JP2022163467A - 紫外光照射装置、紫外光照射装置の使用方法、及び紫外光の照射方法 - Google Patents

Abstract

【課題】人体に対する安全性を確保しつつ、微生物を効果的に不活化できる紫外光照射装置、及び当該紫外光照射装置の使用方法を提供する。
【解決手段】本発明の紫外光照射装置は、主たる発光波長が１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源と、前記光源を収容する筐体と、前記光源より放射された前記紫外光を前記筐体の外へ取り出す取出し部と、前記取出し部に、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタと、前記取出し部に、前記光学フィルタの前記紫外光の出射側に配置される、前記紫外光を拡散させる拡散部材と、を備える。
【選択図】図４

Description

この発明は、紫外光照射装置、紫外光照射装置の使用方法、及び紫外光の照射方法に関する。

細菌、真菌及びウイルス等の微生物は、波長２６０ｎｍ付近に最も高い吸収特性を示すことが知られている。そのため、微生物の存在する物体表面や空間に向けて、波長２５４ｎｍ付近に高い発光スペクトルを示す紫外光を照射し、微生物を不活化させる技術が、従来から知られている。

例えば、特許文献１には、紫外光を出射する殺菌ランプを調理場等に取り付けて、調理場の殺菌を行うことが記載されている。また、特許文献２には、室内に浮遊する細菌やウイルスに紫外光を照射して殺菌することが記載されている。

加えて、特許文献１や特許文献２に記載の紫外光照射装置は、人体に有害な紫外光を使用している。そのため、紫外光が人体に向かわないように、出射する紫外光に指向性を持たせるなどの対策をとっている。

実開昭６３－１８７２２１号公報 特開２０１７－０１８４４２号公報

しかしながら、細菌、真菌及びウイルス等の微生物は、特に、人体の表面（例えば、皮膚や髪の毛）や、人が頻繁に接触する物体表面（例えば、家具や事務機器）、又は人体近傍の空間に多い。

人体に有害な紫外光を照射することの危険性から、従来の紫外光照射装置では、人体の表面、人が頻繁に接触する物体表面、及び人体近傍の空間など、微生物を最も不活化させるべき肝心の場所に向けて、紫外光を照射することができなかった。よって、従来の紫外光照射装置は、微生物の不活化に限界があった。

本発明は、人体に対する安全性を確保しつつ、微生物を効果的に不活化できる紫外光照射装置、及び当該紫外光照射装置の使用方法を提供する。

紫外光は全ての波長帯域において人体に対する有害性を示すわけではない。２４０ｎｍ以上のＵＶＣ波はヒト細胞に対する有害性が報告されているが、それよりも波長帯が短い紫外光は、ヒト細胞に対する貫通力が小さくなるため、人体に対する有害性が極めて低くなる。そこで、本発明者は、人体に対する有害性を抑制しつつ、微生物を不活化するため、主たる発光波長が１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を使用することに着眼した。

本発明の紫外光照射装置は、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源と、
前記光源を収容する筐体と、
前記光源より放射された前記紫外光を前記筐体の外へ取り出す取出し部と、
前記取出し部に、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタと、
前記取出し部に、前記光学フィルタの前記紫外光の出射側に配置される、前記紫外光を拡散させる拡散部材と、を備える。

この紫外光照射装置は、人体に対して有害とされる２４０ｎｍ以上の波長帯域の紫外光が抑制されているため、拡散部材を使用して紫外光の配光角を拡大できる。その結果、微生物を不活化させたい場所（人体の表面、人が頻繁に接触する物体表面、人体近傍の空間、または人が不在の空間を含む）に対して、広範囲にムラなく（ムラを小さく）紫外光を照射できる。よって、人体に対する安全性を確保しつつ、微生物を効果的に不活化できる。

本明細書において、微生物とは、原核生物である細菌類、及び真核生物であるカビ等の真菌類など細胞構造を有する原生生物全般と、細胞構造を有しないゲノムとしてＤＮＡ又はＲＮＡの核酸を有するウイルスと、を含むものである。

本明細書において、不活化とは、原生生物の場合、細胞内のＤＮＡもしくは酵素（タンパク質）又は細胞膜を破壊すること等により死滅させること、又は細胞の増殖機能を取り除くことのいずれかを指す。不活化とは、ウイルスの場合、ＤＮＡ又はＲＮＡを破壊することにより、細胞への感染力を失わせることを指す。ウイルスは、人又は動物の口又は鼻から、呼気、唾、咳又はくしゃみとして飛散する飛沫、又はエアロゾルに含まれ、空間を浮遊し、家具、床及び壁等の物体、並びに人体の表面に付着する。

光源が放射する紫外光は、主たる発光波長が１９０ｎｍ～２３５ｎｍであっても構わない。本明細書において「主たる発光波長」とは、ある波長λに対して±１０ｎｍの波長域Ｚ（λ）を発光スペクトル上で規定した場合において、発光スペクトル内における全積分強度に対して４０％以上の積分強度を示す波長域Ｚ（λｉ）における、波長λｉを指す。例えばＫｒＣｌ、ＫｒＢｒ、ＡｒＦを含む発光ガスが封入されているエキシマランプなどのように、半値幅が極めて狭く、且つ、特定の波長においてのみ光強度を示す光源においては、通常は、相対照度が最も高い波長（主たるピーク波長）をもって、主たる発光波長として構わない。

さらに、前記紫外光照射装置は、１９０ｎｍ以上かつ２３５ｎｍ以下の波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタをさらに備えるから、人体に対して影響を及ぼすおそれのある、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を透過させないことで、人体に対する安全性が向上する。
さらに、人体に対する安全性をより高めるため、光学フィルタは、波長２００ｎｍ以上２３０ｎｍ以下の紫外光を透過し、２３０ｎｍ～２８０ｎｍの紫外光を実質的に透過させないこととしてもよい。

前記拡散部材は前記光学フィルタと接して配置されても構わない。詳細は後述するが、これにより、拡散部材から筐体内部まで戻る戻り光を抑制し、光の照射効率が向上する。さらに、薄い拡散部材の支持が容易である。

