation mechanism 56 is provided over a fixed portion and the movable portion. The rotation mechanism 56 has a contact mechanism 50 and a rotating plate 54. The rotating plate 54 has a convex side surface 54A. The contact mechanism 50 has a pair of rollers 72 and 74 in contact with the side surface 54A. The rotation mechanism 56 may rotate the probe 14 while matching a central axis C1 of the probe 14 to a central axis C of a static magnetic field generator.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、プローブ搬送装置に関し、特に、静磁場発生器へのプローブの取り付けを支援するプローブ搬送装置に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a probe carrier, and more particularly to a probe carrier that assists in attaching a probe to a static magnetic field generator.

NMR測定システムは、試料中の観測核にNMR(核磁気共鳴:Nuclear Magnetic Resonance)を生じさせ、そのNMRを観測するシステムである。NMR測定システムは、分光計、静磁場発生器、及び、NMR測定用プローブ(以下、単にプローブという。)を有する。プローブは、検出回路を備えた挿入部、及び、挿入部に連結された基部を有する。 An NMR measurement system is a system that causes observation nuclei in a sample to generate NMR (Nuclear Magnetic Resonance) and observes the NMR. The NMR measurement system has a spectrometer, a static magnetic field generator, and an NMR measurement probe (hereinafter simply referred to as probe). The probe has an insert with detection circuitry and a base coupled to the insert.

プローブの一種として冷却型プローブが知られている。冷却型プローブ内に冷媒が流され、冷媒によって検出回路やプリアンプ等が冷却される。冷却型プローブにおいては、基部に対して冷媒供給用の配管、冷媒排出用の配管、プローブ内部を真空にするための接続口、等が設けられている。それらの部材は、通常、基部から水平方向へ突出している。 A cooled probe is known as one type of probe. A coolant is passed through the cooled probe, and the coolant cools the detection circuit, the preamplifier, and the like. In the cooled probe, a pipe for supplying a coolant, a pipe for discharging the coolant, a connection port for evacuating the inside of the probe, and the like are provided to the base. These members generally project horizontally from the base.

静磁場発生器の本体の下側には、複数の脚や複数の構造物が設けられている。それらに対して挿入部が衝突しないようにプローブが静磁場発生器の下部空間に差し込まれ、続いて、プローブが上方へ持ち上げられ、これにより挿入部が静磁場発生器内に挿入される。その挿入後、基部が静磁場発生器に対して取り付けられる。 A plurality of legs and a plurality of structures are provided under the main body of the static magnetic field generator. The probes are inserted into the lower space of the static magnetic field generator so that the insertion section does not collide against them, and then the probe is lifted upward, thereby inserting the insertion section into the static magnetic field generator. After its insertion, the base is attached to the static magnetic field generator.

プローブを取り付ける作業をすべて手作業で行うと、作業者に負担が生じる。特に、冷却型プローブはかなり重く、しかも基部から複数の部材が突出しているので、冷却型プローブを静磁場発生器に取り付ける際には、作業者にかなり大きな負担が生じる。プローブの取り付け作業を支援するためにプローブ搬送装置が提供されている。プローブ搬送装置は、プローブを水平方向及び垂直方向に搬送するものである。 If all the work of attaching the probe is performed manually, a burden is imposed on the worker. In particular, since the cooled probe is quite heavy and a plurality of members protrude from the base, attaching the cooled probe to the static magnetic field generator imposes a considerable burden on the operator. A probe carrier is provided to assist in the probe installation process. The probe transport device transports probes horizontally and vertically.

一般に、プローブの基部には、水平方向に突出した一対の突出片が設けられている。一対の突出片には、それぞれ、取付穴が形成されている。各取付穴は、大きな円形開口とそれに連なる細長開口とからなる。静磁場発生器の下面に対して基部を取り付ける際に、まず、一対の円形開口に対して、静磁場発生器に取り付けられている又は取り付けられる一対のボルトが差し込まれた上で、静磁場発生器の中心軸周りにおいてプローブが回転され、一対の細長開口の端部に一対のボルトが送り込まれる。その状態において各ボルトが締め付けられる。これにより基部が静磁場発生器に固定される。 In general, the base of the probe is provided with a pair of horizontally projecting pieces. A mounting hole is formed in each of the pair of protruding pieces. Each mounting hole consists of a large circular opening followed by an elongated opening. When attaching the base to the bottom surface of the static magnetic field generator, first, a pair of bolts attached or to be attached to the static magnetic field generator are inserted into the pair of circular openings, and then the static magnetic field generating A probe is rotated about the central axis of the instrument and a pair of bolts are fed into the ends of a pair of elongated openings. Each bolt is tightened in that state. This secures the base to the static magnetic field generator.

以上のように、プローブを固定する際にプローブを回転させる必要がある。また、プローブの取り付け過程において、基部から伸びる複数の部材が構造物に衝突しないようにするためプローブの回転が必要になることもある。それら以外の理由からプローブの回転が必要になることもある。このように、プローブの設置時には、様々な理由から、静磁場発生器の中心軸周りにおいてプローブを回転させることが必要となる。 As described above, it is necessary to rotate the probe when fixing the probe. Also, during the mounting process of the probe, it may be necessary to rotate the probe to prevent the members extending from the base from colliding with the structure. Rotation of the probe may be required for other reasons. Thus, when installing the probe, it is necessary to rotate the probe around the central axis of the static magnetic field generator for various reasons.

特許文献1~3には、プローブを静磁場発生器に対して取り付ける際に利用されるプローブ搬送装置が開示されている。しかし、特許文献1~3に開示されたプローブ搬送装置は、静磁場発生器の中心軸に対してプローブの中心軸を合わせる機能やそれらの中心軸を一致させた状態においてプローブを回転させる機能を有していない。 Patent Literatures 1 to 3 disclose a probe transport device used when attaching a probe to a static magnetic field generator. However, the probe transport devices disclosed in Patent Documents 1 to 3 have the function of aligning the center axis of the probe with the center axis of the static magnetic field generator and the function of rotating the probe in a state where the center axes are aligned. do not have

特開2015-99037号公報JP 2015-99037 A 特開平7-120543号公報JP-A-7-120543 特開2021-51012号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2021-51012

本発明の目的は、静磁場発生器に対してプローブを取り付ける作業を支援することにある。あるいは、本発明の目的は、静磁場発生器の中心軸に対してプローブの中心軸が一致した状態においてプローブを回転させ得るプローブ搬送装置を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to assist the work of attaching a probe to a static magnetic field generator. Alternatively, it is an object of the present invention to provide a probe transporting device capable of rotating the probe in a state in which the center axis of the probe is aligned with the center axis of the static magnetic field generator.

