JP2023050396A - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被着体の第１面と第２面とを保護するためのランニングコストが増大することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。【解決手段】所定のエネルギーによって変形可能な接着シートＡＳを供給する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳが被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１の外縁ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、接着シートＡＳを第１面ＷＫ１に押圧して貼付する押圧手段２０と、はみ出し領域ＡＳＨに所定のエネルギーを付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを第１面ＷＫ１とは異なる第２面ＷＫ２方向に折り曲げて、当該はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に貼付する折り曲げ貼付手段３０とを備えたシート貼付装置ＥＡにおいて、接着シートＡＳは、異なる複数のエネルギーが付与されることで、各エネルギーに対応した所定の変形を起こし、折り曲げ貼付手段３０は、はみ出し領域ＡＳＨに異なる複数のエネルギーを付与するエネルギー付与手段３１を備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１５－１６２６３４号公報

特許文献１に記載されたシート貼付装置１０（シート貼付装置）では、保護テープＡと保護テープＢとの２つの材料によって、ウェハＷ（被着体）の第１面と当該第１面とは異なる第２面とを保護する構成であるため、第１面と第２面とを保護するためのランニングコストが増大するという不都合を発生する。

本発明の目的は、被着体の第１面と第２面とを保護するためのランニングコストが増大することを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、第１面に貼付した接着シートのはみ出し領域を変形させ、当該はみ出し領域を当該第１面とは異なる第２面方向に折り曲げて貼付するので、被着体の第１面と第２面とを保護するための接着シートが１枚で事足りる。従って、被着体の第１面と第２面とを保護するためのランニングコストが増大することを防止することができる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図および同装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明のシート貼付装置ＥＡは、所定のエネルギーとしての熱によって変形可能な接着シートＡＳを供給する供給工程を実施する供給手段１０と、供給手段１０で供給された接着シートＡＳが被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１の外縁ＷＫＥからはみ出したはみ出し領域ＡＳＨを形成するように、接着シートＡＳを第１面ＷＫ１に押圧して貼付する押圧工程を実施する押圧手段２０と、はみ出し領域ＡＳＨに熱を付与して変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを第１面ＷＫ１とは異なる第２面ＷＫ２方向に折り曲げて、当該はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に貼付する折り曲げ貼付工程を実施する折り曲げ貼付手段３０と、はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導する誘導工程を実施する誘導手段４０と、はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に押圧するはみ出し領域押圧工程を実施するはみ出し領域押圧手段５０とを備え、押圧手段２０と被着体ＷＫとを相対移動させる移動工程を実施する移動手段６０の近傍に配置されている。
なお、接着シートＡＳは、異なる複数のエネルギーとしての第１エネルギーおよび第２エネルギーが付与されることで、各エネルギーに対応した所定の変形を起こすものとなっている。具体的には、接着シートＡＳは、第１エネルギーとしての８０℃の熱によって収縮を伴って第１変形を起こす第１基材ＢＳ１と、当該第１基材ＢＳ１上に積層され、第２エネルギーとしての１５０℃の熱によって収縮を伴って第２変形を起こす第２基材ＢＳ２と、当該第２基材ＢＳ２上に積層された接着剤層ＡＤとを備えている。
また、本実施形態では、基準位置ＷＫＲを中心とする円形形状の被着体ＷＫが採用されている。

供給手段１０は、接着シートＡＳが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ１１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ１２と、剥離縁１３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板１３と、駆動機器としての回動モータ１４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ１５とを備えている。

