JP2023053825A - 圧延ロールの表面欠陥検出装置、及び表面欠陥検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】よい精度良く圧延ロールの表面欠陥を検出可能とする。【解決手段】圧延ロール１の表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置であって、上記圧延ロール１を軸回転させる回転機構と、上記圧延ロール１の表面に検出部が対向し圧延ロール１のロール表面までの距離を測定する変位センサ７と、上記変位センサ７を支持し、上記圧延ロール１の軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動可能な往復台６と、を備える。【選択図】 図１

Description

本発明は、熱間圧延ロールなどの圧延ロールのロール表面に存在する欠陥を検出する圧延ロールの表面欠陥検出装置、及び表面欠陥検出方法に関する。

従来の圧延用ロールの表面検査では、被検査ロールの表面から一定の距離に、超音波プローブを保持し、該超音波プローブから音響結合媒体を介して円柱体へ超音波を伝搬させ、被検査ロールの表面や表面直下に存在する欠陥を検出するような超音波探傷という方法が行われている（例えば、特許文献１参照）。

また、ロール表面欠陥検出装置では単一光源を照射し、その反射あるいは拡散する光を検出するリニアセンサあるいはエリアセンサを有し、そのセンサ出力を出力して被検査ロールの表面欠陥を検出するという方法もある（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１２－１０３０３３号公報 特開２０１０－１４５１５号公報

被検査ロールは長期間熱間圧延に使用したものであり、表面の素地が非常に粗く見難い。このため、従来の目視検査においては鋼板に有害な影響及ぼすような表面欠陥を見逃すという課題があった。
また、光学的に表面から反射又は拡散した光をカメラで受光させる方式では、表面からの反射光が減衰し、その中に存在する欠陥を捉えることが困難であった。

一方、圧延後の被検査ロールにおける欠陥判別容易化のために、グラインダーにてロール表面の極表面の一皮を研削した後に検査することで、視認性を向上させた一皮研削後目視検査という方法も実施している。しかし、この方法は、例えば、全周を１／６周毎に回転の都度、静止させて検査を行う方法を採用するため、グラインダーでの作業効率を低下させる問題があった。
また、一皮研削後の目視検査は、比較的深い凹みの欠陥については有効な検査方法である。しかし、表層を研削しているため、凸状の欠陥や極浅い凹み欠陥を消失させてしまう問題があった。

さらに、被検査ロールの全周全幅の詳細な検査結果を記録することは難しく、鋼板製品で該ロール周期の表面疵の発生が判明した際に該ロールの、該当する位置に欠陥があったかどうかは後追いで確認ができないという問題があった。

本発明は、上記のような点に着目してなされたもので、よい精度良く圧延ロールの表面欠陥を検出可能とすることを目的としている。

課題解決のために、本発明の一態様は、圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置であって、上記圧延ロールを軸回転させる回転機構と、上記圧延ロールの表面に検出部が対向し圧延ロールのロール表面までの距離を測定する変位センサと、上記変位センサを支持し、上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動可能な往復台と、を備えることを要旨とする。

また、本発明の態様は、圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法であって、上記圧延ロールのロール表面に変位センサを対向配置し、上記圧延ロールを軸回転させながら、上記変位センサを上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向に移動させることで、上記変位センサでロール表面までの表面変位データを連続的に測定し、連続して測定した表面変位データから、表面欠陥を検出する、ことを要旨とする。

本発明の態様によれば、圧延ロールの表面変位量から表面欠陥の判定をするため、従来の光学式表面検査装置や超音波探傷で不得意としていた熱間圧延使用後の粗い表面素地となっている圧延ロールのロール表面であっても、より精度良く表面欠陥を検出することができるようになった。

また本発明の態様では、例えば、従来１本あたり３０分の時間をかけて実施していた一皮研削後の静止目視検査に代替でき、検査に係る作業時間を短縮することができるようになる。

圧延ロールと変位センサの関係を示す側面図である。 表面欠陥検出装の装置構成を説明する平面図である。 制御部の構成を説明する図である。 変位センサの位置の変更を説明する図である。 ロール表面のスキャン概要を示す図である。 データの連結を説明する図である。 連結された欠陥部を示す図である。 ロール表面の２次元マッピングの一例を示す図である。 ロール表面欠陥の３次元形状表示結果の一例を示す図である。