前記拡散部材は拡散シートであっても構わない。

前記拡散シートは、ＰＴＦＥを主成分としても構わない。

前記拡散シートを前記取出し部の周囲で固定する固定部を備えても構わない。前記拡散シートの外周を挟持して位置を固定する固定部を備えても構わない。

前記拡散部材は前記光学フィルタに成膜された拡散膜であっても構わない。

前記拡散膜は、シリカ又はアルミナを主成分としても構わない。

前記拡散部材は前記光学フィルタと前記紫外光を透過する透過板とに挟まれて配置されても構わない。

前記拡散部材の厚みが１ｍｍ未満であっても構わない。

前記拡散部材の厚みが０．５ｍｍ未満であっても構わない。

前記光源はエキシマランプであっても構わない。

本発明の紫外光照射装置の使用方法は、上記の紫外光照射装置を、出射される紫外光の少なくとも一部が有人空間に向けて照射されるように配置し、前記紫外光照射装置に前記紫外光を放射させる。

本発明の紫外光照射装置は、主たる発光波長が１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源と、
前記光源を収容する筐体と、
前記光源より放射された前記紫外光を前記筐体の外へ取り出す取出し部と、
前記取出し部に、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタと、を備え、
前記筐体は、前記取出し部に、前記光学フィルタの前記紫外光の出射側に前記紫外光を拡散させる拡散部材を取り付けるための取付部を有する。

本発明の紫外光の照射方法は、
１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源より紫外光を放射し、
１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタで、前記光源より放射された前記紫外光を選択的に透過させて、
前記光学フィルタの出射側に配置された拡散部材で、前記光学フィルタからの出射光を拡散させる。

微生物を効果的に不活化できる紫外光照射装置、及び当該紫外光照射装置の使用方法を提供できる。

紫外光照射装置の外観を模式的に示す斜視図である。 紫外光照射装置の外観を模式的に示す斜視図である。 紫外光照射装置から光源と電極ブロックのみを取り出して示す斜視図である。 紫外光照射装置の、ＸＺ平面における断面模式図である。 拡散部材による出射光の配光角の拡大作用について説明する図である。 発光ガスにＫｒＣｌが含まれるエキシマランプの発光スペクトルの一例である。 光学フィルタの透過スペクトルの一例を示すグラフである。 光学フィルタに対する紫外光の入射角を説明するための模式的な図面である。 図４におけるＰ１領域の拡大図である。 第一例の拡散部材を有する紫外光照射装置の外観を模式的に示す斜視図である。 図１０Ａの紫外光照射装置の断面模式図である。 拡散部材を固定する固定部の変形例を示す図である。 第二例の拡散部材を有する紫外光照射装置の断面模式図である。 光学フィルタ上に成膜された拡散膜を有する紫外光照射装置の断面模式図である。 紫外光照射装置の第二実施形態を説明する図である。 光学レンズを備えた紫外光照射装置の断面模式図である。 反射部を備えた紫外光照射装置の断面模式図である。 拡散部材の作用を計測するための計測設備を模式的に示す図である。 回転角の変化に対する相対照度を表すグラフである。 ＰＴＦＥシートの厚みを横軸に、相対照度を縦軸にとったグラフである。

紫外光照射装置の各実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面は模式的に図示されたものであり、図面上の寸法比は必ずしも実際の寸法比と一致しておらず、各図面間においても寸法比は必ずしも一致していない。

以下において、各図面は、適宜、ＸＹＺ座標系を参照しながら説明される。ＸＹＺ座標系は、放射される紫外光の光軸上の光線が進行する方向を＋Ｘ方向とし、Ｘ方向に直交する平面をＹＺ平面としている。なお、本明細書において、方向を表現する際に、正負の向きを区別する場合には、「＋Ｘ方向」、「－Ｘ方向」のように、正負の符号を付して記載される。正負の向きを区別せずに方向を表現する場合には、単に「Ｘ方向」と記載される。すなわち、本明細書において、単に「Ｘ方向」と記載されている場合には、「＋Ｘ方向」と「－Ｘ方向」の双方が含まれる。Ｙ方向及びＺ方向についても同様である。

＜第一実施形態＞
［紫外光照射装置の概要］
図１、図２及び図３を参照しながら、本発明の紫外光照射装置の第一実施形態を説明する。図１及び図２は、紫外光照射装置の外観を模式的に示す斜視図である。図３は、紫外光照射装置から光源と電極ブロックのみを取り出して示す図である。

本実施形態の紫外光照射装置１０は、紫外光を放射するエキシマランプ３（図２又は図３参照）と、エキシマランプ３を収容する筐体２と、エキシマランプ３より放射された紫外光を、筐体２の外へ＋Ｘ方向に取り出す取出し部４と、紫外光を拡散させる拡散部材５と、後述する光学フィルタ６と、を有する。図１及び図２において、矢印Ｌ１は、エキシマランプ３より出射する紫外光の光軸と、光軸上の光線の進行方向を示す。

本実施形態において、筐体２は、中央に取出し部４である開口を有する第一枠２ａと、開口を有さない第二枠２ｂと、から構成され、第二枠２ｂと第一枠２ａとが嵌め合わされて、筐体２に囲まれた内部空間が形成される。この内部空間には、エキシマランプ３と、エキシマランプ３に電力を供給する二つの電極ブロック（９ａ，９ｂ）とが配置されている。

二つの電極ブロック（９ａ，９ｂ）は、第二枠２ｂの内部空間に接する面に固定されている（図２、図３参照）。第二枠２ｂの外側に接する面には、二つの接続端子（８ａ，８ｂ）が設けられる。二つの接続端子（８ａ，８ｂ）は、それぞれ、第二枠２ｂを挟んで電極ブロック（９ａ，９ｂ）と導通している。二つの接続端子（８ａ，８ｂ）には、それぞれ、外部電源（不図示）より給電される給電線（７ａ，７ｂ）が接続される。なお、二つの電極ブロック（９ａ，９ｂ）は、導電性の材料（例えば、Ａｌ、Ａｌ合金、ステンレスなど）から構成される。

［光源］
図３を参照しながら、エキシマランプ３の一実施形態を説明する。本実施形態では、エキシマランプ３として、Ｚ方向に離間して配置された３本のエキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）を備える。二つの電極ブロック（９ａ，９ｂ）は、それぞれのエキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）の発光管の外表面に接触する。これによりエキシマランプ３は給電され、点灯する。

本実施形態において、エキシマランプ３は、発光管の内部にＫｒＣｌを含む発光ガスが封入されたＫｒＣｌエキシマランプを使用している。そのため、エキシマランプ３は、主たるピーク波長が１９０ｎｍ～２３５ｎｍである紫外光を放射する。特に、ＫｒＣｌエキシマランプは、主たるピーク波長が２２２ｎｍ近傍の紫外光を出射する。