押圧手段２０は、押圧ローラ２１を備えている。

折り曲げ貼付手段３０は、はみ出し領域ＡＳＨに異なる複数のエネルギーとしての８０℃の熱と１５０℃の熱を付与するエネルギー付与手段３１と、Ｚ軸と平行な直線である中心線ＣＬを中心とした円環形状に設けられた送風ヘッド３２とを備えている。
エネルギー付与手段３１は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で大気やガス等の気体を加熱して第１熱気ＡＲ１を生成し、当該第１熱気ＡＲ１を配管３１Ｃを介して送風することで、はみ出し領域ＡＳＨを８０℃に加熱可能な第１熱気送風手段３１Ａと、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の図示しない加熱機器で大気やガス等の気体を加熱して第２熱気ＡＲ２を生成し、当該第２熱気ＡＲ２を配管３１Ｄを介して送風することで、はみ出し領域ＡＳＨを１５０℃に加熱可能な第２熱気送風手段３１Ｂを備えている。
送風ヘッド３２は、配管３１Ｃ、３１Ｄを介して送風された第１、第２熱気ＡＲ１、ＡＲ２を噴出する環状の噴出口３２Ｂが形成された環状ノズル３２Ａを備えている。

誘導手段４０は、駆動機器としての直動モータ４１と、ブラケット４２を介して直動モータ４１の出力軸４１Ａに支持され、中心線ＣＬを中心とした円環形状に設けられた誘導ヘッド４３とを備えている。
誘導ヘッド４３の内壁４３Ａには、配管４３Ｂを介して第２熱気送風手段３１Ｂから送風された第２熱気ＡＲ２を噴出する環状の噴出口４３Ｃが形成されている。

はみ出し領域押圧手段５０は、ブラケット５１Ａを介して誘導ヘッド４３に支持された駆動機器としての直動モータ５１と、その出力軸５１Ｂに支持された円環形状の押圧部材５２とを備えている。

移動手段６０は、駆動機器としてのリニアモータ６１のスライダ６１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面６２Ａを有する支持テーブル６２と、保持面６２Ａに形成された凹部６２Ｂ内に配置された駆動機器としての直動モータ６３と、その出力軸６３Ａに支持され、上面が減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面６４Ａとされたリフトテーブル６４とを備えている。なお、保持面６２Ａには、接着シートＡＳが接着しない、または、接着シートＡＳが接着しても当該接着シートＡＳを剥がすことが可能なフッ素樹脂やシリコーン樹脂等の不接着材が積層されている。

以上のシート貼付装置ＥＡの動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ１４Ａの駆動を停止する。次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、基準位置ＷＫＲがリフトテーブル中心６４Ｒと重なるように、被着体ＷＫを保持面６２Ａ、６４Ａ上に載置すると、移動手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、当該保持面６２Ａ、６４Ａでの吸着保持を開始する。

その後、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を左方へ移動させ、被着体ＷＫが供給手段１０に対する所定の位置に到達すると、当該供給手段１０が回動モータ１４Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳは、押圧ローラ２１によって被着体ＷＫに押圧され、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、はみ出し領域ＡＳＨを形成するように第１面ＷＫ１に貼付される。次に、先頭の接着シートＡＳ全体が被着体ＷＫに貼付され後、当該先頭の接着シートＡＳに続く次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が剥離板１３の剥離縁１３Ａで所定長さ剥離されると、供給手段１０が回動モータ１４Ａの駆動を停止する。そして、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、リフトテーブル中心６４Ｒ（基準位置ＷＫＲ）が中心線ＣＬと一致すると、移動手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止し、被着体ＷＫの左方への移動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面６２Ａでの吸着保持を解除する。

次いで、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、移動手段６０が直動モータ６３を駆動し、リフトテーブル６４を上昇させた後、図１（Ｂ）に示すように、折り曲げ貼付手段３０が第１熱気送風手段３１Ａを駆動し、噴出口３２Ｂからはみ出し領域ＡＳＨに第１熱気ＡＲ１を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第１基材ＢＳ１が収縮を伴って第１変形を起こし、図１（Ｂ）中実線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳＨが被着体ＷＫの外縁ＷＫＥから下方に垂れ下がる。なお、接着剤層ＡＤは、第１変形の際、第２面ＷＫ２に接触してもよいし、接触しなくてもよい。その後、折り曲げ貼付手段３０が第１熱気送風手段３１Ａの駆動を停止した後、第２熱気送風手段３１Ｂを駆動し、配管３１Ｄを介して噴出口３２Ｂからはみ出し領域ＡＳＨに第２熱気ＡＲ２を吹き付ける。これにより、はみ出し領域ＡＳＨに位置する第２基材ＢＳ２が収縮を伴って第２変形を起こし、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、当該はみ出し領域ＡＳＨが第２面ＷＫ２に貼り付いて一体物ＵＰが形成される。次に、移動手段６０が直動モータ６３を駆動し、リフトテーブル６４を下降させて初期位置に復帰させる。