次に、本発明の実施形態について図面を参照しつつ説明する。
本実施形態の表面欠陥検出装置は、図１及び図２に示すように、回転機構、往復台６、変位センサ７、レーザ距離計９Ａ、９Ｂ、制御部１０を備える。
制御部１０は、図３に示すように、進退制御部１０Ａ、欠陥位置演算部１０Ｂ、欠陥選別部１０Ｄ、可視化処理部１０Ｅ、集計部１０Ｆ、形状表示部１０Ｇを備える。

＜回転機構＞
回転機構は、圧延ロール１を軸回転させる機構である。
圧延ロール１はチョック２（軸受）付の状態で装置に設置される。圧延ロール１は、一方の軸が芯押台３に接続され、他方の軸が主軸台４に接続される。主軸台には他方の軸を回転駆動する、単軸サーボモータなどからなるモータ４Ａが配置されている。そして、該モータ４Ａを駆動することで、圧延ロール１が軸回転可能となっている。
符号５は回転検出器であり、モータ４Ａの回転を検出する。

＜往復台６＞
圧延ロール１の側方に、ロールグラインダー往復台６が配置されている。
往復台６は、圧延ロール１の軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動可能となっている。軸方向に沿った方向と平行な方向と規定したのは、軸と完全に平行でなくても良いことを示すためである。

＜変位センサ７＞
変位センサ７は、往復台６に支持され、圧延ロール１に正対（対向）するように配置されている。変位センサ７は、圧延ロール１のロール表面までの距離を測定する。変位センサ７は、公知の変位センサを採用すればよい。
変位センサ７を、往復台６に対し、ロール表面に向けて進退させる進退機構８を備える。
進退機構８は、直動案内装置その他のサーボ機構からなる。

＜レーザ距離計９Ａ、９Ｂ＞
往復台６には、変位センサ７の進退方向の左右両側に２次元レーザ距離計９Ａ、９Ｂが設置されている。
具体的には、変位センサ７の設置位置に対し上記往復方向における変位センサ７の移動方向上流側位置及び下流側位置に、レーザ距離計９Ａ、９Ｂが設けられている。少なくとも上流側のレーザ距離計９Ａを有していれば良い。
レーザ距離計９Ａ、９Ｂは、距離検出センサを構成し、ロール表面までの距離を検出する。

ここで、変位センサ７及びレーザ距離計９Ａ、９Ｂは、ともに往復台６に設置されているため、一緒に往復方向に移動する構成となっている。
変位センサ７の測定分解能は、レーザ距離計９Ａ、９Ｂの測定分解能よりも優れていても良い。

＜進退制御部１０Ａ＞、
制御部１０は、進退制御部１０Ａを備える。
進退制御部１０Ａは、レーザ距離計９Ａ、９Ｂが検出した距離に応じて、進退機構８を介して、変位センサ７をロール表面に向けて進退させる処理を行う。例えば、進退制御部１０Ａは、レーザ距離計９Ａ、９Ｂの検出値に基づき、変位センサ７がロール表面と対向する位置と判定すると、変位センサ７とロール表面との干渉を回避しつつ、変位センサ７をロール表面に接近させる。接近させることで、測定値の精度を向上させる。

ここで、制御用パソコンから制御部１０に対し、圧延ロール１のロール径、ロール胴長などの情報を事前に入力して設定することで、変位センサ７をロール表面に対し適正な距離基準へと近接する。
このとき、圧延ロール１はチョック２付の状態であり、ロール径とチョック２の組合せによっては、変位センサ７がチョック２と干渉する可能性がある。例えば、図２のように、圧延ロール１の径よりも、チョック２が往復台６側に張り出している場合がある。このとき、変位センサ７を事前設定した圧延ロール１に対する適正な距離基準へと近接させた状態とすると、変位センサ７がチョック２と干渉してしまう。

これに対し、進退制御部１０Ａは、少なくとも変位センサ７よりも上流側のレーザ距離計９Ａが検出した距離によって、圧延ロール１のロール胴端部を検出可能とし、変位センサ７がロール胴端部位置に来るまで変位センサ７を後退させておく。そして、変位センサ７がロール胴端部に来たと判定すると、変位センサ７をロール表面に向けて近接させる近接・退避制御を行う。
ここで、往復台６は、検査時には、回転検出器の検出に基づくロールの回転速度（一定の速度）に応じた一定の移動速度で進退方向の一方に移動させる。