エキシマランプ３は、ＫｒＣｌエキシマランプに限らない。例えば、発光管の内部にＫｒＢｒを含む発光ガスが封入された、ＫｒＢｒエキシマランプを使用しても構わない。ＫｒＢｒエキシマランプは、主たるピーク波長が２０７ｎｍ近傍の紫外光を出射する。

エキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）の発光管の大きさは、管軸方向（Ｙ方向）の長さが１５ｍｍ以上、２００ｍｍ以下であり、外径が２ｍｍ以上、１６ｍｍ以下であるとよい。

［拡散部材の概要］
図４は、紫外光照射装置１０の、ＸＺ平面における断面模式図である。本実施形態の紫外光照射装置１０では、取出し部４を構成する開口に、紫外光を拡散させる拡散部材５と光学フィルタ６とが配置されている。なお、「取出し部に配置」とは、拡散部材５又は光学フィルタ６が光取出し面に対して完全に一体化されて配置されている場合の他、拡散部材５又は光学フィルタ６が光取出し面に対してＸ方向に微小な距離（例えば数ｍｍ～十数ｍｍ）だけ離間した位置に配置されている場合を含む。

エキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）から放射された光は、光学フィルタ６において特定の波長帯域について遮断される。光学フィルタ６の詳細は後述する。光学フィルタ６から出射した光線束Ｆ１は拡散部材５で拡散され、光の拡がる角度、すなわち配光角、が大きくなる。

図５を参照しながら、拡散部材５の作用である、出射光の配光角の拡大について説明する。図５において、仮に拡散部材を有していない場合、紫外光照射装置１０から紫外光の光線束Ｆ２が、光軸（矢印Ｌ１）を中心に配光角θ２で出射される。拡散部材５を有している場合、紫外光の光線束Ｆ１が配光角θ１で出射される。拡散部材５を有している場合の配光角θ１は、拡散部材を有していない場合の配光角θ２よりも大きくなる。配光角（θ１，θ２）は、光軸を中心に拡がる光線束（Ｆ１，Ｆ２）の、光軸から最も離れた最外側の対向する光線同士のなす角として定義される。なお、光線束（Ｆ１，Ｆ２）は、中心である光軸の回りに拡がっており、光軸Ｌ１上の光線の輝度に対して１／２以上の輝度を有する光線の束として定義される。

紫外光照射装置１０は、拡散部材５で出射光の配向角を拡大させることにより、広い範囲に亘って紫外光を照射できる。これにより、微生物を不活化させたい領域を、少数の紫外光照射装置でカバーできるようになり、コスト効果に優れる。

次に、拡散部材５のもう一つの作用である、出射光のムラの抑制について説明する。ムラがない（又は、ムラが小さい）ことは、局所的に弱い光を受ける領域が減少するため、不活化効果の小さい領域が減少する。さらに、局所的に強い光を受ける領域が減少するため、より高いレベルでの安全性を確保しつつ、紫外光の照射量の上限の制約を受けにくくする。これについて以下に詳述する。

人を含む環境に対する紫外光照射は、その照射量を抑えることが求められる場合がある。例えば、ＡＣＧＩＨ（American Conference of Governmental Industrial Hygienists：米国産業衛生専門家会議）、又はＪＩＳ Ｚ ８８１２（有害紫外放射の測定方法）では、人体への１日（８時間）あたりの紫外光照射量が、波長ごとに許容限界値（ＴＬＶ：Threshold Limit Value）以下となるように、規定されている。

上述したように、本発明で使用される出射光の波長は、人体に対する有害性が極めて低い波長であるが、さらに安全性を高めるためには、上述したＴＬＶの規定を満たすように紫外光の照射量を設定することが望ましい。

出射光のムラが大きいことは、局所的に強い光を受ける領域と局所的に弱い光を受ける領域との強度差が大きいことを表す。上述したＴＬＶの規定を満たすように紫外光の照射量を設定する場合、局所的に強い光を受ける領域に合わせて照射量の上限を設定することが望ましい。そうすると、紫外光の照射量の上限の制約を受けやすくなり、特に、局所的に弱い光を受ける領域に対しての紫外光の照射量は必要以上に制限されてしまう。

反対に、出射光のムラが小さくなると、領域ごとの光の強度差が小さくなって、紫外光照射量の上限の制約を受けにくくなる。よって、紫外光照射装置１０は、拡散部材５で出射光のムラを抑制することにより、より高いレベルでの安全性を確保しつつ、紫外光照射量の上限の制約を受けにくくする。

さらに高いレベルでの安全性を確保するために、拡散部材５によって紫外光の局所的な最大照度（最も強度の高い光が照射される局所領域での照度）を抑制しても構わない。例えば、拡散部材５の光放射面における紫外光の局所的な最大照度を３ｍＷ／ｃｍ^２以下、さらには、１ｍＷ／ｃｍ^２以下に抑制するように、拡散部材の材質、厚み、形状等を選定又は調整してもよい。

拡散部材５は、紫外光の照射によって微生物を不活化させる観点から、波長１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光に対して透過性を示すものが用いられる。拡散部材５は、１９０ｎｍ～２３５ｎｍを除く波長の紫外光の透過を抑制するものでも構わない。

拡散部材５は、紫外光のみならず、可視光に対して拡散効果を有していてもよい。本発明に記載の紫外光照射装置１０は、多様な場所や設備に適用が想定される。仮に、紫外光照射装置１０の内部のエキシマランプ３や電極ブロック等が明瞭に識別されると、周囲の景観や設備外観を損なわせるおそれがある。しかしながら、可視光に対して拡散効果を有する拡散部材を取出し部４に配置すると、紫外光照射装置１０の内部のエキシマランプ３を視認できなくするか、鮮明に見えなくすることを可能にし、周囲の景観や設備外観と調和させつつ、微生物の不活化を行うことができる。