本発明に係るプローブ搬送装置は、NMR測定用のプローブを載せたステージと、静磁場発生器の中心軸と前記プローブの中心軸を一致させつつ前記ステージを回転させる回転機構と、を含むことを特徴とする。 A probe transport apparatus according to the present invention includes a stage on which an NMR measurement probe is placed, and a rotating mechanism that rotates the stage while aligning the central axis of a static magnetic field generator and the central axis of the probe. Characterized by

本発明によれば、静磁場発生器に対してプローブを取り付ける作業を支援できる。あるいは、本発明によれば、静磁場発生器の中心軸に対してプローブの中心軸が一致した状態においてプローブを回転させ得る。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the operation|work which attaches a probe with respect to a static magnetic field generator can be assisted. Alternatively, according to the present invention, the probe can be rotated with the central axis of the probe aligned with the central axis of the static magnetic field generator.

実施形態に係るプローブ搬送装置を模式的に示す側面図である。It is a side view which shows typically the probe conveying apparatus which concerns on embodiment. 実施形態に係るプローブ搬送装置を模式的に示す上面図である。It is a top view which shows typically the probe conveying apparatus which concerns on embodiment. 静磁場発生器に対するプローブの回転を示す図である。FIG. 10 illustrates rotation of the probe with respect to the static magnetic field generator; プローブ搬送装置の実施例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the Example of a probe conveying apparatus. 図4に示した実施例の一部を示す拡大斜視図である。Figure 5 is an enlarged perspective view of a portion of the embodiment shown in Figure 4; ドッキング前の状態を示す図である。It is a figure which shows the state before docking. 送り込み前の状態を示す図である。It is a figure which shows the state before sending. 送り込み後の状態を示す図である。It is a figure which shows the state after sending. ドッキング状態を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a docked state; 実施形態に係るプローブ搬送装置の使用方法を示すフローチャートである。It is a flow chart which shows the usage method of the probe conveying device concerning an embodiment. プローブ搬送装置の変形例を示す上面図である。It is a top view which shows the modification of a probe conveying apparatus.

以下、実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments will be described based on the drawings.

(1)実施形態の概要
実施形態に係るプローブ搬送装置は、ステージ及び回転機構を有する。ステージにはNMR測定用のプローブが載せられる。回転機構は、静磁場発生器の中心軸とプローブの中心軸を一致させつつステージを回転させるための機構である。
(1) Outline of Embodiment A probe transport device according to an embodiment has a stage and a rotation mechanism. A probe for NMR measurement is placed on the stage. The rotating mechanism is a mechanism for rotating the stage while aligning the central axis of the static magnetic field generator and the central axis of the probe.

上記構成によれば、プローブ搬送装置に回転機構が設けられているので、静磁場発生器の中心軸とプローブの中心軸を一致させつつステージを回転させることが可能となる。これにより、プローブ取付作業をより安全に且つより簡便に行える。 According to the above configuration, since the probe transport device is provided with the rotation mechanism, it is possible to rotate the stage while aligning the central axis of the static magnetic field generator and the central axis of the probe. As a result, the probe mounting work can be performed more safely and easily.

実施形態においては、ステージの上昇前、上昇途中、及び、上昇後の少なくとも1つのタイミングにおいて回転機構を動作させ得る。ステージを回転させても、静磁場発生器の中心軸とプローブの中心軸を一致させた状態を維持できるので、ステージの回転後にステージの水平方向の位置決めを行う必要はなく、あるいは、静磁場発生器に挿入されている挿入部を保護できる。プローブ搬送装置が静磁場発生器、床面等に対して固定されてもよい。プローブ搬送装置は、プローブ取り外し時においても使用され得る。 In the embodiment, the rotation mechanism can be operated at least one timing before, during, and after the stage is raised. Even if the stage is rotated, the center axis of the static magnetic field generator and the center axis of the probe can be kept aligned. It can protect the insertion part inserted in the instrument. The probe carrier may be fixed relative to the static magnetic field generator, floor, or the like. The probe carrier can also be used when the probe is removed.

実施形態において、回転機構は、静磁場発生器の中心軸の周りにおいて一定曲率で湾曲した湾曲面と、湾曲面に接触しながら湾曲面に沿って相対運動する接触部材と、を含む。この構成によれば、スムーズな回転動作を得られる。湾曲面は円弧面であり、レール又は軌道手段として機能する。湾曲面を運動させる方式及び接触部材を運動させる方式を選択的に採用し得る。 In an embodiment, the rotating mechanism includes a curved surface curved at a constant curvature around the central axis of the static magnetic field generator, and a contact member that relatively moves along the curved surface while being in contact with the curved surface. With this configuration, smooth rotation can be obtained. The curved surface is an arcuate surface and functions as a rail or track means. A method of moving the curved surface and a method of moving the contact member can be selectively adopted.

実施形態において、プローブ搬送装置は、静磁場発生器に固定された固定部と、ステージを備え、固定部に保持される可動部と、を含む。湾曲面は、固定部及び可動部の内の一方に設けられ、接触部材は、固定部及び可動部の内の他方に設けられる。プローブ搬送装置を静磁場発生器に固定すれば、静磁場発生器の中心軸とプローブの中心軸を容易に一致させることが可能となる。プローブ搬送装置に対し、固定部の位置や向きを調整する機構を付加してもよい。 In an embodiment, the probe transport device includes a stationary part fixed to the static magnetic field generator, and a movable part having a stage and held by the stationary part. The curved surface is provided on one of the fixed portion and the movable portion, and the contact member is provided on the other of the fixed portion and the movable portion. By fixing the probe transport device to the static magnetic field generator, it becomes possible to easily match the central axis of the static magnetic field generator and the central axis of the probe. A mechanism for adjusting the position and orientation of the fixed portion may be added to the probe transport device.