なお、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件、その他の要因等の諸条件等（以下、「特性等」という）によっては、第１変形や第２変形を起こす際、はみ出し領域ＡＳＨが所望の方向に変形しない場合がある。つまり、本実施形態でいうと、下方に折れ曲がることなく上方に折れ曲がる場合があれば、誘導手段４０によって、はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導する誘導工程を行ってもよい。この誘導工程は、第１基材ＢＳ１が第１熱気ＡＲ１によって第１変形を起こし始めると、誘導手段４０が直動モータ４１を駆動し、図１（Ｃ）に示すように、誘導ヘッド４３を下降させてその内周面４３Ａ内にはみ出し領域ＡＳＨを入り込ませ、当該はみ出し領域ＡＳＨが上方に折れ曲がるように変形することを抑制する。はみ出し領域ＡＳＨが誘導ヘッド４３の内周面４３Ａ内に入り込むと、折り曲げ貼付手段３０が第２熱気送風手段３１Ｂを駆動し、噴出口４３Ｃからはみ出し領域ＡＳＨに第２熱気ＡＲ２を吹き付ける。これにより、第２基材ＢＳ２が第２変形を起こし、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、はみ出し領域ＡＳＨが第２面ＷＫ２に貼り付く（以上が「誘導工程」）。

ここで、接着シートＡＳの特性等によっては、はみ出し領域ＡＳＨが第２面ＷＫ２に接触するまで折れ曲がらない場合や、はみ出し領域ＡＳＨが第２面ＷＫ２に接触するまで折れ曲がったとしても、押圧力不足で所定の接着力が得られない場合や、念のためにはみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に押圧しておきたい場合等があれば、はみ出し領域押圧手段５０によって、はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に押圧する以下のはみ出し領域押圧工程を行ってもよい。このはみ出し領域押圧工程は、リフトテーブル６４が下降した後、はみ出し領域押圧手段５０が直動モータ５１を駆動して押圧部材５２を下降させ、図１（Ｄ）に示すように、押圧部材５２と保持面６２Ａとではみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２に押圧する。これにより、はみ出し領域ＡＳＨは、被着体ＷＫの第２面ＷＫ２により確実に貼付される（以上が「はみ出し領域押圧工程」）。

そして、折り曲げ貼付手段３０が第２熱気送風手段３１Ｂの駆動を停止し、誘導手段４０およびはみ出し領域押圧手段５０がそれぞれ直動モータ４１、５１を駆動して誘導ヘッド４３および押圧部材５２を初期位置に復帰させる。次いで、移動手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面６４Ａでの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、リニアモータ６１を駆動し、支持テーブル６２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１面ＷＫ１に貼付した接着シートＡＳのはみ出し領域ＡＳＨを変形させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを当該第１面ＷＫ１とは異なる第２面ＷＫ２方向に折り曲げて貼付するので、被着体ＷＫの第１面ＷＫ１と第２面ＷＫ２とを保護するための接着シートＡＳが１枚で事足りる。従って、被着体ＷＫの第１面ＷＫ１と第２面ＷＫ２とを保護するためのランニングコストが増大することを防止することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

供給手段１０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳを繰り出してから当該接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材が仮着された帯状接着シート原反を採用し、当該帯状接着シート原反を繰り出す途中で、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段としての切断刃で形成し、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、帯状の剥離シートＲＬに帯状の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから当該帯状の接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離して供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートＲＬを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出して供給してもよい。