以上で拡散部材の概要について示した。拡散部材の具体例については後述する。

［光学フィルタ］
光学フィルタ６は、特定の波長帯域の紫外光を遮断する、すなわち、実質的に透過しない、バンドパスフィルタとして機能する。例えば、ＫｒＣｌエキシマランプの場合、図６に示すように、放射される紫外光のスペクトルには、ほぼ主たるピーク波長である２２２ｎｍ近傍に光出力が集中している一方で、人体に影響を及ぼすおそれのある、波長２４０ｎｍ以上かつ２８０ｎｍ以下の波長帯域の紫外光についても、わずかながら光出力が認められる。本実施形態では、取出し部４を構成する領域に光学フィルタ６を設けることで、波長２４０ｎｍ以上２８０ｎｍ以下の紫外光を実質的に透過しないようにする。これにより、人体に影響を及ぼすおそれのある波長帯域の紫外光が筐体の外に漏洩することを確実に抑えることで、光照射装置の人体に対する安全性がさらに向上する。

光学フィルタ６は、特定の波長帯域の紫外光を遮断するバンドパスフィルタとして機能する態様であればよく、配置場所や形態が限定されるものではない。例えば、光源に接するよう形成されていても良く、光源と離間して形成されていても良い。

本明細書において、「紫外光を実質的に透過しない」とは、主光線方向において、特定波長帯域におけるピーク波長の紫外光強度に対して、少なくとも５％以下の紫外光強度に抑制されることを意味する。本発明では、光学フィルタを用いることで２４０ｎｍ以上３００ｎｍ以下の紫外光の強度が、ピーク波長の強度に対して５％以下に遮光される。なお、光学フィルタで遮光させたい波長帯域の光について、光学フィルタを透過した紫外光の強度が、ピーク波長の強度に対して２％以下、まで抑制されると好ましい。光学フィルタを透過した紫外光の強度が、ピーク波長の強度に対して１％以下、まで抑制されると、さらに好ましい。

光学フィルタ６には、屈折率の異なる複数の誘電体多層膜を含んで構成されることがある。誘電体多層膜層として、例えば、ＨｆＯ_２層及びＳｉＯ_２層が交互に積層されたもの、並びに、ＳｉＯ_２層及びＡｌ_２Ｏ_３層が交互に積層されたものがある。ＨｆＯ_２層及びＳｉＯ_２層が交互に積層された誘電体多層膜層は、ＳｉＯ_２層及びＡｌ_２Ｏ_３層が交互に積層された誘電多層膜層よりも、同じ波長選択特性を得るための層数を少なくすることができるため、選択した紫外光の透過率を高めることができる。

上記のとおり、光学フィルタ６には、屈折率の異なる複数の誘電体多層膜で構成されることがあるが、誘電体多層膜で構成される光学フィルタ６は、紫外光の入射角に応じて、透過率が不可避的に変化してしまう。

図７は、光学フィルタ６の透過スペクトルの一例を、紫外光が光学フィルタ６に対して入射するときの入射角別に示すグラフである。このグラフの例は、光学フィルタ６は、エキシマランプ３の発光ガスがＫｒＣｌを含む場合、すなわち、エキシマランプ３が主たるピーク波長２２２ｎｍの紫外光を発する場合を想定して設計されている。グラフ内の各曲線は、波長を異ならせながら、光学フィルタ６に対して入射した光の強度と、光学フィルタ６から出射された光の強度の比率をプロットして得られる。入射角は、図８に示すように、光学フィルタ６の入射面に対する法線６Ｎと、光学フィルタ６の入射面に入射される紫外光Ｌ２との角度θ３で定義される。

光学フィルタ６は、図７のグラフから、入射角（角度θ３）の小さい光成分を透過しやすい一方で、入射角の大きい光成分を透過しにくいことがわかる。入射角の大きい光成分は光学フィルタ６に進入せず反射される。その結果、光学フィルタ６からの出射光は、光学フィルタ６への入射光に比べて、入射角の小さい光成分の比率が高まり、配光角が小さくなる。別の言い方をすれば、光学フィルタ６は、光の配光角を小さくする。

このような事情から、上述した拡散部材５は、配光角を小さくする光学フィルタ６を使用する場合に、特に顕著な効果が得られる。つまり、光学フィルタ６を使用して配光角が小さくなった場合においても、拡散部材５を光学フィルタ６の後段に配置（つまり、光学フィルタ６を、エキシマランプ３と拡散部材５との間に配置）すると、紫外光照射装置１０は、大きな配光角を得ることができる。

拡散部材５と光学フィルタ６とを組み合わせて使用する場合のさらなる効果として、光学フィルタ６における、拡散部材５の戻り光の反射作用がある。図９を参照しながらこれを説明する。図９は、図４におけるＰ１領域の拡大図である。拡散部材５の点Ｐ２に入射する光Ｌ４の拡散効果を微視的にみると、光Ｌ４は、点Ｐ２において、様々な方向に拡散する。

点Ｐ２で屈折し＋Ｘ方向に進む光ＦＬは、紫外光照射装置１０より出射されるのに対し、点Ｐ２で拡散し－Ｘ方向に進む光（Ｂ０，Ｂ１）は、紫外光照射装置１０の筐体内部へ戻ろうとする戻り光となる。

しかしながら、上述したように、光学フィルタ６は、入射角の小さい光成分を透過しやすい一方で、入射角の大きい光成分を反射する性質を有する。そのため、点Ｐ２からの戻り光のうち、多くの光Ｂ１は、光学フィルタ６に対して入射角が大きく、＋Ｘ方向に進む光に変化する。筐体内部まで戻る戻り光は、光学フィルタ６に対して入射角の小さい、僅かな光Ｂ０のみになる。よって、筐体内部まで戻る戻り光を抑制し、光の出射効率が向上する。

以上より、拡散部材５は、波長選択のために配置した光学フィルタ６の、配光角を拡大する効果を得るために設けるものであるが、光学フィルタ６を見れば、拡散部材５を設けたことにより発生する戻り光を抑制するという効果も得られる。拡散部材５と光学フィルタ６とを組み合わせて使用すると、この異なる二つの効果を同時に得られる。

拡散部材５が光学フィルタ６に接して配置されている場合には、拡散部材５が光学フィルタ６から離して配置されている場合に比べて、拡散部材５からの戻り光の光学フィルタ６に対する入射角を大きくできる。よって、拡散部材５が光学フィルタ６に接して配置することにより、戻り光を抑制し、光の出射効率がより向上する。