実施形態において、湾曲面は、可動部に設けられた凸面である。接触部材は、固定部に設けられ凸面に接触する複数のローラーである。可動部が静磁場発生器の中心軸の周りで回転する。凸面は円筒面である。複数のローラーとして、少なくとも2つのローラーが設けられる。複数のローラーを湾曲面に接触させれば、湾曲面の運動時において生じる摩擦抵抗を低減し得る。固定部に湾曲面としての凹面を設け、可動部に複数のローラーを設け、凹面に対して複数のローラーを接触させてもよい。円弧状の溝に沿ってスライダを運動させてもよい。湾曲したレールに沿ってスライダを運動させてもよい。このように、回転機構として多様な構成を採用し得る。いずれの構成を採用する場合においても、少なくとも1つの湾曲面が機能する。 In an embodiment, the curved surface is a convex surface provided on the movable portion. The contact members are a plurality of rollers provided on the fixed portion and contacting the convex surface. A movable part rotates around the central axis of the static magnetic field generator. A convex surface is a cylindrical surface. At least two rollers are provided as the plurality of rollers. If a plurality of rollers are brought into contact with the curved surface, it is possible to reduce the frictional resistance generated during movement of the curved surface. The fixed portion may be provided with a concave surface as a curved surface, the movable portion may be provided with a plurality of rollers, and the plurality of rollers may be brought into contact with the concave surface. A slider may be moved along an arcuate groove. A slider may be moved along a curved rail. In this way, various configurations can be adopted as the rotation mechanism. At least one curved surface functions in any configuration.

実施形態において、可動部は凸面を有する回転板を有する。回転板の下面には複数のキャスタが設けられている。複数のキャスタにより可動部を円滑に運動させ得る。 In embodiments, the movable part has a rotary plate with a convex surface. A plurality of casters are provided on the lower surface of the rotating plate. A plurality of casters allow the movable portion to move smoothly.

実施形態において、固定部は、静磁場発生器の脚に取り付けられる取付部材を含む。この構成によれば、静磁場発生器とプローブ搬送装置の位置関係を容易に適正化できる。プローブの搬送の完了後、脚から取付部材を取り外してもよいし、脚に対して取付部材を取り付けたままにしておいてもよい。 In embodiments, the fixed part includes a mounting member attached to a leg of the static magnetic field generator. With this configuration, it is possible to easily optimize the positional relationship between the static magnetic field generator and the probe transport device. After delivery of the probe is complete, the mounting members may be removed from the legs, or the mounting members may remain attached to the legs.

実施形態に係るプローブ搬送装置は、静磁場発生器に取り付けられた本体と、本体に対してステージを着脱可能に連結させる連結機構と、を含む。この構成によれば、ステージを任意の場所に設置した上で、そのステージに対してプローブをセットすることが可能となる。ステージの水平運動を容易化するためにステージの底面に低摩擦部材や複数のキャスタを設けてもよい。 A probe transport device according to an embodiment includes a main body attached to a static magnetic field generator, and a connection mechanism that detachably connects a stage to the main body. According to this configuration, it is possible to install the stage at an arbitrary location and then set the probe on the stage. A low-friction member or a plurality of casters may be provided on the bottom surface of the stage to facilitate horizontal movement of the stage.

実施形態において、本体は、ステージを垂直方向に搬送する垂直搬送機構を含む。回転機構により、ステージの上昇後にステージを回転させ得る。実施形態において、プローブは冷却型プローブである。プローブは、静磁場発生器の中に挿入される挿入部と、静磁場発生器の外部に配置され、挿入部に連結された基部と、基部から水平方向に突出した1又は複数の構造物と、を含む。 In embodiments, the body includes a vertical transport mechanism that transports the stage vertically. A rotation mechanism may rotate the stage after the stage is raised. In embodiments, the probe is a cooled probe. The probe includes an insertion section inserted into the static magnetic field generator, a base disposed outside the static magnetic field generator and connected to the insertion section, and one or more structures projecting horizontally from the base. ,including.

(2)実施形態の詳細
図1には、実施形態に係るプローブ搬送装置10が模式的に示されている。プローブ搬送装置10は、静磁場発生器12に対してNMR測定用のプローブ14を取り付ける際にその取付作業を支援するための装置である。プローブ搬送装置10は、静磁場発生器12からプローブ14を取り外す際にも用いられる。静磁場発生器12及びプローブ14は、NMR測定システムの一部を構成するものである。なお、図1において、x方向は第1水平方向であり、z方向は垂直方向である。x方向とz方向に直交するy方向が第2水平方向である。
(2) Details of Embodiment FIG. 1 schematically shows a probe transport device 10 according to an embodiment. The probe transport device 10 is a device for supporting the mounting work when mounting the probe 14 for NMR measurement to the static magnetic field generator 12 . The probe carrier 10 is also used when removing the probe 14 from the static magnetic field generator 12 . The static magnetic field generator 12 and probe 14 form part of an NMR measurement system. In FIG. 1, the x direction is the first horizontal direction and the z direction is the vertical direction. The y-direction orthogonal to the x-direction and the z-direction is the second horizontal direction.

静磁場発生器12は、超電導マグネットを収容した本体13、及び、複数の脚24,26,28を有する。各脚24,26,28は支柱である。本体13は垂直貫通孔としてのボア13Aを有する。ボア13Aの中心軸が静磁場発生器12の中心軸Cである。 The static magnetic field generator 12 has a main body 13 containing a superconducting magnet and a plurality of legs 24,26,28. Each leg 24, 26, 28 is a strut. The body 13 has a bore 13A as a vertical through hole. The central axis of the bore 13A is the central axis C of the static magnetic field generator 12. As shown in FIG.

静磁場発生器12にはシムユニット30が配置される。シムユニット30は、静磁場不均一性を改善するために静磁場に対して補正磁場を加える装置である。シムユニット30は、シムコイル30A及びフランジ30Bを有する。シムコイル30Aは、円筒状の形態を有し、それは複数のコイルにより構成される。フランジ30Bは、本体13の下側において水平方向に広がっている鍔状の部材である。シムユニット30は、垂直貫通孔としての空洞を有している。 A shim unit 30 is arranged in the static magnetic field generator 12 . The shim unit 30 is a device that applies a correction magnetic field to the static magnetic field in order to improve static magnetic field inhomogeneity. The shim unit 30 has a shim coil 30A and a flange 30B. The shim coil 30A has a cylindrical shape and is composed of a plurality of coils. The flange 30B is a brim-shaped member extending horizontally on the lower side of the main body 13 . The shim unit 30 has a cavity as a vertical through hole.

複数の脚24,26,28は、ベース板18上に固定されている。ベース板18は床20上に配置されている。ベース板18と床20とに跨って設けられている防振構造体についてはその図示が省略されている。脚24,26,28は、上方から見て、円周方向に沿って120度間隔で並んでいる。各脚24,26,28の水平断面は円形である。各脚24,26,28の水平断面を円形以外の形状、例えば矩形としてもよい。 A plurality of legs 24 , 26 , 28 are fixed on the base plate 18 . Base plate 18 is arranged on floor 20 . The illustration of the anti-vibration structure provided across the base plate 18 and the floor 20 is omitted. The legs 24, 26, 28 are arranged circumferentially at intervals of 120 degrees when viewed from above. The horizontal cross section of each leg 24, 26, 28 is circular. The horizontal cross-section of each leg 24, 26, 28 may be of a shape other than circular, such as rectangular.