例えば、レーザ距離計９Ａが検出する距離が急に増加した位置をロール胴端部として検出可能である。すなわち、図４に示すように、（１）→（２）の状態では、レーザ距離計９Ａ、９Ｂからの信号に基づき、変位センサ７をチョック２側に徐々に移動させ、（２）から（３）に移動して、レーザ距離計９Ａ、９Ｂが検出する距離が増加したと判定すると、変位センサ７をロール表面に近接させる。そして、（５）の位置まで、変位センサ７で連続してロール表面の測定を実行する。また（５）から右側に移動して、レーザ距離計９Ａ、９Ｂが検出する距離が急激に減少したと判定すると、変位センサ７を往復台側に退避される。これによって、変位センサ７がチョック２と干渉することが回避される。
また、変位センサ７がロール表面と近接してロール表面までの距離を測定する途中でも、レーザ距離計９Ａ、９Ｂの検出情報によって、変位センサ７がロール表面と干渉することをより確実に回避可能となる。

＜表面の測定＞
以上の構成では、圧延ロール１を一定の回転数、往復台６を一定速度で稼動させながら、変位センサ７で連続測定を行うことで、図５のように、圧延ロール１のロール表面を螺旋状に測定する。なお、図５では、スキャン方向がロール回転方向に対し傾斜していないが、実際には、若干ロール回転方向に対し傾斜した方向にスキャンされる。変位センサ７が測定した変位データ（距離データ）が表面変位データとなる。

なお、上記説明では、グラインダー上でロール表面を走査させ、検査していたが、本実施形態はこれに限定されるものではない。表面欠陥検出装置を、圧延機に設置して、ロールを回転させながら、ロール表面の測定を実施してもよい。この場合、圧延機が回転機構を構成する。
また、変位センサ７を、ロールの軸方向に複数配置して、領域毎に各変位センサ７でそれぞれ測定してもよい。

この測定によって、ロール表面全面の表面変位データが取得される。なお、検査領域は、ロール表面全面でなくても良い。

＜欠陥位置演算部１０Ｂ＞
制御部１０は、欠陥位置演算部１０Ｂを備える。欠陥位置演算部１０Ｂは、取得した表面変位データの組から、ロール表面の欠陥位置を求める処理を行う。

欠陥位置演算部１０Ｂは、例えば、変位センサ７が測定した表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール表面基準値との差が予め設定した閾値を超える表面変位データの位置を欠陥位置とする。すなわち、表面変位量を、前後の測定値の移動平均値と測定値との差分から求める。つまり、表面変位量を、ロール表面基準値を基準とした値に揃える。

例えば、ロール一周分の表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール一周分の各表面変位データからロール表面基準値を引き算した値を、各測定位置での表面変位量とする。そして、表面変位量が閾値を超える場合、その測定位置を欠陥位置とする。
なお、移動平均値として、簡易的なロールプロフィール測定値を用いても良い。

また、欠陥位置演算部１０Ｂは、変位センサ７が測定した表面変位データから、ロール表面のうちの検出領域を平面展開した２次元の変位情報を求める。すなわち、ロール表面の各測定位置の上記表面変位量を、２次元の変位情報として求める。

このとき、上記表面変位データの移動平均値から決定されるロール表面基準面を求め、２次元の変位情報とロール表面基準面とから、２次元の変位情報における、ロール表面基準面からの偏差が予め設定した閾値を越える部分を欠陥位置としても良い。例えば、２次元の変位情報のレイヤーとロール表面基準面のレイヤーを重ねることで、その凹凸によって表面変位量と欠陥位置を求める。