［拡散部材の具体例］
図１０Ａ及び図１０Ｂを参照しながら、拡散部材５の第一例を説明する。図１０Ａは紫外光照射装置１０の外観を模式的に示す斜視図であり、図１０Ｂは紫外光照射装置１０の、ＸＺ平面における断面模式図である。紫外光照射装置１０において、拡散部材５は拡散シート５ｓを含んで構成される。紫外光照射装置１０は、拡散シート５ｓを固定する固定部１３を有する。

拡散シート５ｓについて、本実施形態では、主にＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）を主成分とする拡散シート（以下、「ＰＴＦＥシート」ということがある。）が使用されている。ＰＴＦＥは、その分子構造自体が、光拡散性を示す結晶性を呈するため、拡散部材として好適である。なお、主成分とは、当該拡散シートの中で最も多い成分を指す。主成分が、拡散シートの中で９０質量％以上を占めてもよく、拡散シートの中で９５質量％以上を占めてもよい。

ＰＴＦＥシートの製造方法には、ＰＴＦＥの微粒子をシート状に焼結させる方法や、ＰＴＦＥの微粒子を押し固めた母材を引き延ばしてシート状にする方法などがある。とりわけ、ＰＴＦＥの微粒子をシート状に焼結させる方法でＰＴＦＥシートを製造した場合には、微粒子間に多くの隙間が形成された多孔質構造を呈し、当該多孔質構造が特に多くの光を拡散させるため、光拡散特性に特に優れている。また、ＰＴＦＥの微粒子をシート状に焼結させるとき、ＰＴＦＥの結晶性は焼結温度によって異なる。焼結温度が高いとＰＴＦＥシートの結晶度が高まり、拡散性がより高まる。

ＰＴＦＥ以外の拡散シートの材料として、ＰＦＡもしくはＰＶＤＦのような他のフッ素系樹脂、又は、ポリカーボネート、ポリエチレンもしくはＰＥＴ等の樹脂を主とする材料を使用しても構わない。拡散シートの厚みは、１ｍｍ未満であると好ましく、０．５ｍｍ未満であるとさらに好ましい。

固定部１３は、取出し部４の周囲を囲む枠形状を呈する。拡散シート５ｓは、光学フィルタ６と固定部１３とに挟まれて固定される。光学フィルタ６は、第一枠２ａの内壁面から突出した突出部２５によってＸ方向に支持される。このように拡散シート５ｓを固定すると、拡散シート５ｓは光学フィルタ６と接して配置され、拡散シート５ｓが薄い場合でも拡散シート５ｓを容易に支持できる。枠形状の固定部１３は、紫外光透過性材料で構成されても構わないし、紫外光非透過性材料（例えば、金属又は樹脂等）で構成されても構わない。

拡散シート５ｓの固定に接着剤を使用しても構わない。ただし、紫外光に晒される位置に接着剤を使用すると、紫外光により接着剤が劣化する問題が生じるおそれがある。接着剤を使用せずに、固定部１３を使用して拡散シート５ｓを挟んで固定する場合には、このような問題が生じない。

図１１は、拡散部材を固定する固定部の変形例を示す。図１１に示す固定部２３は、紫外光を透過する透過板である。拡散シート５ｓは、透過板である固定部２３と光学フィルタ６とに挟まれて固定される。透過板には、例えば、石英ガラスが使用される。さらなる変形例として、拡散シート５ｓを覆う網状部材を使用して、拡散シート５ｓを固定しても構わない。網状部材には、紫外光非透過性材料（例えば、金属又は樹脂等）を使用できる。図１１では、固定部２３は、取出し部４を覆うように設けられている。

図１２Ａを参照しながら、拡散部材５の第二例を説明する。図１２Ａは、説明のために、紫外光照射装置１０を筐体２と拡散部材５とに分離した状態で示しているが、実際には、拡散部材５は筐体２ａに接して、又は、筐体２ａの近傍に配置される。紫外光照射装置１０は、拡散膜５ｂを含んで構成される拡散部材５を有する。図１２Ａでは、拡散膜５ｂは、基材である石英ガラス１５の一主面に成膜される。紫外光照射装置１０は、拡散膜５ｂの成膜された石英ガラス１５ごと、筐体２に取り付けてなる。石英ガラス１５を筐体２に取り付けるとき、拡散膜５ｂと光学フィルタ６とは離間していても構わないし、接していても構わない。

拡散膜５ｂは、例えば、シリカ又はアルミナを主成分とする材料である。拡散膜の厚みは、１ｍｍ未満であると好ましく、０．５ｍｍ未満であるとさらに好ましい。

シリカの拡散膜を例に、拡散膜５ｂの成膜方法の一例を説明する。石英ガラス１５の表面に、大気中で加熱溶融したシリカの破砕粉を吹き付ける（溶射法）。シリカの破砕粉は、例えば、１００ｎｍ～１００μｍの粒径の略球状の微粒子である。微粒子を接合する接合剤を、微粒子と共に吹き付けても構わない。他の成膜法、例えば、加熱しないスプレー塗布、浸漬塗布又はスピン塗布など、を使用しても構わない。

図１２Ｂは、拡散膜５ｂを含んで構成される拡散部材５の変形例である。当該変形例では、拡散膜５ｂを光学フィルタ６上に直接成膜している。

［使用方法］
本発明に係る紫外光照射装置の使用態様としては、出射される紫外光が有人空間に向けて照射されるように配置し、紫外光照射装置に紫外光を照射させることができる。有人空間とは、実際に人がいるか否かは問わず、人が立ち入ることのできる空間を意味する。有人空間には、例えば、住宅、事業所、学校、病院もしくは劇場などの建物内の空間、又は、例えば、自動車、バス、電車もしくは飛行機などの乗り物内の空間を含む。取出し部４が有人空間を向くように、紫外光照射装置１０を、有人空間に面する天井、壁、柱又は床等に配置する。そして、紫外光照射装置１０を点灯させて、有人空間に向けて紫外光を照射する。

この使用方法は、従来のように、人体を避けて紫外光を照射する必要が無く、微生物を最も不活化させるべき肝心の場所である、人体の表面（皮膚等）、人が頻繁に接触する物体表面、又は人体近傍の空間を含む、有人空間全体にムラなく（ムラを小さく）紫外光を照射できる。そのため、微生物の不活化を効果的に行うことができる。

上記紫外光照射装置を、蛍光灯やＬＥＤ等の照明設備に内蔵させても構わない。照明設備に内蔵させる場合、紫外光照射装置で使用される上記拡散部材を、照明設備で使用される可視光用の拡散部材と共用しても構わない。