プローブ14は、棒状の挿入部32及び箱状の基部34を有する。挿入部32は、ボア13A内に挿入される。具体的には、挿入部32は、シムユニット30が有する空洞内に挿入される。挿入部32は、検出回路を有する。検出回路は、電磁波を照射し電磁波を検出する検出コイルを有する。基部34内にはプリアンプが設けられている。プリアンプが挿入部32内に設けられてもよい。プローブ14の内部は真空に維持されている。プローブ14の内部を冷媒が循環しており、冷媒によって検出コイルやプリアンプが冷却されている。 The probe 14 has a rod-shaped insertion portion 32 and a box-shaped base portion 34 . The insertion portion 32 is inserted into the bore 13A. Specifically, the insertion portion 32 is inserted into the cavity of the shim unit 30 . The insertion section 32 has a detection circuit. The detection circuit has a detection coil that emits electromagnetic waves and detects the electromagnetic waves. A preamplifier is provided within the base 34 . A preamplifier may be provided within the insert 32 . The interior of probe 14 is maintained in a vacuum. A coolant circulates inside the probe 14, and the coolant cools the detection coil and the preamplifier.

基部34は、静磁場発生器12の下側に配置される。基部34には、水平方向に突出した複数の構造物が設けられている。それらには、サイドアーム36が含まれる。サイドアーム36には冷媒循環用の配管が含まれる。 The base 34 is arranged below the static magnetic field generator 12 . The base 34 is provided with a plurality of structures protruding in the horizontal direction. They include side arms 36 . The side arm 36 includes piping for refrigerant circulation.

プローブ搬送装置10は、本体38及びステージ40を有する。本体38に対してステージ40が着脱可能に連結される。本体38は、固定部42及び可動部44により構成される。固定部42は脚24に取り付けられている。可動部44は固定部42に対して運動可能なものである。具体的には、可動部44に対してプローブ14を搭載したステージ40が連結された状態において、可動部44を回転させ得る。連結状態つまりドッキング状態において、静磁場発生器12の中心軸Cに対してプローブ14の中心軸C1が一致する。その一致状態を維持しつつ可動部44を回転させるために、回転機構56が設けられている。 The probe carrier 10 has a main body 38 and a stage 40 . A stage 40 is detachably connected to the main body 38 . The body 38 is composed of a fixed portion 42 and a movable portion 44 . A fixed portion 42 is attached to the leg 24 . The movable portion 44 is movable with respect to the fixed portion 42 . Specifically, the movable portion 44 can be rotated while the stage 40 on which the probe 14 is mounted is connected to the movable portion 44 . The central axis C1 of the probe 14 coincides with the central axis C of the static magnetic field generator 12 in the connected state, that is, in the docked state. A rotating mechanism 56 is provided to rotate the movable portion 44 while maintaining the matching state.

回転機構56は、固定部42及び可動部44に跨って設けられている。具体的には、回転機構56は、固定部42の一部をなす接触機構50と、可動部44の一部をなす回転板54と、を有する。回転機構56の具体的な構成については後に詳述する。 The rotation mechanism 56 is provided across the fixed portion 42 and the movable portion 44 . Specifically, the rotating mechanism 56 has a contact mechanism 50 forming part of the fixed portion 42 and a rotating plate 54 forming part of the movable portion 44 . A specific configuration of the rotation mechanism 56 will be described in detail later.

固定部42は、脚24に着脱可能に取り付けられる取付部材46を有している。取付部材46は、固定部42の位置及び向きを調整するための調整機構を備えている。調整機構を操作することにより、静磁場発生器12の中心軸Cとプローブ14の中心軸C1とを一致させ得る。その上で、固定部42の位置及び向きがロックされる。可動部44は、回転板54の他、ドッキング用の構造物、昇降機構52、等を備えている。 The fixed portion 42 has an attachment member 46 that is detachably attached to the leg 24 . The mounting member 46 has an adjusting mechanism for adjusting the position and orientation of the fixing portion 42 . By operating the adjustment mechanism, the central axis C of the static magnetic field generator 12 and the central axis C1 of the probe 14 can be aligned. Further, the position and orientation of the fixed portion 42 are locked. The movable portion 44 includes a docking structure, an elevating mechanism 52, and the like, in addition to the rotating plate 54. As shown in FIG.

図2は、プローブ搬送装置の上面を模式的に示す図である。取付部材46は、第1取付部材46A及び第2取付部材46Bにより構成される。第1取付部材46A及び第2取付部材46Bにより、脚24がクランプされる。回転機構56は、上述のように、接触機構50及び回転板54により構成される。 FIG. 2 is a diagram schematically showing the top surface of the probe transport device. The mounting member 46 is composed of a first mounting member 46A and a second mounting member 46B. The leg 24 is clamped by the first mounting member 46A and the second mounting member 46B. The rotating mechanism 56 is composed of the contact mechanism 50 and the rotating plate 54 as described above.

接触機構50は、水平板70及び一対のローラー72,74を有する。水平板70は第2取付部材46Bに固定されている。水平板70に対してローラー72が回転自在に設けられている。第2取付部材46Bにはアーム76が固定されており、アーム76の先端にローラー74が回転自在に設けられている。一対のローラー72,74は、回転板54の側面54Aに対して常に当接している。 The contact mechanism 50 has a horizontal plate 70 and a pair of rollers 72,74. The horizontal plate 70 is fixed to the second mounting member 46B. A roller 72 is rotatably provided with respect to the horizontal plate 70 . An arm 76 is fixed to the second mounting member 46B, and a roller 74 is rotatably provided at the tip of the arm 76 . A pair of rollers 72 and 74 are always in contact with the side surface 54A of the rotary plate 54 .

水平板70には円弧状のスリット78が形成されている。スリット78は、静磁場発生器の中心軸Cを曲率中心とした一定の曲率を有する。スリット78内をピンがスライド運動する。これにより、一対のローラー72,74と側面54Aとの間に所定の位置関係が生じている。ピンは可動部に固定された部材である。ピンの上部はノブ80である。ノブ80はハンドルとして機能する。ノブ80の操作により、可動部を回転運動させ得る。 An arc-shaped slit 78 is formed in the horizontal plate 70 . The slit 78 has a constant curvature centered on the central axis C of the static magnetic field generator. A pin slides in the slit 78 . This creates a predetermined positional relationship between the pair of rollers 72, 74 and the side surface 54A. A pin is a member fixed to the movable part. The top of the pin is knob 80 . Knob 80 functions as a handle. By operating the knob 80, the movable portion can be rotated.