押圧手段２０は、接着シートＡＳの外縁全部がはみ出し領域ＡＳＨとなるように、当該接着シートＡＳを第１面ＷＫ１に貼付してもよいし、接着シートＡＳの外縁の一部がはみ出し領域ＡＳＨとなるように、当該接着シートＡＳを第１面ＷＫ１に貼付してもよい。

折り曲げ貼付手段３０は、送風ヘッド３２が円環形状でなく、四角形や八角形等の多角環形状や楕円環形状等でもよいし、環状ノズル３２Ａに代えて複数のノズルを備えていてもよいし、変形するはみ出し領域ＡＳＨの位置に合わせて噴出口３２Ｂを例えば、上下方向に複数設けてもよいし、変形するはみ出し領域ＡＳＨの位置に合わせて噴出口３２Ｂが例えば、上下方向に移動する構成としてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨに対し、第２エネルギーを付与した後に第１エネルギーを付与してもよいし、第１エネルギーと第２エネルギーとを同時に付与してもよいし、噴出口３２Ｂが環状のものではなく、複数または単数の孔であってもよいし、第１熱気ＡＲ１の温度は、はみ出し領域ＡＳＨを第１変形可能な温度（上記の実施形態では８０℃）でもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第１変形可能な温度よりも高い温度（上記の実施形態では８５℃や１００℃等）でもよいし、第２熱気ＡＲ２の温度は、はみ出し領域ＡＳＨを第２変形可能な温度（上記の実施形態では１５０℃）でもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第２変形可能な温度よりも高い温度（上記の実施形態では１６０℃や１８０℃等）でもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第１変形可能な温度（上記の実施形態では８０℃またはそれ以上の温度）にまで加熱した環状部材を当該はみ出し領域ＡＳＨに当接させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを第１変形させてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第２変形可能な温度（上記の実施形態では１５０℃またはそれ以上の温度）にまで加熱した環状部材を当該はみ出し領域ＡＳＨに当接させ、当該はみ出し領域ＡＳＨを第２変形させてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第１変形可能な温度にまで加熱した環状部材をはみ出し領域ＡＳＨに当接させた状態で下降させる構成とし、当該環状部材を誘導手段として機能させてもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを第２変形可能な温度にまで加熱した環状部材をはみ出し領域ＡＳＨに当接させた状態で下降させる構成とし、当該環状部材を誘導手段として機能させてもよいし、第２熱気送風手段３１Ｂを誘導手段４０と共有しなくてもよいし、接着シートＡＳに付与する熱は、加熱した水、オイル、ジェル等の流体でもよく、第１、第２熱気ＡＲ１、ＡＲ２や流体の温度は、接着シートＡＳの特性等を考慮して使用者が任意に決定することができるし、接着シートＡＳに付与する所定のエネルギーとして、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、第１、第２エネルギー以外に、第３エネルギーや第４エネルギー等のさらに多くのエネルギーを付与する構成としてもよく、接着シートＡＳの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して付与するエネルギーの数を任意に決定することができる。

誘導手段４０は、誘導ヘッド４３に代えてまたは併用して、大気やガス等の気体や第１、第２熱気ＡＲ１、ＡＲ２を吹き付けてはみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導してもよいし、駆動機器の出力部で支持したブラシや板状部材等をはみ出し領域ＡＳＨに押し付け、当該はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導する構成でもよいし、第２熱気送風手段３１Ｂを折り曲げ貼付手段３０と共有することなく、独自の第２熱気送風手段を備えていてもよいし、誘導ヘッド４３が円環形状でなく、四角形や八角形等の多角環形状や楕円環形状等でもよいし、噴出口４３Ｃから第２熱気ＡＲ２を噴出することなく、例えば、冷気、熱気または常温気体を噴出する第２熱気送風手段３１Ｂとは異なる別の送風手段を採用し、当該送風手段で噴出した気体ではみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導する構成としてもよいし、第２熱気ＡＲ２や冷気等を噴出する構成がなくてもよいし、第２熱気ＡＲ２を噴出する構成や別の送風手段に代えて、または併用して、駆動機器の出力部で支持したブラシや板状部材等をはみ出し領域ＡＳＨに押し付け、当該はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導する構成を採用してもよいし、誘導ヘッド４３に代えて送風ヘッド３２から噴出される第１、第２熱気ＡＲ１、ＡＲ２が通り抜ける孔や隙間を備えた誘導ヘッドを採用し、はみ出し領域ＡＳＨに吹き付けられる送風ヘッド３２からの第１、第２熱気ＡＲ１、ＡＲ２を遮ることなく、はみ出し領域ＡＳＨを第２面ＷＫ２方向に誘導してもよいし、噴出口４３Ｃが環状でなく、複数または単数の孔でもよいし、第１、第２変形によってはみ出し領域ＡＳＨが所望の方向に変形する場合でも誘導動作を行ってもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