＜第二実施形態＞
図１３を参照しながら、本発明の紫外光照射装置の第二実施形態を説明する。以下に説明する以外の事項は第一実施形態と同様に実施できる。第二実施形態の紫外光照射装置６０は、エキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）と、筐体２と、エキシマランプ３より放射された紫外光を筐体２の外へ取り出す取出し部４と、取出し部４に、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍ以下の波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタ６と、を備える。

本実施形態の紫外光照射装置６０は拡散部材５を備えていない。拡散部材５を紫外光照射装置６０に後付けできるように、筐体２が拡散部材５を取り付けるための取付け部５１を有する。本実施形態において、取付け部５１はねじ孔であり、拡散部材５を挟んで、ねじ５２をねじ孔に嵌合することで、拡散部材５を紫外光照射装置６０に取付ける。この拡散部材５の取付け部５１の態様は一例であり、他に、フックや面ファスナー等の様々な態様を適用できる。拡散部材５を後付けにすることで、拡散部材５が劣化したときに、拡散部材５のみを交換できる。

以上で、紫外光照射装置及び紫外光照射装置を使用方法の実施形態を説明したが、本発明は上記した実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、上記の実施形態に種々の変更又は改良を加えることができる。

例えば、光源としてエキシマランプ３を使用する例を説明したが、光源としてＬＤ又はＬＥＤで構成される固体光源を使用しても構わない。

例えば、主たる発光波長が１９０ｎｍ～２３０ｎｍである紫外光を放射する光源を使用しても構わない。主たる発光波長の上限が２３０ｎｍである紫外光は、主たる発光波長の上限が２３５ｎｍである紫外光よりも、人体に対する安全性がさらに高まる。

例えば、主たる発光波長が２００ｎｍ～２３０ｎｍである紫外光を放射する光源を使用しても構わない。主たる発光波長の下限が２００ｎｍである紫外光は、主たる発光波長の下限が１９０ｎｍである紫外光よりも、大気中の酸素を分解してオゾンを生成する能力が低い。オゾンの濃度が高い気体は人体に対する有害性を示すため、オゾンの発生を抑制することにより、人体に対する安全性がさらに高まる。また、上述の波長帯域は、主たる発光波長でなくても構わない。

例えば、光学フィルタとして、２００ｎｍ～２３０ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光に加えて、２００ｎｍ未満の波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタを使用しても構わない。２００ｎｍ未満の波長帯域の紫外光を実質的に透過させないようにすることで、オゾンの発生を抑制し、人体に対する安全性がさらに高まる。

例えば、筐体２内に、光源により放射された光を反射させる反射部材を配置しても構わない。反射部材を配置することにより、光源から筐体２の内壁へ向かう光を少なくして、取出し部４へ向かう光を増やし、紫外光照射装置１０から出射される光の照度を高める。

拡散部材５又は光学フィルタ６は、取出し部４を構成する筐体２の開口に配置されるのみならず、筐体２の外側に位置するように配置しても構わない。

［光出射効率の改善］
上記の実施形態に対する改良例として、光出射効率の改善がある。斯かる改善として、例えば、反射部材の例として、電極ブロック（９ａ，９ｂ）に、紫外光に対する反射性を示す材料を成膜してもよく、上記電極ブロック（９ａ，９ｂ）自体を紫外光に対する反射性を示す材料で構成してもよい。電極ブロック（９ａ，９ｂ）の表面が反射性を示すと、電極ブロック（９ａ，９ｂ）は、紫外光を取出し部４へ指向させる反射部としても機能する。また、詳細は後述するが、電極ブロック（９ａ，９ｂ）とは別体の、より多くの光を取出し部４へ指向させるための反射部を設けても構わない。

上述したように、光学フィルタ６には、屈折率の異なる複数の誘電体多層膜で構成されることがあるが、誘電体多層膜で構成される光学フィルタ６は、紫外光の入射角に応じて、透過率や反射率が変化してしまう。例えば、図７のグラフに示すように、入射角の小さい光成分を透過しやすい一方で、入射角の大きい光成分を透過しにくいことがわかる。ここでの入射角は、図８に示すように、光学フィルタ６の入射面に対する法線６Ｎと、光学フィルタ６の入射面に入射される紫外光Ｌ２との角度θ３で定義される。

このような事情から、光学フィルタ６に対して比較的大きな入射角（例えば３０°以上）で入射された紫外光の場合、光学フィルタ６の透過率が悪くなり、光学フィルタ６からの光の出射効率が一定程度低下してしまう。また、光学フィルタ６で反射した反射光の一部が筐体（ケーシング）２に照射されて、筐体２が劣化するおそれがある。そのため、光源から放射された紫外光は、光学フィルタ６に入射される際の入射角が小さくなるよう、光線を制御することが望ましい。これは、光源と光学フィルタ６が離間して配置されている場合に、特に望まれる。

そこで、紫外光照射装置は、光源から放射される紫外光の指向性を高め、光学フィルタ６に対して入射角が小さい光成分を増加させる光学要素を備えることが望ましい。これにより、光学フィルタ６に対して入射角の大きい光成分を減少させ、入射角の小さい光成分を増加させることで、光学フィルタ６からの光の出射効率を高めることができる。上述の光学要素には、光源から放射される紫外光の指向性を高め、光学フィルタ６に対して入射角を小さく制御できる、光学レンズ、光学フィルム、及び反射部等を用いることができる。

［光学要素］
図１４を参照しながら、光学要素の一実施形態を説明する。図１４は、光学要素１１として光学レンズ１１ａを用いた場合の紫外光照射装置７０の断面模式図が示されている。光学レンズ１１ａは、光源から放射された紫外光の発散角を小さくする集光レンズである。集光レンズにより発散角の小さくなった紫外光が、光学フィルタに入射させやすくなる。

光学レンズ１１ａは、光源（ここでは、エキシマランプ３）と光学フィルタ６の間に配置されている。光学レンズ１１ａは、光源から放射された紫外光の発散角を小さくするものであればよく、形状は特に限定されるものではない。また、図１４では、ＸＺ平面に沿う断面に表れる入射角を小さく制御することが示されているが、ＸＹ平面に沿う断面に表れる入射角を小さく制御するものでもよい。また、ＸＺ平面に沿う断面と、ＸＹ平面に沿う断面との両方に表れる入射角を小さく制御するものであってもよい。

