JP2022151392A - コイル部品およびその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 142
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 abstract description 16
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 145
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017082 Fe-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017133 Fe—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
- H01F27/292—Surface mounted devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/043—Printed circuit coils by thick film techniques
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F2017/0066—Printed inductances with a magnetic layer
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- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
互いに対向する第1主面および第2主面を有する支持基板を用意する工程と、
形成すべき線状のインダクタ配線導体に沿って延びる天面と、天面の両外縁から天面に交差する方向にそれぞれ延びる1対の側面と、を有する、電気絶縁性の台座を支持基板の第1主面上に設ける工程と、
台座を覆いかつ台座から露出した支持基板の第1主面を覆うように、導電性のシード層を形成する工程と、
台座の天面における幅方向の中央部上のシード層を露出させる開口を有する第1レジストをシード層上に設ける工程と、
第1レジストの開口を介してシード層上にインダクタ配線導体を電解めっきにより形成する工程と、
第1レジストを除去する工程と、
インダクタ配線導体を内部に位置させるように、支持基板の第1主面側に第1磁性層を形成する工程と、
支持基板を除去し、かつ支持基板の第2主面側からシード層における台座を覆う部分以外の部分を除去する工程と、
台座および第1磁性層に接するように、第2磁性層を形成する工程と、
を備えることを特徴としている。
図1および図2を参照して、この発明の第1の実施形態によるコイル部品1の構造について説明する。
図18ないし図20を参照して、この発明の第2の実施形態を説明する。図18ないし図20において、図2ないし図17に示す要素に相当する要素には同様の参照符号を付し、重複する説明を省略する。
第3ないし第5の実施形態を、図21ないし図23に示された台座25に関連して説明する。説明を省略するが、他の台座26および27についても同様である。
図24を参照して、台座25に関連して、第6の実施形態を説明する。説明を省略するが、他の台座26および27についても同様である。
2 本体
9~11 インダクタ配線導体
13~18 引き出し導体
19~24 外部端子電極
25~27 台座
28 天面
29,30 側面
31 シード層
33 支持基板
34 第1主面
35 第2主面
38 第1レジスト
39,41,44 開口
40 第2レジスト
42 第1磁性層
45 第2磁性層
53 密着層
Claims (11)
- 磁性体からなる本体と、
前記本体内に配置された、線状のインダクタ配線導体と、
前記本体内において前記インダクタ配線導体に沿って延びる天面と、前記天面の両外縁から前記天面に交差する方向にそれぞれ延びる1対の側面と、を有する、電気絶縁性の台座と、
少なくとも前記台座の前記天面と前記インダクタ配線導体とに挟まれた領域の全域に設けられる、導電性のシード層と、
を備え、
前記インダクタ配線導体の、前記シード層に接する面の幅方向寸法を第1の幅方向寸法とし、前記シード層の幅方向寸法を第2の幅方向寸法としたとき、前記第2の幅方向寸法は前記第1の幅方向寸法より広い、
コイル部品。 - 前記本体の外表面に露出するように設けられる外部端子電極と、
前記インダクタ配線導体の端部に重なるように位置し、前記インダクタ配線導体の前記端部を前記外部端子電極に電気的に接続するための引き出し導体と、
をさらに備える、請求項1に記載のコイル部品。 - 前記シード層は、前記台座の前記天面および前記側面に設けられる、請求項1または2に記載のコイル部品。
- 前記シード層は、前記台座の前記天面および前記側面の各々の全域に設けられる、請求項3に記載のコイル部品。
- 前記シード層は、前記台座の前記天面および前記側面の少なくとも一方の一部上において途切れた部分を有する、請求項3に記載のコイル部品。
- 前記シード層は、前記台座の前記天面に設けられるが、前記台座の前記側面には設けられない、請求項1または2に記載のコイル部品。
- 前記シード層と前記台座との密着性を向上させるための密着層をさらに備える、請求項1ないし6のいずれかに記載のコイル部品。
- 前記インダクタ配線導体と前記シード層とは互いに主成分が同じ材料からなる、請求項1ないし7のいずれかに記載のコイル部品。
- 前記台座は樹脂からなる、請求項1ないし8のいずれかに記載のコイル部品。
- 互いに対向する第1主面および第2主面を有する支持基板を用意する工程と、
