JP2022518487A - 差圧ベースの流量計 - Google Patents
差圧ベースの流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2022518487A JP2022518487A JP2021542327A JP2021542327A JP2022518487A JP 2022518487 A JP2022518487 A JP 2022518487A JP 2021542327 A JP2021542327 A JP 2021542327A JP 2021542327 A JP2021542327 A JP 2021542327A JP 2022518487 A JP2022518487 A JP 2022518487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- fluid
- flow meter
- flow path
- limiting element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 144
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 33
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N Beryllium oxide Chemical compound O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002430 Fibre-reinforced plastic Polymers 0.000 description 1
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011151 fibre-reinforced plastic Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
- G01F1/42—Orifices or nozzles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2019年1月25日に出願された名称を「DIFFERENTIAL-PRESSURE-BASED FLOW METERS」とする米国特許出願番号第62/796,969号の優先権の利益を主張し、上記の出願は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
本明細書に開示の主題は、半導体および関連産業で使用される様々な種類の機器に関する。より具体的には、本開示の主題は、双方ともに差圧センサに基づく、流体の体積流量または流体の質量流量のいずれかを決定する装置に関する。
Claims (20)
- 流量計であって、
入口部および出口部を有し、流体を搬送するように構成されている流路と、
前記流路の内部にあり、前記流路の前記入口部と前記出口部との間に配置され、前記流体に圧力降下を与えるように構成されている少なくとも1つの流れ制限要素と、
前記流路の前記入口部と前記出口部との間に配置されている流量センサとを備え、前記流量センサの第1の表面は、前記少なくとも1つの流れ制限要素の上流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記流量センサの前記第1の表面の反対側の前記流量センサの部分の第2の表面は、前記少なくとも1つの流れ制限要素の下流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記流量センサは、前記少なくとも1つの流れ制限要素による前記流体の差圧を感知するように構成されている、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの流れ制限要素は、層流要素を備える、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの流れ制限要素は、オリフィスを備える、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの流れ制限要素は、複数のオリフィスを備える、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記流路の前記入口部および前記出口部は、互いに実質的に平行に配置される、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記流路の前記入口部および前記出口部は、約0°~約45°離れた角度で配置される、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記流路の前記入口部および前記出口部は、約45°~約60°離れた角度で配置される、流量計。 - 請求項1に記載の流量計はさらに、
前記少なくとも1つの流れ制限要素の上流にある前記流路内の第1の屈曲部と、前記少なくとも1つの流れ制限要素の下流にある第2の屈曲部とを備える、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記第1の屈曲部および前記第2の屈曲部の少なくとも1つは、前記少なくとも1つの流れ制限要素から離れて少なくとも5~7の特性長さ寸法であり、前記特性長さ寸法は、前記流路の内部寸法に基づく、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記流量センサは、差圧センサである、流量計。 - 請求項1に記載の流量計であって、
前記流量計のターンダウン比は、少なくとも約100:1である、流量計。 - 流量計であって、
入口部および出口部を有し、流体を搬送するように構成されている流路であって、内部に形成されている単一の屈曲部を有する流路と、
前記流路の内部にあり、前記流路の前記入口部と前記出口部との間に配置され、前記流体に圧力降下を与えるように構成されている少なくとも1つの流れ制限要素と、
第1の表面、および前記第1の表面の反対側の第2の表面を有する少なくとも1つの流量センサと、を備え、前記流量センサの前記第1の表面は、前記少なくとも1つの流れ制限要素の上流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記第2の表面は、前記少なくとも1つの流れ制限要素の下流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記流量センサは、前記少なくとも1つの流れ制限要素による前記流体の差圧を感知するように構成されている、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの制限要素は、前記流路内の前記単一の屈曲部内に位置する、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの流れ制限要素は、層流要素である、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記少なくとも1つの流れ制限は、貫通して形成された少なくとも1つのオリフィスを有する流体の流れの方向に対して横方向に構成されているプレートである、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記流路内の前記単一の屈曲部は、前記流路の残りの部分の断面積と比較して縮小した断面積を有し、前記少なくとも1つの流れ制限は、前記縮小した断面積を備える、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記流路の前記入口部の断面積は、前記流路の前記出口部の断面積よりも大きい、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記流路の前記出口部の断面積は、前記流路の前記入口部の断面積よりも大きい、流量計。 - 請求項12に記載の流量計であって、