図１５を参照しながら、光学要素の他の実施形態を説明する。図１５は、光学要素１１として反射部１１ｂを用いた場合の紫外光照射装置８０の断面模式図が示されている。紫外光照射装置８０は、電極ブロック（９ａ、９ｂ）の少なくとも一方において、その近傍に、光学要素７として反射部１１ｂが設けられる。図１５では、反射部１１ｂが電極ブロック９ｂに設けられる例を示している。

反射部１１ｂは、光学フィルタ６が設けられた取出し部４に対して傾斜する平面状、又は、曲面状の反射面１１ｂ１を備えてもよい。反射面１１ｂ１は光学フィルタ６に向かって開口幅が広がる形状となる。図１５では、反射部１１ｂは、光学フィルタ６に向かって先細りとなるテーパ形状の反射部１１ｂが設けられており、テーパ側面に反射面１１ｂ１が設けられている。反射面１１ｂ１は曲面状であるが、平面状に形成されていてもよい。

反射部１１ｂは、光取り出し面に対して傾斜する平面状または曲面状の反射面１１ｂ１を有することで、光源（ここではエキシマランプ３）から照射された紫外光の一部は、反射面１１ｂ１で反射されて進行方向が変換される。詳述すると、光源から所定の発散角を有して放射された紫外光のうち、大きい発散角を有して進行した紫外光は、反射面１１ｂ１で反射されて進行方向が変換される。反射面１１ｂ１は、光学フィルタ６に対して傾斜した平面又は曲面で構成されるため、反射面１１ｂ１で反射された後、光学フィルタに入射される際の入射角が減少する。これにより、光学フィルタ６に対して入射角の大きい光成分を減少させ、入射角の小さい光成分を増加させることで、光学フィルタ６からの光の出射効率を高めることができる。特に反射面１１ｂ１は、放物面状の曲面形状とすることで、光源からの発散角をより指向させることができ、光学フィルタ６の出射効率を高めることができる。

図１５において、反射部１１ｂは電極ブロックと別体で構成されているが、反射部１１ｂと電極ブロックとが一体に形成されていても良い。この場合、電極ブロック（９ａ、９ｂ）の少なくとも何れかにおいて、反射部１１ｂが形成される。

電極ブロック（９ａ、９ｂ）および反射部１１ｂは、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光に対して反射性を示す材料（例えば、Ａｌ、Ａｌ合金、ステンレス等）で構成されることが好ましい。これにより、光源（ここではエキシマランプ３）から放射された紫外光を、電極ブロック（９ａ、９ｂ）と、反射部１１ｂとで反射できるため、光の出射効率を向上させることができる。例えば、各電極ブロック（９ａ，９ｂ）は、それぞれのエキシマランプ３（３ａ，３ｂ，３ｃ）の発光管の外表面に接触する曲面状の第一面と、光取り出し面に対して傾斜する曲面状の第二面とが連なる形状としてもよく、エキシマランプ３から放射される紫外光は、第一面および第二面で反射される。つまり、発光管の外表面と接触する第一面において給電が行われると共に、第一面および第二面において紫外光が反射され、光学フィルタ６に対して入射角の小さい光成分を増加させることができる。第一面と第二面は、それぞれ異なる曲面形状で構成される

図１４および図１５は、筐体２の内部において光学要素１１が設けられたものである。光源から放射される紫外光が、光学要素１１を介して光学フィルタ６に入射され、光学フィルタ６に対する紫外光の入射角が小さい光成分が増加される。

光学フィルタ６への入射角を小さくすることによる光出射効率の改善という点において、拡散部材は紫外光照射装置にとって任意の構成であるため、図１４及び図１５では拡散部材を図示していない。しかしながら、図１４及び図１５に示された紫外光照射装置（７０，８０）においても、光学フィルタ６から出射された紫外光を拡散させる拡散部材を、さらに設けても良い。これにより、光学フィルタ６からの光の出射効率を高めるとともに、拡散部材によって紫外光の配光角を拡大することができる。

上記実施形態で示した紫外光照射装置１０について、拡散部材５を使用することによる配光角の拡大効果を確認した。紫外光照射装置１０の詳細は後述する。図１６に、紫外光照射装置１０の配光角を計測するための計測設備４０を示す。計測設備４０は、紫外光照射装置１０、紫外光照射装置１０を載置するための回転ステージ３０、及び照度計３１を含む。なお、照度計３１には、浜松ホトニクス社製 ＵＶ ＰＯＷＥＲ ＭＥＴＯＲ Ｃ８０２６を使用している。

計測設備４０は、回転ステージ３０、回転ステージ３０に載置された紫外光照射装置１０、及び、紫外光照射装置１０から距離ｄ１：１０００（ｍｍ）離れた位置に配置された照度計３１を含む。紫外光照射装置１０の光軸Ｌ１上に照度計３１が位置するように、紫外光照射装置１０が照度計３１に対向配置されるときの、回転ステージ３０の位置を初期位置Ｐ０とする。回転ステージ３０は、初期位置Ｐ０から、図１６に示す回転方向Ｒに回転させる。図１６では、初期位置Ｐ０の回転ステージ３０及び紫外光照射装置１０を点線で示し、回転方向Ｒに所定時間回転させた後の回転ステージ３０及び紫外光照射装置１０を実線で示す。

紫外光照射装置１０の光軸Ｌ１と、紫外光照射装置１０から照度計３１に入射する光線Ｌ３との間になす角θ４は、回転角を表す。回転角θ４が０度（ｄｅｇ）である初期位置Ｐ０から回転角θ４を大きくして（回転ステージ３０を回転させて）、回転角θ４が９０度（ｄｅｇ）になるまで、紫外光照射装置１０から紫外光照射装置を照射しつつ照度計３１で照度を測定した。

測定した照度結果に基づいて相対照度を求めた。相対照度は、任意の回転角における照度測定値を、回転角０度（ｄｅｇ）における照度測定値で除して求められる。つまり、相対照度とは、光軸方向に進行する光線の照度を１としたときの、任意の角度に進行する光線の照度の相対値である。回転角の変化に対する相対照度を表すグラフを、図１７に示した。