＜欠陥形状演算部１０Ｃ＞
制御部１０は欠陥形状演算部１０Ｃを備える。
欠陥形状演算部１０Ｃは、２次元の変位情報における、欠陥位置及びその近傍の表面変位データ（表面変位量のデータ）を、図６のように連結処理することで、各表面欠陥２０を３次元形状として検出する。これによって、１つの表面欠陥を、最大幅、最大長、最大深さという３次元の特徴量で表現可能とする（図７参照）。例えば、変位量の連続した変化（勾配）によって、１つの表面欠陥を３次元的に抽出可能である。なお、幅方向はロール軸方向であり、長さはロール周方向（ロール回転方向）である。
図９中、２次元マップにおいて、○が検出した欠陥位置２０Ａであり、△が、欠陥位置よりも凹凸量が小さい測定異常(閾値未満の欠陥位置)の部分である。図９の例では、その欠陥位置２０Ａ及び測定異常のデータが連続する領域のデータを連結して１つの表面欠陥２０とみなしている。

＜欠陥選別部１０Ｄ＞
制御部１０は、欠陥選別部１０Ｄを備える。
欠陥選別部１０Ｄは、欠陥形状演算部１０Ｃが求めた各表面欠陥を、３次元形状を特定する３次元の特徴量から、その表面欠陥が検出すべき表面欠陥か否かを選別する。

例えば、深さが所定以上であって、且つ最大幅、最大長が予め設定した値以上の場合に検出すべき欠陥とする。
例えば、深さが深くても、幅及び長さが小さければ欠陥として無視出来る場合がある。

＜可視化処理部１０Ｅ＞
制御部１０は、可視化処理部１０Ｅを備える。
可視化処理部１０Ｅは、２次元の変位情報を２次元マップとして可視化する処理を行う。
可視化処理部１０Ｅは、図８のように、２次元マップ上に、表面欠陥２０の位置を表示することで表面欠陥を可視化して表示する処理を行う。

また、可視化処理部１０Ｅは、図８のように、２次元マップを複数のエリアに区分し、表面欠陥２０の位置が存在するエリアを可視化して表示することが好ましい。すなわち、表面欠陥は小さいため、存在が分かり易くするために、表面欠陥２０の位置が存在するエリア３０を可視化して表示することが好ましい。

＜集計部１０Ｆ＞
制御部１０は、集計部１０Ｆを備える。
集計部１０Ｆは、各エリアに存在する表面欠陥の数を集計する。すなわち、区切られた各エリアに存在する表面欠陥２０の数や変位量の統計値を集計する処理を行う。

＜形状表示部１０Ｇ＞
制御部１０は、形状表示部１０Ｇを備える。
形状表示部１０Ｇは、欠陥形状演算部１０Ｃの演算に基づき、検出した表面欠陥を、図９のように、３次元形状で表示する。

（動作その他）
回転検出器５からの検出値に基づき、検出する位置を０°基準として、設定されたロール回転速度、往復台６の移動速度を基に、変位センサ７の測定データから、ロール表面の２次元の変位情報を２次元マッピングとして作成して表示する。
例えば、マッピングでは白黒２５６色階調表示をすることで変位量を可視化する。

変位量は上下の閾値（上限値及び下限値）で判定し、マッピング上で変位の上限外れは、例えば黄色、変位の下限外れは例えば赤色で表示する。この黄色や赤色の位置が表面欠陥の位置となる。
閾値外れ値について連続するデータについては、図６のように、同一の欠陥候補として結合処理を行う。結合処理されたデータは、幅方向（軸方向）、円周方向、深さ方向の最大データからなる３次元の特徴量として算出する。

そして、事前に設定した幅、周長、深さからなる３次元の特徴量の閾値と比較判定し、例えば２つ以上の特徴量で閾値を超える表面欠陥について、検出すべきロール表面欠陥部として選別する。ロール表面欠陥部としての選別の条件は、ＡＮＤ条件に限定されない。ＯＲ条件や複数水準の閾値で選別してもよい。

本実施形態では、ロール表面欠陥部の検出位置を表示するために、ロール表面マッピングは幅方向にメッシュを区切り、表面欠陥が検出されたメッシュを赤枠などで可視化表示する。これによって、欠陥位置が視認しやすくなる。
メッシュは、例えば、幅５０ｍｍ、円周方向に４５°毎のメッシュである。分割する複数の区分は、さらに細かいメッシュであっても良い。

また、メッシュ毎に欠陥部の検出個数を集計して表示してもよい。欠陥の個数を集計する代わりに、メッシュ毎に、変位量の平均値や表面粗度を求めて表示しても良い。
また、マッピングの拡大画像や選択した欠陥部の３次元形状を表示する構成としても良い。この場合、欠陥の状態を、平面、側面、斜面の視野で表示できる。