はみ出し領域押圧手段５０は、直動モータ５１および押圧部材５２を採用することなく、直動モータ６３およびリフトテーブル６４を移動手段６０と共有し、リフトテーブル６４が初期位置に復帰する力ではみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫに押圧するはみ出し領域押圧工程を実施してもよいし、折り曲げ貼付手段３０による折り曲げだけで、第２面ＷＫ２に対するはみ出し領域ＡＳＨの接着力が所定の接着力となった場合でも、はみ出し領域押圧工程を行ってもよいし、はみ出し領域押圧工程を行わなくてもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

移動手段６０は、支持テーブル６２を移動させることなくまたは移動させつつ、供給手段１０や押圧手段２０を移動させ、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよいし、はみ出し領域ＡＳＨを被着体ＷＫとで挟み込んだ際（図１（Ｄ）参照）、当該はみ出し領域ＡＳＨが当接する保持面６２Ａの位置に、折り曲げ貼付手段３０が付与する所定のエネルギーと同等の所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を配置してもよいし、被着体ＷＫの外縁がはみ出る大きさの保持面６４Ａを有する支持テーブル６４を採用し、リフトテーブル６４で被着体ＷＫを持ち上げることなく、折り曲げ貼付手段３０が第２面ＷＫ２にはみ出し領域ＡＳＨを貼付可能な構成を採用してもよいし、リフトテーブル６４を採用することなく、他の駆動機器で被着体ＷＫを持ち上げるように構成し、折り曲げ貼付手段３０が第２面ＷＫ２にはみ出し領域ＡＳＨを貼付可能な構成を採用してもよいし、本発明のシート貼付装置ＥＡに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

シート貼付装置ＥＡは、被着体ＷＫに複数の接着シートＡＳを貼付してもよいし、上下反転して配置したり横向きに配置したりして、被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付してもよい。