回転板54は、上方から見て、半円状又は三日月状の形態を有する。その側面54Aは、静磁場発生器の中心軸Cを曲率中心とした一定の曲率を有する凸面つまり円筒面である。必要な回転角度範囲が得られるように、側面54Aの長さが定められ、また、スリット78の長さが定められている。回転板54の下面側には複数のキャスタ55が設けられている。各キャスタ55は、例えば、ボールキャスタである。複数のキャスタ55により、回転板54の回転時に生じる摩擦抵抗が大幅に低減されている。 The rotating plate 54 has a semicircular or crescent shape when viewed from above. The side surface 54A is a convex surface, that is, a cylindrical surface having a constant curvature centered on the central axis C of the static magnetic field generator. The length of the side surface 54A and the length of the slit 78 are determined so as to obtain the required rotation angle range. A plurality of casters 55 are provided on the lower surface side of the rotating plate 54 . Each caster 55 is, for example, a ball caster. A plurality of casters 55 significantly reduces the frictional resistance generated when the rotary plate 54 rotates.

図2においては、可動部に対してステージ40が連結された状態つまりドッキング状態が示されている。ステージ40上にプローブ14が載置されている。プローブ14は、挿入部32及び基部34を有する。挿入部32の中心軸がプローブ14の中心軸C1である。中心軸C1は、可動部の回転角度にかかわらず、静磁場発生器の中心軸Cに一致する。換言すれば、中心軸Cに中心軸C1を一致させた状態が維持されるように、回転機構56が可動部の回転を案内している。図2においては、中心軸Cを中心とする仮想円68が描かれている。側面54Aは円68に沿って形成された湾曲面つまり円弧面である。 FIG. 2 shows a state in which the stage 40 is connected to the movable portion, that is, a docked state. A probe 14 is placed on the stage 40 . The probe 14 has an insert portion 32 and a base portion 34 . The center axis of the insertion portion 32 is the center axis C1 of the probe 14 . The central axis C1 coincides with the central axis C of the static magnetic field generator regardless of the rotation angle of the movable portion. In other words, the rotation mechanism 56 guides the rotation of the movable portion so that the state in which the central axis C1 is aligned with the central axis C is maintained. In FIG. 2, a virtual circle 68 centered on the central axis C is drawn. Side 54A is a curved or arcuate surface formed along circle 68. As shown in FIG.

ステージ40は、基部34を収容しそれを安定的に保持する凹部を有する。基部34からサイドアーム36が伸長している。基部34には他の構造物も設けられているが、図2においては、それらの図示が省略されている。基部34の上部には、水平方向に突出した一対の突出片58,60が設けられている。各突出片58,60には、取付穴62,64が形成されている。図示の構成例では、各取付穴62,64は、大きな円形開口とそれに連なる細長開口とからなる。 The stage 40 has a recess that accommodates the base 34 and holds it stably. A side arm 36 extends from base 34 . Other structures are also provided on the base 34, but are omitted in FIG. A pair of horizontally projecting pieces 58 and 60 are provided on the upper portion of the base portion 34 . Mounting holes 62 and 64 are formed in the projecting pieces 58 and 60, respectively. In the illustrated configuration, each mounting hole 62, 64 consists of a large circular opening followed by an elongated opening.

プローブを静磁場発生器に取り付ける際には、ベース板18に隣接して補助板84が設けられる。補助板84上にステージ40が配置され、そのステージ40上にプローブが載せられる。その後、符号86で示すように、静磁場発生器の下側空間にステージ40が送り込まれ、ドッキング状態が形成される。 An auxiliary plate 84 is provided adjacent to the base plate 18 when attaching the probe to the static magnetic field generator. A stage 40 is arranged on the auxiliary plate 84 and a probe is placed on the stage 40 . After that, as indicated by reference numeral 86, the stage 40 is fed into the space below the static magnetic field generator to form a docking state.

図3には、静磁場発生器12の本体の下面13Bが示されている。プローブ14は上昇端にある。図示されるように、例えば、シムコイルユニットのフランジに設けられた2つのボルト88,90が2つの取付穴62,64における2つの円形開口に差し込まれる。その後、プローブ14を下方から見て時計周り方向へ回転させると(符号14Aを参照)、2つのボルトが2つの取付穴における細長開口の奥端部へ移動する。その後、2つのボルトが締め付けられる。これにより、静磁場発生器12に対してプローブ14が固定される。プローブ14の回転に際しては上述した回転機構が機能する。 In FIG. 3, the lower surface 13B of the body of the static magnetic field generator 12 is shown. Probe 14 is at the rising edge. As shown, for example, two bolts 88,90 on the flanges of the shim coil unit are inserted into two circular openings in the two mounting holes 62,64. Thereafter, when the probe 14 is rotated clockwise as viewed from below (see reference numeral 14A), the two bolts move to the far ends of the elongated openings in the two mounting holes. The two bolts are then tightened. This fixes the probe 14 to the static magnetic field generator 12 . The rotation mechanism described above functions when the probe 14 rotates.

次に、図4~図9を用いて、プローブ搬送装置の実施例について説明する。 Next, an embodiment of the probe transporting device will be described with reference to FIGS. 4 to 9. FIG.

図4において、プローブ搬送装置は、本体138及びステージ140を有する。本体138に対してステージ140が着脱可能に連結される。図4においては、連結前の状態が示されている。ステージ140にはプローブが搭載されていない。本体138は、固定部142及び可動部144により構成される。固定部142に対して可動部144が相対的に運動する。 In FIG. 4, the probe carrier has a main body 138 and a stage 140 . A stage 140 is detachably connected to the main body 138 . FIG. 4 shows the state before connection. Stage 140 is not mounted with a probe. The body 138 is composed of a fixed portion 142 and a movable portion 144 . The movable portion 144 moves relative to the fixed portion 142 .

固定部142は、取付部材146及び接触機構150を有する。取付部材146は脚124をクランプするための複数の部材からなる。接触機構150は、取付部材146に固定されている。接触機構150は、円弧状のスリット178を有する水平板170を備える。スリット178は、静磁場発生器の中心軸を中心とした一定の曲率を有する。接触機構150は、2つのローラーを有している。但し、図4においては、それらの内で一方のローラー174が示されている。ローラー174はアーム200に保持されている。 The fixed portion 142 has a mounting member 146 and a contact mechanism 150 . Mounting member 146 comprises a plurality of members for clamping leg 124 . Contact mechanism 150 is fixed to mounting member 146 . The contact mechanism 150 comprises a horizontal plate 170 having an arcuate slit 178 . The slit 178 has a constant curvature around the central axis of the static magnetic field generator. The contact mechanism 150 has two rollers. However, in FIG. 4, one of the rollers 174 is shown. Roller 174 is held by arm 200 .

