JP2023037589A - タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000000306 component Substances 0.000 description 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000021615 conjugation Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000004148 unit process Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66B—ELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
- B66B9/00—Kinds or types of lifts in, or associated with, buildings or other structures
- B66B9/16—Mobile or transportable lifts specially adapted to be shifted from one part of a building or other structure to another part or to another building or structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F9/00—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F9/00—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
- B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
- B66F9/07—Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
図2は本発明の一実施形態による間隔調節ユニット300aを有するタワーリフト200を示す。図2を参照すれば、間隔調節ユニット300aは、ベースプレート321と駆動部を有する。
図3は本発明の他の実施形態による間隔調節ユニット300bを有するタワーリフト200を示し、図4乃至図5は各々図3のペンタグラフ構造体344を示す。図3乃至図5を参照すれば、間隔調節ユニット300bは、ペンタグラフ構造体344を有する。
図6は本発明の他の実施形態による間隔調節ユニット300cを有するタワーリフト200を示し、図7は図6の間隔調節ユニット300cを示す。図6乃至図7を参照すれば、間隔調節ユニット300cは、連結部366、サブベルト364、サブプーリー362、そして回転部363を有する。
22 支持台
24 移動装置
200 ワーリフト
202 ボディー
204 ガイドレール
205 ガイドホイール
220 キャリッジモジュール
240 駆動ユニット
241 メーンプーリー
242 駆動ベルト
243 回転装置
244 ウェイトモジュール
246 均衡ベルト
250 ブレーキモジュール
300 間隔調節ユニット
321 ベースプレート
322、324 駆動装置
323 駆動レール
342 アクチュエータ
344 ペンタグラフ構造体
Claims (22)
- ボディーと、
前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成され、搬送対象物を各々支持する第1キャリッジモジュール及び第2キャリッジモジュールと、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトを含む駆動ユニットと、
前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含むタワーリフト。 - 前記間隔調節ユニットは、
前記駆動ベルトに装着されるベースプレートと、
前記ベースプレート上で前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールの中でいずれか1つを他の1つに対して相対移動させる駆動部と、を含む請求項1に記載のタワーリフト。 - 前記間隔調節ユニットは、
前記ベースプレート上に提供され、前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールが搭載される駆動レールをさらに含み、
前記駆動部は、
前記駆動レール上で前記第1キャリッジモジュールを移動させる第1駆動装置と、
前記駆動レール上で前記第2キャリッジモジュールを移動させる第2駆動装置と、を含む請求項2に記載のタワーリフト。 - 前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールの中で1つが前記駆動ベルトに固定され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、
前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールに装着されて前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含む請求項1に記載のタワーリフト。 - 前記第1キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトに固定され、
前記第1キャリッジモジュールは、前記第2キャリッジモジュールより上部に位置され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、
前記第1キャリッジモジュールに固定され前記サブベルトが結合されるサブプーリーと、
前記サブプーリーを回転させるための回転部と、を含む請求項1に記載のタワーリフト。 - 前記駆動ユニットは、
前記ボディーの上部に提供され、前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含む請求項1に記載のタワーリフト。 - 前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、
前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールには前記ガイドレールと接触されるガイドホイールが提供される請求項1に記載のタワーリフト。 - 前記搬送対象物は、基板が収納された容器である請求項1乃至請求項7のいずれかの一項に記載のタワーリフト。
- 1つ以上の目的地に基板を保管する容器を搬送するタワーリフトを含み、
前記タワーリフトは、
ボディーと、
駆動ベルトによって前記ボディーに沿って上下方向に移動可能に構成された第1キャリッジモジュール及び第2キャリッジモジュールと、
前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールとの間の間隔を調節する間隔調節ユニットと、を含み、
前記間隔調節ユニットによって前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールとの間の間隔は、変更可能に提供され、
前記1つ以上の目的地間の同一であるか、或いは間隔は、異なる物流システム。 - 前記間隔調節ユニットは、
前記駆動ベルトに装着されるベースプレートと、
前記ベースプレート上で前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールの中でいずれか1つを他の1つに対して相対移動させる駆動部と、を含む請求項9に記載の物流システム。 - 前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールの中で1つが前記駆動ベルトに固定され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールに連結されるペンタグラフ構造体と、