前記流量計は、内部にデッドボリュームが位置しないように構成されている、流量計。 - 流量計であって、
流体を搬送するための上流部分流路および下流部分流路であって、互いに実質的に同一直線上にある上流部分流路および下流部分流路と、
前記搬送される流体の方向に対して横方向に、前記上流部分流路と前記下流部分流路との間に配置されている流量センサキャリアと、
前記流体の方向と実質的に同じ方向に前記流量センサキャリアを通して形成された少なくとも1つのオリフィスであって、前記上流部分流路と前記下流部分流路との間に圧力降下を提供する少なくとも1つのオリフィスと、
前記流量センサキャリア内に形成され、第1の表面、および前記第1の表面の反対側の第2の表面を有する流量センサと、を備え、前記流量センサの前記第1の表面は、前記流量センサキャリアの上流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記流量センサの前記第2の表面は、前記流量センサキャリアの下流を流れる前記流体と直接流体連通するように構成され、前記流量センサは、前記少なくとも1つのオリフィスによる前記流体の差圧を感知するように構成されている、流量計。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962796969P | 2019-01-25 | 2019-01-25 | |
US62/796,969 | 2019-01-25 | ||
PCT/US2020/014117 WO2020154197A1 (en) | 2019-01-25 | 2020-01-17 | Differential-pressure-based flow meters |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022518487A true JP2022518487A (ja) | 2022-03-15 |
JPWO2020154197A5 JPWO2020154197A5 (ja) | 2022-12-22 |
Family
ID=71736521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021542327A Pending JP2022518487A (ja) | 2019-01-25 | 2020-01-17 | 差圧ベースの流量計 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220107212A1 (ja) |
JP (1) | JP2022518487A (ja) |
KR (1) | KR20210109643A (ja) |
CN (1) | CN113348339A (ja) |
TW (1) | TW202043708A (ja) |
WO (1) | WO2020154197A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53144372A (en) * | 1977-05-21 | 1978-12-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Detecting apparatus for flow rate |
JPS55109914A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-23 | S T Kenkyusho:Kk | Flow meter |
US4249164A (en) * | 1979-05-14 | 1981-02-03 | Tivy Vincent V | Flow meter |
JP2003526097A (ja) * | 2000-03-08 | 2003-09-02 | ローズマウント インコーポレイテッド | 2方向性の差圧流体センサ |
JP2006162417A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Tsukasa Sokken Co Ltd | 全圧・静圧測定ベンチュリ方式流量測定装置 |
JP2018197684A (ja) * | 2017-05-23 | 2018-12-13 | 株式会社司測研 | 流量測定装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5190075A (en) * | 1989-03-28 | 1993-03-02 | Tentler Michael L | Viscosity-insensitive mechanical fluid flow regulator |
US5295397A (en) * | 1991-07-15 | 1994-03-22 | The Texas A & M University System | Slotted orifice flowmeter |
US5576498A (en) * | 1995-11-01 | 1996-11-19 | The Rosaen Company | Laminar flow element for a flowmeter |
JP3184126B2 (ja) * | 1997-08-04 | 2001-07-09 | アドバンス電気工業株式会社 | 流量センサー |
US6843139B2 (en) * | 2003-03-12 | 2005-01-18 | Rosemount Inc. | Flow instrument with multisensors |
US20060231149A1 (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-19 | Daniel Industries, Inc. | Orifice flow meters |
JP4824949B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2011-11-30 | サーパス工業株式会社 | オリフィス部材、及びこれを用いた差圧流量計、流量調整装置 |
JP5361847B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2013-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、この基板処理方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体及び基板処理装置 |
GB2497321B (en) * | 2011-12-06 | 2014-06-18 | Senico Ltd | Multi-phase metering of fluid flows |