可動部144は、回転板154及びドッキングブロック182を有する。回転板154は、凸面としての側面154Aを有している。側面154Aは、静磁場発生器の中心軸を曲率中心とする一定の曲率を有している。側面154Aに対して2つのローラー174が常に接触している。回転板154の下面には複数のキャスタが設けられている。 The movable portion 144 has a rotating plate 154 and a docking block 182 . The rotating plate 154 has a side surface 154A as a convex surface. The side surface 154A has a constant curvature centered on the central axis of the static magnetic field generator. Two rollers 174 are always in contact with side 154A. A plurality of casters are provided on the lower surface of the rotating plate 154 .

接触機構150及び回転板154により回転機構が構成される。接触機構150には、スリット178を有する水平板170が含まれる。スリット178内においてピンがスライド運動する。ピンは回転板154に対して間接的に固定されている。ピンの頭部にはノブ180Aが設けられている。ノブ180Aの操作により可動部に対して回転力が生じる。回転機構を駆動する駆動源を設けてもよい。回転機構により、静磁場発生器の中心軸に対してプローブの中心軸を一致させた状態を維持しつつ可動部を回転させることが可能となる。 A rotating mechanism is configured by the contact mechanism 150 and the rotating plate 154 . Contact mechanism 150 includes horizontal plate 170 having slit 178 . A pin slides within the slit 178 . The pin is indirectly fixed to the rotating plate 154 . A knob 180A is provided on the head of the pin. Operation of the knob 180A produces a rotational force on the movable portion. A drive source for driving the rotating mechanism may be provided. The rotating mechanism makes it possible to rotate the movable portion while maintaining the state in which the center axis of the probe is aligned with the center axis of the static magnetic field generator.

可動部には、昇降機構152及び連結機構202が含まれる。昇降機構152は垂直搬送機構であり、昇降機構152によりステージ140が上下方向に搬送される。連結機構202は、可動部に対してステージ140を着脱可能に連結するための機構である。ステージ140は、ステージ本体206及び垂直板208を有する。 The movable part includes the lifting mechanism 152 and the connecting mechanism 202 . The lifting mechanism 152 is a vertical transport mechanism, and the stage 140 is transported vertically by the lifting mechanism 152 . The connecting mechanism 202 is a mechanism for detachably connecting the stage 140 to the movable portion. Stage 140 has a stage body 206 and a vertical plate 208 .

連結機構202は、可動部に設けられた第1連結機構202A及びステージ140に設けられた第2連結機構202Bにより構成される。なお、2つのつまみ204の操作により、回転板154の下側に設けられた2つの弾性部材の高さを調整し得る。各弾性部材がベース板の表面に当たっている状態では、回転板154の運動が制限される。 The connecting mechanism 202 is composed of a first connecting mechanism 202A provided on the movable portion and a second connecting mechanism 202B provided on the stage 140. As shown in FIG. By operating the two knobs 204, the height of the two elastic members provided on the lower side of the rotary plate 154 can be adjusted. The movement of the rotating plate 154 is restricted when each elastic member is in contact with the surface of the base plate.

図5は、プローブ搬送装置の一部を示す拡大図である。既に説明したように、連結機構は、第1連結機構202A及び第2連結機構202Bにより構成される。連結機構は、ドッキング機構とも言い得る。第1連結機構202Aには、ドッキングブロック182に設けられた2つのネジ220A及び2つのピン222Aが含まれる。各ネジ220A及び各ピン222Aは、ステージ側へ突出している。また、第1連結機構202Aには、2つの台座226の側面に形成された2つの孔224Aが含まれる。 FIG. 5 is an enlarged view showing a part of the probe transport device. As already explained, the connecting mechanism is composed of the first connecting mechanism 202A and the second connecting mechanism 202B. The connecting mechanism can also be called a docking mechanism. The first coupling mechanism 202A includes two screws 220A and two pins 222A provided on the docking block 182. As shown in FIG. Each screw 220A and each pin 222A protrude toward the stage. The first coupling mechanism 202A also includes two holes 224A formed in the side surfaces of the two pedestals 226. As shown in FIG.

第2連結機構202Bには、垂直板208に形成された2つのネジ穴220B及び2つのピン穴222Bが含まれる。各ネジ穴220B及び各ピン穴222Bは、回転板154側を向いている。また、第2連結機構202Bには、2つのアーム228によって保持された2つのピン224Bが含まれる。2つのピン224Bは互いに向き合っており、各ピン224Bに対して互いに近付く方向へ弾性力が及んでいる。各ピン224Bの基端には、各ピン224Bを後退運動させる際に操作されるノブが固定されている。 The second coupling mechanism 202B includes two screw holes 220B and two pin holes 222B formed in the vertical plate 208. As shown in FIG. Each screw hole 220B and each pin hole 222B face the rotating plate 154 side. The second coupling mechanism 202B also includes two pins 224B held by two arms 228. As shown in FIG. The two pins 224B face each other, and an elastic force is exerted on each pin 224B in a direction toward each other. A knob is fixed to the proximal end of each pin 224B to be operated when each pin 224B is moved backward.

第1連結機構202Aと第2連結機構202Bを連結させる場合、2つのピン222Aが2つのピン穴222Bに入り込む。また、2つのピン224Bが2つの孔224Aに入り込む。その後、2つのネジ220Aを回転させることにより2つのネジ220Aと2つのネジ穴220Bの締結状態が形成される。その状態では可動部とステージとが一体化される。垂直板208には開口208Aが形成されている。開口208Aの上側に位置する棒状の部分がハンドルとして機能する。 When connecting the first connecting mechanism 202A and the second connecting mechanism 202B, the two pins 222A enter the two pin holes 222B. Also, two pins 224B enter two holes 224A. After that, the two screws 220A and the two screw holes 220B are fastened by rotating the two screws 220A. In that state, the movable part and the stage are integrated. The vertical plate 208 is formed with an opening 208A. A rod-shaped portion located above the opening 208A functions as a handle.

2つのネジ220Aと2つのネジ穴220Bとが主連結部を構成し、2つのピン224Bと2つの孔224Aとが副連結部を構成する。主連結部の他に、副連結部を設けておくことにより安全性を高められる。 Two screws 220A and two screw holes 220B constitute the main connection, and two pins 224B and two holes 224A constitute the secondary connection. Safety can be enhanced by providing a sub-connection in addition to the main connection.