前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールに装着されて前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータと、を含む請求項9に記載の物流システム。 - 前記第1キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトに固定され、
前記第1キャリッジモジュールは、前記第2キャリッジモジュールより上部に位置され、
前記間隔調節ユニットは、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールに連結されるサブベルトと、
前記第1キャリッジモジュールに固定され、前記サブベルトが結合されるサブプーリーと、
前記サブプーリーを回転させるための回転部と、を含む請求項9に記載の物流システム。 - 前記ボディーの上部に提供され、前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、をさらに含む請求項9に記載の物流システム。 - 前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールの上下方向移動を案内するガイドレールをさらに含み、
前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールには前記ガイドレールと接触されるガイドホイールが提供される請求項9に記載の物流システム。 - 前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールは、
内部に基板を保管する容器を支持する支持台と、
前記支持台を前記目的地が提供された方向に伸張させるか、又はその反対方向に収縮させる移動装置と、をさらに含む請求項9乃至請求項14のいずれかの一項に記載の物流システム。 - 目的地間の距離が第1距離である隣接する目的地に同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、
搬送対象物を各々支持する第1キャリッジモジュールと第2キャリッジモジュールとの間の距離を前記第1距離に調節した状態で前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールを駆動ユニットに昇降させ、
目的地間の距離が第2距離である隣接する目的地と同時に搬送対象物を各々搬送する場合には、
前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールとの間の距離を前記第2距離に調節した状態で前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールを前記駆動ユニットに昇降させ、
前記第1距離と前記第2距離は、互いに異なる搬送方法。 - 前記搬送対象物は、基板が収納された容器であり、
前記目的地の各々には基板を処理する装置又は基板を収納する容器を貯蔵するストッカーを提供される請求項16に記載の搬送方法。 - 前記駆動ユニットは、
前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールを上下方向に移動させながら、前記第1キャリッジモジュール又は前記第2キャリッジモジュールが装着される駆動ベルトと、
前記駆動ベルトが結合されるメーンプーリーと、
前記メーンプーリーを回転させるための回転装置と、を含む請求項16に記載の搬送方法。 - 前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールは、ベースプレートに設置され、前記ベースプレートが前記駆動ベルトによって昇下降されることによって前記第1キャリッジモジュール及び前記第2キャリッジモジュールは、前記駆動器によって同時に昇降され、
前記ベースプレート上で前記第1キャリッジモジュールと前記第2キャリッジモジュールとの間の間隔が調節される請求項18に記載の搬送方法。 - 前記第1キャリッジモジュールは、前記駆動ベルトによって直接昇下降され、前記第2キャリッジモジュールは、前記第1キャリッジモジュールと共に昇下降可能するように前記第1キャリッジモジュールに結合され、
前記第2キャリッジモジュールは、前記第1キャリッジモジュールに対して間隔調節が可能するように前記第1キャリッジモジュールに結合される請求項18に記載の搬送方法。 - 前記第2キャリッジモジュールは、サブベルトによって前記第1キャリッジモジュールと連結され、
前記サブベルトは、前記第1キャリッジモジュールに固定され、前記サブベルトが結合されるサブプーリー及び前記サブプーリーを回転させる回転部によって前記駆動ユニットと別に作動するように提供される請求項20に記載の搬送方法。 - 前記第2キャリッジモジュールは、ペンタグラフ構造体によって前記第1キャリッジモジュールと連結され、
前記ペンタグラフ構造体を伸張又は収縮させるアクチュエータによって前記第2キャリッジモジュールが前記第1キャリッジモジュールに対して昇下降される請求項20に記載の搬送方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210117728A KR20230034680A (ko) | 2021-09-03 | 2021-09-03 | 타워 리프트와 이를 포함하는 물류 시스템 및 이를 이용한 반송 방법 |
KR10-2021-0117728 | 2021-09-03 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023037589A true JP2023037589A (ja) | 2023-03-15 |
JP7489435B2 JP7489435B2 (ja) | 2024-05-23 |
Family
ID=85349433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022132179A Active JP7489435B2 (ja) | 2021-09-03 | 2022-08-23 | タワーリフトとこれを含む物流システム及びこれを利用した搬送方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230076551A1 (ja) |
JP (1) | JP7489435B2 (ja) |
KR (1) | KR20230034680A (ja) |
CN (1) | CN115744712A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230080840A (ko) * | 2021-11-30 | 2023-06-07 | 세메스 주식회사 | 타워 리프트 |
-
2021
- 2021-09-03 KR KR1020210117728A patent/KR20230034680A/ko active Search and Examination
-
2022
- 2022-08-12 US US17/886,823 patent/US20230076551A1/en active Pending
- 2022-08-23 JP JP2022132179A patent/JP7489435B2/ja active Active
- 2022-08-30 CN CN202211045590.0A patent/CN115744712A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230076551A1 (en) | 2023-03-09 |
KR20230034680A (ko) | 2023-03-10 |
CN115744712A (zh) | 2023-03-07 |
JP7489435B2 (ja) | 2024-05-23 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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