形成すべき線状のインダクタ配線導体に沿って延びる天面と、前記天面の両外縁から前記天面に交差する方向にそれぞれ延びる1対の側面と、を有する、電気絶縁性の台座を前記支持基板の前記第1主面上に設ける工程と、
前記台座を覆いかつ前記台座から露出した前記支持基板の前記第1主面を覆うように、導電性のシード層を形成する工程と、
前記台座の前記天面における幅方向の中央部上の前記シード層を露出させる開口を有する第1レジストを前記シード層上に設ける工程と、
前記第1レジストの前記開口を介して前記シード層上にインダクタ配線導体を電解めっきにより形成する工程と、
前記第1レジストを除去する工程と、
前記インダクタ配線導体を内部に位置させるように、前記支持基板の前記第1主面側に第1磁性層を設ける工程と、
前記支持基板を除去し、かつ前記支持基板の前記第2主面側から前記シード層における前記台座を覆う部分以外の部分を除去する工程と、
前記台座および前記第1磁性層に接するように、第2磁性層を設ける工程と、
を備える、コイル部品の製造方法。 - 前記第1レジストを除去する工程の後、
前記インダクタ配線導体の端部に電気的に接続される引き出し導体のパターンに対応するパターンの開口を有する第2レジストを前記シード層上に設ける工程と、
前記第2レジストの前記開口を介して前記インダクタ配線導体の前記端部上に引き出し導体を電解めっきにより形成する工程と、
前記第2レジストを除去する工程と、
をさらに備え、
前記第1磁性層を形成する工程は、前記第1磁性層が、前記インダクタ配線導体とともに、前記引き出し導体をも内蔵するように実施され、
前記第1磁性層を形成する工程の後、前記第1磁性層を削り、前記引き出し導体の端面を露出させる工程と、
前記引き出し導体に電気的に接続される外部端子電極を形成する工程と、
さらに備える、
請求項10に記載のコイル部品の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021054434A JP7327436B2 (ja) | 2021-03-27 | 2021-03-27 | コイル部品およびその製造方法 |
CN202210187960.8A CN115132449A (zh) | 2021-03-27 | 2022-02-28 | 线圈部件及其制造方法 |
US17/695,774 US20220310311A1 (en) | 2021-03-27 | 2022-03-15 | Coil component and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021054434A JP7327436B2 (ja) | 2021-03-27 | 2021-03-27 | コイル部品およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022151392A true JP2022151392A (ja) | 2022-10-07 |
JP7327436B2 JP7327436B2 (ja) | 2023-08-16 |
Family
ID=83363591
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021054434A Active JP7327436B2 (ja) | 2021-03-27 | 2021-03-27 | コイル部品およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220310311A1 (ja) |
JP (1) | JP7327436B2 (ja) |
CN (1) | CN115132449A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7226409B2 (ja) * | 2020-07-31 | 2023-02-21 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品、及びdcdcコンバータ |
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JP2020053483A (ja) * | 2018-09-25 | 2020-04-02 | 株式会社村田製作所 | インダクタ部品 |
JP2020136467A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
-
2021
- 2021-03-27 JP JP2021054434A patent/JP7327436B2/ja active Active
-
2022
- 2022-02-28 CN CN202210187960.8A patent/CN115132449A/zh active Pending
- 2022-03-15 US US17/695,774 patent/US20220310311A1/en active Pending
Patent Citations (7)
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JP2020136467A (ja) * | 2019-02-19 | 2020-08-31 | Tdk株式会社 | コイル部品及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220310311A1 (en) | 2022-09-29 |
JP7327436B2 (ja) | 2023-08-16 |
CN115132449A (zh) | 2022-09-30 |
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