そして、このロール表面を２次元に展開した２次元マッピングの表示結果に基づいて、欠陥位置のロール現物の点検を実施し、圧延ロール１の良否を判定することができる。すなわち、ロール表面の２次元マッピングに基づき圧延ロール１の現物を検査する。これによって、より精度良く圧延ロール１の良否を判定可能となる。

ここで、放電加工により人工欠陥を作成したロールを圧延ロール１として検証した結果を示す、ロール表面の２次元マッピングの一例を図８に示す。閾値を０．８×０．８×０．３ｍｍに設定して測定後、閾値以上の人工欠陥が存在するメッシュが赤枠で表示され、拡大画像や図９に示すような表面欠陥２０の３次元形状が確認できる。

以上のように、本実施形態では、ロール表面の素地が荒れている熱間圧延に使用した圧延ロール１を表面変位センサ７で全周全幅検査した後、閾値を外れる測定データを連結して一つの表面欠陥とし、その表面欠陥の最大幅、最大長、最大深さを算出する。そして、３次元での閾値判定をするようにしたから、欠陥部と素地ノイズの区別がより精度良くなり、かつ視認性を向上することできるようになった。
（その他）

本発明は、次の構成も取り得る。
（１）圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置であって、
上記圧延ロールを軸回転させる回転機構と、
上記圧延ロールの表面に検出部が対向し圧延ロールのロール表面までの距離を測定する変位センサと、
上記変位センサを支持し、上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動可能な往復台と、
を備える。
（２）上記変位センサを上記ロール表面に向けて進退させる進退機構を備える。
（３）上記変位センサの設置位置に対し上記往復方向における上記変位センサの移動方向上流側位置で、上記往復台に支持されて、上記ロール表面までの距離を検出する距離検出センサと、
上記距離検出センサが検出した距離に応じて、進退機構を介して、上記変位センサを進退させる進退制御部と、
を備え、
上記進退制御部は、上記距離検出センサの検出値に基づき、上記変位センサがロール表面と対向する位置と判定すると、上記変位センサを上記ロール表面に接近させる。
（４）上記変位センサが測定した表面変位データに基づき、上記ロール表面の欠陥位置を求める欠陥位置演算部を備える。
（５）上記欠陥位置演算部は、上記変位センサが測定した表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール表面基準値との差が予め設定した閾値を超える表面変位データの位置を欠陥位置とする。
（６）上記欠陥位置演算部は、上記変位センサが測定した表面変位データから、ロール表面のうちの検出領域を平面展開した２次元の変位情報を求める。
（７）上記欠陥位置演算部は、上記表面変位データの移動平均値から決定されるロール表面基準面を求め、上記２次元の変位情報と上記ロール表面基準面とから、上記２次元の変位情報における、上記ロール表面基準面からの偏差が予め設定した閾値を越える部分を欠陥位置とする。
（８）上記表面変位データを連結処理することで、１つの表面欠陥を、最大幅、最大長、最大深さという３次元の特徴量で表現する欠陥形状演算部を備える。
（９）上記３次元の特徴量から上記表面欠陥が検出すべき表面欠陥か否かを選別する欠陥選別部と備える。
（１０）上記２次元の変位情報を２次元マップとして可視化する可視化処理部を備える。
（１１）上記可視化処理部は、上記２次元マップ上に、欠陥位置を表示することで表面欠陥を可視化する。
（１２）上記可視化処理部は、上記２次元マップを複数のエリアに区分し、上記欠陥位置が存在するエリアを可視化する。
（１３）上記各エリアに存在する表面欠陥の数を集計する集計部を備える。
（１４）検出した表面欠陥を３次元形状で表示する形状表示部を備える。
（１５）圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法であって、
上記圧延ロールのロール表面に変位センサを対向配置し、上記圧延ロールを軸回転させながら、上記変位センサを上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動させることで、上記変位センサでロール表面までの表面変位データを連続的に測定し、連続して測定した表面変位データから、表面欠陥を検出する。
（１６）上記変位センサを上記ロール表面に向けて進退可能に構成し、
上記往復方向における上記変位センサの移動方向上流にロール表面までの距離を検出する距離検出センサを有し、上記距離検出センサの検出値に基づき、上記変位センサのロール表面からの距離を調整して、上記変位センサとロール表面との干渉を回避する。
（１７）上記変位センサが連続的に測定した表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール表面基準値との差が予め設定した閾値を超える、表面変位データの位置を欠陥位置とする。
（１８）上記変位センサが連続して測定した表面変位データから、ロール表面のうちの検出領域を平面展開した２次元の変位情報を求める。
（１９）上記表面変位データの移動平均値から決定されるロール表面基準面と上記２次元の変位情報とから、上記２次元の変位情報における、上記ロール表面基準面からの偏差が予め設定した閾値を越える部分を欠陥位置とする。
（２０）上記表面変位データを連結処理することで、１つの表面欠陥を、最大幅、最大長、最大深さという３次元の特徴量で表現する。
（２１）上記３次元の特徴量から、表面欠陥が検出すべき表面欠陥か否かを選別する。
（２２）上記２次元の変位情報を２次元マップとして可視化して表示する。
（２３）上記２次元マップ上に、欠陥位置を表示する。
（２４）上記２次元マップを複数のエリアに区分し、上記欠陥位置が存在するエリアを可視化表示する。
（２５）上記表示するエリアに存在する表面欠陥の数を集計する。
（２６）検出した表面欠陥を３次元形状で表示する。