接着シートＡＳは、例えば、６０℃や２００℃等、８０℃以外の熱によって第１変形を起こすものでもよいし、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の第１エネルギーによって第１変形を起こすものでもよいし、第１エネルギーによって収縮を伴って第１変形を起こすものでもよいし、膨張を伴って第１変形を起こすものでもよいし、収縮も膨張も伴うことなく第１変形を起こすものでもよいし、例えば、５０℃や１００℃等、１５０℃以外の熱によって第２変形を起こすものでもよいし、紫外線、赤外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の第２エネルギーによって第２変形を起こすものでもよいし、第２エネルギーによって収縮を伴って第２変形を起こすものでもよいし、膨張を伴って第２変形を起こすものでもよいし、収縮も膨張も伴うことなく第２変形を起こすものでもよいし、例えば、第１基材ＢＳ１が第１エネルギーとしての紫外線によって第１変形を起こし、第２基材ＢＳ２が第２エネルギーとしての赤外線によって第２変形を起こすものでもよいし、第１基材ＢＳ１が第１エネルギーとしてのＸ線によって第１変形を起こし、第２基材ＢＳ２が第２エネルギーとしての冷気によって第２変形を起こすもの等でもよく、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせはどのような組み合わせでもよいし、第２基材ＢＳ２上に第１基材ＢＳ１が積層され、当該第１基材ＢＳ１上に接着剤層ＡＤが積層されたものでもよいし、第１基材ＢＳ１と第２基材ＢＳ２との間に１または複数の基材が積層されていてもよいし、接着剤層ＡＤと第１基材ＢＳ１または第２基材ＢＳ２との間に１または複数の基材が積層されていてもよいし、第１基材ＢＳ１と第２基材ＢＳ２と接着剤層ＡＤとが積層され、当該接着剤層ＡＤが積層された面の反対側の面に１または複数の基材が積層されていてもよいし、例えば、１つの基材上に接着剤層ＡＤが積層された２層構造とされ、この１つの基材が第１エネルギーで第１変形を起こすものとされ、接着剤層ＡＤが第２エネルギーで第２変形を起こすものとされてもよいし、１つの基材に第１エネルギーで第１変形を起こす物質と第２エネルギーで第２変形を起こす物質との両方が含まれたもの等であってもよいし、接着剤層ＡＤのみの１層構造とされ、この接着剤層ＡＤに第１エネルギーで第１変形を起こす物質と第２エネルギーで第２変形を起こす物質との両方が含まれたもの等であってもよいし、第１、第２エネルギー以外に、第３エネルギーや第４エネルギー等のさらに多くのエネルギーが付与されることで第３変形や第４変形等のさらに多くの変形を起こすものでもよい。
シート貼付装置ＥＡは、中央部に孔が形成されることで環状とされた接着シートＡＳを採用し、被着体ＷＫにおける第１面ＷＫ１の外縁部と第２面ＷＫ２の外縁部とに当該接着シートＡＳを貼付するものでもよい。
被着体ＷＫは、第２面ＷＫ２が第１面ＷＫ１の背面側に位置する背面となるものでもよいし、第２面ＷＫ２が第１面ＷＫ１と背面との間に位置する側面等、第１面ＷＫ１と異なる面であればどのような面となるものでもよい。

本発明における接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された２層のもの、基材と接着剤層との間に１または複数の中間層が積層された３層または３層以上のもの、基材の上面に１または複数のカバー層が積層された３層または３層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、１または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＥＡ…シート貼付装置
１０…供給手段
２０…押圧手段
３０…折り曲げ貼付手段
３１…エネルギー付与手段
４０…誘導手段
５０…はみ出し領域押圧手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳＨ…はみ出し領域
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…第１面
ＷＫ２…第２面
ＷＫＥ…外縁

Claims (4)

1. 所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給する供給手段と、
   前記供給手段で供給された前記接着シートが被着体における第１面の外縁からはみ出したはみ出し領域を形成するように、前記接着シートを前記第１面に押圧して貼付する押圧手段と、
   前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを付与して変形させ、当該はみ出し領域を前記第１面とは異なる第２面方向に折り曲げて、当該はみ出し領域を前記第２面に貼付する折り曲げ貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記接着シートは、異なる複数のエネルギーが付与されることで、各エネルギーに対応した所定の変形を起こし、
   前記折り曲げ貼付手段は、前記はみ出し領域に異なる複数のエネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記はみ出し領域を前記第２面方向に誘導する誘導手段を備えていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記はみ出し領域を前記第２面に押圧するはみ出し領域押圧手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２記載のシート貼付装置。
4. 所定のエネルギーによって変形可能な接着シートを供給する供給工程と、
   前記供給工程で供給された前記接着シートが被着体における第１面の外縁からはみ出したはみ出し領域を形成するように、前記接着シートを前記第１面に押圧して貼付する押圧工程と、
   前記はみ出し領域に前記所定のエネルギーを付与して変形させ、当該はみ出し領域を前記第１面とは異なる第２面方向に折り曲げて、当該はみ出し領域を前記第２面に貼付する折り曲げ貼付工程とを実施するシート貼付方法において、
   前記接着シートは、異なる複数のエネルギーが付与されることで、各エネルギーに対応した所定の変形を起こし、
   前記折り曲げ貼付工程では、前記はみ出し領域に異なる複数のエネルギーを付与するエネルギー付与工程を行うことを特徴とするシート貼付方法。

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