JP2023010688A - 食刻装置およびその制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (13)
- 食刻液によって対象体を食刻する食刻チャンバー;
前記食刻チャンバー内の食刻液を回収し、食刻液ポンプによって前記食刻チャンバーに食刻液を供給する食刻液供給部;
前記食刻液ポンプに気体を注入して駆動圧力を印加する第1圧力調節部;
前記食刻チャンバーと前記食刻液供給部とを指定された同一の圧力で加圧させる第2圧力調節部;
前記食刻液ポンプの駆動時に排出される気体の圧力を調節する排圧調節部および
前記食刻液ポンプに前記気体が注入または排出される順序および方向を制御するバルブを含むことを特徴とする、食刻装置。 - 前記第1圧力調節部、第2圧力調節部、バルブ、食刻液ポンプ、および排圧調節部のうち一つ以上を選択的に制御して食刻を遂行する制御部をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の食刻装置。
- 前記第2圧力調節部から前記食刻チャンバーと前記食刻液供給部とを含む食刻部へと連結された配管から分流される新しい配管が前記排圧調節部に連結されることを特徴とする、請求項1に記載の食刻装置。
- 前記第2圧力調節部から前記食刻部に印加される圧力と同一の圧力が前記新しい配管を通じて前記排圧調節部にも印加されるように具現されたことを特徴とする、請求項3に記載の食刻装置。
- 前記制御部は、
前記第1圧力調節部を制御して前記排圧調節部に印加される圧力よりさらに大きい圧力を前記食刻液ポンプに印加することを特徴とする、請求項2に記載の食刻装置。 - 前記排圧調節部に独立的に圧力を印加する第3圧力調節部をさらに含み、
前記制御部は、
前記第2圧力調節部を通じて前記食刻部に印加される圧力と同一の圧力が前記排圧調節部に印加されるように前記第3圧力調節部を制御することを特徴とする、請求項2に記載の食刻装置。 - 前記制御部は、
前記第2圧力調節部または第3圧力調節部で印加される圧力よりさらに高い圧力が印加されるように第1圧力調節部を制御することを特徴とする、請求項6に記載の食刻装置。 - 前記食刻液ポンプで前記バルブを通じて互いに異なる経路で排出される気体の排出配管を一つに合流させ、
前記合流された一つの気体排出配管に一つの排圧調節部が形成されるように具現されたことを特徴とする、請求項1に記載の食刻装置。 - 前記食刻液供給部は前記食刻チャンバー内の食刻液を重力による自然ドレン方式で回収することを特徴とする、請求項1に記載の食刻装置。
- 食刻装置の制御方法であって、
前記食刻装置は食刻チャンバー;食刻液ポンプによって前記食刻チャンバーに食刻液を供給する食刻液供給部;前記食刻液ポンプに気体を注入して駆動圧力を印加する第1圧力調節部;前記食刻チャンバーと前記食刻液供給部とを指定された圧力で加圧させる第2圧力調節部;前記食刻液ポンプの駆動時に排出される気体の圧力を調節する排圧調節部;前記食刻液ポンプに注入または排出される順序および方向を制御するバルブ;および制御部を含み、
前記食刻装置の制御方法は
前記制御部が前記第1圧力調節部、前記第2圧力調節部、前記バルブ、前記食刻液ポンプ、および前記排圧調節部のうち一つ以上を選択的に制御して食刻を遂行する段階;および
前記制御部が前記第1圧力調節部を制御して前記排圧調節部に印加される圧力よりさらに大きい圧力を前記食刻液ポンプに印加する段階を含むことを特徴とする、食刻装置の制御方法。 - 前記第2圧力調節部から前記食刻チャンバーと前記食刻液供給部とを含む食刻部へと連結された配管から分流される新しい配管が前記排圧調節部に連結され、
前記制御部が前記第2圧力調節部から前記食刻部に印加される圧力と同一の圧力が前記排圧調節部にも印加されるようにする段階をさらに含むことを特徴とする、請求項10に記載の食刻装置の制御方法。 - 前記食刻装置は前記排圧調節部に独立的に圧力を印加する第3圧力調節部をさらに含み、
前記第2圧力調節部を通じて食刻部に印加される圧力と同一の圧力が前記排圧調節部に印加されるように前記第3圧力調節部を制御する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項10に記載の食刻装置の制御方法。 - 前記制御部が前記第2圧力調節部または第3圧力調節部で印加される圧力よりさらに高い圧力が印加されるように第1圧力調節部を制御する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項12に記載の食刻装置の制御方法。
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