１ 圧延ロール
２ チョック
４Ａ モータ（回転機構）
６ 往復台
７ 変位センサ
８ 進退機構
９Ａ、９Ｂ レーザ距離計(距離検出センサ)
１０ 制御部
１０Ａ 進退制御部
１０Ｂ 欠陥位置演算部
１０Ｃ 欠陥形状演算部
１０Ｄ 欠陥選別部
１０Ｅ 可視化処理部
１０Ｆ 集計部
１０Ｇ 形状表示部
２０ 表面欠陥
２０Ａ 欠陥位置
３０ エリア

Claims (26)

1. 圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出装置であって、
   上記圧延ロールを軸回転させる回転機構と、
   上記圧延ロールの表面に検出部が対向し圧延ロールのロール表面までの距離を測定する変位センサと、
   上記変位センサを支持し、上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動可能な往復台と、
   を備えることを特徴とする表面欠陥検出装置。
2. 上記変位センサを上記ロール表面に向けて進退させる進退機構を備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載した表面欠陥検出装置。
3. 上記変位センサの設置位置に対し上記往復方向における上記変位センサの移動方向上流側位置で、上記往復台に支持されて、上記ロール表面までの距離を検出する距離検出センサと、
   上記距離検出センサが検出した距離に応じて、進退機構を介して、上記変位センサを進退させる進退制御部と、
   を備え、
   上記進退制御部は、上記距離検出センサの検出値に基づき、上記変位センサがロール表面と対向する位置と判定すると、上記変位センサを上記ロール表面に接近させる、
   ことを特徴とする請求項２に記載した表面欠陥検出装置。
4. 上記変位センサが測定した表面変位データに基づき、上記ロール表面の欠陥位置を求める欠陥位置演算部を備える、
   ことを特徴とする請求項１～請求項３のいずれか１項に記載した表面欠陥検出装置。
5. 上記欠陥位置演算部は、上記変位センサが測定した表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール表面基準値との差が予め設定した閾値を超える表面変位データの位置を欠陥位置とする、
   ことを特徴とする請求項４に記載した表面欠陥検出装置。
6. 上記欠陥位置演算部は、上記変位センサが測定した表面変位データから、ロール表面のうちの検出領域を平面展開した２次元の変位情報を求める、
   ことを特徴とする請求項４又は請求項５に記載した表面欠陥検出装置。
7. 上記欠陥位置演算部は、上記表面変位データの移動平均値から決定されるロール表面基準面を求め、上記２次元の変位情報と上記ロール表面基準面とから、上記２次元の変位情報における、上記ロール表面基準面からの偏差が予め設定した閾値を越える部分を欠陥位置とする、
   ことを特徴とする請求項６に記載した表面欠陥検出装置。
8. 上記表面変位データを連結処理することで、１つの表面欠陥を、最大幅、最大長、最大深さという３次元の特徴量で表現する欠陥形状演算部を備える、
   ことを特徴とする請求項７に記載した表面欠陥検出装置。
9. 上記３次元の特徴量から上記表面欠陥が検出すべき表面欠陥か否かを選別する欠陥選別部と備える、
   ことを特徴とする請求項８に記載した表面欠陥検出装置。
10. 上記２次元の変位情報を２次元マップとして可視化する可視化処理部を備える、
    ことを特徴とする請求項６～請求項９のいずれか１項に記載した表面欠陥検出装置。
11. 上記可視化処理部は、上記２次元マップ上に、欠陥位置を表示することで表面欠陥を可視化する、