昇降機構152は、ハンドル、ギア230、2つのガイドポール232、送りネジ234、ロック機構236等を有する。ハンドルからの回転力がギア230を介して送りネジに伝達され、送りネジ234が回転する。これにより可動部が上方に引き上げられ、つまり、ステージが上方に引き上げられる。ロック機構236により可動部の高さが固定される。 The lifting mechanism 152 has a handle, a gear 230, two guide poles 232, a feed screw 234, a locking mechanism 236, and the like. Rotational force from the handle is transmitted to the feed screw via the gear 230 to rotate the feed screw 234 . As a result, the movable portion is pulled upward, that is, the stage is pulled upward. A lock mechanism 236 fixes the height of the movable portion.

図6には、ステージ140上にプローブ114が載せられている状態が示されている。プローブ114は、その基部から水平方向に突出した複数の構造物を有する。それらには、サイドアーム136、配管212、接続口214、等が含まれる。 FIG. 6 shows a state in which the probe 114 is placed on the stage 140. As shown in FIG. Probe 114 has a plurality of structures projecting horizontally from its base. These include side arms 136, tubing 212, connections 214, and the like.

図7には、静磁場発生器の下側空間へステージ140を送り込む前の状態が示されている。ベース板118に隣接して補助板184が設けられている。補助板184上にステージ140が配置された上で、ステージ140に対してプローブ114がセットされる。ベース板118は、複数の防振部材220により保持されている。 FIG. 7 shows the state before sending the stage 140 into the lower space of the static magnetic field generator. An auxiliary plate 184 is provided adjacent to the base plate 118 . After the stage 140 is arranged on the auxiliary plate 184 , the probe 114 is set on the stage 140 . The base plate 118 is held by a plurality of vibration isolation members 220 .

図8には、静磁場発生器の下側空間へステージを送り込んだ後の状態、具体的にはドッキング状態が示されている。ステージ140が本体138に連結されている。ステージ送り込み過程では、基部から突出している複数の構造物が静磁場発生器に衝突しないように、ステージ140の移送経路や向きが調整される。 FIG. 8 shows the state after the stage has been sent into the space below the static magnetic field generator, specifically the docking state. A stage 140 is coupled to body 138 . In the stage feeding process, the transfer path and orientation of the stage 140 are adjusted so that multiple structures protruding from the base do not collide with the static magnetic field generator.

図9は、ドッキング状態を示す上面図である。本体138に対してステージ140が連結された状態では、静磁場発生器の中心軸Cに対してプローブ114の中心軸C1が自然に一致する。そのような一致状態が形成されるように、固定部及び可動部が構成されている。一致状態を維持したまま、任意のタイミングで可動部を回転させ得る。 FIG. 9 is a top view showing a docked state. When the stage 140 is connected to the main body 138, the central axis C1 of the probe 114 naturally coincides with the central axis C of the static magnetic field generator. The fixed part and the movable part are configured so as to form such a matching state. The movable part can be rotated at any timing while maintaining the matching state.

図10には、実施形態に係るプローブ搬送装置の使用方法がフローチャートとして示されている。図10に示される各工程は作業者によって実施される。 FIG. 10 shows a flow chart of how to use the probe transport device according to the embodiment. Each step shown in FIG. 10 is performed by an operator.

S10では、静磁場発生器における特定の脚に対して、プローブ搬送装置の本体が取り付けられる。S12では、補助板上にステージが設置され、続くS14では、ステージ上にプローブが設置される。S16では、静磁場発生器へのプローブの衝突を回避しながら、ステージが静磁場発生器の下側空間に送り込まれる。S18ではステージが本体に対して連結され、これによりドッキング状態が形成される。ドッキング状態の形成と同時に中心線の一致状態が形成される。 At S10, the main body of the probe carrier is attached to a specific leg in the static magnetic field generator. In S12, a stage is installed on the auxiliary plate, and in subsequent S14, probes are installed on the stage. In S16, the stage is fed into the space below the static magnetic field generator while avoiding collision of the probe with the static magnetic field generator. At S18, the stage is connected to the main body, thereby forming a docked state. A centerline coincidence condition is formed simultaneously with the formation of the docking condition.

S20では、プローブと共にステージが上方へ引き上げられる。ステージ上昇途中において、必要に応じて、衝突を避けるためにステージが回転される。S22では、基部が最上端に位置している状態において、ステージが回転され、2つの取付穴の中の所定の位置に2つのボルトが送られ、その状態で各ボルトを締め付けることにより、プローブが静磁場発生器へ固定される。S24では、ステージが下方に引き下げられる。その後、必要に応じて、本体からステージが取り外される。また、必要に応じて、脚から本体が取り外される。 In S20, the stage is lifted up together with the probe. During stage ascent, the stage is rotated as necessary to avoid collision. In S22, the stage is rotated while the base is positioned at the top end, and two bolts are sent to predetermined positions in the two mounting holes. Fixed to the static magnetic field generator. In S24, the stage is pulled downward. After that, the stage is removed from the main body as required. Also, if necessary, the body is removed from the legs.

図11には、プローブ搬送装置の変形例が示されている。本体300は、固定部304及び可動部306により構成される。固定部304は取付部材309及びレール310を有する。取付部材309は脚308に固定されている。レール310は、上方から見て円弧状の形態を有し、そこには円弧状のスリット314が形成されている。 FIG. 11 shows a modification of the probe transport device. The main body 300 is composed of a fixed portion 304 and a movable portion 306 . The fixed part 304 has a mounting member 309 and a rail 310 . Mounting member 309 is fixed to leg 308 . The rail 310 has an arcuate shape when viewed from above, and an arcuate slit 314 is formed therein.

可動部306に対して、プローブ303を載置したステージ302が連結される。可動部306にはブロック307が含まれ、ブロック307には2つのローラー320,322が設けられている。2つのローラー320,322は、レール310の内側の側面310Aに常に当接している。その側面310Aは凹面である。ブロック307に対してアーム316を介してピンが連結されており、そのピンがスリット314内をスライド運動する。ピンの運動がスリット314に拘束されており、これにより固定部304と可動部306の間に所定の位置関係が成立している。ピンの端部にはノブ318が設けられている。 A stage 302 on which a probe 303 is mounted is connected to the movable portion 306 . The movable part 306 includes a block 307 which is provided with two rollers 320 and 322 . The two rollers 320, 322 are always in contact with the inner side surface 310A of the rail 310. As shown in FIG. Its side surface 310A is concave. A pin is connected to the block 307 via an arm 316 and slides in the slit 314 . Movement of the pin is restrained by the slit 314 , thereby establishing a predetermined positional relationship between the fixed portion 304 and the movable portion 306 . A knob 318 is provided at the end of the pin.