WO2015131248A1 (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-11 | Mezurx Pty Ltd | Compact differential pressure flow meters |
DE102014119240A1 (de) * | 2014-12-19 | 2016-06-23 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Durchflussmessanordnung nach dem Differenzdruckmessprinzip zur Messung eines Durchflusses eines Mediums |
JP6938460B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2021-09-22 | ピヴォタル システムズ コーポレーション | ガス流制御のための方法および装置 |
CN108872019B (zh) * | 2017-05-11 | 2021-02-05 | 中国石化仪征化纤有限责任公司 | 芳纶溶液中ppta分子量的在线检测装置及其检测方法 |
JP2021536577A (ja) * | 2018-09-18 | 2021-12-27 | スウェージロック カンパニー | 流体監視モジュール構造 |
-
2020
- 2020-01-17 KR KR1020217026413A patent/KR20210109643A/ko unknown
- 2020-01-17 CN CN202080010938.5A patent/CN113348339A/zh active Pending
- 2020-01-17 JP JP2021542327A patent/JP2022518487A/ja active Pending
- 2020-01-17 US US17/424,159 patent/US20220107212A1/en active Pending
- 2020-01-17 WO PCT/US2020/014117 patent/WO2020154197A1/en active Application Filing
- 2020-01-21 TW TW109102156A patent/TW202043708A/zh unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS53144372A (en) * | 1977-05-21 | 1978-12-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Detecting apparatus for flow rate |
JPS55109914A (en) * | 1979-02-19 | 1980-08-23 | S T Kenkyusho:Kk | Flow meter |
US4249164A (en) * | 1979-05-14 | 1981-02-03 | Tivy Vincent V | Flow meter |
JP2003526097A (ja) * | 2000-03-08 | 2003-09-02 | ローズマウント インコーポレイテッド | 2方向性の差圧流体センサ |
JP2006162417A (ja) * | 2004-12-07 | 2006-06-22 | Tsukasa Sokken Co Ltd | 全圧・静圧測定ベンチュリ方式流量測定装置 |
JP2018197684A (ja) * | 2017-05-23 | 2018-12-13 | 株式会社司測研 | 流量測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202043708A (zh) | 2020-12-01 |
WO2020154197A1 (en) | 2020-07-30 |
US20220107212A1 (en) | 2022-04-07 |
KR20210109643A (ko) | 2021-09-06 |
CN113348339A (zh) | 2021-09-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4503830B2 (ja) | 摩擦式流量計 | |
CA2902166C (en) | Ultrasonic flow metering with laminar to turbulent transition flow control | |
JP5556850B2 (ja) | 微小流量センサ | |
US9151648B2 (en) | Process variable measurement using primary element connection platform | |
CN109297557B (zh) | 使用通用流量技术连接平台的过程变量测量 | |
JP6637982B2 (ja) | 可変線サイズ平均化ピトー管 | |
JP2005164581A (ja) | 一体形テーパ拡径部を備えたフランジ付渦流量計 | |
CN108369119B (zh) | 流量计 | |
JP2022518487A (ja) | 差圧ベースの流量計 | |
WO2004013580A1 (ja) | 絞り流量計 | |
CN105021236B (zh) | 流量计 | |
JP6257772B2 (ja) | コリオリ質量流量センサ | |
CN219495324U (zh) | 一种双向流皮托尔流量计 | |
JP6426857B2 (ja) | 一体型圧力ポートを備えるパドル式オリフィスプレート | |
US4768373A (en) | Corrosion and erosion sensor | |
RU2452935C2 (ru) | Измерительная система для среды, протекающей в технологическом трубопроводе | |
KR20060093652A (ko) | 배관 유닛 및 그 제조방법 | |
US10883865B2 (en) | Flow restricting fluid component | |
KR101201797B1 (ko) | 질량 유량계 | |
WO2020208697A1 (ja) | 流量センサー | |
JP2711577B2 (ja) | 質量流量制御器 | |
JPWO2020154197A5 (ja) | ||
KR20220137349A (ko) | 초음파 유량계 | |
CN116718241A (zh) | 一种微通道层流元件 | |
KR100760064B1 (ko) | 대용량 질량 유량 계측 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221214 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231226 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240130 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240513 |