    ことを特徴とする請求項１０に記載した表面欠陥検出装置。
12. 上記可視化処理部は、上記２次元マップを複数のエリアに区分し、上記欠陥位置が存在するエリアを可視化する、
    ことを特徴とする請求項１１に記載した表面欠陥検出装置。
13. 上記各エリアに存在する表面欠陥の数を集計する集計部を備える、
    ことを特徴とする請求項１２に記載した表面欠陥検出装置。
14. 検出した表面欠陥を３次元形状で表示する形状表示部を備える、
    ことを特徴とする請求項８～請求項１３のいずれか１項に記載した表面欠陥検出装置。
15. 圧延ロールの表面欠陥を検出する表面欠陥検出方法であって、
    上記圧延ロールのロール表面に変位センサを対向配置し、上記圧延ロールを軸回転させながら、上記変位センサを上記圧延ロールの軸方向に沿った方向と平行な方向である往復方向に移動させることで、上記変位センサでロール表面までの表面変位データを連続的に測定し、連続して測定した表面変位データから、表面欠陥を検出する、
    ことを特徴とする表面欠陥検出方法。
16. 上記変位センサを上記ロール表面に向けて進退可能に構成し、
    上記往復方向における、上記変位センサの移動方向上流にロール表面までの距離を検出する距離検出センサを有し、上記距離検出センサの検出値に基づき、上記変位センサのロール表面からの距離を調整して、上記変位センサとロール表面との干渉を回避する、
    ことを特徴とする請求項１５に記載した表面欠陥検出方法。
17. 上記変位センサが連続的に測定した表面変位データの移動平均値をロール表面基準値とし、そのロール表面基準値との差が予め設定した閾値を超える、表面変位データの位置を欠陥位置とする、
    ことを特徴とする請求項１５又は請求項１６に記載した表面欠陥検出方法。
18. 上記変位センサが連続して測定した表面変位データから、ロール表面のうちの検出領域を平面展開した２次元の変位情報を求める、
    ことを特徴とする請求項１７に記載した表面欠陥検出方法。
19. 上記表面変位データの移動平均値から決定されるロール表面基準面と上記２次元の変位情報とから、上記２次元の変位情報における、上記ロール表面基準面からの偏差が予め設定した閾値を越える部分を欠陥位置とする、
    ことを特徴とする請求項１８に記載した表面欠陥検出方法。
20. 上記表面変位データを連結処理することで、１つの表面欠陥を、最大幅、最大長、最大深さという３次元の特徴量で表現する、
    ことを特徴とする請求項１９に記載した表面欠陥検出方法。
21. 上記３次元の特徴量から、表面欠陥が検出すべき表面欠陥か否かを選別する、
    ことを特徴とする請求項２０に記載した表面欠陥検出方法。
22. 上記２次元の変位情報を２次元マップとして可視化して表示する、
    ことを特徴とする請求項１８～請求項２１のいずれか１項に記載した表面欠陥検出方法。
23. 上記２次元マップ上に、欠陥位置を表示する、
    ことを特徴とする請求項２２に記載した表面欠陥検出方法。
24. 上記２次元マップを複数のエリアに区分し、上記欠陥位置が存在するエリアを可視化表示する、
    ことを特徴とする請求項２３に記載した表面欠陥検出方法。
25. 上記表示するエリアに存在する表面欠陥の数を集計する、
    ことを特徴とする請求項２４に記載した表面欠陥検出方法。
26. 検出した表面欠陥を３次元形状で表示する、
    ことを特徴とする請求項１８～請求項２５のいずれか１項に記載した表面欠陥検出方法。
    
    
    

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