回転機構312は、レール310、2つのローラー320,322、スリット314及びピンによって構成される。レール310が軌道形成手段として機能しており、2つのローラー320,322が接触部材として機能している。回転機構312により、プローブ303の中心軸C1を静磁場発生器の中心軸Cに一致させつつ、プローブ303を回転させることが可能である。符号324は、ブロック307に搭載された昇降機構を示している。 The rotating mechanism 312 is composed of a rail 310, two rollers 320, 322, a slit 314 and a pin. A rail 310 functions as a track forming means and two rollers 320, 322 function as contact members. The rotating mechanism 312 can rotate the probe 303 while aligning the central axis C1 of the probe 303 with the central axis C of the static magnetic field generator. A reference numeral 324 indicates an elevating mechanism mounted on the block 307 .

以上のように、回転機構として様々な機構を採用し得る。固定部に接触機構、可動部にレールを設けてもよいし、固定部にレール、可動部に接触機構を設けてもよい。円弧状のスリットとそのスリット内をスライド運動するスライダとにより回転機構を構成してもよい。湾曲したレールとそのレールをその両側から挟む一対のスライダとにより回転機構を構成してもよい。必要な回転角度範囲を考慮して、ガイド板の長さ、スリットの長さ等を調整すればよい。 As described above, various mechanisms can be employed as the rotation mechanism. The fixed portion may be provided with the contact mechanism and the movable portion may be provided with the rail, or the fixed portion may be provided with the rail and the movable portion may be provided with the contact mechanism. A rotation mechanism may be configured by an arcuate slit and a slider that slides in the slit. A rotating mechanism may be configured by a curved rail and a pair of sliders sandwiching the rail from both sides. The length of the guide plate, the length of the slit, etc. may be adjusted in consideration of the necessary rotation angle range.

10 プローブ搬送装置、12 静磁場発生器、14 プローブ、30 シムユニット、32 挿入部、34 基部、38 本体、40 ステージ、42 固定部、44 可動部、50 接触機構、54 回転板、56 回転機構。 10 probe carrier, 12 static magnetic field generator, 14 probe, 30 shim unit, 32 insertion part, 34 base, 38 body, 40 stage, 42 fixed part, 44 movable part, 50 contact mechanism, 54 rotating plate, 56 rotating mechanism .

Claims (9)

NMR測定用のプローブを載せたステージと、
静磁場発生器の中心軸と前記プローブの中心軸を一致させつつ前記ステージを回転させる回転機構と、
を含むことを特徴とするプローブ搬送装置。
a stage on which a probe for NMR measurement is placed;
a rotating mechanism that rotates the stage while aligning the center axis of the static magnetic field generator and the center axis of the probe;
A probe transport device comprising:
請求項1記載のプローブ搬送装置において、
前記回転機構は、
前記静磁場発生器の中心軸の周りにおいて一定曲率で湾曲した湾曲面と、
前記湾曲面に接触しながら前記湾曲面に沿って相対運動する接触部材と、
を含む、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
The probe transport device according to claim 1,
The rotating mechanism is
a curved surface curved with a constant curvature around the central axis of the static magnetic field generator;
a contact member that relatively moves along the curved surface while being in contact with the curved surface;
including,
A probe conveying device characterized by:
請求項2記載のプローブ搬送装置において、
前記静磁場発生器に固定された固定部と、
前記ステージを備え、前記固定部に保持される可動部と、
を含み、
前記湾曲面は、前記固定部及び前記可動部の内の一方に設けられ、
前記接触部材は、前記固定部及び前記可動部の内の他方に設けられた、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
In the probe transport device according to claim 2,
a fixed part fixed to the static magnetic field generator;
a movable portion including the stage and held by the fixed portion;
including
the curved surface is provided on one of the fixed portion and the movable portion;
wherein the contact member is provided on the other of the fixed portion and the movable portion;
A probe conveying device characterized by:
請求項3記載のプローブ搬送装置において、
前記湾曲面は、前記可動部に設けられた凸面であり、
前記接触部材は、前記固定部に設けられ前記凸面に接触する複数のローラーであり、
前記可動部が前記静磁場発生器の中心軸の周りで回転する、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
In the probe transport device according to claim 3,
The curved surface is a convex surface provided on the movable portion,
The contact member is a plurality of rollers provided on the fixed portion and in contact with the convex surface,
the movable part rotates around the central axis of the static magnetic field generator;
A probe conveying device characterized by:
請求項4記載のプローブ搬送装置において、
前記可動部は前記凸面を有する回転板を有し、
前記回転板の下面には複数のキャスタが設けられた、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
In the probe transport device according to claim 4,
The movable part has a rotating plate having the convex surface,
A plurality of casters are provided on the lower surface of the rotating plate,
A probe conveying device characterized by:
請求項3記載のプローブ搬送装置において、
前記固定部は、前記静磁場発生器の脚に取り付けられる取付部材を含む、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
In the probe transport device according to claim 3,
The fixed part includes a mounting member attached to the leg of the static magnetic field generator,
A probe conveying device characterized by:
請求項1記載のプローブ搬送装置において、
前記静磁場発生器に取り付けられた本体と、
前記本体に対して前記ステージを着脱可能に連結させる連結機構と、
を含むことを特徴とするプローブ搬送装置。
The probe transport device according to claim 1,
a body attached to the static magnetic field generator;
a connecting mechanism for detachably connecting the stage to the main body;
A probe transport device comprising:
請求項7記載のプローブ搬送装置において、
前記本体は、前記ステージを垂直方向に搬送する垂直搬送機構を含み、
前記ステージの上昇後に前記回転機構による前記ステージを回転させ得る、
ことを特徴とするプローブ搬送装置。
In the probe transport device according to claim 7,
the main body includes a vertical transport mechanism that transports the stage in a vertical direction;
The stage may be rotated by the rotating mechanism after the stage is raised,
A probe conveying device characterized by:
請求項1記載のプローブ搬送装置において、
前記プローブは冷却型プローブであり、
前記プローブは、
前記静磁場発生器の中に挿入される挿入部と、
前記静磁場発生器の外部に配置され、前記挿入部に連結された基部と、
前記基部から水平方向に突出した1又は複数の構造物と、
を含むことを特徴とするプローブ搬送装置。
The probe transport device according to claim 1,
the probe is a cooled probe;
The probe is
an insertion section inserted into the static magnetic field generator;
a base disposed outside the static magnetic field generator and connected to the insertion section;
one or more structures projecting horizontally from the base;
A probe transport device comprising:
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