JP2022550749A - 検査ソケットの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第2接合ブロックの形成段階は、前記第2ベース部材と第2絶縁部材との間に第2接着シートを配列する段階、及び前記第2接着シートを加熱及び加圧する段階を含むことができる。
Z-インピーダンス(Z-Impedance)は、可能なかぎり小さいことが好ましい。図29を参照すると、許容Z-インピーダンス(1GHz)を基準に、従来技術は約0.9Ωを示すのに対し、本発明は約0.65Ωであって、より優れていることが分かる。
2:ソケットブロック
21:パワープローブ孔
21-1:第1パワープローブ孔
21-2:第2パワープローブ孔
22:接地プローブ孔
22-1:第1接地プローブ孔
22-2:第2接地プローブ孔
23:信号プローブ孔
23-1:第1信号プローブ孔
23-2:第2信号プローブ孔
3:第1接合ブロック
31:第1ベース部材
311:陥没部
312:カバー
313,314,315:接合溝
316:接合孔
32:第1絶縁部材
33:接着シート
34:金型カバー
4:第2接合ブロック
41:第1ベース部材
42:第2絶縁部材
5:パワープローブ
6:接地プローブ
7:信号プローブ
8:ギャッププレート
100:ドリル
Claims (17)
- 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、
導電性材質の第1ベース部材と絶縁性材質の第1絶縁部材とを接合して第1接合ブロックを形成する段階;
導電性材質の第2ベース部材と絶縁性材質の第2絶縁部材とを接合して第2接合ブロックを形成する段階;
前記第1接合ブロックに、前記プローブの一部を収容する第1バレル収容孔と、前記プローブの一端部を支持する第1支持孔を形成する段階;
前記第2接合ブロックに、前記プローブの他部を収容する第2バレル収容孔と、前記プローブの他端部を支持する第2支持孔を形成する段階;
前記プローブの一端を前記第1バレル収容孔に挿入して前記第1支持孔に支持し、前記プローブの他端を前記第2バレル収容孔に挿入して前記第2支持孔に支持する段階;及び
前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとを結合させる段階を含む検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接合ブロックの形成段階は、
前記第1ベース部材と第1絶縁部材との間に第1接着シートを配列する段階;及び
前記第1接着シートを加熱及び加圧する段階を含み、
前記第2接合ブロックの形成段階は、
前記第2ベース部材と第2絶縁部材との間に第2接着シートを配列する段階;及び
前記第2接着シートを加熱及び加圧する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接着シート及び前記第2接着シートは、硬化型接着剤を含む、請求項2に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材と第2ベース部材は、厚さが互いに異なる、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合ブロックの形成段階は、
前記第1ベース部材の一面に第1陥没部を形成する段階;
前記第1陥没部に樹脂を詰める段階;
前記樹脂の詰められた第1陥没部を第1カバーで覆う段階;
前記樹脂を硬化させる段階;及び
前記第1カバーを分離する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第2接合ブロックの形成段階は、
前記第2ベース部材の一面に第2陥没部を形成する段階;
前記第2陥没部に樹脂を詰める段階;
前記樹脂の詰められた第2陥没部を第2カバーで覆う段階;
前記樹脂を硬化させる段階;及び
前記第2カバーを分離する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。 - 前記第1接合ブロック及び前記第2接合ブロックの形成段階は、それぞれ、前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材にそれぞれ前記第1絶縁部材及び前記第2絶縁部材をインサート射出する段階を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材は、それぞれ、前記第1絶縁部材及び前記第2絶縁部材が形成される面に第1接合溝及び第2接合溝を含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、底に向かって断面積が広くなる、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔が設けられる領域以外の領域に形成される、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合溝及び前記第2接合溝は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔を取り囲む、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1ベース部材及び前記第2ベース部材は、それぞれ、厚さ方向に貫通する第1接合孔及び第2接合孔を含む、請求項8に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合孔及び第2接合孔は、それぞれ、前記第1バレル収容孔及び前記第2バレル収容孔が設けられる領域以外の領域に形成される、請求項12に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとの間にギャッププレートを介在させる段階をさらに含む、請求項1に記載の検査ソケットの製造方法。
- 請求項1~14のいずれかに記載の方法で製造された検査ソケット。
- 長さ方向に伸縮可能なプローブを支持する検査ソケットを製造する方法であって、
導電性材質の第1ベース部材に、前記プローブの一部を収容する第1バレル収容孔を形成し、前記第1ベース部材と絶縁性材質の第1絶縁部材とを接合して第1接合ブロックを形成する段階;
導電性材質の第2ベース部材に前記プローブの他部を収容する第2バレル収容孔を形成し、前記第2ベース部材と絶縁性材質の第2絶縁部材とを接合して第2接合ブロックを形成する段階;
前記第1バレル収容孔を通じて前記第1絶縁部材に、前記プローブの一端部を支持する第1支持孔を形成する段階;
前記第2バレル収容孔を通じて前記第2絶縁部材に、前記プローブの他端部を支持する第2支持孔を形成する段階;
前記プローブの一端を前記第1バレル収容孔に挿入して前記第1支持孔に支持し、前記プローブの他端を前記第2バレル収容孔に挿入して前記第2支持孔に支持する段階;及び
前記第1接合ブロックと前記第2接合ブロックとを結合させる段階を含む、検査ソケットの製造方法。 - 請求項16に記載の方法で製造された検査ソケット。
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