図１７には３つの曲線が示されている。Ｃ１曲線は、紫外光照射装置Ｃ１の計測結果に基づく相対照度を表す。紫外光照射装置Ｃ１は、光学フィルタ６を備えるが、拡散部材５を備えていない。
Ｃ２曲線は、紫外光照射装置Ｃ２の計測結果に基づく相対照度を表す。紫外光照射装置Ｃ２は、１９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍ以下の波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタ６と、を備え、ＰＴＦＥシート（厚みは０．１ｍｍ）からなる拡散部材５とを備える。なお、ここで使用したＰＴＦＥシートは、ニチアス社製の「ナフロンＰＴＦＥシート」である（シートの厚みは０．１ｍｍ）。
Ｃ３曲線は、計算によって求められた理想的な完全拡散の配向分布曲線である。斯かる計算はそれぞれの回転角における余弦値によって求められる。

Ｃ１曲線とＣ３曲線との比較から、光学フィルタ６を備えることにより、相対照度の角度範囲が、理想的な完全拡散の配向分布曲線から狭くなることがわかる。しかしながら、Ｃ２曲線とのさらなる比較から、拡散部材５を設けることにより、完全拡散に近い理想的な配向分布曲線となることが分かる。

配光角は、相対照度が０．５０となる回転角の２倍で求められる。図１７から、紫外光照射装置Ｃ１の配光角は５８度（２９×２）、紫外光照射装置Ｃ２の配光角は１０８度（５４×２）となる。拡散部材５を設けることで、配光角が大きく拡大したことが確認される。

上述の結果は拡散部材５にＰＴＦＥシートを使用した場合のものであるが、ＰＴＦＥシート以外の拡散シート、及び拡散膜を拡散部材５に使用した場合においても、ＰＴＦＥシートと同様に、配光角が拡大される。

厚みを異ならせたＰＴＦＥシートを拡散部材５として使用した紫外光照射装置の相対全光束を図１８に示す。図１８は、ＰＴＦＥシートの厚みを横軸に、相対全光束を縦軸にとったグラフである。相対全光束は、拡散部材がないときの紫外光照射装置から出射される全光束に対する、各シート厚みを有する紫外光照射装置から出射される全光束の比によって求められる。全光束とは、光源から全ての方向に放射される光束の和を表し、図１６に示した計測設備４０を使用した各回転角における照度測定値から計算により概算値を求めることができる。

図１８より、ＰＴＦＥシートが厚くなるほど相対全光束が低下する。これは、ＰＴＦＥシートが厚くなるほど、紫外光が減衰することを表している。ＰＴＦＥシートが１ｍｍ未満のとき、相対全光束が０．２以上になり、好ましい。ＰＴＦＥシートが０．５ｍｍ未満のとき、相対全光束が０．４以上になり、より好ましい。ＰＴＦＥシートが０．２ｍｍ未満のとき、相対全光束が０．６を超えて、さらに好ましい。なお、ＰＴＦＥシートの厚みを薄くしても、完全拡散に近い配光分布曲線は殆ど損なわれなかった。ＰＴＦＥシートの厚みを０．０５ｍｍとした場合でも、図１７のＣ２曲線に近い配光分布曲線が得られた。

２ ：筐体
２ａ ：第一枠
２ｂ ：第二枠
３ ：エキシマランプ
４ ：取出し部
５ ：拡散部材
５ｂ ：拡散膜
５ｓ ：拡散シート
６ ：光学フィルタ
１０ ：紫外光照射装置
１１ ：光学要素
１１ａ ：光学レンズ
１１ｂ ：反射部
１３ ：固定部
１５ ：石英ガラス
２０ ：紫外光照射装置
２３ ：固定部
２５ ：突出部
３０ ：回転ステージ
３１ ：照度計
４０ ：計測設備
５１ ：取付け部
５２ ：ねじ
６０ ：紫外光照射装置
７０ ：紫外光照射装置
８０ ：紫外光照射装置

Claims (14)

1. １９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源と、
   前記光源を収容する筐体と、
   前記光源より放射された前記紫外光を前記筐体の外へ取り出す取出し部と、
   １９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタと、
   前記取出し部に、前記光学フィルタの前記紫外光の出射側に配置される、前記紫外光を拡散させる拡散部材と、を備えることを特徴とする紫外光照射装置。
2. 前記拡散部材は前記光学フィルタと接して配置されることを特徴とする、請求項１に記載の紫外光照射装置。
3. 前記拡散部材は拡散シートであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外光照射装置。
4. 前記拡散シートは、ＰＴＦＥを主成分とすることを特徴とする、請求項３に記載の紫外光照射装置。
5. 前記拡散シートを前記取出し部の周囲で固定する固定部を備えることを特徴とする、請求項３に記載の紫外光照射装置。
6. 前記拡散部材は前記光学フィルタに成膜された拡散膜であることを特徴とする、請求項２に記載の紫外光照射装置。
7. 前記拡散膜は、シリカ又はアルミナを主成分とすることを特徴とする、請求項６に記載の紫外光照射装置。
8. 前記拡散部材は前記光学フィルタと前記紫外光を透過する透過板とに挟まれて配置されることを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外光照射装置。
9. 前記拡散部材の厚みが１ｍｍ未満であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外光照射装置。
10. 前記拡散部材の厚みが０．５ｍｍ未満であることを特徴とする、請求項９に記載の紫外光照射装置。
11. 前記光源はエキシマランプであることを特徴とする、請求項１又は２に記載の紫外光照射装置。
12. 請求項１～１１のいずれか一項に記載の紫外光照射装置を、出射される紫外光の少なくとも一部が有人空間に向けて照射されるように配置し、前記紫外光照射装置に前記紫外光を放射させる、紫外光照射装置の使用方法。
13. １９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源と、
    前記光源を収容する筐体と、
    前記光源より放射された前記紫外光を前記筐体の外へ取り出す取出し部と、
    １９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタと、を備え、
    前記筐体は、前記光学フィルタの前記紫外光の出射側に前記紫外光を拡散させる拡散部材を取り付けるための取付部を有することを特徴とする、
    紫外光照射装置。
14. １９０ｎｍ～２３５ｎｍの紫外光を放射する光源より紫外光を放射し、
    １９０ｎｍ～２３５ｎｍの波長帯域の紫外光を透過し、２４０ｎｍ～２８０ｎｍの波長帯域の紫外光を実質的に透過しない光学フィルタで、前記光源より放射された前記紫外光を選択的に透過させて、
    前記光学フィルタの出射側に配置された拡散部材で、前記光学フィルタからの出射光を拡散させる、
    ことを特徴とする、紫外光の照射方法。

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